JP2012078130A - 粒子状物質検出センサおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】電気抵抗式の粒子状物質検出センサにおいて、PM粒子をセンサ表面の一対の検出電極間に速やかに堆積可能とし、一対の検出電極の間隔をより小さくして、センサ感度を向上させる。
【解決手段】PMセンサSのセンサ素子部1は、絶縁基板11〜16を積層した絶縁性基体10と、その粒子状物質検出面21となる側面に露出する検出電極e1〜e5からなる検出部2を備える。検出電極e1〜e5は、絶縁基板11〜16の層間に配置される電極膜eA、eBからなり、絶縁性基体10内において交互に接続されて、異なる極性の検出電極e1〜e5が対向配設している。検出電極e1〜e5の間に位置する絶縁基板12〜15は、分極により静電捕集可能であり、検出電極e1〜e5の間隔は、絶縁基板12〜15の厚みによって、例えば20μm以下に調整される。
【選択図】図1
Description
絶縁性基体の一面を粒子状物質検出面とし、該粒子状物質検出面に、異なる極性を持つ検出電極を対向させて交互に配設した粒子状物質検出部を有しており、
上記粒子状物質検出面において、上記検出電極は、その少なくとも一部が上記絶縁性基体の内部に埋設配置されていることを特徴とする。
複数の絶縁基板の表面に、該絶縁基板の側縁部または端縁部に沿うように電極膜を形成し、該電極膜の近傍に板面を貫通するスルーホールを形成する工程と、
上記複数の絶縁基板を積層して、上記絶縁性基体を構成するとともに、上記粒子状物質検出面となる側面または端面に、上記電極膜の縁部を露出させて上記検出電極とし、積層方向に交互に位置する上記検出電極同士を上記スルーホールを介して電気的に接続する工程と、を有することを特徴とする。
ΔT=Δα×ΔT×L
=2×10-6×300×2000
=1.6μm
ECU 制御装置
EX 排気管
E/G ディーゼルエンジン
S PMセンサ(粒子状物質検出センサ)
e1〜e5 検出電極
eA、eB 電極膜
1 センサ素子部
1A、1B スルーホール
10 絶縁性基体
11〜19 絶縁基板
2 粒子状物質検出部
21、24 粒子状物質検出面
31 電源部
32 抵抗測定部
40 カバー体
410、411 通孔
50 ハウジング
60 インシュレータ
7 第2の検出部
8 ヒータ部
Claims (8)
- 被測定ガス中の粒子状物質を検出するセンサ素子部を備える粒子状物質検出センサであって、該センサ素子部は、
絶縁性基体の一面を粒子状物質検出面とし、該粒子状物質検出面に、異なる極性を持つ検出電極を対向させて交互に配設した粒子状物質検出部を有しており、
上記粒子状物質検出面において、上記検出電極は、その少なくとも一部が上記絶縁性基体の内部に埋設配置されていることを特徴とする粒子状物質検出センサ。 - 上記絶縁性基体は、複数の絶縁基板を積層して直方体形状としたものであり、上記検出電極は、上記複数の絶縁基板の層間に保持されている請求項1記載の粒子状物質検出センサ。
- 上記検出電極は、上記絶縁基板の表面に形成した電極膜からなり、該電極膜を、上記粒子状物質検出面に面する上記絶縁基板の端縁部に沿って配置する請求項2記載の粒子状物質検出センサ。
- 上記粒子状物質検出部は、異なる極性を持つ複数組の上記検出電極が、上記絶縁基板を挟んでその積層方向に対向している請求項2または3記載の粒子状物質検出センサ。
- 異なる極性を持つ1組の上記検出電極の間隔が20μm以下である請求項4記載の粒子状物質検出センサ。
- 同じ極性を持つ上記検出電極は、上記絶縁基板に形成したスルーホールを介して互いに接続される請求項2ないし4のいずれか1項に記載の粒子状物質検出センサ。
- 上記粒子状物質検出面は、上記絶縁性基体の側面または端面にて形成される請求項1ないし6のいずれか1項に記載の粒子状物質検出センサ。
- 被測定ガス中の粒子状物質を検出するセンサ素子部を備え、該センサ素子部が、絶縁性基体の一面を粒子状物質検出面とし、該粒子状物質検出面に、異なる極性を持つ検出電極を交互に対向させて配設した粒子状物質検出部を有する粒子状物質検出センサの製造方法であって、
複数の絶縁基板の表面に、該絶縁基板の側縁部または端縁部に沿うように電極膜を形成し、該電極膜の近傍に板面を貫通するスルーホールを形成する工程と、
上記複数の絶縁基板を積層して、上記絶縁性基体を構成するとともに、上記粒子状物質検出面となる側面または端面に、上記電極膜の縁部を露出させて上記検出電極とし、積層方向に交互に位置する上記検出電極同士を上記スルーホールを介して電気的に接続する工程と、を有することを特徴とする粒子状物質検出センサの製造方法。
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