JP2012073328A - 光変調器 - Google Patents
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Abstract
電気光学効果を有し、厚みが10μm以下の薄板を利用した場合でも、薄板の反りや割れを抑制し、製品の歩留まりを改善した光変調器を提供すること。また、高周波特性の劣化を抑制した光変調器を提供すること。
【解決手段】
電気光学効果を有し、厚みが10μm以下の薄板と、該薄板に形成された光導波路と、該光導波路内を伝搬する光波を変調するための変調電極とを有する光変調器において、該薄板は接着層を介して、薄板とほぼ同一の線膨張率を有し、かつ、誘電率が薄板より低い補強基板に接着されており、該補強基板の接着層側の面には、該光導波路が延在する方向と平行な方向に溝が形成されていることを特徴とする。
【選択図】図2
Description
本発明の光変調器は、電気光学効果を有し、厚みが10μm以下の薄板と、該薄板に形成された光導波路と、該光導波路内を伝搬する光波を変調するための変調電極とを有する光変調器において、該薄板は接着層を介して、誘電率が薄板より低い補強基板に接着されており、該補強基板の接着層側の面であって、該変調電極の一部を構成する接地電極の下側に、該光導波路が延在する方向と平行な方向に溝が形成されていることを特徴とする。
Claims (4)
- 電気光学効果を有し、厚みが10μm以下の薄板と、該薄板に形成された光導波路と、該光導波路内を伝搬する光波を変調するための変調電極とを有する光変調器において、
該薄板は接着層を介して、誘電率が薄板より低い補強基板に接着されており、
該補強基板の接着層側の面であって、該変調電極の一部を構成する接地電極の下側に、該光導波路が延在する方向と平行な方向に溝が形成されていることを特徴とする光変調器。 - 請求項1に記載の光変調器において、該溝には接着層を構成する接着剤が埋設されていることを特徴とする光変調器。
- 請求項1又は2に記載の光変調器において、該補強基板は、薄板とほぼ同一の線膨張率を有していることを特徴とする光変調器。
- 請求項1乃至3のいずれかに記載の光変調器において、該薄板は、LiNbO3又はLiTaO5のいずれかであることを特徴とする光変調器。
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- 2010-09-28 JP JP2010216748A patent/JP2012073328A/ja active Pending
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