JP2012129605A - Mems振動子、発振器、およびmems振動子の製造方法 - Google Patents
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- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 19
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 40
- 230000007423 decrease Effects 0.000 claims abstract description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 19
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 10
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 10
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 9
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 9
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 7
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 5-(5-carboxythiophen-2-yl)thiophene-2-carboxylic acid Chemical compound S1C(C(=O)O)=CC=C1C1=CC=C(C(O)=O)S1 DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 1
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/24—Constructional features of resonators of material which is not piezoelectric, electrostrictive, or magnetostrictive
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- H03H9/2447—Beam resonators
- H03H9/2457—Clamped-free beam resonators
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- B81C1/00—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate
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- B81C1/00134—Manufacture or treatment of devices or systems in or on a substrate for manufacturing microsystems comprising flexible or deformable structures
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- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
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- H03H3/0076—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks of microelectro-mechanical resonators or networks for obtaining desired frequency or temperature coefficients
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- B81—MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY
- B81B—MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES
- B81B2201/00—Specific applications of microelectromechanical systems
- B81B2201/02—Sensors
- B81B2201/0271—Resonators; ultrasonic resonators
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- B81B2203/00—Basic microelectromechanical structures
- B81B2203/01—Suspended structures, i.e. structures allowing a movement
- B81B2203/019—Suspended structures, i.e. structures allowing a movement characterized by their profile
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- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02244—Details of microelectro-mechanical resonators
- H03H2009/02283—Vibrating means
- H03H2009/02291—Beams
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- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/02244—Details of microelectro-mechanical resonators
- H03H2009/02488—Vibration modes
- H03H2009/02511—Vertical, i.e. perpendicular to the substrate plane
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- Acoustics & Sound (AREA)
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Abstract
【課題】安定した振動特性を有するMEMS振動子を提供する。
【解決手段】本発明に係るMEMS振動子100は、基板10と、基板10の上方に形成された第1電極20と、基板10の上方に形成された支持部32、および支持部32に支持されており第1電極20の上方に配置された梁部34を有する第2電極30と、を含み、平面視において、梁部34は、前記第1電極20と重なる領域で支持部32から梁部34の先端34aに向かう方向において、幅Wが単調減少する形状である。
【選択図】図1
【解決手段】本発明に係るMEMS振動子100は、基板10と、基板10の上方に形成された第1電極20と、基板10の上方に形成された支持部32、および支持部32に支持されており第1電極20の上方に配置された梁部34を有する第2電極30と、を含み、平面視において、梁部34は、前記第1電極20と重なる領域で支持部32から梁部34の先端34aに向かう方向において、幅Wが単調減少する形状である。
【選択図】図1
Description
本発明は、MEMS振動子、発振器、およびMEMS振動子の製造方法に関する。
MEMS(Micro Electro Mechanical Systems)は、微小構造体形成技術の一つで、例えば、ミクロンオーダーの微細な電子機械システムを作る技術やその製品のことをいう。
特許文献1には、固定電極および可動電極を有し、両電極間に発生する静電力により可動電極を駆動させるMEMS振動子が開示されている。
しかしながら、MEMS振動子は、微細な構造を有するため、製造プロセスのばらつきが動作特性に及ぼす影響が大きい。例えば、MEMS振動子は、可動電極の駆動により所定の周波数で振動するが、製造プロセスのばらつきによって可動電極の形状(長さ)がばらついてしまい、安定した振動特性(例えば周波数精度)が得られない場合があった。
本発明のいくつかの態様に係る目的の1つは、安定した振動特性を有するMEMS振動子およびその製造方法を提供することにある。また、本発明のいくつかの態様に係る目的の1つは、上記MEMS振動子を有する発振器を提供することにある。
本発明に係るMEMS振動子は、
基板と、
前記基板の上方に形成された第1電極と、
前記基板の上方に形成された支持部、および前記支持部に支持されており前記第1電極の上方に配置された梁部を有する第2電極と、
を含み、
平面視において、前記梁部は、前記第1電極と重なる領域で前記支持部から前記梁部の先端に向かう方向において、幅が単調減少する形状である。
基板と、
前記基板の上方に形成された第1電極と、
前記基板の上方に形成された支持部、および前記支持部に支持されており前記第1電極の上方に配置された梁部を有する第2電極と、
を含み、
平面視において、前記梁部は、前記第1電極と重なる領域で前記支持部から前記梁部の先端に向かう方向において、幅が単調減少する形状である。
このようなMEMS振動子によれば、製造プロセスの(より具体的には第2電極をパターニングする際の)ばらつきによって梁部の長さがばらついたとしても、例えば長方形の平面形状を有する梁部に比べて、梁部の周波数のばらつきを小さくすることができる(詳細は後述)。すなわち、梁部の長さの変化量に対する、周波数の変化量を小さくすることができる。その結果、このようなMEMS振動子は、安定した振動特性を有することができる。
なお、本発明に係る記載では、「上方」という文言を、例えば、「特定のもの(以下、「A」という)の「上方」に他の特定のもの(以下、「B」という)を形成する」などと用いる場合に、A上に直接Bを形成するような場合と、A上に他のものを介してBを形成するような場合とが含まれるものとして、「上方」という文言を用いている。
本発明に係るMEMS振動子において、
前記梁部は、前記支持部から前記梁部の先端に向かうにつれて、幅が漸次変化する形状であることができる。
前記梁部は、前記支持部から前記梁部の先端に向かうにつれて、幅が漸次変化する形状であることができる。
このようなMEMS振動子によれば、支持部から先端に向かう途中で、同じ幅が続く区間をなくすことができ、支持部から先端に向かって、幅を連続的に変化させることができる。そのため、梁部の振動によって、梁部の折れ曲がりが発生することを抑制できる。
本発明に係るMEMS振動子において、
前記梁部の平面形状は、前記支持部から前記先端に向かう方向に沿う第1直線に関して、対称であることができる。
前記梁部の平面形状は、前記支持部から前記先端に向かう方向に沿う第1直線に関して、対称であることができる。
このようなMEMS振動子によれば、梁部は、安定して振動することができる。
本発明に係るMEMS振動子において、
前記梁部の平面形状は、二等辺三角形であることができる。
前記梁部の平面形状は、二等辺三角形であることができる。
このようなMEMS振動子によれば、より安定した振動特性を有することができる。
本発明に係るMEMS振動子において、
前記梁部は、平面視において、
前記第1直線に対して一方側に位置する第1円弧と、
前記第1円弧と接続し、前記第1直線に対して他方側に位置するする第2円弧と、
を有し、
前記第1円弧の中心は、
前記第1直線と直交し、前記第1円弧と前記第2円弧との交点を通る第2直線上であって、前記第1直線に対して前記一方側に位置し、
前記第2円弧の中心は、
前記第2直線上であって、前記第1直線に対して前記他方側に位置していることができる。
前記梁部は、平面視において、
前記第1直線に対して一方側に位置する第1円弧と、
前記第1円弧と接続し、前記第1直線に対して他方側に位置するする第2円弧と、
を有し、
前記第1円弧の中心は、
前記第1直線と直交し、前記第1円弧と前記第2円弧との交点を通る第2直線上であって、前記第1直線に対して前記一方側に位置し、
前記第2円弧の中心は、
前記第2直線上であって、前記第1直線に対して前記他方側に位置していることができる。
このようなMEMS振動子によれば、より安定した振動特性を有することができる。
本発明に係るMEMS振動子において、
前記梁部の平面形状は、台形であることができる。
前記梁部の平面形状は、台形であることができる。
このようなMEMS振動子によれば、例えば平面形状が三角形の梁部を有するMEMS振動子に比べて、梁部の長さを一定とした場合に、梁部の面積を大きくすることができる。そのため、第1電極および第2電極間に大きな静電力を発生させることができ、梁部を振動させやすくすることができる。
本発明に係る発振器は、
本発明に係るMEMS振動子を含む。
本発明に係るMEMS振動子を含む。
このような発振器によれば、安定した振動特性を有することができる。
本発明に係るMEMS振動子の製造方法は、
基板の上方に第1電極を形成する工程と、
前記第1電極を覆うように犠牲層を形成する工程と、
前記基板の上方に形成された支持部、および前記支持部に支持されており前記犠牲層を介して前記第1電極の上方に配置された梁部を有する第2電極を形成する工程と、
前記犠牲層を除去する工程と、
を含み、
前記第2電極を形成する工程では、
平面視において、前記梁部を、前記第1電極と重なる領域で前記支持部から前記梁部の先端に向かう方向において、幅が単調減少する形状に形成する。
基板の上方に第1電極を形成する工程と、
前記第1電極を覆うように犠牲層を形成する工程と、
前記基板の上方に形成された支持部、および前記支持部に支持されており前記犠牲層を介して前記第1電極の上方に配置された梁部を有する第2電極を形成する工程と、
前記犠牲層を除去する工程と、
を含み、
前記第2電極を形成する工程では、
平面視において、前記梁部を、前記第1電極と重なる領域で前記支持部から前記梁部の先端に向かう方向において、幅が単調減少する形状に形成する。
このようなMEMS振動子の製造方法によれば、安定した振動特性を有するMEMS振動子を得ることができる。
以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しながら説明する。
1. MEMS振動子
まず、本実施形態に係るMEMS振動子について、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係るMEMS振動子100を模式的に示す平面図である。図2は、本実施形態に係るMEMS振動子100を模式的に示す断面図である。なお、図2は、図1のII−II線断面図である。
まず、本実施形態に係るMEMS振動子について、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係るMEMS振動子100を模式的に示す平面図である。図2は、本実施形態に係るMEMS振動子100を模式的に示す断面図である。なお、図2は、図1のII−II線断面図である。
MEMS振動子100は、図1および図2に示すように、基板10と、第1電極20と、第2電極30と、を含む。
基板10は、支持基板12と、第1下地層14と、第2下地層16と、を有することができる。
支持基板12としては、例えば、シリコン基板等の半導体基板を用いることができる。支持基板12として、セラミックス基板、ガラス基板、サファイア基板、ダイヤモンド基板、合成樹脂基板などの各種の基板を用いてもよい。
第1下地層14は、支持基板12の上方に(より具体的には支持基板12上に)形成されている。第1下地層14としては、例えば、トレンチ絶縁層、LOCOS(local oxidation of silicon)絶縁層、セミリセスLOCOS絶縁層を用いることができる。第1下地層14は、MEMS振動子100と、支持基板12に形成された他の素子(図示せず)と、を電気的に分離することができる。
なお、本発明に係る記載において、「上方」という文言を、例えば、「Bは、Aの上方に形成されている」などと用いる場合、「B」は、「A」を基準として上方に形成されていることを意味している。すなわち、「B」は、「A」に対して鉛直方向(重力が働く方向とは反対の方向)に位置していてもよいし、「A」に対して鉛直方向とは異なる方向に位置していてもよい。
第2下地層16は、第1下地層14上に形成されている。第2下地層16の材質としては、例えば、窒化シリコンが挙げられる。第2下地層16は、後述するリリース工程において、エッチングストッパー層として機能することができる。
第1電極20は、基板10上に形成されている。第1電極20の形状は、例えば、層状または薄膜状である。第1電極20の平面形状(基板10の上面10aの垂線方向からみた形状)は、例えば、長方形である。
第2電極30は、第1電極20と間隔を空けて形成されている。第2電極30は、基板10上に形成された支持部32と、支持部32に支持されており第1電極20の上方に配置された梁部34と、を有する。支持部32は、例えば、第1電極20と対向配置されている。第2電極30は、片持ち梁状に形成されている。
梁部34は、平面視において(基板10の上面10aの垂線方向からみて)、第1電極20と重なる領域で支持部32から梁部34の先端34aに向かうA方向において、幅Wが単調減少する形状である。梁部34の平面形状は、例えば三角形であり、図1に示すように、先端34aは辺34b,34cがなす頂点であってもよい。先端34aは、平面視において、第1電極20の外周の内側に位置している。梁部34の平面形状は、支持部32から先端34aに向かうA方向に沿う第1直線V1に関して、対称であってもよい。
図1に示す例では、梁部34の平面形状は、辺34b,34cの長さが等しい二等辺三角形であり、A方向に向かうにつれて、梁部34の幅W(A方向と直交する方向の長さ)は小さくなる。図1に示す例では、梁部34の幅Wを、例えば、辺34bと辺34cとの間の距離と定義することもできる。また、図1に示す例では、梁部34の長さLを、例えば、先端34aと、梁部34と支持部32との境界線Bと、の間の距離と定義することもできる。
梁部34の幅Wは、例えば、支持部32から先端34aに向かうにつれて、漸次変化している。すなわち、支持部32から先端34aに向かう途中で、同じ幅が続く区間をなくすことができ、支持部32から先端34aに向かって、幅Wを連続的に変化させることができる。なお、図示はしないが、支持部32から先端34aに向かうにつれて、幅Wが単調減少していれば、幅Wは階段状に(段階的に)変化してもよい。すなわち、幅Wが変化しない領域があってもよい。
第1電極20および第2電極30の間に電圧が印加されると、梁部34は、電極20,30間に発生する静電力により振動することができる。なお、MEMS振動子100は、第1電極20および第2電極30を減圧状態で気密封止する被覆構造体を有していてもよい。これにより、梁部34の振動時における空気抵抗を減少させることができる。
第1電極22および第2電極24の材質としては、例えば、所定の不純物をドーピングすることにより導電性が付与された多結晶シリコンが挙げられる。
本実施形態に係るMEMS振動子100は、例えば、以下の特徴を有する。
MEMS振動子100によれば、梁部34は、第1電極10と重なる領域で支持部32から先端34aに向かうA方向において、幅Wが単調減少する形状である。これにより、製造プロセスの(より具体的には第2電極30をパターニングする際の)ばらつきによって梁部34の長さLがばらついたとしても、例えば長方形の平面形状を有する梁部に比べて、梁部34の周波数のばらつきを小さくすることができる(詳細は後述)。すなわち、梁部34の長さLの変化量に対する、周波数の変化量を小さくすることができる。その結果、MEMS振動子100は、安定した振動特性を有することができる。一般的に、片持ち梁状の振動子の周波数fは、下記式(1)で表されることができ、梁部の長さLは、周波数fに対して2乗で影響を与える。なお、式(1)において、Eは梁部のヤング率、ρは梁部の密度、tは梁部の厚さを表している。
MEMS振動子100によれば、梁部34は、支持部32から先端34aに向かうにつれて、Wが漸次変化する形状であることができる。すなわち、支持部32から先端34aに向かう途中で、同じ幅が続く区間をなくすことができ、支持部32から先端34aに向かって、幅Wを連続的に変化させることができる。そのため、梁部の振動によって、梁部の折れ曲がりが発生することを抑制できる。
MEMS振動子100によれば、梁部34は、支持部32から先端34aに向かうA方向に沿う第1直線V1に関して、対称であることができる。これにより、梁部34は、安定して振動することができる。
2. MEMS振動子の製造方法
次に、本実施形態に係るMEMS振動子の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図3〜図5は、本実施形態に係るMEMS振動子100の製造工程を模式的に示す断面図である。
次に、本実施形態に係るMEMS振動子の製造方法について、図面を参照しながら説明する。図3〜図5は、本実施形態に係るMEMS振動子100の製造工程を模式的に示す断面図である。
図3に示すように、支持基板12上に、第1下地層14および第2下地層16をこの順で形成して、基板10を得る。第1下地層14は、例えば、STI(shallow trench isolation)法、LOCOS法により形成される。第2下地層16は、例えば、CVD(Chemical Vapor Deposition)法、スパッタ法により形成される。
次に、基板10上に、第1電極20を形成する。より具体的には、第1電極20は、CVD法やスパッタ法などによって成膜された後、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によるパターニングによって形成される。第1電極20が多結晶シリコンからなる場合は、導電性を付与するために所定の不純物をドーピングする。
図4に示すように、第1電極20を覆うように犠牲層40を形成する。犠牲層40は、例えば、第1電極20を熱酸化することにより形成される。犠牲層40の材質としては、例えば、酸化シリコンを挙げることができる。
図5に示すように、犠牲層40および基板10上に、第2電極30を形成する。より具体的には、第2電極30は、CVD法やスパッタ法などによって成膜された後、フォトリソグラフィー技術およびエッチング技術によるパターニングによって形成される。第2電極30が多結晶シリコンからなる場合、導電性を付与するために所定の不純物をドーピングする。
図1に示すように、犠牲層40を除去する(リリース工程)。犠牲層40の除去は、例えば、フッ化水素酸や緩衝フッ酸(フッ化水素酸とフッ化アンモニウムとの混合液)などを用いたウェットエッチングより行われる。リリース工程において、第2下地層16は、エッチングストッパー層として機能することができる。
以上の工程により、MEMS振動子100を製造することができる。
MEMS振動子100の製造方法によれば、上述のとおり、安定した振動特性を有するMEMS振動子100を得ることができる。
3. MEMS振動子の変形例
次に、本実施形態の変形例に係るMEMS振動子について、図面を参照しながら説明する。以下、本実施形態の変形例に係るMEMS振動子において、本実施形態に係るMEMS振動子100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
次に、本実施形態の変形例に係るMEMS振動子について、図面を参照しながら説明する。以下、本実施形態の変形例に係るMEMS振動子において、本実施形態に係るMEMS振動子100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
3.1. 第1変形例に係るMEMS振動子
図6は、本実施形態の第1変形例に係るMEMS振動子200を模式的に示す平面図であって、図1に対応するものである。
図6は、本実施形態の第1変形例に係るMEMS振動子200を模式的に示す平面図であって、図1に対応するものである。
MEMS振動子100の例では、図1に示すように、梁部34の平面形状は、辺34b,34cの長さが等しい二等辺三角形であった。
これに対し、MEMS振動子200では、図6に示すように平面視において、第1円弧34dと、第2円弧34eと、を有する。第1円弧34dおよび第2円弧34eは、第1直線V1に対して対称に配置されている。第1円弧34dおよび第2円弧34eは、交点Rにおいて、接続されている。交点Rは、梁部34の先端34aをなすことができる。図示の例では、MEMS振動子200の梁部34の平面形状は、支持部32と梁部34との境界線Bと、境界線Bと接続する第1円弧34dと、境界線Bおよび第1円弧34dと接続する第2円弧34eと、によって構成されている。
第1円弧34dは、第1直線V1の一方側に位置している。第1円弧34dの中心O1は、第2直線V2上であって、第1直線V1の一方側に位置している。すなわち、中心O1から交点Rまでの距離と、中心O1から第1円弧34dと境界線Bとの交点Pまでの距離とは、等しい。なお、第2直線V2は、第1直線V1と直交し、交点Rを通る直線である。
第2円弧34eは、第1直線V1の他方側に位置している。第2円弧34eの中心O2は、第2直線V2上であって、第1直線V1の他方側に位置している。すなわち、中心O2から交点Rまでの距離と、中心O2から第2円弧34eと境界線Bとの交点Qまでの距離とは、等しい。
MEMS振動子200によれば、MEMS振動子100に比べて、さらに、梁部34の長さLの変化量に対する、周波数の変化量を小さくすることができる(詳細は後述)。その結果、MEMS振動子200は、より安定した振動特性を有することができる。
3.2. 第2変形例に係るMEMS振動子
図7は、本実施形態の第2変形例に係るMEMS振動子300を模式的に示す平面図であって、図1に対応するものである。
図7は、本実施形態の第2変形例に係るMEMS振動子300を模式的に示す平面図であって、図1に対応するものである。
MEMS振動子300の平面形状は、図7に示すように、台形である。MEMS振動子300では、先端34aは、辺34bと辺34cとを接続する辺となる。
MEMS振動子300によれば、例えばMEMS振動子100に比べて、梁部34の長さを一定とした場合に、梁部34の面積を大きくすることができる。そのため、電極20,30間に大きな静電力を発生させることができ、梁部34を振動させやすくすることができる。
4. 発振器
次に、本実施形態に係る発振器について、図面を参照しながら説明する。図8は、本実施形態に係る発振器400を模式的に示す図である。
次に、本実施形態に係る発振器について、図面を参照しながら説明する。図8は、本実施形態に係る発振器400を模式的に示す図である。
発振器400は、図8に示すように、本発明に係るMEMS振動子(例えばMEMS振動子100)と、発振回路410と、を含む。
発振回路410は、MEMS振動子100と電気的に接続されている。発振回路410からMEMS振動子100の電極20,30間に電圧が印加されると、梁部34は、電極20,30間に発生する静電力により振動することができる。そして、発振回路410によって、MEMS振動子100は、共振周波数で発振することができる。
発振回路410を構成するトランジスターやキャパシター(図示せず)等は、例えば、支持基板12上に形成されていてもよい。これにより、MEMS振動子100と発振回路410をモノリシックに形成することができる。
MEMS振動子100と発振回路410をモノリシックに形成する場合、発振回路410を構成するトランジスター等の部材を、上述したMEMS振動子100を形成する工程と同一の工程で形成してもよい。具体的には、犠牲層40を形成する工程において(図4参照)、トランジスターのゲート絶縁層を形成してもよい。さらに、第2電極30を形成する工程において(図5参照)、トランジスターのゲート電極を形成してもよい。このように、MEMS振動子100と発振回路410との製造工程を共通化することで、製造工程の簡素化を図ることができる。
発振器400によれば、本発明に係るMEMS振動子を含むので、安定した振動特性を有することができる。
5. 実験例
次に、本実施形態に係るMEMS振動子の実験例について、図面を参照しながら説明する。具体的には、本実施形態に係るMEMS振動子をモデル化したシミュレーションについて、説明する。シミュレーションは、I−DEAS(Siemens PLM Software社製)を用いて行った。
次に、本実施形態に係るMEMS振動子の実験例について、図面を参照しながら説明する。具体的には、本実施形態に係るMEMS振動子をモデル化したシミュレーションについて、説明する。シミュレーションは、I−DEAS(Siemens PLM Software社製)を用いて行った。
5.1. モデルの構成
図9(a)は、実施例1としてシミュレーションに用いたモデルを、模式的に示す平面図である。実施例1は、MEMS振動子100の第2電極30に対応している(図1参照)。図9(a)では、実施例1において、MEMS振動子100の第2電極30に対応する部分について、同一の符号を付している。
図9(a)は、実施例1としてシミュレーションに用いたモデルを、模式的に示す平面図である。実施例1は、MEMS振動子100の第2電極30に対応している(図1参照)。図9(a)では、実施例1において、MEMS振動子100の第2電極30に対応する部分について、同一の符号を付している。
実施例1の梁部34は、図9(a)に示すように、第1直線V1に対して対称であり、辺34bと辺34cとの長さが等しい二等辺三角形とした。梁部34の長さLを、先端34a(辺34b,34cがなす頂点)と、梁部34と支持部32との境界線Bと、の間の距離とした。
図9(b)は、実施例2としてシミュレーションに用いたモデルを、模式的に示す平面図である。実施例2は、MEMS振動子200の第2電極30に対応している(図6参照)。図9(b)では、実施例2において、MEMS振動子200の第2電極30に対応する部分について、同一の符号を付している。
実施例2の梁部34は、図9(b)に示すように、第1直線V1に対して対称であり、第1直線V1に対して一方側に位置する第1円弧34dと、第1直線V1に対して他方側に位置する第2円弧34eと、を有するものとした。円弧34dの中心O1は、第2直線V2上であって、第1直線V1に対して一方側に位置するものとした。円弧34eの中心O2は、第2直線V2上であって、第1直線V1に対して他方側に位置するものとした。梁部34の長さLを、先端34a(円弧34d,34eがなす交点)と、梁部34と支持部32との境界線Bと、の間の距離とした。
図9(c)は、比較例1としてシミュレーションに用いたモデルを、模式的に示す平面図である。
比較例1の梁部1034は、図9(c)に示すように、長方形である。梁部1034の長さLを、梁部1034の先端と、梁部1034と支持部1032との境界線Bと、の間の距離とした。
以上のような実施例1,2および比較例1において、長さLを変化させながら振動させたときの周波数fを測定した。なお、実施例1,2および比較例1において、支持部の幅W0(境界線Bの長さ)を4μmとし、厚みを270nmとし、ヤング率を123GPaとし、ポアソン比を0.22とし、密度を2230kg/cm3とした。
5.2. シミュレーション結果
図10は、シミュレーション結果を示すグラフである。図10より、実施例1は、比較例1に比べて、長さLの変化量に対する、周波数fの変化量が小さいことがわかった。同様に、実施例2は、比較例1および実施例1に比べて、長さLの変化量に対する、周波数fの変化量が小さいことがわかった。
図10は、シミュレーション結果を示すグラフである。図10より、実施例1は、比較例1に比べて、長さLの変化量に対する、周波数fの変化量が小さいことがわかった。同様に、実施例2は、比較例1および実施例1に比べて、長さLの変化量に対する、周波数fの変化量が小さいことがわかった。
すなわち、実施例1,2および比較例1の長さLを、例えば、周波数f=25MHzを得ることができる長さに設計したとする(図10参照)。その長さLからΔL(例えば0.5μm)ずれた場合、実施例1は、比較例1より周波数の変化量Δfが小さく、実施例2は、実施例1より周波数の変化量Δfが小さいことがわかった。したがって、実施例1,2は、比較例1に比べて、例えば、製造プロセスのばらつきによって長さLがばらついたとしても、周波数fのばらつきを小さくできることがわかった。
以上のことは、図10に示すように、周波数f=35MHzでも同様であり、周波数の値に関らず適用できる結果である。なお、図10における周波数f=35MHzの例では、ΔLを0.25μmとしている。
なお、上述した実施形態および変形例は一例であって、これらに限定されるわけではない。例えば、各実施形態および各変形例を適宜組み合わせることも可能である。
上記のように、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できよう。したがって、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれるものとする。
10 基板、12 支持基板、14 第1下地層、16 第2下地層、20 第1電極、
30 第2電極、32 支持部、34 梁部、40 犠牲層、100 MEMS振動子、
200 MEMS振動子、300 MEMS振動子、400 発振器、410 発振回路
30 第2電極、32 支持部、34 梁部、40 犠牲層、100 MEMS振動子、
200 MEMS振動子、300 MEMS振動子、400 発振器、410 発振回路
Claims (8)
- 基板と、
前記基板の上方に形成された第1電極と、
前記基板の上方に形成された支持部、および前記支持部に支持されており前記第1電極の上方に配置された梁部を有する第2電極と、
を含み、
平面視において、前記梁部は、前記第1電極と重なる領域で前記支持部から前記梁部の先端に向かう方向において、幅が単調減少する形状である、MEMS振動子。 - 請求項1において、
前記梁部は、前記支持部から前記梁部の先端に向かうにつれて、幅が漸次変化する形状である、MEMS振動子。 - 請求項1または2において、
前記梁部の平面形状は、前記支持部から前記先端に向かう方向に沿う第1直線に対して、対称である、MEMS振動子。 - 請求項3において、
前記梁部の平面形状は、二等辺三角形である、MEMS振動子。 - 請求項3において、
前記梁部は、平面視において、
前記第1直線に対して一方側に位置する第1円弧と、
前記第1円弧と接続し、前記第1直線に対して他方側に位置するする第2円弧と、
を有し、
前記第1円弧の中心は、
前記第1直線と直交し、前記第1円弧と前記第2円弧との交点を通る第2直線上であって、前記第1直線に対して前記一方側に位置し、
前記第2円弧の中心は、
前記第2直線上であって、前記第1直線に対して前記他方側に位置している、MEMS振動子。 - 請求項3において、
前記梁部の平面形状は、台形である、MEMS振動子。 - 請求項1ないし6のいずれか1項に記載のMEMS振動子を含む、発振器。
- 基板の上方に第1電極を形成する工程と、
前記第1電極を覆うように犠牲層を形成する工程と、
前記基板の上方に形成された支持部、および前記支持部に支持されており前記犠牲層を介して前記第1電極の上方に配置された梁部を有する第2電極を形成する工程と、
前記犠牲層を除去する工程と、
を含み、
前記第2電極を形成する工程では、
平面視において、前記梁部を、前記第1電極と重なる領域で前記支持部から前記梁部の先端に向かう方向において、幅が単調減少する形状に形成する、MEMS振動子の製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010276923A JP2012129605A (ja) | 2010-12-13 | 2010-12-13 | Mems振動子、発振器、およびmems振動子の製造方法 |
US13/307,336 US8587390B2 (en) | 2010-12-13 | 2011-11-30 | MEMS vibrator, oscillator, and method for manufacturing MEMS vibrator |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010276923A JP2012129605A (ja) | 2010-12-13 | 2010-12-13 | Mems振動子、発振器、およびmems振動子の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012129605A true JP2012129605A (ja) | 2012-07-05 |
Family
ID=46198761
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010276923A Withdrawn JP2012129605A (ja) | 2010-12-13 | 2010-12-13 | Mems振動子、発振器、およびmems振動子の製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8587390B2 (ja) |
JP (1) | JP2012129605A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2020524453A (ja) * | 2017-06-19 | 2020-08-13 | アールエフエイチアイシー コーポレイション | 体積弾性波フィルタ |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012209885A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Seiko Epson Corp | Mems振動子および発振器 |
JP2014033335A (ja) * | 2012-08-03 | 2014-02-20 | Seiko Epson Corp | Mems素子、電子機器、およびmems素子の製造方法 |
JP2014072876A (ja) | 2012-10-02 | 2014-04-21 | Seiko Epson Corp | Mems素子および発振器 |
US10211805B2 (en) | 2014-02-11 | 2019-02-19 | Agency For Science, Technology And Research | Micro-electromechanical resonators and methods of providing a reference frequency |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3087741B2 (ja) * | 1998-11-04 | 2000-09-11 | 日本電気株式会社 | マイクロマシンスイッチ |
EP1235244B1 (en) * | 1999-11-18 | 2006-03-01 | NEC Corporation | Micro machine switch |
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US6686820B1 (en) * | 2002-07-11 | 2004-02-03 | Intel Corporation | Microelectromechanical (MEMS) switching apparatus |
EP1585219A1 (en) | 2004-04-06 | 2005-10-12 | Seiko Epson Corporation | A micro-flap type nano/micro mechanical device and fabrication method thereof |
JP4438786B2 (ja) * | 2005-11-17 | 2010-03-24 | セイコーエプソン株式会社 | Mems振動子及びその製造方法 |
US8018117B2 (en) * | 2006-01-31 | 2011-09-13 | Tempronics, Inc. | Closely spaced electrodes with a uniform gap |
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JP2010162629A (ja) | 2009-01-14 | 2010-07-29 | Seiko Epson Corp | Memsデバイスの製造方法 |
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2010
- 2010-12-13 JP JP2010276923A patent/JP2012129605A/ja not_active Withdrawn
-
2011
- 2011-11-30 US US13/307,336 patent/US8587390B2/en not_active Expired - Fee Related
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8587390B2 (en) | 2013-11-19 |
US20120146736A1 (en) | 2012-06-14 |
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