JP2012131585A - 搬送機構、及び、それを備えた真空処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のピニオンギヤのうち、少なくとも2つが回転してラックギヤに順次噛合することにより、該ラックギヤを現工程の処理室内に配置されるピニオンギヤから、次工程の処理室内に配置されるピニオンギヤへと受け渡して、トレイを搬送するラック・アンド・ピニオン機構、及び、それを備えた真空処理装置であって、前記ピニオンギヤをそれぞれ独立に上下移動させる上下駆動部を有していることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
図1において、第一の処理室1a、第二の処理室1bは、図6におけるプロセスチャンバーを想定することができる。
第一のピニオンギヤ2aは、ラックギヤ5と噛み合わさった状態のままである(図2図示)。
搬送開始時の位置まで第二のピニオンギヤ2bを上昇させることにより、トレイ4のラックギヤ5と第二のピニオンギヤ2bはトレイ4を停止させることなく円滑に噛み合うことになる。
1b 第二の処理室
2a 第一のピニオンギヤ
2b 第二のピニオンギヤ
3a 第一のピニオンギヤ用サーボモータ
3b 第二のピニオンギヤ用サーボモータ
4 トレイ
5 ラックギヤ
6a 第一の上下駆動部
6b 第二の上下駆動部
7a 第一の上下駆動部用サーボモータ
7b 第二の上下駆動用部サーボモータ
8a 第一のピニオンギヤ用モータドライバ
8b 第二のピニオンギヤ用モータドライバ
9a 第一の上下駆動部用モータドライバ
9b 第二の上下駆動部用モータドライバ
10a 第一のトレイロック機構
10b 第二のトレイロック機構
11 ゲートバルブ
12 コントローラ
20 基板
21 ロードロックチャンバー
22 プロセスチャンバー
Claims (2)
- ラックギヤと、駆動源に連結され、前記ラックギヤに噛合する複数のピニオンギヤと、を備え、前記複数のピニオンギヤのうち、少なくとも二つが回転して前記ラックギヤに順次噛合することにより、該ラックギヤを現工程の第一の処理室内に配置される第一のピニオンギヤから、次工程の第二の処理室内に配置される第二のピニオンギヤへと受け渡して、前記載置台を搬送するラック・アンド・ピニオン機構であって、 前記第一のピニオンギヤと前記第二のピニオンギヤをそれぞれ独立に上下移動させる上下駆動部と、を有していることを特徴とするラック・アンド・ピニオン機構。
- 前記ラックギヤは、被搬送物を搭載して搬送軌道上を移動する載置台に固定され、前記被搬送物が基板であって、前記載置台の搬送機構として請求項1に記載のラック・アンド・ピニオン機構を備え、
前記搬送軌道に沿って複数の前記処理室が排気可能に接続され、各前記処理室内にそれぞれ前記ピニオンギヤが設けられていることを特徴とする真空処理装置。
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Cited By (2)
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WO2016103882A1 (ja) * | 2014-12-25 | 2016-06-30 | 株式会社椿本チエイン | 搬送装置 |
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Citations (2)
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JPH09291360A (ja) * | 1996-04-24 | 1997-11-11 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 基板搬送装置 |
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