JP2012127869A - 絶縁被膜プローブピン及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶縁被膜12を形成する電着材料を含む電着液L内に電極22を浸すと共に、プローブピン11をその検出端側11aが上方を向くように垂直に挿入し、電極22とプローブピン11とに通電する電圧を調整することで、絶縁被膜12における検出端側12aの形状を全周に渡り上方に向かって先細となるテーパ形状から端部の断面が直角となる形状又は端部が他の領域よりも膨らむ形状まで希望の形状に形成する。
【選択図】図5
Description
導電体よりなるプローブピンと、該プローブピンの検出端側の部分が露出するように該プローブピンの外周を被覆する絶縁被膜と、を備えた絶縁被膜プローブピンの製造方法を対象とし、
上記製造方法では、まず、上記絶縁被膜を形成する電着材料を含む電着液内に電極を浸すと共に、上記プローブピンを該プローブピンの検出端側が上方を向くように垂直に挿入し、
上記電極と上記プローブピンとに通電する電圧を調整することで、
上記絶縁被膜におけるプローブピンの検出端側の形状を全周に渡り上方に向かって先細となるテーパ形状から端部の断面が直角となる形状又は端部が他の領域よりも膨らむ形状まで希望の形状に形成する構成とする。
上記クローン効率を120μm/C以上220μm/C以下とし、
上記検出端側の端部の断面が略直角となるように、上記絶縁被膜を形成する。
上記電着液の粘度を5mPa・s以上8mPa・s以下とする。
上記電着液の温度を15℃以上30℃以下とする。
上記絶縁被膜は、剥離処理を伴わずに電着材料を含んだ電着液で電着処理を行うことにより、上記検出端側の端部が全周に渡って断面が略直角に形成されている。
上記絶縁被膜は、剥離処理を伴わずに電着材料を含んだ電着液で電着処理を行うことにより、上記検出端側の端部が全周に渡って接続端側の端部よりも厚肉に形成されている。
図2及び図3に本実施形態に係る絶縁被膜プローブピン10を示し、この絶縁被膜プローブピン10は、例えば回路基板や半導体素子等を検査する際に用いられるプローバに取り付けられる部品である。
次いで、本実施形態に係る絶縁被膜プローブピン10の用途について説明する。詳しくは図示しないが、例えば図4に示すように、絶縁被膜プローブピン10の検出端側の絶縁被膜12が設けられていない露出した部分が、電気的特性測定用の配線パターンが形成された基板Sのプローブ孔Hから突出及び没入し、突出する際に絶縁被膜12の端部12aがプローブ孔Hの周縁に係止される。プローブピン11の接続端側11bが配線パターンに接続され、さらにテスタに接続される。可動テーブル上に載置された検査対象のウエハ等に形成された半導体集積回路BのパッドPにプローブピン11の検出端側11aを接触させて、電気的特性の測定を行う。
次に、本実施形態に係る絶縁被膜プローブピン10の製造方法の一例について図面を用いて説明する。
11 プローブピン
11a 検出端側
11b 接続端側
12 絶縁被膜
12a 端部
12b 端部
20 電着塗装装置
21 電着バス
22 電極
23 電源部
L 電着液
Claims (6)
- 導電体よりなるプローブピンと、該プローブピンの検出端側の部分が露出するように該プローブピンの外周を被覆する絶縁被膜と、を備えた絶縁被膜プローブピンの製造方法であって、
上記絶縁被膜を形成する電着材料を含む電着液内に電極を浸すと共に、上記プローブピンを該プローブピンの検出端側が上方を向くように垂直に挿入し、
上記電極と上記プローブピンとに通電する電圧を調整することで、
上記絶縁被膜におけるプローブピンの検出端側の形状を全周に渡り上方に向かって先細となるテーパ形状から端部の断面が直角となる形状又は端部が他の領域よりも膨らむ形状まで希望の形状に形成する
ことを特徴とする絶縁被膜プローブピンの製造方法。 - 請求項1に記載された絶縁被膜プローブピンの製造方法において、
上記クローン効率を120μm/C以上220μm/C以下とし、
上記検出端側の端部の断面が略直角となるように、上記絶縁被膜を形成する
ことを特徴とする絶縁被膜プローブピンの製造方法。 - 請求項2に記載された絶縁被膜プローブピンの製造方法において、
上記電着液の粘度を5mPa・s以上8mPa・s以下とする
ことを特徴とする絶縁被膜プローブピンの製造方法。 - 請求項3に記載された絶縁被膜プローブピンの製造方法において、
上記電着液の温度を15℃以上30℃以下とする
ことを特徴とする絶縁被膜プローブピンの製造方法。 - 導電体よりなるプローブピンと、該プローブピンの検出端側の部分が露出するように該プローブピンの外周を被覆する絶縁被膜と、を備えた絶縁被膜プローブピンであって、
上記絶縁被膜は、剥離処理を伴わずに電着材料を含んだ電着液で電着処理を行うことにより、上記検出端側の端部が全周に渡って断面が略直角に形成されている
ことを特徴とする絶縁被膜プローブピン。 - 導電体よりなるプローブピンと、該プローブピンの検出端側の部分が露出するように該プローブピンの外周を被覆する絶縁被膜と、を備えた絶縁被膜プローブピンであって、
上記絶縁被膜は、剥離処理を伴わずに電着材料を含んだ電着液で電着処理を行うことにより、上記検出端側の端部が全周に渡って接続端側の端部よりも厚肉に形成されている
ことを特徴とする絶縁被膜プローブピン。
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