JP2012064336A - Multilayer film having metal lithium thin film - Google Patents

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昭造 河添
Shigeru Nodake
繁 野岳
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浩則 山崎
Yukio Yamakawa
幸雄 山川
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a multilayer film by which a metal lithium thin film with a thickness of 30 μm or less is stably produced and the metal lithium thin film is easily transferred.SOLUTION: The multilayer film has a plastic film on at least one surface of metal foil, and the metal lithium thin film on at least one surface of the plastic film. The metal foil contains at least one kind of metal element selected from a group consisting of Be, C, Mg, Al, Si, S, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Mo, Ag, In, Sn, Sb, Ta, W, Pt, and Au.

Description

本発明は、金属リチウム薄膜を有する多層フィルム、該多層フィルムを使用する蓄電デバイス用電極の製造方法、及び該方法により得られる蓄電デバイス用電極に関する。また、本発明は、金属リチウム薄膜の製造方法、該方法により得られる金属リチウム薄膜、及び該金属リチウム薄膜を有する蓄電デバイス用電極に関する。更には、本発明は、上記電極を備えた蓄電デバイスに関する。   The present invention relates to a multilayer film having a metallic lithium thin film, a method for producing an electrode for an electricity storage device using the multilayer film, and an electrode for an electricity storage device obtained by the method. The present invention also relates to a method for producing a metal lithium thin film, a metal lithium thin film obtained by the method, and an electrode for an electricity storage device having the metal lithium thin film. Furthermore, this invention relates to the electrical storage device provided with the said electrode.

近年、携帯電話に代表される小型携帯機器用の電源、深夜電力貯蔵システム、太陽光発電に基づく家庭用分散型蓄電システム、電気自動車のための蓄電システム等のために、各種の高エネルギー密度電池が精力的に開発されている。特に、リチウムイオン電池は、350 Wh/Lを超える体積エネルギー密度を有していること、金属リチウムを負極として用いるリチウム二次電池と比較して、安全性、サイクル特性等の信頼性が優れていること等の理由から、小型携帯機器用の電源として、その市場が急速に拡大している。リチウムイオン電池は、正極としてLiCoO、LiMn等に代表されるリチウム含有遷移金属酸化物を用い、負極として黒鉛に代表される炭素系材料を使用する。現在、リチウムイオン電池のより一層の高容量化が進められているが、正極酸化物と負極炭素系材料の改良による高容量化はほぼ限界に達し、機器側からの高エネルギー密度に対する要求を満たすことは難しい。また、電動車両の動力源となる蓄電デバイスは、一度に大電流を流すことが必要で、高出力化が要求される。この要求に応えるため、蓄電システムにおいて、高エネルギー密度を特徴とするリチウムイオン電池の高出力化、又は高出力を特徴とする電気二重層キャパシタの高エネルギー密度化の研究が行われている。 In recent years, various high energy density batteries for power sources for small portable devices typified by mobile phones, midnight power storage systems, home-use distributed storage systems based on solar power generation, storage systems for electric vehicles, etc. Has been vigorously developed. In particular, lithium-ion batteries have a volume energy density exceeding 350 Wh / L, and are superior in reliability such as safety and cycle characteristics compared to lithium secondary batteries using metallic lithium as a negative electrode. The market is rapidly expanding as a power source for small portable devices. A lithium ion battery uses a lithium-containing transition metal oxide typified by LiCoO 2 , LiMn 2 O 4 or the like as a positive electrode and a carbon-based material typified by graphite as a negative electrode. Currently, lithium-ion batteries are being made to have higher capacities, but higher capacities by improving positive electrode oxides and negative electrode carbon-based materials have almost reached their limits, meeting the requirements for high energy density from the equipment side. It ’s difficult. In addition, an electricity storage device serving as a power source for an electric vehicle needs to pass a large current at once, and is required to have a high output. In order to meet this demand, research has been conducted on increasing the output of a lithium ion battery characterized by a high energy density or increasing the energy density of an electric double layer capacitor characterized by a high output in an electricity storage system.

一方、リチウムイオン電池、リチウムイオンキャパシタ等の蓄電デバイスにおいて、活物質に予めリチウムイオンを担持させること(以下、プリドープと呼ぶこともある)により、蓄電デバイスを高容量化及び高電圧化する技術が注目されている。例えば、特許文献1に記載されているポリアセン系骨格構造を含有する不溶不融性基体等の高容量材料に対し、このプリドープを適用することによって、その特徴である高容量性を充分に活かした蓄電デバイスの設計が可能となり、上記蓄電デバイスの高エネルギー密度化又は高出力化の要求に対応することができる。このようにプリドープは古くから実用化されている技術であり、例えば、特許文献2には、負極活物質であるポリアセン系骨格構造を含有する不溶不融性基体と熱硬化性樹脂とを含有する成形体又は該成形体の熱処理物にリチウムをプリドープさせた、高電圧且つ高容量な蓄電デバイスが開示されている。   On the other hand, in a power storage device such as a lithium ion battery or a lithium ion capacitor, there is a technology for increasing the capacity and voltage of a power storage device by supporting lithium ions in the active material in advance (hereinafter sometimes referred to as pre-doping). Attention has been paid. For example, by applying this pre-doping to a high-capacity material such as an insoluble infusible substrate containing a polyacene-based skeleton structure described in Patent Document 1, the high-capacity characteristic thereof is fully utilized. The power storage device can be designed, and the demand for higher energy density or higher output of the power storage device can be met. Thus, pre-doping is a technology that has been put into practical use for a long time. For example, Patent Document 2 includes an insoluble infusible substrate containing a polyacene-based skeleton structure, which is a negative electrode active material, and a thermosetting resin. A high-voltage and high-capacity electricity storage device in which lithium is pre-doped in a molded body or a heat-treated product of the molded body is disclosed.

プリドープに関しては、予め金属リチウムを担持させた電極を使用して蓄電デバイスに組み込む方法、金属リチウム等を電極成形時に混合する方法等が知られているが、簡便且つ実用的なプリドープ法は、活物質を含有する電極に金属リチウム箔を接触させる方法である。この技術は簡便且つ実用的方法である反面、金属リチウム薄膜の取り扱い等に課題があり、特許文献3には、金属リチウム薄膜を取り扱わなくてもプリドープが可能な方法が提案されているが、表裏面を貫通する非常に微細な貫通孔を備えた正極あるいは負極を必要とするため、その製造は必ずしも容易ではなかった。そのため、金属リチウム薄膜を安定的に製造するとともに、金属リチウム薄膜の取り扱いを容易にすることによりプリドープ法を簡便且つ実用な方法にする必要が強く求められていた。   As for the pre-doping, there are known a method of incorporating an electrode pre-supported with metallic lithium into an electricity storage device, a method of mixing metallic lithium or the like at the time of electrode forming, etc. In this method, a metal lithium foil is brought into contact with an electrode containing a substance. Although this technique is a simple and practical method, it has a problem in handling a metallic lithium thin film. Patent Document 3 proposes a method capable of pre-doping without handling a metallic lithium thin film. Since a positive electrode or a negative electrode provided with very fine through holes penetrating the back surface is required, the manufacture thereof is not always easy. For this reason, there has been a strong need to make the pre-doping method simple and practical by stably manufacturing the metal lithium thin film and facilitating the handling of the metal lithium thin film.

従来の金属リチウム薄膜の製造方法としては、押出、圧延等による方法がある。押出加工による方法では、厚さ100μm以下の均一な厚みの膜を作ることは難しく、しかも、押出加工の金型出口の開口部が薄くなるにつれて、原料リチウムやインゴット中に存在する異物が開口部に詰まるなどの問題が発生するため、安定して厚さ100μm以下の金属リチウム薄膜を作ることはできなかった。圧延法に関しては、例えば特許文献4には、固体重合体組成物の実質的に平滑な表面間でリチウム金属を圧縮的に冷間圧延することにより、その厚みを減じて40μm程度の比較的薄い金属リチウムストリップを製造する方法が開示されている。また、特許文献5には、一対のローラー間隙中にリチウム等の高可鍛性の金属箔をプラスチックベルトとともに通過させて当該金属泊を圧延する方法が開示されている。しかし、圧延法では厚さ30μm以下の金属リチウム薄膜を作ること、及び金属リチウム薄膜の取り扱いが非常に困難であった。   As a conventional method for producing a metal lithium thin film, there is a method by extrusion, rolling or the like. With the extrusion method, it is difficult to make a film with a uniform thickness of 100 μm or less, and as the opening at the mold exit of the extrusion process becomes thinner, the foreign material present in the raw material lithium and ingot becomes the opening. As a result, a metallic lithium thin film having a thickness of 100 μm or less could not be stably produced. Regarding the rolling method, for example, Patent Document 4 discloses a comparatively thin film having a thickness of about 40 μm which is reduced by compressively cold rolling lithium metal between substantially smooth surfaces of a solid polymer composition. A method for producing a metallic lithium strip is disclosed. Further, Patent Document 5 discloses a method of rolling a metal stay by passing a highly malleable metal foil such as lithium together with a plastic belt between a pair of rollers. However, it has been very difficult to produce a metallic lithium thin film having a thickness of 30 μm or less by the rolling method and to handle the metallic lithium thin film.

特開昭59-3806号公報JP 59-3806 特開平3-233860号公報JP-A-3-233860 特開2008-60028号公報JP 2008-60028 特公昭55-122号公報Japanese Patent Publication No.55-122 特公昭55-41841号公報Japanese Patent Publication No.55-41841

上記のように従来の金属リチウム薄膜の製造法である押出法及び圧延法では厚さ30μm以下の金属リチウム薄膜を安定して製造できず、また金属リチウム薄膜の取り扱いが困難であった。   As described above, the extrusion method and the rolling method, which are conventional methods for producing a metal lithium thin film, cannot stably produce a metal lithium thin film having a thickness of 30 μm or less, and it is difficult to handle the metal lithium thin film.

厚さ30μm以下の金属リチウム薄膜を安定して製造する方法として、真空中でフィルム基材に気相成長法で金属リチウム薄膜を形成させる方法は知られており、その場合の基材としては、金属箔やプラスチックス・フィルムが用いられることは知られている。   As a method for stably producing a metal lithium thin film having a thickness of 30 μm or less, a method for forming a metal lithium thin film on a film substrate in a vacuum by vapor phase growth is known. It is known that metal foils and plastics films are used.

一般に、金属や金属酸化物の薄膜を気相成長法により形成する過程で、基材には気化した金属や金属酸化物が凝縮することによって熱が伝達されるため基材の温度が上昇する。金属リチウム薄膜を気相成長法で形成する過程でも、基材には気化したリチウムが凝縮することに伴い、熱が伝達されるため基材の温度が上昇する。金属リチウムを形成させる厚さを数μmないし数十μmとする場合、温度の上昇は相当大きくなる。   In general, in the process of forming a thin film of metal or metal oxide by vapor deposition, the temperature of the substrate rises because heat is transferred to the substrate by condensation of the vaporized metal or metal oxide. Even in the process of forming the metallic lithium thin film by the vapor phase growth method, the vaporized lithium condenses on the base material, so that heat is transferred and the temperature of the base material rises. When the thickness for forming metallic lithium is several μm to several tens of μm, the temperature rise is considerably large.

金属箔を基材として使用する場合には、使用する金属にもよるが一般的に金属箔は十分な耐熱変形性を有しているため、気化したリチウムが凝縮することに伴う熱での変形は起こり難い。しかしながら、金属リチウムの薄膜を気相成長法により金属箔上に形成させると、基材の金属とリチウムとが反応を起こすためリチウムが変質したり、金属箔と金属リチウムとの親和力が強すぎ、転写するときの剥離性が十分でなかったりしたため、プリドープ用の金属リチウム薄膜を形成させることができなかった。   When using a metal foil as a base material, it depends on the metal used, but generally the metal foil has sufficient heat-resistant deformation, so deformation due to heat caused by condensation of vaporized lithium. Is unlikely to occur. However, when a thin film of metallic lithium is formed on a metal foil by vapor phase growth, the base metal and lithium react with each other to change the quality of lithium, or the affinity between the metallic foil and metallic lithium is too strong. The metal lithium thin film for pre-doping could not be formed because the peelability at the time of transfer was not sufficient.

他方、ポリプロピレン等のプラスチックス・フィルムを基材として使用する場合には、気化したリチウムが凝縮することに伴う熱による基材の変形・破損が起こり易い。このような変形・破損を起こさないためには、膜形成の速度を抑える必要があり、生産性を大きく阻害していた。   On the other hand, when a plastics film such as polypropylene is used as a base material, the base material is likely to be deformed or damaged by heat accompanying condensation of vaporized lithium. In order to prevent such deformation and breakage, it is necessary to suppress the film formation speed, which greatly hinders productivity.

本発明は、上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、厚さ30μm以下の金属リチウム薄膜が破れなどの破損がなく安定して製造され、且つ金属リチウム薄膜の転写が容易な多層フィルム、該多層フィルムを使用する蓄電デバイス用電極の製造方法、及び該方法により得られる蓄電デバイス用電極を提供することにある。   The present invention has been made in order to solve the above-described problems, and the object thereof is to stably manufacture a lithium metal thin film having a thickness of 30 μm or less without breakage or the like, and to easily transfer the lithium metal thin film. It is providing the manufacturing method of the electrode for electrical storage devices which uses this multilayer film, this multilayer film, and the electrode for electrical storage devices obtained by this method.

また、本発明の目的は、厚さ30μm以下の金属リチウム薄膜を安定して製造でき、且つ金属リチウム薄膜の転写が容易な金属リチウム薄膜の製造方法、該方法により得られる金属リチウム薄膜、及び該金属リチウム薄膜を有する蓄電デバイス用電極を提供することにある。   Another object of the present invention is to provide a method for producing a metal lithium thin film that can stably produce a metal lithium thin film having a thickness of 30 μm or less and that can be easily transferred, a metal lithium thin film obtained by the method, and the It is providing the electrode for electrical storage devices which has a metallic lithium thin film.

本発明者らは、上記目的を達成すべく鋭意検討した結果、気相成長法で基材に金属リチウム薄膜を形成させる方法において、金属箔の少なくとも片面にプラスチック膜を積層し、当該面に金属リチウムを形成させることにより、上記目的を達成することができるという知見を得た。発明者らは、さらに検討を加えることにより本発明を完成するに至った。   As a result of intensive studies to achieve the above object, the inventors of the present invention, in a method of forming a metallic lithium thin film on a substrate by vapor phase growth, laminated a plastic film on at least one side of the metal foil, The present inventors have found that the above object can be achieved by forming lithium. The inventors have completed the present invention by further study.

すなわち、本発明は以下の多層フィルム、蓄電デバイス用電極の製造方法、金属リチウム薄膜の製造方法、金属リチウム薄膜等を提供する。   That is, this invention provides the following multilayer films, the manufacturing method of the electrode for electrical storage devices, the manufacturing method of a metallic lithium thin film, a metallic lithium thin film, etc.

項1.金属箔の少なくとも片面にプラスチック膜を有し、更にプラスチック膜の少なくとも片面の表面に金属リチウム薄膜を有し、該金属泊がBe、C、Mg、Al、Si、S、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Mo、Ag、In、Sn、Sb、Ta、W、Pt及びAuからなる群から選択される金属元素の少なくとも1種を含む多層フィルム。   Item 1. It has a plastic film on at least one side of the metal foil, and further has a metal lithium thin film on the surface of at least one side of the plastic film, and the metal stay is Be, C, Mg, Al, Si, S, Ti, V, Cr, A multilayer film comprising at least one metal element selected from the group consisting of Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Mo, Ag, In, Sn, Sb, Ta, W, Pt and Au.

項2.前記金属泊がAlを含むことを特徴とする、項1に記載の多層フィルム。   Item 2. Item 2. The multilayer film according to Item 1, wherein the metal stay contains Al.

項3.前記プラスチックス膜がポリオレフィン膜であることを特徴とする、項1又は2に記載の多層フィルム。   Item 3. Item 3. The multilayer film according to Item 1 or 2, wherein the plastics film is a polyolefin film.

項4.前記ポリオレフィン膜がポリプロピレン膜であることを特徴とする、項3に記載の多層フィルム。   Item 4. Item 4. The multilayer film according to Item 3, wherein the polyolefin film is a polypropylene film.

項5.前記ポリオレフィン膜がポリエチレン膜であることを特徴とする、項3に記載の多層フィルム。   Item 5. Item 4. The multilayer film according to Item 3, wherein the polyolefin film is a polyethylene film.

項6.前記プラスチックス膜が架橋性ポリマー膜であることを特徴とする、項1又は2に記載の多層フィルム。   Item 6. Item 3. The multilayer film according to Item 1 or 2, wherein the plastics film is a crosslinkable polymer film.

項7.金属リチウム薄膜が担持された蓄電デバイス用電極の製造方法であって、
(A)項1〜6のいずれか一項に記載の多層フィルムの金属リチウム薄膜側の面を蓄電デバイスの電極活物質表面に圧着する工程、及び
(B)多層フィルムから基材を剥離する工程
を有することを特徴とする製造方法。
Item 7. A method for producing an electrode for an electricity storage device carrying a metallic lithium thin film,
(A) A step of pressure-bonding the surface of the multilayer film according to any one of Items 1 to 6 to the surface of the electrode active material of the electricity storage device; and
(B) A production method comprising a step of peeling the substrate from the multilayer film.

項8.項7に記載の方法により得られる蓄電デバイス用電極。   Item 8. The electrode for electrical storage devices obtained by the method of claim | item 7.

項9.金属箔の少なくとも片面にプラスチック膜を有する多層フィルムのプラスチック膜の少なくとも片面の表面に、気相成長法で金属リチウム薄膜を形成させることを特徴とする金属リチウム薄膜の製造方法であって、該金属泊がBe、C、Mg、Al、Si、S、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Mo、Ag、In、Sn、Sb、Ta、W、Pt及びAuからなる群から選択される金属元素の少なくとも1種を含む、製造方法。   Item 9. A method for producing a metal lithium thin film, characterized in that a metal lithium thin film is formed by vapor phase epitaxy on at least one surface of a plastic film of a multilayer film having a plastic film on at least one surface of the metal foil. Overnight from Be, C, Mg, Al, Si, S, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Mo, Ag, In, Sn, Sb, Ta, W, Pt and Au A production method comprising at least one metal element selected from the group consisting of:

項10.前記金属泊がAlを含むことを特徴とする、項9に記載の方法。   Item 10. Item 10. The method according to Item 9, wherein the metal stay includes Al.

項11.前記プラスチックス膜がポリオレフィン膜であることを特徴とする、項9又は10に記載の方法。   Item 11. Item 11. The method according to Item 9 or 10, wherein the plastic film is a polyolefin film.

項12.前記ポリオレフィン膜がポリプロピレン膜であることを特徴とする、項11に記載の方法。   Item 12. Item 12. The method according to Item 11, wherein the polyolefin film is a polypropylene film.

項13.前記ポリオレフィン膜がポリエチレン膜であることを特徴とする、項11に記載の方法。   Item 13. Item 12. The method according to Item 11, wherein the polyolefin film is a polyethylene film.

項14.前記プラスチックス膜が架橋性ポリマー膜であることを特徴とする、項9又は10に記載の方法。   Item 14. Item 11. The method according to Item 9 or 10, wherein the plastics film is a crosslinkable polymer film.

項15.項9〜14にいずれか一項に記載の方法により得られる金属リチウム薄膜。   Item 15. Item 15. A metallic lithium thin film obtained by the method according to any one of Items 9 to 14.

項16.項15に記載の金属リチウム薄膜を有する蓄電デバイス用電極。   Item 16. Item 16. An electrode for an electricity storage device comprising the metal lithium thin film according to Item 15.

項17.項8又は16に記載の電極を備えた蓄電デバイス。   Item 17. Item 18. An electricity storage device comprising the electrode according to Item 8 or 16.

本発明の金属リチウム薄膜の製造方法によれば、気化した金属や金属酸化物が凝縮することにより伝達される熱による基材の変形及び破損が起こり難く、厚さ30μm以下の金属リチウム薄膜を安定して製造することが可能となる。   According to the method for producing a metal lithium thin film of the present invention, the deformation and breakage of the base material due to heat transferred by condensation of vaporized metal or metal oxide hardly occur, and a metal lithium thin film having a thickness of 30 μm or less is stably formed. And can be manufactured.

更に、当該製造方法により得られる本発明の多層フィルムは、基材に坦持された金属リチウム薄膜をリチウムイオン電池やリチウムイオンキャパシタの電極活物質表面に容易に転写することを可能とする。   Furthermore, the multilayer film of the present invention obtained by the production method makes it possible to easily transfer the metal lithium thin film supported on the base material to the surface of the electrode active material of the lithium ion battery or lithium ion capacitor.

本発明の多層フィルムの断面図である。It is sectional drawing of the multilayer film of this invention. 本発明の実施の形態に係る真空蒸着装置の要部を示す側面図である。It is a side view which shows the principal part of the vacuum evaporation system which concerns on embodiment of this invention.

以下、本発明を詳細に説明する。   Hereinafter, the present invention will be described in detail.

多層フィルム
本発明の多層フィルムは、金属箔の少なくとも片面にプラスチック膜を有し、更にプラスチック膜の少なくとも片面の表面に金属リチウム薄膜を有し、該金属泊がBe、C、Mg、Al、Si、S、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Mo、Ag、In、Sn、Sb、Ta、W、Pt及びAuからなる群から選択される金属元素の少なくとも1種を含むことを特徴とする。
Multilayer film The multilayer film of the present invention has a plastic film on at least one side of a metal foil, and further has a metal lithium thin film on the surface of at least one side of the plastic film, where the metal stay is Be, C, Mg, Al, Si. At least one metal element selected from the group consisting of S, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Mo, Ag, In, Sn, Sb, Ta, W, Pt and Au Including seeds.

金属箔上にプラスチック膜を形成することにより、基材の変形及び破損、並びに金属リチウムの変質を防ぐのみならず、プリドープ工程での金属リチウム薄膜の活物質への転写性を高めることができる。ここで、本発明における基材とは、上記多層フィルムの金属リチウム薄膜以外の部分である、金属箔の少なくとも片面にプラスチック膜を有するフィルムを示す。   By forming a plastic film on the metal foil, it is possible not only to prevent deformation and breakage of the base material and deterioration of the metal lithium, but also to improve the transferability of the metal lithium thin film to the active material in the pre-doping step. Here, the base material in the present invention refers to a film having a plastic film on at least one surface of a metal foil, which is a portion other than the metal lithium thin film of the multilayer film.

本発明の多層フィルムの一例を図1に示す。   An example of the multilayer film of the present invention is shown in FIG.

<金属箔>
本発明における金属箔は、Be、C、Mg、Al、Si、S、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Mo、Ag、In、Sn、Sb、Ta、W、Pt及びAuからなる群から選択される金属元素の少なくとも1種を含むものである。上記金属元素は、ステンレス鋼などの鋼、青銅、錫鉛などの合金、金属酸化物などの状態で金属箔中に含まれていても良い。箔への加工における圧延加工特性、単位当たりの重量、機械的強度、耐腐食性などを総合した取り扱いの容易さ、原料価格を含めたコストなどを考慮すると、金属箔の材料としてはアルミニウムが最も好適に使用できる。
<Metal foil>
The metal foil in the present invention is Be, C, Mg, Al, Si, S, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Mo, Ag, In, Sn, Sb, Ta, W , Containing at least one metal element selected from the group consisting of Pt and Au. The metal element may be contained in the metal foil in a state of steel such as stainless steel, an alloy such as bronze or tin-lead, or a metal oxide. Considering the rolling characteristics in processing into foil, weight per unit, mechanical strength, ease of handling that includes corrosion resistance, cost including raw material price, etc., aluminum is the most metal foil material. It can be used suitably.

<プラスチック膜>
本発明におけるプラスチック膜の材料は、本発明の効果が得られるものであれば特に限定されず、各種のプラスチックスが使用可能であるが、気相成長法により金属リチウム薄膜を形成したときにプラスチック膜との何らかの反応に起因して起こる金属リチウムの変質を避けることができる能力に優れていることから、ポリオレフィン系の材料が好ましく、ポリプロピレン及びポリエチレンがより好ましく、二軸延伸ポリプロピレンが特に好ましい。
<Plastic membrane>
The material of the plastic film in the present invention is not particularly limited as long as the effects of the present invention can be obtained, and various plastics can be used. However, when the metal lithium thin film is formed by the vapor deposition method, the plastic film is used. Polyolefin-based materials are preferred, polypropylene and polyethylene are more preferred, and biaxially oriented polypropylene is particularly preferred because of its excellent ability to avoid metallic lithium alteration caused by some reaction with the membrane.

ポリオレフィン系の材料としては、直鎖状低密度ポリエチレン(LLDPE)、低密度ポリエチレン(LDPE)、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレンなどのポリエチレン、αオレフィンとエチレンとを共重合させてできたαオレフィン、ホモポリプロピレン、ランダム・ブロック等のエチレンとのコポリマー、シクロオレフィンポリマー、シクロオレフィンコポリマーなどが挙げられる。   Polyolefin-based materials include linear low-density polyethylene (LLDPE), low-density polyethylene (LDPE), medium-density polyethylene, polyethylene such as high-density polyethylene, α-olefin made by copolymerizing α-olefin and ethylene, Examples include homopolypropylene, copolymers with ethylene such as random blocks, cycloolefin polymers, and cycloolefin copolymers.

ポリプロピレンとしては、二軸延伸されたポリプロピレン(いわゆるOPP)、二軸延伸でないポリプロピレン(いわゆるCPP)などが挙げられ、二軸延伸されたポリプロピレンフィルムが特に好適である。   Examples of the polypropylene include biaxially stretched polypropylene (so-called OPP) and non-biaxially stretched polypropylene (so-called CPP). A biaxially stretched polypropylene film is particularly suitable.

ポリエチレンとしては、直鎖状低密度ポリエチレン(LLDPE)、低密度ポリエチレン(LDPE)、中密度ポリエチレン、高密度ポリエチレンなどが挙げられる。   Examples of polyethylene include linear low density polyethylene (LLDPE), low density polyethylene (LDPE), medium density polyethylene, and high density polyethylene.

金属箔にポリオレフィン膜を積層するには、押出ラミネート法、ドライラミネート法及びその他ウエットラミネート法、ホットメルトラミネート法などの方法を用いることができる。   In order to laminate the polyolefin film on the metal foil, methods such as an extrusion laminating method, a dry laminating method, and other wet laminating methods and hot melt laminating methods can be used.

ドライラミネート法により金属箔とプラスチック膜とを積層するには、アルミニウムなどの金属箔又はプラスチック膜にウレタン樹脂系やエポキシ樹脂系の反応性接着剤溶液を塗布し、溶剤を乾燥させたのち、プラスチック膜又はアルミニウム箔と貼合し、ラミネートした後、一定温度下でエイジングさせる方法が一般的に行われる。   To laminate metal foil and plastic film by dry laminating method, apply reactive adhesive solution of urethane resin or epoxy resin to metal foil such as aluminum or plastic film, dry the solvent, and then plastic A method of aging at a constant temperature after laminating and laminating with a film or an aluminum foil is generally performed.

押出ラミネート法によりポリエチレン膜を積層するには、金属箔の片面又は両面にポリエチレンを直接ラミネートする、いわゆるポリラミといわれる方法により金属箔の表面に積層することができる。二軸延伸ポリプロピレン膜を金属箔に積層するような場合、ポリプロピレン膜と金属箔との間に溶融したポリエチレンを流し込んで積層する、いわゆるサンドラミ法を用いることができる。   In order to laminate the polyethylene film by the extrusion laminating method, the polyethylene film can be laminated on the surface of the metal foil by a so-called polylamination method in which polyethylene is directly laminated on one side or both sides of the metal foil. When a biaxially stretched polypropylene film is laminated on a metal foil, a so-called sand lamination method in which molten polyethylene is poured and laminated between the polypropylene film and the metal foil can be used.

本発明におけるプラスチック膜の材料としては、気相成長法により金属リチウム薄膜を形成したときにプラスチック膜との何らかの反応に起因して起こる金属リチウムの変質を避けることができる能力に優れていることから、架橋性ポリマーも好ましい。   The material of the plastic film in the present invention is excellent in the ability to avoid the deterioration of metallic lithium caused by some reaction with the plastic film when the metallic lithium thin film is formed by the vapor phase growth method. Also preferred are crosslinkable polymers.

本発明における架橋性ポリマーとしては、熱により架橋構造を形成するいわゆる熱硬化性樹脂、紫外線等の活性エネルギー線により架橋構造を形成する活性エネルギー線硬化樹脂などを挙げることができ、そのような樹脂としては、例えば、アクリル樹脂、エポキシ樹脂、アミノ樹脂、シリコーン樹脂、フェノール樹脂、ポリウレタン樹脂、アルキド樹脂、これらの樹脂の2種以上を組み合わせた樹脂などを挙げることができる。   Examples of the crosslinkable polymer in the present invention include a so-called thermosetting resin that forms a crosslinked structure by heat, an active energy ray curable resin that forms a crosslinked structure by active energy rays such as ultraviolet rays, and the like. Examples thereof include an acrylic resin, an epoxy resin, an amino resin, a silicone resin, a phenol resin, a polyurethane resin, an alkyd resin, and a resin in which two or more of these resins are combined.

本発明におけるアクリル樹脂としては、熱硬化型と活性エネルギー線硬化型のいずれも使用可能である。熱硬化型アクリル樹脂の例としては、アミノ樹脂とアクリル樹脂が焼付エネルギーにより縮重合反応によって硬化する樹脂などを挙げることができる。活性エネルギー線硬化型アクリル樹脂は、モノマー、オリゴマー、光重合開始剤、光増感剤、その他成分からなるが、本発明におけるアクリル樹脂に使用されるモノマーの例としては、1,4-ブタンジオールジア(メタ)クリレート、1,4-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、1,6-ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、トリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,9-ノナンジオールジ(メタ)アクリレート、1,10-デカンジオールジ(メタ)アクリレート、ポリテトラメチレングリコールジ(メタ)アクリレート、2-ヒドロキシ-3-アクリロイルオキシプロピル(メタ)アクリレートなどの2官能(メタ)アクリレート類、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレートなどの3官能(メタ)アクリレート類、及びペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンテトラ(メタ)アクリレートなどの4官能以上の(メタ)アクリレート類を挙げることができる。   As the acrylic resin in the present invention, either a thermosetting type or an active energy ray curable type can be used. As an example of the thermosetting acrylic resin, a resin in which an amino resin and an acrylic resin are cured by a condensation polymerization reaction by baking energy can be given. The active energy ray-curable acrylic resin is composed of a monomer, an oligomer, a photopolymerization initiator, a photosensitizer, and other components. Examples of the monomer used for the acrylic resin in the present invention include 1,4-butanediol. Di (meth) acrylate, 1,4-hexanediol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol di (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, tripropylene glycol di (meth) acrylate, ethylene glycol Di (meth) acrylate, 1,9-nonanediol di (meth) acrylate, 1,10-decanediol di (meth) acrylate, polytetramethylene glycol di (meth) acrylate, 2-hydroxy-3-acryloyloxypropyl ( Bifunctional (meth) acrylates such as (meth) acrylate, trimethylo Trifunctional (meth) acrylates such as lepropane tri (meth) acrylate and pentaerythritol tri (meth) acrylate, and pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, Mention may be made of tetrafunctional or higher functional (meth) acrylates such as trimethylolpropane tetra (meth) acrylate.

本発明におけるアクリル樹脂に使用されるオリゴマーの例としては、ポリエステルアクリレート類、エポキシアクリレート類、ウレタンアクリレート類などを挙げることができる。   Examples of the oligomer used for the acrylic resin in the present invention include polyester acrylates, epoxy acrylates, urethane acrylates, and the like.

また、ポリエステルアクリレート類のポリエステル部分の例としては、フタル酸やアジピン酸等の二塩基酸とグリコールの縮合物、カプロラクトンの開環重合によって得られたポリオールにアクリル酸を反応させたものなどを挙げることができる。エポキシアクリレート類の例としては、ビスフェノールA、ビスフェノールF、フェノールノボラック、クレゾールノボラック型のものなどさまざまな分子量のものを挙げることができる。ウレタンアクリレート類に使用されるヒドロキシアクリレートとしては、2-ヒドロキシエチルアクリレート、2-ヒドロキシ-3-アクリロイロキシプロピルメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレートなどを挙げることができる。また、ウレタンアクリレート類に使用されるイソシアネートとしては、脂肪族や脂環族ジイソシアネート、それらの3量体であるイソシアヌレート環を有するポリイソシアネートなどを挙げることができる。   Examples of the polyester portion of polyester acrylates include condensates of dibasic acids and glycols such as phthalic acid and adipic acid, and those obtained by reacting acrylic acid with a polyol obtained by ring-opening polymerization of caprolactone. be able to. Examples of epoxy acrylates include those of various molecular weights such as bisphenol A, bisphenol F, phenol novolac, and cresol novolac type. Examples of the hydroxy acrylate used in the urethane acrylates include 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxy-3-acryloyloxypropyl methacrylate, and pentaerythritol triacrylate. Examples of the isocyanate used for the urethane acrylates include aliphatic and alicyclic diisocyanates, and polyisocyanates having isocyanurate rings that are trimers thereof.

アクリル系活性エネルギー線硬化樹脂の例としては、アクリレート系の官能基を有するものが適当であり、塗膜の硬度、耐熱性、耐溶剤性、耐擦傷性などを考慮すると、高い架橋密度の構造とすることが好ましく、限定されないが、たとえば2官能以上のアクリレートモノマー、たとえば、エチレングリコールジ(メタ)アクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレートなどを含有するものを例示することができる。   As an example of an acrylic active energy ray curable resin, those having an acrylate functional group are suitable, and a structure with a high crosslinking density is considered in consideration of the hardness, heat resistance, solvent resistance, scratch resistance, etc. of the coating film. Although not limited, for example, bifunctional or higher acrylate monomers such as ethylene glycol di (meth) acrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, pentaerythritol tri ( Examples include those containing (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, and the like.

なお、上記において、「(メタ)アクリレート」とは、アクリレート及びメタアクリレートの両者を意味する。   In the above, “(meth) acrylate” means both acrylate and methacrylate.

上記の活性エネルギー線硬化型樹脂は電子線を照射すれば十分に硬化するが、紫外線を照射して硬化させる場合には、光重合開始剤として、アセトフェノン類、ベンゾフェノン類、チオキサントン類、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ミヒラーベンゾイルベンゾエート、ミヒラーケトン、ジフェニルサルファイド、ジベンジルジサルファイド、ジエチルオキサイト、トリフェニルビイミダゾール、イソプロピル−N,N−ジメチルアミノベンゾエートなどや、光増感剤として、n−ブチルアミン、トリエチリルアミン、ポリ−n−ブチルホソフィンなどを単独又は混合物として用いることが好ましい。光重合開始剤や光増感剤の添加量は、一般に、活性エネルギー線硬硬化型樹脂100重量部に対して、0.1〜10重量部程度である。架橋性ポリマー膜を形成させるための塗料組成物には、上記以外のシラン化合物、溶媒、硬化触媒、濡れ性改良剤、可塑剤、消泡剤、増粘剤等の無機、有機系の各種添加剤を必要に応じて添加することができる。   The active energy ray-curable resin is sufficiently cured when irradiated with an electron beam. However, in the case of curing by irradiating with ultraviolet rays, acetophenones, benzophenones, thioxanthones, benzoin, benzoin are used as photoinitiators. Methyl ether, Michler benzoyl benzoate, Michler ketone, diphenyl sulfide, dibenzyl disulfide, diethyl oxide, triphenylbiimidazole, isopropyl-N, N-dimethylaminobenzoate and the like, and n-butylamine, trie as photosensitizers. It is preferable to use tyrylamine, poly-n-butylphosphine, etc. alone or as a mixture. The addition amount of the photopolymerization initiator or photosensitizer is generally about 0.1 to 10 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the active energy ray-curable resin. Various inorganic and organic additives such as silane compounds, solvents, curing catalysts, wettability improvers, plasticizers, antifoaming agents, thickeners, etc., other than the above, are used in the coating composition for forming the crosslinkable polymer film. Agents can be added as needed.

本発明におけるエポキシ樹脂としては、エポキシ基を2個以上もつポリマーで、ビスフェノール類やノボラックなどと、エピクロロヒドリンとの縮合反応により得られるものをその代表として挙げることができる。このほかに、エポキシノボラック樹脂、脂環式エポキシ樹脂、脂肪族エポキシ樹脂、多官能エポキシ樹脂なども挙げることができる。   Typical examples of the epoxy resin in the present invention include polymers having two or more epoxy groups, which are obtained by condensation reaction of bisphenols, novolacs, and the like with epichlorohydrin. In addition, an epoxy novolac resin, an alicyclic epoxy resin, an aliphatic epoxy resin, a polyfunctional epoxy resin, and the like can be given.

また、これらのエポキシ樹脂と反応する硬化剤としては脂肪族ジアミン、ジエチレン・トリアミン、トリエチレン・テトラミンなどの脂肪族ポリアミン、メタフェニレン・ジアミン、ジアミノ・ジフェニレン・メタン、ジアミノ・ジフェニル・スルフォンなどの芳香族ジアミンなどのアミン化合物を使用することができる。また、硬化剤として、メチル・ナジック酸無水物、ヘキサヒドロ酸無水物、ピロメリット酸無水物などの酸無水物も使用することができる。これらのエポキシ樹脂と硬化剤としてのアミンや酸無水物とが反応してできた架橋性ポリマーが有効に使用することができる。   Curing agents that react with these epoxy resins include aliphatic diamines, aliphatic polyamines such as diethylene / triamine, triethylene / tetramine, and aromatics such as metaphenylene / diamine, diamino / diphenylene / methane, and diamino / diphenyl / sulfone. Amine compounds such as group diamines can be used. As the curing agent, acid anhydrides such as methyl nadic acid anhydride, hexahydro acid anhydride, pyromellitic acid anhydride can also be used. A crosslinkable polymer obtained by reacting these epoxy resins with amines or acid anhydrides as curing agents can be used effectively.

本発明におけるアミノ樹脂としては、尿素樹脂やメラミン樹脂のようなアミノ基を有する化合物とホルマリンを縮合重合して作られる架橋性ポリマーのことを指す。本発明におけるメラミン樹脂の代表としては、メラミンとホルムアルデヒドとの反応により得られるメチロールメラミンを挙げることができる。メチロールメラミンを加熱し脱水架橋させることによりメラミン樹脂の架橋性ポリマーとすることができる。   The amino resin in the present invention refers to a crosslinkable polymer produced by condensation polymerization of a compound having an amino group such as urea resin and melamine resin and formalin. Typical examples of the melamine resin in the present invention include methylol melamine obtained by a reaction between melamine and formaldehyde. A crosslinkable polymer of melamine resin can be obtained by heating and dehydrating and crosslinking methylolmelamine.

本発明におけるシリコーン樹脂としては、2官能性のジオルガノシロキサン、3官能性のオルガノシルセスキオキサン及び4官能性のシリケートを必要に応じた比率に混合し、脱水反応、脱アルコール反応、脱オキシム反応などの縮合反応や脱水素反応、UVやEBなどによる架橋反応、エポキシ、アミンなどの各種官能基による架橋反応などにより架橋させ、硬化させることにより架橋性ポリマーとすることができる。金属箔上にコーティングし、架橋反応をさせることによりシリコーン樹脂の架橋性ポリマーを積層することができる。   As the silicone resin in the present invention, a bifunctional diorganosiloxane, a trifunctional organosilsesquioxane, and a tetrafunctional silicate are mixed in a ratio as necessary, and a dehydration reaction, a dealcoholization reaction, a deoxime A crosslinkable polymer can be obtained by crosslinking and curing by a condensation reaction such as a reaction, a dehydrogenation reaction, a crosslinking reaction by UV or EB, a crosslinking reaction by various functional groups such as epoxy and amine, and the like. A crosslinkable polymer of silicone resin can be laminated by coating on a metal foil and causing a crosslinking reaction.

このような架橋性ポリマーを金属箔上に形成する方法としては、予め形成した架橋薄膜を金属箔の上に張り付ける方法もあるが、架橋性ポリマーは一般に硬く、脆い。そのため、架橋反応をさせる前に、架橋性ポリマーを形成する組成に調合された架橋性モノマーを含むコーティング液を準備し、これをすでに知られている塗装装置、例えば、ロールコーター、ダイコーター、ナイフコーター、その他のコーターにより金属箔上にコーティングし、溶剤等を含む場合には溶剤等を乾燥した後、熱又は活性エネルギー線により反応硬化させ、架橋性ポリマー膜を積層する方法が好都合である。   As a method of forming such a crosslinkable polymer on a metal foil, there is a method of pasting a previously formed crosslinked thin film on the metal foil, but the crosslinkable polymer is generally hard and brittle. Therefore, before the cross-linking reaction, a coating liquid containing a cross-linkable monomer prepared in a composition for forming a cross-linkable polymer is prepared, and this is applied to a known coating apparatus such as a roll coater, a die coater, a knife. A method of laminating a crosslinkable polymer film by coating the metal foil with a coater or other coater and drying the solvent, etc., followed by reaction curing with heat or active energy rays is convenient.

本発明においては、基材へのプラスチック膜の積層数は何層であっても良い。金属箔の少なくとも片面にプラスチック膜を有するフィルムの構成の具体例としては、金属箔の片面又は両面にポリオレフィンを積層したもの、金属箔の片面又は両面にポリエチレンなどの接着のための層を介してポリオレフィンフィルムを積層したもの、金属箔の片面又は両面に架橋重合性のポリマーをコートし、重合硬化させて積層したものなどを挙げることができる。   In the present invention, the number of plastic films laminated on the substrate may be any number. As a specific example of the structure of a film having a plastic film on at least one side of a metal foil, a layer of polyolefin laminated on one side or both sides of the metal foil, via a layer for adhesion such as polyethylene on one side or both sides of the metal foil Examples thereof include those obtained by laminating a polyolefin film, and those obtained by coating one surface or both surfaces of a metal foil with a cross-linkable polymer and polymerizing and curing it.

本発明における基材の好適な厚さは1〜250μm、好ましくは5〜200μmであり、金属箔の好適な厚さは1〜50μm、好ましくは5〜25μmであり、プラスチック膜の好適な厚さは0.05〜200μm、より好ましくは1〜100μmであるが、基材、金属泊及びプラスチック膜の厚さは当該範囲に限定されない。ここでのプラスチック膜の厚さは、プラスチック膜が金属箔の両面にある場合は一方のプラスチック膜の厚さを示し、プラスチック膜を2層以上積層する場合はすべての層の合計の厚さを示す。   A suitable thickness of the substrate in the present invention is 1 to 250 μm, preferably 5 to 200 μm, a suitable thickness of the metal foil is 1 to 50 μm, preferably 5 to 25 μm, and a suitable thickness of the plastic film. Is 0.05 to 200 μm, more preferably 1 to 100 μm, but the thickness of the base material, the metal stay and the plastic film is not limited to this range. The thickness of the plastic film here indicates the thickness of one plastic film when the plastic film is on both sides of the metal foil, and the total thickness of all the layers when two or more plastic films are laminated. Show.

基材の厚さが、上記範囲であると、蒸着時や後工程での取り扱いの作業がし難くなることや、強度が弱くなり、蒸着工程での安定性に欠けるということが無い。また、基材の厚さが上記範囲であると、プラスチック膜を積層する工程における制約も受けない。   When the thickness of the base material is in the above range, there is no difficulty in handling during vapor deposition or in a post process, or the strength becomes weak and lacks stability in the vapor deposition process. Further, when the thickness of the substrate is in the above range, there is no restriction in the process of laminating the plastic film.

<金属リチウム薄膜>
本発明の金属リチウム薄膜は、リチウム又はリチウム合金のいずれにより形成されていても良く、プリドープした場合の効果を阻害しない範囲で、リチウム及びリチウム合金以外の成分を含んでいても良い。リチウム合金としては、例えばLi-Al、Li-Mg、Li-In、Li-Cu、Li-Sn、Li-Si、Li-Pb、Li-Zn、Li-Auを挙げることができる。
<Metal lithium thin film>
The metallic lithium thin film of the present invention may be formed of lithium or a lithium alloy, and may contain components other than lithium and lithium alloy as long as the effect of pre-doping is not impaired. Examples of the lithium alloy include Li—Al, Li—Mg, Li—In, Li—Cu, Li—Sn, Li—Si, Li—Pb, Li—Zn, and Li—Au.

本発明の金属リチウム薄膜を基材に形成する方法は、金属リチウム薄膜を形成できる方法であればいずれの方法も用いることができるが、好ましくは後述する気相成長法である。   As the method for forming the metal lithium thin film on the substrate of the present invention, any method can be used as long as it can form the metal lithium thin film, but the vapor phase growth method described later is preferable.

本発明における金属リチウム薄膜の厚さは、本発明の効果が得られるものであれば特に限定されないが、好ましくは50μm以下、より好ましくは30μm以下、最も好ましくは1〜10μmである。ここでの金属リチウム薄膜の厚さは、金属リチウム薄膜がプラスチック膜の両面にある場合は一方の金属リチウム薄膜の厚さを示す。   The thickness of the metal lithium thin film in the present invention is not particularly limited as long as the effect of the present invention can be obtained, but is preferably 50 μm or less, more preferably 30 μm or less, and most preferably 1 to 10 μm. The thickness of the metal lithium thin film here indicates the thickness of one metal lithium thin film when the metal lithium thin film is on both sides of the plastic film.

本発明の多層フィルムの層構成の具体例としては、金属箔をM、プラスチック層をP、金属リチウム薄膜をLと表記し、M/P/L、P/M/P/L、及びL/P/M/P/Lが挙げられる。また、本発明の効果を奏する範囲で、これらの層構成に他の層を追加することもできる。   Specific examples of the layer structure of the multilayer film of the present invention include a metal foil as M, a plastic layer as P, a metal lithium thin film as L, M / P / L, P / M / P / L, and L / P / M / P / L. In addition, other layers can be added to these layer configurations as long as the effects of the present invention are achieved.

金属リチウム薄膜の製造方法
本発明の金属リチウム薄膜の製造方法は、金属箔の少なくとも片面にプラスチック膜を有する基材のプラスチック膜の少なくとも片面の表面に、気相成長法で金属リチウム薄膜を形成させること、及び該金属泊がBe、C、Mg、Al、Si、S、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Mo、Ag、In、Sn、Sb、Ta、W、Pt及びAuからなる群から選択される金属元素の少なくとも1種を含むことを特徴とする。
Method for Producing Metal Lithium Thin Film According to the method for producing a metal lithium thin film of the present invention, a metal lithium thin film is formed by vapor phase growth on the surface of at least one side of a plastic film of a substrate having a plastic film on at least one side of a metal foil. And the metal stay is Be, C, Mg, Al, Si, S, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Mo, Ag, In, Sn, Sb, Ta, W And at least one metal element selected from the group consisting of Pt and Au.

上記金属箔、プラスチック膜、及び金属リチウム薄膜は、前述のものと同様である。   The metal foil, plastic film, and metal lithium thin film are the same as those described above.

本発明において、気相成長法としては、PVD(Physical Vapor Deposition 物理気相成長法)とCVD(Chemical Vapor Deposition 化学気相成長法)とがある。物理気相成長法には、例えば、真空蒸着(抵抗加熱蒸着、電子ビーム蒸着、レーザブレーション等)、スパッタリング(2極スパッタリング、マグネトロンスパッタリング、ECRスパッタリング、イオンビームスパッタリング、反応性スパッタリング等)、イオンプレーティング(直流又は高周波励起イオンプレーティング、電子ビーム励起イオンプレーティング、クラスターイオンプレーティング、反応性イオンプレーティング等)などがあり、いずれを用いてもよい。化学気相成長法には、たとえば熱CVD、光CVD、プラズマCVD、有機金属CVD(MOCVD)などがあり、いずれを用いてもよい。   In the present invention, vapor phase growth methods include PVD (Physical Vapor Deposition) and CVD (Chemical Vapor Deposition). Physical vapor deposition methods include, for example, vacuum deposition (resistance heating deposition, electron beam deposition, laser ablation, etc.), sputtering (bipolar sputtering, magnetron sputtering, ECR sputtering, ion beam sputtering, reactive sputtering, etc.), ion There are plating (DC or high-frequency excitation ion plating, electron beam excitation ion plating, cluster ion plating, reactive ion plating, etc.), and any of them may be used. Examples of chemical vapor deposition include thermal CVD, photo CVD, plasma CVD, and metal organic chemical vapor deposition (MOCVD), and any of them may be used.

気相成長法で薄膜を形成させるための真空度は、それぞれの方法において、公知の好適な条件から適宜選択すればよい。   What is necessary is just to select suitably the vacuum degree for forming a thin film by a vapor phase growth method from well-known suitable conditions in each method.

真空蒸着で薄膜を形成させるためのリチウム金属の加熱方法については公知の方法、すなわち抵抗加熱法、電子ビーム加熱法、誘導加熱法などの方法から適宜選択すればよい。真空蒸着で薄膜を形成させる場合の条件、例えば、蒸発源の加熱温度、蒸発源と基材との距離、基材を保持するためホルダー及びメインロールの温度、蒸着時間、基材の送り速度などについては、所望の膜厚や希望の生産スピードに応じて、適切に設定することができる。   The lithium metal heating method for forming a thin film by vacuum deposition may be appropriately selected from known methods, that is, a resistance heating method, an electron beam heating method, an induction heating method, and the like. Conditions for forming a thin film by vacuum deposition, such as the heating temperature of the evaporation source, the distance between the evaporation source and the substrate, the temperature of the holder and main roll to hold the substrate, the deposition time, the feed rate of the substrate, etc. Can be appropriately set according to the desired film thickness and the desired production speed.

基材への金属リチウム薄膜の形成は、バッチ式でも連続式でも構わないが、生産性を考慮すると連続式が好適である。   Formation of the metallic lithium thin film on the substrate may be either a batch type or a continuous type, but a continuous type is preferable in consideration of productivity.

以下、本発明で使用する真空蒸着装置の実施態様について図面を参照して説明する。図2に示すように、実施の形態に係る真空蒸着装置は、真空チャンバー11と、真空チャンバー11との間で基材16を回収・導入するロードロック室12を備えており、真空チャンバー11およびロードロック室12は真空ポンプにより排気することが出来る。トランスファーロッド13により、基材16が真空チャンバー11とロードロック室12の間を移動出来るように構成されており、真空チャンバー11とロードロック室12はゲートバルブ14により遮断することが出来る。   Hereinafter, embodiments of a vacuum deposition apparatus used in the present invention will be described with reference to the drawings. As shown in FIG. 2, the vacuum deposition apparatus according to the embodiment includes a vacuum chamber 11 and a load lock chamber 12 that collects and introduces a base material 16 between the vacuum chamber 11, The load lock chamber 12 can be evacuated by a vacuum pump. The transfer rod 13 is configured so that the substrate 16 can move between the vacuum chamber 11 and the load lock chamber 12, and the vacuum chamber 11 and the load lock chamber 12 can be shut off by the gate valve 14.

真空チャンバー11内上部には、ロードロック室12からトランスファ−ロッド13により導入された基材16を支持、固定出来る基材設置ホルダー17が備えられている。基材設置ホルダー17は上下、左右への駆動が可能な回転式冶具を備えたステージ上に配置されており、真空チャンバー11内の所定の場所への基材16の移動が行える。   In the upper part of the vacuum chamber 11, there is provided a base material installation holder 17 capable of supporting and fixing the base material 16 introduced from the load lock chamber 12 by the transfer rod 13. The base material installation holder 17 is disposed on a stage provided with a rotary jig that can be driven up and down and left and right, and the base material 16 can be moved to a predetermined location in the vacuum chamber 11.

真空チャンバー11内には、リチウム又はリチウム合金の原料が入れられた、るつぼ(またはボート)15が配置されており、るつぼ15内の原料を加熱、蒸発させて、基材設置ホルダー17に設置した基材16に、蒸発したリチウム等の粒子を堆積させる構成となっている。   A crucible (or boat) 15 in which a raw material of lithium or a lithium alloy is placed is disposed in the vacuum chamber 11, and the raw material in the crucible 15 is heated and evaporated to be installed in the base material installation holder 17. The substrate 16 is configured to deposit evaporated particles such as lithium.

次に、図2に基づいて、本発明の実施の形態に係る金属リチウム薄膜の製造方法を説明する。まず、真空チャンバー11及びロードロック室12の排気を行う。真空チャンバー11及びロードロック室12を所定の真空度に排気した後、るつぼ15を加熱する。基材16はあらかじめロードロック室12内のトランスファーロッド13上に用意しておくが、加熱により蒸発したリチウム等の粒子が、るつぼ15の開口部から飛散して、基材16へ蒸着するのを禁止するため、ゲートバルブ14は遮断しておく。   Next, based on FIG. 2, the manufacturing method of the metallic lithium thin film which concerns on embodiment of this invention is demonstrated. First, the vacuum chamber 11 and the load lock chamber 12 are evacuated. After evacuating the vacuum chamber 11 and the load lock chamber 12 to a predetermined degree of vacuum, the crucible 15 is heated. The base material 16 is prepared in advance on the transfer rod 13 in the load lock chamber 12. However, particles such as lithium evaporated by heating are scattered from the opening of the crucible 15 and deposited on the base material 16. In order to prohibit it, the gate valve 14 is shut off.

るつぼ15の温度を所定の温度に維持した後、ゲートバルブ14を開口し、トランスファーロッド13上の基材16を、ロードロック室12から真空チャンバー11内へ移動させる。基材設置ホルダー17でトランスファーロッド13上の基材16の支持、固定を行った後、トランスファーロッド13を真空チャンバー11からロードロック室12へ移動し、ゲートバルブ14を遮断する。   After maintaining the temperature of the crucible 15 at a predetermined temperature, the gate valve 14 is opened, and the base material 16 on the transfer rod 13 is moved from the load lock chamber 12 into the vacuum chamber 11. After the base material 16 on the transfer rod 13 is supported and fixed by the base material installation holder 17, the transfer rod 13 is moved from the vacuum chamber 11 to the load lock chamber 12, and the gate valve 14 is shut off.

基材設置ホルダー17に設置した基材16を、るつぼ15と対向する位置へ移動させ、所定の時間、その状態を保持することで、リチウム又はリチウム合金の蒸気が基材16上に付着し、固化・堆積して金属リチウム薄膜が形成される。成膜終了後は、ゲートバルブ14を開口し、トランスファーロッド13を介してロードロック室12に基材16を回収した後、ゲートバルブ14を遮断する。   The base material 16 installed in the base material installation holder 17 is moved to a position facing the crucible 15 and kept in that state for a predetermined time, so that lithium or lithium alloy vapor adheres to the base material 16, A metallic lithium thin film is formed by solidifying and depositing. After the film formation is completed, the gate valve 14 is opened, the base material 16 is collected in the load lock chamber 12 via the transfer rod 13, and then the gate valve 14 is shut off.

蓄電デバイス用電極の製造方法
本発明の金属リチウム薄膜が担持された蓄電デバイス用電極の製造方法は、(A)上記の多層フィルムの金属リチウム薄膜側の面を蓄電デバイスの電極活物質表面に圧着する工程、及び(B)多層フィルムから基材を剥離する工程、を有することを特徴とする。
Method for Producing Electrode for Electricity Storage Device The method for producing an electrode for an electricity storage device carrying a metal lithium thin film according to the present invention comprises: (A) pressing the metal lithium thin film side surface of the multilayer film to the surface of the electrode active material of the electricity storage device And (B) a step of peeling the substrate from the multilayer film.

本発明の多層フィルムを使用することで、基材に坦持された金属リチウム薄膜を蓄電デバイスの電極活物質に容易に転写することが可能となる。   By using the multilayer film of the present invention, the metal lithium thin film supported on the base material can be easily transferred to the electrode active material of the electricity storage device.

本発明の多層フィルムの金属リチウム薄膜側の面を蓄電デバイスの電極活物質表面に圧着する方法としては、電極活物質表面に金属リチウム薄膜を接着できる方法であれば特に限定されないが、例えばロール加圧法が挙げられる。   The method of pressure-bonding the surface of the multilayer film of the present invention on the metal lithium thin film side to the surface of the electrode active material of the electricity storage device is not particularly limited as long as it can adhere the metal lithium thin film to the surface of the electrode active material. Pressure method.

蓄電デバイスとしては、例えばリチウムイオン電池やリチウムイオンキャパシタが挙げられ、製造される電極は正極又は負極のいずれに使用されるものであっても良い。電極活物質は、蓄電デバイスの種類や電極が正極又は負極のいずれとして使用されるか等に基づいて、公知のものから適宜選択される。   As an electrical storage device, a lithium ion battery and a lithium ion capacitor are mentioned, for example, The electrode manufactured may be used for any of a positive electrode or a negative electrode. The electrode active material is appropriately selected from known materials based on the type of power storage device and whether the electrode is used as a positive electrode or a negative electrode.

本発明の蓄電デバイス用電極を用いて、公知の方法により蓄電デバイスを構築することができる。例えば、本発明の電極をセパレータを介して対極と積層し、得られたものを外装体で包み、電解液を注入して封止することによりリチウムイオン電池を形成することができる。   An electrical storage device can be constructed by a known method using the electrical storage device electrode of the present invention. For example, a lithium ion battery can be formed by laminating the electrode of the present invention with a counter electrode through a separator, wrapping the obtained product with an outer package, and injecting and sealing an electrolytic solution.

以下、本発明を更に詳しく説明するため実施例を挙げる。しかし、本発明はこれら実施例等になんら限定されるものではない。   Examples are given below to illustrate the present invention in more detail. However, the present invention is not limited to these examples.

実施例1
図2の真空蒸着装置(アルバック製)を使用し、真空チャンバー1内の基材設置ホルダー7に、表1に示す二軸延伸ポリプロピレン/アルミ箔の構成のアルミ積層-1を基材6の位置に設置し、蒸着源と基材6間の距離30mm、真空度1.7×10−3Pa、るつぼ5温度450℃、製膜時間180secの条件で、二軸延伸ポリプロピレン表面に金属リチウムを堆積させた。
Example 1
Using the vacuum vapor deposition apparatus (manufactured by ULVAC) shown in FIG. 2, the base material installation holder 7 in the vacuum chamber 1 is placed on the base material 6 with the aluminum laminate-1 having the biaxially stretched polypropylene / aluminum foil configuration shown in Table 1. The metal lithium is deposited on the surface of the biaxially stretched polypropylene under the conditions of a distance of 30 mm between the vapor deposition source and the substrate 6, a vacuum degree of 1.7 × 10 −3 Pa, a crucible 5 temperature of 450 ° C., and a film forming time of 180 seconds. I let you.

実施例2
図2の真空蒸着装置(アルバック製)を使用し、真空チャンバー1内の基材設置ホルダー7に、表1に示す二軸延伸ポリプロピレン/アルミ箔の構成のアルミ積層-1を基材6の位置に設置し、蒸着源と基材6間の距離40mm、真空度1.7×10−3Pa、るつぼ5温度450℃、製膜時間30secの条件で、二軸延伸ポリプロピレン表面に金属リチウムを堆積させた。
Example 2
Using the vacuum vapor deposition apparatus (manufactured by ULVAC) shown in FIG. 2, the base material installation holder 7 in the vacuum chamber 1 is placed on the base material 6 with the aluminum laminate-1 having the biaxially stretched polypropylene / aluminum foil configuration shown in Table 1. The metallic lithium is deposited on the surface of the biaxially stretched polypropylene under the conditions of a distance of 40 mm between the evaporation source and the base material 6, a vacuum degree of 1.7 × 10 −3 Pa, a crucible 5 temperature of 450 ° C., and a film forming time of 30 seconds. I let you.

実施例3
図2の真空蒸着装置(アルバック製)を使用し、真空チャンバー1内の基材設置ホルダー7に、表1に示すOPPフィルム/アルミ箔/OPPフィルムの構成のアルミ積層-2を基材6の位置に設置し、蒸着源と基材6間の距離40mm、真空度1.7×10−3Pa、るつぼ5温度478℃、製膜時間10secの条件で、OPPフィルム表面に金属リチウムを堆積させた。
Example 3
Using the vacuum deposition apparatus (manufactured by ULVAC) shown in FIG. 2, the base material installation holder 7 in the vacuum chamber 1 is coated with the aluminum laminate-2 having the structure of OPP film / aluminum foil / OPP film shown in Table 1 on the base material 6. The metallic lithium is deposited on the surface of the OPP film under the conditions of a distance of 40 mm between the vapor deposition source and the substrate 6, a vacuum degree of 1.7 × 10 −3 Pa, a crucible 5 temperature of 478 ° C., and a film forming time of 10 sec. It was.

実施例4
図2の真空蒸着装置(アルバック製)を使用し、真空チャンバー1内の基材設置ホルダー7に、表1に示すOPPフィルム/アルミ箔/OPPフィルムの構成のアルミ積層-2を基材6の位置に設置し、蒸着源と基材6間の距離40mm、真空度1.7×10−3Pa、るつぼ5温度485℃、製膜時間240secの条件で、OPPフィルム表面に金属リチウムを堆積させた。
Example 4
Using the vacuum deposition apparatus (manufactured by ULVAC) shown in FIG. 2, the base material installation holder 7 in the vacuum chamber 1 is coated with the aluminum laminate-2 having the structure of OPP film / aluminum foil / OPP film shown in Table 1 on the base material 6. The metal lithium is deposited on the surface of the OPP film under the conditions of a distance of 40 mm between the vapor deposition source and the substrate 6, a vacuum degree of 1.7 × 10 −3 Pa, a crucible 5 temperature of 485 ° C., and a film formation time of 240 sec. It was.

実施例5
図2の真空蒸着装置(アルバック製)を使用し、真空チャンバー1内の基材設置ホルダー7に、表1に示すLLDPEフィルム/LDPE/アルミ箔/LDPE/ポリエチレンテレフタレート(PET)フィルムの構成のアルミ積層-3を基材6の位置に設置し、蒸着源と基材6間の距離30mm、真空度1.7×10−3Pa、るつぼ5温度443℃、製膜時間30secの条件で、直鎖状低密度ポリエチレン(LLDPE)表面に金属リチウムを堆積させた。
Example 5
Using the vacuum evaporation system (manufactured by ULVAC) shown in FIG. 2, the base material installation holder 7 in the vacuum chamber 1 is made of aluminum having the structure of LLDPE film / LDPE / aluminum foil / LDPE / polyethylene terephthalate (PET) film shown in Table 1. Lamination-3 was installed at the position of the base material 6, and the distance between the deposition source and the base material 6 was 30 mm, the degree of vacuum was 1.7 × 10 −3 Pa, the crucible 5 temperature was 443 ° C., and the film formation time was 30 seconds. Metallic lithium was deposited on the surface of linear low density polyethylene (LLDPE).

実施例6
図2の真空蒸着装置(アルバック製)を使用し、真空チャンバー1内の基材設置ホルダー7に、表1に示すLLDPEフィルム/LDPE/アルミ箔/LDPE/PETフィルムの構成のアルミ積層-3を基材6の位置に設置し、蒸着源と基材6間の距離30mm、真空度1.7×10−3Pa、るつぼ5温度470℃、製膜時間10secの条件で、直鎖状低密度ポリエチレン(LLDPE)表面に金属リチウムを堆積させた。
Example 6
Using the vacuum evaporation system (manufactured by ULVAC) shown in FIG. 2, the aluminum laminate-3 having the structure of LLDPE film / LDPE / aluminum foil / LDPE / PET film shown in Table 1 is applied to the base material installation holder 7 in the vacuum chamber 1. It is installed at the position of the base material 6 and is a linear low density under the conditions of a distance of 30 mm between the vapor deposition source and the base material 6, a vacuum degree of 1.7 × 10 −3 Pa, a crucible 5 temperature of 470 ° C., and a film forming time of 10 seconds. Metallic lithium was deposited on the surface of polyethylene (LLDPE).

実施例7
厚み12μmのアルミ箔の片面に、荒川化学工業(株)製紫外線硬化型塗料ビームセット577を硬化後の塗膜厚が2〜3μmになるように塗布し60℃で2分乾燥した。次いで高圧水銀ランプを用いて積算光量が500 mJ/cm2となるように紫外線照射を塗布面に行なった。これにより表1に示す架橋アクリルポリマー/アルミ箔が得られた。
Example 7
An ultraviolet curable paint beam set 577 manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd. was applied to one surface of an aluminum foil having a thickness of 12 μm so that the coating thickness after curing was 2 to 3 μm and dried at 60 ° C. for 2 minutes. Next, using a high-pressure mercury lamp, the coated surface was irradiated with ultraviolet rays so that the integrated light amount was 500 mJ / cm 2 . As a result, the crosslinked acrylic polymer / aluminum foil shown in Table 1 was obtained.

図2の真空蒸着装置(アルバック製)を使用し、真空チャンバー1内の基材設置ホルダー7に、上記で得られた架橋アクリルポリマー/アルミ箔の構成のアルミ積層-4を基材6の位置に設置し、蒸着源と基材6間の距離40mm、真空度1.7×10−3Pa、るつぼ5温度484℃、製膜時間180secの条件で、ハードコート表面に金属リチウムを堆積させた。 Using the vacuum deposition apparatus (manufactured by ULVAC) shown in FIG. 2, place the base material 6 on the base material installation holder 7 in the vacuum chamber 1 by placing the aluminum laminate-4 having the cross-linked acrylic polymer / aluminum foil structure obtained above. The metal lithium was deposited on the hard coat surface under the conditions of a distance of 40 mm between the vapor deposition source and the substrate 6, a vacuum degree of 1.7 × 10 −3 Pa, a crucible 5 temperature of 484 ° C., and a film formation time of 180 seconds. .

実施例8
厚み12μmのアルミ箔の片面に、荒川化学工業(株)製紫外線硬化型塗料ビームセット577を硬化後の塗膜厚が2〜3μmになるように塗布し60℃で2分乾燥した。次いで高圧水銀ランプを用いて積算光量が500 mJ/cm2となるように紫外線照射を塗布面に行なった。これにより表1に示す架橋アクリルポリマー/アルミ箔が得られた。
Example 8
An ultraviolet curable paint beam set 577 manufactured by Arakawa Chemical Industries, Ltd. was applied to one surface of an aluminum foil having a thickness of 12 μm so that the coating thickness after curing was 2 to 3 μm and dried at 60 ° C. for 2 minutes. Next, using a high-pressure mercury lamp, the coated surface was irradiated with ultraviolet rays so that the integrated light amount was 500 mJ / cm 2 . As a result, the crosslinked acrylic polymer / aluminum foil shown in Table 1 was obtained.

図2の真空蒸着装置(アルバック製)を使用し、真空チャンバー1内の基材設置ホルダー7に、上記で得られた架橋アクリルポリマー/アルミ箔の構成のアルミ積層-4を基材6の位置に設置し、蒸着源と基材6間の距離を40mm、真空度1.7×10−3Pa、るつぼ5温度483℃、製膜時間10secの条件で、架橋アクリルポリマー表面に金属リチウムを堆積させた。 Using the vacuum deposition apparatus (manufactured by ULVAC) shown in FIG. 2, place the base material 6 on the base material installation holder 7 in the vacuum chamber 1 by placing the aluminum laminate-4 having the cross-linked acrylic polymer / aluminum foil structure obtained above. The metal lithium is deposited on the surface of the cross-linked acrylic polymer under the conditions that the distance between the evaporation source and the substrate 6 is 40 mm, the degree of vacuum is 1.7 × 10 −3 Pa, the temperature of the crucible 5 is 483 ° C., and the film forming time is 10 seconds. I let you.

実施例9
図2の真空蒸着装置(アルバック製)を使用し、真空チャンバー1内の基材設置ホルダー7に、表1に示すOPPフィルム/銅箔/OPPフィルムの構成の銅積層-1を基材6の位置に設置し、蒸着源と基材6間の距離40mm、真空度1.7×10−3Pa、るつぼ5温度466℃、製膜時間60secの条件で、OPPフィルム表面に金属リチウムを堆積させた。
Example 9
Using the vacuum deposition apparatus (manufactured by ULVAC) shown in FIG. 2, the base material installation holder 7 in the vacuum chamber 1 is coated with the copper laminate-1 having the structure of OPP film / copper foil / OPP film shown in Table 1 of the base material 6. The metal lithium is deposited on the surface of the OPP film under the conditions of a distance of 40 mm between the vapor deposition source and the substrate 6, a vacuum degree of 1.7 × 10 −3 Pa, a crucible 5 temperature of 466 ° C., and a film forming time of 60 sec. It was.

比較例1
図2の真空蒸着装置(アルバック製)を使用し、真空チャンバー1内の基材設置ホルダー7に、表1に示す二軸延伸ポリプロピレンフィルムよりなるOPP-1を基材6の位置に設置し、蒸着源と基材6間の距離40mm、真空度1.7×10−3Pa、るつぼ5温度444℃、製膜時間180secの条件で、二軸延伸ポリプロピレンフィルム表面に金属リチウムを堆積させた。
Comparative Example 1
Using the vacuum vapor deposition apparatus (manufactured by ULVAC) shown in FIG. 2, OPP-1 made of a biaxially stretched polypropylene film shown in Table 1 is placed at the position of the base material 6 in the base material setting holder 7 in the vacuum chamber 1. Metal lithium was deposited on the surface of the biaxially oriented polypropylene film under the conditions of a distance of 40 mm between the vapor deposition source and the substrate 6, a degree of vacuum of 1.7 × 10 −3 Pa, a temperature of the crucible 5 of 444 ° C., and a film forming time of 180 seconds.

比較例2
図2の真空蒸着装置(アルバック製)を使用し、真空チャンバー1内の基材設置ホルダー7に、表1に示すLLDPEフィルムよりなるLLDPE-1を基材6の位置に設置し、蒸着源と基材6間の距離40mm、真空度1.7×10−3Pa、るつぼ5温度443℃、製膜時間30secの条件で、LLDPEフィルム表面に金属リチウムを堆積させた。
Comparative Example 2
Using the vacuum evaporation apparatus (manufactured by ULVAC) shown in FIG. 2, LLDPE-1 made of the LLDPE film shown in Table 1 is installed at the position of the substrate 6 in the substrate installation holder 7 in the vacuum chamber 1, and the evaporation source and Metal lithium was deposited on the surface of the LLDPE film under the conditions of a distance of 40 mm between the substrates 6, a vacuum degree of 1.7 × 10 −3 Pa, a crucible 5 temperature of 443 ° C., and a film forming time of 30 seconds.

比較例3
図2の真空蒸着装置(アルバック製)を使用し、真空チャンバー1内の基材設置ホルダー7に、表1に示すLLDPEフィルムよりなるLLDPE-2を基材6の位置に設置し、蒸着源と基材6間の距離40mm、真空度1.7×10−3Pa、るつぼ5温度443℃、製膜時間30secの条件で、LLDPEフィルム表面に金属リチウムを堆積させた。
Comparative Example 3
Using the vacuum vapor deposition apparatus (manufactured by ULVAC) shown in FIG. 2, LLDPE-2 made of the LLDPE film shown in Table 1 is placed at the position of the base material 6 in the base material setting holder 7 in the vacuum chamber 1. Metal lithium was deposited on the surface of the LLDPE film under the conditions of a distance of 40 mm between the substrates 6, a vacuum degree of 1.7 × 10 −3 Pa, a crucible 5 temperature of 443 ° C., and a film forming time of 30 seconds.

比較例4
図2の真空蒸着装置(アルバック製)を使用し、真空チャンバー1内の基材設置ホルダー7に、表1に示すポリエチレンフィルムよりなるPE-1を基材6の位置に設置し、蒸着源と基材6間の距離40mm、真空度1.7×10−3Pa、るつぼ5温度443℃、製膜時間30secの条件で、ポリエチレンフィルム表面に金属リチウムを堆積させた。
Comparative Example 4
Using the vacuum vapor deposition apparatus (manufactured by ULVAC) shown in FIG. 2, PE-1 made of polyethylene film shown in Table 1 is placed at the position of the base material 6 in the base material setting holder 7 in the vacuum chamber 1. Metal lithium was deposited on the surface of the polyethylene film under the conditions of a distance of 40 mm between the substrates 6, a degree of vacuum of 1.7 × 10 −3 Pa, a crucible 5 temperature of 443 ° C., and a film forming time of 30 sec.

比較例5
図2の真空蒸着装置(アルバック製)を使用し、真空チャンバー1内の基材設置ホルダー7に、表1に示すポリイミドフィルムよりなるPI-1を基材6の位置に設置し、蒸着源と基材6間の距離100mm、真空度1.7×10−3Pa、るつぼ5温度480℃、製膜時間3000secの条件で、ポリイミドフィルム表面に金属リチウムを堆積させた。
Comparative Example 5
Using the vacuum vapor deposition apparatus (manufactured by ULVAC) shown in FIG. 2, PI-1 made of a polyimide film shown in Table 1 is placed at the position of the base material 6 in the base material setting holder 7 in the vacuum chamber 1. Metal lithium was deposited on the polyimide film surface under the conditions of a distance of 100 mm between the substrates 6, a degree of vacuum of 1.7 × 10 −3 Pa, a crucible 5 temperature of 480 ° C., and a film forming time of 3000 sec.

比較例6
図2の真空蒸着装置(アルバック製)を使用し、真空チャンバー1内の基材設置ホルダー7に、表1に示す銅箔よりなる銅-1を基材6の位置に設置し、蒸着源と基材6間の距離40mm、真空度1.7×10−3Pa、るつぼ5温度480℃、製膜時間60secの条件で、銅箔表面に金属リチウムを堆積させた。
Comparative Example 6
Using the vacuum deposition apparatus (manufactured by ULVAC) shown in FIG. 2, copper-1 made of copper foil shown in Table 1 is placed at the position of the base material 6 in the base material setting holder 7 in the vacuum chamber 1, Metal lithium was deposited on the surface of the copper foil under the conditions of a distance of 40 mm between the substrates 6, a degree of vacuum of 1.7 × 10 −3 Pa, a crucible 5 temperature of 480 ° C., and a film forming time of 60 seconds.

比較例7
図2の真空蒸着装置(アルバック製)を使用し、真空チャンバー1内の基材設置ホルダー7に、表1に示すアルミ箔よりなるアルミ-1を基材6の位置に設置し、蒸着源と基材6間の距離100mm、真空度1.7×10−3Pa、るつぼ5温度480℃、製膜時間3000secの条件で、アルミ箔表面に金属リチウムを堆積させた。
Comparative Example 7
Using the vacuum vapor deposition apparatus (manufactured by ULVAC) shown in FIG. 2, aluminum-1 made of aluminum foil shown in Table 1 is placed at the position of the base material 6 in the base material setting holder 7 in the vacuum chamber 1, Metal lithium was deposited on the surface of the aluminum foil under the conditions of a distance of 100 mm between the substrates 6, a degree of vacuum of 1.7 × 10 −3 Pa, a crucible 5 temperature of 480 ° C., and a film forming time of 3000 sec.

実施例及び比較例に供したフィルムを表1に示す。   Table 1 shows films used in Examples and Comparative Examples.

Figure 2012064336
Figure 2012064336

実施例及び比較例で得られた多層フィルムについて以下の試験を行い、結果を表2に示した。   The following tests were performed on the multilayer films obtained in Examples and Comparative Examples, and the results are shown in Table 2.

・リチウムと基材との反応
基材にリチウムを蒸着後、リチウム薄膜を目視で確認し、リチウムが黒く変色している場合を×とし、それ以外を○とした。
-Reaction between lithium and base material After lithium was vapor-deposited on the base material, the lithium thin film was visually confirmed, and the case where lithium was discolored black was marked with x, and the others were marked with ◯.

・蒸着後の基材の状況
基材を目視で確認し、基材がリチウム蒸着前の面積と比べて収縮したり、基材に波打ちが発生したり、基材に破れがあった場合を×とし、それ以外を○とした。
-The condition of the base material after vapor deposition When the base material is confirmed visually, the base material shrinks compared to the area before lithium deposition, the base material is wavy, or the base material is torn × And other than that.

・転写性(剥離性)
基材へのリチウム蒸着後、蒸着したリチウム表面部分と別に用意した銅箔基材(福田金属箔分工業製)を重ね合わせて、基材のリチウムを堆積させた面の反対面から圧力をかけ、銅箔基材側にリチウムが移動した場合を○とし、移動しなかった場合を×とした。
・ Transferability (peelability)
After lithium deposition on the base material, the deposited copper surface part and the copper foil base material (made by Fukuda Metal Foil Co., Ltd.) prepared separately are overlaid, and pressure is applied from the opposite side of the base material on which lithium is deposited. The case where lithium moved to the copper foil base material side was marked as ◯, and the case where lithium did not move was marked as x.

・リチウムの膜厚(μm)
基材へリチウムを蒸着した後、マイクロメーター(ミツトヨ製)で基材とリチウムの総厚みを計測し、予め計測しておいた基材の厚みを引いたものをリチウム薄膜の膜厚とした。
-Lithium film thickness (μm)
After vapor deposition of lithium on the base material, the total thickness of the base material and lithium was measured with a micrometer (manufactured by Mitutoyo), and the thickness of the lithium thin film was obtained by subtracting the thickness of the base material measured in advance.

Figure 2012064336
Figure 2012064336

実施例1〜4と比較例1を比較すると、二軸延伸ポリプロピレン層の厚みは実施例1〜4の30μmに対して比較例1が50μmと比較例1の方が厚いにも関わらず、比較例1は基材が変形した。   Comparing Examples 1 to 4 and Comparative Example 1, the thickness of the biaxially stretched polypropylene layer is 50 μm compared to 30 μm in Examples 1 to 4 and thicker in Comparative Example 1 than in Comparative Example 1. In Example 1, the substrate was deformed.

実施例5、6と比較例2を比較すると、LLDPE層の厚みが同じ50μm厚であり、その他の作製条件もほとんど同じであるにも関わらず、比較例2は基材が変形した。比較例3のようにLLDPE層の厚みを100μmに厚くしても基材の変形を防止することはできなかった。   When Examples 5 and 6 were compared with Comparative Example 2, the base material was deformed in Comparative Example 2 even though the LLDPE layer had the same thickness of 50 μm and the other production conditions were almost the same. Even when the thickness of the LLDPE layer was increased to 100 μm as in Comparative Example 3, deformation of the substrate could not be prevented.

実施例7及び8は、プラスチックス層の厚みが比較例1〜4よりも著しく薄い3μmであるにも関わらず、基材が変形しなかった。   In Examples 7 and 8, although the thickness of the plastics layer was 3 μm which was significantly thinner than those of Comparative Examples 1 to 4, the substrate was not deformed.

比較例4は、リチウム層とポリエチレン基材の密着力が高く、転写ができなかった。   In Comparative Example 4, the adhesion between the lithium layer and the polyethylene substrate was high, and transfer was not possible.

比較例5及び7は、堆積させたリチウムがポリイミドフィルム又はアルミ箔の基材と反応した。   In Comparative Examples 5 and 7, the deposited lithium reacted with the polyimide film or aluminum foil substrate.

比較例6は、リチウム層とCu基材の密着力が高く、転写ができなかった。   In Comparative Example 6, the adhesion between the lithium layer and the Cu substrate was high, and transfer was not possible.

上記の結果から、実施例1〜9は「リチウムと基材との反応」、「蒸着後の基材の状況」、「転写性(剥離性)」のすべての試験項目において優れており、金属箔にプラスチック膜を積層して、その上にリチウム金属を堆積させた部材は、プリドープ用の部材として適していることは明確である。   From the above results, Examples 1 to 9 are excellent in all test items of “reaction between lithium and substrate”, “state of substrate after vapor deposition”, and “transferability (peelability)”. It is clear that a member obtained by laminating a plastic film on a foil and depositing lithium metal thereon is suitable as a member for pre-doping.

1 金属箔
2 プラスチック膜
3 金属リチウム薄膜
11 真空チャンバー
12 ロードロック室
13 トランスファーロッド
14 ゲートバルブ
15 るつぼ
16 基材
17 基材設置ホルダー
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Metal foil 2 Plastic film 3 Metal lithium thin film 11 Vacuum chamber 12 Load lock room 13 Transfer rod 14 Gate valve 15 Crucible 16 Base material 17 Base material installation holder

Claims (12)

金属箔の少なくとも片面にプラスチック膜を有し、更にプラスチック膜の少なくとも片面の表面に金属リチウム薄膜を有し、該金属泊がBe、C、Mg、Al、Si、S、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Mo、Ag、In、Sn、Sb、Ta、W、Pt及びAuからなる群から選択される金属元素の少なくとも1種を含む多層フィルム。   It has a plastic film on at least one side of the metal foil, and further has a metal lithium thin film on the surface of at least one side of the plastic film, and the metal stay is Be, C, Mg, Al, Si, S, Ti, V, Cr, A multilayer film comprising at least one metal element selected from the group consisting of Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Mo, Ag, In, Sn, Sb, Ta, W, Pt and Au. 前記金属泊がAlを含むことを特徴とする、請求項1に記載の多層フィルム。   The multilayer film according to claim 1, wherein the metal stay includes Al. 前記プラスチックス膜がポリオレフィン膜であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の多層フィルム。   The multilayer film according to claim 1 or 2, wherein the plastics film is a polyolefin film. 前記ポリオレフィン膜がポリプロピレン膜であることを特徴とする、請求項3に記載の多層フィルム。   The multilayer film according to claim 3, wherein the polyolefin film is a polypropylene film. 前記ポリオレフィン膜がポリエチレン膜であることを特徴とする、請求項3に記載の多層フィルム。   The multilayer film according to claim 3, wherein the polyolefin film is a polyethylene film. 前記プラスチックス膜が架橋性ポリマー膜であることを特徴とする、請求項1又は2に記載の多層フィルム。   The multilayer film according to claim 1 or 2, wherein the plastics film is a crosslinkable polymer film. 金属リチウム薄膜が担持された蓄電デバイス用電極の製造方法であって、
(A)請求項1〜6のいずれか一項に記載の多層フィルムの金属リチウム薄膜側の面を蓄電デバイスの電極活物質表面に圧着する工程、及び
(B)多層フィルムから基材を剥離する工程
を有することを特徴とする製造方法。
A method for producing an electrode for an electricity storage device carrying a metallic lithium thin film,
(A) a step of pressure-bonding a surface of the multilayer film according to any one of claims 1 to 6 on the surface of an electrode active material of an electricity storage device;
(B) A production method comprising a step of peeling the substrate from the multilayer film.
請求項7に記載の方法により得られる蓄電デバイス用電極。   The electrode for electrical storage devices obtained by the method of Claim 7. 金属箔の少なくとも片面にプラスチック膜を有する基材のプラスチック膜の少なくとも片面の表面に、気相成長法で金属リチウム薄膜を形成させることを特徴とする金属リチウム薄膜の製造方法であって、該金属泊がBe、C、Mg、Al、Si、S、Ti、V、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Mo、Ag、In、Sn、Sb、Ta、W、Pt及びAuからなる群から選択される金属元素の少なくとも1種を含む、製造方法。   A method for producing a metal lithium thin film, characterized in that a metal lithium thin film is formed by vapor phase growth on at least one surface of a plastic film of a substrate having a plastic film on at least one surface of the metal foil, Overnight from Be, C, Mg, Al, Si, S, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Ni, Cu, Zn, Mo, Ag, In, Sn, Sb, Ta, W, Pt and Au A production method comprising at least one metal element selected from the group consisting of: 請求項9に記載の方法により得られる金属リチウム薄膜。   A metallic lithium thin film obtained by the method according to claim 9. 請求項10に記載の金属リチウム薄膜を有する蓄電デバイス用電極。   The electrode for electrical storage devices which has a metal lithium thin film of Claim 10. 請求項8又は11に記載の電極を備えた蓄電デバイス。   The electrical storage device provided with the electrode of Claim 8 or 11.
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