JP2012052888A - Stage device - Google Patents
Stage device Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012052888A JP2012052888A JP2010195033A JP2010195033A JP2012052888A JP 2012052888 A JP2012052888 A JP 2012052888A JP 2010195033 A JP2010195033 A JP 2010195033A JP 2010195033 A JP2010195033 A JP 2010195033A JP 2012052888 A JP2012052888 A JP 2012052888A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- base
- tilt
- rotation
- guide
- adjustment
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
Description
本発明は、X方向、Y方向、Z方向、チルト及び回転方向の位置決めが可能なステージ装置に関する。 The present invention relates to a stage apparatus capable of positioning in the X direction, Y direction, Z direction, tilt, and rotation direction.
従来、X方向、Y方向等の位置決めを行うステージ装置が知られている。例えば、特許文献1には、ガイドローラにて所定軸方向に案内される複数のステージ(ベース)により構成され、超音波モータによってX方向及びY方向の位置決めを行うステージ装置が記載されている。このステージ装置には、各ステージを案内するための仕組みとして、ガイドローラのV溝が鉛直方向に配置されている。これにより、オペレータは、ステージを鉛直上方へ持ち上げて分解し、メンテナンス作業が終了した後にその逆に組み立てればよいから、メンテナンス作業を簡単に行うことができる。 Conventionally, stage devices that perform positioning in the X direction, the Y direction, and the like are known. For example, Patent Document 1 describes a stage device that includes a plurality of stages (bases) guided in a predetermined axial direction by guide rollers and performs positioning in the X direction and the Y direction by an ultrasonic motor. In this stage apparatus, V-grooves of guide rollers are arranged in the vertical direction as a mechanism for guiding each stage. Thus, the operator can simply perform the maintenance work by lifting the stage vertically upward and disassembling and assembling the maintenance work after the maintenance work is completed.
また、特許文献2には、X方向、Y方向、Z方向、チルト及び回転方向の位置決めを行うステージ装置において、超音波モータによって位置決めを行い、ベースプレートの凹部に他のプレートを収容し、チルトプレートの凹部にX軸プレートを収容し、X軸プレートの凹部にY軸プレートを収容した構成が記載されている。このステージ装置のプレートの収容構造及び積層構造により、ステージ全体の小型化及び薄型化を実現することができる。 Further, in Patent Document 2, in a stage device that performs positioning in the X direction, Y direction, Z direction, tilt, and rotation direction, positioning is performed by an ultrasonic motor, and another plate is accommodated in the recess of the base plate, and the tilt plate In which the X-axis plate is accommodated in the recess and the Y-axis plate is accommodated in the recess of the X-axis plate. Due to the plate accommodation structure and the laminated structure of the stage apparatus, the entire stage can be reduced in size and thickness.
前述した特許文献1のステージ装置にはガイドローラが設けられているから、コストがかかってしまい、さらに、厚み方向及び平面方向のサイズが大きくなるから、ステージ装置全体として大型になってしまうという問題があった。また、特許文献2のステージ装置にはガイドローラが設けられておらず、小型化を実現しているが、収容構造をなしているから、ステージ全体として構成が複雑になりコストがかかってしまうという問題があった。 Since the above-described stage apparatus of Patent Document 1 is provided with guide rollers, the cost is increased, and further, the size in the thickness direction and the planar direction increases, so that the entire stage apparatus becomes large. was there. In addition, the stage apparatus of Patent Document 2 is not provided with a guide roller and achieves miniaturization. However, since the housing structure is provided, the configuration of the entire stage becomes complicated and expensive. There was a problem.
また、特許文献1,2のステージ装置は、いずれも超音波モータを用いることにより、電気的に精度高く位置決め調整を行うものであり、例えば、半導体製造工程における露光または電子ビーム描画のために、半導体ウェハを位置決め調整するために使用される。 In addition, the stage apparatuses of Patent Documents 1 and 2 both perform positioning and adjustment with high accuracy by using an ultrasonic motor. For example, for exposure or electron beam drawing in a semiconductor manufacturing process, Used to position and adjust the semiconductor wafer.
これに対し、オペレータの手作業により調整つまみを操作して位置決めを行う簡易型のステージ装置においては、ステージ装置全体の小型化、低コスト化、及び位置決め調整作業の容易化を図ることにより、一層の簡易化を追求した装置であることが所望される。 On the other hand, in a simple stage device that performs positioning by operating an adjustment knob by an operator's manual operation, the entire stage device can be reduced in size, cost, and positioning adjustment work can be facilitated. It is desirable that the apparatus pursues simplification of the above.
そこで、本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、その目的は、X方向、Y方向、Z方向、チルト及び回転方向の位置決めが可能なステージ装置において、簡易な構成かつ小型化を実現し、オペレータの手作業による位置決め調整が容易なステージ装置を提供することにある。 Accordingly, the present invention has been made to solve the above-described problems, and an object of the present invention is to provide a simple configuration and miniaturization in a stage apparatus capable of positioning in the X direction, the Y direction, the Z direction, the tilt, and the rotation direction. And to provide a stage device that can be easily positioned and adjusted by an operator.
上記目的を達成するために、本発明によるステージ装置は、載置台に設置された所定物について、X方向、Y方向、Z方向、チルト及び回転方向の位置決めを基台に対して行うユニットベース、Z/チルトベース、Xベース、Yベース及び回転ベースを備えたステージ装置において、前記ユニットベースが、前記載置台に取り付けられた支柱を通す貫通穴を備え、前記基台に固定設置され、前記Z/チルトベースが、前記ユニットベースに当接してZ方向の距離及びチルトを調整する複数本のZ/チルト調整部材、Xガイド部材が収容され当該Xガイド部材をX方向へ案内するXガイド穴、及び、前記支柱を通す貫通穴を備え、前記ユニットベースの平面に対向し前記調整によって所定距離離して設けられ、前記Xベースが、前記Xガイド部材と一体的に構成され前記Xガイド部材との間で当該Xベースを把持するXガイド把持部材、前記Xガイド把持部材を収容する溝、Yガイド部材が収容され当該Yガイド部材をY方向へ案内するYガイド穴、及び、前記支柱を通す貫通穴を備え、前記Z/チルトベースの平面に対向して設けられ、前記Yベースが、前記Yガイド部材と一体的に構成され前記Yガイド部材との間で当該Yベースを把持するYガイド把持部材、前記Yガイド把持部材を収容する溝、前記回転ベースを回転させる基点となる凸部、及び、前記支柱を通す貫通穴を備え、前記Xベースの平面に対向して設けられ、前記回転ベースが、前記Yベースの凸部に嵌合して当該回転ベースを回転させる凹部、及び、前記支柱を取り付ける取り付け部材を備え、前記Yベースの平面に対向して設けられたことを特徴とする。 In order to achieve the above object, a stage apparatus according to the present invention includes a unit base that performs positioning in a X direction, a Y direction, a Z direction, a tilt, and a rotation direction with respect to a base for a predetermined object installed on a mounting table In a stage apparatus including a Z / tilt base, an X base, a Y base, and a rotation base, the unit base includes a through hole through which a support attached to the mounting table is passed, and is fixedly installed on the base. A plurality of Z / tilt adjustment members that adjust the distance and tilt in the Z direction by contacting the unit base with the tilt base, an X guide hole that accommodates the X guide member and guides the X guide member in the X direction, And a through-hole through which the support is passed, provided opposite to the plane of the unit base and spaced apart by a predetermined distance by the adjustment, wherein the X base is the X guide portion And an X guide holding member for holding the X base between the X guide member, a groove for receiving the X guide holding member, and a Y guide member for receiving the Y guide member in the Y direction. A Y guide hole and a through hole through which the support column passes, and are provided to face the plane of the Z / tilt base, and the Y base is configured integrally with the Y guide member, A Y guide gripping member for gripping the Y base, a groove for accommodating the Y guide gripping member, a projection serving as a base point for rotating the rotation base, and a through hole through which the support column is passed. The rotation base includes a recess that fits into a protrusion of the Y base and rotates the rotation base, and an attachment member that attaches the column. Characterized in that provided opposite the face.
また、本発明によるステージ装置は、前記Z/チルトベースが、前記ユニットベースの平面に対向した状態で前記所定距離離して固定する固定部材を備え、前記Xベースが、前記Z/チルトベースの平面に対向した状態で重ねて固定する固定部材、及び、前記Xガイド把持部材と一体的に構成されたXガイド部材を、当該Xガイド部材が収容されている前記Xガイド穴に沿って移動させることにより、当該Xベース、Yベース及び回転ベースをX方向へ移動させるX軸調整器具を備え、前記Yベースが、前記Xベースの平面に対向した状態で重ねて固定する固定部材、前記Yガイド把持部材と一体的に構成されたYガイド部材を、当該Yガイド部材が収容されている前記Yガイド穴に沿って移動させることにより、当該Yベース及び回転ベースをY方向へ移動させるY軸調整器具、及び、当該Yベースに固定設置されたスタンドピンを備え、前記回転ベースが、前記Yベースの平面に対向した状態で重ねて固定する固定部材、及び、前記スタンドピンにおける第1の側面を押圧し、または前記第1の側面に対して反対側の側面を押圧し、前記凸部を基点にして前記凹部を回転させることにより、当該回転ベースを回転方向へ移動させる回転用調整器具を備えたことを特徴とする。 The stage apparatus according to the present invention may further include a fixing member that fixes the Z / tilt base at a predetermined distance while facing the plane of the unit base, and the X base is a plane of the Z / tilt base. A fixing member that is overlapped and fixed in a state of being opposed to the X guide member, and an X guide member that is configured integrally with the X guide holding member is moved along the X guide hole in which the X guide member is accommodated. The X base, the Y base, and the X base adjustment tool for moving the rotation base in the X direction, the Y base being fixed in a state of being opposed to the plane of the X base, and the Y guide grip By moving the Y guide member integrally formed with the member along the Y guide hole in which the Y guide member is accommodated, the Y base and the rotary base are moved. A Y-axis adjusting instrument that moves the Y base in the Y direction, a stand pin fixedly installed on the Y base, and a fixing member that overlaps and fixes the rotating base in a state of facing the plane of the Y base, and The rotation base is rotated in the rotation direction by pressing the first side surface of the stand pin or pressing the side surface opposite to the first side surface and rotating the concave portion with the convex portion as a base point. It is characterized by having a rotating adjustment tool that moves the head to the right.
また、本発明によるステージ装置は、前記所定物がカメラであり、前記回転ベース、Yベース、Xベース、Z/チルトベース及びユニットベースが貫通穴を備え、当該貫通穴に前記カメラを収容するか、または当該貫通穴に前記カメラの光軸を通すことを特徴とする。 In the stage apparatus according to the present invention, the predetermined object is a camera, and the rotation base, the Y base, the X base, the Z / tilt base, and the unit base have through holes, and the camera is accommodated in the through holes. Alternatively, the optical axis of the camera is passed through the through hole.
以上説明したように、本発明のステージ装置は、X方向、Y方向、Z方向、チルト及び回転方向の位置決めを行う複数のベースが積層して構成されているから、高さ寸法が小さくなり、全体として小型化を実現することができる。また、本発明のステージ装置には、位置決めのための案内移動可能な部材が設けられ、この部材により位置決め調整するための調整器具が設けられている。また、オペレータにより作業可能な箇所に、ベース間を固定するための固定部材が設けられている。これにより、ステージ装置は、位置決めのためにガイドローラ等の機械要素を備える必要がないから、簡易な構成にて位置決めを行うことができる。また、オペレータは、X方向、Y方向、Z方向、チルト及び回転方向の位置決め調整時に、手作業にて、対象となる固定部材の締付けを緩め、調整器具を操作して位置決めを行い、操作の終了後に固定ネジの締付けを行えばよい。これにより、オペレータの手作業による位置決め調整が容易になる。 As described above, the stage apparatus of the present invention is configured by laminating a plurality of bases that perform positioning in the X direction, the Y direction, the Z direction, the tilt, and the rotation direction. As a whole, downsizing can be realized. Further, the stage apparatus of the present invention is provided with a member that can be guided and moved for positioning, and is provided with an adjustment tool for positioning adjustment by this member. A fixing member for fixing between the bases is provided at a place where the operator can work. Thereby, since the stage apparatus does not need to be provided with mechanical elements such as guide rollers for positioning, positioning can be performed with a simple configuration. In addition, the operator manually tightens the target fixing member during positioning adjustment in the X direction, Y direction, Z direction, tilt, and rotation direction, operates the adjustment tool to perform positioning, After completion, the fixing screw may be tightened. Thereby, the positioning adjustment by an operator's manual work becomes easy.
以下、本発明を実施するための最良の形態について、図面を参照して説明する。本発明の実施形態によるステージ装置は、回転方向の位置決めを行う回転ベース、Y方向の位置決めを行うYベース、X方向の位置決めを行うXベース、Z方向及びチルトの位置決めを行うZ/チルトベース、当該ステージ装置を基台に固定設置するユニットベース、カメラを固定設置する載置台、及び、回転ベースに載置台を取り付ける支柱を備えて構成される。各ベースは積層して構成され、隣のベースの平面に対向して設けられている。このステージ装置は、載置台に固定設置されたカメラを、X方向、Y方向、Z方向、チルト及び回転方向に、オペレータの手作業によって移動案内することにより、カメラの光軸の位置決めを行うものである。 The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings. A stage apparatus according to an embodiment of the present invention includes a rotation base for positioning in the rotational direction, a Y base for positioning in the Y direction, an X base for positioning in the X direction, a Z / tilt base for positioning in the Z direction and tilt, The stage apparatus is configured to include a unit base for fixing and mounting the stage device on the base, a mounting base for fixing and mounting the camera, and a column for mounting the mounting base on the rotating base. Each base is formed by stacking and is provided to face the plane of the adjacent base. This stage device positions the optical axis of the camera by manually moving and guiding the camera fixedly installed on the mounting table in the X direction, Y direction, Z direction, tilt and rotation directions by an operator. It is.
図1は、本発明の実施形態によるステージ装置の断面構造を示す概略図である。このステージ装置1は、回転ベース10、Yベース20、Xベース30、Z/チルトベース40、ユニットベース50、支柱71及び載置台70を備えて構成される。最上層(第1層)の回転ベース10、第2層のYベース20、第3層のXベース30、第4層のZ/チルトベース40及び最下層(第5層)のユニットベース50は積層構造になっており、回転ベース10、Yベース20、Xベース30及びZ/チルトベース40は、隣のベースの平面に対向して隙間なく設けられている。また、Z/チルトベース40は、ユニットベース50の平面に対向しており、ユニットベース50との間で、Z方向及びチルトの位置決めがされた所定距離離れて設けられている。尚、オペレータは、位置決め調整のために、回転用調整器具100、Y軸調整器具200及びX軸調整器具300を用いるが、これらの調整器具等は、説明の都合上省略してある。回転ベース10、Yベース20、Xベース30、Z/チルトベース40及びユニットベース50の厚みは約10mmである。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a cross-sectional structure of a stage apparatus according to an embodiment of the present invention. The stage apparatus 1 includes a
回転ベース10に設けられた支柱固定ネジ13は、支柱71を回転ベース10に取り付けている。支柱71は、Yベース20に設けられた支柱用穴26、Xベース30に設けられた支柱用穴38、Z/チルトベース40に設けられた支柱用穴46、及びユニットベース50に設けられた支柱用/カメラ用窓穴53を介して、載置台70に取り付けられる。また、載置台70には、ネジ止め等により、支柱71が取り付けられ、カメラ80が所定箇所に固定設置されている。尚、後述する図2に示すように、回転ベース10には4本の支柱固定ネジ13が設けられており、支柱71の数は4本である。
The
図1に戻って、回転ベース10に設けられた回転固定ネジ11は、回転方向の位置決めがされた回転ベース10をYベース20に固定している。Xベース30に設けられたX固定ネジ36は、X方向の位置決めがされたXベース30をZ/チルトベース40に固定している。ここで、X固定ネジ36の頭部36aは、Yベース20に設けられた支柱用/カメラ用窓穴28(後述する図3(2)を参照)に収容される。これにより、Yベース20とXベース30との間に隙間が生じることなく、Yベース20とXベース30とを積層することができる。
Returning to FIG. 1, the
Z/チルトベース40に設けられたZ/チルト固定ネジ44は、Z方向及びチルトの位置決めがされたZ/チルトベース40をユニットベース50に所定距離離して固定している。尚、図1には示してないが、Yベース20に設けられたY固定ネジ21は、Y方向の位置決めがされたYベース20をXベース30に固定している。また、ユニットベース50に設けられた基台固定ネジ52は、ユニットベース50を基台60に固定設置している。これにより、ステージ装置1は、基台60に固定設置される。そして、載置台70に固定設置されたカメラ80は、以下に説明する手順及び仕組みにより、基台60を基準にして、X方向、Y方向、Z方向、チルト及び回転方向に移動案内され、位置決めされる。
A Z /
(回転方向の位置決め)
回転ベース10に設けられた回転固定ネジ11がオペレータによって緩められ、回転ベース10がYベース20から開放された状態で、オペレータによる回転方向の調整操作が行われると、スタンドピン用穴102−1,102−2(後述する図2、図3(1)を参照)に挿入され突出した、Yベース20に設けられたスタンドピン29−1,29−2(後述する図2、図3(1)(2))を基点にして、回転ベース10が回転方向へ移動する。この場合、Yベース20、Xベース30、Z/チルトベース40及びユニットベース50が基台60に固定されているから、回転ベース10、支柱71、載置台70及びカメラ80は、回転方向へ移動する。これにより、カメラ80は、回転方向に位置決め調整される。
(Rotation direction positioning)
When the
(X方向の位置決め)
Xベース30に設けられたXカムフォロア(ナット)(Xガイド部材)34は、Xカムフォロアのスタッドに挿入されて溝35の底面にてXベース30に当接している。また、Xカムフォロア(ナット)34は、Xカムフォロア(Xガイド把持部材)42と一体になり、Xベース30を把持している。X固定ネジ36がオペレータによって緩められ、Xベース30がZ/チルトベース40から開放された状態で、オペレータによるX方向の調整操作が行われると、Xカムフォロア(ナット)34と一体になっているXカムフォロア42は、Z/チルトベース40に設けられたXガイド穴43に沿ってX方向へ移動する。この場合、Z/チルトベース40及びユニットベース50が基台60に固定されているから、Xベース30、Yベース20、回転ベース10、支柱71、載置台70及びカメラ80は、X方向へ移動する。これにより、カメラ80は、X方向に位置決め調整される。
(Positioning in X direction)
An X cam follower (nut) (X guide member) 34 provided on the
また、Xカムフォロア(ナット)34は、Xベース30に設けられた溝35に収容され、Xカムフォロア(ナット)34の高さサイズが溝35の深さよりも短いから、Yベース20とXベース30との間に隙間が生じることなく、Yベース20とXベース30とを重ねて固定することができる。
The X cam follower (nut) 34 is accommodated in a
(Z方向及びチルトの位置決め)
Z/チルトベース40に設けられたZ/チルト固定ネジ44がオペレータによって緩められ、Z/チルトベース40がユニットベース50から開放された状態で、オペレータはZ方向及びチルトの調整操作を行う。すなわち、オペレータは工具等を用いてZ/チルト調整ネジ45を回して操作する。そうすると、Z/チルト調整ネジ45の先端面45aがユニットベース50の上面に接したまま、Z/チルトベース40は上方向または下方向(Z方向)へ移動する。この場合、ユニットベース50が基台60に固定されているから、Z/チルトベース40、Xベース30、Yベース20、回転ベース10、支柱71、載置台70及びカメラ80は、Z方向へ移動する。これにより、カメラ80は、Z方向に位置決め調整される。また、後述する図2に示すように、Z/チルト調整ネジ45は、Z/チルトベース40上の四隅(Z/チルトベース40は略四角形に形成されており、略四角形の頂点に近い箇所)に設けられている。これら4本のZ/チルト調整ネジ45を回す度合いを変えることにより、カメラ80のチルト(傾き)が調整される。
(Z direction and tilt positioning)
With the Z /
(Y方向の位置決め)
尚、図1には示してないが、後述する図2及び図3(2)(3)を参照して、Yベース20に設けられたYカムフォロア(ナット)(Yガイド部材)23は、Yカムフォロアのスタッドに挿入されて溝24の底面にてYベース20に当接している。また、Yカムフォロア(ナット)23は、Yカムフォロア(Yガイド把持部材)32と一体になり、Yベース20を把持している。Y固定ネジ21がオペレータによって緩められ、Yベース20がXベース30から開放された状態で、オペレータによるY方向の調整操作が行われると、Yカムフォロア(ナット)23と一体になっているYカムフォロア32は、Xベース30に設けられたYガイド穴33に沿ってY方向へ移動する。この場合、Xベース30、Z/チルトベース40及びユニットベース50が基台60に固定されているから、Yベース20、回転ベース10、支柱71、載置台70及びカメラ80は、Y方向へ移動する。これにより、カメラ80は、Y方向に位置決め調整される。
(Y direction positioning)
Although not shown in FIG. 1, referring to FIGS. 2 and 3 (2) and (3) described later, a Y cam follower (nut) (Y guide member) 23 provided on the
また、Yカムフォロア(ナット)23は、Yベース20に設けられた溝24に収容され、Yカムフォロア(ナット)23の高さサイズが溝24の深さよりも短いから、回転ベース10とYベース20との間に隙間が生じることなく、回転ベース10とYベース20とを重ねて固定することができる。
The Y cam follower (nut) 23 is accommodated in a
したがって、カメラ80は、ステージ装置1が基台60に固定設置された状態で、オペレータの手作業により、X方向、Y方向、Z方向、チルト及び回転方向に移動案内され、位置決めが行われる。これにより、カメラ80の光軸が決定される。 Therefore, the camera 80 is moved and guided in the X direction, the Y direction, the Z direction, the tilt, and the rotation direction by the operator's manual work while the stage device 1 is fixedly installed on the base 60, and positioning is performed. Thereby, the optical axis of the camera 80 is determined.
このように、ステージ装置1によれば、X方向、Y方向、Z方向、チルト及び回転方向の位置決めを行う複数のベース10,20,30,40,50が積層して構成されているから、簡易な構成を実現できると共に、高さサイズが小さくなる。したがって、ステージ装置1全体として小型化を実現することができる。
As described above, according to the stage apparatus 1, the plurality of
図2は、ステージ装置1を上方向(α方向)から見た上面構造を示す図である。図2に示すように、ステージ装置1は、最上層から最下層へ向けて、回転ベース10、Yベース20、Xベース30、Z/チルトベース40及びユニットベース50を備え、これらが積層構造になっている。
FIG. 2 is a diagram showing a top structure of the stage apparatus 1 as viewed from above (α direction). As shown in FIG. 2, the stage apparatus 1 includes a rotating
最上層(第1層)の回転ベース10は、ネジ穴12に貫通して当該回転ベース10をYベース20に固定するための2本の回転固定ネジ11、支柱71を取り付けるための4本の支柱固定ネジ13、及び2セットの回転用調整器具100を備えている。これにより、オペレータは、回転方向の位置決め調整のために、回転固定ネジ11に対しステージ装置1の上方向からアクセスすることができ、回転用調整器具100を操作することができる。また、回転ベース10には、X固定ネジ用窓穴14が設けられている。回転用調整器具100については後述する。
The
第2層のYベース20は、ネジ穴22に挿入されて当該Yベース20をXベース30に固定するための4本のY固定ネジ21、及び1セットのY軸調整器具200等を備えている。その他、Yカムフォロア(ナット)23等も備えているが、ここでは省略する。このY軸調整器具200の連結バー202と、後述するXベース30に備えたY軸固定器具310の連結バー311とは接合されており、Y方向の位置決め調整時の調整つまみ201の操作に伴い、固定されたXベース30に対し、Yベース20及び回転ベース10がY方向へ移動するようになっている。また、Y固定ネジ21及びネジ穴22は、最上層の回転ベース10と第2層のYベース20との間の積層部から外れた箇所に設けられている。また、Yベース20には、支柱用/カメラ用窓穴28が設けられている(図示せず)。これにより、オペレータは、Y方向の位置決め調整のために、Y固定ネジ21に対しステージ装置1の上方向からアクセスすることができ、Y軸調整器具200を操作することができる。Y軸調整器具200については後述する。
The second
第3層のXベース30は、ネジ穴37に挿入されて当該Xベース30をZ/チルトベース40に固定するための4本のX固定ネジ36、1セットのX軸調整器具300、Y軸調整器具200に対応した1セットのY軸固定器具310等を備えている。その他、Xカムフォロア(ナット)34等も備えているが、ここでは省略する。このX軸調整器具300の連結バー302と、後述するZ/チルトベース40に備えた連結バー401とは接合されており、X方向の位置決め調整時の調整つまみ301の操作に伴い、固定されたZ/チルトベース40に対し、Xベース30、Yベース20及び回転ベース10がX方向へ移動するようになっている。また、X固定ネジ36及びネジ穴37は、最上層の回転ベース10に設けられたカメラ用窓穴15、及び第2層のYベース20に設けられた支柱用/カメラ用窓穴28(図示せず)によって、回転ベース10とYベース20とXベース30との間の積層部から外れた箇所に設けられている。これにより、オペレータは、X方向の位置決め調整のために、X固定ネジ36に対し、カメラ用窓穴15及び支柱用/カメラ用窓穴28を介してステージ装置1の上方向からアクセスすることができ、X軸調整器具300を操作することができる。X軸調整器具300については後述する。
The X-layer 30 of the third layer is inserted into the
第4層のZ/チルトベース40は、4本のZ/チルト固定ネジ44、4本のZ/チルト調整ネジ45、及び1セットのX軸固定器具400等を備えている。その他、Xガイド穴43等が設けられているが、ここでは省略する。このZ/チルト固定ネジ44及びZ/チルト調整ネジ45は、回転ベース10とYベース20とXベース30とZ/チルトベース40との間の積層部から外れた箇所に設けられている。これにより、オペレータは、Z方向及びチルトの位置決め調整のために、Z/チルト固定ネジ44及びZ/チルト調整ネジ45に対しステージ装置1の上方向からアクセスすることができる。
The fourth layer Z /
最下層(第5層)のユニットベース50は、4本の基台固定ネジ52等を備えている。その他、Z/チルト固定ネジ溝51等が設けられているが、ここでは省略する。この基台固定ネジ52は、回転ベース10とYベース20とXベース30とZ/チルトベース40とユニットベース50との間の積層部から外れた箇所に設けられている。これにより、オペレータは、ステージ装置1を基台60に設置するために、基台固定ネジ52に対しステージ装置1の上方向からアクセスすることができる。
The lowermost (fifth layer)
このように、ステージ装置1によれば、オペレータの手作業による位置決め調整のために必要な回転固定ネジ11、Y固定ネジ21、X固定ネジ36、Z/チルト固定ネジ44及びZ/チルト調整ネジ45を、ステージ装置1内部に設けることなく、ステージ装置1の上方向(α方向)からアクセス可能な箇所に設けるようにした。具体的には、回転ベース10を最上層に設けるようにしたから、オペレータは回転固定ネジ11にアクセスすることができる。また、回転ベース10及びYベース20の積層部から外れた箇所にY固定ネジ21を設けるようにしたから、オペレータはY固定ネジ21にアクセスすることができる。また、回転ベース10にX固定ネジ用窓穴14を設け、Yベース20に支柱用/カメラ用窓穴28(後述する図3(2)を参照)を設けるようにしたから、オペレータはX固定ネジ36に、X固定ネジ用窓穴14及び支柱用/カメラ用窓穴28を介してアクセスすることができる。また、回転ベース10、Yベース20、Xベース30及びZ/チルトベース40の積層部から外れた箇所にZ/チルト固定ネジ44及びZ/チルト調整ネジ45を設けるようにしたから、オペレータはZ/チルト固定ネジ44及びZ/チルト調整ネジ45にアクセスすることができる。これにより、位置決め調整の時には、オペレータは、ステージ装置1の上方向(α方向)からアクセスして、対象となる固定ネジの締付けを緩め、対象となる回転用調整器具100、Y軸調整器具200またはX軸調整器具300を操作し、若しくはZ/チルト調整ネジ45にアクセスし、そして、固定ネジの締付けを行えばよい。したがって、オペレータは、手作業による位置決め調整を、容易に行うことができる。また、X固定ネジ用窓穴14等を設けるようにしたから、ステージ装置1の小型化を実現することができる。
As described above, according to the stage apparatus 1, the
さらに、ステージ装置1によれば、支柱71をステージ装置1内部に収容するために、Yベース20に支柱用穴26を設け、Xベース30に支柱用穴38を設け、Z/チルトベース40に支柱用穴46を設け、ユニットベース50に支柱用/カメラ用窓穴53を設けるようにした。これにより、ステージ装置1の更なる小型化を実現することができる。
Furthermore, according to the stage apparatus 1, in order to accommodate the support 71 in the stage apparatus 1, the
図3は、各ベースの構成を示す図である。以下、図1及び図2に示した各ベースの構成について、詳細に説明する。(1)は、回転ベース10の上面図であり、(1.1)は、(1)におけるd1−d2の断面図である。回転ベース10は、全体として板状に形成されており、上方向から見ると略正方形である。サイズは約190×190mmである。回転ベース10には2箇所のネジ穴12が設けられており、ネジ穴12に挿入された回転固定ネジ11が、Yベース20に設けられた回転固定ネジ溝25に挿入されることにより、回転ベース10はYベース20に積層にて固定される。回転ベース10には、4本の支柱固定ネジ13により4本の支柱71が取り付けられている。また、回転ベース10には4個のX固定ネジ用窓穴14及び1個のカメラ用窓穴15が設けられている。
FIG. 3 is a diagram showing the configuration of each base. Hereinafter, the configuration of each base shown in FIGS. 1 and 2 will be described in detail. (1) is a top view of the
回転ベース10は、2セットの回転用調整器具100を備えている。回転用調整器具100は、回転方向の位置決め調整を行うための調整つまみ101−1〜101−4を備えており、それぞれ4箇所のネジ止めによってブラケット103にて回転ベース10に固定されている。回転用調整器具100のブラケット103に設けられた固定ネジ13は溝16に収容されている。また、回転用調整器具100には、Yベース20に固定設置されたスタンドピン29−1,29−2が挿入されるスタンドピン用穴102−1,102−2が設けられており、回転方向に移動する際には、スタンドピン用穴102−1,102−2から突出したスタンドピン29−1,29−2を基点にして、回転ベース10がスタンドピン用穴102−1,102−2に沿って回転方向に移動する。つまり、スタンドピン用穴102−1,102−2は、スタンドピン29−1,29−2を収容すると共に、回転方向の調整に際しては、スタンドピン29−1,29−2に接触しないように回転ベース10が移動するサイズになっている。
The
(1.1)を参照して、回転ベース10のd1−d2断面図において、回転ベース10の中央部にはカメラ用窓穴15に加え、凹部17が設けられている。凹部17には、Yベース20に備えた凸部27が挿入される。回転方向の位置決め調整の際には、Yベース20に備えた凸部27の周面に沿って、凹部17の周面が回転する。これにより、回転ベース10が回転する。また、回転ベース10には、支柱固定ネジ13が貫通するネジ穴13a及びネジ穴12が設けられている。
Referring to (1.1), in the d1-d2 cross-sectional view of the
次に、回転方向の位置決め調整について説明する。まず、オペレータは、工具等を用いて回転固定ネジ11を緩めることにより、回転ベース10をYベース20から開放した状態にする。そして、例えば、時計の反対方向へ回転移動させる場合には、回転用調整器具100の調整つまみ101−2,101−4を操作して緩める。これにより、スタンドピン用穴102−1,102−2から突出したスタンドピン29−1,29−2と、スタンドピン29−1,29−2に圧接していた調整つまみ101−2,101−4の先端面との間に、緩めた長さ分のスペースが生成される。そして、調整つまみ101−1,101−3を締める方向に操作することにより、スタンドピン29−1,29−2に圧接している調整つまみ101−1,101−3の先端面がスタンドピン29−1,29−2を押圧する。スタンドピン29−1,29−2はYベース20に固定設置されており、Yベース20が、Xベース30、Z/チルトベース40及びユニットベース50を介して基台60に固定設置されているから、スタンドピン29−1,29−2の位置は変わらない。一方、回転ベース10はYベース20から開放されている。このため、調整つまみ101−1,101−3を締める方向へ操作することによって生じる、調整つまみ101−1,101−3の先端面からスタンドピン29−1,29−2への押圧によって、回転ベース10は、スタンドピン29−1,29−2と調整つまみ101−2,101−4の先端面との間のスペース内で、時計の反対方向へ回転移動する。すなわち、調整つまみ101−1,101−3を締める方向へ操作して先端面を移動させた距離が、回転ベース10において時計の反対方向へ回転した距離に相当する。
Next, positioning adjustment in the rotation direction will be described. First, the operator loosens the
オペレータは、調整つまみ101−1,101−3を締める方向への操作を行い、回転ベース10を、時計の反対方向の所定位置へ回転移動させた後、工具等を用いて回転固定ネジ11を締め付けることにより、回転ベース10をYベース20に固定する。そして、緩んだ状態の調整つまみ101−2,101−4を締める方向に操作して、調整つまみ101−2,102−4の先端面をスタンドピン29−1,29−2に圧接する。これにより、回転ベース10とYベース20とは、回転固定ネジ11により固定され、スタンドピン29−1は、調整つまみ101−1の先端面と調整つまみ101−2の先端面とにより両側から挟み込まれた状態になる。同様に、スタンドピン29−2は、調整つまみ101−3の先端面と調整つまみ101−4の先端面とにより両側から挟み込まれた状態になる。したがって、回転ベース10は回転移動することなく、固定状態となる。このようにして、時計の回転とは反対方向の位置決め調整が行われる。
The operator operates in the direction of tightening the adjustment knobs 101-1 and 101-3 to rotate the
これに対し、時計方向へ回転移動させる場合には、工具等を用いて回転固定ネジ11を緩め、回転用調整器具100の調整つまみ101−1,101−3を操作して緩めた後、調整つまみ101−2,101−4を締める方向に操作する。これにより、回転ベース10は、時計方向へ回転移動する。この場合、調整つまみ101−2,101−4を締める方向へ操作して移動させた距離が、回転ベース10において時計方向へ回転した距離に相当する。そして、調整つまみ101−2,101−4を締める方向への操作を行い、回転ベース10を、時計方向の所定位置へ回転移動させた後、工具等を用いて回転固定ネジ11を締め付け、緩んだ状態の調整つまみ101−2,101−4を締める方向に操作する。このようにして、時計の回転方向の位置決め調整が行われる。
On the other hand, when rotating in the clockwise direction, the
(2)は、Yベース20の上面図であり、(2.1)は、Yベース20の側面図であり、(2.2)は、(2)におけるc1−c2の断面図である。Yベース20は、全体として板状に形成されており、上方向から見ると略正方形である。サイズは約240×240mmである。Yベース20には2箇所の回転固定ネジ溝25が設けられており、回転ベース10とYベース20とを固定するために回転固定ネジ11が挿入される。また、Yベース20は、回転ベース10を回転方向へ移動させるための基点となるスタンドピン29−1,29−2を備えている。このスタンドピン29−1,29−2は、回転ベース10の回転用調整器具100に設けられたスタンドピン用穴102−1,102−2から貫通して突出する。突出したスタンドピン29−1は、両面から調整つまみ101−1,101−2により圧接される。同様に、突出した29−2は、両面から調整つまみ101−3,101−4により圧接される。
(2) is a top view of the
Yベース20には4箇所のネジ穴22が設けられており、ネジ穴22に挿入されたY固定ネジ21が、Xベース30に設けられたY固定ネジ溝31に挿入されることにより、Yベース20は、Xベース30に積層して固定される。また、Yベース20には4箇所の溝24が設けられており、溝24に収容されたYカムフォロア(ナット)23、及びXベース30に設けられたYカムフォロア32が、Yベース20を挟み込んでいる。このYカムフォロア32が、Xベース30に設けられたYガイド穴33を移動することにより、Xベース30に対してYベース20が移動し、Y方向の位置決め調整が行われる。また、Yベース20には4個の凸部27が設けられている。この凸部27が回転ベース10の凹部17に挿入され、回転ベース10とYベース20とが積層して固定される。
The
Yベース20には4個の支柱用穴26及び1個の支柱用/カメラ用窓穴28が設けられている。支柱用穴26には支柱71が貫通される。
The
Yベース20は、1セットのY軸調整器具200を備えている。Y軸調整器具200は、Y方向の位置決め調整を行うための調整つまみ201、及び、Xベース30に備えたY軸固定器具310の連結バー311に接合した連結バー202を備えており、固定器具203にてYベース20の本体に固定されている。固定器具203には、調整つまみ201の操作に連動する可動部が取り付けられており、この可動部は、Xベース30に固定された連結バー202を基点にして、固定器具203を介してYベース20本体をY方向へ移動させるように可動する。
The
(2.1)を参照して、Yベース20の側面図において、Yベース20の中央部には凸部27−2が設けられており、その両側には、凸部27−1,27−3が設けられている。前述したとおり、凸部27−1〜27−4は、回転ベース10の凹部17に挿入される。
Referring to (2.1), in the side view of
(2.2)を参照して、Yベース20のc1−c2断面図において、Yベース20の中央部には支柱用/カメラ用窓穴28が設けられ、その両側には、凸部27−1,27−3、支柱用穴26及び回転固定ネジ溝25が設けられている。
Referring to (2.2), in the c1-c2 cross-sectional view of the
次に、Y方向の位置決め調整について説明する。まず、オペレータは、工具等を用いてY固定ネジ21を緩めることにより、Yベース20をXベース30から開放した状態にする。そして、Y軸調整器具200の調整つまみ201を締める方向または緩める方向に操作することにより、固定された連結バー202を基点にして、Yベース20をY方向へ移動させる。連結バー202は、Xベース30の連結バー311に接合されており、Xベース30が、Z/チルトベース40及びユニットベース50を介して基台60に固定設置されているから、連結バー202の位置は変わらない。一方、Yベース20はXベース30から開放されている。このため、調整つまみ201を締める方向または緩める方向へ操作することにより、調整つまみ201の先端にある可動部が、固定された連結バー202に対して移動し、固定器具203を介してYベース20はY方向へ移動する。すなわち、調整つまみ201を操作してその先端の可動部を移動させた距離が、回転ベース10のY方向へ移動した距離に相当する。
Next, positioning adjustment in the Y direction will be described. First, the operator loosens the
オペレータは、調整つまみ201を締める方向または緩める方向への操作を行い、Yベース20を所定位置へ移動させた後、工具等を用いてY固定ネジ21を締め付けることにより、Yベース20をXベース30に固定する。これにより、Yベース20とXベース30とは、Y固定ネジ21により固定される。このようにして、Y方向の位置決め調整が行われる。
The operator performs an operation in a direction in which the
(3)は、Xベース30の上面図である。Xベース30は、全体として板状に形成されており、上方向から見ると略正方形である。サイズは約220×220mmである。Xベース30には4箇所のY固定ネジ溝31が設けられており、Yベース20とXベース30とを固定するためにY固定ネジ21が挿入される。また、Xベース30には4箇所のYガイド穴33が設けられており、Yガイド穴33にはYベース20をY方向に案内するためのYカムフォロア32が挿入されている。前述のとおり、Yカムフォロア32とYカムフォロア(ナット)23とは一体になっており、Yベース20を挟み込んでいる。
(3) is a top view of the
Xベース30には4箇所のネジ穴37が設けられており、ネジ穴37に挿入されたX固定ネジ36が、Z/チルトベース40に設けられたX固定ネジ溝41に挿入されることにより、Xベース30は、Z/チルトベース40に積層して固定される。また、Xベース30には4箇所の溝35が設けられており、溝35に収容されたXカムフォロア(ナット)34、及びZ/チルトベース40に設けられたXカムフォロア42が、Xベース30を挟み込んでいる。このXカムフォロア42が、Z/チルトベース40に設けられたXガイド穴43を移動することにより、Z/チルトベース40に対してXベース30が移動し、X方向の位置決め調整が行われる。
The
Xベース30には4個の支柱用穴38及び1個のカメラ用窓穴39が設けられている。支柱用穴38には支柱71が貫通される。
The
Xベース30は、1セットのX軸調整器具300及び1セットのY軸固定器具310を備えている。Y軸固定器具310は、連結バー311及び取付バー312を備えており、取付バー312によりXベース30の本体にネジ止めされている。連結バー311は、Yベース20に備えた連結バー202に接合されている。また、X軸調整器具300は、X方向の位置決め調整を行うための調整つまみ301、及び、Z/チルトベース40に備えたX軸固定器具400の連結バー401に接合した連結バー302を備えており、固定器具303にてXベース30の本体に固定されている。固定器具303には、調整つまみ301の操作に連動する可動部が取り付けられており、この可動部は、Z/チルトベース40に固定された連結バー302を基点にして、固定器具303を介してXベース30本体をX方向へ移動させるように可動する。
The
次に、X方向の位置決め調整について説明する。まず、オペレータは、工具等を用いてX固定ネジ36を緩めることにより、Xベース30をZ/チルトベース40から開放した状態にする。そして、X軸調整器具300の調整つまみ301を締める方向または緩める方向に操作することにより、固定された連結バー302を基点にして、Xベース30をX方向へ移動させる。連結バー302は、Z/チルトベース40の連結バー401に接合されており、Z/チルトベース40がユニットベース50を介して基台60に固定設置されているから、連結バー302の位置は変わらない。一方、Xベース30はZ/チルトベース40から開放されている。このため、調整つまみ301を締める方向または緩める方向へ操作することにより、調整つまみ301の先端にある可動部が、固定された連結バー302に対して移動し、固定器具303を介してXベース30はX方向へ移動する。すなわち、調整つまみ301を操作してその先端の可動部を移動させた距離が、Xベース30のX方向へ移動した距離に相当する。
Next, positioning adjustment in the X direction will be described. First, the operator releases the
オペレータは、調整つまみ301を締める方向または緩める方向への操作を行い、Xベース30を所定位置へ移動させた後、工具等を用いてX固定ネジ36を締め付けることにより、Xベース30をZ/チルトベース40に固定する。これにより、Xベース30とZ/チルトベース40とは、X固定ネジ36により固定される。このようにして、X方向の位置決め調整が行われる。
The operator performs an operation in a direction to tighten or loosen the
(4)は、Z/チルトベース40の上面図である。Z/チルトベース40は、全体として板状に形成されており、上方向から見ると略正方形である。サイズは約285×285mmである。Z/チルトベース40には4箇所のX固定ネジ溝41が設けられており、Xベース30とZ/チルトベース40とを固定するためにX固定ネジ36が挿入される。また、Z/チルトベース40には4箇所のXガイド穴43が設けられており、Xガイド穴43にはXベース30をX方向に案内するためのXカムフォロア42が挿入されている。前述のとおり、Xカムフォロア42とXカムフォロア(ナット)34とは一体になっており、Xベース30を挟み込んでいる。
(4) is a top view of the Z /
Z/チルトベース40には4箇所のネジ穴(図示せず)が設けられており、ネジ穴に挿入されたZ/チルト固定ネジ44が、ユニットベース50に設けられたZ/チルト固定ネジ溝51に挿入される。これにより、Z/チルト固定ネジ44の雄ネジとネジ穴の雌ネジとが接合し、Z/チルト固定ネジ44の雄ネジとZ/チルト固定ネジ溝51の雌ネジとが接合し、Z/チルトベース40は、ユニットベース50との間で所定間隔離れて固定される。また、Z/チルトベース40には4箇所のネジ穴(図示せず)が設けられており、ネジ穴に挿入されたZ/チルト調整ネジ45は、当該Z/チルト調整ネジ45の雄ネジとネジ穴の雌ネジとが接合した状態で、ユニットベース50の上面に当接している。オペレータは、Z/チルト調整ネジ45を締める方向または緩める方向に操作することにより、ユニットベース50に対してZ/チルトベース40がZ方向に移動し、Z方向及びチルトの位置決め調整が行われる。
The Z /
Z/チルトベース40には4個の支柱用穴46及び1個のカメラ用窓穴47が設けられている。支柱用穴46には支柱71が貫通される。
The Z /
Z/チルトベース40は、1セットのX軸固定器具400を備えている。X軸固定器具400は、連結バー401及び取付バー402を備えており、取付バー402によりZ/チルトベース40の本体にネジ止めされている。連結バー401は、Xベース30に備えた連結バー302に接合されている。
The Z /
次に、Z方向及びチルトの位置決め調整について説明する。まず、オペレータは、工具等を用いてZ/チルト固定ネジ44を緩めることにより、Z/チルトベース40をユニットベース50から開放した状態にする。そして、工具等を用いてZ/チルト調整ネジ45を締める方向または緩める方向に操作することにより、Z/チルト調整ネジ45の先端面がユニットベース50の上面に当接した状態で、Z/チルトベース40の下面から突出するZ/チルト調整ネジ45の長さ(Z/チルトベース40とユニットベース50との間の距離)が変わり、ユニットベース50に対してZ/チルトベース40をZ方向に移動させる。Z/チルト調整ネジ45の先端面は、Z/チルトベース40等の自重によりユニットベース50の上面に当接し、ユニットベース50が基台60に固定設置されており、Z/チルトベース40はユニットベース50から開放されている。このため、Z/チルト調整ネジ45を締める方向または緩める方向へ操作することにより、Z/チルト調整ネジ45の先端面がユニットベース50の上面に当接した状態で、ネジ穴の雌ネジが接合されるZ/チルト調整ネジ45の雄ネジの位置が変わって、Z/チルトベース40の下面から突出するZ/チルト調整ネジ45の長さが変わり、Z/チルトベース40がユニットベース50に対して上下方向であるZ方向へ移動する。
Next, Z-direction and tilt positioning adjustment will be described. First, the operator releases the Z /
オペレータは、Z/チルト調整ネジ45を締める方向または緩める方向への操作を行い、Z/チルトベース40を所定位置へ移動させた後、工具等を用いてZ/チルト固定ネジ44を締め付ける。これにより、Z/チルトベース40は、ユニットベース50との間でZ方向に所定間隔離れて固定される。また、オペレータは、4本のZ/チルト調整ネジ45を操作することにより、チルトの位置決め調整を行う。このようにして、Z方向及びチルトの位置決め調整が行われる。
The operator performs an operation in a direction in which the Z /
(5)は、ユニットベース50の上面図である。ユニットベース50は、全体として板状に形成されており、上方向から見ると略長方形である。サイズは約285×250mmである。ユニットベース50には4箇所のZ/チルト固定ネジ溝51が設けられており、Z/チルトベース40とユニットベース50とを所定間隔離して固定するために、Z/チルト固定ネジ44が挿入される。また、ユニットベース50には4箇所のネジ穴(図示せず)が設けられており、ネジ穴に挿入された基台固定ネジ52が基台60に設けられた溝に挿入されることにより、ユニットベース50は基台60に固定される。また、ユニットベース50には1個の支柱用/カメラ用窓穴53が設けられている。支柱用/カメラ用窓穴53には支柱71が貫通される。
(5) is a top view of the
以上のように、本発明の実施形態によるステージ装置1によれば、平板形状の回転ベース10、Yベース20、Xベース30、Z/チルトベース40及びユニットベース50を積層して構成し、X方向、Y方向、Z方向、チルト及び回転方向の位置決めを行うようにした。これにより、各ベースを積層した高さ寸法が小さくなり、全体として小型化を実現することができる。また、ステージ装置1には、位置決め調整のためのスタンドピン29、スタンドピン用穴102、Yカムフォロア(ナット)23、Yカムフォロア32、Xカムフォロア(ナット)34、Xカムフォロア42及びZ/チルト調整ネジ45等が設けられ、オペレータにより操作可能な調整器具である調整つまみ101,201,301及びZ/チルト調整ネジ45が設けられている。また、オペレータは、調整作業に先立って回転固定ネジ11、Y固定ネジ21、X固定ネジ36及びZ/チルト固定ネジ44を緩める必要があるが、これらの固定ネジは、オペレータにより作業可能な箇所に設けられている。これにより、ステージ装置1は、軸受け及びガイド機能をベースに備えるようにしたから、軸受け器具、ガイドローラ等の機械要素を別途備える必要がなく、部品点数を減らすことができ、簡易な構成にて位置決めを行うことができる。また、オペレータは、X方向、Y方向、Z方向、チルト及び回転方向の位置決め調整時に、手作業にて、対象となる固定ネジの締付けを緩め、調整器具を操作して位置決めを行い、操作の終了後に固定ネジの締付けを行えばよい。これにより、オペレータの手作業による位置決め調整が容易になる。
As described above, according to the stage apparatus 1 according to the embodiment of the present invention, the flat plate-shaped
以上、実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は前記実施形態に限定されるものではなく、その技術思想を逸脱しない範囲で種々変形可能である。例えば、前記実施形態では、回転ベース10の凹部17とYベース20の凸部27とを嵌合させることにより、回転ベース10を回転移動させるようにしたが、回転ベース10の凸部とYベース20の凹部とを嵌合させるようにしてもよい。
The present invention has been described with reference to the embodiment. However, the present invention is not limited to the above-described embodiment, and various modifications can be made without departing from the technical idea thereof. For example, in the above-described embodiment, the
また、位置決め調整に伴い回転ベース10、Yベース20、Xベース30及びZ/チルトベース40が移動する摺動箇所に、耐磨耗性乾式潤滑皮膜を施すようにしてもよい。これにより、別途の機械要素を用いることなく、回転ベース10等を容易に移動させることができる。また、耐磨耗性乾式潤滑皮膜は低発塵性であるから、クリーンルームにてステージ装置1を使用することができる。
In addition, an abrasion-resistant dry lubricating film may be applied to the sliding portions where the
1 ステージ装置
10 回転ベース
11 回転固定ネジ
12 ネジ穴
13 支柱固定ネジ
14 X固定ネジ用窓穴
15 カメラ用窓穴
16 溝
17 凹部
20 Yベース
21 Y固定ネジ
22 ネジ穴
23 Yカムフォロア(ナット)
24 溝
25 回転固定ネジ溝
26 支柱用穴
27 凸部
28 支柱用/カメラ用窓穴
29 スタンドピン
30 Xベース
31 Y固定ネジ溝
32 Yカムフォロア
33 Yガイド穴
34 Xカムフォロア(ナット)
35 溝
36 X固定ネジ
37 ネジ穴
38 支柱用穴
39 カメラ用窓穴
40 Z/チルトベース
41 X固定ネジ溝
42 Xカムフォロア
43 Xガイド穴
44 Z/チルト固定ネジ
45 Z/チルト調整ネジ
46 支柱用穴
47 カメラ用窓穴
50 ユニットベース
51 Z/チルト固定ネジ溝
52 基台固定ネジ
53 支柱用/カメラ用窓穴
60 基台
70 載置台
71 支柱
80 カメラ
100 回転用調整器具
101 調整つまみ
102 スタンドピン用穴
103 ブラケット
200 Y軸調整器具
201 調整つまみ
202 連結バー
203 固定器具
300 X軸調整器具
301 調整つまみ
302 連結バー
303 固定器具
310 Y軸固定器具
311 連結バー
312 取付バー
400 X軸固定器具
401 連結バー
402 取付バー
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1
24
35 Groove 36
Claims (3)
前記ユニットベースは、
前記載置台に取り付けられた支柱を通す貫通穴を備え、前記基台に固定設置され、
前記Z/チルトベースは、
前記ユニットベースに当接してZ方向の距離及びチルトを調整する複数本のZ/チルト調整部材、Xガイド部材が収容され当該Xガイド部材をX方向へ案内するXガイド穴、及び、前記支柱を通す貫通穴を備え、前記ユニットベースの平面に対向し前記調整によって所定距離離して設けられ、
前記Xベースは、
前記Xガイド部材と一体的に構成され前記Xガイド部材との間で当該Xベースを把持するXガイド把持部材、前記Xガイド把持部材を収容する溝、Yガイド部材が収容され当該Yガイド部材をY方向へ案内するYガイド穴、及び、前記支柱を通す貫通穴を備え、前記Z/チルトベースの平面に対向して設けられ、
前記Yベースは、
前記Yガイド部材と一体的に構成され前記Yガイド部材との間で当該Yベースを把持するYガイド把持部材、前記Yガイド把持部材を収容する溝、前記回転ベースを回転させる基点となる凸部、及び、前記支柱を通す貫通穴を備え、前記Xベースの平面に対向して設けられ、
前記回転ベースは、
前記Yベースの凸部に嵌合して当該回転ベースを回転させる凹部、及び、前記支柱を取り付ける取り付け部材を備え、前記Yベースの平面に対向して設けられたことを特徴とするステージ装置。 A unit base, a Z / tilt base, an X base, a Y base, and a rotating base that perform positioning in the X direction, the Y direction, the Z direction, the tilt, and the rotational direction with respect to the base for a predetermined object placed on the mounting table are provided. Stage equipment,
The unit base is
It has a through hole through which the support attached to the mounting table passes, and is fixedly installed on the base.
The Z / tilt base is
A plurality of Z / tilt adjusting members that abut on the unit base and adjust the distance and tilt in the Z direction, an X guide hole that accommodates the X guide member and guides the X guide member in the X direction, and the support column Provided with a through-hole to pass through, provided opposite to the plane of the unit base and separated by a predetermined distance by the adjustment,
The X base is
An X guide holding member that is configured integrally with the X guide member and holds the X base between the X guide member, a groove that holds the X guide holding member, and a Y guide member that is contained in the Y guide member. Provided with a Y guide hole for guiding in the Y direction and a through hole through which the column is passed, and provided to face the plane of the Z / tilt base,
The Y base is
A Y guide holding member that is configured integrally with the Y guide member and holds the Y base between the Y guide member, a groove that houses the Y guide holding member, and a convex portion that serves as a base point for rotating the rotating base And a through-hole through which the column passes, provided opposite to the plane of the X base,
The rotating base is
A stage apparatus, comprising: a concave portion for fitting the convex portion of the Y base to rotate the rotary base; and an attachment member for attaching the column. The stage device is provided facing the plane of the Y base.
前記Z/チルトベースは、
前記ユニットベースの平面に対向した状態で前記所定距離離して固定する固定部材を備え、
前記Xベースは、
前記Z/チルトベースの平面に対向した状態で重ねて固定する固定部材、及び、前記Xガイド把持部材と一体的に構成されたXガイド部材を、当該Xガイド部材が収容されている前記Xガイド穴に沿って移動させることにより、当該Xベース、Yベース及び回転ベースをX方向へ移動させるX軸調整器具を備え、
前記Yベースは、
前記Xベースの平面に対向した状態で重ねて固定する固定部材、前記Yガイド把持部材と一体的に構成されたYガイド部材を、当該Yガイド部材が収容されている前記Yガイド穴に沿って移動させることにより、当該Yベース及び回転ベースをY方向へ移動させるY軸調整器具、及び、当該Yベースに固定設置されたスタンドピンを備え、
前記回転ベースは、
前記Yベースの平面に対向した状態で重ねて固定する固定部材、及び、前記スタンドピンにおける第1の側面を押圧し、または前記第1の側面に対して反対側の側面を押圧し、前記凸部を基点にして前記凹部を回転させることにより、当該回転ベースを回転方向へ移動させる回転用調整器具を備えたことを特徴とするステージ装置。 The stage apparatus according to claim 1, wherein
The Z / tilt base is
A fixing member for fixing the unit base at a predetermined distance apart from the plane of the unit base;
The X base is
The X guide, in which the X guide member is housed, includes a fixing member that overlaps and fixes the Z / tilt base in a state facing the plane of the Z / tilt base, and an X guide member that is configured integrally with the X guide holding member. An X-axis adjusting device that moves the X base, the Y base, and the rotating base in the X direction by moving along the hole;
The Y base is
A fixing member that is overlapped and fixed in a state of being opposed to the plane of the X base, and a Y guide member that is configured integrally with the Y guide gripping member, along the Y guide hole in which the Y guide member is accommodated. A Y-axis adjusting device that moves the Y base and the rotation base in the Y direction by moving the lamp, and a stand pin fixedly installed on the Y base.
The rotating base is
The fixing member that is overlapped and fixed in a state facing the plane of the Y base, and the first side surface of the stand pin is pressed, or the side surface opposite to the first side surface is pressed, and the convex A stage apparatus comprising: a rotation adjusting device that moves the rotation base in a rotation direction by rotating the recess with the portion as a base point.
前記所定物はカメラであり、前記回転ベース、Yベース、Xベース、Z/チルトベース及びユニットベースは貫通穴を備え、当該貫通穴に前記カメラを収容するか、または当該貫通穴に前記カメラの光軸を通すことを特徴とするステージ装置。 The stage apparatus according to claim 1 or 2,
The predetermined object is a camera, and the rotation base, the Y base, the X base, the Z / tilt base, and the unit base are provided with through holes, and the camera is accommodated in the through holes, or the camera is installed in the through holes. A stage device characterized by passing an optical axis.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010195033A JP5352550B2 (en) | 2010-08-31 | 2010-08-31 | Stage equipment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010195033A JP5352550B2 (en) | 2010-08-31 | 2010-08-31 | Stage equipment |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012052888A true JP2012052888A (en) | 2012-03-15 |
JP5352550B2 JP5352550B2 (en) | 2013-11-27 |
Family
ID=45906372
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010195033A Active JP5352550B2 (en) | 2010-08-31 | 2010-08-31 | Stage equipment |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5352550B2 (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103659287A (en) * | 2012-09-25 | 2014-03-26 | 上海胜僖汽车配件有限公司 | Machine tool with high adjustment efficiency |
KR102422225B1 (en) * | 2022-01-04 | 2022-07-18 | 주식회사 블루로봇 | Balanse stage |
KR102480614B1 (en) * | 2022-02-16 | 2022-12-23 | 주식회사 큐리오시스 | Scotch yoke type stage assembly |
WO2024014847A1 (en) * | 2022-07-12 | 2024-01-18 | 주식회사 블루로봇 | Balance stage |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009092552A (en) * | 2007-10-10 | 2009-04-30 | Jtekt Corp | Adjusting stage and adjusting stage system |
JP2009302290A (en) * | 2008-06-13 | 2009-12-24 | Ulvac Japan Ltd | Mount table conveying device, and conveyance processing device |
-
2010
- 2010-08-31 JP JP2010195033A patent/JP5352550B2/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009092552A (en) * | 2007-10-10 | 2009-04-30 | Jtekt Corp | Adjusting stage and adjusting stage system |
JP2009302290A (en) * | 2008-06-13 | 2009-12-24 | Ulvac Japan Ltd | Mount table conveying device, and conveyance processing device |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN103659287A (en) * | 2012-09-25 | 2014-03-26 | 上海胜僖汽车配件有限公司 | Machine tool with high adjustment efficiency |
KR102422225B1 (en) * | 2022-01-04 | 2022-07-18 | 주식회사 블루로봇 | Balanse stage |
WO2023132435A1 (en) * | 2022-01-04 | 2023-07-13 | 주식회사 블루로봇 | Balance stage |
KR102480614B1 (en) * | 2022-02-16 | 2022-12-23 | 주식회사 큐리오시스 | Scotch yoke type stage assembly |
WO2024014847A1 (en) * | 2022-07-12 | 2024-01-18 | 주식회사 블루로봇 | Balance stage |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5352550B2 (en) | 2013-11-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5352550B2 (en) | Stage equipment | |
JP2015200710A (en) | Display device mounting metal fitting and display device mounting fixture | |
JP5125700B2 (en) | Lens holding device and projection display device using the same | |
JP5108613B2 (en) | Clamping device | |
JP2019003732A (en) | Specimen holder system and specimen observation device | |
JP6401299B2 (en) | Hybrid alignment | |
JP2009251207A5 (en) | ||
JP4267054B1 (en) | Compound dovetail slide stage | |
JP2010050845A (en) | Moving tool and support tool | |
JP4500879B1 (en) | Manual stage with tilting function and tilting stage | |
JP7446428B2 (en) | Apparatus and method for adjusting and positioning radiation source components and radiation scanning imaging equipment | |
JP2010125581A (en) | Gonio stage device | |
JP2010207964A (en) | Sander | |
JP4625826B2 (en) | Probe unit | |
JP4489639B2 (en) | Z-axis adjustment mechanism and fine movement stage device | |
CN212623269U (en) | Lens adjusting device | |
JP3997044B2 (en) | Display panel inspection socket | |
JP2007011150A (en) | Substrate sticking device | |
TWI503063B (en) | Universal assembly jig for assembling display-panel | |
JP5620704B2 (en) | Optical element holder | |
JP2016122702A (en) | Normal temperature bonding device | |
JPH09183035A (en) | Positioning device for use in panel processing machine | |
JP2010171117A (en) | Substrate holder | |
JP2002009019A (en) | Working table | |
JP2007008698A (en) | Substrate sucking method, substrate holder, and substrate sucking device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130612 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130814 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130826 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5352550 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |