JP2012129273A5 - 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子及び圧電センサー - Google Patents
液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子及び圧電センサー Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012129273A5 JP2012129273A5 JP2010277760A JP2010277760A JP2012129273A5 JP 2012129273 A5 JP2012129273 A5 JP 2012129273A5 JP 2010277760 A JP2010277760 A JP 2010277760A JP 2010277760 A JP2010277760 A JP 2010277760A JP 2012129273 A5 JP2012129273 A5 JP 2012129273A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- piezoelectric
- liquid jet
- oxide
- intermediate layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Claims (7)
- 酸化シリコン層と、
前記酸化シリコン層の上に形成された中間層と、
前記中間層の上に形成された第1電極と、
前記中間層の上に形成された圧電体層と、
前記圧電体層の上に形成された第2電極と、
ノズル孔に連通する圧力発生室と、を含み、
前記圧電体層は、ペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、前記複合酸化物は、少なくともビスマスおよび鉄を含み、
前記中間層は、酸化マグネシウムおよび/または酸化アルミニウムを含む、液体噴射ヘッド。 - 請求項1において、
前記圧電体層は、前記中間層および前記第1電極の上に形成される、液体噴射ヘッド。 - 請求項1または2において、
前記複合酸化物は、マンガン、およびチタンを更に含む、液体噴射ヘッド。 - 請求項3において、
前記複合酸化物は、カリウムを更に含む、液体噴射ヘッド。 - 請求項1から4のいずれか1項に記載の液体噴射ヘッドを有する、液体噴射装置。
- 酸化シリコン層と、
前記酸化シリコン層の上に形成された中間層と、
前記中間層の上に形成された第1電極と、
前記中間層の上に形成された圧電体層と、
前記圧電体層の上に形成された第2電極と、を含み、
前記圧電体層は、ペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、前記複合酸化物は、少なくともビスマスおよび鉄を含み、
前記中間層は、酸化マグネシウムおよび/または酸化アルミニウムを含む、圧電素子。 - 請求項6に記載の圧電素子を具備することを特徴とする圧電センサー。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010277760A JP5828368B2 (ja) | 2010-12-14 | 2010-12-14 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子及び圧電センサー |
US13/323,673 US8714713B2 (en) | 2010-12-14 | 2011-12-12 | Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, and piezoelectric element |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010277760A JP5828368B2 (ja) | 2010-12-14 | 2010-12-14 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子及び圧電センサー |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012129273A JP2012129273A (ja) | 2012-07-05 |
JP2012129273A5 true JP2012129273A5 (ja) | 2014-01-30 |
JP5828368B2 JP5828368B2 (ja) | 2015-12-02 |
Family
ID=46198952
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010277760A Expired - Fee Related JP5828368B2 (ja) | 2010-12-14 | 2010-12-14 | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子及び圧電センサー |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8714713B2 (ja) |
JP (1) | JP5828368B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012215518A (ja) * | 2011-04-01 | 2012-11-08 | Rohm Co Ltd | 圧電薄膜構造および角速度検出装置 |
US11289642B2 (en) | 2017-09-06 | 2022-03-29 | Rohm Co., Ltd. | Piezoelectric element |
GB2576194A (en) * | 2018-08-08 | 2020-02-12 | Xaar Technology Ltd | Electrical component comprising a lead-free thin film ceramic member and an alumina barrier layer |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4178888B2 (ja) * | 2002-09-04 | 2008-11-12 | セイコーエプソン株式会社 | 強誘電体デバイスの作製方法、およびそれを用いた強誘電体メモリ、圧電素子、インクジェット式ヘッドおよびインクジェットプリンタ |
JP4062511B2 (ja) * | 2002-11-28 | 2008-03-19 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電体デバイス及び強誘電体デバイスの製造方法 |
US7141915B2 (en) * | 2003-07-22 | 2006-11-28 | Ngk Insulators, Ltd. | Actuator device |
JP2005166912A (ja) * | 2003-12-02 | 2005-06-23 | Seiko Epson Corp | 強誘電体薄膜の製造方法、強誘電体メモリ素子、圧電体素子、インクジェット式記録ヘッド、インクジェットプリンター、表面弾性波素子、周波数フィルタ、発振器、電子回路、及び電子機器 |
JP5024858B2 (ja) * | 2006-06-09 | 2012-09-12 | Necトーキン株式会社 | 圧電アクチュエータ |
JP5094334B2 (ja) * | 2006-12-25 | 2012-12-12 | 京セラ株式会社 | 圧電磁器および圧電素子 |
JP4314498B2 (ja) | 2007-02-28 | 2009-08-19 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電素子、液体噴射ヘッド、およびプリンタ |
JP2008311634A (ja) * | 2007-05-14 | 2008-12-25 | Fujifilm Corp | 圧電素子及びその駆動方法、圧電装置、液体吐出装置 |
JP5344120B2 (ja) * | 2007-07-05 | 2013-11-20 | セイコーエプソン株式会社 | アクチュエータ装置及びその製造方法並びに液体噴射ヘッド |
DE102007046449A1 (de) * | 2007-09-28 | 2009-04-09 | Siemens Ag | Bleifreier piezokeramischer Werkstoff des Kalium-Natrium-Niobat-Systems mit Mangan-Dotierung, Verfahren zum Herstellen eines Bauteils mit dem piezokeramischen Werkstoff und Verwendung des Bauteils |
JP4775772B2 (ja) * | 2008-04-01 | 2011-09-21 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電材料および圧電素子 |
-
2010
- 2010-12-14 JP JP2010277760A patent/JP5828368B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-12-12 US US13/323,673 patent/US8714713B2/en not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2013158909A5 (ja) | ||
JP2011205067A5 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波センサー及び赤外センサー | |
JP2015116696A5 (ja) | ||
JP2013226818A5 (ja) | 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、超音波デバイス、フィルター及びセンサー並びに圧電素子の製造方法 | |
JP2014166728A5 (ja) | 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び超音波センサー | |
JP2012121273A5 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波デバイス及びirセンサー | |
EP2463925A3 (en) | Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus, piezoelectric element, and piezoelectric ceramic | |
JP2011211141A5 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子並びに超音波デバイス | |
JP2008091877A5 (ja) | ||
WO2008105382A1 (ja) | 積層型圧電素子 | |
EP2364852A3 (en) | Liquid ejecting head, liquid ejecting apparatus using the same, and piezoelectric element | |
JP2011056913A5 (ja) | ||
JP2009279830A5 (ja) | ||
JP2012129273A5 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子及び圧電センサー | |
JP2013099916A5 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、圧電セラミックス、アクチュエーター、およびセンサー | |
JP2013111807A5 (ja) | ||
JP2013098370A5 (ja) | 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置、超音波デバイス、並びにセンサー | |
JP2011205066A5 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波センサー及び赤外センサー | |
EP2363902A3 (en) | Liquid ejection head, liquid ejection device, and piezoelectric element | |
JP2012151308A5 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、超音波センサー及び赤外線センサー | |
JP2010047025A5 (ja) | ||
JP2012104658A5 (ja) | ||
JP2009033148A5 (ja) | ||
JP2011207204A5 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子及び焦電センサー | |
JP2012124354A5 (ja) | 液体噴射ヘッド、液体噴射装置、圧電素子、赤外線センサー及び超音波センサー |