JP2012121638A - Thin sheet suction conveyor device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、薄板ガラス基板や薄板プラスチック基板などの薄板材を連続搬送するための薄板吸着搬送コンベヤ装置に関するものである。 The present invention relates to a thin plate adsorption transport conveyor device for continuously transporting thin plate materials such as a thin glass substrate and a thin plastic substrate.
一般に、薄板ガラス基板などの薄板材は、大きく撓むため破損しやすく、取り扱いが難しい。そのため、面積の大きな薄板ガラス基板などの薄板材を取り扱う製造工程においては、薄板材を一枚ごと吸着して、次工程に搬送している。 In general, a thin plate material such as a thin glass substrate is greatly bent and easily damaged, and is difficult to handle. Therefore, in a manufacturing process that handles a thin plate material such as a thin glass substrate having a large area, the thin plate material is sucked one by one and conveyed to the next step.
この吸着による搬送に用いられる搬送装置は、例えば、薄板材を吸着・保持する吸着保持手段が取り付けられてなるハンド部と、このハンド部を移動自在に支持するアーム部と、このアーム部を作動させることにより、当該薄板ガラス基板を搬送する駆動装置とを備えたハンドリング装置が知られている。 The transport device used for transport by suction includes, for example, a hand unit to which a suction holding means for sucking and holding a thin plate material is attached, an arm unit for supporting the hand unit movably, and operating the arm unit. By doing so, a handling device provided with a driving device for conveying the thin glass substrate is known.
このハンドリング装置は、１枚目の上記薄板材を搬送方向の上流側において、複数の上記吸着パッドを備え上記ハンド部により吸着し、上記アーム部を上記駆動装置により作動させ、アーム部の移動により下流側まで搬送した後に、当該下流側において、上記吸着を解いて当該薄板材を上記吸着パッドより離脱させ、再び上記ハンド部を上記アームを移動させて当該上流側に戻して、２枚目の薄板材を吸着し当該下流側に搬送する工程となっている。 This handling device is provided with a plurality of suction pads on the upstream side in the transport direction of the first thin plate material, and is sucked by the hand unit, the arm unit is operated by the driving device, and the arm unit is moved. After transporting to the downstream side, on the downstream side, the suction is released and the thin plate material is detached from the suction pad, and the hand unit is moved again to return to the upstream side by moving the arm again. This is a process of adsorbing and transporting the thin plate material to the downstream side.
ところで、従来の上記ハンドリング装置は、上記薄板ガラス基板を上記ハンド部の上記吸着手段に吸着・保持した状態のまま、上記アーム部を移動させるため、移動速度を遅くする必要があるとともに、１枚を搬送した後に上記ハンド部を搬送方向の上記上流側に戻す必要がある。これにより、生産工程の均等なタイミングを図るための工程作業時間、いわゆるタクトタイムが長くなり、作業効率が悪いという問題がある。 By the way, the conventional handling apparatus needs to slow down the moving speed in order to move the arm part while the thin glass substrate is sucked and held by the sucking means of the hand part. It is necessary to return the hand part to the upstream side in the transport direction after transporting. As a result, there is a problem that the process work time for achieving an even timing of the production process, that is, a so-called tact time, becomes long and work efficiency is poor.
そこで、下記特許文献においては、エンドレス走行する一対のチェーン間に、内部を真空吸引室とする多数本の中空バーが架設された搬送ベルト部を構成し、各中空バーがコンベヤ周回の外側に臨む複数の吸引孔と端面に臨む排気口とを備えると共に、各吸引孔内には弁座とばね力により開弁方向に付勢されて、該弁座の外側に配置した弁体とを有し、各中空バーが吸引孔を下向きとして水平移動する往動行程の一側に、各中空バーの排気口を有する端面と気密状態で摺接する固定枠部が配設され、この固定枠部の中空バーとの摺接部に、真空吸引路に連通した複数の通気孔が当該摺接部に沿って所定間隔置きに開設されているコンベヤ装置が提案されている。 Therefore, in the following patent document, a conveyor belt portion is constructed in which a large number of hollow bars each having a vacuum suction chamber are installed between a pair of endless running chains, and each hollow bar faces the outside of the conveyor loop. A plurality of suction holes and an exhaust port facing the end face are provided, and each suction hole has a valve seat and a valve body that is urged in the valve opening direction by a spring force and disposed outside the valve seat. A fixed frame portion that is slidably contacted with an end surface of each hollow bar having an exhaust port in an airtight state is disposed on one side of the forward travel in which each hollow bar moves horizontally with the suction hole facing downward. A conveyor device has been proposed in which a plurality of air holes communicating with a vacuum suction path are provided at predetermined intervals along the sliding contact portion at the sliding contact portion with the bar.
この従来のコンベヤ装置は、中空バーにより構成される搬送ベルト部に、平板体が当接した場合に、この平板体に覆われた表面領域にある吸引孔のみが開放し、他の吸引孔は全て閉塞状態を維持して真空吸引室への空気の流入を防止するため、この空気の流入により起こる真空吸引力の低下が少なく、確実に吸着することができる。これにより、各中空バーに設けられた吸引孔を下向きに配設し、水平移動する往動行程において、平板体を搬送ベルトの下面側に吸着させて、搬送ベルト部の走行とともに、前方へ搬送するとともに、搬送途上の定位置に搬送された際に、中空バー内の真空吸引を停止させることにより、当該搬送ベルト部から離脱させ、平板体を搬送することができる。 In this conventional conveyor device, when the flat plate body comes into contact with the conveying belt portion constituted by the hollow bar, only the suction holes in the surface area covered with the flat plate body are opened, and the other suction holes are Since all of them are kept closed to prevent the inflow of air into the vacuum suction chamber, there is little reduction in the vacuum suction force caused by the inflow of air, and the suction can be ensured. As a result, the suction holes provided in each hollow bar are arranged downward, and in the forward movement process that moves horizontally, the flat plate body is attracted to the lower surface side of the conveyor belt and conveyed forward along with the traveling of the conveyor belt section. At the same time, when transported to a fixed position on the way of transport, the vacuum suction in the hollow bar is stopped, so that the flat plate can be transported away from the transport belt portion.
しかしながら、この従来のコンベヤ装置は、搬送ベルトの下面に吸着させて搬送することにより、連続搬送が可能になるものの、上記平板体を真空吸着するために、複数本の中空バーを一対の上記チェーン間に架設するとともに、これら複数本の中空バーに設けられた退入作動する弁体よりなる複数の吸引孔を設ける必要があるため、構造が複雑になり製造コストが嵩むとともに、複数本の中空バーおよび複数の吸引孔のメンテナンスに多大な時間を要するという問題がある。 However, although this conventional conveyor device can be continuously conveyed by being attracted to the lower surface of the conveyor belt, a plurality of hollow bars are attached to the pair of chains in order to vacuum-suck the flat plate. Since it is necessary to provide a plurality of suction holes made of retreating valve bodies provided in the plurality of hollow bars, the structure becomes complicated and the manufacturing cost increases, and the plurality of hollow There is a problem that it takes a long time to maintain the bar and the plurality of suction holes.
本発明は、かかる事情に鑑みてなされたもので、簡素な構造であるとともに、薄板材を確実に吸着して連続搬送することができ、かつメンテナンスが容易な薄板吸着搬送コンベヤ装置を提供することを課題とするものである。 The present invention has been made in view of such circumstances, and provides a thin plate adsorbing and conveying conveyor device that has a simple structure, can reliably suck and continuously convey thin plate materials, and is easy to maintain. Is an issue.
上記課題を解決するために、請求項１に記載の発明は、搬送方向の上流側に受け取り部が設けられ、下流側に受け渡し部が設けられた薄板ガラス基板の搬送手段と、この搬送手段の上方に配設されるとともに、平板状の複数枚のプレートが無端状に連結されたトップチェーンとを備え、上記搬送手段の上記受け取り部において上記薄板ガラス基板を上記トップチェーンに吸着させて上記搬送手段上方に沿って搬送し、上記搬送手段の上記受け渡し部において上記吸着を解いて上記薄板ガラス基板を上記トップチェーンより離脱させる薄板吸着搬送コンベヤ装置において、
上記トップチェーンは、隣接する上記プレートの対向辺の一方側に凸部が形成され、かつ他方側に上記凸部が係合する凹部が形成されて、これら係合部の幅方向にピン材が挿通されて回動自在に連結されているとともに、外表面の上記プレートの上記幅方向両側に、上記トップチェーンの走行方向に延在する独立気泡型パッドが周設されてなり、
上記トップチェーンの上記受け取り部と上記受け渡し部との間には、上記トップチェーンの内表面を覆うとともに、上記プレートの間を介して上記外表面に周設された上記独立気泡型パッド間の空間に連通する真空吸引室が延設され、
上記真空吸引室には、負圧を保持する真空吸引手段が設けられていることを特徴とする薄板吸着搬送コンベヤ装置。
In order to solve the above-mentioned problem, the invention described in
The top chain has a convex portion formed on one side of the opposing side of the adjacent plate, and a concave portion that engages the convex portion on the other side. It is inserted and pivotally connected, and on the both sides in the width direction of the plate on the outer surface, a closed cell type pad extending in the running direction of the top chain is provided around,
A space between the closed cell pad between the receiving portion and the delivery portion of the top chain that covers the inner surface of the top chain and is provided around the outer surface through the plate. A vacuum suction chamber communicating with the
The vacuum suction chamber is provided with a vacuum suction means for holding a negative pressure.
また、請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の発明において、上記真空吸引室には、上記トップチェーンの上記受け取り部と上記受け渡し部との間の空間を区画する仕切り板が、少なくとも１枚設けられていることを特徴とするものである。
The invention according to
そして、請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の発明において、上記独立気泡型パッドは、上記プレートごとに設けられているとともに、上記トップチェーンの走行方向に周設されていることを特徴とするものである。
The invention according to
そして、請求項４に記載の発明は、請求項１または２に記載の発明において、上記独立気泡型パッドは、上記プレートごとに設けられているとともに、隣接する上記独立気泡型パッド同士の間に、上記トップチェーンの走行方向に対して、上方から下方に向けて傾斜した隙間が形成され、かつ上記トップチェーンの走行方向に周設されていることを特徴とするものである。
The invention according to claim 4 is the invention according to
請求項１〜４に記載の本発明によれば、無端状に連結されたトップチェーンの外表面の幅方向両側に、上記トップチェーンの走行方向に延在する独立気泡型パッドを周設するとともに、その内表面を覆い、かつ当該トップチェーンの隣接するプレート同士の間隙を介して、上記独立気泡型パッド間に連通する真空吸引室を、搬送方向の受け取り部と受け渡し部との間に延設しているため、上記真空吸引室が延設された上記受け取り部と上記受け渡し部との間の任意の位置において、真空吸引手段のＯＮ／ＯＦＦを行うことにより、薄板ガラス基板を上記トップチェーンの上記独立気泡型パッド間において、吸着および離脱させることができ、当該薄板ガラス基板を一枚ごと連続搬送することができる。これにより、生産工程の均等なタイミングを図るための工程作業時間であるタクトタイムを短くすることができるとともに、作業効率を向上させることができる。 According to the first to fourth aspects of the present invention, the closed cell type pad extending in the traveling direction of the top chain is provided on both sides in the width direction of the outer surface of the top chain connected endlessly. A vacuum suction chamber that covers the inner surface of the top chain and communicates between the closed-cell type pads via a gap between adjacent plates of the top chain extends between the receiving part and the transferring part in the transport direction. Therefore, the thin glass substrate is attached to the top chain by turning ON / OFF the vacuum suction means at an arbitrary position between the receiving portion where the vacuum suction chamber is extended and the delivery portion. It can adsorb | suck and detach | leave between the said closed-cell type | mold pads, The said thin glass substrate can be continuously conveyed one by one. As a result, it is possible to shorten the tact time, which is a process work time for achieving an even timing of the production process, and to improve work efficiency.
また、無端状に形成された上記トップチェーンの複数のプレート同士の間隙を介して、上記独立気泡型パッド間に連通する上記真空吸引室を吸引し、上記薄板ガラス基板を上記独立気泡型パッド間の空間により吸着するため、従来のように、上記ガラス基板を吸着するための複数の吸盤や、これら複数の吸盤に負圧を発生させる真空吸引手段からの配管などの複雑な設備を必要としない。この結果、設備のスリム化を図ることができるとともに、簡素な構造により修理や補修が容易に行え、メンテナンスコストも抑えることができる。 Further, the vacuum suction chamber communicating between the closed cell type pads is sucked through a gap between the plates of the top chain formed endlessly, and the thin glass substrate is placed between the closed cell type pads. Therefore, it does not require complicated equipment such as a plurality of suction cups for sucking the glass substrate and piping from vacuum suction means for generating a negative pressure in the plurality of suction cups as in the prior art. . As a result, it is possible to reduce the size of the equipment, and it is possible to easily perform repairs and repairs with a simple structure, and to reduce maintenance costs.
そして、上記トップチェーンに周設されている上記独立気泡型パッドが、柔軟性を備えているとともに、空気を通し難いため、上記薄板ガラス基板を上記搬送手段の上記受け取り部において、上記真空吸引手段の作動により吸着する際に、上記薄板ガラス基板への衝撃を緩和させることができるとともに、上記薄板ガラス基板と上記独立気泡型パッド間の空間との気密を確保することができる。この結果、破損しやすく取り扱いの難しい上記薄板ガラス基板を効率良く連続搬送することができる。 Since the closed-cell type pad provided around the top chain has flexibility and it is difficult for air to pass therethrough, the thin glass substrate is placed in the receiving portion of the transport means at the vacuum suction means. When adsorbing by this operation, the impact on the thin glass substrate can be reduced, and airtightness between the thin glass substrate and the space between the closed cell type pads can be ensured. As a result, the thin glass substrate that is easily damaged and difficult to handle can be efficiently and continuously conveyed.
請求項２に記載の発明によれば、上記真空吸引室に、上記トップチェーンの上記受け取り部と上記受け渡し部との間の空間を区画する仕切り板が、少なくとも１枚設けられているため、区画毎に上記真空吸引手段を設けることにより、区画毎に真空吸引のＯＮ／ＯＦＦを切り換えることができる。これにより、上記薄板ガラス基板を上記搬送手段の上記受け取り部において吸着させ、上記搬送手段上方に沿って搬送し、上記搬送手段の上記受け渡し部において、上記薄板ガラス基板を離脱させる際に、次の上記薄板ガラス基板を上記受け取り部において吸着させることができ、複数枚を連続搬送させることができる。
According to the invention described in
請求項３に記載の発明によれば、上記独立気泡型パッドが、上記プレートごとに設けられているとともに、上記トップチェーンの走行方向に周設されているため、上記トップチェーンを走行させるトップスプロケットおよびテールスプロケットに、上記トップチェーンが歯合される際に、円周方向に生じる伸びを吸収することができる。これにより、上記独立気泡型パッドの破断や早期の劣化を防止することができる。 According to a third aspect of the present invention, the closed-cell type pad is provided for each of the plates and is circumferentially provided in the traveling direction of the top chain. When the top chain is meshed with the tail sprocket, the elongation generated in the circumferential direction can be absorbed. Thereby, the breakage and early deterioration of the closed cell pad can be prevented.
なお、上記独立気泡型パッドに上記切断部を形成したとても、上記真空吸引室内を上記真空吸引手段により吸引し、上記トップチェーンの隣接する上記プレート同士の間隙を介して吸引されて、上記薄板ガラス基板を上記独立気泡型パッドに当接させる際に、柔軟性を有する上記独立気泡型パッドが圧縮されることにより、上記切断部が密着するため、上記独立気泡型パッド間および上記独立気泡型パッド間に連通した上記真空吸引室内の気密を保つことができる。 In addition, the cutting portion is formed in the closed-cell type pad, the vacuum suction chamber is sucked by the vacuum suction means, and sucked through the gap between the plates adjacent to the top chain, and the thin glass plate When the substrate is brought into contact with the closed-cell type pads, the closed-cell type pads having flexibility are compressed so that the cut portions are brought into close contact with each other. Airtightness in the vacuum suction chamber communicated between them can be maintained.
請求項４に記載の発明によれば、上記独立気泡型パッドが、上記プレートごとに設けられているとともに、隣接する上記独立気泡型パッド同士の間に、上記トップチェーンの走行方向に対して、上方から下方に向けて傾斜した隙間が形成されているため、上記独立気泡型パッドの使用量を抑えることができる。これにより、設備コストのコストを抑えることができる。 According to invention of Claim 4, while the said closed-cell type pad is provided for every said plate, between the said adjacent closed-cell type pads, with respect to the running direction of the said top chain, Since the gap inclined from the upper side to the lower side is formed, the usage amount of the closed-cell type pad can be suppressed. Thereby, the cost of equipment cost can be held down.
なお、上記独立気泡型パッドの上記切断部に、上記隙間を形成したとても、上記真空吸引室内を上記真空吸引手段により吸引し、上記トップチェーンの隣接する上記プレート同士の間隙を介して吸引されて、上記薄板ガラス基板を上記独立気泡型パッドに当接させる際に、柔軟性を有する上記独立気泡型パッドが圧縮されることにより、上記隙間が密着するため、上記独立気泡型パッド間および上記独立気泡型パッド間に連通した上記真空吸引室内の気密を保つことができる。 The gap is formed in the cut portion of the closed cell pad, and the vacuum suction chamber is sucked by the vacuum suction means and sucked through the gap between the plates adjacent to the top chain. When the thin glass substrate is brought into contact with the closed-cell type pad, the closed-cell type pad having flexibility is compressed, so that the gap is in close contact with each other. The airtightness in the vacuum suction chamber communicated between the bubble type pads can be maintained.
図１〜図３に示すように、本発明の一実施形態の薄板吸着搬送コンベヤ装置１は、薄板ガラス基板ｔの搬送手段２と、この搬送手段２の上方に間隔を置いて配設されているとともに、平板状の複数枚のプレート７が無端状に連結されたトップチェーン６と、このトップチェーン６のトップスプロケット１１とテールスプロケット１２との間に延設された真空吸引室９と、この真空吸引室の負圧を保持するを真空吸引手段１０およびこの真空吸引手段１０に連結されたダクト１０ａとを備え概略構成されている。
As shown in FIGS. 1 to 3, a thin plate adsorption
ここで、搬送手段２は、ローラコンベヤ２が用いられている。このローラコンベヤ２は、搬送方向Ｆの上流側（図中左側）に、受け取り部３が設けられた第１ローラコンベヤ２ｃと、下流側（図中右側）に、受け渡し部４が設けられた第２ローラコンベヤ２ｄとにより構成されている。また、第１および第２ローラコンベヤ２ａ、２ｂは、薄板ガラス基板ｔが載置される載置台を上下に可動させるリフト手段１４が各々備えられている。このリフト手段１４は、エアーシリンダが用いられている。
Here, the
また、トップチェーン６は、搬送方向Ｆに延在しているとともに、４つが並列に等間隔でローラコンベヤ２の上方に配設されている。また、各々のトップチェーン６は、図５に示すように、平板状の複数枚のプレート７が、無端状に連結されている。このプレート７は、隣接する対向辺の一方側に凸部７ａが形成されているとともに、他方側に凸部７ａが係合する凹部７ｂが形成されている。
The
さらに、凸部７ａには、プレート７の幅方向に貫通した貫通孔７ｄが形成されている。そして、凸部７ａと係合する凹部７ｂ側には、凸部７ａの貫通孔７ｄと連通するとともに、凹部７ｂの上記幅方向両側の突状部に貫通する貫通孔７ｅが形成されている。そして、凸部７ａと凹部７ｂとを係合するとともに、貫通孔７ｄ、７ｅにピン材６ｂが挿通されて係合部６ａが回動自在に形成されているとともに、隣接するプレート７間に間隙が形成されている。
Furthermore, a through-hole 7d penetrating in the width direction of the
また、トップチェーン６の内表面６ｄ側には、プレート７の上記幅方向に対向配置された係合片７ｃが形成されている。この係合片７ｃは、凹部７ｂの上記幅方向両側の突状部に対向配置されているとともに、開口部の対向する内壁の鉛直から外方に突出し、かつプレート７と平行に間隔を置いて一体に形成されている。
Further, on the inner surface 6 d side of the
さらに、トップチェーン６は、図６（ａ）および図６（ｂ）に示すように、搬送方向Ｆの上流２ａ側のトップスプロケット１１、および下流２ｂ側のテールスプロケット１２に各々歯合されている。また、トップスプロケット１１は、モータｋのチェーンｍを介して回転自在に設けられている。さらに、トップスプロケット１１とテールスプロケット１２との間には、案内レール１３が設けられている。この案内レール１３は、図４に示すように、トップチェーン６の内表面６ｄに形成された係合片７ｃと、プレート７との間にが係合されている。また、案内レール１３は、トップチェーン６の走行方向に沿って延設されているとともに、鉛直方向の間隔を保持してトップチェーン６が走行するように設けられている。
Further, as shown in FIGS. 6A and 6B, the
また、トップチェーン６の外表面６ｃには、プレート７の上記幅方向両側に、トップチェーン６の走行方向に延在する独立気泡型パッド８が周設されている。この独立気泡型パッド８は、樹脂を発泡させたもので、気泡が各々個別に封じられている。また、独立気泡型パッド８は、図６（ａ）および図６（ｂ）に示すように、各々のプレート７ごとに設けられているとともに、隣接する独立気泡型パッド８同士の間に切断部８ａが形成されている。
Further, on the outer surface 6 c of the
また、独立気泡型パッド８の変形例として、図９に示すように、独立気泡型パッド８が、プレート７ごとに設けられているとともに、隣接する上記独立気泡型パッド８同士の間に、トップチェーンの走行方向に対して、上方から下方に向けて４５°の角度により傾斜して切断されているとともに、１．０〜１．５ｍｍの隙間８ｂが形成されている。
As a modification of the closed
そして、各々のトップチェーン６のトップスプロケット１１とテールスプロケット１２との間のローラコンベヤ２側には、トップチェーン６の内表面６ｄを覆うとともに、トップチェーン６の隣接するプレート７の間隙を介して、外表面６ｃに周設された独立気泡型パッド８間に連通する真空吸引室９が延設されている。真空吸引室９は、トップスプロケット１１側およびテールスプロケット１２側の突き板９ｂにより、空間が仕切られている。
Then, on the
さらに、図８（ｂ）に示す真空吸引室９の変形例においては、真空吸引室９に、トップチェーン６のトップスプロケット１１とテールスプロケット１２との間の空間を区画する仕切り板９ａが２箇所設けられている。この２箇所に設けられた仕切り板９ａにより、上流２a側から、第１真空吸引室９ｃ、第２真空吸引室９ｄ、第３真空吸引室９ｅが形成されている。
Further, in the modified example of the
また、真空吸引室９には、トップチェーン６のトップスプロケット１１とテールスプロケット１２との間に、間隔を置いて配設されたダクト１０ａが３箇所設けられている。このダクト１０ａは、各箇所に２つトップチェーン６の幅方向に設けられているとともに、各々のダクト１０ａに負圧を保持する真空吸引手段１０が接続されている。また、図８（ｂ）の真空吸引室９の変形例においては、トップチェーン６の走行方向に配設された仕切り板９ａにより区画された、第１真空吸引室９ｃ、第２真空吸引室９ｄ、第３真空吸引室９ｅに、ダクト１０ａが各々接続されている。また、各部屋ごとに接続されたダクト１０ａに接続された真空吸引手段１０は、真空吸引のＯＮ／ＯＦＦを個別に行えるようになっている。
Further, the
以上の構成による薄板吸着搬送コンベヤ装置１を用いて、薄板ガラス基板ｔを連続搬送するには、まず、図１に示す搬送方向Ｆの上流２ａ側の第１ローラコンベヤ２ｃに、薄板ガラス基板ｔを載置する。次に、薄板ガラス基板ｔを第１ローラコンベヤ２ｃの受け取り部３に搬送する。
In order to continuously transport the thin glass substrate t using the thin plate adsorption
そして、真空吸引手段１０を作動させて、ローラコンベヤ２の上方に配設された４箇所のトップチェーン６の内表面６ｄを覆う真空吸引室９内を真空吸引することにより、トップチェーン６の回動自在に係合されたプレート７の各々の隙間から吸引され、薄板ガラス基板ｔ間の空間とトップチェーン６との間に負圧が生じて、薄板ガラス基板ｔがトップチェーン６に引き寄せられて、独立気泡型パッド８間の空間に吸着する。
Then, the vacuum suction means 10 is operated, and the
この際、図７に示すように、独立気泡型パッド８間に吸着した薄板ガラス基板ｔは、独立気泡型パッド８が外気を遮断し、気密性を確保するため、真空吸引室９に連通した独立気泡型パッド８間の空間と薄板ガラス基板との間の負圧が保持されて、薄板ガラス基板ｔを確実に独立気泡型パッド８に支持させることができる。
At this time, as shown in FIG. 7, the thin glass substrate t adsorbed between the closed
次に、モータｋを作動させて、トップチェーン６に歯合されているトップスプロケット１１をチェーンｍを介して回転させる。そして、薄板ガラス基板ｔを搬送方向Ｆの上流２ａ側から下流２ｂ側に、ローラコンベヤ２上方に沿って搬送する。この際に、トップチェーン６の外表面６ｃに周設された独立気泡型パッド８が、プレート７ごとに設けることにより形成された各々の独立気泡型パッド間の切断部８ａにより、トップスプロケット１１およびテールスプロケット１２に歯合される際の、円周方向の伸びをこの切断部８ａにより吸収して、独立気泡型パッド８の負担が軽減される。
Next, the motor k is operated to rotate the
そして、薄板ガラス基板ｔを搬送方向Ｆの下流２ｂ側に配設されている第２ローラコンベヤ２ｄまで搬送する。さらに、第２ローラコンベヤ２ｄの受け渡し部４において、真空吸引手段を停止させることにより、真空吸引室９および真空吸引室９と連通している独立気泡型パッド８間が、負圧から正圧に戻り、薄板カラス基板ｔが独立気泡型パッド８から離脱して、第２ローラコンベヤ２ｄに載置され、さらに薄板ガラス基板ｔが次工程に搬送される。
Then, the thin glass substrate t is transported to the second roller conveyor 2d disposed on the downstream 2b side in the transport direction F. Further, by stopping the vacuum suction means at the transfer section 4 of the second roller conveyor 2d, the
また、独立気泡型パッド８を図９の変形例に示すように、プレート７ごとに設けることにより形成された各々の独立気泡型パッド間の切断部８ａに、４５°に傾斜した隙間８ｂを設けた場合には、トップスプロケット１１およびテールスプロケット１２に歯合される際の独立気泡型パッド８に生じる伸びを吸収するとともに、真空吸引手段１０の作動により、第１ローラコンベヤ２ｃの受け取り部３において、薄板ガラス基板ｔを独立気泡型パッド８に吸着させる際に、真空吸引により薄板ガラス基板ｔが吸着した独立気泡型パッド８は、その柔軟性により変形することにより、隙間８ｂが密着して、気密性を保持することができる。
Further, as shown in the modified example of FIG. 9, a
さらに、通常の連続搬送では、仕切り板９ａが無い図８（ａ）に示すように、１枚目を搬送方向Ｆの上流２ａ側の受け取り部３で吸着し、吸着を保持したまま下流２ｂ側の受け渡し部４まで搬送し、薄板ガラス基板ｔを離脱した後に、２枚目の薄板ガラス基板ｔを上流２ａ側の受け取り部３において吸着する。
Further, in the normal continuous conveyance, as shown in FIG. 8A without the partition plate 9a, the first sheet is adsorbed by the receiving
一方、真空吸引室９に、トップチェーン６のトップスプロケット１１とテールスプロケット１２との間を区画する仕切る仕切り板９ａを設けた場合には、図８（ｂ）に示すように、１枚目を上流２ａ側の受け取り部３の第１真空吸引室９ｃにおいて吸着し、薄板ガラス基板ｔが仕切り板９ａを超えて、第２真空吸引室９ｄまで搬送させることにより、トップチェーン６の走行および受け取り部３の真空吸引室９ｃの吸引を停止して、２枚目の薄板ガラス基板ｔを第１ローラコンベアにセットした後に、受け取り部３の第１真空吸引室９ｃにおいて、真空急進手段を作動させて、２枚目の薄板ガラス基板ｔを吸着することができる。
On the other hand, when the partition plate 9a for partitioning between the
さらに、２枚目の薄板ガラス基板ｔを吸着後に、トップスプロケット１１を回転させ、トップチェーン６を走行させて、２枚目の薄板ガラス基板ｔを第２真空吸引室９ｄに搬送する。このときに、一枚目の薄板ガラス基板ｔが第３真空吸引室９ｅに搬送されるとともに、第２ローラコンベヤ２ｄの受け渡し部４に搬送されるため、第３真空吸引室９ｄの真空吸引を停止することにより、薄板ガラス基板ｔが第２ローラコンベア上に載置される。
また、１枚目の薄板ガラス基板ｔを下流２ｂ側の受け渡し部４において、離脱させると同時に、上流２ａ側の受け取り部３において、３枚目の薄板ガラス基板ｔを吸着することができる。このように、真空吸引室９のトップチェーン６の走行方向の空間を仕切ることにより、複数枚の薄板ガラス基板ｔを連続搬送することができる。
Further, after attracting the second thin glass substrate t, the
Further, at the same time as the first thin glass substrate t is separated from the delivery section 4 on the downstream 2b side, the third thin glass substrate t can be adsorbed on the receiving
上述の実施形態による薄板吸着搬送コンベヤ装置１によれば、無端状に連結されたトップチェーン６の外表面６ｃの幅方向両側に、当該トップチェーン６の走行方向に延在する独立気泡型パッド８を周設するとともに、その内表面６ｄを覆い、かつ当該トップチェーン６の隣接するプレート７同士の間隙を介して、独立気泡型パッド８間に連通する真空吸引室９を、搬送方向Ｆの受け取り部３と受け渡し部４との間に延設しているため、真空吸引室９が延設された受け取り部３と受け渡し部４との間の任意の位置において、真空吸引手段１０のＯＮ／ＯＦＦを行うことにより、薄板ガラス基板ｔをトップチェーン６の独立気泡型パッド８間において、吸着および離脱させることができ、薄板ガラス基板ｔを一枚ごと連続搬送することができる。これにより、生産工程の均等なタイミングを図るための工程作業時間であるタクトタイムを短くすることができるとともに、作業効率を向上させることができる。
According to the thin plate adsorbing and conveying
また、無端状に形成されたトップチェーン６の複数のプレート７同士の間隙を介して、独立気泡型パッド８間に連通する真空吸引室９を真空吸引手段１０により吸引し、薄板ガラス基板ｔを独立気泡型パッド８間の空間により吸着するため、従来のように、薄板ガラス基板ｔを吸着するための複数の吸盤や、これら複数の吸盤に負圧を発生させる真空吸引手段１０からの複数の配管などの設備を必要としない。この結果、設備のスリム化を図ることができるとともに、簡素な構造により修理や補修が容易に行え、メンテナンスコストも抑えることができる。
In addition, the
そして、トップチェーン６に周設された独立気泡型パッド８が、柔軟性を備えているとともに、空気を通し難いため、薄板ガラス基板ｔを第１ローラコンベヤ２ｃの受け取り部３において、真空吸引手段１０の作動により吸着する際に、薄板ガラス基板ｔに及ぼす衝撃を緩和させることができるとともに、薄板ガラス基板ｔと独立気泡型パッド８間の空間との気密性を確保することができる。この結果、破損しやすく、しかもキズが付きやすい上記薄板ガラス基板を効率良く連続搬送することができる。
And since the closed
さらに、図８（ｂ）に示すように、真空吸引室９に、トップチェーン６の受け取り部３と受け渡し部４と間の空間を区画する仕切り板９ａが、２枚間隔を置いて設けられているとともに、この仕切り板９ａにより、第１真空吸引室９ｃ、第２真空吸引室９ｄ、第３真空吸引室９ｅが形成されているため、各々の真空吸引室９ｃ、９ｄ、９ｅに、真空吸引手段１０を設けることにより、各々の真空吸引室９ｃ、９ｄ、９ｅごとに真空吸引のＯＮ／ＮＯＦＦを切り換えることができ、複数枚の薄板ガラス基板ｔを搬送することができる。これにより、さらにタクトタイムを短縮することができ、作業効率を向上させることができる。
Further, as shown in FIG. 8B, the
また、独立気泡型パッド８が、プレート７ごとに設けられて、トップチェーン６の走行方向に周設されているため、トップスプロケット１１およびテールスプロケット１２に、トップチェーン６が歯合される際に、円周方向に生じる伸びを吸収することができる。これにより、独立気泡型パッド８の破断や早期の劣化を防止することができる。
Further, since the closed
なお、独立気泡型パッドに切断部８ａを形成したとても、真空吸引室内９を真空吸引手段１０により吸引し、トップチェーン６の隣接するプレート７同士の間隙を介して吸引されて、薄板ガラス基板ｔを独立気泡型パッド８に当接させる際に、柔軟性を有する独立気泡型パッド８が圧縮されることにより、切断部８ａが密着するため、独立気泡型パッド８間および独立気泡型パッド８間に連通した真空吸引室９内の気密を保つことができる。
In addition, the cutting part 8a is formed in the closed cell type pad, and the
さらに、図９に示す独立気泡型パッドの変形例においては、独立気泡型パッド８が、プレート７ごとに設けられているとともに、隣接する独立気泡型パッド８同士の間に、トップチェーンの走６行方向に対して、上方から下方に向けて傾斜した隙間８ｂが形成されているため、独立気泡型パッド８の使用量を抑えることができる。これにより、設備コストのコストを抑えることができる。
Further, in the modified example of the closed cell type pad shown in FIG. 9, the closed
なお、独立気泡型パッド８の切断部８ａに、隙間８ｂを形成したとても、真空吸引室９内を吸引手段１０により吸引し、トップチェーン６の隣接するプレート７同士の間隙を介して真空吸引され、薄板ガラス基板ｔを独立気泡型パッド８に当接させる際に、柔軟性を有する独立気泡型パッド８が圧縮されることにより、隙間８ｂが密着するため、独立気泡型パッド８間および独立気泡型パッド８間に連通した真空吸引室９内の気密を保つことができる。
In addition, a
なお、上記実施の形態において、独立気泡型パッド８を気泡を各々独立させて発泡した樹脂を用いる場合のみ説明したが、これに限定されるものでなく、例えば、柔軟性を有するゴムでも対応可能である。
また、ローラコンベヤ２を第１ローラコンベヤ２ｃおよび第２ローラコンベヤ２ｄに分離している場合のみ説明したが、これに限定されるものでなく、例えば、一連のローラコンベヤ２でも対応可能である。
されに、搬送手段２をローラコンベヤ２を用いる場合のみ説明したが、これに限定されるものでなく、例えば、ベルトコンベヤでも対応可能である。
In the above-described embodiment, only the case where the closed-
Moreover, although demonstrated only when the
In addition, although only the case where the roller means 2 is used as the conveying
薄板ガラス基板などの薄板材に利用することができる。 It can be used for a thin plate material such as a thin glass substrate.
１ 薄板吸着搬送コンベヤ装置
２ 搬送手段
２ａ 上流側
２ｂ 下流側
３ 受け取り部
４ 受け渡し部
５ ストッパ部
６ トップチェーン
６ａ 係合部
６ｂ ピン材
６ｃ 外表面
６ｄ 内表面
７ プレート
８ 独立気泡型パッド
８ａ 切断部
８ｂ 隙間
９ 真空吸引室
９ａ 仕切り板
１０ 真空吸引手段
１１ トップスプロケット
１２ テールスプロケット
１３ 案内部材
ｔ 薄板ガラス基板
DESCRIPTION OF
Claims (4)
上記トップチェーンは、隣接する上記プレートの対向辺の一方側に凸部が形成され、かつ他方側に上記凸部が係合する凹部が形成されて、これら係合部の幅方向にピン材が挿通されて回動自在に連結されているとともに、外表面の上記プレートの上記幅方向両側に、上記トップチェーンの走行方向に延在する独立気泡型パッドが周設されてなり、
上記トップチェーンの上記受け取り部と上記受け渡し部との間には、上記トップチェーンの内表面を覆うとともに、上記プレートの間を介して上記外表面に周設された上記独立気泡型パッド間の空間に連通する真空吸引室が延設され、
上記真空吸引室には、負圧を保持する真空吸引手段が設けられていることを特徴とする薄板吸着搬送コンベヤ装置。 A thin glass substrate conveying means provided with a receiving portion upstream in the conveying direction and a delivery portion provided downstream, and a plurality of flat plates are endlessly disposed above the conveying means. The thin glass substrate is adsorbed to the top chain and conveyed along the upper portion of the conveying means, and the receiving portion of the conveying means conveys the upper glass chain in the receiving portion of the conveying means. In the thin plate adsorption transport conveyor device for releasing the thin glass substrate from the top chain by releasing the adsorption,
The top chain has a convex portion formed on one side of the opposing side of the adjacent plate, and a concave portion that engages the convex portion on the other side. It is inserted and pivotally connected, and on the both sides in the width direction of the plate on the outer surface, a closed cell type pad extending in the running direction of the top chain is provided around,
A space between the closed cell pad between the receiving portion and the delivery portion of the top chain that covers the inner surface of the top chain and is provided around the outer surface through the plate. A vacuum suction chamber communicating with the
The vacuum suction chamber is provided with a vacuum suction means for holding a negative pressure.
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Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3477558A (en) * | 1966-10-27 | 1969-11-11 | Fred J Fleischauer | Air lift and vacuum conveyors and foraminous belt means therefor |
| JPS50121966A (en) * | 1974-02-04 | 1975-09-25 | ||
| JPH0243122A (en) * | 1988-06-09 | 1990-02-13 | Commiss Energ Atom | Passage adaptable for transporting part in ultra-clean environment |
| JPH0351711U (en) * | 1989-09-22 | 1991-05-20 | ||
| JPH07206124A (en) * | 1994-01-18 | 1995-08-08 | Oobari Tekunika:Kk | Conveyor device |
| JP2003020136A (en) * | 2001-04-26 | 2003-01-21 | Heidelberger Druckmas Ag | Device for conveying sheet stream from sheet pile into sheet processing machine |
| JP2006347739A (en) * | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Nihon Yamamura Glass Co Ltd | Carrying method and device of vessel and table top chain used therefor |
| JP2008074565A (en) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Nippon Electric Glass Co Ltd | Suction-holding method and suction-holding pad for plate-like object |
-
2010
- 2010-12-06 JP JP2010271399A patent/JP5742196B2/en active Active
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3477558A (en) * | 1966-10-27 | 1969-11-11 | Fred J Fleischauer | Air lift and vacuum conveyors and foraminous belt means therefor |
| JPS50121966A (en) * | 1974-02-04 | 1975-09-25 | ||
| JPH0243122A (en) * | 1988-06-09 | 1990-02-13 | Commiss Energ Atom | Passage adaptable for transporting part in ultra-clean environment |
| JPH0351711U (en) * | 1989-09-22 | 1991-05-20 | ||
| JPH07206124A (en) * | 1994-01-18 | 1995-08-08 | Oobari Tekunika:Kk | Conveyor device |
| JP2003020136A (en) * | 2001-04-26 | 2003-01-21 | Heidelberger Druckmas Ag | Device for conveying sheet stream from sheet pile into sheet processing machine |
| JP2006347739A (en) * | 2005-06-20 | 2006-12-28 | Nihon Yamamura Glass Co Ltd | Carrying method and device of vessel and table top chain used therefor |
| JP2008074565A (en) * | 2006-09-21 | 2008-04-03 | Nippon Electric Glass Co Ltd | Suction-holding method and suction-holding pad for plate-like object |
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