JP2012094554A - 真空処理装置、電子部品の製造方法及び真空処理プログラム - Google Patents
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Abstract
【課題】 基板搬送用ロボットのフィンガーの変形を精度よく検出する。
【解決手段】 基板を保持可能なフィンガーを有した基板搬送用のロボット、及び、前記ロボットにより基板を搬出入させるための基板搬送口を備えた搬送チャンバと、前記基板搬送口に着脱可能に接続され、前記搬送チャンバ内部に連通する開口を有し、外部に対して密閉された内部空間を形成する筐体、及び、前記内部空間に挿入される前記フィンガーの変形を検出するための変位センサを備えたセンシングポートと、前記搬送チャンバに設けられる排気口を介して、前記搬送チャンバ及び前記筐体内部を排気する排気手段と、前記排気手段により前記搬送チャンバ及び筐体内部を減圧させた状態で、前記筐体の内部空間に挿入されたフィンガーの形状の前記変位センサによる検出結果を取得する制御手段と、を備える。
【選択図】図1
【解決手段】 基板を保持可能なフィンガーを有した基板搬送用のロボット、及び、前記ロボットにより基板を搬出入させるための基板搬送口を備えた搬送チャンバと、前記基板搬送口に着脱可能に接続され、前記搬送チャンバ内部に連通する開口を有し、外部に対して密閉された内部空間を形成する筐体、及び、前記内部空間に挿入される前記フィンガーの変形を検出するための変位センサを備えたセンシングポートと、前記搬送チャンバに設けられる排気口を介して、前記搬送チャンバ及び前記筐体内部を排気する排気手段と、前記排気手段により前記搬送チャンバ及び筐体内部を減圧させた状態で、前記筐体の内部空間に挿入されたフィンガーの形状の前記変位センサによる検出結果を取得する制御手段と、を備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、基板搬送ロボットのフィンガーの変形を迅速かつ精度良く検出可能な真空処理装置、電子部品の製造方法及び真空処理プログラムに関する。
従来、半導体装置などの電子部品の製造装置としては、基板やトレイを搬送するロボットを搬送チャンバに配置し、その搬送チャンバの周囲に配された処理を行うプロセスチャンバに基板やトレイを搬送することで、処理を行う装置が知られている。このような装置では、例えば、特許文献1に示すように、基板やトレイをプロセスモジュールに適切に配置するために、基板やトレイの位置ずれを求めて補正する方法が知られている。
しかしながら、基板を搬送するロボットのアームやフィンガーの変形については測定することができなかった。この理由としては、各種のプロセスチャンバに対応して、搬送チャンバではアームの可動スペースを大きく確保しなければならないため、センサ類を配置するのが困難である点が挙げられる。これに対し、センサ類をプロセスチャンバに置くことも考えられるが、プロセスの合間に形状異常を検出するアームを導入するために、わざわざプロセスチャンバ内を真空排気したり、タクトタイム内で通常のプロセス時間に測定時間を付加したりすることは工程上大きなロスで、やはり実現できなかった。
このため、アームやフィンガーの変形を発見できず、変形したアームやフィンガーが基板やステージを傷つけてしまうという問題があった。
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたものであり、稼動中に真空を破ることなく精度よくフィンガーの変形を検出可能な手段を提供することをその目的とする。
このため、アームやフィンガーの変形を発見できず、変形したアームやフィンガーが基板やステージを傷つけてしまうという問題があった。
本発明は、上述の問題点に鑑みてなされたものであり、稼動中に真空を破ることなく精度よくフィンガーの変形を検出可能な手段を提供することをその目的とする。
本発明は、基板を保持可能なフィンガーを有した基板搬送用のロボット、及び、前記ロボットにより基板を搬出入させるための基板搬送口を備えた搬送チャンバと、前記基板搬送口に着脱可能に接続され、前記搬送チャンバ内部に連通する開口を有し、外部に対して密閉された内部空間を形成する筐体、及び、前記内部空間に挿入される前記フィンガーの変形を検出するための変位センサを備えたセンシングポートと、前記搬送チャンバに設けられる排気口を介して、前記搬送チャンバ及び前記筐体内部を排気する排気手段と、前記排気手段により前記搬送チャンバ及び筐体内部を減圧させた状態で、前記筐体の内部空間に挿入されたフィンガーの形状の前記変位センサによる検出結果を取得する制御手段と、を備えることを特徴とする。
本発明によれば、ロボットフィンガーの変形により基板を傷つけることを防止できる。
[第1実施形態]
図1に本実施形態に係るセンシングポート150を備えた真空処理装置の概略平面図、図2に真空処理装置の機能ブロックを示す。
図1に本実施形態に係るセンシングポート150を備えた真空処理装置の概略平面図、図2に真空処理装置の機能ブロックを示す。
図1の真空処理装置は、クラスタ型の真空処理装置であり、基板に対して処理を行うためのプロセスモジュール200と、基板搬送を行うための搬送モジュール100と、これらを制御する真空処理装置制御部COMと、ロードロック/アンロードロックモジュールLL/ULと、を備える。真空処理装置制御部COMは、例えばコンピュータを備えて構成され、所定の基板の処理手順(レシピ)に従って、各プロセスモジュール200や搬送モジュール100を制御し、基板に対しレシピに定められた一連の処理を実行させる。なお、真空処理装置制御部COMは、キーボードやマウスなどの入力装置、スピーカやディスプレイなどの出力装置を備えたユーザインタフェース300が接続しており、ユーザによりレシピやその他の指示の入力が可能である。ロードロック/アンロードロックモジュールLL/ULは、基板供給装置FEに接続され、基板を搬送モジュール100に導入する。
プロセスモジュール200は、基板に対して処理を施すためのモジュールであり、例えば、スパッタリング法、CVD(Chemical Vapor Deposition)法による成膜が可能な成膜モジュールや、ドライエッチングなどが可能なエッチングモジュール、加熱や冷却が可能な温度調整モジュールが挙げられる。また、プロセスモジュール200は、基板処理室としてのチャンバと、基板の搬送時にチャンバ内部を減圧する排気ポンプと、モジュールの各構成要素を制御するPLC(プログラマブルロジックコントローラ)などの制御部と、を備える。
搬送モジュール100は、基板処理室としての搬送チャンバ110と、搬送ロボット120と、搬送モジュール制御部130(図1に不図示)と、センシングポート150と、排気ポンプ192(図1に不図示)と、を備える。搬送チャンバ110は、周囲に複数の基板搬送口が開口しており、これにゲートバルブGVを介してプロセスモジュール200を接続可能である。図1の例では、搬送チャンバ110は正八角柱状であり、各側面に基板搬送口が形成され、8個のプロセスモジュール200を接続可能になっている。なお、搬送チャンバ110の形状や基板搬送口の数はこれに限定されない。排気ポンプ192は、チャンバ内部を排気するためのポンプ(ターボ分子ポンプ、ドライポンプなど)であり、排気ポンプ192により搬送チャンバ110及びセンシングポート150内部を減圧した状態で基板を導入する。
搬送ロボット120は、搬送チャンバ110内に配され、搬送チャンバ110周囲に接続されたプロセスモジュール200と搬送チャンバ110との間で基板を搬送する。具体的に、本実施形態に係る搬送ロボット120は、アーム121と、アーム121の先端に取り付けられた基板載置用のフィンガー122と、を備える。さらに、搬送ロボット120は、配置中心を軸にアーム121を回転させる回転駆動部127と、アーム121を上記回転面内で径方向に伸縮させる伸縮駆動部126と、アーム121を高さ方向(上記回転面に垂直な方向)に駆動させる高さ駆動部125と、を備える。つまり、回転駆動部127の回転動作によりいずれのプロセスモジュール200に搬送するか搬送方向を決定し、伸縮駆動部126の伸長動作によりプロセスモジュール200に応じた所定の搬送距離移動させ、プロセスモジュール200内の所定位置への基板搬送を行う。そして、高さ方向への移動により、基板の受け渡し動作が可能である。なお、伸縮駆動部126や回転駆動部127は、例えばモータを備えて構成され、高さ駆動部125は、例えばボールねじを備えて構成される。
図3にセンシングポート150の概要を表す斜視図を、図4にセンシングポート150の正面図(図3の矢印Y方向から見た図)、図5にセンシングポート150の断面図(図4のA−A線断面図)を示す。
センシングポート150は、フィンガー122の変形を検出するための装置であり、搬送チャンバ110の基板搬送口111に連通し、かつ、外部に対して密閉された内部空間を形成する筐体152と、フィンガー122の位置を検出する変位センサ151と、を備える。本実施形態では、筐体152は、開口153を有する箱状に形成され、その開口側端部が搬送チャンバ110の外壁面にボルト152bt(図4参照)によって固定されている。筐体152の材質は特に限定されないが、例えば、搬送チャンバ110のと同じ材質(例えば、Alなど)を用いることができる。また、図5に示すように、筐体152と搬送チャンバ110との接続端面には、シール部材152sとして、例えばフッ素ゴムなどからなるOリングが開口153の周囲を囲むようにして介装され、外部に対して密閉される。開口153の大きさや筐体152の大きさは特に限定されないが、本実施形態では、図5に示すように、開口153が搬送チャンバ110の基板搬送口111よりも小さく形成されている。
また、図3に示すように、筐体152の正面には、石英ガラスなどの透明材料で形成された監視用窓153gが設けられ、内部を目視可能になっている。これにより、フィンガー122の変形を実際に確認することができる。なお、監視用窓153gは、図4に監視用窓153gを透過して示すように、シール部材153sとしてのOリングを介しボルト153btによって筐体152に固定されている。
また、変位センサ151は、本実施形態では、筐体152の外部に設けられ、測定対象となるフィンガー122に非接触でその高さを測定可能である。具体的には、変位センサ151として、測定位置に移動したフィンガー122に対しレーザ光を放射する発光素子と、フィンガー122からの反射光を検出する受光素子と、を有するレーザ式の変位センサを用いる。これを、測定位置に移動したフィンガー122と高さ方向で対向する位置に設けることで、反射光の受光量に基づきフィンガー122の高さを検出可能である。なお、筐体152は、開口153と変位センサ151の発光素子との間の部分に貫通孔154を有すると共に、当該貫通孔154の端部を塞ぐセンサ用窓154gを有し、レーザ光が透過可能になっている。なお、センサ用窓154gも図5に示すようにシール部材154sを介してボルト154btにより固定され、筐体152の内部が密閉される。
なお、変位センサ151は、ケーブル151cにより増幅器(不図示)に接続され、これを介してさらに搬送モジュール制御部130に接続しており、搬送モジュール制御部130に測定結果を出力する。なお、本実施形態では、フィンガー122の両端の高さを夫々測定するために、変位センサ122を2つ設けているが、センサの設置箇所や設置個数はこれに限定されるものではない。例えば、3つ以上設けてもよいし、フィンガー122の端部の1箇所の高さのみを検出するようにしてもよい。
搬送モジュール制御部130は、コンピュータやPLCなどを備えて構成され、排気ポンプ192などの搬送モジュール200の各構成要素を制御する機能を有する。本実施形態では、プログラムの実行により実現される、搬送制御部131及び異常判定部132の各機能部を備える。搬送制御部131は、搬送ロボット120を制御する機能を有する。具体的には、搬送制御部131は、真空処理装置制御部COMから取得するレシピ(あるいは基板搬送手順を指定するデータ)及びティーチングデータに基づいて、搬送ロボット120に搬送位置を指定した搬送指令を出力する。搬送位置は、例えば、角度(回転駆動部の回転位置)、搬送距離(アーム121の伸縮位置)及び高さ(アーム121の高さ)により指定され、例えば搬送位置とプロセスモジュール200とを対応させた、ティーチングデータとして記憶部133に保持される。異常判定部132は、詳細な動作は後述するが、フィンガー122の異常検出タイミングになると、搬送制御部131を介して搬送ロボット120にセンシングポート150への移動指令を出力し、変位センサ151からの入力に基づいて異常判定を行う。また、形状異常が補正可能な範囲であると判定した場合は、ティーチングデータを補正する補正処理を行う。
次に、図6のフローチャートを用いて、変位センサ151による異常検出動作フローを説明する。
まず、ステップS101において、搬送チャンバ110及びこれに接続するセンシングポート150内部を排気ポンプ192により排気し、例えば1.0×10−3Pa以下の減圧状態とする。その後、搬送ロボット120により、レシピに従い各プロセスモジュール200への基板搬送を行う(ステップS102)。なお、基板搬送前に基板の搬送先となるプロセスモジュール200で排気処理を行い、内部を例えば1.0×10−3Pa以下の減圧状態としてから、搬送チャンバ110との間のゲートバルブGVを開き、搬送チャンバ110からプロセスモジュール200に基板を搬送させる。
そして、搬送モジュール制御部130は、基板搬送の合間に、測定タイミングであるかを判定し(ステップS103)、測定タイミングがきたら(ステップS103:YES)、搬送ロボット120を測定位置へ移動させる(ステップS104)。測定タイミングは、予めプログラムにより定めてもよいし、ユーザインターフェース300を介したユーザからの指示の入力によって測定を行わせるようにしてもよい。なお、このときアーム121には基板を載置しない状態で測定を行うが、基板を載置させた状態で測定を行ってもよい。但し、基板を載置させた状態だと、基板の載置位置や重みによって変形状態も異なってしまうことから、基板を載置させない状態で測定した方が、より精度の高い検出が可能である。
アーム121が測定位置で停止後、変位センサ151からの入力信号に基づき、フィンガー両端122a、122aの高さを夫々演算し(ステップS105)、異常であるかを判定する(ステップS106)。異常であるかの判定は、例えば、フィンガー両端122a、122aの高さの夫々が所定範囲内にあるかを判定することにより行う。異常と判定された場合(ステップS106:異常)は、ユーザに交換通知を行う。これは、例えば、アラームによる報知、画面への警告表示の出力等による。
一方、フィンガー両端122a、122aの高さが所定値とずれているが、補正可能な範囲にある場合(ステップS107:補正可能範囲)は、補正処理を行い(ステップS108)、ステップS110に移行する。補正処理は、例えば、高さ方向のティーチングデータを補正することにより行う。より具体的には、フィンガー122の先端が熱変形等により上側に反ってしまっている場合は、例えば、基板をプロセスモジュール200内に載置するときの高さ方向のティーチングデータの初期値h0を、沿った分Δhだけ低い値h0′(=h0−Δh)に修正する。補正処理の後、交換予告通知を行う(ステップS109)。これは交換時期が近いことの通知であり、例えば、変形量を表示させたり、交換が必要と推測される時期を表示したりすることにより行う。
フィンガー両端122a、122aの高さが補正も交換も必要のない、正常な範囲にあると判定された場合(ステップS106:正常)は、ステップS110に移行し、フィンガー両端122a、122aの高さの差が所定閾値以内かを判定する。所定閾値を超えると判定した場合(ステップS110:NO)は、交換通知を行う(ステップS107)。正常である場合(ステップS110:YES)は、再びレシピに従って基板搬送を実行する(ステップS102)。
以上のように、フィンガーの変形を検出するためのセンシングポート150を、搬送チャンバと排気ポンプを共用可能に設けることで、測定のために排気処理を行ったりする等のロスを伴うことなく、常時、精度良くフィンガーの変形を検出可能である。これにより、基板を傷つけたりするのを防止できる。
さらに、変形量が大きい場合は、自動的に補正を行うことで、基板の位置ずれ等も防止できる。また、補正量が規定量を超えた場合、装置の稼働停止時期やロボットの交換の時期を察知でき、前もって準備を行うこともできる。
[第2実施形態]
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
第2実施形態は、変位センサ151として、高さ方向の変位センサを2個用いた第1実施形態と異なり、1つは高さ方向の変位センサを用い、1つは伸縮方向及び回転方向の位置を検出可能な2次元の変位センサを用いている。その他の点では、第1実施形態と共通するので、詳細な説明は省略する。
図7に、本実施形態による異常検出方法を説明するための筐体152の平面図を示す。
フィンガー122の先端の一方に位置検出用のマーク122mを付し、2次元の変位センサ151によりこのマーク122mの回転平面内の2次元座標(x、y)を取得する。2次元の変位センサ151としては、例えばCCDセンサを用い、このマーク122mを撮像する。なお、変位センサ151の設置位置は、第1実施形態と同じである。
次に、図8のフローチャートを用いて、第2実施形態に係る異常検出動作フローを説明する。
ステップS201〜S204は、第1実施形態と同様であるので説明を省略する。ステップS205において、高さ方向の変位センサ151からの入力に基づき、搬送モジュール制御部130でフィンガー122の先端高さを演算する。次に、2次元の変位センサ151からのマーク122mの撮像データの入力に基づき、搬送モジュール制御部130でその2次元座標(x、y)を取得する。そして、これを搬送ロボット120の配置中心を基準とした(r、θ)座標に変換することで、回転方向位置及び伸縮方向位置を取得する(ステップS206)。
ステップS207では、ステップS205及びS206で取得したフィンガー122先端の高さ方向位置、回転方向位置、及び、伸縮方向位置の各検出結果に基づいて、異常判定を行う。異常判定は、例えば、各方向の位置が所定の閾値内にあるかを判定することにより行う。もちろん、各方向の位置の組み合わせが所定閾値の組み合わせ範囲にあるかにより判定してもよい。
この結果、異常範囲と判定した場合(ステップS207:異常)は、ユーザに交換通知を行う(ステップS208)。一方、正常範囲内であると判定した場合(ステップS207:正常)は、ステップS202に戻り、それ以降の動作を繰り返す。正常範囲よりもずれているが、補正可能範囲にあると判定した場合(ステップS207:補正可能)は、ティーチングデータの補正処理を行い(ステップS209)、ステップS202に戻り、それ以降の動作を繰り返す。
以上のように、高さ方向、回転方向及び伸縮方向の全てを検出し、異常判定に用いることで、種々の形状変化を検出でき、基板の位置ずれやフィンガー122の衝突などを防止できる。
なお、本発明の適用は上記第2実施形態で示したものに限定されない。例えば、要交換と判定する場合は、高さ方向位置の検出結果だけを用い、伸縮方向位置や回転方向位置の検出結果は、ティーチング補正にのみ用いてもよい。
[第3実施形態]
次に、本発明の第3実施形態について説明する。
第3実施形態は、第2実施形態と略同じであるが、2つの変位センサ151の代わりに、1つの高さ方向の変位センサ151と、温度センサを用いた点で異なっている。センシングポートにおけるセンサの設置位置は、他の実施形態と同様である。温度センサとしては、例えば、放射温度計を用いることができる。
この場合の異常検出フローについて、図9を参照して説明する。
ステップS301〜S305は第2実施形態と同様である。次のステップS306において、フィンガー先端122aの温度を検出する。そして、続くS307の異常判定において、フィンガー先端122aの高さが所定閾値内にあるかを判定する。このとき、フィンガー先端122aの温度に応じて、異なる閾値を適用する。具体的には、例えば、温度が高いほど閾値の範囲を大きくし、高温になったことにより一時的に変形が発生している場合に異常と判定しないようにし、逆に温度が低くても変形量が大きく塑性変形が発生している場合は異常と判定できるようにする。その後、異常と判定した場合は交換通知を行い(ステップS308)、補正可能範囲であると判定した場合はティーチング補正を行い(ステップS309)、正常の場合はステップS302以降の処理を繰り返す。
ステップS301〜S305は第2実施形態と同様である。次のステップS306において、フィンガー先端122aの温度を検出する。そして、続くS307の異常判定において、フィンガー先端122aの高さが所定閾値内にあるかを判定する。このとき、フィンガー先端122aの温度に応じて、異なる閾値を適用する。具体的には、例えば、温度が高いほど閾値の範囲を大きくし、高温になったことにより一時的に変形が発生している場合に異常と判定しないようにし、逆に温度が低くても変形量が大きく塑性変形が発生している場合は異常と判定できるようにする。その後、異常と判定した場合は交換通知を行い(ステップS308)、補正可能範囲であると判定した場合はティーチング補正を行い(ステップS309)、正常の場合はステップS302以降の処理を繰り返す。
以上のように、変位センサと温度センサを組合せることで、任意のプロセスの合間に異常検出を行ったとしても、定常的な形状異常の発生を検出できる。なお、温度センサを変位センサとして用いてもよい。つまり、温度の測定結果に基づいて、変形量を推定し、この変形量を異常判定に用いてもよい。
100 搬送モジュール
120 搬送ロボット
121 アーム
122 フィンガー
150 センシングポート
151 変位センサ
152 筐体
200 プロセスモジュール
GV ゲートバルブ
LL/UL ロードロック/アンロードロックモジュール
FE 基板供給装置
120 搬送ロボット
121 アーム
122 フィンガー
150 センシングポート
151 変位センサ
152 筐体
200 プロセスモジュール
GV ゲートバルブ
LL/UL ロードロック/アンロードロックモジュール
FE 基板供給装置
Claims (9)
- 基板を保持可能なフィンガーを有した基板搬送用のロボット、及び、前記ロボットにより基板を搬出入させるための基板搬送口を備えた搬送チャンバと、
前記基板搬送口に着脱可能に接続され、前記搬送チャンバ内部に連通する開口を有し、外部に対して密閉された内部空間を形成する筐体、及び、前記内部空間に挿入される前記フィンガーの変形を検出するための変位センサを備えたセンシングポートと、
前記搬送チャンバに設けられる排気口を介して、前記搬送チャンバ及び前記筐体内部を排気する排気手段と、
前記排気手段により前記搬送チャンバ及び筐体内部を減圧させた状態で、前記筐体の内部空間に挿入されたフィンガーの形状の前記変位センサによる検出結果を取得する制御手段と、
を備えることを特徴とする真空処理装置。 - 前記制御手段は、前記変位センサによる検出結果に基づいて、前記フィンガーの形状異常を通知する通知部を有することを特徴とする請求項1に記載の真空処理装置。
- 前記制御手段は、前記フィンガーの変形の度合いに応じて、基板搬送時における前記ロボットの移動量を補正する補正部を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の真空処理装置。
- 前記制御手段は、基板搬送の合間に、基板を保持しない状態の前記フィンガーを前記筐体の内部空間まで移動させる移動制御部を有することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の真空処理装置。
- 前記筐体は、前記搬送チャンバに支持固定されることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の真空処理装置。
- 前記変位センサは、前記フィンガーの先端の変形を検出するものであることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の真空処理装置。
- 前記変位センサは、前記筐体の外部に設けられていることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の真空処理装置。
- 基板を保持可能なフィンガーを有した基板搬送用のロボットと、前記ロボットにより基板を搬出入させるための基板搬送口とを備えた搬送チャンバに、前記基板搬送口を介して、前記フィンガーの変形を検出するための変位センサを備えたセンシングポートを接続し、前記搬送チャンバ及びセンシングポート内部を共通に設けた排気手段により排気する排気ステップと、
前記排気ステップにより減圧した前記センシングポート内部に、前記フィンガーを移動させ、前記変位センサによりその変形を検出する検出ステップと、
を有することを特徴とする電子部品の製造方法。 - 基板を保持可能なフィンガーを有した基板搬送用のロボット、及び、前記ロボットにより基板を搬出入させるための基板搬送口を備えた搬送チャンバと、前記基板搬送口に着脱可能に接続され、前記搬送チャンバ内部に連通する開口を有し、外部に対して密閉された内部空間を形成する筐体、及び、前記内部空間に挿入される前記フィンガーの変形を検出するための変位センサを備えたセンシングポートと、前記搬送チャンバに設けられる排気口を介して、前記搬送チャンバ及び前記筐体内部を排気する排気手段と、前記ロボット及び排気手段を制御する制御装置と、を備えた真空処理装置の前記制御装置によって実行されるプログラムであって、
前記排気手段により前記搬送チャンバ及び筐体内部を減圧させる排気ステップと、
前記排気ステップにより減圧した状態で、前記筐体の内部空間にフィンガーを移動させる移動ステップと、
前記変位センサによる前記フィンガーの形状の検出結果を取得する取得ステップと、
を含むことを特徴とする真空処理プログラム。
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