JP2012045946A - 基板ブレーク装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】弾性フィルム4と、弾性フィルム4の上方にて上下方向に移動することができるように配設された、スクライブライン11に沿ってブレークする上ブレークバー6a、6bと、弾性フィルム4の下方にて上下方向に移動することができるように配設された、スクライブライン11に沿ってブレークする下ブレークバー5とを備える。
【選択図】図1
Description
2 基板支持板
3 ダイシングフレーム(フィルム圧着機構)
4 弾性フィルム
5 下ブレークバー
6、6a、6b 上ブレークバー
7 開口部
8 位置合わせ用マーク(アライメントマーク)
11 スクライブライン
20 撮像装置
Claims (7)
- スクライブラインが表面に形成されている脆性材料基板を前記スクライブラインに沿ってブレークする基板ブレーク装置において、
前記脆性材料基板を固定する弾性フィルムと、
該弾性フィルムの上方にて上下方向に移動することができるように配設された、前記スクライブラインに沿ってブレークする第1の上ブレークバー及び第2の上ブレークバーと、
前記弾性フィルムの下方にて上下方向に移動することができるように配設された、前記スクライブラインに沿ってブレークする下ブレークバーと
を備えることを特徴とする基板ブレーク装置。 - 前記脆性材料基板がLTCC基板であることを特徴とする請求項1記載の基板ブレーク装置。
- 前記弾性フィルムがダイシングフレームを用いて開帳されている請求項1記載の基板ブレーク装置。
- 開口部が形成されている基板支持板を備え、
該基板支持板の上面に前記開口部を覆って前記弾性フィルムが搭載されていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の基板ブレーク装置。 - 前記弾性フィルムは、前記開口部の周囲に配設してあるフィルム圧着機構にて前記基板支持板に固着してあることを特徴とする請求項4記載の基板ブレーク装置。
- 前記第1の上ブレークバー及び前記第2の上ブレークバーの上方に、撮像装置を配設してあり、
前記撮像装置により前記脆性材料基板に付与されているマークを撮像して、前記脆性材料基板の設置位置の調整を行うようにしてあり、
前記第1の上ブレークバー及び前記第2の上ブレークバーを前記基板支持板に対して所定の角度で斜め方向に移動することが可能な斜め移動機構を備えることを特徴とする請求項4記載の基板ブレーク装置。 - 前記第1の上ブレークバー及び前記第2の上ブレークバーの上方に、撮像装置を配設してあり、
前記撮像装置により前記脆性材料基板に付与されているマークを撮像して、前記脆性材料基板の設置位置の調整を行うようにしてあり、
前記第1の上ブレークバー及び前記第2の上ブレークバーを前記基板支持板に対して略水平方向に移動することが可能な水平移動機構を備えることを特徴とする請求項4記載の基板ブレーク装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011254007A JP5331189B2 (ja) | 2011-11-21 | 2011-11-21 | 基板ブレーク装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2011254007A JP5331189B2 (ja) | 2011-11-21 | 2011-11-21 | 基板ブレーク装置 |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009020447A Division JP5330845B2 (ja) | 2009-01-30 | 2009-01-30 | 基板ブレーク装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012045946A true JP2012045946A (ja) | 2012-03-08 |
JP5331189B2 JP5331189B2 (ja) | 2013-10-30 |
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ID=45901360
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2011254007A Active JP5331189B2 (ja) | 2011-11-21 | 2011-11-21 | 基板ブレーク装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5331189B2 (ja) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN103722618B (zh) * | 2014-01-06 | 2016-06-08 | 长沙远大住宅工业集团有限公司 | 自动划线机 |
US9915433B2 (en) | 2014-05-30 | 2018-03-13 | Amtrol Licensing Inc. | Moisture detecting air cap indicator for expansion tank failure |
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2011
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