JP2012123710A - Design support device for semiconductor device, capacitor arrangement method and program - Google Patents

Design support device for semiconductor device, capacitor arrangement method and program Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To solve the problem that a capacitor corresponding to the frequency characteristics of a circuit is not appropriately arranged, and that it is difficult to design a semiconductor device which is high in power supply noise resistance, and that it is necessary to insert much more capacitor cells in order to satisfy a necessary capacity.SOLUTION: A design support device 1 of a semiconductor device includes: a load capacity value calculation part 103 for, on the basis of arrangement/wiring information 201 of an LSI and delay library information 202 comprising the delay element of the LSI, calculating the load capacity value of each logical cell arranged in the LSI; and a decoupling capacitor arrangement part 104 for, on the basis of the load capacity value calculated by the load capacity value calculation part 103, determining the frequency band of each logical cell, and for arranging a capacitor having frequency characteristics corresponding to the determination result in the empty area of the peripheral section of the logical cell as the object of the arrangement of the capacitor.

Description

本発明は、半導体装置の設計支援装置及びキャパシタ配置方法、並びにこのキャパシタ配置方法を実現するためのプログラムに関する。   The present invention relates to a design support apparatus for a semiconductor device, a capacitor arrangement method, and a program for realizing the capacitor arrangement method.

微細プロセスで高速動作するLSI(Large Scale Integrated)の設計を行う場合、オンチップデカップリングキャパシタを電源ラインに配置する技術が知られている。オンチップデカップリングキャパシタは、キャパシタが持つ充放電機能を利用し、LSIの電源端子を結ぶ配線である電源ラインに発生するノイズ(電圧変動)を吸収するために、電源ラインに配置されるキャパシタである。   When designing an LSI (Large Scale Integrated) that operates at a high speed in a fine process, a technique of arranging an on-chip decoupling capacitor in a power supply line is known. An on-chip decoupling capacitor is a capacitor placed on a power supply line to absorb noise (voltage fluctuation) generated in the power supply line, which is a wiring connecting LSI power supply terminals, using the charge / discharge function of the capacitor. is there.

この種のキャパシタの配置方法としては、例えば、特許文献1に記載されているものがある。特許文献1に記載されたキャパシタの配置方法では、指定された周波数特性及び配置エリアの組み合わせごとに周波数特性の異なるキャパシタセルを配置している。   As an arrangement method of this type of capacitor, for example, there is one described in Patent Document 1. In the capacitor arrangement method described in Patent Document 1, capacitor cells having different frequency characteristics are arranged for each combination of designated frequency characteristics and arrangement areas.

特開2010−93110号公報JP 2010-93110 A

しかしながら、特許文献1に記載されたキャパシタの配置方法では、同一配置エリア内に複数の周波数特性を持つ回路が混在している場合において、周波数帯域(=ノイズ感度)の高いキャパシタを選択して挿入するなど、必ずしも回路の周波数特性に応じたキャパシタが適切に配置されず、電源ノイズ耐性の高い半導体装置を設計することが困難であった。   However, in the capacitor arrangement method described in Patent Document 1, when a circuit having a plurality of frequency characteristics is mixed in the same arrangement area, a capacitor having a high frequency band (= noise sensitivity) is selected and inserted. For example, a capacitor according to the frequency characteristics of the circuit is not always properly arranged, and it is difficult to design a semiconductor device having high power noise resistance.

また、一般に周波数帯域の高いキャパシタは低いキャパシタに比べ単位面積当たりの容量値が低いため、必要な容量を満たすためにより多くのキャパシタセルを挿入する必要があった。   In general, a capacitor having a high frequency band has a lower capacitance value per unit area than a capacitor having a low frequency band, so that it is necessary to insert more capacitor cells in order to satisfy a required capacity.

本発明の目的は、上述した課題を解決する半導体装置の設計支援装置、キャパシタ配置方法及びプログラムを提供することにある。   An object of the present invention is to provide a semiconductor device design support device, a capacitor placement method, and a program that solve the above-described problems.

上述した課題を解決するために、本発明の一態様による半導体装置の設計支援装置は、半導体装置のレイアウト情報、及び前記半導体装置の遅延要素から成る遅延ライブラリ情報に基づき、前記半導体装置内に配置されている各論理セルの負荷容量値をそれぞれ算出する負荷容量値算出部と、前記負荷容量値算出部で算出された負荷容量値に基づいて、前記各論理セルの周波数帯域をそれぞれ判定し、キャパシタを配置する対象となる論理セルの周辺部の空き領域に、当該判定結果に対応した周波数特性を有するキャパシタを配置するキャパシタ配置部とを備えたことを特徴とする。   In order to solve the above-described problem, a design support apparatus for a semiconductor device according to an aspect of the present invention is arranged in the semiconductor device based on layout information of the semiconductor device and delay library information including delay elements of the semiconductor device. A load capacity value calculating unit for calculating a load capacity value of each logic cell, and a load capacity value calculated by the load capacity value calculating unit, respectively, determining a frequency band of each logic cell, And a capacitor placement section for placing a capacitor having a frequency characteristic corresponding to the determination result in an empty area in a peripheral portion of a logic cell to be placed as a capacitor.

また、本発明の一態様によるキャパシタ配置方法は、半導体装置のレイアウト情報、及び前記半導体装置の遅延要素から成る遅延ライブラリ情報に基づき、前記半導体装置内に配置されている各論理セルの負荷容量値をそれぞれ算出する負荷容量値算出ステップと、前記負荷容量値算出ステップで算出された負荷容量値に基づいて、前記各論理セルの周波数帯域をそれぞれ判定し、キャパシタを配置する対象となる論理セルの周辺部の空き領域に、当該判定結果に対応した周波数特性を有するキャパシタを配置するキャパシタ配置ステップとを備えたことを特徴とする。   The capacitor placement method according to one aspect of the present invention provides a load capacitance value of each logic cell placed in the semiconductor device based on layout information of the semiconductor device and delay library information including delay elements of the semiconductor device. A load capacity value calculating step for calculating each of the logic cells, and determining a frequency band of each of the logic cells based on the load capacity value calculated in the load capacity value calculating step. A capacitor disposing step of disposing a capacitor having a frequency characteristic corresponding to the determination result in an empty area in the peripheral portion.

また、本発明の一態様によるプログラムは、半導体装置のレイアウト情報、及び前記半導体装置の遅延要素から成る遅延ライブラリ情報に基づき、前記半導体装置内に配置されている各論理セルの負荷容量値をそれぞれ算出する負荷容量値算出手順と、前記負荷容量値算出手順で算出された負荷容量値に基づいて、前記各論理セルの周波数帯域をそれぞれ判定し、キャパシタを配置する対象となる論理セルの周辺部の空き領域に、当該判定結果に対応した周波数特性を有するキャパシタを配置するキャパシタ配置手順とをコンピュータに実行させるためのプログラムである。   Further, the program according to one aspect of the present invention sets the load capacitance value of each logic cell arranged in the semiconductor device based on layout information of the semiconductor device and delay library information including delay elements of the semiconductor device. A load capacity value calculation procedure to be calculated, and a frequency band of each of the logic cells based on the load capacity value calculated in the load capacity value calculation procedure, and a peripheral portion of the logic cell to which a capacitor is to be placed This is a program for causing a computer to execute a capacitor placement procedure for placing a capacitor having a frequency characteristic corresponding to the determination result in the empty space.

本発明によれば、ノイズの周波数帯域に適したキャパシタを配置することができ、電源ノイズ耐性の高い半導体装置を設計することが可能になる。また、配置するキャパシタ数の増加を抑制することができる。   According to the present invention, it is possible to arrange a capacitor suitable for the frequency band of noise, and it is possible to design a semiconductor device with high power noise resistance. In addition, an increase in the number of capacitors to be arranged can be suppressed.

第1の実施形態に係る半導体装置の設計支援装置の構成ブロック図である。1 is a configuration block diagram of a design support apparatus for a semiconductor device according to a first embodiment. 配置配線情報の内容例を示す簡略図である。It is a simplified diagram showing an example of the contents of the placement and routing information. 各セル間に接続されるネットの配線長情報の一例を示す表形式図である。It is a table format figure which shows an example of the wiring length information of the net connected between each cell. 遅延ライブラリ情報の内容例を示す表形式図である。It is a table format figure which shows the example of the content of delay library information. 設計規則情報の内容例を示す表形式図である。It is a table format figure which shows the example of the content of design rule information. デカップリングキャパシタセルの物理情報を示す模式図である。It is a schematic diagram which shows the physical information of a decoupling capacitor cell. 第1の実施形態の全体の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the whole operation | movement of 1st Embodiment. キャパシタ配置処理の詳細を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the detail of a capacitor arrangement | positioning process. キャパシタ配置処理を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating a capacitor arrangement | positioning process. キャパシタ配置処理を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating a capacitor arrangement | positioning process. キャパシタ配置処理を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating a capacitor arrangement | positioning process. キャパシタ配置処理を説明するための説明図である。It is explanatory drawing for demonstrating a capacitor arrangement | positioning process. 第2の実施形態に係る半導体装置の設計支援装置の構成ブロック図である。It is a block diagram of the configuration of a semiconductor device design support apparatus according to a second embodiment. 第2の実施形態の動作を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows operation | movement of 2nd Embodiment. 論理ゲートのスイッチング時の電圧波形と電流波形を示すグラフである。It is a graph which shows the voltage waveform and current waveform at the time of switching of a logic gate. デカップリングキャパシタの周波数特性等の一例を示す表形式図である。It is a table format figure showing an example of the frequency characteristic etc. of a decoupling capacitor.

以下、本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。
[第1の実施形態]
図1は、本発明の第1の実施形態に係る半導体装置の設計支援装置1の概略構成を示すブロック図である。
この図において、半導体装置の設計支援装置1(以下、設計支援装置という)は、配置配線情報/各種ライブラリ情報入力部101と、設計規則入力部102と、負荷容量値算出部103と、デカップリングキャパシタ配置部104と、レイアウト情報出力部105と、制御部106と、メモリ200とを備えている。また、配置配線情報/各種ライブラリ情報入力部101と、設計規則入力部102と、負荷容量値算出部103と、デカップリングキャパシタ配置部104と、レイアウト情報出力部105との各部がバスを介してメモリ200に接続されている。そして、制御部106が、配置配線情報/各種ライブラリ情報入力部101、設計規則入力部102、負荷容量値算出部103、デカップリングキャパシタ配置部104、及びレイアウト情報出力部105の各部の処理を制御する。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
[First Embodiment]
FIG. 1 is a block diagram showing a schematic configuration of a semiconductor device design support apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention.
In this figure, a semiconductor device design support apparatus 1 (hereinafter referred to as a design support apparatus) includes a placement and routing information / various library information input unit 101, a design rule input unit 102, a load capacitance value calculation unit 103, and a decoupling. The capacitor arrangement unit 104, the layout information output unit 105, the control unit 106, and the memory 200 are provided. Also, the arrangement / wiring information / various library information input unit 101, the design rule input unit 102, the load capacitance value calculation unit 103, the decoupling capacitor arrangement unit 104, and the layout information output unit 105 are connected via a bus. It is connected to the memory 200. Then, the control unit 106 controls processing of each unit of the placement and routing information / various library information input unit 101, the design rule input unit 102, the load capacitance value calculation unit 103, the decoupling capacitor placement unit 104, and the layout information output unit 105. To do.

配置配線情報/各種ライブラリ情報入力部101は、LSI(半導体装置と呼ぶこともある)のレイアウトを行う際に必要な情報として、配置配線情報201(レイアウト情報と呼ぶこともある)、及び遅延ライブラリ情報202が入力され、メモリ200に記憶させる。ここで、配置配線情報201及び遅延ライブラリ情報202には、負荷容量値算出部103によって参照される内容が含まれており、配置配線情報201の内容については図2及び図3を参照し、遅延ライブラリ情報202の内容については図4を参照して、後述する。   The placement and routing information / various library information input unit 101 includes placement and routing information 201 (also referred to as layout information) and a delay library as information necessary for layout of an LSI (also referred to as a semiconductor device). Information 202 is input and stored in the memory 200. Here, the placement and routing information 201 and the delay library information 202 include contents referred to by the load capacitance value calculation unit 103. For the contents of the placement and routing information 201, refer to FIG. 2 and FIG. The contents of the library information 202 will be described later with reference to FIG.

設計規則入力部102は、LSIレイアウト中にデカップリングキャパシタセルを配置するための設計規則情報203が入力され、メモリ200に記憶させる。ここで、設計規則情報203は、デカップリングキャパシタ配置部104で参照する情報が記載され、その内容については図5及び図6を参照して、後述する。   The design rule input unit 102 receives design rule information 203 for placing decoupling capacitor cells in the LSI layout and stores the design rule information 203 in the memory 200. Here, the design rule information 203 describes information to be referred to by the decoupling capacitor placement unit 104, and the contents thereof will be described later with reference to FIGS.

負荷容量値算出部103は、配置配線情報201(LSIのレイアウト情報)、及びLSIの遅延要素から成る遅延ライブラリ情報202に基づき、LSI内に配置されている各論理セル(以下、単にセルと呼ぶこともある)の負荷容量値をそれぞれ算出する。すなわち、負荷容量値算出部103は、メモリ200に記憶された配置配線情報201と遅延ライブラリ情報202を参照して各セルの負荷容量値を求める。
なお、LSIの遅延要素とは、例えば、論理セルの入力端子容量、論理セルの出力能力(ドライブ能力)、配線容量などである。
The load capacitance value calculation unit 103 is based on the placement and routing information 201 (LSI layout information) and the delay library information 202 including the delay elements of the LSI, and each logical cell (hereinafter simply referred to as a cell) placed in the LSI. The load capacity value is calculated. That is, the load capacity value calculation unit 103 refers to the placement and routing information 201 and the delay library information 202 stored in the memory 200 to obtain the load capacity value of each cell.
Note that LSI delay elements include, for example, the input terminal capacitance of a logic cell, the output capability (drive capability) of the logic cell, and the wiring capacitance.

キャパシタ配置部、つまり、デカップリングキャパシタ配置部104は、負荷容量値算出部103で算出された負荷容量値に基づいて、各論理セルの周波数帯域をそれぞれ判定し、その判定結果に対応した周波数特性を有するデカップリングキャパシタを、対象となる論理セルの周辺部の空き領域に配置する。すなわち、デカップリングキャパシタ配置部104は、負荷容量値算出部103によって算出した各セルの負荷容量値に基づき、メモリ200に記憶された配置配線情報201におけるLSIレイアウトの空き領域にデカップリングキャパシタを配置して配置配線情報201を更新(変更)する、ここで、対象となる論理セルとは、デカップリングキャパシタを配置する対象となる論理セルのことである。   The capacitor arrangement unit, that is, the decoupling capacitor arrangement unit 104 determines the frequency band of each logic cell based on the load capacitance value calculated by the load capacitance value calculation unit 103, and the frequency characteristic corresponding to the determination result Is disposed in a free area in the periphery of the target logic cell. That is, the decoupling capacitor placement unit 104 places the decoupling capacitor in an empty area of the LSI layout in the placement and routing information 201 stored in the memory 200 based on the load capacitance value of each cell calculated by the load capacitance value calculation unit 103. Then, the placement and routing information 201 is updated (changed). Here, the target logic cell is a logic cell to which the decoupling capacitor is to be placed.

また、デカップリングキャパシタ配置部104は、領域設定部104aとキャパシタ配置実行部104bとを備えている。
領域設定部104aは、上述の各論理セルの周波数帯域をそれぞれ判定する判定結果に基づいて、対応する周波数特性を有するデカップリングキャパシタを配置する対象となる論理セルを選定し、対象となる論理セルの位置に基づいた領域を設定する。
キャパシタ配置実行部104bは、領域設定部104aで設定された領域の空き部分に、上述の判定結果に対応する周波数特性を有するデカップリングキャパシタを配置する。また、キャパシタ配置実行部104bは、上述の領域以外の領域の空き部分に、上述の領域の空き部分に配置したデカップリングキャパシタとは周波数特性が異なるデカップリングキャパシタを配置する。すなわち、キャパシタ配置実行部104bは、例えば、領域設定部104aで設定された領域の空き部分に高周波用のデカップリングキャパシタを配置し、上述の領域以外の領域の空き部分に低周波用のデカップリングキャパシタを配置する。
The decoupling capacitor placement unit 104 includes a region setting unit 104a and a capacitor placement execution unit 104b.
The region setting unit 104a selects a target logic cell to place a decoupling capacitor having a corresponding frequency characteristic based on the determination result for determining the frequency band of each of the logic cells, and sets the target logic cell. An area based on the position of is set.
The capacitor placement execution unit 104b places a decoupling capacitor having a frequency characteristic corresponding to the above-described determination result in an empty portion of the region set by the region setting unit 104a. In addition, the capacitor placement execution unit 104b places a decoupling capacitor having a frequency characteristic different from that of the decoupling capacitor placed in the empty portion of the above-described region in the empty portion other than the above-described region. That is, for example, the capacitor placement execution unit 104b places a high-frequency decoupling capacitor in a vacant part of the region set by the region setting unit 104a, and decouples for low frequency in a vacant part of the region other than the region described above. Place the capacitor.

レイアウト情報出力部105は、デカップリングキャパシタ配置部104により更新された配置配線情報201を画面等に出力する。   The layout information output unit 105 outputs the placement and routing information 201 updated by the decoupling capacitor placement unit 104 to a screen or the like.

次に、配置配線情報201、遅延ライブラリ情報202及び設計規則情報203の内容について説明する。
図2は、配置配線情報201の内容例を示す簡略図である。
図2に示すように、セルA〜Gと配線(ネット)N1〜N5が、入力端子IA1〜IG1、出力端子OA1〜OG1を経由して接続されている。尚、この図2の例は、当該発明の説明に必要な要素のみを簡略化して表示しているものであり、実際のLSIレイアウトの構造をそのまま表しているものではなく、図示した構成要素以外のセルや端子、それら端子への配線も存在している。
Next, the contents of the placement and routing information 201, the delay library information 202, and the design rule information 203 will be described.
FIG. 2 is a simplified diagram showing an example of the contents of the placement and routing information 201.
As shown in FIG. 2, cells A to G and wirings (nets) N1 to N5 are connected via input terminals IA1 to IG1 and output terminals OA1 to OG1. In the example of FIG. 2, only elements necessary for the description of the invention are shown in a simplified manner, and the actual LSI layout structure is not shown as it is. There are also cells and terminals, and wiring to those terminals.

図3は、各セル間に接続されるネットの配線長情報の一例を示す表形式図である。この配線長情報は、配置配線情報201の1つとしてレイアウト完了後に確定する情報である。
図4(a)、(b)は、遅延ライブラリ情報202の内容例を示す表形式図であり、同図(a)は各セルの入力端子容量を示し、同図(b)はLSI内配線の単位長当たりの配線容量を示し、負荷容量値算出部103で参照する内容が含まれている。
FIG. 3 is a tabular diagram illustrating an example of wiring length information of nets connected between cells. This wiring length information is information that is determined as one of the placement and routing information 201 after the layout is completed.
4A and 4B are tabular views showing examples of contents of the delay library information 202. FIG. 4A shows the input terminal capacity of each cell, and FIG. , And the content referred to by the load capacitance value calculation unit 103 is included.

図5及び図6は、設計規則情報203の内容例を示す図である。
図5に示す例は、5種類のデカップリングキャパシタセルDH4、DH2、DH1、DL4、及びDL2について、対応する周波数特性(近傍に配置すべきセルの負荷容量値)とセルサイズを示し、図6に示す例は、デカップリングキャパシタセルDH4、DH2、DH1、DL4、及びDL2の物理情報を示している。
5 and 6 are diagrams showing examples of the contents of the design rule information 203. FIG.
The example shown in FIG. 5 shows the corresponding frequency characteristics (the load capacity value of the cell to be placed in the vicinity) and the cell size for the five types of decoupling capacitor cells DH4, DH2, DH1, DL4, and DL2. The example shown in FIG. 4 shows physical information of the decoupling capacitor cells DH4, DH2, DH1, DL4, and DL2.

次に、本実施形態の動作について、図7〜図12を参照して説明する。
図7は、本実施形態の全体の動作を示すフローチャートである。
まず、制御部106は、配置配線情報/各種ライブラリ情報入力部101を用いて、LSIレイアウトを行う際に必要な情報として配置配線情報201及び遅延ライブラリ情報202を入力させ、メモリ200に記憶させる(ステップS11)。
次に、制御部106は、設計規則入力部102を用いて、LSIレイアウト中にデカップリングキャパシタセルを配置するための設計規則情報203を入力させ、メモリ200に記憶させる。(ステップS12)。
Next, the operation of the present embodiment will be described with reference to FIGS.
FIG. 7 is a flowchart showing the overall operation of the present embodiment.
First, the control unit 106 uses the placement and routing information / various library information input unit 101 to input the placement and routing information 201 and the delay library information 202 as information necessary for LSI layout, and stores them in the memory 200 ( Step S11).
Next, the control unit 106 uses the design rule input unit 102 to input design rule information 203 for arranging decoupling capacitor cells in the LSI layout, and stores the design rule information 203 in the memory 200. (Step S12).

続いて、制御部106は、負荷容量値算出部103を用いて、メモリ200に記憶されている配置配線情報201と遅延ライブラリ情報202を参照して各セルの負荷容量値を求める(ステップS13)。この負荷容量値は、出力端子に繋がる配線の配線容量と接続先セルの入力端子容量との和で求めることができる。配線容量は単位長さ当たりの配線容量値(図4(a)参照)と配線長(図3参照)の積で計算され、入力端子容量は端子ごとに固有の値(図4(b)参照)を持つ。図2に示したLSIレイアウト内におけるセルでの計算例を示すと、セルAについて、出力端子OA1に繋がるネットN1の配線長は、図3を参照すると8であるため、配線容量は8×3=24となる。また、接続される端子IB1の入力端子容量は3であるため、負荷容量は24+3=27と計算される。同様の計算方法によって、セルB、セルC、セルD、セルEの負荷容量はそれぞれ9、12、32、23と計算される。   Subsequently, the control unit 106 uses the load capacitance value calculation unit 103 to obtain the load capacitance value of each cell with reference to the placement and routing information 201 and the delay library information 202 stored in the memory 200 (step S13). . This load capacitance value can be obtained by the sum of the wiring capacitance of the wiring connected to the output terminal and the input terminal capacitance of the connection destination cell. The wiring capacity is calculated by the product of the wiring capacity value per unit length (see FIG. 4A) and the wiring length (see FIG. 3), and the input terminal capacity is a unique value for each terminal (see FIG. 4B). )have. In the calculation example in the cell in the LSI layout shown in FIG. 2, the wiring length of the net N1 connected to the output terminal OA1 in the cell A is 8 referring to FIG. = 24. Further, since the input terminal capacitance of the connected terminal IB1 is 3, the load capacitance is calculated as 24 + 3 = 27. By the same calculation method, the load capacities of cell B, cell C, cell D, and cell E are calculated as 9, 12, 32, and 23, respectively.

次に、制御部106は、デカップリングキャパシタ配置部104を用いて、負荷容量値算出部103によって算出した各セルの負荷容量値に基づき、LSIレイアウトの空き領域、つまり配置配線情報201の空き領域にデカップリングキャパシタを配置して、配置配線情報201を更新(変更)する(ステップS14)。   Next, based on the load capacity value of each cell calculated by the load capacitance value calculation unit 103 using the decoupling capacitor arrangement unit 104, the control unit 106 uses an empty area of the LSI layout, that is, an empty area of the placement and routing information 201. A decoupling capacitor is placed on the board and the placement and routing information 201 is updated (changed) (step S14).

このキャパシタ配置処理においては、負荷容量値算出部103で計算された各セルの負荷容量値に対応したデカップリングキャパシタを、周波数特性の高いものから順にセルの近傍に配置して配置配線情報201を更新(変更)する。すなわち、本実施形態では、デカップリングキャパシタセルとして、周波数特性が異なる2種類を用意している。つまり第1のキャパシタとして高周波用のデカップリングキャパシタ、第2のキャパシタとして低周波用のデカップリングキャパシタの2種類を用意してあるものとする。すなわち、デカップリングキャパシタは、周波数特性の異なる複数種類(この例では、高周波用と低周波用の2種類)のデカップリングキャパシタに分類される。   In this capacitor placement processing, decoupling capacitors corresponding to the load capacitance value of each cell calculated by the load capacitance value calculation unit 103 are placed in the vicinity of the cell in descending order of frequency characteristics, and the placement / wiring information 201 is set. Update (change). That is, in this embodiment, two types of frequency characteristics with different decoupling capacitor cells are prepared. That is, two types of high-frequency decoupling capacitors are prepared as the first capacitor, and low-frequency decoupling capacitors are prepared as the second capacitor. That is, the decoupling capacitors are classified into a plurality of types of decoupling capacitors having different frequency characteristics (in this example, two types for high frequency and low frequency).

そして、デカップリングキャパシタ配置部104の領域設定部104aは、対象となる論理セルの位置に基づいた領域を設定する。また、デカップリングキャパシタ配置部104のキャパシタ配置実行部104bは、領域設定部104aで設定された領域の空き部分に高周波用のデカップリングキャパシタを配置し、上記の領域以外の領域の空き部分に低周波用のデカップリングキャパシタを配置する。   Then, the region setting unit 104a of the decoupling capacitor placement unit 104 sets a region based on the position of the target logic cell. In addition, the capacitor placement execution unit 104b of the decoupling capacitor placement unit 104 places a high frequency decoupling capacitor in an empty part of the region set by the region setting unit 104a, and lowers it in an empty part of the region other than the above region. A frequency decoupling capacitor is arranged.

以下、このキャパシタ配置処理について、図8を参照して詳細に説明する。
図8は、本実施形態におけるキャパシタ配置処理(図7のステップS14)の詳細を示すフローチャートである。
Hereinafter, the capacitor arrangement process will be described in detail with reference to FIG.
FIG. 8 is a flowchart showing details of the capacitor arrangement process (step S14 in FIG. 7) in the present embodiment.

はじめに、デカップリングキャパシタ配置部104は、メモリ200に記憶されている設計規則情報203を参照し、高周波用のデカップリングキャパシタDH4、DH2、DH1から配置を行う。具体的には、まず、デカップリングキャパシタ配置部104は、負荷容量値算出部103で算出された各論理セルの負荷容量値に基づいて、各論理セルの周波数帯域をそれぞれ判定し、キャパシタが配置される対象となるセルを選定する(ステップS21)。つまり、デカップリングキャパシタ配置部104は、負荷容量値算出部103で算出された各論理セルの負荷容量値に基づいて、各論理セルの周波数帯域をそれぞれ判定する。そして、デカップリングキャパシタ配置部104の領域設定部104aは、その判定結果に基づいて、デカップリングキャパシタを配置する対象となる論理セルを選定する。本例では、図5に示す設計規則情報203により、高周波用のデカップリングキャパシタの対象となるセルの負荷容量値は、20未満であることが判るので、セルB、セルCが対象となるセルとなる。   First, the decoupling capacitor placement unit 104 refers to the design rule information 203 stored in the memory 200 and performs placement from the high frequency decoupling capacitors DH4, DH2, and DH1. Specifically, first, the decoupling capacitor placement unit 104 determines the frequency band of each logic cell based on the load capacity value of each logic cell calculated by the load capacity value calculation unit 103, and the capacitor is placed. A cell to be processed is selected (step S21). That is, the decoupling capacitor arrangement unit 104 determines the frequency band of each logic cell based on the load capacity value of each logic cell calculated by the load capacitance value calculation unit 103. Then, the region setting unit 104a of the decoupling capacitor placement unit 104 selects a logic cell that is a target for placing the decoupling capacitor based on the determination result. In this example, the design rule information 203 shown in FIG. 5 indicates that the load capacity value of the cell that is the target of the high frequency decoupling capacitor is less than 20, so It becomes.

次に、デカップリングキャパシタ配置部104の領域設定部104aは、図9に示すように、対象となるセルであるセルB、セルCを中心とした、長さLとなる領域を設定する(ステップS22)。つまり、領域設定部104aは、対象となる論理セルの位置に基づいた領域を設定する。長さLの値については、事前に作成されたデカップリングキャパシタの容量値やシミュレーションもしくはテスト用LSIによって計測された充電電流の平均値、及びデカップリングキャパシタを配置するLSI内部の配置密度(自動レイアウトでは約40%〜50%)から総合的に決定される。長さLは、周波数特性毎に異なる値でもよく、また縦横で別々の長さを用いてもよい。   Next, as shown in FIG. 9, the region setting unit 104a of the decoupling capacitor placement unit 104 sets a region having a length L with the cell B and the cell C being the target cells as the center (step). S22). That is, the area setting unit 104a sets an area based on the position of the target logic cell. Regarding the value of the length L, the capacitance value of the decoupling capacitor prepared in advance, the average value of the charging current measured by the simulation or LSI for testing, and the arrangement density inside the LSI where the decoupling capacitor is arranged (automatic layout) In this case, it is comprehensively determined from about 40% to 50%). The length L may be a different value for each frequency characteristic, or different lengths may be used in the vertical and horizontal directions.

次に、デカップリングキャパシタ配置部104のキャパシタ配置実行部104bは、それら設定された領域の空き部分に高周波用のデカップリングキャパシタを配置する(ステップS23)。配置についてキャパシタ配置実行部104bは、図10に示すようにセルサイズの大きいものから順に配置する。図10に示す例では、空き領域の左側から順に高周波用のデカップリングキャパシタであるDH4、DH2、DH1が埋められている。   Next, the capacitor placement execution unit 104b of the decoupling capacitor placement unit 104 places a high frequency decoupling capacitor in the vacant part of the set region (step S23). Regarding placement, the capacitor placement execution unit 104b places the cells in descending order of cell size as shown in FIG. In the example shown in FIG. 10, DH4, DH2, and DH1, which are high-frequency decoupling capacitors, are filled in order from the left side of the empty area.

次に、デカップリングキャパシタ配置部104のキャパシタ配置実行部104bは、図11に示すように、残りの領域(上述の設定された領域以外のLSIレイアウト内の領域)について、低周波用のデカップリングキャパシタDL4、DL2を配置する(ステップS24)。配置の方法としては、先の高速帯域用デカップリングキャパシタと同様、セルサイズの大きいものから順に(DL4、DL2の順に)配置していく。   Next, as shown in FIG. 11, the capacitor placement execution unit 104b of the decoupling capacitor placement unit 104 performs low frequency decoupling for the remaining regions (regions in the LSI layout other than the above-described set regions). Capacitors DL4 and DL2 are arranged (step S24). As for the arrangement method, the cells are arranged in descending order of the cell size (in the order of DL4 and DL2) in the same manner as the high-speed band decoupling capacitor.

なお、本例では、若干の空き領域が残っているので、図12に示すように、さらに、キャパシタ配置実行部104bは、セルサイズの小さいデカップリングキャパシタセル(この場合はセルDH1)を任意で配置してもよい。これにより、空き領域を有効に使用することができ、デカップリングキャパシタの容量値を増やすことができる。そのため、LSI動作中に発生する電源ノイズを抑える効果を向上することができる。
また、本実施形態では、デカップリングキャパシタを高周波用、低周波用の2種類としているが、3種類以上ある場合でも、高周波用のセルから順にデカップリングキャパシタの配置領域を設定し、対応するデカップリングキャパシタを配置していけばよい。すなわち、この場合、デカップリングキャパシタ配置部104は、複数種類のデカップリングキャパシタのうち、高い周波数特性を有するキャパシタから低い周波数特性を有するキャパシタの順に配置する。
<第1の実施形態における利点>
In this example, since some free space remains, as shown in FIG. 12, the capacitor placement execution unit 104b arbitrarily selects a decoupling capacitor cell (in this case, cell DH1) having a small cell size. You may arrange. Thereby, an empty area can be used effectively and the capacitance value of the decoupling capacitor can be increased. Therefore, it is possible to improve the effect of suppressing power supply noise generated during LSI operation.
In this embodiment, two types of decoupling capacitors are used for high frequency and low frequency, but even when there are three or more types, the arrangement region of the decoupling capacitor is set in order from the high frequency cell, and the corresponding decoupling capacitor is set. What is necessary is just to arrange | position a ring capacitor. That is, in this case, the decoupling capacitor arrangement unit 104 arranges a capacitor having a high frequency characteristic to a capacitor having a low frequency characteristic among a plurality of types of decoupling capacitors.
<Advantages in First Embodiment>

以上のように、本実施形態によれば、設計支援装置1は、負荷容量値算出部103とデカップリングキャパシタ配置部104(キャパシタ配置部)を備える。負荷容量値算出部103が、配置配線情報201(LSIのレイアウト情報)、及びLSIの遅延要素から成る遅延ライブラリ情報202に基づき、LSI内に配置されている各論理セルの負荷容量値をそれぞれ算出する。また、デカップリングキャパシタ配置部104が、負荷容量値算出部103で算出された負荷容量値に基づいて、各論理セルの周波数帯域をそれぞれ判定する。そして、デカップリングキャパシタ配置部104は、その判定結果に対応した周波数特性を有するデカップリングキャパシタ(キャパシタ)を、対象となる論理セルの周辺部の空き領域に配置する。すなわち、設計支援装置1では、周波数特性の異なるデカップリングキャパシタセルを複数準備し、それらをLSI内部領域に配置する際、論理回路内の各セルの負荷容量値から、そのセル(ノイズ源)の周波数帯域を判定し、その周波数帯域に応じたデカップリングキャパシタを配置するようにした。   As described above, according to the present embodiment, the design support apparatus 1 includes the load capacitance value calculation unit 103 and the decoupling capacitor arrangement unit 104 (capacitor arrangement unit). The load capacitance value calculation unit 103 calculates the load capacitance value of each logic cell arranged in the LSI based on the placement and routing information 201 (LSI layout information) and the delay library information 202 including the delay elements of the LSI. To do. Further, the decoupling capacitor arrangement unit 104 determines the frequency band of each logic cell based on the load capacitance value calculated by the load capacitance value calculation unit 103. Then, the decoupling capacitor arrangement unit 104 arranges a decoupling capacitor (capacitor) having a frequency characteristic corresponding to the determination result in an empty area around the target logic cell. That is, in the design support apparatus 1, when preparing a plurality of decoupling capacitor cells having different frequency characteristics and arranging them in the LSI internal region, the cell (noise source) of the cell (noise source) is determined from the load capacitance value of each cell in the logic circuit. A frequency band is determined, and a decoupling capacitor corresponding to the frequency band is arranged.

これにより、設計支援装置1は、ノイズ源の周波数帯域に適したデカップリングキャパシタをそのノイズ源の周辺部に配置することができる。そのため、デカップリングキャパシタを配置する数を増加させなくても、デカップリングキャパシタは、論理セルの充電期間(後述する充電期間tr)に応じて電源ノイズ(IR(アイアール)ドロップ)を効率的に吸収することができる。よって、LSI動作中に発生する電源ノイズを抑える電源ノイズ耐性の高いLSIを設計することが可能となる。なお、IRドロップとは、LSI上の論理回路が動作する際に発生する電流パルスによって、電源電圧が一時的に降下する現象である。   Thereby, the design support apparatus 1 can arrange the decoupling capacitor suitable for the frequency band of the noise source in the periphery of the noise source. Therefore, even if the number of decoupling capacitors is not increased, the decoupling capacitor efficiently absorbs power supply noise (IR (IR) drop) according to the charge period of the logic cell (charge period tr described later). can do. Therefore, it is possible to design an LSI with high power noise resistance that suppresses power noise generated during LSI operation. The IR drop is a phenomenon in which the power supply voltage temporarily drops due to a current pulse generated when a logic circuit on the LSI operates.

また、本実施形態において、デカップリングキャパシタ配置部104は、領域設定部104aが、上述の周波数帯域の判定結果に基づいて、対応する周波数特性を有するデカップリングキャパシタを配置する対象となる論理セルを選定し、対象となる論理セルの位置に基づいた領域を設定する。そして、デカップリングキャパシタ配置部104のキャパシタ配置実行部104bは、領域設定部104aで設定された領域の空き部分に、対応する周波数特性を有するデカップリングキャパシタ(高周波用のデカップリングキャパシタ)を配置する。
これにより、対象となる論理セルの周波数帯域に対応した周波数特性を有するデカップリングキャパシタを、該対象となる論理セルの周辺部の空き領域に簡易且つ適切に配置することができる。対象となる論理セルの周辺部の空き領域にデカップリングキャパシタを適切に配置できるため、デカップリングキャパシタは、論理セルの充電期間に応じて電源ノイズ(IRドロップ)をさらに効率的に吸収することができる。
Further, in the present embodiment, the decoupling capacitor placement unit 104 selects a logic cell as a target for the region setting unit 104a to place a decoupling capacitor having a corresponding frequency characteristic based on the determination result of the frequency band described above. Select and set an area based on the location of the target logic cell. Then, the capacitor placement execution unit 104b of the decoupling capacitor placement unit 104 places a decoupling capacitor (high frequency decoupling capacitor) having a corresponding frequency characteristic in an empty portion of the region set by the region setting unit 104a. .
As a result, a decoupling capacitor having a frequency characteristic corresponding to the frequency band of the target logic cell can be easily and appropriately arranged in an empty area around the target logic cell. Since the decoupling capacitor can be appropriately disposed in the empty area around the target logic cell, the decoupling capacitor can more efficiently absorb power supply noise (IR drop) according to the charge period of the logic cell. it can.

また、本実施形態において、キャパシタ配置実行部104bは、上述の領域以外の領域の空き部分に、領域の空き部分に配置したデカップリングキャパシタとは周波数特性が異なるデカップリングキャパシタ(低周波用のデカップリングキャパシタ)を配置する。
これにより、対象となる論理セルの周辺部以外に、異なる周波数特性を執するデカップリングキャパシタを簡易に配置することができる。そのため、設計支援装置1は、複数の周波数特性を持つ回路において、論理セルの充電期間に応じて電源ノイズ(IRドロップ)を効率的に低減することができる。
In the present embodiment, the capacitor placement execution unit 104b has a decoupling capacitor (low frequency decoupling) having a frequency characteristic different from that of the decoupling capacitor placed in the empty portion of the region. A ring capacitor).
As a result, decoupling capacitors having different frequency characteristics can be easily arranged in addition to the periphery of the target logic cell. Therefore, the design support apparatus 1 can efficiently reduce power supply noise (IR drop) according to the charging period of the logic cell in a circuit having a plurality of frequency characteristics.

また、本実施形態において、デカップリングキャパシタは、周波数特性の異なる複数種類(高周波用セルと低周波用セル)のキャパシタに分類され、デカップリングキャパシタ配置部104は、複数種類のキャパシタのうち、高い周波数特性を有するデカップリングキャパシタ(高周波用セル)から低い周波数特性を有するデカップリングキャパシタ(低周波用セル)の順に配置する。
一般に、高周波用のデカップリングキャパシタは、低周波用のデカップリングキャパシタに比べて単位面積当たりの容量値が小さい。そのため、必要な容量を満たすために、高周波用のデカップリングキャパシタは、低周波用より多くのデカップリングキャパシタセルを配置する必要がある。したがって、上述のように、高周波用セルから低周波用セルの順に配置することにより、空き領域により多くのデカップリングキャパシタセルを効率的に配置することができる。すまり、デカップリングキャパシタの総容量値を大きくすることができる。
In the present embodiment, the decoupling capacitors are classified into a plurality of types of capacitors (high frequency cell and low frequency cell) having different frequency characteristics, and the decoupling capacitor placement unit 104 is higher than the plurality of types of capacitors. The decoupling capacitors (high frequency cells) having frequency characteristics are arranged in the order of the decoupling capacitors (low frequency cells) having low frequency characteristics.
Generally, a high-frequency decoupling capacitor has a smaller capacitance value per unit area than a low-frequency decoupling capacitor. Therefore, in order to satisfy the required capacity, it is necessary to dispose more decoupling capacitor cells in the high frequency decoupling capacitor than in the low frequency. Therefore, as described above, by disposing the high-frequency cell and the low-frequency cell in this order, more decoupling capacitor cells can be efficiently disposed in the empty area. In short, the total capacitance value of the decoupling capacitor can be increased.

また、本実施形態において、デカップリングキャパシタ配置部104は、デカップリングキャパシタセルをサイズの大きいデカップリングキャパシタセル(例えば、DH4)から小さいデカップリングキャパシタセル(例えば、DH1)の順に配置する。
これにより、デカップリングキャパシタ配置部104は、空き領域により多くのデカップリングキャパシタセルを効率的に配置することができる。すまり、デカップリングキャパシタの総容量値を大きくすることができる。
In the present embodiment, the decoupling capacitor arrangement unit 104 arranges the decoupling capacitor cells in the order of the decoupling capacitor cell having a larger size (for example, DH4) to the small decoupling capacitor cell (for example, DH1).
As a result, the decoupling capacitor placement unit 104 can efficiently place more decoupling capacitor cells in the empty area. In short, the total capacitance value of the decoupling capacitor can be increased.

また、本実施形態において、遅延ライブラリ情報202には、論理セルの入力端子容量、及びLSI(半導体装置)内配線の単位配線長当たりの配線容量が含まれる。そして、負荷容量値算出部103は、配置配線情報201(レイアウト情報)及び遅延ライブラリ情報202に基づき、各論理セルの出力端子の負荷容量値を算出する。
これにより、負荷容量値算出部103は、論理セルの出力端子の負荷容量値を的確に算出することができる。したがって、負荷容量値算出部103は、より正確に負荷容量値の算出することができる。
In the present embodiment, the delay library information 202 includes the input terminal capacity of the logic cell and the wiring capacity per unit wiring length of the LSI (semiconductor device) wiring. Then, the load capacity value calculation unit 103 calculates the load capacity value of the output terminal of each logic cell based on the placement and routing information 201 (layout information) and the delay library information 202.
Thereby, the load capacity value calculation unit 103 can accurately calculate the load capacity value of the output terminal of the logic cell. Therefore, the load capacity value calculation unit 103 can calculate the load capacity value more accurately.

[第2の実施形態] [Second Embodiment]

次に、本発明の第2の実施形態について説明する。
図13は、本発明の第2の実施形態に係る半導体装置の設計支援装置1の概略構成を示すブロック図である。この図において、図1と共通する要素には同一の符号を付し、その説明を省略する。
本実施形態は、図1の構成において、デカップリングキャパシタ配置部104の構成のみが異なり、その他の構成は同一である。
Next, a second embodiment of the present invention will be described.
FIG. 13 is a block diagram showing a schematic configuration of a semiconductor device design support apparatus 1 according to the second embodiment of the present invention. In this figure, elements that are the same as those in FIG.
This embodiment differs from the configuration of FIG. 1 only in the configuration of the decoupling capacitor arrangement unit 104, and the other configurations are the same.

本実施形態のデカップリングキャパシタ配置部104は、セル比率算出部104cとキャパシタ配置実行部104dとを備えている。
セル比率算出部104cは、各論理セルの周波数帯域に基づいて各論理セルを、第1の論理セルとしての高周波帯域用セルと、第2の論理セルとしての低周波帯域用セルに分類し、単位エリア内の高周波帯域用セルと低周波帯域用セルの比率を求める。すなわち、セル比率算出部104cは、各論理セルの周波数帯域に基づいて、各論理セルを周波数帯域の異なる複数のセルグループ(高周波帯域用セルと低周波帯域用セル)に分類する。そして、セル比率算出部104cは、予め定められた単位エリア内における各セルグループの比率(例えば、高周波帯域用セルと低周波帯域用セルとの使用比率)を求める。
キャパシタ配置実行部104dは、単位エリア内の高周波帯域用セルと低周波帯域用セルの比率にしたがって、対象となる論理セルの周波数帯域に対応した周波数特性を有するキャパシタを、対象論理セルの周辺部の空き領域にそれぞれ配置する。すなわち、キャパシタ配置実行部104dは、各セルグループの比率にしたがって、対象となる論理セルの周波数帯域に対応した周波数特性を有するキャパシタを、対象となる論理セルの周辺部の空き領域にそれぞれ配置する。
The decoupling capacitor arrangement unit 104 of this embodiment includes a cell ratio calculation unit 104c and a capacitor arrangement execution unit 104d.
The cell ratio calculation unit 104c classifies each logic cell into a high frequency band cell as a first logic cell and a low frequency band cell as a second logic cell based on the frequency band of each logic cell, The ratio of the high frequency band cell and the low frequency band cell in the unit area is obtained. That is, the cell ratio calculation unit 104c classifies each logical cell into a plurality of cell groups (high frequency band cell and low frequency band cell) having different frequency bands based on the frequency band of each logical cell. Then, the cell ratio calculation unit 104c obtains a ratio of each cell group in a predetermined unit area (for example, a use ratio between a high frequency band cell and a low frequency band cell).
The capacitor placement execution unit 104d assigns a capacitor having frequency characteristics corresponding to the frequency band of the target logic cell according to the ratio of the high frequency band cell and the low frequency band cell in the unit area to the peripheral part of the target logic cell. To each of the free areas. That is, the capacitor placement execution unit 104d places capacitors having frequency characteristics corresponding to the frequency band of the target logic cell in the empty areas around the target logic cell according to the ratio of each cell group. .

次に、本実施形態の動作について図14を参照しつつ説明する。
図14は、第2の実施形態の動作を示すフローチャートである。
まず、制御部106は、第1の実施形態と同様に、配置配線情報/各種ライブラリ情報入力部101を用いて、配置配線情報201及び遅延ライブラリ情報202を入力させ、メモリ200に記憶させる(ステップS31)。
次に、制御部106は、設計規則入力部102を用いて、LSIレイアウト中にデカップリングキャパシタセルを設置するための設計規則情報203を入力させ、メモリ200に記憶させる(ステップS32)。
次に、制御部106は、配置配線情報201から、単位エリア内に存在するセルについて、セル出力端子側に繋がる他セルの種類、セル数及びそれらに繋がる実配線長(もしくは予測配線長)を求める(ステップS33)。
Next, the operation of the present embodiment will be described with reference to FIG.
FIG. 14 is a flowchart showing the operation of the second embodiment.
First, as in the first embodiment, the control unit 106 uses the placement and routing information / various library information input unit 101 to input the placement and routing information 201 and the delay library information 202 and stores them in the memory 200 (steps). S31).
Next, the control unit 106 uses the design rule input unit 102 to input design rule information 203 for installing decoupling capacitor cells in the LSI layout, and stores the design rule information 203 in the memory 200 (step S32).
Next, for the cells existing in the unit area, the control unit 106 determines the types of other cells connected to the cell output terminal side, the number of cells, and the actual wiring length (or predicted wiring length) connected to them from the placement / wiring information 201. Obtained (step S33).

続いてセル比率算出部104cは、遅延ライブラリ情報202に記憶される各セルの入力端子容量、単位配線長当たりの配線容量及び回路内遅延情報を用い、対象となるセルの負荷容量値を求め、その負荷容量値から対象となるセルにおける信号波形の立ち上がり時間(信号が0レベルから1レベルに動くまでの時間)を算出する(ステップS34)。そして、セル比率算出部104cは、信号波形の立ち上がり時間が一定値より速いものを高速帯域用セル、遅いものを低速帯域用セルに分類する(ステップS35)。   Subsequently, the cell ratio calculation unit 104c obtains the load capacity value of the target cell using the input terminal capacity of each cell, the wiring capacity per unit wiring length, and the in-circuit delay information stored in the delay library information 202, From the load capacity value, the rise time of the signal waveform in the target cell (time until the signal moves from 0 level to 1 level) is calculated (step S34). Then, the cell ratio calculation unit 104c classifies a signal waveform having a rising time faster than a certain value as a high-speed band cell, and a cell waveform calculating unit 104c as a low-speed band cell (step S35).

さらに、セル比率算出部104cは、全てのセルについて、ステップS33からステップS34までの処理を繰り返し、単位エリア内の高速帯域用セル数、低速帯域用セル数を求める(ステップS36)。そして、セル比率算出部104cは、単位エリア内に存在する高速帯域用セルと低速帯域用セルの比率から、単位エリア内に必要なデカップリングキャパシタの比率を求め、キャパシタ配置実行部104dは、その比率にしたがって単位エリア内にデカップリングキャパシタを配置する(ステップS38)。この配置においては、高速帯域用キャパシタセルを高速帯域用セルの周辺に、低速帯域用キャパシタセルを低速帯域用セルの周辺にそれぞれ配置する。   Further, the cell ratio calculation unit 104c repeats the processing from step S33 to step S34 for all the cells to obtain the number of high-speed band cells and the number of low-speed band cells in the unit area (step S36). Then, the cell ratio calculation unit 104c obtains the ratio of the decoupling capacitor necessary in the unit area from the ratio of the high-speed band cell and the low-speed band cell existing in the unit area, and the capacitor placement execution unit 104d A decoupling capacitor is arranged in the unit area according to the ratio (step S38). In this arrangement, the high-speed band capacitor cell is arranged around the high-speed band cell, and the low-speed band capacitor cell is arranged around the low-speed band cell.

なお、デカップリングキャパシタとして高速帯域用セル、低速帯域用セルの2種類を予め準備しておいたが、2種類以上用意しても構わない。また、上述のキャパシタ配置処理では、単位エリア内に存在する高速帯域用セルと低速帯域用セルの比率に基づいて、単位エリア内にデカップリングキャパシタを配置するようにしたが、単位エリア内の高速帯域用セル、低速帯域用セルの総負荷容量値を求め、その比率にしたがってデカップリングキャパシタを配置するようにしてもよい。すなわち、上述の各セルグループの比率を、単位エリア内における各セルグループの総負荷容量値の比率としてもよい。
<第2の実施形態における利点>
Note that two types of high-speed band cells and low-speed band cells have been prepared in advance as decoupling capacitors, but two or more types may be prepared. In the capacitor placement process described above, the decoupling capacitor is placed in the unit area based on the ratio of the high speed band cell and the low speed band cell existing in the unit area. The total load capacity value of the band cell and the low speed band cell may be obtained, and the decoupling capacitor may be arranged according to the ratio. That is, the ratio of each cell group described above may be the ratio of the total load capacity value of each cell group in the unit area.
<Advantages in Second Embodiment>

以上のように、第2の実施形態によれば、周波数特性の異なるデカップリングキャパシタセルを複数用意し、それらをLSI内部領域に挿入する際、論理回路内の各セルの立ち上がり時間から対象となるセル(ノイズ源)の周波数帯域を求め、その帯域に応じたデカップリングキャパシタを配置する。これにより、ノイズの周波数帯域に適したキャパシタを設置することができ、キャパシタは、配置する数を増加させなくても、論理セルの立ち上がり時間に応じて電源ノイズ(IRドロップ)を効率的に吸収することができる。電源ノイズ耐性の高いLSIを設計することが可能となる。   As described above, according to the second embodiment, when a plurality of decoupling capacitor cells having different frequency characteristics are prepared and inserted into the LSI internal region, the target is determined from the rise time of each cell in the logic circuit. A frequency band of the cell (noise source) is obtained, and a decoupling capacitor corresponding to the band is arranged. This makes it possible to install a capacitor that is suitable for the noise frequency band, and the capacitor efficiently absorbs power supply noise (IR drop) according to the rise time of the logic cell without increasing the number of capacitors. can do. It is possible to design an LSI with high power noise resistance.

また、本実施形態において、デカップリングキャパシタ配置部104は、セル比率算出部104cとキャパシタ配置実行部104dとを備えている。セル比率算出部104cが、各論理セルの周波数帯域に基づいて、各論理セルを周波数帯域の異なる複数のセルグループ(高周波帯域用セルと低周波帯域用セル)に分類する。さらに、セル比率算出部104cが、予め定められた単位エリア内における各セルグループの比率(高周波帯域用セルと低周波帯域用セルとの使用比率)を求める。そして、キャパシタ配置実行部104dが、各セルグループの比率にしたがって、対象となる論理セルの周波数帯域に対応した周波数特性を有するキャパシタを、対象となる論理セルの周辺部の空き領域にそれぞれ配置する。
これにより、対象となる論理セルの周波数帯域に対応した周波数特性を有するキャパシタを、該対象論理セルの周辺部の空き領域に簡易且つ適切に配置することができる。対象となる論理セルの周辺部の空き領域にデカップリングキャパシタを適切に配置できるため、デカップリングキャパシタは、論理セルの充電期間に応じて電源ノイズ(IRドロップ)をさらに効率的に吸収することができる。
In the present embodiment, the decoupling capacitor arrangement unit 104 includes a cell ratio calculation unit 104c and a capacitor arrangement execution unit 104d. The cell ratio calculation unit 104c classifies each logical cell into a plurality of cell groups (high frequency band cell and low frequency band cell) having different frequency bands based on the frequency band of each logical cell. Furthermore, the cell ratio calculation unit 104c obtains the ratio of each cell group in a predetermined unit area (use ratio between the high frequency band cell and the low frequency band cell). Then, according to the ratio of each cell group, the capacitor placement execution unit 104d places capacitors having frequency characteristics corresponding to the frequency band of the target logic cell in the empty areas around the target logic cell. .
As a result, a capacitor having a frequency characteristic corresponding to the frequency band of the target logic cell can be easily and appropriately arranged in an empty area around the target logic cell. Since the decoupling capacitor can be appropriately disposed in the empty area around the target logic cell, the decoupling capacitor can more efficiently absorb power supply noise (IR drop) according to the charge period of the logic cell. it can.

また、本実施形態において、上述の各セルグループの比率を、単位エリア内における各セルグループの総負荷容量値の比率としてもよい。これにより、上述の各セルグループの比率を各セルグループの使用比率とした場合と同等の作用効果を奏する。   In the present embodiment, the ratio of each cell group described above may be the ratio of the total load capacity value of each cell group in the unit area. Thereby, there exists an effect equivalent to the case where the ratio of each above-mentioned cell group is made into the use ratio of each cell group.

なお、本発明の技術的原理について補足説明する。
論理回路の動作時に発生する電源パルスの詳細については「デジタルシステム工学 基礎編」(丸善株式会社)に記載されている。図15(a)〜(d)は、同書に掲載された、論理ゲート(インバータ)がスイッチングしたときの電圧波形と電流波形を示すグラフである。
この4つのグラフ(a)〜(d)は、それぞれ入力電圧、出力電圧、貫通電流、充電電流を示す。電流波形のうち、貫通電流は充電電流より充分小さい値であるため、充電電流が電流パルスと等しいとみなせる。個々の回路のスイッチング時に発生する充電電流が局所的に過大となることがIRドロップの直接の原因であり、デカップリングキャパシタの持つ充放電機能が論理回路のスイッチングによる充電電流の過大を抑える働きをもつ。
The technical principle of the present invention will be supplementarily described.
Details of the power supply pulses generated during the operation of the logic circuit are described in "Digital System Engineering Fundamentals" (Maruzen Co., Ltd.). 15A to 15D are graphs showing voltage waveforms and current waveforms when the logic gate (inverter) is switched, which is published in the same document.
These four graphs (a) to (d) show the input voltage, output voltage, through current, and charging current, respectively. Among the current waveforms, the through current is a value sufficiently smaller than the charging current, so that it can be considered that the charging current is equal to the current pulse. The direct cause of the IR drop is that the charging current generated during switching of each circuit is locally excessive, and the charge / discharge function of the decoupling capacitor serves to suppress excessive charging current due to switching of the logic circuit. Have.

また、同書において、前述の充電電流の波形は、電流の最大値Ipkを高さとした形を持つ三角形で示され、充電電流が流れる期間(充電期間)をtr、入力電圧の最大値をVp、論理ゲートの出力端子に接続する負荷容量をCldとする以下の式(1)で示すことができると記載されている。   Further, in the same book, the waveform of the charging current is shown by a triangle having a shape with the maximum current value Ipk as a height, the period during which the charging current flows (charging period) is tr, the maximum value of the input voltage is Vp, It is described that the load capacitance connected to the output terminal of the logic gate can be expressed by the following formula (1) where Cld is used.

Ipk = 1.1 × Cld × Vp / tr ・・・ (1)   Ipk = 1.1 × Cld × Vp / tr (1)

この式(1)をtrについて変形すると、式(2)となる。   When this equation (1) is transformed with respect to tr, equation (2) is obtained.

tr = 1.1 × Cld × Vp / Ipk ・・・ (2)   tr = 1.1 × Cld × Vp / Ipk (2)

このことは、充電電流が流れる期間trは負荷容量Cldと比例の関係であることを表している。デカップリングキャパシタの充放電時間は、回路のスイッチングによる充電期間であるtrより速い値であることが求められる。尚、デカップリングキャパシタの周波数特性とはtrの逆数をそのまま示している。   This indicates that the period tr during which the charging current flows is proportional to the load capacity Cld. The charging / discharging time of the decoupling capacitor is required to be a value faster than tr, which is a charging period by circuit switching. The frequency characteristic of the decoupling capacitor indicates the reciprocal of tr as it is.

一方、0.35μm(マイクロメートル)プロセスで設計されたデカップリングキャパシタの周波数特性(fRC)及び容量値(C)の一例を図16に示す。容量値と周波数特性はゲート幅Wとゲート長Lに依存しており、高い周波数特性を示すキャパシタセルでは容量値は低くなっている。このことは、単に反応速度の速い(高い周波数特性を持つ)デカップリングキャパシタだけを用意すればよい訳ではなく、前述した論理回路の充電期間(すなわち負荷容量Cldの値)に見合った特性を持つデカップリングキャパシタをノイズ源である論理回路の近傍に配置することが容量効率の面では重要となることを示している。   On the other hand, FIG. 16 shows an example of the frequency characteristic (fRC) and capacitance value (C) of a decoupling capacitor designed by a 0.35 μm (micrometer) process. The capacitance value and the frequency characteristic depend on the gate width W and the gate length L, and the capacitance value is low in the capacitor cell exhibiting high frequency characteristics. This does not mean that only a decoupling capacitor having a high response speed (having a high frequency characteristic) is prepared, and has a characteristic commensurate with the charging period of the logic circuit (that is, the value of the load capacitance Cld). This indicates that it is important in terms of capacity efficiency to dispose a decoupling capacitor in the vicinity of a logic circuit that is a noise source.

なお、本発明の実施形態によれば、キャパシタ配置方法は、LSI(半導体装置)の配置配線情報201(レイアウト情報)、及びLSIの遅延要素から成る遅延ライブラリ情報202に基づき、LSI内に配置されている各論理セルの負荷容量値をそれぞれ算出する負荷容量値算出ステップ(S13)と、負荷容量値算出ステップで算出された負荷容量値に基づいて、各論理セルの周波数帯域をそれぞれ判定し、キャパシタを配置する対象となる論理セルの周辺部の空き領域に、当該判定結果に対応した周波数特性を有するキャパシタを配置するキャパシタ配置ステップ(S14)とを備える。
これにより、キャパシタ配置方法では、ノイズ源の周波数帯域に適したデカップリングキャパシタをそのノイズ源の周辺部に配置することができる。そのため、デカップリングキャパシタを配置する数を増加させなくても、デカップリングキャパシタは、論理セルの充電期間に応じて電源ノイズ(IRドロップ)を効率的に吸収することができる。よって、LSI動作中に発生する電源ノイズを抑える電源ノイズ耐性の高いLSIを設計することが可能となる。
According to the embodiment of the present invention, the capacitor placement method is placed in the LSI based on the placement wiring information 201 (layout information) of the LSI (semiconductor device) and the delay library information 202 including the delay elements of the LSI. A load capacity value calculating step (S13) for calculating the load capacity value of each logic cell, and determining the frequency band of each logic cell based on the load capacity value calculated in the load capacity value calculating step, A capacitor placement step (S14) for placing a capacitor having a frequency characteristic corresponding to the determination result in an empty area around the logic cell to be placed;
Thereby, in the capacitor arrangement method, a decoupling capacitor suitable for the frequency band of the noise source can be arranged in the periphery of the noise source. Therefore, the decoupling capacitor can efficiently absorb power supply noise (IR drop) according to the charging period of the logic cell without increasing the number of the decoupling capacitors. Therefore, it is possible to design an LSI with high power noise resistance that suppresses power noise generated during LSI operation.

また、本発明の実施形態によれば、プログラムは、LSI(半導体装置)の配置配線情報201(レイアウト情報)、及びLSIの遅延要素から成る遅延ライブラリ情報202に基づき、LSI内に配置されている各論理セルの負荷容量値をそれぞれ算出する負荷容量値算出手順と、負荷容量値算出手順で算出された負荷容量値に基づいて、各論理セルの周波数帯域をそれぞれ判定し、キャパシタを配置する対象となる論理セルの周辺部の空き領域に、当該判定結果に対応した周波数特性を有するキャパシタを配置するキャパシタ配置手順とをコンピュータに実行させるためのプログラムである。
これにより、デカップリングキャパシタを配置する数を増加させなくても、デカップリングキャパシタは、論理セルの充電期間に応じて電源ノイズ(IRドロップ)を効率的に吸収することができる。よって、LSI動作中に発生する電源ノイズを抑える電源ノイズ耐性の高いLSIを設計することが可能となる。
Further, according to the embodiment of the present invention, the program is arranged in the LSI based on the placement and routing information 201 (layout information) of the LSI (semiconductor device) and the delay library information 202 including the delay elements of the LSI. A load capacity value calculation procedure for calculating the load capacity value of each logic cell, and an object for determining the frequency band of each logic cell based on the load capacity value calculated in the load capacity value calculation procedure and arranging the capacitor This is a program for causing a computer to execute a capacitor placement procedure for placing a capacitor having a frequency characteristic corresponding to the determination result in an empty area around the logic cell.
Thereby, even if it does not increase the number which arrange | positions a decoupling capacitor, the decoupling capacitor can absorb power supply noise (IR drop) efficiently according to the charging period of a logic cell. Therefore, it is possible to design an LSI with high power noise resistance that suppresses power noise generated during LSI operation.

なお、本発明は、上記の各実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で変更可能である。   The present invention is not limited to the above embodiments, and can be modified without departing from the spirit of the present invention.

上述の半導体装置の設計支援装置1は内部に、コンピュータシステムを有している。そして、上述した半導体装置の設計支援装置1の処理過程は、プログラムの形式でコンピュータ読み取り可能な記録媒体に記憶されており、このプログラムをコンピュータが読み出して実行することによって、上記処理が行われる。ここでコンピュータ読み取り可能な記録媒体とは、磁気ディスク、光磁気ディスク、CD−ROM、DVD−ROM、半導体メモリ等をいう。また、このコンピュータプログラムを通信回線によってコンピュータに配信し、この配信を受けたコンピュータが当該プログラムを実行するようにしてもよい。   The semiconductor device design support apparatus 1 has a computer system therein. The process of the semiconductor device design support apparatus 1 described above is stored in a computer-readable recording medium in the form of a program, and the above process is performed by the computer reading and executing the program. Here, the computer-readable recording medium means a magnetic disk, a magneto-optical disk, a CD-ROM, a DVD-ROM, a semiconductor memory, or the like. Alternatively, the computer program may be distributed to the computer via a communication line, and the computer that has received the distribution may execute the program.

1 半導体装置の設計支援装置
101 配置配線情報/各種ライブラリ情報入力部
102 設計規則入力部
103 負荷容量値算出部
104 デカップリングキャパシタ配置部
104a 領域設定部
104b、104d キャパシタ配置実行部
104c セル比率算出部
105 レイアウト情報出力部
106 制御部
200 メモリ
201 配置配線情報
202 遅延ライブラリ情報
203 設計規則情報
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Semiconductor device design support apparatus 101 Placement / wiring information / various library information input unit 102 Design rule input unit 103 Load capacitance value calculation unit 104 Decoupling capacitor arrangement unit 104a Region setting unit 104b, 104d Capacitor arrangement execution unit 104c Cell ratio calculation unit 105 Layout Information Output Unit 106 Control Unit 200 Memory 201 Place and Route Information 202 Delay Library Information 203 Design Rule Information

Claims (9)

半導体装置のレイアウト情報、及び前記半導体装置の遅延要素から成る遅延ライブラリ情報に基づき、前記半導体装置内に配置されている各論理セルの負荷容量値をそれぞれ算出する負荷容量値算出部と、
前記負荷容量値算出部で算出された負荷容量値に基づいて、前記各論理セルの周波数帯域をそれぞれ判定し、キャパシタを配置する対象となる論理セルの周辺部の空き領域に、当該判定結果に対応した周波数特性を有するキャパシタを配置するキャパシタ配置部とを備えたことを特徴とする半導体装置の設計支援装置。
A load capacitance value calculation unit for calculating a load capacitance value of each logic cell arranged in the semiconductor device based on layout information of the semiconductor device and delay library information including delay elements of the semiconductor device;
Based on the load capacity value calculated by the load capacity value calculation unit, the frequency band of each logic cell is determined, and in the empty area in the peripheral part of the logic cell to which the capacitor is placed, the determination result A design support device for a semiconductor device, comprising: a capacitor placement unit for placing a capacitor having a corresponding frequency characteristic.
前記キャパシタ配置部は、
前記判定結果に基づいて、前記周波数特性を有するキャパシタを配置する対象となる論理セルを選定し、前記対象となる論理セルの位置に基づいた領域を設定する領域設定部と、
前記領域設定部で設定された領域の空き部分に、前記周波数特性を有するキャパシタを配置するキャパシタ配置実行部と
を備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の設計支援装置。
The capacitor placement part is:
Based on the determination result, an area setting unit that selects a logic cell as a target for placing a capacitor having the frequency characteristic, and sets an area based on the position of the target logic cell;
2. The design support apparatus for a semiconductor device according to claim 1, further comprising: a capacitor placement execution unit that places the capacitor having the frequency characteristic in an empty portion of the region set by the region setting unit.
前記キャパシタ配置実行部は、
前記領域以外の領域の空き部分に、前記領域の空き部分に配置したキャパシタとは周波数特性が異なるキャパシタを配置する
ことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の設計支援装置。
The capacitor placement execution unit includes:
The design support apparatus for a semiconductor device according to claim 2, wherein a capacitor having a frequency characteristic different from that of the capacitor arranged in the empty part of the area is arranged in an empty part of the area other than the area.
前記周波数特性を有するキャパシタは、周波数特性の異なる複数種類のキャパシタに分類され、
前記キャパシタ配置部は、
前記複数種類のキャパシタのうち、高い周波数特性を有するキャパシタから低い周波数特性を有するキャパシタの順に配置する
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載の半導体装置の設計支援装置。
The capacitors having the frequency characteristics are classified into a plurality of types of capacitors having different frequency characteristics.
The capacitor placement part is:
4. The semiconductor device design support according to claim 1, wherein, among the plurality of types of capacitors, the capacitors having high frequency characteristics are arranged in the order of capacitors having low frequency characteristics. 5. apparatus.
前記キャパシタ配置部は、
前記各論理セルの周波数帯域に基づいて、前記各論理セルを周波数帯域の異なる複数のセルグループに分類し、予め定められた単位エリア内における各セルグループの比率を求めるセル比率算出部と、
前記各セルグループの比率にしたがって、前記対象となる論理セルの周波数帯域に対応した周波数特性を有するキャパシタを、前記対象となる論理セルの周辺部の空き領域にそれぞれ配置するキャパシタ配置実行部と
を備えることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の設計支援装置。
The capacitor placement part is:
Based on the frequency band of each logical cell, each logical cell is classified into a plurality of cell groups having different frequency bands, and a cell ratio calculating unit for obtaining a ratio of each cell group in a predetermined unit area;
A capacitor placement execution unit for placing capacitors having a frequency characteristic corresponding to the frequency band of the target logic cell according to the ratio of each cell group, in a free area around the target logic cell; The semiconductor device design support apparatus according to claim 1, further comprising:
前記各セルグループの比率を、前記単位エリア内における各セルグループの総負荷容量値の比率としたことを特徴とする請求項5に記載の半導体装置の設計支援装置。   6. The semiconductor device design support apparatus according to claim 5, wherein the ratio of each cell group is a ratio of a total load capacity value of each cell group in the unit area. 前記遅延ライブラリ情報には、論理セルの入力端子容量、及び前記半導体装置内配線の単位配線長当たりの配線容量が含まれ、
前記負荷容量値算出部は、前記レイアウト情報及び前記遅延ライブラリ情報に基づき、前記各論理セルの出力端子の負荷容量値を算出することを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の半導体装置の設計支援装置。
The delay library information includes an input terminal capacity of a logic cell and a wiring capacity per unit wiring length of the wiring in the semiconductor device.
The load capacitance value calculation unit calculates a load capacitance value of an output terminal of each logic cell based on the layout information and the delay library information. The semiconductor device design support apparatus according to claim 1.
半導体装置のレイアウト情報、及び前記半導体装置の遅延要素から成る遅延ライブラリ情報に基づき、前記半導体装置内に配置されている各論理セルの負荷容量値をそれぞれ算出する負荷容量値算出ステップと、
前記負荷容量値算出ステップで算出された負荷容量値に基づいて、前記各論理セルの周波数帯域をそれぞれ判定し、キャパシタを配置する対象となる論理セルの周辺部の空き領域に、当該判定結果に対応した周波数特性を有するキャパシタを配置するキャパシタ配置ステップとを備えたことを特徴とするキャパシタ配置方法。
A load capacitance value calculating step for calculating a load capacitance value of each logic cell arranged in the semiconductor device based on layout information of the semiconductor device and delay library information including delay elements of the semiconductor device;
Based on the load capacity value calculated in the load capacity value calculating step, the frequency band of each logic cell is determined, and the determination result is determined in the empty area around the logic cell to which the capacitor is to be placed. And a capacitor placement step of placing a capacitor having a corresponding frequency characteristic.
半導体装置のレイアウト情報、及び前記半導体装置の遅延要素から成る遅延ライブラリ情報に基づき、前記半導体装置内に配置されている各論理セルの負荷容量値をそれぞれ算出する負荷容量値算出手順と、
前記負荷容量値算出手順で算出された負荷容量値に基づいて、前記各論理セルの周波数帯域をそれぞれ判定し、キャパシタを配置する対象となる論理セルの周辺部の空き領域に、当該判定結果に対応した周波数特性を有するキャパシタを配置するキャパシタ配置手順とを
コンピュータに実行させるためのプログラム。
A load capacitance value calculating procedure for calculating a load capacitance value of each logic cell arranged in the semiconductor device based on layout information of the semiconductor device and delay library information including delay elements of the semiconductor device;
Based on the load capacity value calculated in the load capacity value calculation procedure, the frequency band of each logic cell is determined, and the determination result is displayed in the empty area around the logic cell where the capacitor is to be placed. A program for causing a computer to execute a capacitor placement procedure for placing a capacitor having a corresponding frequency characteristic.
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