JP2012061788A - Flow channel member, liquid jet head, liquid jet device, and filter - Google Patents

Flow channel member, liquid jet head, liquid jet device, and filter Download PDF

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filter
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Katsunori Ono
克徳 大野
Kenta Anekawa
賢太 姉川
Shinji Okuyama
新司 奥山
Nagamitsu Takashima
永光 高島
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flow channel member which has small flow channel resistance and high capturing capability, and to provide a liquid jet head, a liquid jetting device, and a filter.SOLUTION: The flow channel member includes a flow channel member body which has a flow channel in which fluid passes, and the filter 10 which is fixed to the flow channel member body and captures a foreign material existing in the fluid. The filter 10 includes an inflow surface 10a and an outflow surface 10b of the fluid, and includes a substrate 11 having a plurality of curved parts 13 formed so as to protrude to at least one of the inflow surface 10a and the outflow surface 10b, and an opening 14 formed at the curved part 13 so as to face a direction different from a protruding direction of the curved part 13 and making the inflow surface 10a and the outflow surface 10b of the substrate 11 communicate with each other. A plated layer 15 is formed at least at a periphery of the opening 14 of the substrate 11.

Description

本発明は、液体流路にフィルターを有する流路部材、流路部材を具備する液体噴射ヘッ
ド、流路部材を具備する液体噴射装置及びフィルターに関する。 The present invention relates to a flow path member having a filter in a liquid flow path, a liquid ejecting head including the flow path member, a liquid ejecting apparatus including the flow path member, and a filter.

液体噴射ヘッドの代表例であるインクジェット式記録ヘッドには、インク流路内への気
泡や異物の侵入を防ぐためのフィルターが設けられている。 An ink jet recording head, which is a typical example of a liquid ejecting head, is provided with a filter for preventing air bubbles and foreign matter from entering the ink flow path.

このようなフィルターとしては、金属繊維を編みこんだものや、板状部材にパンチ加工
によって複数の貫通孔を設けたものなどが提案されている（例えば、特許文献１及び２参
照）。 As such a filter, a filter in which metal fibers are knitted or a plate-like member provided with a plurality of through holes by punching has been proposed (for example, see Patent Documents 1 and 2).

特開２００６−２７２６３１号公報JP 2006-272631 A 特開２００８−０２３８２０号公報JP 2008-023820 A

しかしながら、フィルターとしては、流路抵抗が小さくて高い捕捉能力を有するフィル
ターが求められている。 However, there is a demand for a filter having a small flow path resistance and a high capturing ability.

本発明はこのような事情に鑑み、流路抵抗が小さくて、高い捕捉能力を有する流路部材
、液体噴射ヘッド、液体噴射装置及びフィルターを提供することを目的とする。 In view of such circumstances, it is an object of the present invention to provide a flow path member, a liquid ejecting head, a liquid ejecting apparatus, and a filter that have a small flow path resistance and a high capturing ability.

上記課題を解決する本発明の態様は、流体が通過する流路が設けられた流路部材本体と
、該流路部材本体に固定されて前記流体中に存在する異物を捕捉するフィルターと、を具
備し、前記フィルターは、流体の流入面及び流出面を有すると共に、前記流入面及び前記
流出面のうち少なくとも一方に向けて突出するように形成された複数の湾曲部を有する基
板と、前記湾曲部の突出方向とは異なる方向を向くように当該湾曲部に形成され、前記基
板の前記流入面と前記流出面とを連通する開口部と、を備え、少なくとも前記基板の前記
開口部の周囲には、メッキ層が形成されていることを特徴とする流路部材にある。
かかる態様では、湾曲部において異物を捕捉しつつ、開口部から流体を流通させること
ができるため、流路抵抗が小さく、高い捕捉率を得ることができる。また、開口部の湾曲
部の突出方向における開口高さを、メッキ層によって小さくすることができるため、異物
の捕捉率を向上することができる。また、メッキ層によって湾曲部を補強することができ
るため、湾曲部に亀裂等の破壊が発生するのを抑制することができる。 An aspect of the present invention that solves the above problems includes a flow path member main body provided with a flow path through which a fluid passes, and a filter that is fixed to the flow path member main body and captures foreign matter present in the fluid. The filter includes a substrate having a fluid inflow surface and an outflow surface, and a plurality of curved portions formed to protrude toward at least one of the inflow surface and the outflow surface; An opening that communicates with the inflow surface and the outflow surface of the substrate, and is formed at least around the opening of the substrate. Is a flow path member in which a plating layer is formed.
In this aspect, since the fluid can be circulated from the opening while capturing the foreign matter in the curved portion, the channel resistance is small and a high capture rate can be obtained. Moreover, since the opening height in the protrusion direction of the curved part of an opening part can be made small by a plating layer, the capture rate of a foreign material can be improved. In addition, since the curved portion can be reinforced by the plating layer, it is possible to suppress the occurrence of breakage such as a crack in the curved portion.

ここで、前記開口部は、前記湾曲部に相対向して２つ設けられていることが好ましい。
これによれば、流体を流れやすくすることができる。また、湾曲部を流入面側に突出して
設ければ、隣り合う湾曲部の間で異物を捕捉できると共に、開口部で異物を捕捉する２段
階の捕捉が可能となり、且つ異なる大きさの異物を捕捉することが可能となる。また、隣
り合う湾曲部の間隔と開口部の大きさとで捕捉できる異物の大きさを規定することができ
るため、微細な異物を捕捉する捕捉率を向上することができる。 Here, it is preferable that two openings are provided opposite to the curved portion.
According to this, the fluid can be easily flowed. Further, if the curved portion is provided so as to protrude toward the inflow surface side, foreign matter can be caught between adjacent curved portions, and the two-stage catching that can catch foreign matter at the opening is possible, and foreign matters of different sizes can be captured. It becomes possible to capture. In addition, since the size of foreign matter that can be captured can be defined by the interval between adjacent curved portions and the size of the opening, it is possible to improve the capture rate for capturing fine foreign matter.

また、前記メッキ層が、金属材料からなることが好ましい。これによれば、湾曲部の補
強を確実に行うことができる。 Moreover, it is preferable that the said plating layer consists of metal materials. According to this, reinforcement of a curved part can be performed reliably.

また、前記フィルターが、前記流路部材本体に溶着されていると共に、前記メッキ層が
、前記フィルターの前記流路部材本体に溶着される領域以外の領域に形成されていること
が好ましい。これによれば、メッキ層を設けないことで、開口部の開口高さを大きくでき
るため、溶着した樹脂がフィルターの表面に流出し易く、溶着による接合強度を向上する
ことができる。 Further, it is preferable that the filter is welded to the flow path member main body, and the plating layer is formed in a region other than a region welded to the flow path member main body of the filter. According to this, since the opening height of the opening can be increased by not providing the plating layer, the welded resin easily flows out to the surface of the filter, and the bonding strength by welding can be improved.

さらに、本発明の他の態様は、上記態様の流路部材を具備することを特徴とする液体噴
射ヘッドにある。
かかる態様では、流路内への気泡や異物の混入によるノズルの目詰まりや吐出不良等の
不具合を抑制することができる。 According to another aspect of the invention, there is provided a liquid ejecting head including the flow path member according to the above aspect.
In such an embodiment, it is possible to suppress problems such as nozzle clogging and ejection failure due to air bubbles and foreign matters mixed in the flow path.

また、本発明の他の態様は、上記態様の流路部材を具備することを特徴とする液体噴射
装置にある。
かかる態様では、流路内への気泡や異物の混入によるノズルの目詰まりや吐出不良等の
不具合を抑制することができる。 According to another aspect of the invention, there is provided a liquid ejecting apparatus including the flow path member according to the above aspect.
In such an embodiment, it is possible to suppress problems such as nozzle clogging and ejection failure due to air bubbles and foreign matters mixed in the flow path.

さらに、本発明の他の態様は、流体中に存在する異物を捕捉するフィルターであって、
前記フィルターは、流体の流入面及び流出面を有すると共に、前記流入面及び前記流出面
のうち少なくとも一方に向けて突出するように形成された複数の湾曲部を有する基板と、
前記湾曲部の突出方向とは異なる方向を向くように当該湾曲部に形成され、前記基板の前
記流入面と前記流出面とを連通する開口部と、を備え、少なくとも前記基板の前記開口部
の周囲には、メッキ層が形成されていることを特徴とするフィルターにある。
かかる態様では、湾曲部において異物を捕捉しつつ、開口部から流体を流通させること
ができるため、流路抵抗が小さく、高い捕捉率を得ることができる。また、開口部の湾曲
部の突出方向における開口高さを、メッキ層によって小さくすることができるため、異物
の捕捉率を向上することができる。また、メッキ層によって湾曲部を補強することができ
るため、湾曲部に亀裂等の破壊が発生するのを抑制することができる。 Furthermore, another aspect of the present invention is a filter that traps foreign substances present in a fluid,
The filter has a fluid inflow surface and an outflow surface, and a substrate having a plurality of curved portions formed to protrude toward at least one of the inflow surface and the outflow surface;
An opening that is formed in the bending portion so as to face a direction different from the protruding direction of the bending portion and communicates the inflow surface and the outflow surface of the substrate, and at least of the opening of the substrate The filter is characterized in that a plating layer is formed around it.
In this aspect, since the fluid can be circulated from the opening while capturing the foreign matter in the curved portion, the channel resistance is small and a high capture rate can be obtained. Moreover, since the opening height in the protrusion direction of the curved part of an opening part can be made small by a plating layer, the capture rate of a foreign material can be improved. In addition, since the curved portion can be reinforced by the plating layer, it is possible to suppress the occurrence of breakage such as a crack in the curved portion.

実施形態１に係る流路部材の断面図である。3 is a cross-sectional view of a flow path member according to Embodiment 1. FIG. 実施形態１に係るフィルターの斜視図である。3 is a perspective view of a filter according to Embodiment 1. FIG. 実施形態１に係るフィルターの要部を拡大した斜視図である。3 is an enlarged perspective view of a main part of the filter according to Embodiment 1. FIG. 実施形態１に係るフィルターの平面図及び断面図である。FIG. 2 is a plan view and a cross-sectional view of a filter according to Embodiment 1. 実施形態１に係るフィルターの断面図である。3 is a cross-sectional view of the filter according to Embodiment 1. FIG. 実施形態１に係るフィルターの製造方法を示す斜視図及び断面図である。FIG. 5 is a perspective view and a cross-sectional view illustrating a filter manufacturing method according to Embodiment 1. 実施形態１に係る記録ヘッドの分解斜視図である。FIG. 3 is an exploded perspective view of the recording head according to the first embodiment. 実施形態１に係る記録ヘッドの断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of the recording head according to the first embodiment. 実施形態１に係る記録装置の概略斜視図である。1 is a schematic perspective view of a recording apparatus according to Embodiment 1. FIG. 他の実施形態に係るフィルターの平面図、断面図及び斜視図である。It is the top view, sectional view, and perspective view of the filter concerning other embodiments.

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
（実施形態１）
図１は、本発明の実施形態１に係る流路部材の断面図である。 Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments.
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a cross-sectional view of a flow path member according to Embodiment 1 of the present invention.

本実施形態の流路部材１は、流路部材本体２と、流路部材本体２に固定されたフィルタ
ー１０と、を具備する。 The flow path member 1 of the present embodiment includes a flow path member main body 2 and a filter 10 fixed to the flow path member main body 2.

流路部材本体２は、上下に分割された上流部材３と、下流部材４とで構成されている。
このような流路部材本体２には、上流部材３と下流部材４とを連続して貫通する流路６が
設けられている。 The flow path member main body 2 includes an upstream member 3 and a downstream member 4 which are divided into upper and lower parts.
The flow path member main body 2 is provided with a flow path 6 that continuously penetrates the upstream member 3 and the downstream member 4.

流路６は、上流部材３に設けられた上流路７と、下流部材４に設けられた下流路８とで
構成されており、流路部材本体２は、流体が上流路７から下流路８に向かって流れる向き
で配置される。 The flow path 6 is composed of an upper flow path 7 provided in the upstream member 3 and a lower flow path 8 provided in the downstream member 4, and the flow path member main body 2 is configured such that fluid flows from the upper flow path 7 to the lower flow path 8. It is arranged in the direction that flows toward

また、上流路７は、下流路８に比べて内径が大きい。そして、上流路７と下流路８との
間にはフィルター１０が配置されている。 The upper flow path 7 has a larger inner diameter than the lower flow path 8. A filter 10 is disposed between the upper flow path 7 and the lower flow path 8.

ここで、フィルター１０について詳細に説明する。なお、図２は、本発明の実施形態１
に係るフィルターを示す斜視図であり、図３は、フィルターの要部を拡大した斜視図であ
り、図４は、フィルターの平面図及びそのＡ−Ａ′線断面図と、Ｂ−Ｂ′線断面図である
。 Here, the filter 10 will be described in detail. FIG. 2 shows Embodiment 1 of the present invention.
FIG. 3 is an enlarged perspective view of a main part of the filter, and FIG. 4 is a plan view of the filter, a sectional view taken along line AA ′, and a line BB ′. It is sectional drawing.

図示するように、フィルター１０は、平坦な板状部材である基板１１に多数の微細な貫
通孔１２を穿設して矩形状の角を面取りした形状に切断したものである。フィルター１０
に用いられる基板１１は、厚さが１００μｍ以下の金属材料等からなる。本実施形態では
、基板１１として、厚さが１５μｍのステンレス鋼（ＳＵＳ）を用いた。また、詳しくは
後述するが、本実施形態では、基板１１の全面に亘ってメッキ層１５を設けた。 As shown in the drawing, the filter 10 is formed by forming a large number of fine through holes 12 in a substrate 11 which is a flat plate member and cutting the corners of a rectangular shape. Filter 10
The substrate 11 used in the above is made of a metal material having a thickness of 100 μm or less. In this embodiment, stainless steel (SUS) having a thickness of 15 μm is used as the substrate 11. Further, as will be described in detail later, in the present embodiment, the plating layer 15 is provided over the entire surface of the substrate 11.

貫通孔１２は、図４に示すように、基板１１を厚さ方向に貫通して設けられ、その開口
は長方形状となるように形成されている。なお、貫通孔１２としては、円形、正方形、六
角形等の開口で形成することも可能である。 As shown in FIG. 4, the through hole 12 is provided so as to penetrate the substrate 11 in the thickness direction, and the opening is formed in a rectangular shape. The through-hole 12 can also be formed with a circular, square, hexagonal or other opening.

このような貫通孔１２は、本実施形態では、基板１１の全面に亘って等間隔でマトリッ
クス状に配置されている。すなわち、本実施形態では、貫通孔１２の長手方向に並設され
た列が、短手方向と直交する方向に複数列配設されている。 In the present embodiment, such through holes 12 are arranged in a matrix at equal intervals over the entire surface of the substrate 11. That is, in this embodiment, a plurality of rows arranged in parallel in the longitudinal direction of the through hole 12 are arranged in a direction orthogonal to the short direction.

また、フィルター１０の各貫通孔１２には、一方面側に湾曲して突出した状態で貫通孔
１２を跨って設けられた湾曲部１３が形成されている。ここで、湾曲部１３は、貫通孔１
２の開口幅と同じ幅で設けられており、上面視した際に貫通孔１２を覆う大きさを有する
。詳細には、湾曲部１３は、貫通孔１２の長手方向で、基板１１の平坦領域から連続し、
貫通孔１２の中心に向かって徐々に突出量が漸大するように湾曲して形成されている。ま
た、湾曲部１３は、貫通孔１２の短手方向で、基板１１の平坦領域から不連続となるよう
に形成されている。このように、湾曲部１３が平坦領域と不連続となっていることから、
湾曲部１３の両側には、貫通孔１２と交差する方向に開口して、貫通孔１２と連通する開
口部１４が設けられている。すなわち、湾曲部１３の両側とは、湾曲部１３の突出方向と
は交差する方向で、貫通孔１２の短手方向の両側面のことである。そして、１つの湾曲部
１３に設けられた２つの開口部１４は、相対向して配置されていることになる。なお、本
実施形態では、貫通孔１２を長方形状として、湾曲部１３が貫通孔１２の長手方向で基板
１１の平坦領域と連続し、貫通孔１２の短手方向で基板１１の平坦領域と不連続となるよ
うにしたが、特にこれに限定されず、湾曲部１３が貫通孔１２の短手方向で基板１１の平
坦領域と連続し、貫通孔１２の長手方向で基板１１の平坦領域と不連続となるようにして
もよい。また、貫通孔１２の開口形状が、長方形状以外の形状、すなわち、正方形状、円
形状、楕円形状、多角形状であってもよい。すなわち、湾曲部１３は、一方向で基板１１
の平坦領域と連続し、一方向と交差する方向で平坦領域と不連続となっていれば、開口部
１４が形成されるものである。ちなみに、基板１１の平坦領域とは、基板１１の貫通孔１
２や湾曲部１３が設けられていない平坦な領域のことである。また、上述した例では、湾
曲部１３の幅（２つの開口部１４の間の幅）を貫通孔１２と略同じ大きさとしたが、特に
これに限定されず、例えば、湾曲部１３の幅を貫通孔１２よりも幅狭としてもよい。 Further, each through hole 12 of the filter 10 is formed with a curved portion 13 provided across the through hole 12 so as to be curved and protrude toward one surface side. Here, the bending portion 13 is formed through the through hole 1.
2 has the same width as the opening width of 2 and has a size covering the through hole 12 when viewed from above. Specifically, the curved portion 13 is continuous from the flat region of the substrate 11 in the longitudinal direction of the through hole 12,
It is curved and formed so that the amount of protrusion gradually increases toward the center of the through hole 12. Further, the bending portion 13 is formed so as to be discontinuous from the flat region of the substrate 11 in the short direction of the through hole 12. Thus, since the curved portion 13 is discontinuous with the flat region,
On both sides of the bending portion 13, an opening portion 14 that opens in a direction intersecting with the through hole 12 and communicates with the through hole 12 is provided. That is, both sides of the bending portion 13 are both side surfaces in the short direction of the through hole 12 in a direction intersecting with the protruding direction of the bending portion 13. And the two opening parts 14 provided in the one curved part 13 are arrange | positioned facing each other. In the present embodiment, the through-hole 12 is rectangular, and the curved portion 13 is continuous with the flat region of the substrate 11 in the longitudinal direction of the through-hole 12, and is not connected to the flat region of the substrate 11 in the short-side direction of the through-hole 12. However, the present invention is not particularly limited to this, and the curved portion 13 is continuous with the flat region of the substrate 11 in the short direction of the through-hole 12 and is not connected with the flat region of the substrate 11 in the longitudinal direction of the through-hole 12. It may be continuous. The opening shape of the through hole 12 may be a shape other than a rectangular shape, that is, a square shape, a circular shape, an elliptical shape, or a polygonal shape. That is, the bending portion 13 is in one direction with the substrate 11.
If it is continuous with the flat region and is discontinuous with the flat region in a direction intersecting with one direction, the opening 14 is formed. Incidentally, the flat region of the substrate 11 is the through hole 1 of the substrate 11.
2 and the flat area | region where the curved part 13 is not provided. In the above-described example, the width of the bending portion 13 (the width between the two openings 14) is substantially the same as that of the through hole 12. However, the present invention is not particularly limited thereto. The width may be narrower than the through hole 12.

このような開口部１４は、湾曲部１３の突出形状に沿った形を有する。したがって、開
口部１４は、中央部から両端部に向かって開口高さが徐々に漸小する形状を有する。 Such an opening 14 has a shape along the protruding shape of the bending portion 13. Therefore, the opening 14 has a shape in which the opening height gradually decreases from the center toward both ends.

そして、このようなフィルター１０（基板１１）は、湾曲部１３の突出方向が流路６の
上流路７側に配置された流入面１０ａとなり、他方面が流路６の下流路８側に配置された
流出面１０ｂとなるように流路部材本体２に配置されている。したがって、貫通孔１２は
、流入面１０ａと流出面１０ｂとを連通するものである。 In such a filter 10 (substrate 11), the protruding direction of the curved portion 13 becomes the inflow surface 10a disposed on the upper flow path 7 side of the flow path 6, and the other surface is disposed on the lower flow path 8 side of the flow path 6. It is arrange | positioned at the flow-path member main body 2 so that it may become the done outflow surface 10b. Accordingly, the through hole 12 communicates the inflow surface 10a and the outflow surface 10b.

なお、本実施形態では、貫通孔１２に湾曲部１３を設け、湾曲部１３の両側に開口部１
４を設けるようにしたが、言い換えると、フィルター１０は、流入面１０ａに向かって湾
曲した複数の湾曲部１３を有する基板１１と、湾曲部１３に設けられて湾曲部１３の突出
方向と交差する方向（本実施形態では直交する方向）に設けられた開口部１４と、を有す
る。すなわち、基板１１には、湾曲部１３によって貫通孔１２が形成され、貫通孔１２が
湾曲部１３に設けられた開口部１４と連通している。 In the present embodiment, the curved portion 13 is provided in the through hole 12, and the opening 1 is provided on both sides of the curved portion 13.
In other words, the filter 10 is provided on the bending portion 13 and intersects with the protruding direction of the bending portion 13. And an opening 14 provided in a direction (a direction orthogonal in the present embodiment). That is, a through hole 12 is formed in the substrate 11 by the curved portion 13, and the through hole 12 communicates with the opening 14 provided in the curved portion 13.

さらに、湾曲部１３、開口部１４が設けられた基板１１には、少なくとも開口部１４の
周囲に亘ってメッキ層１５が形成されている。本実施形態では、基板１１の全面に亘って
メッキ層を形成するようにした。 Further, a plating layer 15 is formed on at least the periphery of the opening 14 on the substrate 11 provided with the curved portion 13 and the opening 14. In the present embodiment, the plating layer is formed over the entire surface of the substrate 11.

メッキ層１５としては、銅（Ｃｕ）、ニッケル（Ｎｉ）等の金属材料や、フッ素系樹脂
を用いることができる。また、メッキ層１５の形成方法は、メッキであれば特に限定され
ず、例えば、電解メッキ、無電解メッキ、共析メッキ等が挙げられる。 As the plating layer 15, a metal material such as copper (Cu) or nickel (Ni) or a fluorine-based resin can be used. Moreover, the formation method of the plating layer 15 will not be specifically limited if it is plating, For example, electrolytic plating, electroless plating, eutectoid plating, etc. are mentioned.

したがって、上述した開口部１４は、実際には基板１１によって画成されたものではな
く、メッキ層１５によって画成されたものである。 Therefore, the opening 14 described above is not actually defined by the substrate 11 but is defined by the plating layer 15.

そして、メッキ層１５を設けることによって、開口部１４の開口面積、特に開口高さを
小さくすることができる。ここで、基板１１だけで開口部１４を画成した場合には、開口
部１４の湾曲部１３の突出方向の開口高さｄ２（最大高さ）になるのに対し、本実施形態
のように、メッキ層１５を設けることで、開口部１４の湾曲部１３の突出方向の開口高さ
ｄ３をｄ２に比べて小さくすることができる。 And by providing the plating layer 15, the opening area of the opening part 14, especially opening height can be made small. Here, when the opening 14 is defined only by the substrate 11, the opening height d 2 (maximum height) in the protruding direction of the curved portion 13 of the opening 14 becomes the same as in the present embodiment. Further, by providing the plating layer 15, the opening height d 3 in the protruding direction of the curved portion 13 of the opening 14 can be made smaller than d 2 .

このようなフィルター１０の湾曲部１３は、互いに隣接する湾曲部１３（貫通孔１２）
の間隔ｄ１が、例えば、数μｍ〜十数μｍに設定されている。なお、ここで言う互いに隣
接する湾曲部１３の間隔ｄ１とは、互いに隣り合う湾曲部１３の開口部１４が相対向する
側の隙間のことである。この湾曲部１３の間隔ｄ１は、捕捉したい異物の大きさに基づい
て設定されている。 Such a curved portion 13 of the filter 10 has adjacent curved portions 13 (through holes 12).
Distance d 1 of, for example, is set to several μm~ dozen [mu] m. Here, the interval d 1 of the curved portion 13 adjacent to each other to say, is that of the side gap that faces the opening 14 the phase of the curved portion 13 adjacent to each other. The distance d 1 between the curved portions 13 is set based on the size of a foreign object to be captured.

ここで、図５を参照してフィルター１０が捕捉する異物について説明する。なお、図５
は、フィルターが異物を捕捉した状態を示す断面図及びそのＣ−Ｃ′線断面図である。 Here, the foreign matter captured by the filter 10 will be described with reference to FIG. Note that FIG.
These are sectional drawing which shows the state which the filter caught the foreign material, and its CC 'line sectional drawing.

図５に示すように、流路部材１の上流路７（図示なし）から流入された流体に含まれる
異物のうち、開口部１４が相対向する隣り合う湾曲部１３の間隔ｄ１よりも大きな異物Ｘ
は、隣り合う湾曲部１３の間で捕捉される。このとき、異物Ｘは、２つの湾曲部１３の外
周面（流入面１０ａ）側で捕捉されるため、異物Ｘが２つの湾曲部１３の間を完全に塞ぐ
ことがなく、また異物Ｘが開口部１４を完全に塞ぐことがない。このため、上流路７から
流入された流体は、異物Ｘに遮蔽されることなく、異物Ｘの横から開口部１４に流入して
下流路８（図示なし）側に流出されるため、フィルター１０が異物Ｘを捕捉しても、フィ
ルター１０を通過する流体の流路抵抗が増大するのを抑制することができる。これに対し
て、例えば、湾曲部１３を設けずに貫通孔１２だけが設けられたフィルターを用いた場合
、フィルターが異物を捕捉することで異物が貫通孔１２を塞いでしまうことがあり、流路
抵抗が比較的増大しやすい。 As shown in FIG. 5, among the foreign matters contained in the fluid that has flowed from the upper flow path 7 (not shown) of the flow path member 1, the opening 14 is larger than the interval d 1 between the adjacent curved portions 13 that face each other. Foreign object X
Is captured between the adjacent curved portions 13. At this time, since the foreign matter X is captured on the outer peripheral surface (inflow surface 10a) side of the two curved portions 13, the foreign matter X does not completely block between the two curved portions 13, and the foreign matter X is opened. The portion 14 is not completely blocked. For this reason, the fluid flowing in from the upper flow path 7 flows into the opening 14 from the side of the foreign substance X without being shielded by the foreign substance X, and flows out to the lower flow path 8 (not shown). Even if the foreign substance X is captured, it is possible to suppress an increase in the flow path resistance of the fluid passing through the filter 10. On the other hand, for example, when a filter in which only the through-hole 12 is provided without providing the curved portion 13, the foreign matter may block the through-hole 12 due to the filter capturing the foreign matter. Road resistance tends to increase relatively.

このため、本実施形態のフィルター１０であれば、長期間使用して多くの異物を捕捉し
たとしても、流路抵抗の増大を抑制して、長期間に亘って安定した流体の供給特性を維持
することができる。また、流路部材１を例えば、インクジェット式記録ヘッド等の液体噴
射ヘッドに用いた場合、長期間に亘って供給特性を維持することができるため、インク等
の液体吐出特性を長期間に亘って均一化して、印刷品質を一定に保つことができる。 Therefore, with the filter 10 of this embodiment, even if it is used for a long period of time and captures many foreign substances, an increase in flow path resistance is suppressed and a stable fluid supply characteristic is maintained over a long period of time. can do. Further, when the flow path member 1 is used for a liquid ejecting head such as an ink jet recording head, the supply characteristics can be maintained over a long period of time, so that the liquid ejection characteristics of ink or the like can be maintained over a long period of time. The printing quality can be kept constant by making it uniform.

また、本実施形態では、図４に示すように、開口部１４の開口高さｄ３は、メッキ層１
５によって湾曲部１３の突出量（ここでは、平坦領域から湾曲部１３の平坦領域側の面ま
での高さのこと）ｄ２よりも小さくなっている。ここで、例えば、メッキ層１５を設けて
いない場合には、湾曲部１３の突出量（基板１１の平坦領域からの突出量）がそのまま開
口部１４の開口高さｄ２となる。このため、湾曲部１３の突出量を調整することで、開口
部１４の開口高さｄ２を調整することができるが、湾曲部１３の突出量は、詳しくは後述
する製造方法上の理由から小さくし過ぎると、開口部１４を開口させることができない。
本実施形態では、開口部１４の開口高さｄ３は湾曲部１３の突出量ｄ２からメッキ層１５
の厚さを引いた（実際には厚さの２倍を引いた）大きさとなっているため、湾曲部１３の
突出量ｄ２を大きくしても、メッキ層１５によって開口部１４の開口高さｄ３を小さくす
ることができる。 In the present embodiment, as shown in FIG. 4, the opening height d 3 of the opening 14 is equal to the plating layer 1.
5, the protruding amount of the bending portion 13 (here, the height from the flat region to the flat region side surface of the bending portion 13) is smaller than d 2 . Here, for example, in the case provided with no plating layer 15 (projection amount from the flat region of the substrate 11) protruding amount of the bending portion 13 as the opening height d 2 of the opening 14. Therefore, by adjusting the projecting amount of the bending portion 13, it is possible to adjust the opening height d 2 of the opening 14, the projecting amount of the bending portion 13, specifically for manufacturing reasons the method described below If it is too small, the opening 14 cannot be opened.
In the present embodiment, the opening height d 3 of the opening 14 is determined from the protrusion amount d 2 of the bending portion 13 to the plating layer 15.
Minus the thickness to have a (actually double the minus thickness) size, increasing the projection amount d 2 of the curved portion 13, the opening height of the opening portion 14 by a plating layer 15 it is possible to reduce the d 3 is.

そして、この開口部１４の開口高さｄ３の大きさによって、開口部１４で捕捉する異物
の大きさが決定するため、開口部１４によって微細な異物を捕捉することが可能となる。 Then, depending on the size of the opening height d 3 of the opening 14, since the size of the foreign substances captured in the opening 14 is determined, it is possible to trap fine foreign matter by the opening 14.

また、湾曲部１３は、詳しくは後述するが、基板１１を金型装置５０によってプレス加
工することで形成されるため、湾曲部１３の基板１１の平坦領域との境界部分は、引き延
ばされて厚さが薄くなっている。このため、メッキ層１５を設けていない場合には、この
厚さが薄くなった領域に存在する開口部１４の角部から亀裂等の破壊が発生しやすい。本
実施形態では、少なくとも開口部１４の周囲に亘ってメッキ層を設けることで、メッキ層
１５によって湾曲部１３の厚さが薄くなった領域を補強することができ、湾曲部１３の折
れ等の破壊が発生するのを抑制することができる。特に、湾曲部１３は、流入面１０ａ側
に突出しているため、流体が当接することで応力が印加され易いが、湾曲部１３をメッキ
層１５で補強することで、湾曲部１３の金属疲労等による折れを抑制することができる。 Although the curved portion 13 will be described in detail later, since the substrate 11 is formed by pressing the substrate 11 with the mold apparatus 50, the boundary portion between the curved portion 13 and the flat region of the substrate 11 is extended. The thickness is thin. For this reason, when the plating layer 15 is not provided, breakage such as a crack is likely to occur from the corner of the opening 14 existing in the region where the thickness is reduced. In the present embodiment, by providing a plating layer at least around the opening 14, it is possible to reinforce a region where the thickness of the bending portion 13 is reduced by the plating layer 15, such as bending of the bending portion 13. It is possible to suppress the occurrence of destruction. In particular, since the bending portion 13 protrudes toward the inflow surface 10a, stress is easily applied when the fluid abuts. However, by reinforcing the bending portion 13 with the plating layer 15, metal fatigue of the bending portion 13 or the like. Can be prevented from breaking.

ちなみに、本実施形態では、図４に示す開口部１４の高さｄ３は、隣り合う湾曲部１３
の間隔ｄ１よりも低く設定されている。このため、隣り合う湾曲部１３の間を通過した異
物は、開口部１４によって捕捉される。すなわち、開口部１４で捕捉される異物の大きさ
は、隣り合う湾曲部１３の間隔ｄ１よりも小さく、且つ開口部１４の高さｄ３よりも大き
いものとなる。ちなみに、開口部１４の高さｄ３（開口部１４の高さ方向の幅）とは、湾
曲部１３の突出方向における最大高さ（開口幅）のことである。ここで、開口部１４は、
上述のように両側に向かって開口する幅（湾曲部１３の突出方向の高さ）が漸小した形状
を有する。そして、開口部１４は、湾曲部１３の突出方向と直交する方向に高さｄ３より
も広い幅を有する。このため、開口部１４で確実に捕捉できる異物は、最小幅が開口部１
４の高さｄ３よりも大きいものである。ちなみに、異物の中でも、その長さが開口部１４
の高さｄ３よりも長いが、その幅が開口部１４の高さｄ３よりも短い細長い形状を有する
ものは、開口部１４を通過する虞がある。勿論、異物の向きによっては、開口部１４によ
って捕捉することができる。 Incidentally, in the present embodiment, the height d 3 of the opening portion 14 shown in FIG. 4, the curved adjacent portion 13
It is set to be lower than the distance d 1. For this reason, the foreign material that has passed between the adjacent curved portions 13 is captured by the opening 14. That is, the size of the foreign matter captured by the opening 14 is smaller than the interval d 1 between the adjacent curved portions 13 and larger than the height d 3 of the opening 14. Incidentally, the height d 3 of the opening 14 (width in the height direction of the opening 14) is the maximum height (opening width) in the protruding direction of the curved portion 13. Here, the opening 14 is
As described above, the width that opens toward both sides (the height in the protruding direction of the curved portion 13) has a gradually reduced shape. The opening 14 has a height wider than d 3 in the direction orthogonal to the projecting direction of the curved portion 13. For this reason, the minimum width of the foreign matter that can be reliably captured by the opening 14 is the opening 1.
Than the height d 3 of 4 those greater. By the way, the length of the foreign material is the opening 14.
Longer than the height d 3, but that its width has a shorter elongated shape than the height d 3 of the opening 14, there is a possibility to pass through the opening 14. Of course, depending on the direction of the foreign matter, it can be captured by the opening 14.

このように、本実施形態のフィルター１０によれば、異物Ｘを隣り合う湾曲部１３の間
で捕捉した後、隣り合う湾曲部１３の間を通過した異物を開口部１４で捕捉することがで
きる。すなわち、２回に分けて異なる大きさの異物を捕捉することができる。 Thus, according to the filter 10 of the present embodiment, after the foreign matter X is captured between the adjacent curved portions 13, the foreign matter that has passed between the adjacent curved portions 13 can be captured at the opening 14. . That is, foreign substances of different sizes can be captured in two steps.

もちろん、湾曲部１３の突出方向における開口部１４の高さｄ３を、隣り合う湾曲部１
３の間隔ｄ１よりも大きくしてもよい。この場合には、隣り合う湾曲部１３の間隔ｄ１を
通過した異物は、開口部１４で捕捉することはできないが、このようなフィルターであっ
ても、貫通孔１２の大きさに拘わらず、貫通孔１２よりも小さな異物を捕捉することが可
能であり、異物の捕捉率を高めて、流路抵抗を小さくすることができる。 Of course, the height d 3 of the opening 14 in the projecting direction of the bending portion 13 is set to the adjacent bending portion 1.
The interval d 1 may be larger than 3. In this case, the foreign matter having passed through the distance d 1 of the curved portion 13 adjacent, but can not be caught by the opening 14, even in such a filter, regardless of the size of the through-hole 12, A foreign substance smaller than the through-hole 12 can be captured, and the capture rate of the foreign substance can be increased and the flow path resistance can be reduced.

また、上述のように、フィルター１０は、貫通孔１２の開口面積に拘わらず、開口部１
４の開口面積（高さｄ３）や、湾曲部１３の間隔ｄ１によって捕捉できる異物の大きさが
決定される。例えば、貫通孔１２の開口を数十μｍ四方としたとしても、湾曲部１３の高
さ（開口部１４の最も高い開口幅）を５μｍ程度とすれば、１０μｍ程度の大きさの異物
を確実に捕捉することができる。したがって、捕捉する異物の大きさに拘わらず、比較的
大きな開口面積を有する貫通孔１２を形成しても、貫通孔１２よりも小さな異物を捕捉す
るフィルター１０を製造することができるため、フィルター１０の製造が容易となる。 Further, as described above, the filter 10 has the opening 1 regardless of the opening area of the through hole 12.
The size of the foreign matter that can be captured is determined by the opening area (height d 3 ) of 4 and the distance d 1 of the curved portion 13. For example, even if the opening of the through-hole 12 is several tens of μm square, if the height of the curved portion 13 (the highest opening width of the opening 14) is about 5 μm, a foreign substance having a size of about 10 μm can be reliably obtained. Can be captured. Therefore, even if the through hole 12 having a relatively large opening area is formed regardless of the size of the foreign matter to be captured, the filter 10 that captures a foreign matter smaller than the through hole 12 can be manufactured. Is easy to manufacture.

なお、フィルター１０は、例えば、流路部材１に熱溶着や超音波溶着などによって固定
することができる。本実施形態では、上流路７の内径が、下流路８の内径よりも大きく、
上流路７と下流路８との間に段差が設けられているため、フィルター１０を段差（下流部
材４）に固定している。勿論、フィルター１０の固定方法は特にこれに限定されず、例え
ば、フィルター１０を接着剤等で接着するようにしてもよく、また、上流部材３と下流部
材４との間でフィルター１０を挟持させるようにしてもよい。 The filter 10 can be fixed to the flow path member 1 by, for example, heat welding or ultrasonic welding. In this embodiment, the inner diameter of the upper flow path 7 is larger than the inner diameter of the lower flow path 8,
Since a step is provided between the upper flow path 7 and the lower flow path 8, the filter 10 is fixed to the step (downstream member 4). Of course, the fixing method of the filter 10 is not particularly limited, and for example, the filter 10 may be bonded with an adhesive or the like, and the filter 10 is sandwiched between the upstream member 3 and the downstream member 4. You may do it.

ここで、このようなフィルター１０の製造方法について説明する。なお、図６は、フィ
ルターの製造方法を示す図である。 Here, the manufacturing method of such a filter 10 is demonstrated. In addition, FIG. 6 is a figure which shows the manufacturing method of a filter.

図６に示すように、フィルター１０の製造に用いる金型装置５０は、平板状の下受けダ
イ５１と、下受けダイ５１の上部にパンチ５３が設けられている。また、下受けダイ５１
のパンチ５３側の上面には、軟質材としてのＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート：高分
子材料）からなる軟質部材５４が設けられている。 As shown in FIG. 6, the mold apparatus 50 used for manufacturing the filter 10 includes a flat plate-shaped lower receiving die 51 and a punch 53 provided on the upper portion of the lower receiving die 51. Also, the receiving die 51
A soft member 54 made of PET (polyethylene terephthalate: polymer material) as a soft material is provided on the upper surface of the punch 53 side.

パンチ５３は、四角柱形状を基本として、先端を側面方向から見た際に台形状となるよ
うに一対の角部を切り欠いた形状を有する。すなわち、パンチ５３の先端部には、先端面
５３ａと、先端面５３ａに対して垂直な２つの側面５３ｂと、先端面５３ａに対して傾斜
して設けられた２つの傾斜面５３ｃとが形成されている。このようなパンチ５３の先端面
５３ａの面積は、フィルター１０の貫通孔１２の開口面積に対応している。そして、パン
チ５３の先端部が軟質部材５４に挿入されるようになっている。なお、下受けダイ５１の
軟質部材５４側の表面は凹凸がなく平坦であるため、軟質部材５４に多数の基板１１の一
部（湾曲部１３）を押しこむ際に、押し込み量を均一にすることができる。 The punch 53 basically has a quadrangular prism shape, and has a shape in which a pair of corners are cut out so as to be trapezoidal when the tip is viewed from the side. In other words, the front end portion of the punch 53 is formed with a front end surface 53a, two side surfaces 53b perpendicular to the front end surface 53a, and two inclined surfaces 53c provided to be inclined with respect to the front end surface 53a. ing. The area of the front end surface 53 a of the punch 53 corresponds to the opening area of the through hole 12 of the filter 10. The tip of the punch 53 is inserted into the soft member 54. Since the surface of the receiving die 51 on the side of the soft member 54 is flat without any irregularities, the amount of pressing is made uniform when a part of the large number of substrates 11 (curved portions 13) is pressed into the soft member 54. be able to.

なお、軟質部材５４に用いる軟質材の高分子材料としては、例えば、ＰＣ（ポリカーボ
ネート）、ＰＯＭ（ポリアセタール）、ＡＢＳ（ＡＢＳ樹脂）、ＰＰＳ（ポリフェニレン
サルファイド）等を用いることも可能である。軟質部材５４の硬さは、基板１１の厚さや
貫通孔の大きさ、ピッチ等により適宜選択することが可能である。 In addition, as a polymeric material of the soft material used for the soft member 54, it is also possible to use PC (polycarbonate), POM (polyacetal), ABS (ABS resin), PPS (polyphenylene sulfide), etc., for example. The hardness of the soft member 54 can be appropriately selected depending on the thickness of the substrate 11, the size of the through holes, the pitch, and the like.

このような金型装置５０を用いてフィルター１０の製造を行うには、図６（ｂ）に示す
ように、軟質部材５４上に基板１１を載置し、基板１１にパンチ５３の先端部を押し付け
ることで貫通孔１２を形成すると共に湾曲部１３を形成する。具体的には、パンチ５３の
先端部を、傾斜面５３ｃの途中まで基板１１に押し込むことで、パンチ５３の垂直な側面
５３ｂで基板１１をせん断し、傾斜面５３ｃで基板１１をせん断することなく湾曲させて
湾曲部１３を形成する。すなわち、傾斜面５３ｃと先端面５３ａとで基板１１を湾曲させ
ることで湾曲部１３が形成されるため、形成したい湾曲部１３の形状に合わせて、パンチ
５３の傾斜面５３ｃの角度や先端面５３ａの面積を適宜決定すればよい。また、貫通孔１
２の開口面積は、パンチ５３の先端面５３ａの大きさ、傾斜面５３ｃの傾斜角度及びパン
チ５３の基板１１への押し込み量によって決まる。なお、貫通孔１２の開口面積を決定す
る主な要素はパンチ５３の先端面５３ａの大きさである。 In order to manufacture the filter 10 using such a mold apparatus 50, as shown in FIG. 6B, the substrate 11 is placed on the soft member 54, and the tip of the punch 53 is placed on the substrate 11. By pressing, the through hole 12 is formed and the curved portion 13 is formed. Specifically, by pushing the tip of the punch 53 into the substrate 11 partway along the inclined surface 53c, the substrate 11 is sheared by the vertical side surface 53b of the punch 53, and the substrate 11 is not sheared by the inclined surface 53c. The curved portion 13 is formed by bending. That is, since the curved portion 13 is formed by bending the substrate 11 with the inclined surface 53c and the distal end surface 53a, the angle of the inclined surface 53c of the punch 53 and the distal end surface 53a are matched to the shape of the curved portion 13 to be formed. The area may be determined as appropriate. Also, the through hole 1
2 is determined by the size of the front end surface 53a of the punch 53, the inclination angle of the inclined surface 53c, and the amount by which the punch 53 is pushed into the substrate 11. The main factor that determines the opening area of the through-hole 12 is the size of the tip surface 53 a of the punch 53.

また、パンチ５３の基板１１への押し込み量によって、開口部１４の開口高さｄ２が決
定するが、パンチ５３の押し込み量は、側面５３ｂによって基板１１をせん断して開口部
１４を形成できる程度である必要がある。すなわち、パンチ５３の押し込み量が少なすぎ
ると、パンチ５３の側面５３ｂで基板１１をせん断することができずに開口部１４が形成
されない場合がある。 The degree by pressing amount of the substrate 11 of the punch 53, but opening height d 2 of the opening 14 is determined, push-in amount of the punch 53, which can form the opening 14 by shearing the substrate 11 by the sides 53b Need to be. That is, if the pressing amount of the punch 53 is too small, the substrate 11 cannot be sheared by the side surface 53b of the punch 53, and the opening 14 may not be formed.

その後は、基板１１全体をメッキすることで、図３に示すような、メッキ層１５を形成
する。本実施形態では、電解メッキによってニッケル（Ｎｉ）のメッキ層１５を形成した
。このメッキ層１５によって開口部１４の開口高さｄ３が決定される。 Thereafter, the entire substrate 11 is plated to form a plating layer 15 as shown in FIG. In this embodiment, the nickel (Ni) plating layer 15 is formed by electrolytic plating. The plating layer 15 determines the opening height d 3 of the opening 14.

このようなフィルター１０では、貫通孔１２の大きさに拘わらず、開口部１４の開口高
さｄ３及び隣り合う湾曲部１３の間隔ｄ１によって捕捉できる異物の大きさが決まるため
、比較的小さな異物を捕捉するフィルター１０を大きな開口面積を有する貫通孔１２で形
成することができる。すなわち、上述のように、捕捉できる異物の大きさを決定する開口
部１４の高さｄ３は、パンチ５３の押し込み量とメッキ層１５の厚さによって決まり、貫
通孔１２の主な大きさはパンチ５３の先端面５３ａの大きさによって決まるため、パンチ
５３として太い（先端面５３ａの面積の大きな）ものを用いることができる。したがって
、パンチ５３として比較的太く剛性の高いものを用いることで、パンチ５３の湾曲や折れ
などの破損が発生することによる頻繁な交換が不要となり、コストを低減することができ
る。なお、開口面積の小さな貫通孔１２を形成するためのパンチ５３は細く、剛性が低い
ことから頻繁に湾曲や折れが発生するため、交換が頻繁となり高コストになってしまうた
め、パンチ５３の細さには限界があり、微小な貫通孔１２を形成するのは困難である。そ
して、湾曲部１３を設けずに貫通孔だけを設けたフィルターでは、微小な異物を捕捉する
ものを形成するのは困難である。これに対して、本実施形態では、パンチ５３の太さに関
係なく、パンチ５３の押し込み量とメッキ層１５の厚さだけで、開口部１４の開口高さｄ
３を設定することができるため、微細な異物を捕捉するフィルター１０を低コストで容易
に形成することができる。 In such a filter 10, the size of the foreign matter that can be captured is determined by the opening height d 3 of the opening 14 and the distance d 1 between the adjacent curved portions 13, regardless of the size of the through hole 12. The filter 10 that captures foreign matter can be formed by the through-hole 12 having a large opening area. That is, as described above, the height d 3 of the opening 14 that determines the size of the foreign matter that can be captured is determined by the amount of punch 53 pressed and the thickness of the plating layer 15, and the main size of the through hole 12 is Since it is determined by the size of the front end surface 53a of the punch 53, a thick punch 53 (having a large area of the front end surface 53a) can be used. Therefore, by using a relatively thick and highly rigid punch 53, frequent replacement due to the occurrence of damage such as bending or bending of the punch 53 becomes unnecessary, and the cost can be reduced. The punch 53 for forming the through-hole 12 having a small opening area is thin and has low rigidity, and therefore frequently bends and bends. Therefore, replacement is frequent and high cost. Therefore, it is difficult to form the minute through hole 12. In addition, it is difficult to form a filter that has only through holes without providing the curved portion 13 and that captures minute foreign matter. On the other hand, in the present embodiment, the opening height d of the opening 14 is determined only by the pressing amount of the punch 53 and the thickness of the plating layer 15 regardless of the thickness of the punch 53.
3 can be set, it is possible to easily form the filter 10 for capturing fine foreign matters at low cost.

また、本実施形態では、開口部１４の開口高さｄ３をメッキ層１５の厚さで調整するこ
とができるため、寸法精度を高めて捕捉目標となる異物の大きさに合わせた開口部１４を
形成することができる。また、比較的大きな開口部１４を形成してもよいため、パンチ５
３によって確実に形成できる大きさの開口部１４を容易に形成することができ、歩留まり
を向上することができる。 Further, in the present embodiment, it is possible to adjust the opening height d 3 of the opening 14 in the thickness of the plating layer 15, openings 14 corresponding to the size of the foreign matter to be trapped target to increase the dimensional accuracy Can be formed. Further, since a relatively large opening 14 may be formed, the punch 5
3, the opening 14 having a size that can be reliably formed can be easily formed, and the yield can be improved.

なお、パンチ５３によって押し出された基板１１の湾曲部１３は、軟質部材に挿入され
る。このため、下受けダイ５１側にパンチ５３の先端部を受けるための凹部を設けること
なく、貫通孔１２、湾曲部１３及び開口部１４を形成することが可能になる。 The curved portion 13 of the substrate 11 pushed out by the punch 53 is inserted into the soft member. For this reason, it is possible to form the through hole 12, the curved portion 13, and the opening 14 without providing a recess for receiving the tip of the punch 53 on the lower receiving die 51 side.

このように、上述した金型装置５０を用いることで、湾曲部１３を軟質部材５４の内部
に留めて貫通孔１２、湾曲部１３及び開口部１４を形成することで、下受けダイ５１にパ
ンチ５３の先端部を受ける凹部を形成する必要がなくなる。したがって、パンチ５３の先
端部と凹部との位置合わせが不要になり、貫通孔１２及び湾曲部１３が形成されたフィル
ター１０を容易に製造することができる。 In this way, by using the mold device 50 described above, the bending portion 13 is held inside the soft member 54 to form the through hole 12, the bending portion 13, and the opening portion 14, thereby punching the lower receiving die 51. There is no need to form a recess for receiving the tip of 53. Therefore, it is not necessary to align the tip portion of the punch 53 with the concave portion, and the filter 10 in which the through hole 12 and the curved portion 13 are formed can be easily manufactured.

ちなみに、フィルター１０は、一枚の基板１１に複数個一体的に形成された後、１枚の
フィルター１０のサイズに打ち抜く（切り抜く）ことで形成することができる。 Incidentally, a plurality of the filters 10 can be formed by being integrally formed on a single substrate 11 and then punched out (cut out) to the size of the single filter 10.

なお、上述した例では、１つのパンチ５３を例示したが、特にこれに限定されず、複数
本のパンチ５３が湾曲部１３の間隔ｄ１のピッチ又はそれと直交する方向のピッチで並設
されたものを用いるようにしてもよい。勿論、パンチ５３の形状は、四角柱状に限定され
ず、円柱形状、楕円形状等であってもよい。 In the above-described example, one punch 53 is illustrated. However, the present invention is not particularly limited thereto, and a plurality of punches 53 are arranged in parallel at a pitch of the interval d 1 of the curved portions 13 or a pitch in a direction perpendicular thereto. You may make it use a thing. Of course, the shape of the punch 53 is not limited to a quadrangular prism shape, and may be a cylindrical shape, an elliptical shape, or the like.

さらに、上述した流路部材１は、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘ
ッド等に用いることができる。ここで、インクジェット式記録ヘッドについて説明する。
なお、図７は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式
記録ヘッドの分解斜視図であり、図８は、その断面図である。 Furthermore, the above-described flow path member 1 can be used for an ink jet recording head which is an example of a liquid ejecting head. Here, the ink jet recording head will be described.
FIG. 7 is an exploded perspective view of an ink jet recording head that is an example of the liquid jet head according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 8 is a cross-sectional view thereof.

図７及び図８に示すように、インクジェット式記録ヘッド１００（以下、記録ヘッド１
００とも言う）を構成するヘッドホルダーの一例であるカートリッジケース１１１は、イ
ンクが貯留された貯留手段の一例であるインクカートリッジ（図示なし）が装着されるカ
ートリッジ装着部１１２を有する。例えば、本実施形態では、このカートリッジ装着部１
１２に、ブラックインク及び複数色のカラーインクが充填された各インクカートリッジが
それぞれ装着されるようになっている。また、カートリッジケース１１１の底面には、一
端が各カートリッジ装着部１１２に開口し、他端が後述するヘッドケース側に開口する複
数のインク連通路１１３がそれぞれ形成された管状の流路形成部１１４が突設されている
（図８参照）。 As shown in FIGS. 7 and 8, an ink jet recording head 100 (hereinafter, recording head 1).
The cartridge case 111, which is an example of a head holder that constitutes “00”, includes a cartridge mounting portion 112 in which an ink cartridge (not shown), which is an example of a storage unit that stores ink, is mounted. For example, in this embodiment, the cartridge mounting portion 1
12, each ink cartridge filled with black ink and a plurality of color inks is mounted. Further, a tubular flow path forming portion 114 in which a plurality of ink communication passages 113 each having one end opened to each cartridge mounting portion 112 and the other end opened to the head case side described later is formed on the bottom surface of the cartridge case 111. Is protruded (see FIG. 8).

カートリッジケース１１１の上面側、すなわち、カートリッジ装着部１１２のインク連
通路１１３の開口部分には、インクカートリッジに挿入される複数のインク供給針１１５
が、インク内の気泡や異物を除去するためのフィルター１０を介して固定されている。す
なわち、本実施形態では、カートリッジケース１１１とインク供給針１１５とが、上述し
た流路部材１に相当する。特に、インク供給針１１５が上流部材３に相当し、カートリッ
ジケース１１１が下流部材４に相当する。また、フィルター１０は、上述した流路部材１
のフィルター１０と同じものであるため重複する説明は省略する。 A plurality of ink supply needles 115 inserted into the ink cartridge are provided on the upper surface side of the cartridge case 111, that is, on the opening portion of the ink communication path 113 of the cartridge mounting portion 112.
However, it is fixed through a filter 10 for removing bubbles and foreign matters in the ink. That is, in the present embodiment, the cartridge case 111 and the ink supply needle 115 correspond to the above-described flow path member 1. In particular, the ink supply needle 115 corresponds to the upstream member 3, and the cartridge case 111 corresponds to the downstream member 4. Further, the filter 10 includes the above-described flow path member 1.
Since it is the same as the filter 10 in FIG.

カートリッジケース１１１の下面側には、シール部材１１７及び回路基板１１８を挟ん
で、ヘッド部材１１９が固定されている。本実施形態に係るヘッド部材１１９は、複数の
圧電素子を有する圧電素子ユニット１２０を収容するための中空箱体状の部材であるヘッ
ドケース１２１と、このヘッドケース１２１のカートリッジケース１１１とは反対側の端
面に固定されるヘッド本体１２２とで構成されている。ヘッド本体１２２は、複数のノズ
ル１２３が穿設されたノズルプレート１２４と、ノズル１２３に連通する圧力発生室１２
５を含む流路が形成された流路形成基板１２６と、流路形成基板１２６のノズルプレート
１２４とは反対面側に配される振動板１２７とで構成されている。これらノズルプレート
１２４及び振動板１２７と流路形成基板１２６とはそれぞれ接着剤によって接合されてい
る。またヘッドケース１２１には、一端側が圧力発生室１２５に連通すると共に他端側が
カートリッジケース１１１のインク連通路１１３に連通するインク供給路１２８が設けら
れている。インク連通路１１３とインク供給路１２８との接続部分は、シール部材１１７
によって密封されている。 A head member 119 is fixed to the lower surface side of the cartridge case 111 with the seal member 117 and the circuit board 118 interposed therebetween. The head member 119 according to the present embodiment includes a head case 121 that is a hollow box-shaped member for housing a piezoelectric element unit 120 having a plurality of piezoelectric elements, and a side opposite to the cartridge case 111 of the head case 121. The head main body 122 is fixed to the end face of the head. The head body 122 includes a nozzle plate 124 in which a plurality of nozzles 123 are formed, and a pressure generation chamber 12 that communicates with the nozzles 123.
5 is formed of a flow path forming substrate 126 in which a flow path including 5 is formed, and a vibration plate 127 disposed on the surface of the flow path forming substrate 126 opposite to the nozzle plate 124. The nozzle plate 124 and the vibration plate 127 and the flow path forming substrate 126 are bonded to each other by an adhesive. The head case 121 is provided with an ink supply path 128 having one end communicating with the pressure generating chamber 125 and the other end communicating with the ink communicating path 113 of the cartridge case 111. A connecting portion between the ink communication path 113 and the ink supply path 128 is a seal member 117.
Is sealed by.

このようにカートリッジケース１１１の下面側に、シール部材１１７、回路基板１１８
、ヘッド部材１１９を構成するヘッドケース１２１及びヘッド本体１２２の順で配し、こ
れら各部材の外側にヘッド本体１２２のノズル１２３を露出する窓部１２９を有する枠体
１３０をはめ込み、ネジ１３１によってカートリッジケース１１１に固定することで、イ
ンクジェット式記録ヘッド１００が形成される。 As described above, the seal member 117 and the circuit board 118 are provided on the lower surface side of the cartridge case 111.
The head case 121 constituting the head member 119 and the head main body 122 are arranged in this order, and a frame body 130 having a window portion 129 for exposing the nozzle 123 of the head main body 122 is fitted on the outside of each member, and the cartridge 131 is inserted by screws 131. By fixing to the case 111, the ink jet recording head 100 is formed.

なお、インクジェット式記録ヘッド１００にフィルター１０を設ける場合には、フィル
ター１０の湾曲部１３の突出方向における開口部１４の開口高さをノズル１２３の内径よ
りも小さくするのが好ましい。これにより、ノズル１２３を目詰まりさせる異物を、フィ
ルター１０の開口部１４で捕捉することができ、ノズル１２３の目詰まりを抑制すること
ができる。勿論、フィルター１０の隣り合う湾曲部１３の間隔ｄ１をノズル１２３の内径
よりも小さくしてもよい。 When the filter 10 is provided in the ink jet recording head 100, it is preferable that the opening height of the opening 14 in the protruding direction of the curved portion 13 of the filter 10 is smaller than the inner diameter of the nozzle 123. Thereby, the foreign substance which clogs the nozzle 123 can be caught by the opening part 14 of the filter 10, and clogging of the nozzle 123 can be suppressed. Of course, the distance d 1 between the adjacent curved portions 13 of the filter 10 may be smaller than the inner diameter of the nozzle 123.

そして、このようなインクジェット式記録ヘッド１００は、液体噴射装置であるインク
ジェット式記録装置に搭載される。ここで、インクジェット式記録装置について説明する
。なお、図９は、本発明の液体噴射装置の一例であるインクジェット式記録装置の概略斜
視図である。 Such an ink jet recording head 100 is mounted on an ink jet recording apparatus which is a liquid ejecting apparatus. Here, the ink jet recording apparatus will be described. FIG. 9 is a schematic perspective view of an ink jet recording apparatus which is an example of the liquid ejecting apparatus of the invention.

図９に示すように、本実施形態の液体噴射装置であるインクジェット式記録装置２００
は、例えば、ブラック（Ｂ）、シアン（Ｃ）、マゼンダ（Ｍ）、イエロー（Ｙ）等の複数
の異なる色のインクが貯留される貯留室を有するインクカートリッジ（液体貯留手段）２
０２が装着されたインクジェット式記録ヘッド１００（以下、記録ヘッド）を具備する。
記録ヘッド１００はキャリッジ２０３に搭載されており、記録ヘッド１００が搭載された
キャリッジ２０３は、装置本体２０４に取り付けられたキャリッジ軸２０５に軸方向移動
自在に設けられている。そして、駆動モーター２０６の駆動力が図示しない複数の歯車お
よびタイミングベルト２０７を介してキャリッジ２０３に伝達されることで、キャリッジ
２０３はキャリッジ軸２０５に沿って移動される。一方、装置本体２０４にはキャリッジ
軸２０５に沿ってプラテン２０８が設けられており、図示しない給紙装置等により給紙さ
れた紙等の被記録媒体Ｓがプラテン２０８上を搬送されるようになっている。 As shown in FIG. 9, an ink jet recording apparatus 200 that is a liquid ejecting apparatus of the present embodiment.
Is an ink cartridge (liquid storage means) 2 having storage chambers for storing a plurality of different color inks such as black (B), cyan (C), magenta (M), yellow (Y), etc.
Ink-jet recording head 100 (hereinafter referred to as recording head) to which 02 is mounted.
The recording head 100 is mounted on a carriage 203, and the carriage 203 on which the recording head 100 is mounted is provided on a carriage shaft 205 attached to the apparatus main body 204 so as to be axially movable. Then, the driving force of the driving motor 206 is transmitted to the carriage 203 via a plurality of gears and a timing belt 207 (not shown), so that the carriage 203 is moved along the carriage shaft 205. On the other hand, the apparatus main body 204 is provided with a platen 208 along the carriage shaft 205 so that a recording medium S such as paper fed by a paper feeding device (not shown) is conveyed on the platen 208. ing.

なお、上述した例では、カートリッジケース及びインク供給針からなる流路部材１が設
けられたインクジェット式記録ヘッド１００を具備するインクジェット式記録装置２００
について説明したが、特にこれに限定されず、例えば、インクジェット式記録ヘッド１０
０とは別に上述した流路部材１と同等の流路部材を有するインクジェット式記録装置であ
ってもよい。このような例としては、例えば、インクタンク等のインク貯留手段が、キャ
リッジ２０３に搭載されずに、装置本体に保持されて、インク貯留手段がインクジェット
式記録ヘッド１００と供給管を介して接続されている場合などに、インク貯留手段や供給
管の途中に流路部材が設けられていてもよい。 In the above-described example, the ink jet recording apparatus 200 including the ink jet recording head 100 provided with the flow path member 1 including the cartridge case and the ink supply needle.
However, the present invention is not particularly limited thereto. For example, the ink jet recording head 10
In addition to 0, an ink jet recording apparatus having a flow path member equivalent to the flow path member 1 described above may be used. As an example of this, for example, ink storage means such as an ink tank is not mounted on the carriage 203 but is held by the apparatus main body, and the ink storage means is connected to the ink jet recording head 100 via a supply pipe. In such a case, a flow path member may be provided in the middle of the ink storing means or the supply pipe.

（他の実施形態）
以上、本発明の一実施形態を説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定さ
れるものではない。 (Other embodiments)
As mentioned above, although one Embodiment of this invention was described, the basic composition of this invention is not limited to what was mentioned above.

例えば、上述した実施形態１では、フィルター１０の湾曲部１３に、相対向する２つの
開口部１４を設けるようにしたが、特にこれに限定されない。ここで、その他の例を図１
０に示す。なお、図１０は、他の実施形態に係るフィルターの平面図、断面図及び要部を
拡大した斜視図である。 For example, in the first embodiment described above, the two opening portions 14 facing each other are provided in the curved portion 13 of the filter 10, but the present invention is not particularly limited thereto. Here, another example is shown in FIG.
0. FIG. 10 is a plan view, a cross-sectional view, and an enlarged perspective view of a main part of a filter according to another embodiment.

図１０に示すように、フィルター１０Ａは、流入面１０ａ側に突出する複数の湾曲部１
３Ａが形成された基板１１と、湾曲部１３Ａに設けられて基板１１の面方向に開口する１
つの開口部１４と、具備する。また、基板１１の開口部１４の周囲、本実施形態では、基
板１１の全面に亘ってメッキ層１５が形成されている。このような構成であっても、上述
した実施形態１と同様に、流路抵抗が低く、異物の捕捉率を向上することができる。 As shown in FIG. 10, the filter 10 </ b> A includes a plurality of curved portions 1 that protrude toward the inflow surface 10 a.
A substrate 11 on which 3A is formed, and 1 provided on the curved portion 13A and opening in the surface direction of the substrate 11
And two openings 14. In addition, the plating layer 15 is formed around the opening 14 of the substrate 11 and over the entire surface of the substrate 11 in this embodiment. Even with such a configuration, similarly to the first embodiment described above, the flow path resistance is low, and the foreign matter capture rate can be improved.

すなわち、開口部１４の数や位置等は、上述したものに限定されるものではなく、１つ
の湾曲部１３に３以上の開口部１４が設けられていてもよく、また、２つの開口部１４が
相対向しないように配置してもよい。 That is, the number, position, and the like of the openings 14 are not limited to those described above, and three or more openings 14 may be provided in one bending portion 13, and two openings 14 may be provided. May be arranged so as not to face each other.

さらに、上述した例では、メッキ層１５を基板１１の全面に亘って形成するようにした
が、メッキ層１５は、少なくとも開口部１４の周囲に亘って形成されていれば、上述した
実施形態１と同様の効果を奏することができる。例えば、メッキ層１５が、基板１１の流
路部材１に溶着される領域に形成しないように、すなわち、基板１１の流路部材１に溶着
される領域以外にメッキ層１５を形成してもよい。本実施形態では、基板１１の流路部材
１に溶着される領域は、基板１１の外周側の周囲に亘った領域である。このように、メッ
キ層１５を設けていない領域では、開口部１４の開口高さがｄ２となってメッキ層１５を
設けた開口部１４の開口高さｄ３よりも大きくなるため、フィルター１０、１０Ａを流路
部材１等に溶着する際に、溶融した樹脂が開口部１４を介してフィルター１０、１０Ａの
表面に流出しやすく、流路部材１にフィルター１０、１０Ａを短時間で且つ大きな接合力
で溶着することができる。 Furthermore, in the above-described example, the plating layer 15 is formed over the entire surface of the substrate 11. However, if the plating layer 15 is formed at least around the periphery of the opening 14, the above-described first embodiment. The same effect can be achieved. For example, the plating layer 15 may be formed not to be formed in a region where the plating layer 15 is welded to the flow path member 1 of the substrate 11, that is, other than a region where the plating layer 15 is welded to the flow path member 1. . In the present embodiment, the region welded to the flow path member 1 of the substrate 11 is a region extending around the periphery of the substrate 11. Thus, in the region where the plating layer 15 is not provided, the opening height of the opening 14 is d 2 and is larger than the opening height d 3 of the opening 14 provided with the plating layer 15. When 10A is welded to the flow path member 1 or the like, the melted resin tends to flow out to the surface of the filter 10 or 10A through the opening 14, and the filter 10 or 10A is placed in the flow path member 1 in a short time. It can be welded with a bonding force.

また、上述した実施形態１及び図１０に示す例では、フィルター１０、１０Ａには、基
板１１の流入面１０ａ側に突出する湾曲部１３、１３Ａを設けるようにしたが、特にこれ
に限定されず、例えば、湾曲部１３、１３Ａを基板１１の流出面１０ｂ側に突出するよう
に設けてもよい。このような湾曲部１３、１３Ａが流出面１０ｂ側に突出した構成であっ
ても、流路抵抗を小さくすると共に、開口部１４の開口高さｄ３を小さくして捕捉率を向
上することができるという効果については同様である。 In the example shown in Embodiment 1 and FIG. 10 described above, the filters 10 and 10A are provided with the curved portions 13 and 13A protruding toward the inflow surface 10a side of the substrate 11, but the invention is not particularly limited thereto. For example, you may provide the curved parts 13 and 13A so that it may protrude in the outflow surface 10b side of the board | substrate 11. FIG. Be configured such curved portions 13,13A is projected on the outflow surface 10b side, thereby reducing the flow resistance, it is possible to improve the capture rate by reducing the opening height d 3 of the opening 14 The effect of being able to do the same.

さらに、例えば、上述した実施形態１では、フィルター１０として、隣り合う湾曲部１
３が開口部１４同士を相対向させるように配置したが、特にこれに限定されず、例えば、
隣り合う湾曲部１３の開口部１４同士を半ピッチ分ずらして配置するようにしてもよい。
すなわち、湾曲部１３が千鳥配置となるようにしてもよい。 Further, for example, in the above-described first embodiment, the adjacent curved portion 1 is used as the filter 10.
3 is arranged so that the openings 14 face each other, but is not particularly limited thereto, for example,
You may make it arrange | position the opening parts 14 of the adjacent curved part 13 mutually shifted by a half pitch.
That is, you may make it the curved part 13 become staggered arrangement | positioning.

また、本発明の流路部材は、インクジェット式記録ヘッドに代表される液体噴射ヘッド
や、インクジェット式記録装置に代表される液体噴射装置に搭載されるだけではなく、そ
の他の装置に搭載されていてもよい。また、流路部材に用いるフィルターとしては、上述
した流路部材やインクジェット式記録ヘッド等に用いるだけではなく、その他の流路部材
等に用いることもできる。 In addition, the flow path member of the present invention is mounted not only on a liquid ejecting head typified by an ink jet recording head or a liquid ejecting apparatus typified by an ink jet recording apparatus, but also on other devices. Also good. Moreover, as a filter used for a flow path member, it can be used not only for the flow path member and the ink jet recording head described above but also for other flow path members.

Ｘ 異物、 １ 流路部材、 ２ 流路部材本体、 ３ 上流部材、 ４ 下流部材、
６ 流路、 ７ 上流路、 ８ 下流路、 １０，１０Ａ フィルター、 １１ 基板
、 １２ 貫通孔、 １３，１３Ａ 湾曲部、 １４ 開口部、 １５ メッキ層、
５０ 金型装置、 ５１ 下受けダイ、 ５３ パンチ、 ５４ 軟質部材、 １００
インクジェット式記録ヘッド（液体噴射ヘッド）、 １１１ カートリッジケース、 １
１２ カートリッジ装着部、 １１３ インク連通路、 １１４ 流路形成部、 １１５
インク供給針、 １１７ シール部材、 １１８ 回路基板、 １１９ ヘッド部材、
１２０ 圧電素子ユニット、 １２１ ヘッドケース、 １２２ ヘッド本体、 １２
３ ノズル、 １２４ ノズルプレート、 １２５ 圧力発生室、 １２６ 流路形成基
板、 １２７ 振動板、 １２８ インク供給路、 １２９ 窓部、 １３０ 枠体、
１３１ ネジ、 ２００ インクジェット式記録装置（液体噴射装置） X foreign matter, 1 flow path member, 2 flow path member main body, 3 upstream member, 4 downstream member,
6 channel, 7 upper channel, 8 lower channel, 10, 10A filter, 11 substrate, 12 through-hole, 13, 13A curved portion, 14 opening, 15 plating layer,
50 Die equipment, 51 Substrate die, 53 Punch, 54 Soft member, 100
Inkjet recording head (liquid ejecting head), 111 cartridge case, 1
12 cartridge mounting part, 113 ink communication path, 114 flow path forming part, 115
Ink supply needle, 117 seal member, 118 circuit board, 119 head member,
120 piezoelectric element unit, 121 head case, 122 head body, 12
3 nozzles, 124 nozzle plates, 125 pressure generating chambers, 126 flow path forming substrates, 127 diaphragms, 128 ink supply paths, 129 windows, 130 frames,
131 screw, 200 ink jet recording apparatus (liquid ejecting apparatus)

Claims (7)

流体が通過する流路が設けられた流路部材本体と、該流路部材本体に固定されて前記流
体中に存在する異物を捕捉するフィルターと、を具備し、
前記フィルターは、流体の流入面及び流出面を有すると共に、前記流入面及び前記流出
面のうち少なくとも一方に向けて突出するように形成された複数の湾曲部を有する基板と
、
前記湾曲部の突出方向とは異なる方向を向くように当該湾曲部に形成され、前記基板の
前記流入面と前記流出面とを連通する開口部と、を備え、
少なくとも前記基板の前記開口部の周囲には、メッキ層が形成されていることを特徴と
する流路部材。 A flow path member main body provided with a flow path through which a fluid passes, and a filter that is fixed to the flow path member main body and captures foreign substances present in the fluid,
The filter has a fluid inflow surface and an outflow surface, and a substrate having a plurality of curved portions formed to protrude toward at least one of the inflow surface and the outflow surface;
An opening that is formed in the curved portion so as to face a direction different from the protruding direction of the curved portion, and that communicates the inflow surface and the outflow surface of the substrate;
A flow path member, wherein a plating layer is formed at least around the opening of the substrate. 前記開口部は、前記湾曲部に相対向して２つ設けられていることを特徴とする請求項１
記載の流路部材。 The two openings are provided opposite to the curved portion.
The flow path member described. 前記メッキ層が、金属材料からなることを特徴とする請求項１又は２記載の流路部材。   The flow path member according to claim 1, wherein the plating layer is made of a metal material. 前記フィルターが、前記流路部材本体に溶着されていると共に、前記メッキ層が、前記
フィルターの前記流路部材本体に溶着される領域以外の領域に形成されていることを特徴
とする請求項１〜３の何れか一項に記載の流路部材。 2. The filter is welded to the flow channel member main body, and the plating layer is formed in a region other than a region welded to the flow channel member main body of the filter. The flow path member as described in any one of -3. 請求項１〜４の何れか一項に記載の流路部材を具備することを特徴とする液体噴射ヘッ
ド。 A liquid ejecting head comprising the flow path member according to claim 1. 請求項１〜４の何れか一項に記載の流路部材を具備することを特徴とする液体噴射装置
。 A liquid ejecting apparatus comprising the flow path member according to claim 1. 流体中に存在する異物を捕捉するフィルターであって、
前記フィルターは、流体の流入面及び流出面を有すると共に、前記流入面及び前記流出
面のうち少なくとも一方に向けて突出するように形成された複数の湾曲部を有する基板と
、
前記湾曲部の突出方向とは異なる方向を向くように当該湾曲部に形成され、前記基板の
前記流入面と前記流出面とを連通する開口部と、を備え、
少なくとも前記基板の前記開口部の周囲には、メッキ層が形成されていることを特徴と
するフィルター。 A filter that captures foreign substances present in the fluid,
The filter has a fluid inflow surface and an outflow surface, and a substrate having a plurality of curved portions formed to protrude toward at least one of the inflow surface and the outflow surface;
An opening that is formed in the curved portion so as to face a direction different from the protruding direction of the curved portion, and that communicates the inflow surface and the outflow surface of the substrate;
A filter, wherein a plating layer is formed at least around the opening of the substrate.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2015016650A (en) * 2013-07-12 2015-01-29 株式会社リコー Liquid ejection head and image forming apparatus

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