JP2012084792A - スピンナ洗浄装置及びスピンナ洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】スピンナテーブル10Aのウェーハ吸着面12外側に設けられた吸着確認部16で、フレームFとウェーハWとの間のテープTを吸着し、検出部18で吸着確認部16の圧力の変化を検出する。テープTが正しく吸着確認部16に吸着され、吸着確認部16の圧力が下がりフレームFの位置に異常がないと判断された場合はスピンナ洗浄が開始される。吸着確認部16でテープTが吸着されず圧力が下がらない場合は、フレームFの位置が異常であるとしてスピンナテーブルの回転が行われない。
【選択図】図1
Description
Claims (6)
- 中央部にウェーハ吸着面が設けられ、前記ウェーハ吸着面の外側に吸着確認部が設けられ、テープによりフレームにマウントされたウェーハを前記ウェーハ吸着面で吸着固定するスピンナテーブルと、
前記吸着確認部に生じる圧力を検出する検出部と、
揺動しながら前記スピンナテーブル上のウェーハへ向けて洗浄水を噴射するノズルと、
前記スピンナテーブルの外周部に設けられた前記フレームを固定する複数のフックと、
前記スピンナテーブルを回転させる回転手段と、
を備えたことを特徴とするスピンナ洗浄装置。 - 前記吸着確認部は複数の穴により構成されていることを特徴とする請求項1に記載のスピンナ洗浄装置。
- 前記吸着確認部は前記ウェーハ吸着面外周部に沿って形成された溝により構成されていることを特徴とする請求項1に記載のスピンナ洗浄装置。
- 前記吸着確認部に生じる圧力を前記検出部で検出することにより前記吸着確認部における前記テープの吸着状況を検知し、前記吸着確認部における前記テープの吸着状況より前記フックによる前記フレームの固定状況を検知することを特徴とする請求項1から3のいずれか1つに記載のスピンナ洗浄装置。
- 前記吸着確認部で前記テープを吸着するとともに吸引することにより該テープを該吸着確認部へ突出させ、前記洗浄水の前記ウェーハ吸着面への浸入を防止することを特徴とする請求項1から4のいずれか1つに記載のスピンナ洗浄装置。
- 中央部にウェーハ吸着面が設けられ、前記ウェーハ吸着面の外側に吸着確認部が設けられ、テープによりフレームにマウントされたウェーハを前記ウェーハ吸着面で吸着固定するスピンナテーブルと、前記吸着確認部に生じる圧力を検出する検出部と、揺動しながら前記スピンナテーブル上のウェーハへ向けて洗浄水を噴射するノズルと、前記スピンナテーブルの外周部に設けられた前記フレームを固定する複数のフックと、前記スピンナテーブルを回転させる回転手段と、を備えたスピンナ洗浄装置を用いたスピンナ洗浄方法において、
前記吸着確認部に生じる圧力を前記検出部で検出することにより前記吸着確認部における前記テープの吸着状況を検知し、前記吸着確認部における前記テープの吸着状況より前記フックによる前記フレームの固定状況を検知した後、前記回転手段により前記スピンナテーブルを回転させるとともに前記ノズルより洗浄液を噴射することで前記ウェーハの洗浄を行なうことを特徴とするスピンナ洗浄方法。
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