JP2012060115A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 発光装置であって、
   キャリアと、
   前記キャリアの上に形成され、且つ、前記キャリアに面する第一表面と、前記第一表面に相対する第二表面と、前記第一表面と前記第二表面との間に介在する能動層とを有する発光構造と、
   前記第一表面から延伸して前記能動層を通過し、複数の発光素子を区分する複数の第一トレンチと、
   前記第二表面から延伸して前記複数の発光素子の前記能動層を通過する複数の第二トレンチであって、前記複数の第二トレンチのうち何れか一つは、側壁に形成される絶縁層を含む、複数の第二トレンチと、
   前記複数の発光素子と前記キャリアとの間に形成される接合層と、を含む、発光装置。
2. 前記接合層は、前記キャリアに接続されるベース部と、前記複数の第一トレンチにそれぞれ対応する複数の突出部とを含む、請求項１に記載の発光装置。
3. 前記接合層と前記複数の発光素子との間に位置する誘電層と、
   前記誘電層と前記接合層との間に位置し、前記複数の発光素子に電気接続される導電構造と、をさらに含む、請求項２に記載の発光装置。
4. 前記複数の発光素子のうち何れか一つは、
   前記キャリアと前記能動層との間に介在する第一半導体層と、
   前記能動層の、前記第一半導体層に相対する他方側に位置する第二半導体層であって、前記第一トレンチは、前記第一半導体層から前記第二半導体層まで延伸し、且つ前記第二半導体層を露出させ、前記第二トレンチは、前記第二半導体層を通過し、且つ前記第一半導体層を露出させ、前記導電構造は、前記複数の発光素子のうちの一つの前記第一半導体層と、前記複数の発光素子のうちのもう一つの前記第二半導体層との間に接続される、第二半導体層と、を含み、
   且つ、前記発光素子の前記第一表面に形成され、また前記導電構造に接触する接点を含む、請求項３に記載の発光装置。
5. 前記第二トレンチに充填され、且つ前記第二トレンチの底部に接触する少なくとも一つの導電構造をさらに含む、請求項１に記載の発光装置。
6. 発光装置の製造方法であって、
   基板を提供するステップと、
   前記基板に発光構造を形成するステップであって、前記発光構造は、第一表面と、前記基板に近接する第二表面とを含むステップと、
   前記発光構造の前記第一表面から延伸する複数の第一トレンチを形成し、複数の発光素子を区分するステップと、
   前記基板を除去して前記第二表面を露出させるステップと、
   前記第二表面から複数の第二トレンチを形成するステップと、
   絶縁層を前記複数の第二トレンチに充填するステップと、
   を含む、製造方法。
7. さらに、前記基板を除去する前に、前記第一トレンチの側壁に誘電層を形成し、前記誘電層に前記複数の発光素子と接続される複数の導線を共形的に形成し、前記複数の発光素子の前記第一表面にキャリアを提供し、また、前記複数の発光素子と前記キャリアとの間に接合層を形成するステップを含む、請求項６に記載の製造方法。
8. 前記第二トレンチ中に導電構造を形成するステップをさらに含み、
   前記導電構造は、前記絶縁層を以て前記発光素子と絶縁され、また、前記第二トレンチの底部に接触する、請求項６に記載の製造方法。
9. 前記発光構造は、前記基板に形成される第一半導体層と、前記第一半導体層に形成される能動層と、前記能動層に形成される第二半導体層と、を含み、
   一部の前記第二半導体層及び前記能動層を除去し、前記第一半導体層を露出させることにより、前記第一トレンチを形成し、また、一部の前記第一半導体層及び前記能動層を除去し、前記第二半導体層を露出させることにより、前記第二トレンチを形成し、
   或いは、
   一部の前記第二半導体層及び前記能動層を除去し、前記第一半導体層を露出させることにより、前記第一トレンチを形成し、また、一部の前記第一半導体層を除去し、前記第一トレンチの底部の一部を露出させることにより、前記第二トレンチを形成する、請求項８に記載の製造方法。
10. 発光装置であって、
    キャリアと、
    前記キャリアの上に形成され、且つ、前記キャリアに面する第一表面と、前記第一表面に相対する第二表面と、前記第一表面と前記第二表面との間に介在する能動層とを有する発光構造と、
    前記第一表面から延伸して前記能動層を通過する複数の第一トレンチと、
    前記発光構造の前記第二表面から延伸する複数の第二トレンチと、
    を含み、
    前記第二トレンチは、前記第一トレンチの底部の一部を露出させる、発光装置。