JP2012063444A - ペリクル枠体、ペリクル及びペリクル枠体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ペリクル1のペリクル枠体2では、分割枠体のコーティングにおいて、塗装材のガラス転移点を50℃以上150℃以下としている。これにより、ペリクル枠体2に撓みが生じた場合であっても、ペリクル枠体2と塗装材との密着性を確保できているため、塗膜Pの剥がれを防止できる。また、所定の強度を有するため、ハンドリング治具等による塗膜Pの削れも防止できる。したがって、塗膜Pの亀裂等の破損の発生を抑制できる。また、分割枠体とすることにより、寸法を容易に調整することができるため、寸法精度を確保することができる。
【選択図】図7
Description
ペリクル枠体の材質(全ての分割枠体の材質)は、アルミニウム合金であり、厚みを4.0mm、長辺の幅を6.0mm、長さを430mmとした。また、短辺は、幅を6.0mm、長さを300mmとし、短辺の側面全長に渡って溝を設け、溝の深さを2mm、溝の高さを1.5mmとした。また、角部の曲率をR=2mmとした。その他の構成は、図2に示す構成にてペリクル枠体を作製した。長辺を構成する分割部材の長さは370mmであり、短辺を構成する分割部材の長さは240mmとした。接合部は、図11に示すように、分割部材60aの段差を有する端面61aと分割部材60bの段差を有する端面61bとを当接させた階段形状とした。具体的な寸法は、図11において、下面から垂直に1.3mm、長手方向に10mm、また垂直に1.3mm、長手方向に10mm、更に垂直に1.4mmとし、接着剤を使用した。接着剤は、ロックタイト638(ヘンケル製)を使用した。
測定装置は、レーザー変位計(キーエンス製LJ−G030)を用いて行った。正四角形の標準サンプルを枠体の外寸にあわせて1本ずつ作成した。それとは別に、実施例及び比較例の条件でそれぞれ1例につき5サンプル作成し、正四角形の標準サンプルと比較した。一番差がある部分が、5サンプル中1サンプルでも1.0mm以上あれば「×」、0.5mm以上1.0mm未満であれば「△」、0.5mm未満であれば「○」とした。
次に、接合強度テストを行った。上記と同様の形状の接合部を含む100mmの棒状の枠体のサンプルを作製した。接合部は、100mmの棒状の半分の50mmの位置とした。幅方向を上面に向けて、接合部から10mmあけてチャッキングを行い(チャッキングは、接合部から10mm〜30mmの範囲)、チャッキングした反対側を接合部から10mmの箇所に力を加えて測定した。測定装置は、イマダのデジタルフォースゲージを使用した。
10cmの棒状をサンプルとして作製し、加熱脱着法にてGC−MS(SUPELCO製)で測定した。加熱温度50℃、加熱時間60分、吸着剤CarbopackB+CarbosieveSIII、キャリアガス(He)の条件とした。
ペリクル枠体は、長辺の幅を9.0mm、長さを800mm、短辺の幅を7.00mm、長さを480mm、角部は曲率をR=0mmとした。それ以外の溝の長さ・深さ、ペリクル枠体の厚みは実施例1と同様にした。ペリクル枠体は、図9に示すような4分割とし、長辺を構成する分割枠材の長さを790mm、短辺を構成する分割枠材の長さを480mmとした。接合部は、図5(a)に示す形状とした。各々の接合端面の最大接合距離を上記幅に対して1.5mm、各々の接合部内面の最大接合距離を2.0mm、前記接合部各面の大きさに対して0.02mmの嵌め合い時に潰れる部分(余剰部分)を設けた。そして、接着剤は使用せずに上下方向から嵌め合いを行った。
ペリクル枠体は、長辺の幅を21.0mm、長さを2000mm、短辺の幅を19.5mm、長さを1800mm、角部は曲率をR=0mmとし、枠体の厚みを6.0mmとした。それ以外の溝の長さ・深さは実施例1と同様にした。ペリクル枠体は、図10に示すような8分割とし、長辺を構成する分割部材の長さを各々900mm、短辺を構成する分割部材の長さを各々982mmとした。接合部は、図6(a)に示す形状とした。各々の接合端面の最大接合距離を上記幅に対して2.1mm、各々の接合部内面の最大接合距離を4.2mm、余剰部分を0.025mmにして、接着剤は使用せずに上下方向から嵌め合いを行った。
ペリクル枠体は、接合部の無い、1枚のシート状母材からの切り出したものを用意した。長辺の幅を9.0mm、長さを800mm、短辺の幅を7.0mm、長さを480mmとした。材質はアルミニウム合金、厚みを4.0mmとした。短辺の側面には、全長に渡って溝を設け、溝の深さを2mm、溝の高さを1.5mmとした。また、角部の曲率をR=2mmとし、その後アルマイト処理を行い、それ以外は、実施例1と同様にペリクルを作製し、評価を同様に行った。その結果を表1に示す。但し、接合部がないので接合強度テストは行っていない。
ペリクル枠体は、接合部の無い、1枚のシート状母材からの切り出したものを用意した。長辺の幅を9.0mm、長さを800mm、短辺の幅を7.0mm、長さを480mmとした。材質はアルミニウム合金、厚みを4.0mmとした。短辺の側面には、全長に渡って溝を設け、溝の深さを2mm、溝の高さを1.5mmとした。また、角部の曲率をR=2mmとし、その後塗装を行った。塗装材には、ウレタン系樹脂を使用し、塗装ムラや材料のダレが発生しないようにスプレー塗装を行い、140℃の加熱を30分行うことでガラス転移点を40℃、鉛筆硬度を3Bとした塗膜を形成し、同様にペリクルも作製した。評価を実施例1と同様に行い、その結果を表1に示す。但し、接合部がないので接合強度テストは行っていない。
表面処理をアルマイトとした以外は、実施例1と同様のペリクル枠体とペリクルを作製した。評価を実施例1と同様に行い、その結果を表1に示す。アルマイトのムラが発生し、擬似異物に見えたため、検査性が悪かった。
Claims (7)
- 平面視において矩形状を有する開口部を覆うようにペリクル膜を展張支持するペリクル枠体であって、
前記開口部の周縁は枠部材によって形成されていると共に、前記枠部材は少なくとも一つの接合部によって接合されており、
前記枠部材の表面に塗膜を形成する塗装材のガラス転移点が50℃以上150℃以下であることを特徴とするペリクル枠体。 - 前記塗膜の鉛筆硬度がB以上6H以下である請求項1に記載のペリクル枠体。
- 前記塗装材は、塗布型である請求項1又は2記載のペリクル枠体。
- 前記塗装材は、主成分がエポキシ系、アクリル系又はフッ素系である請求項1〜3のいずれか一項記載のペリクル枠体。
- 前記枠部材は、対向する一対の長辺と、対向する一対の短辺とから構成されており、
前記長辺及び前記短辺によって形成される少なくとも一つの角部の塗膜の厚みは、前記長辺又は前記短辺の中央部の塗膜の厚みの20倍以下である請求項1〜4のいずれか一項記載のペリクル枠体。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載のペリクル枠体と、当該ペリクル枠体の開口部を覆うように展張支持されたペリクル膜とを備えることを特徴とするペリクル。
- 平面視において矩形状を有する開口部を覆うようにペリクル膜を展張支持するペリクル枠体の製造方法であって、
前記開口部の周縁を形成すると共に少なくとも一つの接合部を有する枠部材を準備し、前記枠部材の前記接合部を接合する工程と、
前記枠部材にガラス転移点が50℃以上150℃以下である塗装材を塗布して塗膜を形成する工程と、
前記塗膜を加熱処理する工程とを含むことを特徴とするペリクル枠体の製造方法。
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JP2016177056A (ja) * | 2015-03-19 | 2016-10-06 | 旭化成株式会社 | ペリクル枠体及びペリクル |
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