JP2012045557A - Apparatus and method for manufacturing solar battery panel, and device and method for laser beam machining - Google Patents

Apparatus and method for manufacturing solar battery panel, and device and method for laser beam machining Download PDF

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正樹 荒木
Shuichi Hiroi
修一 廣井
Masayuki Ota
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus and method for manufacturing a solar battery panel, and a device and method for laser beam machining, wherein the installation of a branch optical head is easily adjusted or deviation in a position of the optical axis of the branch optical head is easily detected.SOLUTION: In the apparatus and method for manufacturing the solar battery panel in which a scribe is formed on a film by introducing a laser beam into the branch optical unit for branching the laser beam into a plurality of laser beams and removing a part of the film by irradiating the film which comprises a solar battery film with the branched laser beams, the image of the introduced laser beam is picked up and the position of the introduced optical axis is detected on the basis of the result of the picked-up image.

Description

本発明は、太陽電池パネル製造装置または太陽電池パネル製造方法或いはレーザ加工装置または及びレーザ加工方法に係わり、効率よくスクライブなどの加工をすることができる太陽電池パネル製造装置または太陽電池パネル製造方法或いはレーザ加工装置または及びレーザ加工方法に関する。   The present invention relates to a solar cell panel manufacturing apparatus, a solar cell panel manufacturing method, a laser processing apparatus, and a laser processing method, and a solar cell panel manufacturing apparatus, a solar cell panel manufacturing method, or The present invention relates to a laser processing apparatus or a laser processing method.

従来、太陽電池パネルの製造工程の主工程にパネル上に太陽電池膜を形成する工程がある。太陽電池膜は、ガラス基板上に、透明表面電極膜(表面ＴＣＯ膜：Transparent Conductive Oxide)、不透明の光電変換層(半導体膜)、透明裏面電極膜（裏面ＴＣＯ膜：ＴＣＯ＋金属(Ａｇ等))などの複数の膜を積層した構造を有する。また、太陽電池膜の形成工程においては、各層を形成後に膜の一部を除去するスクライブ工程がある。   Conventionally, there is a step of forming a solar cell film on the panel as a main step of the manufacturing process of the solar cell panel. The solar cell film is formed on a glass substrate with a transparent surface electrode film (surface TCO film: Transparent Conductive Oxide), an opaque photoelectric conversion layer (semiconductor film), a transparent back electrode film (back surface TCO film: TCO + metal (Ag, etc.)) And a plurality of such films are stacked. Moreover, in the formation process of a solar cell film | membrane, there exists a scribe process which removes a part of film | membrane after forming each layer.

昨今の基板の大型化に伴い、その基板上に形成された層に３０μｍ程度の幅を有するスクライブを多数形成する必要がある。従って、スクライブを効率的に形成するためにスクライブを形成するレーザを多数分岐し一度に複数のスクライブを形成することが望まれている。
太陽電池パネルの製造工程ではないが、半導体をスクライブするのに位相格子を用いてレーザ光を分岐してスクライブすることが、特許文献１に開示されている。 With the recent increase in size of a substrate, it is necessary to form a large number of scribes having a width of about 30 μm in a layer formed on the substrate. Therefore, in order to efficiently form scribes, it is desired to divide a large number of lasers that form scribes to form a plurality of scribes at a time.
Although it is not a manufacturing process of a solar cell panel, Patent Document 1 discloses that a laser beam is branched and scribed using a phase grating to scribe a semiconductor.

特開２００４−１４１９２９号公報JP 2004-141929 A

しかしながら、太陽電池パネルの製造工程においては、１１００ｍｍ×１４００ｍｍに、例えば、１０ｍｍ程度の間隔でスクライブを形成する必要があり、３００ｍｍφの半導体ウエハのとは異なり、レーザ光を分岐するための分岐光学系は大型化、重量化する。しかも、分岐光学系の光軸の位置合わせ精度が数十μｍ程度以内と厳しいものがある。
従って、分岐光学ヘッドの取付け調整の容易な、または分岐光学ヘッドの光軸の位置ズレを容易に検出できることが望まれている。 However, in the solar cell panel manufacturing process, it is necessary to form scribes at 1100 mm × 1400 mm, for example, at intervals of about 10 mm. Unlike a 300 mmφ semiconductor wafer, a branching optical system for branching laser light. Increases in size and weight. In addition, the optical axis alignment accuracy of the branching optical system is as severe as about several tens of μm.
Therefore, it is desired that the mounting adjustment of the branch optical head is easy or that the positional deviation of the optical axis of the branch optical head can be easily detected.

本発明は、上記の課題を鑑みてなされたものであり、その第１の目的は、分岐光学ヘッドの取付け調整の容易な、或いは、分岐光学ヘッドの光軸の位置ズレを容易に検出できる太陽電池パネル製造装置または太陽電池パネル製造方法を提供すことである。   The present invention has been made in view of the above problems, and a first object of the present invention is to provide a solar that can easily adjust the mounting of the branching optical head or can easily detect the positional deviation of the optical axis of the branching optical head. A battery panel manufacturing apparatus or a solar cell panel manufacturing method is provided.

また、本発明の第２の目的は、分岐光学ヘッドの取付け調整の容易な、または分岐光学ヘッドの光軸の位置ズレを容易に検出できるレーザ加工装置またはレーザ加工方法を提供することにある。   A second object of the present invention is to provide a laser processing apparatus or a laser processing method capable of easily adjusting the mounting of the branch optical head or detecting the positional deviation of the optical axis of the branch optical head.

本発明は、上記の目的を達成するために、少なくとも下記の特徴を有する。
本発明は、上記第１の目的を達成するために、複数のレーザ光に分岐する分岐光学ユニットにレーザ光を導入し、太陽電池膜を構成する膜に前記分岐されたレーザ光を照射して前記膜の一部を除去し、前記膜にスクライブを形成する太陽電池パネル製造装置または太陽電池パネル製造方法において、前記導入されたレーザ光を撮像し、撮像結果に基づいて前記導入光軸の位置を検出することを第１の特徴とする。 In order to achieve the above object, the present invention has at least the following features.
In order to achieve the first object, the present invention introduces a laser beam into a branching optical unit that branches into a plurality of laser beams, and irradiates the branched laser beam onto a film constituting a solar cell film. In the solar cell panel manufacturing apparatus or the solar cell panel manufacturing method in which a part of the film is removed and a scribe is formed in the film, the introduced laser beam is imaged, and the position of the introduced optical axis based on the imaging result The first feature is to detect.

また、本発明は、上記第１の目的を達成するために、前記複数のレーザ光に分岐は、λ／２板と偏光ビームスプリッタとを有し、前記λ／２板の偏光面を調節することを第２の特徴とする。
さらに、本発明は、上記第１の目的を達成するために、前記導入光軸の位置の検出結果に基づいて、前記導入光軸を形成する光学構成要素の取付け位置を調整することを第３の特徴とする。 In order to achieve the first object, the present invention includes a λ / 2 plate and a polarization beam splitter, and the polarization plane of the λ / 2 plate is adjusted. This is the second feature.
Furthermore, in order to achieve the first object, the present invention further includes adjusting a mounting position of an optical component forming the introduction optical axis based on a detection result of the position of the introduction optical axis. It is characterized by.

さらに、本発明は、上記第１の目的を達成するために、前記導入光軸の位置の検出結果に基づいて、前記導入光軸を構成する光学構成要素の取付け時からの又は所定の次期からの前記導入レーザ光の光軸の変化を検出することを第４の特徴とする。
また、本発明は、上記第１の目的を達成するために、前記分岐光学ユニットと前記膜とを相対的に前記スクライブのラインと垂直方向に移動させて、前記スクライブする前記レーザ光のスクライブ光軸の位置を検出することを第５の特徴とする。 Further, in order to achieve the first object, the present invention is based on the detection result of the position of the introduction optical axis, from the time of installation of the optical component constituting the introduction optical axis or from a predetermined next period. The fourth feature is that a change in the optical axis of the introduced laser beam is detected.
Further, in order to achieve the first object, the present invention moves the branching optical unit and the film relatively in a direction perpendicular to the scribe line and scribes the scribe light of the laser light to be scribed. The fifth feature is to detect the position of the shaft.

さらに、本発明は、上記第１の目的を達成するために、前記スクライブ光軸の位置の検出結果に基づいて、前記スクライブ光軸を形成する光学構成要素の取付け位置を調整することを第６の特徴とする。
また、本発明は、上記第１の目的を達成するために、前記スクライブ光軸の位置の検出結果に基づいて、前記スクライブ光軸を構成する光学構成要素の取付け時からの又は所定の次期からの前記導入レーザ光の光軸の変化を検出することを第７の特徴とする。 Furthermore, in order to achieve the first object, according to the present invention, a mounting position of an optical component forming the scribe optical axis is adjusted based on a detection result of the position of the scribe optical axis. It is characterized by.
Further, in order to achieve the first object, the present invention is based on the detection result of the position of the scribe optical axis, from the time of installation of the optical component constituting the scribe optical axis or from a predetermined next period. The seventh feature is that a change in the optical axis of the introduced laser beam is detected.

さらに、本発明は、上記第１の目的を達成するために、前記導入するレーザ光は前記レーザ光の光源からのレーザ光を平行光に変換したレーザ光であることを第８の特徴とする。
また、本発明は、上記第２の目的を達成するために、複数のレーザ光に分岐する分岐光学ユニットにレーザ光を導入し、被処理体にレーザ光を照射して前記被処理体を加工するレーザ加工装置またはレーザ加工方法において、前記導入されたレーザ光を撮像し、撮像結果に基づいて前記導入光軸の位置を検出することを第９の特徴とする。 Furthermore, in order to achieve the first object, the present invention is characterized in that the laser beam to be introduced is a laser beam obtained by converting a laser beam from a light source of the laser beam into a parallel beam. .
In order to achieve the second object, the present invention introduces a laser beam into a branching optical unit that branches into a plurality of laser beams, and irradiates the workpiece with the laser beam to process the workpiece. In the laser processing apparatus or the laser processing method, the ninth feature is that the introduced laser beam is imaged and the position of the introduced optical axis is detected based on the imaging result.

さらに、本発明は、上記第２の目的を達成するために、前記複数のレーザ光に分岐は、λ／２板と偏光ビームスプリッタとを有し、前記λ／２板の偏光面を調節することを第１０の特徴とする。   Further, according to the present invention, in order to achieve the second object, the branching into the plurality of laser beams includes a λ / 2 plate and a polarization beam splitter, and adjusts a polarization plane of the λ / 2 plate. This is the tenth feature.

本発明によれば、分岐光学ヘッドの取付け調整の容易な、または分岐光学ヘッドの光軸の位置ズレを容易に検出できる太陽電池パネル製造装置または太陽電池パネル製造方法を提供できる。
また、本発明の第２の目的は、分岐光学ヘッドの取付け調整の容易な、または分岐光学ヘッドの光軸の位置ズレを容易に検出できるレーザ加工装置またはレーザ加工方法を提供できる。 ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the solar cell panel manufacturing apparatus or solar cell panel manufacturing method which can detect the position shift of the optical axis of a branch optical head with easy attachment adjustment of a branch optical head can be provided.
The second object of the present invention is to provide a laser processing apparatus or a laser processing method capable of easily adjusting the mounting of the branch optical head or detecting the positional deviation of the optical axis of the branch optical head.

本発明の一実施形態である太陽電池パネル製造装置の概略構成を示す図である。It is a figure which shows schematic structure of the solar cell panel manufacturing apparatus which is one Embodiment of this invention. 本発明の光学系前処理ユニットの第１の実施形態と、レーザ光源を示す図である。It is a figure which shows 1st Embodiment of the optical system pre-processing unit of this invention, and a laser light source. 本発明の分岐光学ユニットの第１の実施形態を示す図である。It is a figure which shows 1st Embodiment of the branch optical unit of this invention. 分岐検査光学部の取付け調整の調整時又は光軸の位置ズレ等の検査時の状態を示す図である。It is a figure which shows the state at the time of the inspection at the time of adjustment of the attachment adjustment of a branch inspection optical part, or a position shift of an optical axis. 分岐検査光学部の取付け調整の調整時又は光軸の位置ズレ等の検査時の検査カメラの撮像結果を示す図である。It is a figure which shows the imaging result of the test | inspection camera at the time of adjustment | control of attachment adjustment of a branch test | inspection optical part, or at the time of inspections, such as a position shift of an optical axis. 各光学ヘッドの取付け調整の調整時又は光軸の位置ズレ等の検査時の状態を示す図である。It is a figure which shows the state at the time of the test | inspection of the positional deviation of an optical axis, etc. at the time of adjustment of attachment adjustment of each optical head. パワーメータを使用することで各光学ヘッドのパワーを測定する状態を示す図である。It is a figure which shows the state which measures the power of each optical head by using a power meter. 本発明の光学系前処理ユニットの第２の実施形態と、レーザ光源を示す図である。It is a figure which shows 2nd Embodiment of the optical system pre-processing unit of this invention, and a laser light source. 本発明の分岐光学ユニットの第２の実施形態を示す図である。It is a figure which shows 2nd Embodiment of the branching optical unit of this invention. 本発明の分岐光学ユニットの第３の実施形態を示す図である。It is a figure which shows 3rd Embodiment of the branching optical unit of this invention. 太陽電池膜の一実施形態を模式的に示す図である。It is a figure which shows typically one Embodiment of a solar cell film | membrane.

以下、図面に基づいて本発明の実施形態を太陽電池パネル製造装置５０を例に説明する。
図１０は太陽電池膜の一実施形態を模式的に示す図である。太陽電池膜３は、ガラス基板３１の上に１層目として表面ＴＣＯ膜３４、２層目として光電変換する半導体膜(ａ-Ｓｉ)３２及び３層目として裏面ＴＣＯ膜３３の３層の膜を有し、半導体膜(ａ-Ｓｉ)３２を通過した光を反射させて光電変換を上げるためのアルミニウム膜ＡＬを有する。太陽光Ｓを下から照射すると半導体膜(ａ-Ｓｉ)３２で光電変換され、負荷(図示せず)を接続すると波状の矢印Ａのように電流が流れる。そのためには、各層にスクライブ３４Ｓ、３２Ｓ、３３Ｓを形成する必要がある。そのスクライブ幅は数十μｍであり、その間隔は１０ｍｍ程度である。以下の説明では、太陽電池膜３またはガラス基板３１を共に被処理体３０と表す。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described by taking a solar cell panel manufacturing apparatus 50 as an example based on the drawings.
FIG. 10 is a diagram schematically showing one embodiment of a solar cell film. The solar cell film 3 is a three-layer film of a surface TCO film 34 as the first layer on the glass substrate 31, a semiconductor film (a-Si) 32 that performs photoelectric conversion as the second layer, and a back surface TCO film 33 as the third layer. And an aluminum film AL for reflecting light that has passed through the semiconductor film (a-Si) 32 to improve photoelectric conversion. When sunlight S is irradiated from below, photoelectric conversion is performed by the semiconductor film (a-Si) 32, and when a load (not shown) is connected, a current flows as indicated by a wavy arrow A. For this purpose, it is necessary to form scribes 34S, 32S, 33S in each layer. The scribe width is several tens of μm, and the interval is about 10 mm. In the following description, both the solar cell film 3 or the glass substrate 31 are represented as the object to be processed 30.

図１は、本発明の一実施形態である太陽電池パネル製造装置５０の概略構成を示す図である。
太陽電池パネル製造装置５０は、下部基台８１、下部基台８１上に固定された上部基台８２、被処理対体３０を浮上させて支持するエア浮上ステージ５、エア浮上ステージ５をＸ軸方向(矢印Ｂ)に移動させるステージ駆動部４と、スクライブ形成するためのレーザ光源６と、レーザ光源６からのレーザ光６１をスクライブ位置まで導く光学系前処理ユニット２と、光学系前処理ユニット２の出力光(レーザ光６１)を打ち下ろしする打ち下ろしミラー１１と、打ち下ろしミラー１１を載置し、光学系前処理ユニット２の出力光(レーザ光６１)を打ち下ろしミラー１１、導入口１９を介して受ける分岐光学ユニット１と、分岐光学ユニット１の光軸を調整または光軸ズレを検査する固定カメラ８(図４参照)と、これ等を制御する制御部９とを有する。 FIG. 1 is a diagram showing a schematic configuration of a solar cell panel manufacturing apparatus 50 according to an embodiment of the present invention.
The solar cell panel manufacturing apparatus 50 includes a lower base 81, an upper base 82 fixed on the lower base 81, an air levitation stage 5 for levitating and supporting the object to be processed 30, and the air levitation stage 5 as an X axis. Stage drive unit 4 moved in the direction (arrow B), laser light source 6 for forming a scribe, optical system pre-processing unit 2 for guiding laser light 61 from the laser light source 6 to the scribe position, and optical system pre-processing unit 2 and the down mirror 11 are placed, and the output light (laser beam 61) of the optical system pre-processing unit 2 is down. A branching optical unit 1 received via the fixed optical unit 19; a fixed camera 8 (see FIG. 4) that adjusts the optical axis of the branching optical unit 1 or inspects the optical axis misalignment; and a control unit 9 that controls these.

ステージ駆動部４は、下部基台８１上に設けられ、例えば、リニアモータ固定子を有する左右の走行レール４１と、エア浮上ステージ５の四隅に設けられ、リニアモータ可動子を有する脚部４２と、位置を検出するリニアエンコーダ４３とを有する。
上部基台８２は、レーザ光源６と光学系前処理ユニット２を載置するともに、分岐光学ユニット１をＹ軸方向(矢印Ｃ)に走査するための分岐光学走査駆動部７と、被処理体３０の位置を把握するアライメントカメラ８３とを有する。分岐光学走査駆動部７は上部基台８２に側部に設けられたリニアモータ固定子を有する走行レール７１と分岐光学ユニット１に設けられたリニアモータ可動子(図示せず)とで構成される。 The stage drive unit 4 is provided on the lower base 81 and includes, for example, left and right traveling rails 41 having linear motor stators, and leg portions 42 provided at four corners of the air levitation stage 5 and having linear motor movable elements. And a linear encoder 43 for detecting the position.
The upper base 82 mounts the laser light source 6 and the optical system preprocessing unit 2, and also includes a branching optical scanning drive unit 7 for scanning the branching optical unit 1 in the Y-axis direction (arrow C), and an object to be processed. And an alignment camera 83 for grasping 30 positions. The branch optical scanning drive unit 7 includes a traveling rail 71 having a linear motor stator provided on the side of the upper base 82 and a linear motor movable element (not shown) provided in the branch optical unit 1. .

これ等の構成により、制御装置９は分岐光学ユニット１の被処理体３０に対する位置を把握でき、スクライブすべき位置に分岐光学ユニット１を制御できる。具体的には、レーザ光６１は、分岐光学走査駆動部７によりＹ軸方向に走査され、ステージ駆動部４によりＸ方向に走査され、エア浮上ステージ５の全面を走査できる。スクライブを矩形上に形成するには、制御装置９は、レーザ光６１をＹ方向の所望の位置に移動させ、その後Ｘ方向に走査し、反対側の端面に来たら、再度Ｙ方向の所望の位置に移動させ、そしてＸ方向に戻るように走査する。この動作を繰返すことによって、太陽電池パネル製造装置１０は、エア浮上ステージ５の全面に亘って矩形上のスクライブを形成することができる。   With these configurations, the control device 9 can grasp the position of the branching optical unit 1 with respect to the object 30 and can control the branching optical unit 1 to a position to be scribed. Specifically, the laser beam 61 is scanned in the Y-axis direction by the branch optical scanning drive unit 7 and is scanned in the X direction by the stage drive unit 4, so that the entire surface of the air floating stage 5 can be scanned. In order to form the scribe on the rectangle, the control device 9 moves the laser beam 61 to a desired position in the Y direction, and then scans in the X direction. Move to position and scan back in X direction. By repeating this operation, the solar cell panel manufacturing apparatus 10 can form a rectangular scribe over the entire surface of the air levitation stage 5.

図２は、本発明の光学系前処理ユニット２の第１の実施形態と、レーザ光源６を示す図である。
光学系前処理ユニット２は、λ板２１ａを回転させることにより２１ｂの透過率が変化させ、レーザ光６１の光強度を調節するアッテネータ２１と、ビームエキスパンダ２３に入射するビーム径が最適になるように２つのプリズム２２ａ、２２ｂで光路長を調節する光路長調節部２２と、レーザ光６１を平行光に変換するビームエキスパンダ２３と、ミラー２４と、レーザ光６１のスクライブにおけるＸ、Ｙ方向の照射位置をそれぞれ調節するＸガルバノミラー２５と、Ｙガルバノミラー２６とを有する。
この構成によって、レーザ光６１が平行光となって、後述する分岐光学ユニット１に所定の軸を有するように入射することができる。 FIG. 2 is a diagram showing the first embodiment of the optical system preprocessing unit 2 of the present invention and the laser light source 6.
The optical system preprocessing unit 2 changes the transmittance of 21 b by rotating the λ plate 21 a, and the beam diameter incident on the attenuator 21 that adjusts the light intensity of the laser light 61 and the beam expander 23 is optimized. As described above, the optical path length adjustment unit 22 that adjusts the optical path length by the two prisms 22a and 22b, the beam expander 23 that converts the laser light 61 into parallel light, the mirror 24, and the X and Y directions in the scribing of the laser light 61 X galvanometer mirror 25 and Y galvanometer mirror 26 which respectively adjust the irradiation position of each.
With this configuration, the laser beam 61 can be made into parallel light and incident on a branching optical unit 1 described later so as to have a predetermined axis.

図３は、本発明の分岐光学ユニット１の第１の実施形態を示す図である。分岐光学ユニット１は、大別して、打ち下ろしミラー１１と、打ち下ろしされたレーザ光６１を導入する導入口１９と、それぞれ破線で囲んだ４つの光学ヘッド１Ａ乃至１Ｄと、中央に一点鎖線で示した分岐検査光学部１Ｅとを有する。図３の右上に示すλ／２板１４ａとＰＢＳ（偏光ビームスプリッタ）１４ｂとの組合せで構成する光分配部１４は、λ／２板の偏光面を調節することによって、右上図に示すように光を２分岐し、その光量を分配する機能を有する。図３中には煩雑さを防ぐために光分配器１４として表示し、説明でも光分配器１４として説明する。
なお、図３に示す符号のＡ乃至Ｄは、それぞれ光学ヘッド１Ａ乃至１Ｄの構成を、符号Ｅは分岐検査光学部１Ｅの構成を示す。また、矢印Ｉ、Ｊ及びＫは、各光学ヘッド１Ａ乃至１Ｄ自体または構成要素の動作方向を示し、煩雑を避けるために一箇所に代表して付している。 FIG. 3 is a diagram showing a first embodiment of the branching optical unit 1 of the present invention. The branching optical unit 1 is roughly divided into a down mirror 11, an introduction port 19 for introducing the down laser beam 61, four optical heads 1 </ b> A to 1 </ b> D each surrounded by a broken line, and a dashed line in the center. And a branch inspection optical unit 1E. As shown in the upper right diagram, the light distribution unit 14 composed of a combination of the λ / 2 plate 14a and the PBS (polarized beam splitter) 14b shown in the upper right of FIG. 3 adjusts the polarization plane of the λ / 2 plate. It has a function of splitting light into two and distributing the amount of light. In FIG. 3, it is displayed as the light distributor 14 in order to prevent complexity, and will be described as the light distributor 14 in the description.
In addition, the code | symbol A thru | or D shown in FIG. 3 show the structure of optical head 1A thru | or 1D, respectively, and code | symbol E shows the structure of the branch test | inspection optical part 1E. Arrows I, J, and K indicate the operation directions of the optical heads 1A to 1D themselves or the components, and are representatively attached to one place in order to avoid complexity.

次に、各光学ヘッド１Ａ乃至１Ｄと分岐検査光学部１Ｅの構成及び動作を、図３及び図４を用いて説明する。図４は、分岐検査光学部１Ｅの取付け調整の調整時又は光軸の位置ズレ等の検査時の状態を示す図である。図４において、煩雑さを避ける説明に関係のない符号は一部省略している。
分岐検査光学部１Ｅは２つの分配器１４Ｅａ、１４Ｅｂを有する。光分配器１４Ｅａは、第１に、打ち下ろしミラー１１及び導入口１９を経由して入射してきたレーザ光６１を光学ヘッド１Ａ，１Ｂ側と、光学ヘッド１Ｃ、１Ｄ側に光量を等しくなるように調節し、分岐する。 Next, configurations and operations of the optical heads 1A to 1D and the branch inspection optical unit 1E will be described with reference to FIGS. FIG. 4 is a diagram illustrating a state at the time of adjustment of attachment adjustment of the branch inspection optical unit 1E or an inspection such as positional deviation of the optical axis. In FIG. 4, a part of the reference numerals not related to the explanation for avoiding the complexity is omitted.
The branch inspection optical unit 1E includes two distributors 14Ea and 14Eb. First, the light distributor 14Ea causes the laser light 61 incident via the down mirror 11 and the introduction port 19 to have the same amount of light on the optical heads 1A, 1B side and on the optical heads 1C, 1D side. Adjust and branch.

一方、光分配器１４Ｅｂは２つの役目を持つ。第１に、スクライブ時において、図３に示しように、光分配器１４Ｅａからのレーザ光６１を全量、光学ヘッド１Ｃ、１Ｄ側に分配する。   On the other hand, the optical distributor 14Eb has two roles. First, at the time of scribing, as shown in FIG. 3, the entire amount of laser light 61 from the optical distributor 14Ea is distributed to the optical heads 1C and 1D.

第２に、分岐検査光学部１Ｅの２つの光分配器１４Ｅａ、１４Ｅｂの取付け調整時に、或いは分岐検査光学部１Ｅの光軸の位置ズレの検査時において、図４に示すように、光分配器１４Ｅａからのレーザ光６１のうち所定の割合のレーザ光６１ｄを検査カメラ８に分配する導入光分配手段の役目を果たす。検査カメラ８は下部基台８１の基準位置に固定されている。そこで、平行光であるレーザ光６１ｄの画像を検査カメラ８に取込む。その画像６１ａが円形形状になうように、またその画像６１ａの中心位置、即ちレーザ光の光軸位置６１ｂが、図５(ａ）に示すように検査カメラ８の撮像範囲の中心位置８ａと一致するように光分配器１４ａ、１４ｂの取付けを調整することで、容易に取付け調整を行なうことができる。また、運転後は、定期的にレーザ光６１の光軸のズレ及び画像の変形を、調整時又はある時点における画像と比較し、両者の中心位置の差を光軸のズレ量ΔＸ、ΔＹ及びビーム径の差ΔＤｘ(＝Ｄｘ−Ｄｘ’)、ΔＤｙ(＝Ｄｙ−Ｄｙ’)(図５(ｂ))で 、又は光軸の傾斜を楕円度(図５(ｃ))で検査する。例えば、そのズレが所定量、例えば数十μｍずれた場合、分岐検査光学部１Ｅのユニット交換を行なうなどの処置をとる。また、レーザ光の画像が楕円になっていれば楕円方向に傾斜していることになる。   Secondly, as shown in FIG. 4, when adjusting the mounting of the two optical distributors 14Ea and 14Eb of the branch inspection optical unit 1E or when checking the positional deviation of the optical axis of the branch inspection optical unit 1E, as shown in FIG. It plays the role of introduction light distribution means for distributing a predetermined proportion of the laser light 61 from 14Ea to the inspection camera 8. The inspection camera 8 is fixed at the reference position of the lower base 81. Therefore, an image of the laser beam 61d which is parallel light is taken into the inspection camera 8. The center position of the image 61a, that is, the optical axis position 61b of the laser beam is set to the center position 8a of the imaging range of the inspection camera 8 as shown in FIG. 5A so that the image 61a has a circular shape. By adjusting the mounting of the optical distributors 14a and 14b so as to match, the mounting can be adjusted easily. Further, after the operation, the optical axis deviation of the laser beam 61 and the deformation of the image are periodically compared with the image at the time of adjustment or at a certain point of time, and the difference between the center positions of the two is compared with the deviation amounts ΔX, ΔY of the optical axis and The difference in beam diameters ΔDx (= Dx−Dx ′), ΔDy (= Dy−Dy ′) (FIG. 5B), or the inclination of the optical axis is examined by ellipticity (FIG. 5C). For example, when the deviation is deviated by a predetermined amount, for example, several tens of μm, a measure such as replacing the branch inspection optical unit 1E is taken. Further, if the image of the laser beam is an ellipse, it is inclined in the ellipse direction.

次に、図３を用いて、各光学ヘッド１Ａ乃至１Ｄについて説明する。各光学ヘッドは二つの基本的なタイプに分かれる。一つは光学ヘッド１Ｂ、１Ｃである。光学ヘッド１Ｂ、１Ｃは、外側に配置された光学ヘッド１Ａ，１Ｄ側と被処理体３０側にレーザ光６１を等量に分岐する光分配器１４Ｂまたは１４Ｃを有する。他の一つは光学ヘッド１Ａ、１Ｄである。光学ヘッド１Ａ、１Ｄは、光学ヘッド１Ｂ、１Ｃで分岐されたレーザ光６１を被処理体３０側にレーザ光６１を反射させる三角プリズム１５Ａまたは１５Ｄを有する。各光学ヘッド１Ａ乃至１Ｄはその他の共通の構成要素を有する。その他の共通要素は、被処理体３０にレーザ光を集光させる集光レンズ１６Ａ乃至１６Ｄと、被処理体３０との距離を非接触で測定する、例えば非接触式レーザ変位計１７Ａ乃至１７Ｄと、非接触式レーザ変位計１７Ａ乃至１７Ｄからの出力に基づき集光レンズ１６Ａ乃至１６Ｄを矢印Ｋ方向に駆動する駆動手段(図示せず)と、被処理体３０以外にレーザ光を照射されるときに矢印Ｊ方向に移動し照射を遮断するシャッタ１８Ａ乃至１８Ｄとを有する。また、各光学ヘッド１Ａ乃至１Ｄは、矢印Ｉ方向に移動可能手段(図示せず)を有する。   Next, the optical heads 1A to 1D will be described with reference to FIG. Each optical head is divided into two basic types. One is the optical heads 1B and 1C. The optical heads 1B and 1C have optical distributors 14B and 14C that split the laser light 61 into equal amounts on the optical heads 1A and 1D arranged on the outer side and the object 30 side. The other is optical heads 1A and 1D. The optical heads 1A and 1D have triangular prisms 15A and 15D that reflect the laser light 61 branched by the optical heads 1B and 1C toward the object 30 to be processed. Each optical head 1A to 1D has other common components. Other common elements include, for example, non-contact type laser displacement meters 17A to 17D that measure the distance between the condenser lenses 16A to 16D for condensing the laser light on the object 30 and the object 30 without contact. When laser light is irradiated to a part other than the object to be processed 30 and drive means (not shown) for driving the condenser lenses 16A to 16D in the direction of the arrow K based on the outputs from the non-contact type laser displacement meters 17A to 17D And shutters 18A to 18D that move in the direction of arrow J to block irradiation. Each of the optical heads 1A to 1D has means (not shown) that can move in the direction of arrow I.

上記の構成によって、導入口１９から入射するレーザ光６１は、平行光であるので、各光学ヘッド１Ａ乃至１Ｄから出射されるレーザ光６１は、同一光量、同一のプロファイルを有し、各光学ヘッド１Ａ乃至１Ｄで略同一の形状を有するスクライブ溝を形成できる。また、各光学ヘッド１Ａ乃至１Ｄは、図３に示すように、互いに距離Ｌ離れた位置をスクライブするように調節されている。   With the above configuration, since the laser light 61 incident from the introduction port 19 is parallel light, the laser light 61 emitted from each of the optical heads 1A to 1D has the same light amount and the same profile. Scribe grooves having substantially the same shape in 1A to 1D can be formed. Further, as shown in FIG. 3, the optical heads 1A to 1D are adjusted to scribe positions separated from each other by a distance L.

図６Ａは、各光学ヘッド１Ａ乃至１Ｄの取付け調整の調整時又は光軸の位置ズレ等の検査時の状態を示す図で、例として光学ヘッド１Ｂの場合を示す。図６において、煩雑さを避ける説明に関係のない符号は一部省略している。   FIG. 6A is a diagram showing a state at the time of adjustment of attachment adjustment of each of the optical heads 1A to 1D or an inspection such as positional deviation of the optical axis, and shows the case of the optical head 1B as an example. In FIG. 6, some symbols that are not related to the explanation for avoiding complexity are partially omitted.

分岐光学ユニット１全体は、図１に示す分岐光学走査駆動部７によって矢印Ｈ方向に自動的に移動可能である。そこで、分岐検査光学部１Ｅで取付け調整が終わった後、分岐光学ユニット１を図１に示す所定の距離であるＬ／２の距離を移動させて、図６に示すように、光学ヘッド１Ｂを検査カメラ８の真上に移動させる。このとき検査カメラ８はデフォーカスの位置に固定されている。この結果、分岐検査光学部１Ｅと同様に、しかも取付け調整時は図５(ａ）と同様に、レーザ光６１ｅの画像が、所定の大きさで検査カメラ８の撮像範囲の中心位置８ａと一致するように、光学ヘッド１Ｂの構成要素１４Ｂ、１６Ｂなどの取付け調整を行なう。また、運転時には、図５(ｂ)、図５(ｃ)と同様にして、光学ヘッドの光軸のズレ、ビーム径及び傾斜を検出でき、必要な処置をとることができる。   The entire branching optical unit 1 can be automatically moved in the direction of arrow H by a branching optical scanning drive unit 7 shown in FIG. Therefore, after the attachment adjustment is completed in the branch inspection optical unit 1E, the branch optical unit 1 is moved by a distance L / 2 which is a predetermined distance shown in FIG. 1, and the optical head 1B is moved as shown in FIG. Move directly above the inspection camera 8. At this time, the inspection camera 8 is fixed at a defocus position. As a result, as with the branch inspection optical unit 1E, and at the time of mounting adjustment, the image of the laser beam 61e coincides with the center position 8a of the imaging range of the inspection camera 8 with a predetermined size, as in FIG. 5A. As described above, the mounting adjustment of the components 14B and 16B of the optical head 1B is performed. Further, during operation, as in FIGS. 5B and 5C, the optical axis shift, beam diameter and inclination of the optical head can be detected, and necessary measures can be taken.

また、図６Ｂに示すように、パワーメータ８４を使用することで各光学ヘッド１Ａ乃至１Ｄのパワーを随時測定できる。これにより、調整時またはある時点におけるパワー値と比較して、所定の範囲のパワーが得られているかを判断できる。所定の範囲のパワーが得られていなければ、アッテネータ２１のλ板２１ａを調整、または各光分配器１４のλ／２板、例えば１４ａを調整する処置をとることができる。   Further, as shown in FIG. 6B, the power of each optical head 1A to 1D can be measured at any time by using a power meter 84. As a result, it is possible to determine whether or not a predetermined range of power has been obtained by comparison with the power value at the time of adjustment or at a certain time. If power in a predetermined range is not obtained, it is possible to take measures to adjust the λ plate 21a of the attenuator 21 or adjust the λ / 2 plate of each optical distributor 14, for example, 14a.

以上の説明では、分岐検査光学部１Ｅ及び各光学ヘッド１Ａ乃至１Ｄ単独で運転時の検査をする方法を述べた。しかし、光軸のズレ或いは光軸の傾斜が同一傾向であれば、分岐光学ユニット１自体が傾斜したとか、または前段の光学系前処理ユニット２で光軸のズレが発生したとか、の原因が考えられる。   In the above description, the method for inspecting the operation of the branch inspection optical unit 1E and each of the optical heads 1A to 1D alone has been described. However, if the optical axis deviation or the optical axis inclination is the same, the cause may be that the branching optical unit 1 itself is inclined or that the optical axis deviation occurs in the preceding optical system pre-processing unit 2. Conceivable.

以上説明した実施形態によれば、分岐光学ヘッドの取付け調整の容易な、或いは、分岐光学ヘッドの光軸の位置ズレを容易に検出できる太陽電池パネル製造装置または太陽電池パネル製造方法を提供できる。   According to the embodiment described above, it is possible to provide a solar cell panel manufacturing apparatus or a solar cell panel manufacturing method in which the mounting adjustment of the branch optical head is easy or the positional deviation of the optical axis of the branch optical head can be easily detected.

図７は、本発明の光学系前処理ユニット２の第２の実施形態と、レーザ光源６を示す図である。図８は本発明の分岐光学ユニット１の第２の実施形態を示す図である。図８において、煩雑さを避けるために、図３と共通な部分の符号を一部省略している。   FIG. 7 is a view showing a second embodiment of the optical system preprocessing unit 2 of the present invention and a laser light source 6. FIG. 8 is a diagram showing a second embodiment of the branching optical unit 1 of the present invention. In FIG. 8, in order to avoid complexity, some of the reference numerals common to FIG. 3 are omitted.

第１の実施形態と異なる点は、光学系前処理ユニット２にレーザ光６１を平行光に変換するビームエキスパンダを設けていない点である。その結果、図８の各光学ヘッド１Ａ乃至１Ｄのスクライブ位置までの光路長が異なると、スクライブ径が異なる。そこで、図８に示す分岐光学ユニット１では、各光学ヘッド１Ａ乃至１Ｄのスクライブ位置までの光路長が同じになうように、光学ユニット１Ｂ、１Ｃに光路調整用の三角プリズム１２Ｂａ、１２Ｂｂ及び１２Ｃａ、１２Ｃｂを設けている。図８において、光路上の記号‖、△は同一記号を有する光路長が互いに同じ長さであることを示す。   The difference from the first embodiment is that the optical system preprocessing unit 2 is not provided with a beam expander that converts the laser light 61 into parallel light. As a result, when the optical path lengths to the scribe positions of the optical heads 1A to 1D in FIG. 8 are different, the scribe diameters are different. Therefore, in the branching optical unit 1 shown in FIG. 8, the optical path adjustment triangular prisms 12Ba, 12Bb, and 12Ca are provided to the optical units 1B and 1C so that the optical path lengths to the scribe positions of the optical heads 1A to 1D are the same. , 12Cb are provided. In FIG. 8, symbols ‖ and Δ on the optical path indicate that the optical path lengths having the same symbol are the same length.

その他の点については、第１の実施形態と同様である。
本発明の第２の実施形態においても、第１の実施形態と同様な効果を奏することができる。 The other points are the same as in the first embodiment.
Also in the second embodiment of the present invention, the same effects as in the first embodiment can be obtained.

図９は本発明の分岐光学ユニット１の第３の実施形態を示す図である。図９において、煩雑さを避けるために、図３と共通な部分の符号を一部省略している、
第３の実施形態の分岐光学ユニット１は、第１の光学系前処理ユニット２と共に用いられる。第３の実施形態の分岐光学ユニット１の第１の実施形態と異なる点は、各光学ヘッド１Ｂ、１Ｃ及び分岐検査光学部１Ｅの光分配器の１４Ｂ，１４Ｃ及び１４Ｅａの代わりに、無偏光ビームスプリッタ４１Ｂ、４１Ｃ及び４１Ｅを用いる点である。その他の点については、第１の実施形態と同様である。 FIG. 9 is a diagram showing a third embodiment of the branching optical unit 1 of the present invention. In FIG. 9, in order to avoid complexity, some of the reference numerals common to FIG. 3 are omitted.
The branching optical unit 1 of the third embodiment is used together with the first optical system preprocessing unit 2. The difference from the first embodiment of the branching optical unit 1 of the third embodiment is that an unpolarized beam is used instead of the optical distributors 14B, 14C and 14Ea of the optical heads 1B and 1C and the branch inspection optical unit 1E. The point is that the splitters 41B, 41C and 41E are used. The other points are the same as in the first embodiment.

本発明の第３の実施形態は、第１の実施形態と異なり、光分配器において光の光量調節はできないが、第１の実施形態と同様に検出カメラ８を用いることによって、分岐光学ヘッド１Ａ乃至１Ｄや分岐検査光学部１Ｅの取付け調整を容易に検出できる。また、第３の実施形態は、分岐光学ヘッドや分岐検査光学部の光軸の位置ズレ等を容易に検出できる。   Unlike the first embodiment, the third embodiment of the present invention cannot adjust the amount of light in the light distributor, but the branching optical head 1A can be obtained by using the detection camera 8 as in the first embodiment. 1D or mounting inspection of the branch inspection optical unit 1E can be easily detected. Further, the third embodiment can easily detect the positional deviation of the optical axis of the branching optical head or the branch inspection optical unit.

また、以上の第１乃至第３実施形態では、太陽電池パネル製造を例に説明したが、太陽電池パネル製造だけでなく、レーザ光を分岐しそれらが被処理体を加工する場合においても本発明を適用できる。
従って、以上説明した実施形態によれば、分岐を有する分岐光学ヘッド或いは分岐検査光学部を有するレーザ加工装置またはレーザ加工方法において、分岐を有する分岐光学ヘッド或いは分岐検査光学部の取付け調整の容易な、或いは、分岐光学ヘッドの光軸の位置ズレを容易に検出できるレーザ加工装置またはレーザ加工方法を提供できる。 In the first to third embodiments described above, the solar cell panel manufacturing is described as an example. However, the present invention is not limited to the solar cell panel manufacturing but also in the case where the laser beam is branched to process the object to be processed. Can be applied.
Therefore, according to the embodiment described above, in the laser processing apparatus or the laser processing method having the branch optical head or the branch inspection optical unit having the branch, it is easy to adjust the mounting of the branch optical head or the branch inspection optical unit having the branch. Alternatively, it is possible to provide a laser processing apparatus or a laser processing method that can easily detect the positional deviation of the optical axis of the branching optical head.

１：分岐光学ユニット １Ａ、１Ｂ、１Ｃ、１Ｄ：光学ヘッド
１Ｅ：分岐検査光学部 ２：光学系前処理ユニット
３：太陽電池膜 ４：ステージ駆動部
５：エア浮上ステージ ６：レーザ光源
７：分岐光学走査駆動部 ８：検査カメラ
９：制御装置 １１：打ち下ろしミラー
１２Ｂａ、１２Ｂｂ、１２Ｃａ、１２Ｃｂ：光路長調整用の三角プリズム
１４Ｂ、１４Ｃ、１４Ｅａ、１４Ｅｂ：光分配器
１４ａ：λ／２板 １４ｂ：ＰＢＳ(偏光ビームスプリッタ）
１５Ａ，１５Ｄ：三角プリズム １６：集光レンズ
１７：非接触式レーザ変位計 １８：シャッタ
１９：導入口 ２１：アッテネータ
２２：光路長調節部 ２３：ビームエキスパンダ
２４：ミラー ２５：Ｘガルバノミラー
２６：Ｙガルバノミラー ３０：被処理体
３１：ガラス基板 ４１：無偏光ビームスプリッタ
５０：太陽電池パネル製造装置 ６１：レーザ光
８１：下部基台 ８２：上部基台
８３：アライメントカメラ ８４：パワーメータ。 1: Branch optical unit 1A, 1B, 1C, 1D: Optical head 1E: Branch inspection optical unit 2: Optical system pre-processing unit 3: Solar cell film 4: Stage drive unit 5: Air floating stage 6: Laser light source 7: Branch Optical scanning drive unit 8: Inspection camera 9: Control device 11: Down mirror 12Ba, 12Bb, 12Ca, 12Cb: Triangular prism for adjusting the optical path length 14B, 14C, 14Ea, 14Eb: Optical distributor 14a: λ / 2 plate 14b : PBS (polarization beam splitter)
15A, 15D: Triangular prism 16: Condensing lens 17: Non-contact type laser displacement meter 18: Shutter 19: Inlet 21: Attenuator 22: Optical path length adjusting unit 23: Beam expander 24: Mirror 25: X galvanometer mirror 26: Y Galvano mirror 30: Object to be processed 31: Glass substrate 41: Non-polarizing beam splitter 50: Solar cell panel manufacturing apparatus 61: Laser light 81: Lower base 82: Upper base 83: Alignment camera 84: Power meter

Claims (21)

レーザ光を導入し、前記レーザ光を複数のレーザ光に分岐する光分配器を具備し、太陽電池膜を構成する膜に前記分岐されたレーザ光を照射して前記膜の一部を除去する分岐光学ユニットと、前記太陽電池膜と前記分岐光学ユニットとを相対的に移動させ移動手段とを有し、前記膜にスクライブを形成する太陽電池パネル製造装置において、
前記導入されたレーザ光の導入光軸上に設けられた撮像手段と、前記撮像手段へ前記導入レーザ光を分配する導入光分配手段を具備する前記分岐光学ユニットと、前記撮像手段の撮像結果に基づいて前記導入光軸の位置を検出する検出手段とを有することを特徴とする太陽電池パネル製造装置。 An optical distributor for introducing laser light and branching the laser light into a plurality of laser lights is provided, and the film constituting the solar cell film is irradiated with the branched laser light to remove a part of the film. In a solar cell panel manufacturing apparatus that has a branching optical unit, a moving means that relatively moves the solar cell film and the branching optical unit, and forms a scribe in the film,
An imaging means provided on the introduction optical axis of the introduced laser light, the branching optical unit comprising the introduction light distribution means for distributing the introduction laser light to the imaging means, and the imaging result of the imaging means And a detecting means for detecting the position of the introduction optical axis based on the solar cell panel manufacturing apparatus. 前記移動手段は前記分岐光学ユニットと前記膜とを相対的に前記スクライブのラインと垂直方向に移動させる分岐光学走査手段を有し、前記スクライブする前記レーザ光のパワーを測定するパワー測定手段を有することを特徴とする請求項１に記載の太陽電池パネル製造装置。   The moving means has branching optical scanning means for moving the branching optical unit and the film relatively in a direction perpendicular to the scribe line, and has power measuring means for measuring the power of the laser light to be scribed. The solar cell panel manufacturing apparatus according to claim 1. 前記導入光分配手段は、λ／２板と偏光ビームスプリッタとを有し、前記λ／２板の偏光面を調節する手段であることを特徴とする請求項１に記載の太陽電池パネル製造装置。   2. The solar cell panel manufacturing apparatus according to claim 1, wherein the introduction light distribution unit includes a λ / 2 plate and a polarization beam splitter, and is a unit that adjusts a polarization plane of the λ / 2 plate. . 前前記検出手段は、前記導入光軸の位置の検出結果に基づいて、前記導入光軸を形成する光学構成要素の取付け位置を調整することを特徴する請求項１又は３に記載の太陽電池パネル製造装置。   4. The solar cell panel according to claim 1, wherein the detection unit adjusts an attachment position of an optical component forming the introduction optical axis based on a detection result of the position of the introduction optical axis. 5. Manufacturing equipment. 前記検出手段は、前記導入光軸の位置の検出結果に基づいて、前記導入光軸を構成する光学構成要素の取付け時からの又は所定の次期からの前記導入レーザ光の光軸の変化を検出することを特徴する請求項１又は３に記載の太陽電池パネル製造装置。   The detection means detects a change in the optical axis of the introduced laser light from when the optical component constituting the introduced optical axis is attached or from a predetermined next stage based on the detection result of the position of the introduced optical axis. The solar cell panel manufacturing apparatus according to claim 1 or 3, characterized in that: 前記移動手段は前記分岐光学ユニットと前記膜とを相対的に前記スクライブのラインと垂直方向に移動させる分岐光学走査手段を有し、前記検出手段はスクライブ光軸の位置を検出することを特徴とする請求項１又は３に記載の太陽電池パネル製造装置。   The moving means has branch optical scanning means for moving the branch optical unit and the film in a direction perpendicular to the scribe line, and the detection means detects the position of the scribe optical axis. The solar cell panel manufacturing apparatus according to claim 1 or 3. 前記検出手段は、前記スクライブ光軸の位置の検出結果に基づいて、前記スクライブ光軸を形成する光学構成要素の取付け位置を調整することを特徴する請求項６に記載の太陽電池パネル製造装置。   The said detection means adjusts the attachment position of the optical component which forms the said scribe optical axis based on the detection result of the position of the said scribe optical axis, The solar cell panel manufacturing apparatus of Claim 6 characterized by the above-mentioned. 前記検出手段は、前記スクライブ光軸の位置の検出結果に基づいて、前記スクライブ光軸を構成する光学構成要素の取付け時からの又は所定の次期からの前記導入レーザ光の光軸の変化を検出することを特徴する請求項６に記載の太陽電池パネル製造装置。   The detection means detects, based on the detection result of the position of the scribe optical axis, a change in the optical axis of the introduced laser light from when an optical component constituting the scribe optical axis is attached or from a predetermined next period. The solar cell panel manufacturing apparatus according to claim 6. 前記スクライブ光軸を形成する前記光分配器は、λ／２板と偏光ビームスプリッタとを有し、前記λ／２板の偏光面を調節する手段であることを特徴とする請求項６に記載の太陽電池パネル製造装置。   7. The optical distributor forming the scribe optical axis includes a λ / 2 plate and a polarization beam splitter, and is means for adjusting a polarization plane of the λ / 2 plate. Solar panel manufacturing equipment. 前記レーザ光の発光源と、前記光分配器のうち前記レーザ光を最初に分配する第１分配器との間に、前記レーザ光を平行光に変換する平行光変換手段を有することを特徴とする請求項１に記載の太陽電池パネル製造装置。   Parallel light conversion means for converting the laser light into parallel light is provided between the light source of the laser light and a first distributor that first distributes the laser light in the light distributor. The solar cell panel manufacturing apparatus according to claim 1. 前記光分配器のうち前記レーザ光を最初に分配する第１分配器と、前記スクライブする前記レーザ光との間に、前記複数に分光されたレーザ光の光路長を等しくする光学部を有することを特徴とする請求項１に記載の太陽電池パネル製造装置。   An optical unit that equalizes the optical path lengths of the plurality of laser beams dispersed into the plurality of light beams is provided between a first distributor that first distributes the laser light in the light distributor and the laser light that is scribed. The solar cell panel manufacturing apparatus according to claim 1. 複数のレーザ光に分岐する分岐光学ユニットにレーザ光を導入し、太陽電池膜を構成する膜に前記分岐されたレーザ光を照射して前記膜の一部を除去し、前記膜にスクライブを形成する太陽電池パネル製造方法において、
前記導入されたレーザ光を撮像し、前記撮像結果に基づいて前記導入されたレーザ光の導入光軸の位置を検出することを特徴とする太陽電池パネル製造方法。 A laser beam is introduced into a branching optical unit that branches into a plurality of laser beams, and a part of the film is removed by irradiating the branched laser beam to a film constituting a solar cell film, thereby forming a scribe on the film. In the solar cell panel manufacturing method,
A method for manufacturing a solar cell panel, wherein the introduced laser beam is imaged, and a position of an introduced optical axis of the introduced laser beam is detected based on the imaging result. 前記導入光軸の位置の検出結果に基づいて、前記導入光軸を形成する光学構成要素の取付け位置を調整することを特徴する請求項１２に記載の太陽電池パネル製造方法。   13. The method for manufacturing a solar cell panel according to claim 12, wherein an attachment position of an optical component forming the introduction optical axis is adjusted based on a detection result of the position of the introduction optical axis. 前記導入光軸の位置の検出結果に基づいて、前記導入光軸を構成する光学構成要素の取付け時からの又は所定の次期からの前記導入レーザ光の光軸の変化を検出することを特徴する請求項１２に記載の太陽電池パネル製造方法。   Based on the detection result of the position of the introduction optical axis, a change in the optical axis of the introduction laser light from when the optical component constituting the introduction optical axis is attached or from a predetermined next period is detected. The method for manufacturing a solar cell panel according to claim 12. 前記分岐光学ユニットと前記膜とを相対的に前記スクライブのラインと垂直方向に移動させて、前記スクライブする前記レーザ光のスクライブ光軸の位置を検出することを特徴とする請求項１２に記載の太陽電池パネル製造方法。   13. The position of the scribe optical axis of the laser light to be scribed is detected by moving the branching optical unit and the film relatively in a direction perpendicular to the scribe line. Solar cell panel manufacturing method. 前記スクライブ光軸の位置の検出結果に基づいて、前記スクライブ光軸を形成する光学構成要素の取付け位置を調整することを特徴する請求項１５に記載の太陽電池パネル製造方法。   The method for manufacturing a solar cell panel according to claim 15, wherein an attachment position of an optical component forming the scribe optical axis is adjusted based on a detection result of the position of the scribe optical axis. 前記スクライブ光軸の位置の検出結果に基づいて、前記スクライブ光軸を構成する光学構成要素の取付け時からの又は所定の次期からの前記導入レーザ光の光軸の変化を検出することを特徴する請求項１５に記載の太陽電池パネル製造方法。   Based on the detection result of the position of the scribe optical axis, a change in the optical axis of the introduced laser light from the time of attachment of an optical component constituting the scribe optical axis or from a predetermined next period is detected. The method for manufacturing a solar cell panel according to claim 15. 前記導入するレーザ光は前記レーザ光の光源からのレーザ光を平行光に変換したレーザ光であることを特徴とする請求項１２に記載の太陽電池パネル製造方法。   13. The solar cell panel manufacturing method according to claim 12, wherein the laser beam to be introduced is a laser beam obtained by converting a laser beam from a light source of the laser beam into a parallel beam. レーザ光を導入し、前記レーザ光を複数のレーザ光に分岐する光分配器を具備し、被処理体に前記レーザ光を照射して前記被処理体を加工する分岐光学ユニットと、前記被処理体と前記分岐光学ユニットとを相対的に移動させ移動手段とを有し、前記被処理体を加工するレーザ加工装置において、
前記導入レーザ光の導入光軸上に設けられた撮像手段と、前記撮像手段へ前記導入レーザ光を分配する導入光分配手段を具備する前記分岐光学ユニットと、前記撮像手段の撮像結果に基づいて前記導入光軸の位置を検出する検出手段を有することを特徴とするレーザ加工装置。 A branching optical unit that includes a light distributor that introduces a laser beam and branches the laser beam into a plurality of laser beams, and irradiates the target object with the laser beam to process the target object; and the target object In a laser processing apparatus that has a moving means for relatively moving a body and the branching optical unit, and that processes the object to be processed,
Based on the imaging means provided on the introduction optical axis of the introduction laser light, the branching optical unit including the introduction light distribution means for distributing the introduction laser light to the imaging means, and the imaging result of the imaging means A laser processing apparatus comprising a detecting means for detecting the position of the introduction optical axis. 前記導入光分配手段は、λ／２板と偏光ビームスプリッタとを有し、前記λ／２板の偏光面を調節する手段であることを特徴とする請求項１９に記載のレーザ加工装置。   The laser processing apparatus according to claim 19, wherein the introduction light distribution unit includes a λ / 2 plate and a polarization beam splitter, and is a unit that adjusts a polarization plane of the λ / 2 plate. 複数のレーザ光に分岐する分岐光学ユニットにレーザ光を導入し、被処理体にレーザ光を照射して前記被処理体を加工するレーザ加工方法において、
前記導入されたレーザ光の撮像し、前記撮像結果に基づいて前記導入光軸の位置を検出することを特徴とするレーザ加工方法。 In a laser processing method for introducing a laser beam into a branching optical unit that branches into a plurality of laser beams and irradiating the target object with laser light to process the target object,
A laser processing method, wherein the introduced laser beam is imaged, and the position of the introduced optical axis is detected based on the imaging result.
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