JP2012104732A - Nozzle position adjustment method, program, computer storage medium and coating processing device - Google Patents

Nozzle position adjustment method, program, computer storage medium and coating processing device Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To adjust a nozzle position to supply a coating liquid accurately and promptly, without dependent on the skill of an operator, when performing coating processing on a substrate by a coating processing device.SOLUTION: A method for adjusting the position of a coating liquid nozzle 33 to supply the coating liquid to a wafer includes: moving the coating liquid nozzle 33 to the upward of the center portion of a spin chuck 20 which is in a state that the wafer is not held; thereafter, imaging a suction port 20a corresponding to the center portion of the spin chuck 20 and the tip portion of the coating liquid nozzle 33 by CCD cameras 50, 51; and in the imaged image, adjusting the position of the coating liquid nozzle 33 so as to make the position of the center of the tip portion of the coating liquid nozzle 33 in the horizontal direction coincident with the position of the suction port 20a, which is the center portion of the spin chuck 20 in the horizontal direction.

Description

本発明は、基板上に塗布液を供給して塗布処理を行う際に当該塗布液を供給するノズルの位置調整方法形、プログラム、コンピュータ記憶媒体及び塗布処理装置に関する。   The present invention relates to a nozzle position adjustment method, a program, a computer storage medium, and a coating processing apparatus for supplying a coating liquid on a substrate to perform the coating process.

例えば半導体デバイスの製造プロセスにおけるフォトリソグラフィー工程では、例えば半導体ウェハ（以下、「ウェハ」という。）上にレジスト液を塗布しレジスト膜を形成するレジスト塗布処理、当該レジスト膜を所定のパターンに露光する露光処理、露光されたレジスト膜を現像する塗布処理などが順次行われ、ウェハ上に所定のレジストパターンが形成される。これらのウェハの処理は、各種の処理装置が多数備えられた塗布処理システムにおいて、枚葉式に連続して行われている。   For example, in a photolithography process in a semiconductor device manufacturing process, for example, a resist coating process for applying a resist solution on a semiconductor wafer (hereinafter referred to as “wafer”) to form a resist film, and exposing the resist film to a predetermined pattern An exposure process, a coating process for developing the exposed resist film, and the like are sequentially performed to form a predetermined resist pattern on the wafer. The processing of these wafers is continuously performed in a single wafer manner in a coating processing system provided with a number of various processing apparatuses.

この塗布処理システムで行われるレジスト塗布処理は、通常塗布処理装置で行われている。塗布処理装置は、ウェハを載置し保持して回転させるスピンチャックと、ウェハの上方からレジスト液を吐出するノズルを備えている。レジスト塗布処理時には、スピンチャックにウェハを載置し当該スピンチャックを回転させ、回転しているウェハの中心部に対応する位置にノズルを移動させ、ノズルからレジスト液を吐出し、レジスト液をウェハの中心部から全体に拡散させることによって行われている。   The resist coating processing performed in this coating processing system is usually performed by a coating processing apparatus. The coating processing apparatus includes a spin chuck that mounts, holds, and rotates a wafer, and a nozzle that discharges a resist solution from above the wafer. During the resist coating process, the wafer is placed on the spin chuck, the spin chuck is rotated, the nozzle is moved to a position corresponding to the center of the rotating wafer, the resist solution is discharged from the nozzle, and the resist solution is applied to the wafer. It is done by diffusing from the center to the whole.

ところで、レジスト膜の形成においては、レジスト液をウェハ上に均一にムラなく塗布する必要があるが、レジスト液がウェハ上で局部的に塗布されていない、あるいはレジスト液が局部的に薄く又は厚く塗布されるといった塗布不良が生じる場合がある。   By the way, in the formation of the resist film, it is necessary to apply the resist solution uniformly and evenly on the wafer. However, the resist solution is not locally applied on the wafer, or the resist solution is locally thin or thick. In some cases, application failure such as application may occur.

このような塗布不良は、例えばレジスト液をウェハに供給する際に、ウェハ中心部とノズルとの位置がずれていた場合や、ノズルをウェハの中心部に対応する位置に移動させる過程において目的外の位置でノズルからレジスト液が滴下してしまい、このレジスト液の滴下に気付かずにウェハの中心部でレジスト液を供給して回転塗布を行った場合などに発生することが知られている。   For example, such a coating defect is not intended when the position of the wafer center and the nozzle is shifted when supplying the resist solution to the wafer or when the nozzle is moved to a position corresponding to the center of the wafer. It is known that this occurs when, for example, the resist solution is dropped from the nozzle at this position, and the resist solution is supplied at the center of the wafer and spin coating is performed without noticing the dropping of the resist solution.

目的外の位置へのレジスト液の滴下が発生したことを検出し塗布不良を未然に防止する方法としては、例えば特許文献１に、ウェハの中心部へ移動中のノズルを撮像手段により光学的に撮像し、ノズルからレジスト液が滴下した、あるいは滴下しそうな状態になっていることを検出することが提案されている。そして、目的外の位置へのレジスト液の滴下を検出した場合には塗布処理を停止させて不良品の発生を防止し、歩留まりの向上が図られる。   As a method for detecting the occurrence of dripping of a resist solution at an undesired position and preventing a coating failure in advance, for example, in Patent Document 1, a nozzle moving to the center of a wafer is optically detected by an imaging means. It has been proposed to pick up an image and detect that the resist solution has dropped or is about to drop from the nozzle. Then, when the dropping of the resist solution to an unintended position is detected, the coating process is stopped to prevent the generation of defective products, thereby improving the yield.

特開２００８−１３５６７９号公報JP 2008-135679 A

ところで、上記レジスト塗布装置におけるノズルの位置調整、即ちセンタリング調整は、従来より作業員の目視によって行われていた。つまり、スピンチャックの回転中心にウェハの中心が合うようにウェハが載置されているか否か、及びノズルがスピンチャックの回転中心軸上に位置しているか否かを肉眼で確認し、位置ずれがある場合には、作業員によってその位置ずれ量を推定し、手探りで修正することにより位置調整されていた。このため、センタリング調整には、時間がかかり、その間装置を稼動できないため、装置の稼働率の低下を招いていた。   By the way, the position adjustment of the nozzle in the resist coating apparatus, that is, the centering adjustment has been conventionally performed by visual observation by an operator. That is, whether the wafer is placed so that the center of the wafer is aligned with the rotation center of the spin chuck and whether the nozzle is positioned on the rotation center axis of the spin chuck are checked with the naked eye, and the positional deviation is detected. If there is, the position was adjusted by estimating the amount of displacement by a worker and correcting it by groping. For this reason, centering adjustment takes time, and the apparatus cannot be operated during that time, resulting in a decrease in the operating rate of the apparatus.

加えて、ノズルがスピンチャックの回転中心軸上に位置しているか否かの確認は、通常、例えばスピンチャックの中心部に形成された、ウェハ吸着保持用の吸引口の中心位置とノズルの中心位置とが一致しているか否かを確認することにより行われるが、この吸引口の直径が例えば７ｍｍであるのに対して、ノズルの外径は、例えば３ｍｍ程度であるため、肉眼においては調整が完了したように見えても、実際には数ミリ程度のずれが生じていることもしばしばあった。したがって、作業員の熟練度によっては常に一定の精度を確保できず、位置調整が不正確になるという問題もある。この場合、上述のようにウェハ中心部とノズルとの位置がずれることで塗布不良の発生の原因となってしまう。   In addition, whether or not the nozzle is located on the rotation center axis of the spin chuck is usually determined by, for example, the center position of the suction port for holding and holding the wafer and the center of the nozzle formed at the center of the spin chuck, for example. This is done by confirming whether or not the positions coincide with each other. The diameter of the suction port is, for example, 7 mm, whereas the outer diameter of the nozzle is, for example, about 3 mm. Even though it seemed to be completed, there was often a deviation of several millimeters in practice. Accordingly, there is a problem that a certain accuracy cannot always be ensured depending on the skill level of the worker, and the position adjustment becomes inaccurate. In this case, as described above, the position of the wafer central portion and the nozzle are displaced, which causes the occurrence of coating failure.

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、塗布処理装置により基板に対して塗布処理を行うにあたり、塗布液を供給するノズルの位置調整を作業員の熟練度によらず正確で且つ迅速に行うことを目的としている。   The present invention has been made in view of the above points, and in performing the coating process on the substrate by the coating processing apparatus, the position adjustment of the nozzle for supplying the coating liquid is accurate regardless of the skill level of the operator and The goal is to do it quickly.

前記の目的を達成するための本発明は、回転保持部材によって保持された基板上にノズルから塗布液を供給し、前記回転保持部材を回転させることで基板に塗布処理を行う塗布処理装置において、前記ノズルの位置調整を行う方法であって、前記ノズルを、基板が保持されていない状態の前記回転保持部材の中心部の上方に移動させ、その後、前記回転保持部材の中心部及び前記ノズルの先端部を撮像手段により撮像し、前記撮像された画像において、前記ノズルの先端部の中心の水平方向の位置と前記回転保持部材の中心部の水平方向の位置とが一致するように前記ノズルの位置を調整することを特徴としている。   To achieve the above object, the present invention provides a coating processing apparatus for supplying a coating liquid from a nozzle onto a substrate held by a rotation holding member and performing a coating process on the substrate by rotating the rotation holding member. A method of adjusting the position of the nozzle, wherein the nozzle is moved above the center portion of the rotation holding member in a state where the substrate is not held, and then the center portion of the rotation holding member and the nozzle The tip is imaged by an imaging means, and in the imaged image, the horizontal position of the center of the tip of the nozzle matches the horizontal position of the center of the rotation holding member. It is characterized by adjusting the position.

本発明によれば、撮像手段により撮像された画像においてノズルの先端部の中心の位置と前記回転保持部材の中心部の位置とが一致するノズルの位置を調整するので、作業員の熟練度によらず短時間でセンタリング作業を実施することができる。また、撮像手段に、例えば高解像度のＣＣＤカメラなどを用いることで、作業員の目視以上の精度で位置調整を行うことが可能となる。   According to the present invention, the position of the nozzle where the position of the center of the tip of the nozzle matches the position of the center of the rotation holding member in the image picked up by the image pickup means is adjusted. Therefore, the centering work can be performed in a short time. Further, by using, for example, a high-resolution CCD camera or the like as the imaging means, it is possible to perform position adjustment with an accuracy that is higher than the visual observation of the worker.

前記調整されたノズルの位置情報を記憶し、その後、前記回転保持部材に基板を保持して当該基板に塗布処理を行い、その後、塗布処理後の基板を前記回転保持部材から取り去り、当該回転保持部材に基板が保持されていない状態で前記ノズルを前記回転保持部材の中心部の上方に移動させ、その後、前記ノズルの先端部及び前記回転保持部材の中心部を撮像手段により撮像し、その後、前記撮像された画像から求められた前記ノズルの位置情報と前記記憶されたノズルの位置情報とを比較し、両位置情報に差がある場合には、当該ノズルの位置を前記記憶された位置情報と一致するように前記ノズルを移動させてもよい。   The adjusted position information of the nozzle is stored, and then the substrate is held on the rotation holding member to perform the coating process on the substrate, and then the substrate after the coating process is removed from the rotation holding member, and the rotation holding is performed. The nozzle is moved above the center portion of the rotation holding member in a state where the substrate is not held by the member, and then the tip of the nozzle and the center portion of the rotation holding member are imaged by the imaging means, and then The position information of the nozzle obtained from the captured image is compared with the stored position information of the nozzle, and when there is a difference between the position information, the position of the nozzle is stored in the stored position information. The nozzle may be moved so as to coincide with.

前記ノズルの先端部及び前記回転保持部材の中心部の撮像は、２台の撮像手段により行われ、前記２台の撮像手段による撮像は、互いの撮像方向が平面視において直交する方角から行われてもよい。   Imaging of the tip of the nozzle and the central portion of the rotation holding member is performed by two imaging units, and imaging by the two imaging units is performed from directions in which the imaging directions are orthogonal to each other in plan view. May be.

前記撮像手段により撮像される前記回転保持部材の中心部は、前記回転保持部材の中心部に形成された前記基板を吸着保持する吸引口であり、前記撮像された画像において、前記ノズルの先端部の中心の水平方向の位置と前記吸引口の中心部の水平方向の位置とが一致し、且つ前記ノズルの先端部の手前側の端部と、前記吸引口の手前側の端部との距離が所定の値となるように前記ノズルの位置を調整してもよい。   The central portion of the rotation holding member imaged by the imaging means is a suction port that sucks and holds the substrate formed at the central portion of the rotation holding member, and in the captured image, the tip portion of the nozzle The distance between the horizontal position of the center of the nozzle and the horizontal position of the center of the suction port, and the end on the near side of the tip of the nozzle and the end on the near side of the suction port The position of the nozzle may be adjusted so that becomes a predetermined value.

別な観点による本発明によれば、前記ノズルの位置調整方法を塗布処理装置によって実行させるために、当該塗布処理装置を制御する制御部のコンピュータ上で動作するプログラムが提供される。   According to another aspect of the present invention, there is provided a program that operates on a computer of a control unit that controls the coating processing apparatus in order to cause the coating processing apparatus to execute the nozzle position adjustment method.

また別な観点による本発明によれば、前記プログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体が提供される。   According to another aspect of the present invention, a readable computer storage medium storing the program is provided.

さらに別な観点による本発明は、回転保持部材によって保持された基板上にノズルから塗布液を供給し、前記回転保持部材を回転させることで基板に塗布処理を行う塗布処理装置であって、塗布液を基板上に供給する塗布液ノズルと、前記ノズルを移動させる移動機構と、前記ノズルの先端部及び前記回転保持部材の中心部を撮像する撮像手段と、前記移動機構と、前記撮像手段の動作を制御する制御部と、を有し、前記撮像手段は、互いの撮像方向が平面視において直交する方角から撮像を行うように２台設置され、前記制御部は、前記撮像された画像において、前記ノズルの先端部の中心の位置と前記回転保持部材の中心部の位置とが一致するように前記ノズルの位置を調整する制御を行うことを特徴としている。   According to yet another aspect of the present invention, there is provided a coating processing apparatus for supplying a coating liquid from a nozzle onto a substrate held by a rotation holding member and performing a coating process on the substrate by rotating the rotation holding member. A coating liquid nozzle for supplying a liquid onto the substrate, a moving mechanism for moving the nozzle, an imaging means for imaging the tip of the nozzle and the central portion of the rotation holding member, the moving mechanism, and the imaging means. A control unit that controls the operation, and two of the imaging units are installed so that the imaging directions are orthogonal to each other in plan view, and the control unit The control is performed to adjust the position of the nozzle so that the position of the center of the tip of the nozzle coincides with the position of the center of the rotation holding member.

前記制御部は、前記調整されたノズルの位置情報を記憶し、その後、前記回転保持部材に基板を保持して当該基板に塗布処理を行い、その後、塗布処理後の基板を前記回転保持部材から取り去り、当該回転保持部材に基板が保持されていない状態で前記ノズルを前記回転保持部材の中心部の上方に移動させ、その後、前記ノズルの先端部及び前記回転保持部材の中心部を撮像手段により撮像し、その後、前記撮像された画像から求められた前記ノズルの位置情報と前記記憶されたノズルの位置情報とを比較し、両位置情報に差がある場合には、当該ノズルの位置を前記記憶された位置情報と一致するように前記ノズルを移動させる制御を行ってもよい。   The control unit stores the adjusted nozzle position information, then holds the substrate on the rotation holding member and performs a coating process on the substrate, and then removes the substrate after the coating process from the rotation holding member. The nozzle is moved above the center of the rotation holding member in a state where the substrate is not held by the rotation holding member, and then the tip of the nozzle and the center of the rotation holding member are moved by the imaging unit. Then, the nozzle position information obtained from the captured image is compared with the stored nozzle position information, and if there is a difference between the position information, the nozzle position is Control may be performed to move the nozzle so as to match the stored position information.

また、別な観点による本発明は、回転保持部材によって保持された基板上にノズルから塗布液を供給し、前記回転保持部材を回転させることで基板に塗布処理を行う塗布処理装置であって、塗布液を基板上に供給する塗布液ノズルと、前記ノズルを移動させる移動機構と、前記ノズルの先端部と、前記回転保持部材の中心部に形成された前記基板を吸着保持する吸引口とを撮像する撮像手段と、前記移動機構と、前記撮像手段の動作を制御する制御部と、を有し、前記制御部は、前記撮像された画像において、前記ノズルの先端部の中心の水平方向の位置と前記吸引口の中心部の水平方向の位置とが一致し、且つ前記ノズルの先端部の手前側の端部と、前記吸引口の手前側の端部との距離が所定の値となるように前記ノズルの位置を調整する制御を行うことを特徴としている。   Another aspect of the present invention is a coating processing apparatus that supplies a coating liquid from a nozzle onto a substrate held by a rotation holding member and performs a coating process on the substrate by rotating the rotation holding member. A coating liquid nozzle that supplies the coating liquid onto the substrate; a moving mechanism that moves the nozzle; a tip portion of the nozzle; and a suction port that sucks and holds the substrate formed at the center of the rotation holding member. An image pickup unit that picks up an image, the moving mechanism, and a control unit that controls the operation of the image pickup unit, and the control unit is arranged in the horizontal direction at the center of the tip of the nozzle in the picked-up image. The position and the horizontal position of the central portion of the suction port coincide with each other, and the distance between the front end portion of the nozzle tip and the front end portion of the suction port is a predetermined value. Adjust the nozzle position so that It is characterized by performing the control.

本発明によれば、塗布処理装置により基板に対して塗布処理を行うにあたり、塗布液を供給するノズルの位置調整を作業員の熟練度によらず正確で且つ迅速に行うことを目的としている。   According to the present invention, when performing a coating process on a substrate by a coating processing apparatus, it is an object to accurately and quickly adjust the position of a nozzle for supplying a coating liquid regardless of the skill level of an operator.

本実施の形態にかかる塗布処理装置の構成の概略を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the outline of a structure of the coating processing apparatus concerning this Embodiment. 本実施の形態にかかる塗布処理装置の構成の概略を示す横断面図である。It is a cross-sectional view which shows the outline of a structure of the coating processing apparatus concerning this Embodiment. 塗布液ノズル及びスピンチャック近傍の機器構成の概略を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the outline of the apparatus structure of a coating liquid nozzle and a spin chuck vicinity. 表示部に表示された画像を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the image displayed on the display part. 塗布処理の主な工程を示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the main processes of an application | coating process. ＣＣＤカメラをカップに固定した場合の当該カップ近傍の機器構成の概略を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the outline of the apparatus structure of the said cup vicinity at the time of fixing a CCD camera to a cup. 他の実施の形態にかかる塗布処理装置の構成の概略を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the outline of a structure of the coating processing apparatus concerning other embodiment. 他の実施の形態にかかる塗布処理装置の構成の概略を示す縦断面図である。It is a longitudinal cross-sectional view which shows the outline of a structure of the coating processing apparatus concerning other embodiment. 表示部に表示された画像を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the image displayed on the display part.

以下、本発明の実施の形態について説明する。図１は、本実施の形態にかかる位置調整方法が行われる塗布処理装置１の構成の概略を示す縦断面図である。図２は、塗布処理装置１の構成の概略を示す横断面図である。   Embodiments of the present invention will be described below. FIG. 1 is a longitudinal sectional view showing an outline of a configuration of a coating treatment apparatus 1 in which the position adjustment method according to the present embodiment is performed. FIG. 2 is a cross-sectional view showing an outline of the configuration of the coating treatment apparatus 1.

塗布処理装置１は、図１に示すように処理容器１０を有している。処理容器１０内の中心部には、ウェハＷを保持して回転させる回転保持部材としてのスピンチャック２０が設けられている。スピンチャック２０は、水平な上面を有し、当該上面の中心部には、例えばウェハＷを吸引する吸引口２０ａが設けられている。この吸引口０ａからの吸引により、ウェハＷをスピンチャック２０上に吸着保持できる。   The coating processing apparatus 1 has a processing container 10 as shown in FIG. A spin chuck 20 as a rotation holding member that holds and rotates the wafer W is provided at the center of the processing container 10. The spin chuck 20 has a horizontal upper surface, and a suction port 20a for sucking, for example, the wafer W is provided at the center of the upper surface. The wafer W can be sucked and held on the spin chuck 20 by suction from the suction port 0a.

スピンチャック２０は、例えばモータなどを備えたチャック駆動機構２１を有し、そのチャック駆動機構２１により所定の速度に回転できる。また、チャック駆動機構２１には、シリンダなどの昇降駆動源が設けられており、スピンチャック２０は上下動可能になっている。   The spin chuck 20 includes a chuck drive mechanism 21 including, for example, a motor, and can be rotated at a predetermined speed by the chuck drive mechanism 21. Further, the chuck drive mechanism 21 is provided with an elevating drive source such as a cylinder, so that the spin chuck 20 can move up and down.

スピンチャック２０の周囲には、ウェハＷから飛散又は落下する液体を受け止め、回収するカップ２２が設けられている。カップ２２の下面には、回収した液体を排出する排出管２３と、カップ２２内の雰囲気を排気する排気管２４が接続されている。   Around the spin chuck 20, there is provided a cup 22 that receives and collects the liquid scattered or dropped from the wafer W. A discharge pipe 23 for discharging the collected liquid and an exhaust pipe 24 for exhausting the atmosphere in the cup 22 are connected to the lower surface of the cup 22.

図２に示すようにカップ２２のＸ方向負方向（図２の下方向）側には、Ｙ方向（図２の左右方向）に沿って延伸するレール３０が形成されている。レール３０は、例えばカップ２２のＹ方向負方向（図２の左方向）側の外方からＹ方向正方向（図２の右方向）側の外方まで形成されている。レール３０には、例えば二本のアーム３１、３２が取り付けられている。   As shown in FIG. 2, a rail 30 extending along the Y direction (left and right direction in FIG. 2) is formed on the X direction negative direction (downward direction in FIG. 2) side of the cup 22. The rail 30 is formed, for example, from the outer side of the cup 22 on the Y direction negative direction (left direction in FIG. 2) to the outer side on the Y direction positive direction (right direction in FIG. 2). For example, two arms 31 and 32 are attached to the rail 30.

第１のアーム３１には、図１及び図２に示すようにウェハＷに塗布液としての、例えばレジスト液を供給する塗布液ノズル３３が支持されている。塗布液ノズル３３は、その先端が略円錐形状をした円筒状に形成されている。   As shown in FIGS. 1 and 2, the first arm 31 supports a coating solution nozzle 33 that supplies, for example, a resist solution as a coating solution to the wafer W. The coating liquid nozzle 33 is formed in a cylindrical shape having a substantially conical tip.

第１のアーム３１は、図２に示すノズル駆動部３４により、レール３０上を移動自在である。これにより、塗布液ノズル３３は、カップ２２のＹ方向正方向側の外方に設置された待機部３５からカップ２２内のウェハＷの中心部上方まで移動でき、さらに当該ウェハＷの表面上をウェハＷの径方向に移動できる。また、第１のアーム３１は、ノズル駆動部３４によって昇降自在であり、塗布液ノズル３３の高さを調整できる。ノズル駆動部３４には当該ノズル駆動部３４の位置情報を検出するための、例えばロータリーエンコーダ（図示）が内蔵されている。なお、ノズル駆動部３４は、１０μｍの精度で塗布液ノズル３３の位置調整を行うことが可能である。   The first arm 31 is movable on the rail 30 by a nozzle driving unit 34 shown in FIG. Thereby, the coating liquid nozzle 33 can move from the standby part 35 installed outside the Y direction positive direction side of the cup 22 to above the center part of the wafer W in the cup 22, and further on the surface of the wafer W. It can move in the radial direction of the wafer W. Further, the first arm 31 can be moved up and down by a nozzle driving unit 34, and the height of the coating liquid nozzle 33 can be adjusted. For example, a rotary encoder (shown) for detecting position information of the nozzle drive unit 34 is incorporated in the nozzle drive unit 34. The nozzle driver 34 can adjust the position of the coating liquid nozzle 33 with an accuracy of 10 μm.

塗布液ノズル３３には、図１に示すように、塗布液供給源３６に連通する供給管３７が接続されている。塗布液供給源３６内には、塗布液としてのレジスト液が貯留されている。供給管３７には、塗布液の流れを制御するバルブや流量調節部等を含む供給機器群３８が設けられている。   As shown in FIG. 1, a supply pipe 37 communicating with a coating liquid supply source 36 is connected to the coating liquid nozzle 33. A resist solution as a coating solution is stored in the coating solution supply source 36. The supply pipe 37 is provided with a supply device group 38 including a valve for controlling the flow of the coating liquid, a flow rate adjusting unit, and the like.

第２のアーム３２には、レジスト液の溶剤、例えばシンナーを供給する溶剤ノズル４０が支持されている。第２のアーム３２は、図２に示すノズル駆動部４１によってレール３０上を移動自在であり、溶剤ノズル４０を、カップ２２のＹ方向負方向側の外方に設けられた待機部４２からカップ２２内のウェハＷの中心部上方まで移動させることができる。また、ノズル駆動部４１によって、第２のアーム３２は昇降自在であり、溶剤ノズル４０の高さを調節できる。   The second arm 32 supports a solvent nozzle 40 for supplying a resist solution solvent such as thinner. The second arm 32 is movable on the rail 30 by the nozzle drive unit 41 shown in FIG. 2, and the solvent nozzle 40 is moved from the standby unit 42 provided on the outer side of the Y direction negative side of the cup 22 to the cup. 22 can be moved to above the center of the wafer W. Further, the second arm 32 can be moved up and down by the nozzle drive unit 41, and the height of the solvent nozzle 40 can be adjusted.

溶剤ノズル４０には、図１に示すように溶剤供給源４３に連通する供給管４４が接続されている。溶剤供給源４３内には、溶剤が貯留されている。供給管４４には、溶剤の流れを制御するバルブや流量調節部等を含む供給機器群４５が設けられている。なお、以上の構成では、レジスト液を供給する塗布液ノズル３３と溶剤を供給する溶剤ノズル４０が別々のアームに支持されていたが、同じアームに支持され、そのアームの移動の制御により、塗布液ノズル３３と溶剤ノズル４０の移動と供給タイミングを制御してもよい。   As shown in FIG. 1, a supply pipe 44 communicating with the solvent supply source 43 is connected to the solvent nozzle 40. A solvent is stored in the solvent supply source 43. The supply pipe 44 is provided with a supply device group 45 including a valve for controlling the flow of the solvent, a flow rate adjusting unit, and the like. In the above configuration, the coating solution nozzle 33 that supplies the resist solution and the solvent nozzle 40 that supplies the solvent are supported by separate arms. However, the coating solution nozzle 33 is supported by the same arm and is controlled by controlling the movement of the arms. The movement and supply timing of the liquid nozzle 33 and the solvent nozzle 40 may be controlled.

また、例えば図２及び図３に示すように、第１のアーム３１には、塗布液ノズル３３の先端部を光学的に撮像するための撮像手段としての、例えば２台のＣＣＤカメラ５０、５１が設けられている。このＣＣＤカメラ５０、５１には、高解像度のものが用いられる。解像度としては、例えば４０μｍである。   For example, as shown in FIGS. 2 and 3, the first arm 31 has, for example, two CCD cameras 50, 51 as imaging means for optically imaging the tip of the coating liquid nozzle 33. Is provided. The CCD cameras 50 and 51 have high resolution. The resolution is, for example, 40 μm.

この２台のＣＣＤカメラ５０、５１は、それぞれの撮像する方向が略直交する方角から塗布液ノズル３３の先端部を撮像できるように、互いの撮像方向が平面視において直交するように水平方向の配置が調整されている。また、ＣＣＤカメラ５０、５１の高さ方向の位置は、スピンチャック２０の中心部の吸引口２０ａを塗布液ノズル３３と同一の視野の範囲内で撮像できるように配置が調整されている。ＣＣＤカメラ５０、５１は、固定部材５２を介して第１のアーム３１に固定されている。このように、塗布液ノズル３３とＣＣＤカメラ５０、５１との相対的な位置関係が固定されているので、ＣＣＤカメラ５０、５１は塗布液ノズル３３を常に同じ位置から撮像できる。このため、ＣＣＤカメラ５０、５１は、塗布液ノズル３３と吸引口２０ａとの位置関係を、正確に把握することができる。なお、図１及び図３においては、ＣＣＤカメラ５０、５１を塗布液ノズル３３の先端部とほぼ同じ高さに配置し、且つ撮像方向が水平方向に向いた状態を描図しているが、ＣＣＤカメラ５０、５１の配置や撮像方向の上下の向きについては本実施の形態に限定されるものではなく、撮像対象となるスピンチャック２０及び塗布液ノズル３３の双方を適切に撮像できれば、任意に設定が可能である。   The two CCD cameras 50 and 51 are arranged in the horizontal direction so that the respective imaging directions are orthogonal to each other in plan view so that the tip of the coating liquid nozzle 33 can be imaged from the direction in which the respective imaging directions are substantially orthogonal. The arrangement has been adjusted. The positions of the CCD cameras 50 and 51 in the height direction are adjusted so that the suction port 20a at the center of the spin chuck 20 can be imaged within the same field of view as the coating solution nozzle 33. The CCD cameras 50 and 51 are fixed to the first arm 31 via a fixing member 52. Thus, since the relative positional relationship between the coating liquid nozzle 33 and the CCD cameras 50 and 51 is fixed, the CCD cameras 50 and 51 can always image the coating liquid nozzle 33 from the same position. Therefore, the CCD cameras 50 and 51 can accurately grasp the positional relationship between the coating liquid nozzle 33 and the suction port 20a. In FIGS. 1 and 3, the CCD cameras 50 and 51 are arranged at substantially the same height as the tip of the coating liquid nozzle 33, and the imaging direction is depicted in the horizontal direction. The arrangement of the CCD cameras 50 and 51 and the vertical direction of the imaging direction are not limited to the present embodiment, and can be arbitrarily set as long as both the spin chuck 20 and the coating liquid nozzle 33 to be imaged can be appropriately imaged. Setting is possible.

このように、２台のＣＣＤカメラ５０、５１を、その撮像方向が直交するように配置することで、例えばＣＣＤカメラ５０で塗布液ノズル３３の左右方向の位置を、ＣＣＤカメラ５１で塗布液ノズル３３の奥行き方向の位置を検出することができる。このため、例えば２台のＣＣＤカメラ５０、５１で塗布液ノズル３３とスピンチャックの中心部に対応する吸引口２０ａを撮像し、ＣＣＤカメラ５０で撮像した画像と、ＣＣＤカメラ５１で撮像した画像の両方において、塗布液ノズル３３の水平方向における中心位置と吸引口２０ａの水平方向における中心位置とが一致していれば、塗布液ノズル３３の先端部がスピンチャック２０の中心部の鉛直上方に位置しているとの判断を行うことができる。なお、塗布液ノズル３３の水平方向の中心位置と吸引口２０ａ水平方向の中心位置とが一致するとは、両者が厳密に一致することを意味するものではなく、両者の位置が水平方向において所定の距離以内に収まっていることを意味している。またこの場合、所定の距離としては例えば０．５ｍｍ以内であることが好ましい。   In this way, by arranging the two CCD cameras 50 and 51 so that the imaging directions thereof are orthogonal to each other, for example, the position of the coating liquid nozzle 33 in the left-right direction with the CCD camera 50 and the coating liquid nozzle with the CCD camera 51 are arranged. 33 positions in the depth direction can be detected. For this reason, for example, the two CCD cameras 50 and 51 capture the suction port 20a corresponding to the central portion of the coating liquid nozzle 33 and the spin chuck, and an image captured by the CCD camera 50 and an image captured by the CCD camera 51 In both cases, if the center position of the coating liquid nozzle 33 in the horizontal direction and the center position of the suction port 20a in the horizontal direction coincide with each other, the tip of the coating liquid nozzle 33 is positioned vertically above the center of the spin chuck 20. Judgment can be made. The fact that the horizontal center position of the coating liquid nozzle 33 and the horizontal center position of the suction port 20a do not mean that they exactly match each other, and that both positions are predetermined in the horizontal direction. It means that it is within the distance. In this case, the predetermined distance is preferably within 0.5 mm, for example.

塗布液ノズル３３とスピンチャック２０とは、ＣＣＤカメラ５０、５１による撮像のために、図示しない光源により照らされている。光源としては、レジスト液を感光させるといった外乱を除去するために、赤外の光を照射するＬＥＤランプ等が用いられる。   The coating solution nozzle 33 and the spin chuck 20 are illuminated by a light source (not shown) for imaging by the CCD cameras 50 and 51. As the light source, an LED lamp or the like that irradiates infrared light is used in order to remove disturbances such as exposing the resist solution.

塗布処理装置１には、上述のスピンチャック２０の回転動作と上下動作、ノズル駆動部３４による塗布液ノズル３３の移動動作、供給機器群３８による塗布液ノズル３３のレジスト液の供給動作、ノズル駆動部４１による溶剤ノズル４０の移動動作、供給機器群４５による溶剤ノズル４０の溶剤の供給動作などの駆動系の動作、各駆動系の位置情報の認識、及びＣＣＤカメラ５０、５１による撮像の制御や撮像された画像の分析を行う制御部１００を有している。各駆動系の位置情報の認識は、例えば上述のロータリーエンコーダからの信号に基づいて行われる。制御部１００は、例えばＣＰＵやメモリなどを備えたコンピュータにより構成され、例えばメモリに記憶されたプログラムを実行することによって、塗布処理装置１における塗布処理を実現できる。なお、塗布処理装置１における塗布処理を実現するための各種プログラムは、例えばコンピュータ読み取り可能なハードディスク（ＨＤ）、フレキシブルディスク（ＦＤ）、コンパクトディスク（ＣＤ）、マグネットオプティカルデスク（ＭＯ）、メモリーカードなどの記憶媒体Ｈに記憶されていたものであって、その記憶媒体Ｈから制御部１００にインストールされたものが用いられている。   In the coating processing apparatus 1, the spin chuck 20 is rotated and moved up and down, the coating liquid nozzle 33 is moved by the nozzle drive unit 34, the resist liquid is supplied from the coating liquid nozzle 33 by the supply device group 38, and the nozzle is driven. Driving operation of the solvent nozzle 40 by the unit 41, operation of the driving system such as the solvent supply operation of the solvent nozzle 40 by the supply device group 45, recognition of position information of each driving system, and control of imaging by the CCD cameras 50 and 51, It has the control part 100 which analyzes the imaged image. The position information of each drive system is recognized based on, for example, a signal from the above-described rotary encoder. The control unit 100 is configured by, for example, a computer having a CPU, a memory, and the like. For example, by executing a program stored in the memory, the coating process in the coating processing apparatus 1 can be realized. Note that various programs for realizing the coating process in the coating apparatus 1 are, for example, a computer-readable hard disk (HD), flexible disk (FD), compact disk (CD), magnetic optical desk (MO), memory card, and the like. That is stored in the storage medium H and installed in the control unit 100 from the storage medium H is used.

制御部１００には、ＣＣＤカメラ５０、５１により撮像された画像の表示を行う表示部１０１と、表示された画像に基づいて作業員が塗布液ノズル３３のセンタリング作業を行うための操作部１０２が接続されている。表示部１０１には、例えば図４に示すように、ＣＣＤカメラ５０により撮像された画像５０ａと、ＣＣＤカメラ５１により撮像された画像５１ａがそれぞれ表示される。また、操作部１０２では、ノズル駆動部３４を任意に操作することができる。したがって、上述のように画像５０ａと画像５１ａの双方において塗布液ノズル３３の先端部の中心位置とスピンチャック２０の中心部の位置とが水平方向において一致するように操作部１０２でノズル駆動部３４の操作を行うことで、塗布液ノズル３３のセンタリング作業を行うことができる。図４に示す場合を例に説明すると、ＣＣＤカメラ５１により撮像された画像５１ａにおいては、塗布液ノズル３３の先端部の中心位置が吸引口２０ａの中心位置から右側にずれている。この場合、塗布液ノズル３３の中心位置が吸引口２０ａに対して、図２に示すＹ方向負方向側にずれていると判断できるので、操作部１０２によりノズル駆動部３４を図２のＹ方向正方向側に移動させて、画像５１ａにおける塗布液ノズル３３の先端部の中心位置と吸引口２０ａの中心位置とを一致させることで、塗布液ノズル３３とスピンチャック２０とのセンタリングが行われる。   The control unit 100 includes a display unit 101 that displays an image captured by the CCD cameras 50 and 51, and an operation unit 102 that allows an operator to perform the centering operation of the coating liquid nozzle 33 based on the displayed image. It is connected. For example, as shown in FIG. 4, an image 50 a captured by the CCD camera 50 and an image 51 a captured by the CCD camera 51 are displayed on the display unit 101. Further, the operation unit 102 can arbitrarily operate the nozzle driving unit 34. Therefore, as described above, in both the image 50a and the image 51a, the nozzle drive unit 34 is used in the operation unit 102 so that the center position of the tip of the coating liquid nozzle 33 and the position of the center of the spin chuck 20 coincide in the horizontal direction. By performing this operation, the centering operation of the coating liquid nozzle 33 can be performed. The case shown in FIG. 4 will be described as an example. In the image 51a captured by the CCD camera 51, the center position of the tip of the coating liquid nozzle 33 is shifted to the right from the center position of the suction port 20a. In this case, since it can be determined that the center position of the coating liquid nozzle 33 is shifted to the Y direction negative direction side shown in FIG. 2 with respect to the suction port 20a, the operation unit 102 moves the nozzle driving unit 34 in the Y direction of FIG. The center of the coating liquid nozzle 33 and the spin chuck 20 is centered by moving to the positive direction side so that the center position of the tip of the coating liquid nozzle 33 in the image 51a coincides with the central position of the suction port 20a.

そして、センタリング作業が完了すると、センタリング作業が完了する前に制御部１００に記憶されていた塗布液ノズル３３の吐出位置情報は、センタリング作業完了後の塗布液ノズルの吐出位置情報に書き換えられる。なお、操作部１０２は、作業員による手動操作のみではなく、例えば画像認識機能により撮像された塗布液ノズル３３の先端部とスピンチャック２０の中心部の位置を認識し、認識された位置に基づいて塗布液ノズル３３の先端部がスピンチャック２０の中心となる位置と一致するようにノズル駆動部３４を自動で操作するように構成されていてもよい。かかる場合も、塗布液ノズル３３の吐出位置情報はセンタリング作業の後に書き換えられる。   When the centering work is completed, the discharge position information of the coating liquid nozzle 33 stored in the control unit 100 before the centering work is completed is rewritten with the discharge position information of the coating liquid nozzle after the centering work is completed. The operation unit 102 recognizes not only the manual operation by the operator but also the positions of the tip of the coating liquid nozzle 33 and the center of the spin chuck 20 captured by the image recognition function, for example, and based on the recognized position. Thus, the nozzle drive unit 34 may be automatically operated so that the tip of the coating solution nozzle 33 coincides with the position of the spin chuck 20 at the center. Also in this case, the discharge position information of the coating liquid nozzle 33 is rewritten after the centering operation.

また、塗布液ノズル３３の中心位置の検出は、例えば塗布液ノズル３３の先端部うち、画像５０ａ、５１ａに表示された左右の端部３３ａ、３３ｂの位置を検出し、当該端部３３ａ、３３ｂを結んだ直線の中間の位置を塗布液ノズル３３の中心位置３３ｃとして認識することで行われる。このように、塗布液ノズル３３の端部３３ａ、３３ｂを検出することで、例えば塗布液ノズル３３が傾いていた場合であっても、当該塗布液ノズル３３の先端部の中心位置３３ｃを正確に求めることができる。   The center position of the coating liquid nozzle 33 is detected, for example, by detecting the positions of the left and right end portions 33a and 33b displayed in the images 50a and 51a out of the front end portion of the coating liquid nozzle 33, and the end portions 33a and 33b. This is performed by recognizing the middle position of the straight line connecting the two as the center position 33 c of the coating liquid nozzle 33. As described above, by detecting the end portions 33a and 33b of the coating liquid nozzle 33, for example, even when the coating liquid nozzle 33 is inclined, the center position 33c of the tip portion of the coating liquid nozzle 33 is accurately determined. Can be sought.

次に、以上のように構成された塗布処理装置１で行われる塗布処理のプロセスについて説明する。図５は、かかる塗布処理の主な工程の例を示すフローチャートである。   Next, the process of the coating process performed by the coating processing apparatus 1 configured as described above will be described. FIG. 5 is a flowchart showing an example of main steps of the coating process.

塗布処理を行うにあたってウェハＷを塗布処理装置１に搬入する前に、先ず第１のアーム３１を制御部１００に記憶されている塗布液ノズル３３の吐出位置情報に基づいて移動させる（図５の工程Ｓ１）。次いで、ＣＣＤカメラ５０、５１により塗布液ノズル３３の先端部とスピンチャック２０の中心部である吸引口２０ａをそれぞれ撮像する（図５の工程Ｓ２）。次いで、例えば作業員が表示部１０１に表示された画像５０ａ、５１ａを確認し、塗布液ノズル３３の中心位置とスピンチャック２０の中心位置がずれている場合は、操作部１０２によりノズル駆動部３４を操作してセンタリング作業を行う（図５の工程Ｓ３）。そして、センタリング作業が完了すると、制御部１００に記憶されていた塗布液ノズル３３の位置情報がセンタリング作業後の位置情報に更新され（図５の工程Ｓ４）、センタリング作業後の位置情報が塗布液ノズル３３の吐出位置であると認識される。   Before carrying the wafer W into the coating processing apparatus 1 for performing the coating process, first, the first arm 31 is moved based on the discharge position information of the coating liquid nozzle 33 stored in the control unit 100 (FIG. 5). Step S1). Next, the CCD camera 50, 51 images the tip of the coating liquid nozzle 33 and the suction port 20a that is the center of the spin chuck 20 (step S2 in FIG. 5). Next, for example, an operator checks the images 50 a and 51 a displayed on the display unit 101, and when the center position of the coating liquid nozzle 33 and the center position of the spin chuck 20 are shifted, the operation unit 102 causes the nozzle driving unit 34 to be shifted. To perform centering work (step S3 in FIG. 5). When the centering work is completed, the position information of the coating liquid nozzle 33 stored in the control unit 100 is updated to the position information after the centering work (step S4 in FIG. 5), and the position information after the centering work is changed to the coating liquid. It is recognized as the discharge position of the nozzle 33.

塗布液ノズル３３のセンタリング作業が完了すると、塗布液ノズル３３が待機部３５に移動し、次いでウェハＷが塗布処理装置１の処理容器１０内に図示しない搬送機構により搬入される（図５の工程Ｓ５）。塗布処理装置１に搬入されたウェハＷは、スピンチャック２０に吸着保持される。   When the centering operation of the coating liquid nozzle 33 is completed, the coating liquid nozzle 33 moves to the standby unit 35, and then the wafer W is carried into the processing container 10 of the coating processing apparatus 1 by a transport mechanism (not shown) (step of FIG. 5). S5). The wafer W carried into the coating processing apparatus 1 is sucked and held by the spin chuck 20.

続いて第２のアーム３２により待機部４２の溶剤ノズル４０がウェハＷの中心部の上方まで移動して、溶剤がウェハＷの上面に供給される（図５の工程Ｓ６）。その後、チャック駆動機構２１を制御してスピンチャック２０によりウェハＷを例えば５００ｒｐｍの回転数で回転させ、ウェハＷの中心部に供給された溶剤をウェハＷの外周部に向かって拡散させる（図５の工程Ｓ７）、これにより、ウェハＷの表面が溶剤で濡れた状態になる。その後、溶剤がウェハＷの表面の全面に拡散すると、溶剤ノズル４０がウェハＷの中心部上方から待機部４２に退避する。   Subsequently, the solvent nozzle 40 of the standby unit 42 is moved to above the center of the wafer W by the second arm 32, and the solvent is supplied to the upper surface of the wafer W (Step S6 in FIG. 5). Thereafter, the chuck driving mechanism 21 is controlled to rotate the wafer W by the spin chuck 20 at a rotational speed of, for example, 500 rpm, and diffuse the solvent supplied to the central portion of the wafer W toward the outer peripheral portion of the wafer W (FIG. 5). In step S7), the surface of the wafer W becomes wet with the solvent. Thereafter, when the solvent diffuses over the entire surface of the wafer W, the solvent nozzle 40 retreats from the upper center of the wafer W to the standby unit 42.

次いで、第１のアーム３１により待機部３５の塗布液ノズル３３がウェハＷの中心部上方、即ち上述の工程Ｓ４で更新され吐出位置まで移動させる（図５の工程Ｓ８）。その後、ウェハＷを例えば２０００ｒｐｍ〜３５００ｒｐｍ、本実施の形態においては３０００ｒｐｍの回転数まで加速して回転させる。そして、このウェハＷの加速回転中及び３０００ｒｐｍの回転数での回転中において、塗布液ノズル３３から塗布液としてのレジスト液を連続して供給し（図５の工程Ｓ９）、塗布液ノズル３３から供給されたレジストを、ウェハＷの回転によりウェハＷ上に拡散させる。   Next, the coating liquid nozzle 33 of the standby unit 35 is moved by the first arm 31 above the center of the wafer W, that is, updated in the above-described step S4 and moved to the discharge position (step S8 in FIG. 5). Thereafter, the wafer W is accelerated and rotated to, for example, 2000 rpm to 3500 rpm, and in this embodiment, 3000 rpm. Then, during the accelerated rotation of the wafer W and the rotation at the rotation speed of 3000 rpm, the resist solution as the coating solution is continuously supplied from the coating solution nozzle 33 (step S9 in FIG. 5). The supplied resist is diffused on the wafer W by the rotation of the wafer W.

その後、塗布液ノズル３３からのレジスト液の供給を停止し、塗布液ノズル３３を待機部３５に退避させる。それと共に、ウェハＷの回転数を例えば、１０００ｒｐｍ〜１８００ｒｐｍ、本実施の形態においては１５００ｒｐｍまで減速させ、ウェハＷの表面の全面に拡散されたレジスト液の乾燥を行う（図５の工程Ｓ１０）。これにより、ウェハＷ上にレジスト膜が形成される。   Thereafter, the supply of the resist solution from the coating solution nozzle 33 is stopped, and the coating solution nozzle 33 is retracted to the standby unit 35. At the same time, the rotational speed of the wafer W is reduced to 1000 rpm to 1800 rpm, for example, 1500 rpm in the present embodiment, and the resist solution diffused over the entire surface of the wafer W is dried (step S10 in FIG. 5). Thereby, a resist film is formed on the wafer W.

その後、ウェハＷの裏面が洗浄され、レジスト塗布装置１におけるウェハＷの塗布処理が終了する。塗布処理が終了したウェハＷは搬送機構（図示せず）により処理容器１０から搬出される（図５の工程Ｓ１１）。   Thereafter, the back surface of the wafer W is cleaned, and the coating process of the wafer W in the resist coating apparatus 1 is completed. The wafer W for which the coating process has been completed is unloaded from the processing container 10 by a transfer mechanism (not shown) (step S11 in FIG. 5).

ウェハＷが処理容器１０から搬出された状態、換言すれば、スピンチャック２０の上面からウェハＷ取り去られ、スピンチャック２０によりウェハＷが保持されていない状態になると、塗布液ノズル３３が制御部１００に記憶されている位置情報に基づいて吐出位置に移動される（図５の工程Ｓ１２）。次いで、ＣＣＤカメラ５０、５１により塗布液ノズル３３の先端部とスピンチャック２０の吸引口２０ａとが再び撮像され、撮像された画像５０ａ、５１ａから求められた塗布液ノズル３３の位置情報と、制御部１００に記憶されている位置情報との比較が行われる（図５の工程Ｓ１３）。この際、比較した位置情報に差が生じていれば、塗布液ノズル３３の位置に何らかの原因によってずれが生じたものと判断される。そして、ずれが生じた場合には、操作部１０２によりノズル駆動部３４が操作され、記憶部１００に記憶された位置情報に基づいて塗布液ノズル３３の位置調整が行われる（図５の工程Ｓ１４）。位置ずれがないと判断された場合は、工程Ｓ１４は行われない。なお、工程Ｓ１３において比較された位置情報に差があった場合は、ノズル駆動部３４の操作のほかに、例えば警報音等を発報して作業員に塗布液ノズル３３に位置ずれが生じていたことを知らしめるようにしてもよい。   When the wafer W is unloaded from the processing container 10, in other words, when the wafer W is removed from the upper surface of the spin chuck 20 and the wafer W is not held by the spin chuck 20, the coating liquid nozzle 33 is controlled by the controller. Based on the position information stored in 100, the ink is moved to the discharge position (step S12 in FIG. 5). Next, the CCD camera 50, 51 captures the tip of the coating liquid nozzle 33 and the suction port 20a of the spin chuck 20 again, and the position information and control of the coating liquid nozzle 33 obtained from the captured images 50a, 51a. The position information stored in the unit 100 is compared (step S13 in FIG. 5). At this time, if there is a difference in the compared position information, it is determined that the position of the coating liquid nozzle 33 has shifted due to some cause. When a deviation occurs, the nozzle drive unit 34 is operated by the operation unit 102, and the position of the coating liquid nozzle 33 is adjusted based on the position information stored in the storage unit 100 (step S14 in FIG. 5). ). If it is determined that there is no displacement, step S14 is not performed. If there is a difference in the position information compared in step S13, in addition to the operation of the nozzle drive unit 34, for example, an alarm sound is issued to cause the worker to have a position shift in the coating liquid nozzle 33. You may make it known.

このように、ウェハＷが処理容器１０から搬送された後に塗布液ノズル３３の位置調整を行うのは、工程Ｓ１においてセンタリング調整が精度よく行われた場合であっても、塗布液ノズル３３を移動させるノズル駆動部３４の機械的な遊びの経時変化や、塗布液ノズル３３が例えば搬送機構（図示せず）といった他の機器に物理的に干渉したことなどが原因で、事後的に塗布液ノズル３３の位置がずれることがあるからである。そして、このような事後的な塗布液ノズル３３の位置ずれも、やはり塗布不良発生の原因となる。   As described above, the position of the coating liquid nozzle 33 is adjusted after the wafer W is transferred from the processing container 10 even when the centering adjustment is performed accurately in step S1. The application liquid nozzle is subsequently determined due to a change in mechanical play of the nozzle drive unit 34 to be caused with time, or because the application liquid nozzle 33 physically interferes with another device such as a transport mechanism (not shown). This is because the position 33 may be displaced. Such a subsequent displacement of the coating liquid nozzle 33 also causes a defective coating.

しかしながら、このような事後的な塗布液ノズル３３の位置ずれは、それを検出する手段がないため、位置ずれによるレジスト液の塗布処理装置１への影響を未然に防止ですることが困難である。このため、塗布不良が発生しても、例えば塗布処理装置１でウェハＷの処理が完了した後に行われるウェハ検査の工程まで異常が発見できない。この場合、異常が発見されるまでは不良品ウェハの生産が継続してしまい、また、異常が発見されたとしても、異常発生の原因特定のために塗布処理装置１を止めて調査を行う必要がある。そのため、その間はウェハＷの処理を行うことができず、生産性の低下を招いてしまう。そのため、上述の工程Ｓ１２〜工程Ｓ１４により塗布液ノズル３３の位置調整を行うことで、このような事後的な塗布液ノズル３３の位置ずれが防止される。   However, since there is no means for detecting such post displacement of the coating liquid nozzle 33, it is difficult to prevent the resist liquid from affecting the coating processing apparatus 1 due to the positional shift. . For this reason, even if a coating defect occurs, for example, no abnormality can be found until the wafer inspection process performed after the processing of the wafer W is completed in the coating processing apparatus 1. In this case, the production of defective wafers continues until an abnormality is found, and even if an abnormality is found, it is necessary to stop the coating processing apparatus 1 and investigate to identify the cause of the abnormality. There is. For this reason, the wafer W cannot be processed during that time, resulting in a decrease in productivity. Therefore, by adjusting the position of the coating liquid nozzle 33 by the above-described steps S12 to S14, such a subsequent displacement of the coating liquid nozzle 33 is prevented.

その後、新たなウェハＷが処理容器１０内に搬入され、一連の塗布処理が繰り返し行われる。   Thereafter, a new wafer W is carried into the processing container 10 and a series of coating processes are repeated.

以上の実施の形態によれば、２台のＣＣＤカメラ５０、５１により撮像された画像５０ａ、５１ａに基づいて塗布液ノズル３３の位置調整を行うので、作業員の熟練度によらず短時間でセンタリング作業を実施することができる。また、高解像度のＣＣＤカメラ５０、５１により撮像したので、作業員の目視以上の精度で位置調整を行うことができる。   According to the above embodiment, since the position of the coating liquid nozzle 33 is adjusted based on the images 50a and 51a picked up by the two CCD cameras 50 and 51, the time can be shortened regardless of the skill level of the worker. Centering work can be performed. In addition, since the images are taken by the high-resolution CCD cameras 50 and 51, the position can be adjusted with an accuracy higher than the visual observation of the worker.

さらには、ウェハＷの塗布処理の後であって次のウェハＷの処理を開始する前に塗布液ノズル３３をスピンチャック２０の中心部に移動させ、ＣＣＤカメラ５０、５１による撮像を行う。そして、塗布液ノズル３３の位置とセンタリング作業により設定された位置とを比較し、それぞれの位置に差が生じた場合は塗布液ノズル３３をセンタリング作業により設定された位置と一致するように移動させるので、塗布液ノズル３３の位置ずれによる塗布不良を未然に防止することができると共に、塗布処理装置１を停止することなく塗布液ノズル３３の位置調整を行うことができる。このため、塗布処理装置１の生産性向上が向上する。   Further, after the coating process of the wafer W and before the processing of the next wafer W is started, the coating solution nozzle 33 is moved to the center of the spin chuck 20 and imaging by the CCD cameras 50 and 51 is performed. Then, the position of the coating liquid nozzle 33 is compared with the position set by the centering work, and if there is a difference between the positions, the coating liquid nozzle 33 is moved so as to coincide with the position set by the centering work. Therefore, it is possible to prevent a coating failure due to the displacement of the coating liquid nozzle 33 and to adjust the position of the coating liquid nozzle 33 without stopping the coating processing apparatus 1. For this reason, the productivity improvement of the coating treatment apparatus 1 is improved.

なお、一般にウェハＷの処理は、塗布処理装置１や現像処理装置といった各種の処理装置を複数備えた塗布処理システムにより連続的に行われるが、本実施の形態に係る塗布処理装置１を用いた場合、複数の塗布処理装置１におけるセンタリング作業の精度の間に差が生じることがないので、塗布処理装置１による塗布処理の品質にばらつきが生じることを防止できる。このため、塗布処理システムによるウェハＷの処理の品質を向上させるとともに均一化することができる。   In general, the processing of the wafer W is continuously performed by a coating processing system including a plurality of various processing apparatuses such as the coating processing apparatus 1 and the development processing apparatus. The coating processing apparatus 1 according to the present embodiment is used. In this case, since there is no difference between the accuracy of the centering operations in the plurality of coating processing apparatuses 1, it is possible to prevent variations in the quality of the coating processing performed by the coating processing apparatus 1. For this reason, the quality of the processing of the wafer W by the coating processing system can be improved and uniformized.

以上の実施の形態においては、ＣＣＤカメラ５０、５１により塗布液ノズル３３の先端部の撮像を行うので、塗布液ノズル３３の先端部から目的外の位置でレジスト液が滴下したり、滴下しそうになっている状態である液だれが発生していたりすることを検出することができる。   In the above embodiment, since the CCD camera 50, 51 images the tip of the coating liquid nozzle 33, the resist solution may or may not drop from the tip of the coating liquid nozzle 33 at an undesired position. It is possible to detect the occurrence of liquid dripping that is in the state of being.

なお、以上の実施の形態においては、塗布液ノズル３３のセンタリング作業について説明を行ったが、本実施の形態のようにＣＣＤカメラ５０、５１を設置する対象は塗布液ノズル３３に限られず、例えば第２のアームにもＣＣＤカメラ５０、５１を設けることで、溶剤ノズル４０のセンタリング作業を表示部１０１と操作部１０２を介して行うようにしてもよい。   In the above embodiment, the centering operation of the coating liquid nozzle 33 has been described. However, the target for installing the CCD cameras 50 and 51 as in the present embodiment is not limited to the coating liquid nozzle 33. For example, The centering operation of the solvent nozzle 40 may be performed via the display unit 101 and the operation unit 102 by providing CCD cameras 50 and 51 on the second arm.

また、以上の実施の形態においては、ＣＣＤカメラ５０、５１は、固定部材５２を介して第１のアーム３１に固定されていたが、ＣＣＤカメラ５０、５１の固定方法は本実施の形態に限定されるものではなく、例えば図６に示すように、例えばカップ２２の外部に設けられた他の固定部材５３を介して固定してもよい。なお、図６においては、例えば鉛直方向に延伸する棒状の他の固定部材５３によりＣＣＤカメラ５０、５１を固定した様子を描図しているが、他の固定部材５３の形状は、ＣＣＤカメラ５０、５１を固定できれば任意に決定が可能である。また、他の固定部材５３とＣＣＤカメラ５０の配置は、当該他の固定部材５３とＣＣＤカメラ５０、５１がアーム３１、３２やノズル３３、４０と干渉しない位置であれば任意に設定が可能である。かかる場合、ＣＣＤカメラ５０、５１と吸引口２０ａとの相対的な位置関係が固定されているので、ＣＣＤカメラ５０、５１は吸引口２０ａを常に同じ位置から撮像できる。このため、ＣＣＤカメラ５０、５１を他の固定部材５３に固定した場合においても、塗布液ノズル３３と吸引口２０ａとの位置関係を、正確に把握することができる。   In the above embodiment, the CCD cameras 50 and 51 are fixed to the first arm 31 via the fixing member 52. However, the fixing method of the CCD cameras 50 and 51 is limited to this embodiment. For example, as shown in FIG. 6, the fixing may be performed via another fixing member 53 provided outside the cup 22. In FIG. 6, for example, a state in which the CCD cameras 50 and 51 are fixed by another fixing member 53 in the form of a bar extending in the vertical direction is illustrated, but the shape of the other fixing member 53 is the CCD camera 50. , 51 can be arbitrarily determined if they can be fixed. Further, the arrangement of the other fixing member 53 and the CCD camera 50 can be arbitrarily set as long as the other fixing member 53 and the CCD cameras 50 and 51 do not interfere with the arms 31 and 32 and the nozzles 33 and 40. is there. In such a case, since the relative positional relationship between the CCD cameras 50 and 51 and the suction port 20a is fixed, the CCD cameras 50 and 51 can always image the suction port 20a from the same position. For this reason, even when the CCD cameras 50 and 51 are fixed to another fixing member 53, the positional relationship between the coating liquid nozzle 33 and the suction port 20a can be accurately grasped.

以上の実施の形態においては、工程Ｓ１４における塗布液ノズル３３の位置調整は制御部１００に記憶された位置情報に基づいて行われたが、ＣＣＤカメラ５０、５１によって撮像された画像５０ａ、５１ａに基づいて、例えば作業員が操作部１０２を介して位置調整を行うようにしてもよい。例えば、ノズル駆動部３４の機械的な遊びの経時変化等により塗布液ノズル３３に位置ずれが生じた場合、制御部１００に記憶された情報に基づいてノズル駆動部３４を制御しても塗布液ノズル３３の中心位置とスピンチャック２０の中心位置とが一致しない場合がある。したがって、このような場合には、作業員が画像５０ａ、５１ａを目視して塗布液ノズル３３の位置調整を行うことが好ましい。   In the above embodiment, the position adjustment of the coating liquid nozzle 33 in step S14 is performed based on the position information stored in the control unit 100, but the images 50a and 51a captured by the CCD cameras 50 and 51 are used. Based on this, for example, the worker may adjust the position via the operation unit 102. For example, when a positional deviation occurs in the coating liquid nozzle 33 due to a change in mechanical play of the nozzle driving section 34 over time, the coating liquid is controlled even if the nozzle driving section 34 is controlled based on information stored in the control section 100. The center position of the nozzle 33 and the center position of the spin chuck 20 may not match. Therefore, in such a case, it is preferable that an operator visually adjusts the position of the coating liquid nozzle 33 by visually observing the images 50a and 51a.

以上の実施の形態においては、ＣＣＤカメラ５０、５１は固定部材５２を介して第１のアーム３１に固定され、第１のアーム３１と共に移動するように構成されていたが、スピンチャック２０の中心部である吸引口２０ａと塗布液ノズル３３の先端部とを同時に撮像できればＣＣＤカメラ５０、５１の配置は本実施の形態に限定されるものではなく、例えば処理容器１０の天井に固定されていてもよい。係る場合も、例えば上述の工程Ｓ１と工程Ｓ１２において塗布液ノズル３３を移動させ、天井に固定されたＣＣＤカメラにより撮像を行うことで、表示部１０１と操作部１０２によりセンタリング作業を行うことができる。   In the above embodiment, the CCD cameras 50 and 51 are fixed to the first arm 31 via the fixing member 52 and are configured to move together with the first arm 31. The arrangement of the CCD cameras 50 and 51 is not limited to the present embodiment as long as the suction port 20a and the tip of the coating liquid nozzle 33 can be imaged simultaneously. For example, the CCD camera 50 and 51 are fixed to the ceiling of the processing container 10. Also good. Also in this case, for example, the centering operation can be performed by the display unit 101 and the operation unit 102 by moving the coating solution nozzle 33 in the above-described step S1 and step S12 and performing imaging with a CCD camera fixed to the ceiling. .

以上の実施の形態においては、１台のスピンチャック２０が設けられた塗布処理装置１を例にして説明したが、例えば図７に示すように処理容器１１０内に複数のスピンチャック２０が複数設けられた塗布処理装置１２０において、アーム３１にＣＣＤカメラ５０、５１を設けてもよい。なお、図７には３つのスピンチャック２０、３つのカップ２２及び１つの塗布液ノズル３３を設けた様子を描図している。係る場合も、予め各スピンチャック２０の中心部と塗布液ノズル３３の先端部をＣＣＤカメラ５０、５１により撮像してセンタリング作業を行い、各スピンチャック２０に対応する塗布液ノズル３３の位置情報を制御部１００に記憶させる。そして、塗布処理装置１２０により塗布処理を開始した後に、ウェハＷがスピンチャック２０に保持されていないタイミングで塗布液ノズル３３を当該スピンチャック２０の中心部に移動させ、ＣＣＤカメラ５０、５１で塗布液ノズル３３の先端部とスピンチャック２０の中心部とを撮像する。そして、撮像された画像と制御部１００に記憶されていた塗布液ノズル３３の吐出位置情報に基づいて、各スピンチャック２０に対する塗布液ノズル３３の位置を調整することで、スピンチャック２０の中心位置と塗布液ノズル３３の中心位置を一致させることができる。   In the above embodiment, the coating processing apparatus 1 provided with one spin chuck 20 has been described as an example. However, as shown in FIG. 7, for example, a plurality of spin chucks 20 are provided in the processing container 110. In the applied coating apparatus 120, the CCD camera 50, 51 may be provided on the arm 31. FIG. 7 illustrates a state in which three spin chucks 20, three cups 22, and one coating liquid nozzle 33 are provided. Also in this case, the center portion of each spin chuck 20 and the tip of the coating liquid nozzle 33 are imaged by the CCD cameras 50 and 51 in advance, and the centering operation is performed, and the position information of the coating liquid nozzle 33 corresponding to each spin chuck 20 is obtained. The information is stored in the control unit 100. Then, after the coating process is started by the coating processing apparatus 120, the coating liquid nozzle 33 is moved to the center of the spin chuck 20 at a timing when the wafer W is not held by the spin chuck 20, and coating is performed by the CCD cameras 50 and 51. The tip of the liquid nozzle 33 and the center of the spin chuck 20 are imaged. The center position of the spin chuck 20 is adjusted by adjusting the position of the coating liquid nozzle 33 with respect to each spin chuck 20 based on the captured image and the ejection position information of the coating liquid nozzle 33 stored in the control unit 100. And the center position of the coating liquid nozzle 33 can be matched.

また、塗布処理装置１２０においても、他の固定部材５３を用いてＣＣＤカメラを固定してもよい。他の固定部材５３を用いる場合、３つのカップ２２に対してそれぞれ２台のＣＣＤカメラ５０、５１を互いの撮像方向が直交するように、即ち合計で６台のＣＣＤカメラ５０、５１を配置してもよい。また、３つのカップ２２に対して６台のＣＣＤカメラ５０、５１を配置するのではなく、例えば図８に示すように、カップ２２の間には、共用のＣＣＤカメラ６０を１台ずつ配置するようにしてもよい。この場合、３つのカップ２２に対して４台のＣＣＤカメラが配置される。かかる場合、ＣＣＤカメラ６０を固定する他の固定部材５３を鉛直軸回りに回転させる回動機構（図示せず）を設け、ＣＣＤカメラ６０を回転自在に構成することで、４台のＣＣＤカメラ５０、５１、６０により３つのスピンチャック２０の中心部を撮像することができる。具体的には、例えば図８に示すように、２台のＣＣＤカメラ６０により当該ＣＣＤカメラ６０の間に位置するカップ２２のスピンチャックを撮像した後、例えばＣＣＤカメラ５０と隣り合うＣＣＤカメラ６０の撮像方向をＣＣＤカメラ５０の撮像方向と直交させるように、ＣＣＤカメラ６０を鉛直軸回りに回転させる。これにより、ＣＣＤカメラ５０とＣＣＤカメラ６０を用いて、当該ＣＣＤカメラ５０、６０の間に位置するスピンチャック２０の中心部を撮像することができる。   Also in the coating processing apparatus 120, the CCD camera may be fixed using another fixing member 53. When the other fixing member 53 is used, the two CCD cameras 50 and 51 are arranged for the three cups 22 so that the imaging directions thereof are orthogonal to each other, that is, a total of six CCD cameras 50 and 51 are arranged. May be. Further, instead of arranging the six CCD cameras 50 and 51 for the three cups 22, for example, as shown in FIG. 8, one common CCD camera 60 is arranged between the cups 22. You may do it. In this case, four CCD cameras are arranged for the three cups 22. In such a case, a rotation mechanism (not shown) for rotating the other fixing member 53 for fixing the CCD camera 60 around the vertical axis is provided, and the CCD camera 60 is configured to be rotatable, whereby four CCD cameras 50 are provided. , 51, 60 can image the central portions of the three spin chucks 20. Specifically, for example, as shown in FIG. 8, after imaging the spin chuck of the cup 22 positioned between the two CCD cameras 60 with the two CCD cameras 60, for example, the CCD camera 60 adjacent to the CCD camera 50. The CCD camera 60 is rotated around the vertical axis so that the imaging direction is orthogonal to the imaging direction of the CCD camera 50. Thereby, the center part of the spin chuck 20 located between the CCD cameras 50 and 60 can be imaged using the CCD camera 50 and the CCD camera 60.

以上の実施の形態においては、ＣＣＤカメラ５０、５１によりスピンチャック２０の中心部と塗布液ノズル３３の先端部の撮像を行うタイミングとしてウェハＷの塗布処理の間を例にして説明したが、塗布液ノズル３３の先端部の撮像は、スピンチャック２０にウェハＷが保持されていない状態であれば、任意のタイミングで行うようにしてもよい。係る場合、例えばウェハＷのロットとロットの切り替えのタイミングで、１ロット毎に行うようにしてもよい。   In the above embodiment, the timing of performing imaging of the central portion of the spin chuck 20 and the tip of the coating liquid nozzle 33 by the CCD cameras 50 and 51 has been described as an example during the coating process of the wafer W. The imaging of the tip of the liquid nozzle 33 may be performed at an arbitrary timing as long as the wafer W is not held on the spin chuck 20. In such a case, for example, it may be performed for each lot at the timing of switching between lots of wafers W.

また、以上の実施の形態では、ＣＣＤカメラ５０、５１による塗布液ノズル３３と吸引口２０ａの撮像を行った後に連続して塗布液ノズル３３の位置調整を行ったが、撮像と位置調整は必ずしも連続して行う必要はなく、例えば撮像により検出した塗布液ノズル３３の位置情報を一旦制御部１００に記憶させ、その後任意のタイミングで塗布液ノズル３３の位置調整を行うようにしてもよい。   In the above embodiment, the position of the coating liquid nozzle 33 is continuously adjusted after the imaging of the coating liquid nozzle 33 and the suction port 20a by the CCD cameras 50 and 51. However, the imaging and position adjustment are not necessarily performed. For example, the position information of the coating liquid nozzle 33 detected by imaging may be temporarily stored in the control unit 100, and then the position of the coating liquid nozzle 33 may be adjusted at an arbitrary timing.

以上の実施の形態においては、２台のＣＣＤカメラ５０、５１をその撮像方向が平面視において直交するように配置して撮像を行ったが、例えばスピンチャック２０上で塗布液ノズル３３を下降させて、当該塗布液ノズル３３の先端部をスピンチャック２０の上面に近づけ、１台のＣＣＤカメラにより塗布液ノズル３３の左右方向のみならず奥行き方向の位置を検出するようにしてもよい。１台のＣＣＤカメラにより塗布液ノズル３３の位置検出を行う場合、塗布液ノズル３３の先端部の高さ方向の位置が、スピンチャック２０の上面から例えば０．５ｍｍ上方となるように塗布液ノズル３３とスピンチャック２０の吸引口２０ａとを近接させる。この際、ＣＣＤカメラの配置は、吸引口２０ａと塗布液ノズル３３の先端部とが視野内に収まるように調整されている。   In the above embodiment, the two CCD cameras 50 and 51 are arranged so that the imaging directions thereof are orthogonal to each other in plan view. For example, the coating liquid nozzle 33 is lowered on the spin chuck 20. Thus, the tip of the coating liquid nozzle 33 may be brought close to the upper surface of the spin chuck 20, and the position of the coating liquid nozzle 33 in the depth direction as well as in the left-right direction may be detected by a single CCD camera. When the position of the coating liquid nozzle 33 is detected by a single CCD camera, the coating liquid nozzle 33 is positioned so that the position in the height direction of the tip of the coating liquid nozzle 33 is, for example, 0.5 mm above the upper surface of the spin chuck 20. 33 and the suction port 20a of the spin chuck 20 are brought close to each other. At this time, the arrangement of the CCD camera is adjusted so that the suction port 20a and the tip of the coating liquid nozzle 33 are within the visual field.

そして、例えば１台のＣＣＤカメラ５０により塗布液ノズル３３のセンタリング作業を行う際は、先ず、撮像された画像５０ａにおける塗布液ノズル３３の中心位置３３ｃと吸引口２０ａの中心の位置を一致させることにより、記述のように、塗布液ノズル３３と吸引口２０ａの左右方向の位置調整が行われる。次いで、図９に示すように、表示部１０１に表示された塗布液ノズル３３の先端部の手前側の端部３３ｄと、吸引口２０ａの手前側の端部との距離Ｌが所定の値となるようにノズル駆動部３４を操作し、塗布液ノズル３３の奥行き方向の位置が調整される。ここで、塗布ノズル３３とＣＣＤカメラ５０との位置関係、及びスピンチャック２０の上面からの塗布液ノズル３３の先端部の高さ方向の位置は予めわかっており、且つ変動しないため、塗布液ノズル３３の中心位置３３ｃと吸引口２０ａの中心とが一致する場合に上述の距離Ｌがどのような値となるかは予め求めておくことができる。したがって、この距離Ｌを予め求めておいた値と一致させることで、１台のＣＣＤカメラ５０により塗布液ノズル３３のセンタリングを行うことができる。係る場合、ＣＣＤカメラが１台不要となるので、設備費用を低減することができる。なお、上記の実施の形態において、スピンチャック２０の上面から０．５ｍｍとしていた塗布液ノズル３３の先端部の高さ方向の位置は任意に設定が可能であるが、距離Ｌの調整を精度よく行うためには、０．５ｍｍ以下とすることが好ましい。   For example, when the centering operation of the coating liquid nozzle 33 is performed by one CCD camera 50, first, the center position 33c of the coating liquid nozzle 33 and the center position of the suction port 20a in the captured image 50a are matched. Thus, as described, the horizontal position adjustment of the coating liquid nozzle 33 and the suction port 20a is performed. Next, as shown in FIG. 9, the distance L between the front end 33d of the tip of the coating liquid nozzle 33 displayed on the display unit 101 and the front end of the suction port 20a is a predetermined value. The nozzle drive unit 34 is operated so that the position of the coating liquid nozzle 33 in the depth direction is adjusted. Here, since the positional relationship between the coating nozzle 33 and the CCD camera 50 and the position in the height direction of the tip of the coating liquid nozzle 33 from the upper surface of the spin chuck 20 are known in advance and do not vary, the coating liquid nozzle When the center position 33c of 33 and the center of the suction port 20a coincide with each other, it is possible to determine in advance what value the distance L is. Accordingly, the coating liquid nozzle 33 can be centered by a single CCD camera 50 by making the distance L coincide with the value obtained in advance. In such a case, since one CCD camera is not required, the equipment cost can be reduced. In the above embodiment, the position in the height direction of the tip of the coating liquid nozzle 33 that is 0.5 mm from the upper surface of the spin chuck 20 can be arbitrarily set, but the distance L can be adjusted with high accuracy. In order to carry out, it is preferable to set it as 0.5 mm or less.

以上、添付図面を参照しながら本発明の好適な実施の形態について説明したが、本発明はかかる例に限定されない。当業者であれば、特許請求の範囲に記載された思想の範疇内において、各種の変更例または修正例に想到し得ることは明らかであり、それらについても当然に本発明の技術的範囲に属するものと了解される。本発明はこの例に限らず種々の態様を採りうるものである。また、上述した実施の形態は、ウェハに塗布処理を行う例であったが、本発明は、基板がウェハ以外のＦＰＤ（フラットパネルディスプレイ）、フォトマスク用のマスクレチクルなどの他の基板である場合にも適用できる。   The preferred embodiments of the present invention have been described above with reference to the accompanying drawings, but the present invention is not limited to such examples. It is obvious for those skilled in the art that various modifications or modifications can be conceived within the scope of the idea described in the claims, and these naturally belong to the technical scope of the present invention. It is understood. The present invention is not limited to this example and can take various forms. The above-described embodiment is an example in which a coating process is performed on a wafer. However, in the present invention, the substrate is another substrate such as an FPD (flat panel display) other than the wafer or a mask reticle for a photomask. It can also be applied to cases.

本発明は、塗布処理装置により基板に対して塗布処理を行うにあたり、塗布液を供給するノズルの位置調整を行う際に有用である。   The present invention is useful when adjusting the position of a nozzle that supplies a coating liquid when performing a coating process on a substrate by a coating processing apparatus.

１ 塗布処理装置
１０ 処理容器
２０ スピンチャック
２０ａ 吸引口
２１ チャック駆動機構
２２ カップ
２３ 排出管
２４ 排気管
３０ レール
３１、３２ アーム
３３ 塗布液ノズル
３４ ノズル駆動部
３５ 待機部
３６ 塗布液供給源
３７ 供給管
３８ 供給機器群
４０ 溶剤ノズル
４１ ノズル駆動部
４２ 待機部
４３ 溶剤供給源
４４ 供給管
４５ 供給機器群
５０、５１ ＣＣＤカメラ
５２ 固定部材
５３ 他の固定部材
６０ ＣＣＤカメラ
１００ 制御部
１０１ 表示部
１０２ 操作部
１１０ 処理容器
１２０ 塗布処理装置 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Coating processing apparatus 10 Processing container 20 Spin chuck 20a Suction port 21 Chuck drive mechanism 22 Cup 23 Discharge pipe 24 Exhaust pipe 30 Rail 31, 32 Arm 33 Coating liquid nozzle 34 Nozzle drive part 35 Standby part 36 Coating liquid supply source 37 Supply pipe DESCRIPTION OF SYMBOLS 38 Supply apparatus group 40 Solvent nozzle 41 Nozzle drive part 42 Waiting part 43 Solvent supply source 44 Supply pipe 45 Supply apparatus group 50, 51 CCD camera 52 Fixed member 53 Other fixed member 60 CCD camera 100 Control part 101 Display part 102 Operation part 110 processing container 120 coating processing apparatus

Claims (9)

回転保持部材によって保持された基板上にノズルから塗布液を供給し、前記回転保持部材を回転させることで基板に塗布処理を行う塗布処理装置において、前記ノズルの位置調整を行う方法であって、
前記ノズルを、基板が保持されていない状態の前記回転保持部材の中心部の上方に移動させ、
その後、前記回転保持部材の中心部及び前記ノズルの先端部を撮像手段により撮像し、
前記撮像された画像において、前記ノズルの先端部の中心の水平方向の位置と前記回転保持部材の中心部の水平方向の位置とが一致するように前記ノズルの位置を調整することを特徴とする、ノズルの位置調整方法。 In a coating processing apparatus for supplying a coating liquid from a nozzle onto a substrate held by a rotation holding member and performing a coating process on the substrate by rotating the rotation holding member, the position of the nozzle is adjusted.
Moving the nozzle above the center of the rotation holding member in a state where the substrate is not held;
Then, the center of the rotation holding member and the tip of the nozzle are imaged by an imaging means,
In the captured image, the position of the nozzle is adjusted such that the horizontal position of the center of the tip of the nozzle coincides with the horizontal position of the center of the rotation holding member. , Nozzle position adjustment method. 前記調整されたノズルの位置情報を記憶し、
その後、前記回転保持部材に基板を保持して当該基板に塗布処理を行い、
その後、塗布処理後の基板を前記回転保持部材から取り去り、当該回転保持部材に基板が保持されていない状態で前記ノズルを前記回転保持部材の中心部の上方に移動させ、
その後、前記ノズルの先端部及び前記回転保持部材の中心部を撮像手段により撮像し、
その後、前記撮像された画像から求められた前記ノズルの位置情報と前記記憶されたノズルの位置情報とを比較し、両位置情報に差がある場合には、当該ノズルの位置を前記記憶された位置情報と一致するように前記ノズルを移動させることを特徴とする、請求項１に記載のノズルの位置調整方法。 Storing the adjusted nozzle position information;
Thereafter, the substrate is held on the rotation holding member, and the substrate is coated.
Thereafter, the substrate after the coating treatment is removed from the rotation holding member, the nozzle is moved above the center portion of the rotation holding member in a state where the substrate is not held by the rotation holding member,
Thereafter, the tip of the nozzle and the center of the rotation holding member are imaged by an imaging means,
Thereafter, the position information of the nozzle obtained from the captured image is compared with the stored position information of the nozzle, and if there is a difference between the position information, the position of the nozzle is stored in the stored position information. The nozzle position adjusting method according to claim 1, wherein the nozzle is moved so as to coincide with position information. 前記ノズルの先端部及び前記回転保持部材の中心部の撮像は、２台の撮像手段により行われ、
前記２台の撮像手段による撮像は、互いの撮像方向が平面視において直交する方角から行われることを特徴とする、請求項１または２のいずれかに記載のノズルの位置調整方法。 Imaging of the tip of the nozzle and the center of the rotation holding member is performed by two imaging means,
3. The nozzle position adjusting method according to claim 1, wherein imaging by the two imaging units is performed from directions in which the imaging directions are orthogonal to each other in plan view. 前記撮像手段により撮像される前記回転保持部材の中心部は、前記回転保持部材の中心部に形成された前記基板を吸着保持する吸引口であり、
前記撮像された画像において、前記ノズルの先端部の中心の水平方向の位置と前記吸引口の中心部の水平方向の位置とが一致し、且つ前記ノズルの先端部の手前側の端部と、前記吸引口の手前側の端部との距離が所定の値となるように前記ノズルの位置を調整することを特徴とする、請求項１または２のいずれかに記載のノズルの位置調整方法。 The central portion of the rotation holding member imaged by the imaging means is a suction port that sucks and holds the substrate formed in the central portion of the rotation holding member.
In the captured image, the horizontal position of the center of the tip of the nozzle matches the horizontal position of the center of the suction port, and the end on the near side of the tip of the nozzle; 3. The nozzle position adjusting method according to claim 1, wherein the position of the nozzle is adjusted so that a distance from the front end of the suction port becomes a predetermined value. 4. 請求項１〜４のいずれかに記載の位置調整方法を塗布処理装置によって実行させるために、当該塗布処理装置を制御する制御部のコンピュータ上で動作するプログラム。 A program that operates on a computer of a control unit that controls the coating processing apparatus in order to cause the coating processing apparatus to execute the position adjustment method according to claim 1. 請求項５に記載のプログラムを格納した読み取り可能なコンピュータ記憶媒体。 A readable computer storage medium storing the program according to claim 5. 回転保持部材によって保持された基板上にノズルから塗布液を供給し、前記回転保持部材を回転させることで基板に塗布処理を行う塗布処理装置であって、
塗布液を基板上に供給する塗布液ノズルと、
前記ノズルを移動させる移動機構と、
前記ノズルの先端部及び前記回転保持部材の中心部を撮像する撮像手段と、
前記移動機構と、前記撮像手段の動作を制御する制御部と、を有し、
前記撮像手段は、互いの撮像方向が平面視において直交する方角から撮像を行うように２台設置され、
前記制御部は、前記撮像された画像において、ノズルの先端部の中心の位置と前記回転保持部材の中心部の位置とが一致するように前記ノズルの位置を調整する制御を行うことを特徴とする、塗布処理装置。 A coating processing apparatus that supplies a coating liquid from a nozzle onto a substrate held by a rotation holding member and performs a coating process on the substrate by rotating the rotation holding member,
A coating liquid nozzle for supplying the coating liquid onto the substrate;
A moving mechanism for moving the nozzle;
Imaging means for imaging the tip of the nozzle and the center of the rotation holding member;
The moving mechanism, and a control unit that controls the operation of the imaging means,
Two of the imaging means are installed so as to perform imaging from directions in which the imaging directions of each other are orthogonal in a plan view,
The control unit performs control to adjust the position of the nozzle so that the position of the center of the tip of the nozzle matches the position of the center of the rotation holding member in the captured image. A coating treatment apparatus. 前記制御部は、前記調整されたノズルの位置情報を記憶し、
その後、前記回転保持部材に基板を保持して当該基板に塗布処理を行い、
その後、塗布処理後の基板を前記回転保持部材から取り去り、当該回転保持部材に基板が保持されていない状態で前記ノズルを前記回転保持部材の中心部の上方に移動させ、
その後、前記ノズルの先端部及び前記回転保持部材の中心部を撮像手段により撮像し、
その後、前記撮像された画像から求められた前記ノズルの位置情報と前記記憶されたノズルの位置情報とを比較し、両位置情報に差がある場合には、当該ノズルの位置を前記記憶された位置情報と一致するように前記ノズルを移動させる制御を行うことを特徴とする、請求項７に記載の塗布処理装置。 The control unit stores the adjusted nozzle position information,
Thereafter, the substrate is held on the rotation holding member, and the substrate is coated.
Thereafter, the substrate after the coating treatment is removed from the rotation holding member, the nozzle is moved above the center portion of the rotation holding member in a state where the substrate is not held by the rotation holding member,
Thereafter, the tip of the nozzle and the center of the rotation holding member are imaged by an imaging means,
Thereafter, the position information of the nozzle obtained from the captured image is compared with the stored position information of the nozzle, and if there is a difference between the position information, the position of the nozzle is stored in the stored position information. The coating processing apparatus according to claim 7, wherein control is performed to move the nozzle so as to coincide with position information. 回転保持部材によって保持された基板上にノズルから塗布液を供給し、前記回転保持部材を回転させることで基板に塗布処理を行う塗布処理装置であって、
塗布液を基板上に供給する塗布液ノズルと、
前記ノズルを移動させる移動機構と、
前記ノズルの先端部と、前記回転保持部材の中心部に形成された前記基板を吸着保持する吸引口とを撮像する撮像手段と、
前記移動機構と、前記撮像手段の動作を制御する制御部と、を有し、
前記制御部は、前記撮像された画像において、前記ノズルの先端部の中心の水平方向の位置と前記吸引口の中心部の水平方向の位置とが一致し、且つ前記ノズルの先端部の手前側の端部と、前記吸引口の手前側の端部との距離が所定の値となるように前記ノズルの位置を調整する制御を行うことを特徴とする、塗布処理装置。
A coating processing apparatus that supplies a coating liquid from a nozzle onto a substrate held by a rotation holding member and performs a coating process on the substrate by rotating the rotation holding member,
A coating liquid nozzle for supplying the coating liquid onto the substrate;
A moving mechanism for moving the nozzle;
Imaging means for imaging the tip of the nozzle and a suction port for sucking and holding the substrate formed at the center of the rotation holding member;
The moving mechanism, and a control unit that controls the operation of the imaging means,
In the captured image, the control unit matches the horizontal position of the center of the tip of the nozzle with the horizontal position of the center of the suction port, and is on the front side of the tip of the nozzle The coating processing apparatus is characterized in that control is performed to adjust the position of the nozzle so that the distance between the end of the nozzle and the end on the near side of the suction port becomes a predetermined value.
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