JP2012043499A - Method for manufacturing magnetic recording medium - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ハードディスク装置(HDD)等に用いられる磁気記録媒体の製造方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing a magnetic recording medium used in a hard disk device (HDD) or the like.
磁気記録再生装置の一種であるHDD(ハードディスクドライブ)は、現在その記録密度が年1.5倍以上で増えており、今後もその傾向は続くと言われている。それに伴って、高記録密度化に適した磁気ヘッド及び磁気記録媒体の開発が進められている。そして、最新の磁気記録装置においては、トラック密度が320kTPIにも達している。 HDD (Hard Disk Drive), which is a kind of magnetic recording / reproducing device, is currently increasing in recording density by 1.5 times or more per year, and it is said that this trend will continue in the future. Accordingly, development of a magnetic head and a magnetic recording medium suitable for increasing the recording density has been advanced. In the latest magnetic recording apparatus, the track density has reached 320 kTPI.
このため、高いトラック密度を有する磁気記録媒体では、磁気ヘッドをトラック上で正確に走査するために、磁気ヘッドのトラッキングサーボ技術が重要な役割を果たしている。具体的に、現在のハードディスクドライブでは、ディスクの1周中、一定の角度間隔でトラッキング用のサーボ信号や、アドレス情報信号、再生クロック信号などの情報信号(以下、サーボ信号等という。)が記録されている。そして、磁気ヘッドから一定間隔の時間で再生されるこれらの信号によって、磁気ヘッドの位置を検出しながら、磁気ヘッドが正確にトラック上を走査するように磁気ヘッドの位置を修正する制御が行われている。 For this reason, in a magnetic recording medium having a high track density, the tracking servo technology of the magnetic head plays an important role in order to accurately scan the magnetic head on the track. Specifically, in current hard disk drives, tracking servo signals, information signals such as address information signals and reproduction clock signals (hereinafter referred to as servo signals, etc.) are recorded at regular angular intervals during one round of the disk. Has been. Control is performed to correct the position of the magnetic head so that the magnetic head accurately scans the track while detecting the position of the magnetic head based on these signals reproduced from the magnetic head at regular intervals. ing.
したがって、上述したサーボ信号等は、磁気ヘッドが正確にトラック上を走査するための基準信号となることから、これらの信号の書き込みには高い位置決め精度が求められる。このため、従来のハードディスクドライブの製造現場では、高精度の位置検出装置を組み込んだ専用のサーボ信号記録装置(以下、サーボライタという。)を用いて、磁気記録媒体に対するサーボ信号等の書き込みが行われている。また、サーボライタは、その生産性を高めるために、一つのスピンドルに多数枚の磁気記録媒体をチャッキングし、これらの磁気記録媒体に対して同時にサーボ信号等を書き込む構造となっている。 Therefore, the servo signal and the like described above serve as a reference signal for the magnetic head to accurately scan the track, and high positioning accuracy is required for writing these signals. For this reason, in a conventional hard disk drive manufacturing site, a servo signal recording device (hereinafter referred to as a servo writer) incorporating a high-precision position detection device is used to write a servo signal or the like to a magnetic recording medium. It has been broken. Further, the servo writer has a structure in which a large number of magnetic recording media are chucked on one spindle and servo signals and the like are simultaneously written on these magnetic recording media in order to increase productivity.
しかしながら、上述したサーボライタによるサーボ信号等の書き込みには、以下の課題が存在する。すなわち、磁気ヘッドを高精度に位置決めしながら多数のトラックに亘って信号を書き込むためには、多くの時間がかかり、更に生産性を上げるためには、多くのサーボライタを同時に稼働させる必要がある。しかしながら、導入するサーボライタの数を増やすと、その維持管理に多額のコストがかかることになる。また、スピンドルを長くして同時にチャッキングできる磁気記録媒体の枚数を増やすと、回転中にブレが生じ易くなり、磁気記録媒体に対する書き込み精度の低下を招くことになる。したがって、1つのスピンドルにチャッキングできる磁気記録媒体の枚数には自ずと限界がある。そして、これらの課題は、磁気記録媒体のトラック密度が向上し、トラック数が多くなるほど深刻なものとなっている。 However, the writing of servo signals and the like by the servo writer described above has the following problems. That is, it takes a lot of time to write signals over a large number of tracks while positioning the magnetic head with high accuracy, and in order to further increase the productivity, it is necessary to operate many servo writers simultaneously. . However, if the number of servo writers to be introduced is increased, a large amount of cost is required for maintenance. Further, if the number of magnetic recording media that can be chucked at the same time is increased by extending the spindle, blurring is likely to occur during rotation, leading to a decrease in writing accuracy on the magnetic recording medium. Therefore, the number of magnetic recording media that can be chucked on one spindle is naturally limited. These problems become more serious as the track density of the magnetic recording medium improves and the number of tracks increases.
そこで、磁気記録媒体へのサーボ信号等の書き込みをサーボライタではなく、全てのサーボ信号等に対応する磁気転写パターンが書き込まれたマスター情報担体を用いて、このマスター情報担体に書き込まれた信号を磁気記録媒体に一括して磁気転写する方法が提案されている(例えば、特許文献1を参照。)。 Therefore, writing the servo signal, etc. to the magnetic recording medium is not performed by a servo writer, but using a master information carrier on which a magnetic transfer pattern corresponding to all servo signals, etc. is written, the signal written on the master information carrier is A method has been proposed in which magnetic transfer is performed collectively on a magnetic recording medium (see, for example, Patent Document 1).
具体的に、この方法では、マスター情報担体と磁気記録媒体とを密着させた状態で、外部から転写用のエネルギーとして磁界を加えながら、マスター情報担体に書き込まれた信号を磁気記録媒体に磁気転写する。これにより、磁気記録媒体に対するサーボ信号等の書き込み作業を短時間で行うことが可能となる。また、このようなマスター情報担体は、繰り返し使用可能となっている。 Specifically, in this method, a signal written on the master information carrier is magnetically transferred to the magnetic recording medium while applying a magnetic field as energy for transfer from the outside while the master information carrier and the magnetic recording medium are in close contact with each other. To do. As a result, it is possible to perform a writing operation such as a servo signal on the magnetic recording medium in a short time. Such a master information carrier can be used repeatedly.
ところで、上述した磁気転写を行う場合、磁気記録媒体の表面に異常突起等が存在すると、磁気記録媒体とマスター情報担体とを重ね合わせた際に、この異常突起等の噛み込みによって磁気記録媒体やマスター情報担体の表面に陥没部分が発生し、磁気転写が不完全となるといった問題が発生してしまう。 By the way, when performing the magnetic transfer described above, if there are abnormal projections or the like on the surface of the magnetic recording medium, when the magnetic recording medium and the master information carrier are overlapped, the magnetic recording medium or A problem arises in that a concave portion occurs on the surface of the master information carrier, resulting in incomplete magnetic transfer.
磁気転写に用いられるマスター情報担体は、非常に高価であるため、磁気記録媒体の製造コストを低減するためには、1枚のマスター情報担体が摩耗等によって破損するまでに転写できる合計の回数(使用回数)を高めることが重要である。 Since the master information carrier used for magnetic transfer is very expensive, in order to reduce the manufacturing cost of the magnetic recording medium, the total number of times that one master information carrier can be transferred before it is damaged due to wear or the like ( It is important to increase the number of times of use.
そこで、磁気記録媒体の表面にバーニッシュ処理を施し、表面の突起物や埃等を除去した後に、この磁気記録媒体にマスター情報担体を重ね合わせて磁気転写を行うことによって、マスター情報担体の使用回数を高めることが提案されている(例えば、特許文献2を参照)。 Therefore, the surface of the magnetic recording medium is burnished to remove protrusions and dust on the surface, and then the master information carrier is superposed on the magnetic recording medium for magnetic transfer, thereby using the master information carrier. It has been proposed to increase the number of times (for example, see Patent Document 2).
ここで、磁気記録媒体の製造工程で行われる基板表面等のクリーニングは、洗浄液を用いた湿式クリーニングと、ワイピングテープ等を用いた乾式クリーニングとに大別される。前者の湿式クリーニングは、後者の乾式クリーニングに比べ、クリーニングする能力に優れるものの、洗浄液に含まれる磁気記録媒体から除去された汚れが媒体表面に再付着する場合がある。このため、湿式クリーニングは、例えば上記特許文献3に記載されているように、それほど高い洗浄性が要求されないアルミニウム合金やガラス等の磁気記録媒体用非磁性基板の洗浄に主に用いられている。
Here, the cleaning of the substrate surface and the like performed in the manufacturing process of the magnetic recording medium is roughly classified into wet cleaning using a cleaning liquid and dry cleaning using a wiping tape or the like. Although the former wet cleaning is superior to the latter dry cleaning, the dirt removed from the magnetic recording medium contained in the cleaning liquid may reattach to the medium surface. For this reason, wet cleaning is mainly used for cleaning nonmagnetic substrates for magnetic recording media such as aluminum alloy and glass, which do not require so high cleaning performance, as described in
また、磁気記録媒体の洗浄に湿式クリーニングが用いられる場合もあるが、磁気記録媒体に含まれるFeやCo等の腐食や汚れの再付着を防ぐため、純水を用いた数秒間程度の短時間のスピン洗浄に限られる。また、磁気記録媒体の表面に付着するのは、スパッタダスト等のような粒状物が多く、これらを除去するためには、織布や不織布を用いたワイピングの方が効果的と考えられている。 In addition, wet cleaning may be used for cleaning the magnetic recording medium. However, in order to prevent re-attachment of corrosion and dirt such as Fe and Co contained in the magnetic recording medium, a short time of about several seconds using pure water. Limited to spin cleaning. Further, many particles such as sputter dust adhere to the surface of the magnetic recording medium, and wiping using a woven fabric or a non-woven fabric is considered to be more effective for removing these particles. .
しかしながら、本発明者らの検討によると、上述した磁気記録媒体の表面に対するバーニッシュ処理や、磁気記録媒体及びマスター情報担体の表面に対する織布等を用いたワイピング処理、湿式洗浄等を行うことによって、それらの表面にある突起物や埃等を除去した場合でも、マスター情報担体が摩耗によって破損に至る前に、転写パターンが不完全となる状況が発生することがわかった。この場合、1枚のマスター情報担体によって繰り返し転写できる合計回数を商業生産に適用するのに十分な使用回数まで高めることは依然として困難である。 However, according to the study by the present inventors, by performing the above-described burnishing treatment on the surface of the magnetic recording medium, wiping treatment using a woven cloth or the like on the surface of the magnetic recording medium and the master information carrier, wet cleaning, etc. It has been found that even when the protrusions and dust on the surface are removed, the transfer pattern becomes incomplete before the master information carrier is damaged due to wear. In this case, it is still difficult to increase the total number of times that can be repeatedly transferred by one master information carrier to a number of times that is sufficient to be applied to commercial production.
本発明は、このような従来の事情に鑑みて提案されたものであり、繰り返し使用可能なマスター情報担体を用いて磁気転写を行う場合に、1枚のマスター情報担体によって繰り返し転写できる合計の回数を大幅に向上させた磁気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。 The present invention has been proposed in view of such conventional circumstances. When magnetic transfer is performed using a master information carrier that can be repeatedly used, the total number of times that can be repeatedly transferred by one master information carrier. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a magnetic recording medium in which the quality is greatly improved.
本発明者らは、上記課題を解決すべく鋭意検討を行った結果、マスター情報担体による磁気転写パターンが不完全となるのは、マスター情報担体の表面に付着する金属腐食物に代表されるイオン性の不純物質等が原因であり、これは磁気記録媒体の表面に僅かに残留する金属腐食物等がマスター情報担体に少しずつ転写されて蓄積することを解明した。また、磁気記録媒体の表面に僅かに残留する金属腐食物等は、通常のバーニッシュ処理、ワイピング、洗浄等では除去不能なレベルのものであり、これが僅かずつマスター情報担体に蓄積されて、マスター情報担体の凹部に入り込むこと、マスター情報担体の転写面のワイピング等ではこれら物質の除去が困難であることを解明した。さらに、マスター情報担体の凹部に入り込んだ蓄積物がマスター情報担体の凸部を徐々に浸食し、マスター情報担体による転写精度を低下させることを解明した。 As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventors have found that the magnetic transfer pattern by the master information carrier is incomplete due to ions represented by metal corrosives adhering to the surface of the master information carrier. It was elucidated that the slightly corroded metal residue on the surface of the magnetic recording medium was transferred and accumulated little by little on the master information carrier. In addition, metal corrosives and the like slightly remaining on the surface of the magnetic recording medium are of a level that cannot be removed by normal burnishing, wiping, cleaning, etc., and these are accumulated little by little on the master information carrier, It has been clarified that it is difficult to remove these substances by entering the recesses of the information carrier and wiping the transfer surface of the master information carrier. Furthermore, it has been elucidated that the accumulated material entering the concave portion of the master information carrier gradually erodes the convex portion of the master information carrier and reduces the transfer accuracy by the master information carrier.
そこで、本発明者らは、マスター情報担体を用いて磁気記録媒体に磁気転写を行う前に、水素水を含む洗浄液を用いて磁気記録媒体を洗浄することによって、磁気記録媒体の表面に僅かに残留する金属腐食物等を効率良く除去できることを見出した。更に、磁気記録媒体を洗浄する前に、磁気記録媒体に対してバーニッシュ処理やワイピング処理を施すことによって、磁気記録媒体の洗浄時に、これらバーニッシュ処理やワイピング処理により磁気記録媒体の表面に発生した静電気を除去し、洗浄後に磁気記録媒体の表面にダスト等が付着しにくくなることを見出した。 Therefore, the present inventors slightly cleaned the surface of the magnetic recording medium by cleaning the magnetic recording medium with a cleaning liquid containing hydrogen water before performing magnetic transfer on the magnetic recording medium using the master information carrier. It has been found that the remaining metal corrosives can be efficiently removed. Furthermore, by performing burnishing or wiping on the magnetic recording medium before cleaning the magnetic recording medium, the magnetic recording medium is generated on the surface of the magnetic recording medium by cleaning or wiping the magnetic recording medium. The present inventors have found that static electricity is removed, and dust or the like hardly adheres to the surface of the magnetic recording medium after washing.
すなわち、磁気記録媒体の洗浄前にワイピング処理やバーニッシュ処理を行い、磁気記録媒体の洗浄後はワイピング処理やバーニッシュ処理を行わずに磁気転写を行うことで、磁気記録媒体の表面に僅かに残留する金属腐食物等がマスター情報担体に転写されたり、磁気記録媒体の表面に発生した静電気により付着したダスト等がマスター情報担体に転写されたりすることを防止できることを見出し、本発明を完成するに至った。 That is, a wiping process or burnishing process is performed before cleaning the magnetic recording medium, and a magnetic transfer is performed without performing a wiping process or burnishing process after the magnetic recording medium is cleaned. The present invention is completed by finding that it is possible to prevent residual metal corrosives and the like from being transferred to the master information carrier and dust and the like adhering to the surface of the magnetic recording medium from being transferred to the master information carrier. It came to.
すなわち、本発明は、以下の手段を提供する。
(1) 非磁性基板の上に少なくとも磁性層が形成された磁気記録媒体と、情報信号に対応する転写パターンが形成されたマスター情報担体とを重ね合わせた後、前記マスター情報担体側から外部磁界を印加しながら、前記マスター情報担体から前記磁気記録媒体へと情報信号を磁気転写する磁気転写工程を含む磁気記録媒体の製造方法であって、
前記磁気転写工程の前に、水素水を含む洗浄液を用いて前記磁気記録媒体を洗浄する媒体洗浄工程と、この媒体洗浄工程の前に少なくとも、前記磁気記録媒体の表面に対してバーニッシュ処理を施すバーニッシュ工程とを含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
(2) 前記媒体洗浄工程の前に、前記磁気記録媒体の表面に対してワイピング処理を施す工程を含むことを特徴とする前項(1)に記載の磁気記録媒体の製造方法。
(3) 前記ワイピング工程の前に、前記磁気記録媒体の表面に潤滑剤を塗布する工程を含むことを特徴とする前項(1)又は(2)に記載の磁気記録媒体の製造方法。
(4) 前記媒体洗浄工程の後に、前記磁気記録媒体の表面に潤滑剤を塗布する工程を含むことを特徴とする前項(1)〜(3)の何れか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
(5) 前記磁気記録媒体の洗浄を洗浄槽内の洗浄液に浸漬して行うことを特徴とする前項(1)〜(4)の何れか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
(6) 前記洗浄槽内で洗浄液を横方向に流しながら、前記磁気記録媒体の洗浄を行うことを特徴とする前項(5)に記載の磁気記録媒体の製造方法。
(7) 前記洗浄槽に洗浄液を供給する複数の供給口と、前記洗浄槽から洗浄液を排出する複数の排出口とのうち、何れかの供給口及び/又は排出口を流れる洗浄液の流量を調整することによって、前記洗浄槽内の洗浄液が層流の状態で流れるようにすることを特徴とする前項(6)に記載の磁気記録媒体の製造方法。
(8) 前記水素水中の溶存水素濃度を0.1ppm〜5ppmの範囲とし、前記水素水の酸化還元電位を−200mV〜−800mVの範囲とすることを特徴とする前項(1)〜(7)の何れか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
(9) 前記水素水とアルカリ又はアルカリ洗浄剤とを含む洗浄液を用いて前記磁気記録媒体の洗浄を行った後に、前記水素水を含み且つアルカリ又はアルカリ洗浄剤を含まない洗浄液を用いて前記磁気記録媒体の洗浄を行うことを特徴とする前項(1)〜(8)の何れか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
(10) 前記アルカリ又はアルカリ洗浄剤が、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、アンモニア、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドのうち少なくとも1種以上を含み、且つ、その洗浄液中の含有濃度を0.05ppm〜50ppmの範囲とすることを特徴とする前項(9)に記載の磁気記録媒体の製造方法。
(11) 前記洗浄槽内の洗浄液に超音波振動を印加することを特徴とする前項(5)〜(10)の何れか一項に記載の磁気記録媒体の製造方法。
That is, the present invention provides the following means.
(1) After superimposing a magnetic recording medium having at least a magnetic layer on a nonmagnetic substrate and a master information carrier on which a transfer pattern corresponding to an information signal is formed, an external magnetic field is applied from the master information carrier side. A magnetic recording medium manufacturing method including a magnetic transfer step of magnetically transferring an information signal from the master information carrier to the magnetic recording medium while applying
Before the magnetic transfer step, a medium cleaning step for cleaning the magnetic recording medium using a cleaning liquid containing hydrogen water, and at least a surface of the magnetic recording medium is burnished before the medium cleaning step. And a burnishing step for applying the magnetic recording medium.
(2) The method for manufacturing a magnetic recording medium according to (1) above, including a step of performing a wiping process on the surface of the magnetic recording medium before the medium cleaning step.
(3) The method for manufacturing a magnetic recording medium according to (1) or (2) above, further comprising a step of applying a lubricant to the surface of the magnetic recording medium before the wiping step.
(4) The magnetic recording medium according to any one of (1) to (3), further including a step of applying a lubricant to a surface of the magnetic recording medium after the medium cleaning step. Production method.
(5) The method for manufacturing a magnetic recording medium according to any one of (1) to (4), wherein the cleaning of the magnetic recording medium is performed by immersing in a cleaning liquid in a cleaning tank.
(6) The method for manufacturing a magnetic recording medium according to (5), wherein the magnetic recording medium is cleaned while a cleaning liquid is allowed to flow laterally in the cleaning tank.
(7) The flow rate of the cleaning liquid flowing through any one of the supply port and / or the discharge port among the plurality of supply ports for supplying the cleaning liquid to the cleaning tank and the plurality of discharge ports for discharging the cleaning liquid from the cleaning tank is adjusted. By doing so, the cleaning liquid in the cleaning tank flows in a laminar flow state. The method of manufacturing a magnetic recording medium according to (6) above,
(8) The preceding paragraphs (1) to (7), wherein the dissolved hydrogen concentration in the hydrogen water is in the range of 0.1 ppm to 5 ppm, and the redox potential of the hydrogen water is in the range of -200 mV to -800 mV. A method for producing a magnetic recording medium according to any one of the above.
(9) After cleaning the magnetic recording medium using a cleaning liquid containing the hydrogen water and an alkali or alkaline cleaner, the magnetic recording is performed using a cleaning liquid containing the hydrogen water and no alkali or alkaline cleaner. The method for manufacturing a magnetic recording medium according to any one of (1) to (8), wherein the recording medium is washed.
(10) The alkali or alkaline detergent contains at least one or more of potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, ammonia, tetramethylammonium hydroxide, and the content concentration in the washing liquid The method for producing a magnetic recording medium as described in (9) above, wherein the range is from 0.05 ppm to 50 ppm.
(11) The method for manufacturing a magnetic recording medium according to any one of (5) to (10), wherein ultrasonic vibration is applied to the cleaning liquid in the cleaning tank.
以上のように、本発明では、マスター情報担体を用いて磁気記録媒体に磁気転写を行う前に、水素水を含む洗浄液を用いて磁気記録媒体を洗浄する工程を設け、更に、この磁気記録媒体を洗浄する工程の前に少なくとも、磁気記録媒体の表面に対してバーニッシュ処理を施す工程を設けることによって、磁気記録媒体の表面に僅かに残留する金属腐食物等を効率良く除去すると共に、バーニッシュ処理等により磁気記録媒体の表面に発生した静電気を除去することができるため、洗浄後に磁気記録媒体の表面にダスト等が付着しにくくなる。 As described above, in the present invention, before performing magnetic transfer on a magnetic recording medium using a master information carrier, a step of cleaning the magnetic recording medium using a cleaning liquid containing hydrogen water is provided, and this magnetic recording medium is further provided. By providing at least a step of subjecting the surface of the magnetic recording medium to a burnish treatment before the step of cleaning the metal, the metal corrosive matter slightly remaining on the surface of the magnetic recording medium is efficiently removed, and the bar Since static electricity generated on the surface of the magnetic recording medium due to the finishing process or the like can be removed, dust or the like hardly adheres to the surface of the magnetic recording medium after cleaning.
これにより、本発明では、高度に清浄化された表面を有する磁気記録媒体に対して磁気転写を行うことができ、磁気記録媒体の表面に僅かに残留する金属腐食物等がマスター情報担体に転写されたり、磁気記録媒体の表面に発生した静電気により付着したダスト等がマスター情報担体に転写されたりすることを防止できることから、1枚のマスター情報担体によって繰り返し転写できる合計の回数を飛躍的に高めることが可能である。 As a result, in the present invention, magnetic transfer can be performed on a magnetic recording medium having a highly cleaned surface, and metal corrosives slightly remaining on the surface of the magnetic recording medium are transferred to the master information carrier. Or dust attached due to static electricity generated on the surface of the magnetic recording medium can be prevented from being transferred to the master information carrier, and the total number of times that can be repeatedly transferred by one master information carrier is dramatically increased. It is possible.
以下、本発明を適用した磁気記録媒体の製造方法について、図面を参照して詳細に説明する。なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために、便宜上特徴となる部分を模式的に示している場合があり、各部の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。 Hereinafter, a method for manufacturing a magnetic recording medium to which the present invention is applied will be described in detail with reference to the drawings. In the drawings used in the following description, in order to make the features easy to understand, the portions that become the features may be schematically shown for convenience, and the dimensional ratios of the portions are not always the same as the actual ones.
本発明を適用した磁気記録媒体の製造方法は、非磁性基板の上に少なくとも磁性層が形成された磁気記録媒体と、情報信号に対応する転写パターンが形成されたマスター情報担体とを重ね合わせた後、マスター情報担体側から外部磁界を印加しながら、マスター情報担体から磁気記録媒体へと情報信号を磁気転写する磁気転写工程を含むものであって、磁気転写工程の前に、水素水を含む洗浄液を用いて磁気記録媒体を洗浄する媒体洗浄工程と、この媒体洗浄工程の前に少なくとも、磁気記録媒体の表面に対してバーニッシュ処理を施すバーニッシュ工程とを含むことを特徴とする。 In the method of manufacturing a magnetic recording medium to which the present invention is applied, a magnetic recording medium having at least a magnetic layer formed on a nonmagnetic substrate and a master information carrier on which a transfer pattern corresponding to an information signal is formed are superimposed. Thereafter, it includes a magnetic transfer step of magnetically transferring an information signal from the master information carrier to the magnetic recording medium while applying an external magnetic field from the master information carrier side, and includes hydrogen water before the magnetic transfer step. It includes a medium cleaning process for cleaning a magnetic recording medium using a cleaning liquid, and a burnishing process for performing at least a burnishing process on the surface of the magnetic recording medium before the medium cleaning process.
(媒体洗浄工程)
具体的に、本発明の媒体洗浄工程では、上記磁気記録媒体Wの洗浄に水素水を含む洗浄液Lを用いる。これは、磁気記録媒体Wの表面にわずかに残留し、バーニッシュ処理や、ワイピング、スピン洗浄等では除去不能なレベルの量の汚染物質、特に金属腐食物に代表されるイオン性の不純物等の除去を目的とし、この水素水を用いることによりFeやCo等を含む磁性層の腐食を低減し、また高い洗浄力でこれらの汚染物質を除去することができるからである。
(Medium washing process)
Specifically, in the medium cleaning step of the present invention, a cleaning liquid L containing hydrogen water is used for cleaning the magnetic recording medium W. This is a slight amount of contaminants remaining on the surface of the magnetic recording medium W and cannot be removed by burnishing, wiping, spin cleaning or the like, particularly ionic impurities such as metal corrosives. For the purpose of removal, by using this hydrogen water, corrosion of the magnetic layer containing Fe, Co, etc. can be reduced, and these contaminants can be removed with high detergency.
水素水とは、超純水又は純水に高純度の水素ガスを溶解したものであり、水のクラスターを小さくして洗浄能力を高めたものである。上述したように、磁気記録媒体WにはFeやCo等の腐食しやすい元素が含まれているため、磁気記録媒体Wの洗浄はフッ素化合物等を用いた非水系洗浄液による洗浄に限られていた。本発明では、水素水を含む洗浄液Lを用いるため、この洗浄液Lによる磁気記録媒体Wの腐食が発生しにくく、磁気記録媒体Wの表面に付着した汚染物質を高い洗浄力で除去することが可能となる。特に、本発明では、水素水中の溶存水素濃度を0.1ppm〜5ppmの範囲とし、また、水素水の酸化還元電位を−200mV〜−800mVの範囲とすることによって、その効果を高めることが可能となる。 Hydrogen water is ultrapure water or one obtained by dissolving high purity hydrogen gas in pure water, and is a water cluster that is made smaller to increase the cleaning ability. As described above, since the magnetic recording medium W contains an easily corroding element such as Fe or Co, cleaning of the magnetic recording medium W is limited to cleaning with a non-aqueous cleaning liquid using a fluorine compound or the like. . In the present invention, since the cleaning liquid L containing hydrogen water is used, the magnetic recording medium W is hardly corroded by the cleaning liquid L, and contaminants adhering to the surface of the magnetic recording medium W can be removed with high cleaning power. It becomes. In particular, in the present invention, it is possible to enhance the effect by setting the dissolved hydrogen concentration in the hydrogen water in the range of 0.1 ppm to 5 ppm and the redox potential of the hydrogen water in the range of -200 mV to -800 mV. It becomes.
また、本発明の媒体洗浄工程では、洗浄液が層流の状態で流れる洗浄槽内に磁気記録媒体を浸漬しながら、この磁気記録媒体の湿式洗浄を行うことが好ましい。これにより、磁気記録媒体の表面に僅かに残留し、バーニッシュ処理や、ワイピング、スピン洗浄、従来の湿式洗浄等では除去不可能なレベルの量の汚染物質、特に金属腐食物に代表されるイオン性の不純物を効率よく除去することが可能である。 In the medium cleaning step of the present invention, it is preferable to perform wet cleaning of the magnetic recording medium while immersing the magnetic recording medium in a cleaning tank in which the cleaning liquid flows in a laminar state. As a result, a small amount of contaminants remain on the surface of the magnetic recording medium and cannot be removed by burnishing, wiping, spin cleaning, conventional wet cleaning, etc., especially ions represented by metal corrosion. Can be efficiently removed.
また、本発明では、洗浄槽内で洗浄液を横方向に流しながら、磁気記録媒体の洗浄を行うことが好ましい。この場合、汚染物質を含む洗浄液を洗浄槽の外へと速やかに排出することができるため、磁気記録媒体の表面に汚染物質が再付着することを防止することが可能である。その結果、従来の方法では得られない清浄な表面を有する磁気記録媒体を得ることが可能である。 In the present invention, it is preferable to clean the magnetic recording medium while flowing the cleaning liquid in the horizontal direction in the cleaning tank. In this case, since the cleaning liquid containing the contaminant can be quickly discharged out of the cleaning tank, it is possible to prevent the contaminant from reattaching to the surface of the magnetic recording medium. As a result, it is possible to obtain a magnetic recording medium having a clean surface that cannot be obtained by conventional methods.
ここで、例えば図1及び図2に示すような本発明の媒体洗浄工程で使用される流水式洗浄装置1の一例について説明する。
この流水式洗浄装置1は、上記転写工程の前に、ハードディスクドライブ(磁気記録再生装置)に搭載される磁気記録媒体Wを洗浄するのに好適に用いられるものであり、磁気記録媒体Wを保持したホルダ50を洗浄液Lに浸漬させて磁気記録媒体Wの洗浄を行う洗浄槽2を備えている。
Here, for example, an example of the flowing water
This flowing water
ホルダ50には、中心孔が形成された円盤状の磁気記録媒体Wが互いに平行な状態で複数並んで保持されている。また、各磁気記録媒体Wは、ホルダ50に設けられた一対の支持プレート51a,51bによって、その中心孔を通る鉛直方向の中心線を挟んだ両側の外周部が支持されている。なお、これら一対の支持プレート51a,51bには、各磁気記録媒体Wの外周部が係合されるV字状の溝部(図示せず。)が設けられている。
The
各磁気記録媒体Wは、これら一対の支持プレート51a,51bに支持されることによって、縦置き状態(磁気記録媒体Wの主面が鉛直方向と平行となる状態)でホルダ50に保持されている。そして、このホルダ50は、各磁気記録媒体Wの主面が洗浄液Lの流れる方向と平行となるようにして、洗浄槽2の底面上に配置されている。なお、図1では、磁気記録媒体Wを1列に5枚並べた状態を図示しているが、実際の例では、直径3.5インチの磁気記録媒体Wを約5mm間隔で1列に50枚程度並べてホルダ50に保持している。
Each magnetic recording medium W is supported by the pair of
洗浄槽2は、長方形を為す底壁2aと、底壁2aの周囲から立ち上がる4つの側壁2b,2c,2d,2eと、底壁2aと対向する上面の開口部2fとを有して、全体が略直方体状に形成されると共に、その内側に上記ホルダ50が浸漬される略直方体状の浸漬空間Sを形成している。
The
また、洗浄槽2の上流側の側壁2bには、洗浄液Lを供給する複数の供給口3が設けられている。これら複数の供給口3は、側壁2bの幅方向と高さ方向とに所定の間隔で並んで配置されている。また、各供給口3には、流量調整バルブ(流量調整手段)4が接続されており、この流量調整バルブ4の開度を調整することによって、各供給口3から供給される洗浄液Lの流量を個別に調整することが可能となっている。
A plurality of
また、洗浄槽2の下流側の側壁2dには、洗浄液Lを排出する複数の排出口5が設けられている。これら複数の排出口5は、側壁2dの幅方向と高さ方向とに所定の間隔で並んで配置されている。また、各排出口5には、流量調整バルブ(流量調整手段)6が接続されており、この流量調整バルブ6の開度を調整することによって、各供給口3から排出される洗浄液Lの流量を個別に調整することが可能となっている。
A plurality of
なお、本実施形態において、上記供給口3と上記排出口5とは、それぞれ側壁2b,2dの相対向する位置に、幅方向に5cm間隔で7列、高さ方向に5cm間隔で6列並んで計42つ配置されているが、これら供給口3及び排出口5の配置や数、間隔等については、適宜変更して実施することが可能である。
In the present embodiment, the
また、洗浄槽2の底壁2aには、磁気記録媒体Wに対する洗浄能力を高めるため、浸漬空間S内の洗浄液Lに超音波振動を印加する超音波発振器(超音波発生手段)7が設けられている。この超音波発振器7は、洗浄槽2の底壁2a側から洗浄槽2の洗浄液Lに対して、例えば200kHzで500W程度の超音波振動を印加する。
The
さらに、この流水式洗浄装置1には、洗浄槽2内を流れる洗浄液Lを循環的に再使用するための機構として、排出口5から排出された洗浄液Lを吸引し、再び供給口3に圧送するポンプ8と、このポンプ8により圧送された洗浄液Lを浄化するフィルタ9とが設けられている。
Further, in this flowing water
本発明の媒体洗浄工程では、以上のような構造を有する流水式洗浄装置1を用いて、ホルダ50に保持された複数の磁気記録媒体Wに対する洗浄を行う。具体的に、この流水式洗浄装置1を用いた媒体洗浄工程では、洗浄槽2の浸漬空間S内で洗浄液Lを層流の状態で横方向(水平方向)に流し、洗浄液Lに超音波振動を印加しながら、この浸漬空間S内の洗浄液Lに複数の磁気記録媒体Wを保持したホルダ50を浸漬させる。
In the medium cleaning process of the present invention, the plurality of magnetic recording media W held by the
このとき、洗浄槽2内では、ホルダ50に保持された各磁気記録媒体Wの主面が洗浄液Lの流れる方向と平行とされて、これら各磁気記録媒体Wの間を層流状態の洗浄液Lが流れることになる。これにより、各磁気記録媒体Wの表面が洗浄液Lにより洗浄されて、これら各磁気記録媒体Wの表面に付着した塵埃や異物などの他に、上述した磁気記録媒体Wの表面に僅かに残留し、バーニッシュ処理や、ワイピング、スピン洗浄、従来の湿式洗浄等では除去不可能なレベルの量の汚染物質、特に金属腐食物に代表されるイオン性の不純物を効率よく除去することが可能である。
At this time, in the
また、この流水式洗浄装置1では、洗浄槽2内で洗浄液Lを横方向に流しながら、磁気記録媒体Wの洗浄を行うため、上述した汚染物質や不純物等を含む洗浄液を洗浄槽2の外へと速やかに排出することが可能である。これにより、磁気記録媒体Wの表面に汚染物質が再付着することを防止することが可能であり、その結果、従来の方法では得られない清浄な表面を有する磁気記録媒体Wを得ることが可能である。
Further, in this flowing water
ところで、洗浄槽2の底面側から超音波振動を印加した場合には、洗浄槽2内の洗浄液Lの液面が盛り上がり、これによって洗浄槽2内を流れる洗浄液Lが乱流となり、磁気記録媒体Wに対する洗浄能力が低下することが本発明者らの解析によって明らかになった。
By the way, when ultrasonic vibration is applied from the bottom surface side of the
具体的に、本発明者らの解析によると、超音波振動を印加しない状態で洗浄槽2内に洗浄液Lを層流の状態で流し、その後、超音波振動を印加した場合、洗浄液Lの流れは、図3中の矢印の方向で示すように、洗浄槽2の底面側から超音波振動を印加することによって、洗浄槽2内の洗浄液Lの液面が盛り上がり、この盛り上がった洗浄液Lが四方に分散するものの、この洗浄液Lの流れに層流が加わるため、洗浄槽2内に複雑な流れ(乱流)が生じることになる。さらに、図4に示すように、洗浄槽2内に磁気記録媒体Wを浸漬した場合には、この洗浄槽2内を流れる洗浄液Lが磁気記録媒体Wに乱されて乱流となり、この乱流によって磁気記録媒体Wに対する洗浄能力が低下することになる。
Specifically, according to the analysis by the present inventors, when the cleaning liquid L is caused to flow in a laminar flow state in the
なお、図3は、洗浄槽2を側面側から見たときに、洗浄槽2内に超音波振動を加えた場合の洗浄液Lの流れを表したものである。一方、図4は、洗浄槽2を上面側から見たときに、洗浄槽2内を流れる洗浄液Lのうち、上層の流れを破線で表し、中層の流れを一点鎖線で表し、下層の流れを二点鎖線で表したものである。
FIG. 3 shows the flow of the cleaning liquid L when ultrasonic vibration is applied to the
そこで、本発明では、図1及び図2に示すように、上述した流量調整バルブ4,6を制御しながら、何れかの供給口3及び/又は排出口5を流れる洗浄液Lの流量を調整し、洗浄液Lの流れを乱れのない一様な流れ(層流)となるように、洗浄槽2内における洗浄液Lの流れを調整する。
Therefore, in the present invention, as shown in FIGS. 1 and 2, the flow rate of the cleaning liquid L flowing through any one of the
これにより、洗浄槽2内の洗浄液Lを乱流の状態から層流の状態で流すことが可能である。特に、本発明では、洗浄液Lの供給口3からの供給に加え、洗浄液Lの排出口5からの排出も、流量調整バルブ4,6によって流量の制御を行うため、洗浄槽2内の層流の形成をより高い制御性で行うことが可能であり、層流が超音波振動や被洗浄物の配置によって乱されることを防ぐことが可能である。
Thereby, it is possible to flow the cleaning liquid L in the
また、本発明では、上記流水式洗浄装置1のように、洗浄槽2内に流れる洗浄液Lを循環的に再使用することが好ましい。これより、洗浄槽2に供給される洗浄液Lと、洗浄槽2から排出される洗浄液Lとを量的にバランスさせることが容易となり、洗浄槽2内を流れる洗浄液Lを層流の状態でより安定して流すことが可能となる。
Moreover, in this invention, it is preferable to reuse the washing | cleaning liquid L which flows into the
なお、上記流水式洗浄装置1の場合、洗浄槽2の開口部2fからの洗浄液Lの蒸発等により、洗浄液Lが僅かに減少するため、その減少した量の洗浄液Lを適宜補充することが好ましい。また、上記流水式洗浄装置1では、洗浄液Lと空気との接触によって洗浄液L中に気泡が混入することを防ぐため、洗浄槽2の開口部2fに蓋を設けることも可能である。
In the case of the flowing water
また、本発明では、上述したホルダ50に互いに平行な状態で複数並んで保持された磁気記録媒体Wに対して洗浄を行う際に、このホルダ50に保持された複数の磁気記録媒体Wの間隔を、その間を流れる洗浄液Lの流水抵抗が増加する範囲まで密とすることが好ましい。
Further, in the present invention, when cleaning a plurality of magnetic recording media W held in parallel in the
例えば、直径3.5インチ、板厚1.27mmの円盤状の磁気記録媒体Wを洗浄する場合には、基板面の間隔が10mm以下となるあたりから、洗浄液の流水抵抗が顕著に増加し始める。 For example, when cleaning a disk-shaped magnetic recording medium W having a diameter of 3.5 inches and a plate thickness of 1.27 mm, the flow resistance of the cleaning liquid starts to increase remarkably when the distance between the substrate surfaces becomes 10 mm or less. .
一方、従来の流水式洗浄方法では、洗浄槽2内を流れる洗浄液の層流を安定化させるため、洗浄槽2内に配置する被洗浄物を、各々の間隔を空けて疎に配置し、また洗浄槽内に配置された被洗浄物の周辺に空間を設けることが一般的であった。これは、洗浄槽内での被洗浄物の有無による水流抵抗分布を減らし、洗浄槽内を流れる洗浄液Lの層流を安定化させるためである。
On the other hand, in the conventional flowing water type cleaning method, in order to stabilize the laminar flow of the cleaning liquid flowing in the
これに対して、本発明の流水式洗浄方法では、基板(被洗浄物)Wを洗浄槽2内に密に配置することによって、洗浄槽2内を流れる洗浄液Lの水流抵抗を高め、且つ、その状態で供給口3からの洗浄液Lの供給と、排出口5からの強制的な洗浄液Lの排出によって、強力で均一な層流を形成する。これにより、洗浄槽2内を流れる洗浄液Lの層流を安定化させると共に、この洗浄槽2による洗浄能力を高めることが可能である。
On the other hand, in the flowing water type cleaning method of the present invention, the substrate (object to be cleaned) W is densely arranged in the
また、本発明では、洗浄槽2の内面と磁気記録媒体Wとの最短距離を当該磁気記録媒体Wの直径の1倍以下とすることが好ましい。特に、本発明では、被洗浄物として、円盤状を為す磁気記録媒体Wを洗浄する場合に、この磁気記録媒体Wの主面が洗浄液Lの流れる方向と平行となるように磁気記録媒体Wを洗浄槽2内に配置し、この洗浄槽2の内面と磁気記録媒体Wとの最短距離を当該磁気記録媒体Wの直径の1倍以下とすることで、磁気記録媒体Wを高精度に効率良く洗浄することが可能となる。
In the present invention, it is preferable that the shortest distance between the inner surface of the
なお、本発明の媒体洗浄工程で用いられる流水式洗浄装置は、上記流水式洗浄装置1の構成に必ずしも限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。
The flowing water type cleaning device used in the medium cleaning process of the present invention is not necessarily limited to the configuration of the above flowing water
例えば、上記ホルダ50は、一対の支持プレート51a,51bにより各磁気記録媒体Wの外周部を2点で支持する構成となっているが、このような構成に限らず、各磁気記録媒体Wを支持する外周部の位置や点数などについては、適宜変更して実施することが可能であり、例えば各磁気記録媒体Wの外周部を3点で支持したり、4点で支持したりすることが可能である。
For example, the
また、各磁気記録媒体Wの外周部を支持する部材についても、上記支持プレート51a,51bのようなものに限定されるものではなく、洗浄槽2内を流れる洗浄液Lの流れを乱さないものであれば、その形状等については適宜変更して実施することが可能である。
Further, the member that supports the outer peripheral portion of each magnetic recording medium W is not limited to the
また、本発明の媒体洗浄工程は、多段工程としてもよい。具体的には、水素水とアルカリ又はアルカリ洗浄剤とを含む洗浄液Lを用いて磁気記録媒体Wの洗浄を行った後に、水素水を含み且つアルカリ又はアルカリ洗浄剤を含まない洗浄液Lを用いて磁気記録媒体Wの洗浄を行うことが好ましい。 Further, the medium washing process of the present invention may be a multistage process. Specifically, after cleaning the magnetic recording medium W using the cleaning liquid L containing hydrogen water and an alkali or an alkali cleaning agent, the cleaning liquid L containing hydrogen water and no alkali or alkali cleaning agent is used. It is preferable to clean the magnetic recording medium W.
すなわち、本発明の媒体洗浄工程では、多段とした洗浄工程のうち、水素水を含む洗浄液Lによる洗浄工程の後に、水素水を含まない洗浄液Lによる洗浄工程を設けることが可能である。これは磁気記録媒体Wを水素水により洗浄することにより磁気記録媒体Wの表面が腐食しにくくなり、水素水を含まない洗浄液による洗浄での腐食が防止されるためと考えられる。 That is, in the medium cleaning process of the present invention, it is possible to provide a cleaning process using the cleaning liquid L not containing hydrogen water after the cleaning process using the cleaning liquid L containing hydrogen water among the multi-stage cleaning processes. This is presumably because the surface of the magnetic recording medium W is hardly corroded by washing the magnetic recording medium W with hydrogen water, and corrosion due to washing with a cleaning liquid not containing hydrogen water is prevented.
水素水を用いて磁気記録媒体Wを洗浄する場合は、例えば、水酸化カリウム、水酸化ナトリウム、炭酸ナトリウム、炭酸カリウム、アンモニア、テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイドなどのアルカリやこれらを含むアルカリ洗浄剤を洗浄液Lに加えることによって、その洗浄力を高めることができる。しかしながら、磁気記録媒体Wの表面に、これらのアルカリ又はアルカリ洗浄剤が残留すると、これが磁気記録媒体Wやマスター情報担体の汚染原因となる。 When cleaning the magnetic recording medium W using hydrogen water, for example, an alkali such as potassium hydroxide, sodium hydroxide, sodium carbonate, potassium carbonate, ammonia, tetramethylammonium hydroxide, or an alkaline cleaner containing these is used as a cleaning solution. By adding to L, the detergency can be increased. However, if these alkalis or alkaline detergents remain on the surface of the magnetic recording medium W, this causes contamination of the magnetic recording medium W and the master information carrier.
これを防ぐため、本発明では、上述したアルカリ又はアルカリ洗浄剤の洗浄液L中の含有濃度を0.05ppm〜50ppmの範囲とすることが好ましい。そして、これらアルカリ又はアルカリ洗浄剤と水素水を含む洗浄液Lを用いて磁気記録媒体Wの洗浄を行った後、これらアルカリ又はアルカリ洗浄剤を含まずに水素水を含んだ洗浄液Lを用いて磁気記録媒体Wの洗浄を行うことで、磁気記録媒体Wの表面にアルカリ又はアルカリ洗浄剤を残留させることなく、この磁気記録媒体Wに対する洗浄力を高めることが可能である。そして、洗浄後は、スピン乾燥法やドライエア乾燥法等を用いて磁気記録媒体Wを速やかに乾燥させることが好ましい。 In order to prevent this, in the present invention, it is preferable to set the concentration of the alkali or the alkaline detergent in the cleaning liquid L in the range of 0.05 ppm to 50 ppm. Then, after cleaning the magnetic recording medium W using the cleaning liquid L containing these alkalis or an alkali cleaning agent and hydrogen water, the magnetic recording is performed using the cleaning liquid L containing hydrogen water without containing these alkalis or alkali cleaning agents. By cleaning the recording medium W, it is possible to increase the cleaning power for the magnetic recording medium W without leaving alkali or an alkaline cleaner on the surface of the magnetic recording medium W. And after washing | cleaning, it is preferable to dry the magnetic recording medium W rapidly using a spin drying method, a dry air drying method, etc. FIG.
以上のようにして、本発明の媒体洗浄工程では、磁気記録媒体Wの表面に付着した塵埃や異物などの他に、上述した磁気記録媒体Wの表面に僅かに残留し、バーニッシュ処理や、ワイピング、スピン洗浄、従来の湿式洗浄等では除去不可能なレベルの量の汚染物質、特に金属腐食物に代表されるイオン性の不純物を効率よく除去することが可能である。また、洗浄後に、これらが磁気記録媒体Wの表面に再付着することを防止した高度な媒体洗浄を行うことが可能である。その結果、従来の方法では得られない清浄な表面を有する磁気記録媒体Wを得ることが可能である。 As described above, in the medium cleaning step of the present invention, in addition to the dust and foreign matter adhering to the surface of the magnetic recording medium W, it slightly remains on the surface of the magnetic recording medium W described above, burnishing, It is possible to efficiently remove contaminants of a level that cannot be removed by wiping, spin cleaning, conventional wet cleaning, and the like, particularly ionic impurities typified by metal corrosives. In addition, after the cleaning, it is possible to perform advanced medium cleaning that prevents these from reattaching to the surface of the magnetic recording medium W. As a result, it is possible to obtain a magnetic recording medium W having a clean surface that cannot be obtained by a conventional method.
(磁気転写工程)
磁気転写工程では、上記本発明の媒体洗浄工程によって表面が清浄化された磁気記録媒体Wに対してサーボ信号等の書き込み作業を磁気転写によって行う。具体的に、この磁気転写工程では、先ず、磁気記録媒体Wの信号記録面を初期磁化する。この初期磁化は、面内磁気記録媒体Wの場合は、トラック方向の一方向に初期直流磁界を印加することにより行い、垂直磁気記録媒体Wの場合は、媒体表面に対して垂直な方向の一方向に初期直流磁界を印加することにより行う。
(Magnetic transfer process)
In the magnetic transfer process, a writing operation such as a servo signal is performed by magnetic transfer on the magnetic recording medium W whose surface is cleaned by the medium cleaning process of the present invention. Specifically, in this magnetic transfer process, first, the signal recording surface of the magnetic recording medium W is initially magnetized. This initial magnetization is performed by applying an initial DC magnetic field in one direction in the track direction in the case of the in-plane magnetic recording medium W, and in the direction perpendicular to the medium surface in the case of the perpendicular magnetic recording medium W. This is done by applying an initial DC magnetic field in the direction.
この初期直流磁界は、永久磁石や電磁石を用いて印加することが可能である。また、永久磁石としては、より安定で磁力の強いNdFeB系の焼結磁石を用いることが好ましい。また、初期直流磁界の印加は、磁気記録媒体Wと非接触の状態で行うことが、磁気記録媒体Wの表面の清浄性を維持する上で好ましい。 This initial DC magnetic field can be applied using a permanent magnet or an electromagnet. As the permanent magnet, it is preferable to use an NdFeB-based sintered magnet that is more stable and has a strong magnetic force. In addition, it is preferable to apply the initial DC magnetic field in a non-contact state with the magnetic recording medium W in order to maintain the cleanliness of the surface of the magnetic recording medium W.
次に、図5に示すように、初期直流磁界の印加を行った後の磁気記録媒体Wの信号記録面と、サーボ信号等に対応する転写パターンが形成されたマスター情報担体Mの転写面とを接触させた状態で、互いを所定の押圧力で密着させる。そして、この状態で、マスター情報担体Mの転写面とは反対側から、磁界生成手段Gを用いて、この磁界生成手段Gを相対的にトラック方向Xに移動させながら転写用の外部磁界を印加する。この転写用の外部磁界は、上記初期直流磁界とは逆方向となる磁界である。これにより、磁気記録媒体Wでは、マスター情報担体Mの転写パターンと対向する箇所で磁化反転が生じ、サーボ信号等に対応した磁化パターンが磁気転写により書き込まれることになる。 Next, as shown in FIG. 5, the signal recording surface of the magnetic recording medium W after application of the initial DC magnetic field, and the transfer surface of the master information carrier M on which a transfer pattern corresponding to a servo signal or the like is formed, Are brought into close contact with each other with a predetermined pressing force. In this state, an external magnetic field for transfer is applied from the opposite side of the transfer surface of the master information carrier M using the magnetic field generating means G while moving the magnetic field generating means G relatively in the track direction X. To do. This external magnetic field for transfer is a magnetic field in the opposite direction to the initial DC magnetic field. Thereby, in the magnetic recording medium W, magnetization reversal occurs at a position facing the transfer pattern of the master information carrier M, and a magnetization pattern corresponding to a servo signal or the like is written by magnetic transfer.
なお、マスター情報担体Mについては、公知の方法によって製造することができる。具体的に、このようなマスター情報担体Mを製造する際は、先ず、シリコンウェハの表面に電子線レジストをスピンコート法により塗布する。その後、このレジストに対して、電子線露光装置を用いてサーボ信号等に対応させて変調した電子ビームを照射し、レジストの露光・現像を行った後、未露光部分を除去することによって、シリコンウェハ上に、転写パターンに対応したレジストパターンを形成する。 The master information carrier M can be manufactured by a known method. Specifically, when manufacturing such a master information carrier M, first, an electron beam resist is applied to the surface of a silicon wafer by spin coating. Thereafter, this resist is irradiated with an electron beam modulated in accordance with a servo signal or the like using an electron beam exposure apparatus, and after exposing and developing the resist, silicon is removed by removing unexposed portions. A resist pattern corresponding to the transfer pattern is formed on the wafer.
次に、このレジストパターンをマスクにして、シリコンウェハに対して反応性エッチング処理を行い、レジストでマスクされていない箇所を掘り下げる。このエッチング処理後、シリコンウェハ上に残存するレジストを溶剤で洗浄除去する。その後、シリコンウェハを乾燥させて、マスター情報担体を作製するための原盤を得る。 Next, using this resist pattern as a mask, a reactive etching process is performed on the silicon wafer, and a portion not masked with the resist is dug down. After this etching process, the resist remaining on the silicon wafer is removed by washing with a solvent. Thereafter, the silicon wafer is dried to obtain a master for producing a master information carrier.
次に、この原盤上に、Niからなる導電層をスパッタリング法により10nm程度の厚みで形成する。その後、この導電層を形成した原盤を母型として用い、電鋳法により、この原盤上に数ミクロン厚のNi層を形成する。その後、Ni層を原盤から外し、このNi層の洗浄等を行い、表面に凸部100a及び凹部100bが形成されたNi基材100を得る。
Next, a conductive layer made of Ni is formed on the master with a thickness of about 10 nm by sputtering. Thereafter, a Ni layer having a thickness of several microns is formed on the master by electroforming using the master on which the conductive layer is formed. Thereafter, the Ni layer is removed from the master, and the Ni layer is washed, etc., to obtain the
次に、このNi基材100の表面に磁性層101を形成する。この磁性層101については、上記磁気記録媒体Wに用いられる磁性層と同じものを使用することができる。なお、Ni基材100の表面に形成された磁性層101のうち、磁気記録媒体Wへの磁気転写に用いられるのは凸部100aが形成された部分の磁性層101であり、凹部100aが形成された部分の磁性層101は、磁気記録媒体Wと接触しないため、磁気転写に用いられない。
Next, the
さらに、このNi基材100の表面には、磁気記録媒体Wと同様に保護膜(図示せず。)が形成される。この保護膜は、マスター情報担体Mの耐摩耗性を高めるためのものであり、数nm程度の厚さの硬質炭素膜等が用いられる。
以上の工程を経ることによって、サーボ信号等に対応する転写パターンが形成されたマスター情報担体Mを得ることができる。
Further, a protective film (not shown) is formed on the surface of the
Through the above steps, a master information carrier M on which a transfer pattern corresponding to a servo signal or the like is formed can be obtained.
磁界生成手段Gは、電磁石や永久磁石によって構成されるものであり、面内磁気記録媒体の場合は、トラック方向の他方向に転写用の外部磁界を発生させ、垂直磁気記録媒体の場合は、媒体表面に対して垂直な方向の他方向に転写用の外部磁界を発生させる。そして、この磁界生成手段Gは、磁気記録媒体Wの半径方向において同一方向の外部磁界を発生させながら、磁気記録媒体Wの中心にトラック方向Xに回転移動させることが可能となっている。 The magnetic field generating means G is composed of an electromagnet or a permanent magnet. In the case of an in-plane magnetic recording medium, an external magnetic field for transfer is generated in the other direction of the track, and in the case of a perpendicular magnetic recording medium, An external magnetic field for transfer is generated in the other direction perpendicular to the medium surface. The magnetic field generating means G can be rotated in the track direction X to the center of the magnetic recording medium W while generating an external magnetic field in the same direction in the radial direction of the magnetic recording medium W.
ここで、ハードディスクドライブに内蔵される磁気記録媒体Wは、一般的に非磁性基板200の両面に磁気層201が形成されており、また、1台のハードディスクドライブには、複数枚の磁気記録媒体Wが内蔵される場合が多い。このため、ハードディスクドライブでは、複数の磁気ヘッドがスタック構造により一体で移動操作されるが、磁気記録媒体Wのトッラク幅は益々狭くなっており、1つの磁気記録媒体Wの信号記録面に書き込まれたサーボ信号等を用いて、他の信号記録面における磁気ヘッドの位置決めを行うことはヘッドのスタック構造の精度からは困難となっている。
Here, the magnetic recording medium W built in the hard disk drive generally has a
したがって、本発明の磁気転写工程では、磁気記録媒体Wの両面に磁気転写によってサーボ信号等を書き込むことが好ましい。具体的には、磁気記録媒体Wの両面を一対のマスター情報担体Mで挟み込んだ状態とする。そして、この状態で、これらマスター情報担体Mの転写面とは反対側から、磁界生成手段Gを用いて転写用の外部磁界を印加する。これにより、磁気記録媒体Wの両面にサーボ信号等を書き込むことができる。 Therefore, in the magnetic transfer process of the present invention, it is preferable to write servo signals and the like on both surfaces of the magnetic recording medium W by magnetic transfer. Specifically, both surfaces of the magnetic recording medium W are sandwiched between a pair of master information carriers M. In this state, an external magnetic field for transfer is applied from the side opposite to the transfer surface of the master information carrier M using the magnetic field generating means G. Thereby, servo signals and the like can be written on both surfaces of the magnetic recording medium W.
また、磁性層201の保磁力Hcは、通常は320kA/m(約4000Oe)以上である。したがって、本発明の磁気転写工程では、この磁性層201を初期直流磁化した後、磁気記録媒体の両面をマスター情報担体Mで挟み込み、磁気転写できる強度の磁界をマスター情報担体Mを介して印加して磁気転写を行うことが好ましい。
In addition, the coercive force Hc of the
ところで、本発明を適用した磁気記録媒体の製造方法では、上記磁気転写工程の前に、上述した湿式による媒体洗浄工程を行う。すなわち、上記媒体洗浄工程は、ワイピング工程やバーニッシュ工程では除去できない磁気記録媒体Wの表面に残留した上記汚染物質を除去する目的で行われる。 By the way, in the manufacturing method of the magnetic recording medium to which the present invention is applied, the above-described wet medium cleaning process is performed before the magnetic transfer process. That is, the medium cleaning process is performed for the purpose of removing the contaminants remaining on the surface of the magnetic recording medium W that cannot be removed by the wiping process or the burnishing process.
しかしながら、媒体洗浄工程では、スパッタダスト等の粉状物をある程度除去することが可能であるが、磁気記録媒体に対してワイピング処理を施すワイピング工程や、磁気記録媒体に対してバーニッシュ処理を施すバーニッシュ工程のように、磁気記録媒体Wの表面をスクラブし、ワイプし、また削る効果が低いため、磁気記録媒体Wの表面に強固に付着した粉状物を除去することは困難である。 However, in the medium cleaning process, it is possible to remove powdery substances such as spatter dust to some extent, but a wiping process for performing a wiping process on the magnetic recording medium and a burnishing process on the magnetic recording medium are performed. Since the effect of scrubbing, wiping, and shaving the surface of the magnetic recording medium W is low as in the burnish process, it is difficult to remove the powdery substances that are firmly attached to the surface of the magnetic recording medium W.
(バーニッシュ工程)
そこで、本発明を適用した磁気記録媒体の製造方法では、上記媒体洗浄工程の前に少なくともバーニッシュ工程を設ける。このバーニッシュ工程は、磁気記録媒体Wの表面にある突起物を除去するため、バーニッシュテープを用いてその表面を研磨する工程であり、例えば特許文献4に記載されているように、アルミナ砥粒を塗布したバーニッシュテープ等を用いて行われる。
(Vernish process)
Therefore, in the method of manufacturing a magnetic recording medium to which the present invention is applied, at least a burnishing process is provided before the medium cleaning process. This burnishing step is a step of polishing the surface using a burnish tape in order to remove protrusions on the surface of the magnetic recording medium W. For example, as described in
具体的に、このバーニッシュ工程では、バーニッシュテープをゴム製のコンタクトロールを用いて磁気記録媒体Wの表面に軽く押し当てながら、磁気記録媒体Wを回転させることにより、媒体表面を軽く研磨する。このようなバーニッシュ処理を行うことにより、磁気記録媒体Wの表面にある異常突起等が除去されるため、ハードディスクドライブでの磁気ヘッドの浮上量をより小さくし、また、上記磁気転写工程で磁気記録媒体Wとマスター情報担体Mとの間に隙間が生じて転写パターンが不鮮明となり、マスター情報担体Mが損傷を受けることを防止することができる。 Specifically, in this burnishing step, the medium surface is lightly polished by rotating the magnetic recording medium W while lightly pressing the burnish tape against the surface of the magnetic recording medium W using a rubber contact roll. . By performing such burnishing, abnormal projections and the like on the surface of the magnetic recording medium W are removed, so that the flying height of the magnetic head in the hard disk drive is further reduced, and the magnetic transfer process performs magnetic A gap is generated between the recording medium W and the master information carrier M, and the transfer pattern becomes unclear, so that the master information carrier M can be prevented from being damaged.
バーニッシュ工程に用いられるバーニッシュテープとしては、通常ポリエステル製のベースフィルム上に研磨材層を形成してなるテープを使用する。そして、この研磨材層が磁気記録媒体Wの表面と接触して摺動することによって、媒体表面に付着した微小な塵埃が除去されると共に、その媒体表面に存在する異常突起等が研磨・除去されて、その媒体表面が平滑化される。 As the burnish tape used in the burnish process, a tape formed by forming an abrasive layer on a polyester base film is usually used. Then, when this abrasive layer slides in contact with the surface of the magnetic recording medium W, fine dust adhering to the surface of the medium is removed, and abnormal protrusions etc. existing on the surface of the medium are polished and removed. Thus, the surface of the medium is smoothed.
研磨材層としては、平均粒子径が0.05μm〜50μm程度の、酸化クロム、α−アルミナ、炭化珪素、非磁性酸化鉄、ダイヤモンド、γ−アルミナ、α,γ−アルミナ、熔融アルミナ、コランダム、人造ダイヤモンド等が用いられる。 As an abrasive layer, an average particle diameter of about 0.05 μm to 50 μm, chromium oxide, α-alumina, silicon carbide, nonmagnetic iron oxide, diamond, γ-alumina, α, γ-alumina, fused alumina, corundum, Artificial diamond or the like is used.
また、このようなバーニッシュ処理は、磁気記録媒体Wを回転させつつ、この磁気記録媒体Wの表面に、バーニッシュテープの砥粒面を押し当てることにより行われる。これにより、磁気記録媒体Wの表面にある突起が研磨除去され、その媒体表面が平滑化される。ここで、バーニッシュテープは、供給リールと巻取リールとの間に掛け渡されており、供給リールから順次供給され、巻取リールに順次巻き取られる。そして、この供給リール側から巻取リール側に走行する途中で、バーニッシュテープの砥粒面と反対側の面(裏面)がゴム等のバッキングロール又はフェルト等により押圧され、バーニッシュテープの研磨面が磁気記録媒体Wの表面に押し当てられる。 Such burnishing is performed by pressing the abrasive surface of the burnish tape against the surface of the magnetic recording medium W while rotating the magnetic recording medium W. Thereby, the protrusions on the surface of the magnetic recording medium W are polished and removed, and the surface of the medium is smoothed. Here, the varnish tape is stretched between the supply reel and the take-up reel, and is sequentially supplied from the supply reel and is taken up sequentially on the take-up reel. In the middle of traveling from the supply reel side to the take-up reel side, the surface (back surface) opposite to the abrasive grain surface of the burnish tape is pressed by a backing roll such as rubber or felt, and the burnish tape is polished. The surface is pressed against the surface of the magnetic recording medium W.
(ワイピング工程)
また、本発明では、上記媒体洗浄工程の前にワイピング工程を設けてもよい。ワイピング工程は、織布、不織布等の砥粒を含まないテープ等を用いて行われる。すなわち、このワイピング工程は、ワイピングテープをゴム製のコンタクトロールを用いて磁気記録媒体Wの表面に軽く押し当てながら、媒体を回転することにより、媒体表面に付着したダストをぬぐい取る工程である。このようなワイピング処理を行うことにより、磁気記録媒体Wの表面に付着したダストが除去される。
(Wiping process)
In the present invention, a wiping step may be provided before the medium cleaning step. A wiping process is performed using the tape etc. which do not contain abrasive grains, such as a woven fabric and a nonwoven fabric. That is, this wiping step is a step of wiping off dust adhering to the medium surface by rotating the medium while lightly pressing the wiping tape against the surface of the magnetic recording medium W using a rubber contact roll. By performing such a wiping process, dust adhering to the surface of the magnetic recording medium W is removed.
ところで、従来の磁気記録媒体の製造方法では、磁気記録媒体Wの表面に潤滑剤を塗布した後に、ワイピング工程と、バーニッシュ工程と、磁気転写工程とが行われる。しかしながら、磁気記録媒体Wに対してワイピング処理やバーニッシュ処理を行うと、この磁気記録媒体Wの表面に静電気が発生してダスト等が付着し易くなる。 By the way, in the conventional method of manufacturing a magnetic recording medium, after applying a lubricant to the surface of the magnetic recording medium W, a wiping process, a burnishing process, and a magnetic transfer process are performed. However, if a wiping process or a burnishing process is performed on the magnetic recording medium W, static electricity is generated on the surface of the magnetic recording medium W, and dust and the like are likely to adhere.
そこで、本発明を適用した磁気記録媒体の製造方法では、上記媒体洗浄工程の前に、ワイピング工程とバーニッシュ工程とを行うことにする。これにより、上述したワイピング工程やバーニッシュ工程時に磁気記録媒体Wの表面に発生した静電気を除去し、上記磁気転写工程の前に、磁気記録媒体Wの表面にダスト等を付着しにくくすることができる。 Therefore, in the method of manufacturing a magnetic recording medium to which the present invention is applied, a wiping process and a burnishing process are performed before the medium cleaning process. As a result, static electricity generated on the surface of the magnetic recording medium W during the wiping process and the burnishing process described above is removed, and dust or the like is less likely to adhere to the surface of the magnetic recording medium W before the magnetic transfer process. it can.
すなわち、本発明では、上記媒体洗浄工程の前に、ワイピング工程やバーニッシュ工程を行い、上記媒体洗浄工程の後はワイピング工程やバーニッシュ工程を行わずに上記磁気転写工程を行う。これにより、ワイピング工程やバーニッシュ工程で除去することが困難な汚染物質を除去することが可能であると共に、磁気記録媒体Wの表面に静電気が発生してダスト等が付着し易くなることを防止することが可能である。 That is, in the present invention, the wiping process and the burnishing process are performed before the medium cleaning process, and the magnetic transfer process is performed without performing the wiping process and the burnishing process after the medium cleaning process. As a result, it is possible to remove contaminants that are difficult to remove in the wiping process or burnishing process, and also prevent the occurrence of static electricity on the surface of the magnetic recording medium W to easily attach dust and the like. Is possible.
また、本発明では、ワイピング工程、バーニッシュ工程、媒体洗浄工程、磁気転写工程の順で行うことを基本とするが、ワイピング工程、バーニッシュ工程で磁気記録媒体Wの表面に傷が付くのを防止するために、予め潤滑剤を塗布する工程を設け、潤滑剤の塗布工程、ワイピング工程、バーニッシュ工程、湿式洗浄工程、磁気転写工程の順で行うことが好ましい。 In the present invention, the wiping process, the burnishing process, the medium cleaning process, and the magnetic transfer process are basically performed in this order. However, the surface of the magnetic recording medium W is damaged in the wiping process and the burnishing process. In order to prevent this, it is preferable to provide a step of applying a lubricant in advance and perform the steps in the order of a lubricant application step, a wiping step, a burnish step, a wet cleaning step, and a magnetic transfer step.
また、上記媒体洗浄工程で磁気記録媒体Wの表面に塗布した潤滑剤の一部が除去される可能性があるため、媒体洗浄工程の後には潤滑剤の塗布工程を再度設けてもよい。すなわち、本発明では、潤滑剤の塗布工程、ワイピング工程、バーニッシュ工程、媒体洗浄工程、磁気転写工程、潤滑剤の再塗布工程の順で行う場合、潤滑剤の塗布工程、ワイピング工程、バーニッシュ工程、湿式洗浄工程、潤滑剤の再塗布工程、磁気転写工程の順で行う場合が例示できる。また、本発明では、ワイピング工程を省略し、バーニッシュ工程のみとすることも可能である。また、ワイピング工程とバーニッシュ工程の順番を逆にしてもよい。 In addition, since a part of the lubricant applied to the surface of the magnetic recording medium W in the medium cleaning process may be removed, the lubricant application process may be provided again after the medium cleaning process. That is, in the present invention, when the lubricant application process, the wiping process, the burnishing process, the medium cleaning process, the magnetic transfer process, and the lubricant reapplication process are performed in this order, the lubricant application process, the wiping process, and the burnish process are performed. The case where it carries out in order of a process, a wet-cleaning process, the re-application process of a lubricant, and a magnetic transfer process can be illustrated. In the present invention, it is also possible to omit the wiping step and use only the burnishing step. Moreover, you may reverse the order of a wiping process and a burnishing process.
上記磁気転写工程の後は、得られた磁気記録媒体Wに対してグライド検査が行われる。グライド検査とは、磁気記録媒体Wの表面に突起物が無いかどうか検査する工程である。すなわち、磁気ヘッドを用いて磁気記録媒体Wに対して記録再生を行う際に、磁気記録媒体Wの表面に浮上量(媒体と磁気ヘッドの間隔)以上の高さの突起があると、磁気ヘッドが突起に衝突して磁気ヘッドが損傷したり、磁気記録媒体Wに欠陥が発生したりする原因となる。グライド検査では、そのような高い突起の有無を検査する。 After the magnetic transfer step, a glide inspection is performed on the obtained magnetic recording medium W. The glide inspection is a process for inspecting the surface of the magnetic recording medium W for any projections. That is, when recording / reproduction is performed on the magnetic recording medium W using the magnetic head, if there is a protrusion with a height higher than the flying height (space between the medium and the magnetic head) on the surface of the magnetic recording medium W, the magnetic head May cause damage to the magnetic head or defects in the magnetic recording medium W. In the glide inspection, the presence or absence of such high protrusions is inspected.
グライド検査をパスした磁気記録媒体Wには、通常ではサーティファイ検査が実施される。サーティファイ検査とは、通常のハードディスクドライブの記録再生と同様に、磁気記録媒体Wに対して磁気ヘッドで所定の信号を記録した後、その信号を再生し、得られた再生信号によって磁気記録媒体Wの記録不能を検出し、磁気記録媒体Wの電気特性や欠陥の有無など媒体の品質を確かめるものである。 Usually, a certification inspection is performed on the magnetic recording medium W that has passed the glide inspection. The certification inspection is similar to recording / reproduction of a normal hard disk drive, after a predetermined signal is recorded on the magnetic recording medium W by a magnetic head, the signal is reproduced, and the magnetic recording medium W is reproduced by the obtained reproduction signal. Is detected, and the quality of the medium, such as the electrical characteristics of the magnetic recording medium W and the presence or absence of defects, is confirmed.
本発明を適用して製造された磁気記録媒体Wは、サーボ信号等が既に書き込まれているため、従来の方式でのサーティファイ検査とは異なる。すなわち、本発明を適用して製造された磁気記録媒体Wでは、この磁気記録媒体Wに磁気転写されたサーボ信号等を用いて、磁気ヘッドを特定箇所に位置づけして読み書きを行う形式の検査を行う。 The magnetic recording medium W manufactured by applying the present invention is different from the conventional certification test because the servo signal and the like are already written therein. That is, in the magnetic recording medium W manufactured by applying the present invention, an inspection of a format in which the magnetic head is positioned at a specific position and read / write is performed using a servo signal or the like magnetically transferred to the magnetic recording medium W. Do.
以上のように、本発明では、上記媒体洗浄工程によって表面が高度に清浄化された磁気記録媒体Wに対して磁気転写を行うため、マスター情報担体Mと磁気記録媒体Wとを重ね合わせた際に、上述した磁気記録媒体Wの表面に僅かに残留する金属腐食物等がマスター情報担体Mに少しずつ転写されて蓄積されることを防止することが可能である。特に、このような蓄積物がマスター情報担体Mの転写面の凹部100bに入り込み、凸部100aを浸食しながら、磁気記録媒体Wに書き込まれる磁化パターンを劣化させることを防止することが可能である。
As described above, in the present invention, when the master information carrier M and the magnetic recording medium W are superposed, the magnetic recording is performed on the magnetic recording medium W whose surface is highly cleaned by the medium cleaning step. In addition, it is possible to prevent the metal corrosive matter and the like slightly remaining on the surface of the magnetic recording medium W described above from being transferred and accumulated little by little on the master information carrier M. In particular, it is possible to prevent such accumulated material from entering the
また、本発明では、上記媒体洗浄工程の前にワイピング処理やバーニッシュ処理を行い、磁気記録媒体Wの洗浄後はワイピング処理やバーニッシュ処理を行わずに磁気転写を行うことで、ワイピング処理やバーニッシュ処理により磁気記録媒体の表面に発生した静電気を除去できるため、磁気転写の際に磁気記録媒体Wの表面に発生した静電気により付着したダスト等がマスター情報担体Mに転写されたりすることを防止することが可能である。 In the present invention, the wiping process or burnishing process is performed before the medium cleaning process, and the magnetic transfer is performed without performing the wiping process or burnishing process after the magnetic recording medium W is cleaned. Since static electricity generated on the surface of the magnetic recording medium can be removed by the burnishing process, dust attached due to static electricity generated on the surface of the magnetic recording medium W during magnetic transfer is transferred to the master information carrier M. It is possible to prevent.
したがって、本発明によれば、1枚のマスター情報担体Mによって繰り返し転写できる合計の回数を飛躍的に高めることが可能となり、その結果、磁気記録媒体の生産コストを大幅に低減することが可能となる。 Therefore, according to the present invention, it is possible to dramatically increase the total number of times that can be repeatedly transferred by one master information carrier M, and as a result, it is possible to significantly reduce the production cost of the magnetic recording medium. Become.
(磁気記録媒体)
次に、本発明を適用して製造される磁気記録媒体Wの一例を図6に示す。
この磁気記録媒体Wは、図6に示すように、非磁性基板31上に、スペーサ層32bにより反強磁性結合させた2層の軟磁性層32aを含む軟磁性下地層32と、配向制御層33と、垂直磁性層34と、保護層35と、潤滑剤膜36とを順次積層した構造を有している。
(Magnetic recording medium)
Next, an example of the magnetic recording medium W manufactured by applying the present invention is shown in FIG.
As shown in FIG. 6, this magnetic recording medium W includes a soft
また、垂直磁性層34は、下層の磁性層34aと、中層の磁性層34bと、上層の磁性層34cとの3層を含み、磁性層34aと磁性層34bの間で非磁性層37aを、磁性層34bと磁性層34cの間で非磁性層37bを挟み込むことで、これら磁性層34a〜34cと非磁性層37a,37bとが交互に積層された構造を有している。
The perpendicular magnetic layer 34 includes three layers of a lower
非磁性基板31としては、例えば、アルミニウムやアルミニウム合金などの金属材料からなる金属基板を用いてもよく、例えば、ガラスや、セラミック、シリコン、シリコンカーバイド、カーボンなどの非金属材料からなる非金属基板を用いてもよい。また、これら金属基板や非金属基板の表面に、例えばメッキ法やスパッタ法などを用いて、NiP層又はNiP合金層が形成されたものを用いることもできる。 As the nonmagnetic substrate 31, for example, a metal substrate made of a metal material such as aluminum or an aluminum alloy may be used. For example, a nonmetal substrate made of a nonmetal material such as glass, ceramic, silicon, silicon carbide, or carbon. May be used. In addition, it is also possible to use a substrate in which a NiP layer or a NiP alloy layer is formed on the surface of the metal substrate or nonmetal substrate by using, for example, a plating method or a sputtering method.
ガラス基板としては、例えば、アモルファスガラスや結晶化ガラスなどを用いることができ、アモルファスガラスとしては、例えば、汎用のソーダライムガラスや、アルミノシリケートガラスなどを用いることができる。また、結晶化ガラスとしては、例えば、リチウム系結晶化ガラスなどを用いることができる。セラミック基板としては、例えば、汎用の酸化アルミニウムや、窒化アルミニウム、窒化珪素などを主成分とする焼結体、又はこれらの繊維強化物などを用いることができる。 As the glass substrate, for example, amorphous glass or crystallized glass can be used, and as the amorphous glass, for example, general-purpose soda lime glass or aluminosilicate glass can be used. In addition, as the crystallized glass, for example, lithium-based crystallized glass can be used. As the ceramic substrate, for example, general-purpose aluminum oxide, a sintered body mainly composed of aluminum nitride, silicon nitride, or the like, or a fiber reinforced material thereof can be used.
非磁性基板31は、その平均表面粗さ(Ra)が1nm(10Å)以下、好ましくは0.5nm以下であるとことが、磁気ヘッドを低浮上させた高記録密度記録に適している点から好ましい。また、表面の微小うねり(Wa)が0.3nm以下(より好ましくは0.25nm以下。)であることが、磁気ヘッドを低浮上させた高記録密度記録に適している点から好ましい。また、端面のチャンファー部の面取り部と、側面部との少なくとも一方の表面平均粗さ(Ra)が10nm以下(より好ましくは9.5nm以下。)のものを用いることが、磁気ヘッドの飛行安定性にとって好ましい。なお、微少うねり(Wa)は、例えば、表面荒粗さ測定装置P−12(KLM−Tencor社製)を用い、測定範囲80μmでの表面平均粗さとして測定することができる。 The nonmagnetic substrate 31 has an average surface roughness (Ra) of 1 nm (10 mm) or less, preferably 0.5 nm or less, from the viewpoint of suitable for high recording density recording with a magnetic head flying low. preferable. Further, it is preferable that the surface fine waviness (Wa) is 0.3 nm or less (more preferably 0.25 nm or less) from the viewpoint of being suitable for high recording density recording with the magnetic head flying low. In addition, it is possible to use a magnetic head having a chamfered portion at the end face and a surface average roughness (Ra) of at least one of the side surface portion of 10 nm or less (more preferably 9.5 nm or less). Preferred for stability. In addition, microwaviness (Wa) can be measured as surface average roughness in a measuring range of 80 μm, for example, using a surface roughness measuring device P-12 (manufactured by KLM-Tencor).
また、非磁性基板31は、Co又はFeが主成分となる軟磁性下地層32と接することで、表面の吸着ガスや、水分の影響、基板成分の拡散などにより、腐食が進行する可能性がある。この場合、非磁性基板31と軟磁性下地層32の間に密着層を設けることが好ましく、これにより、これらを抑制することが可能となる。なお、密着層の材料としては、例えば、Cr、Cr合金、Ti、Ti合金など適宜選択することが可能である。また、密着層の厚みは2nm(20Å)以上であることが好ましい。
Further, since the nonmagnetic substrate 31 is in contact with the soft
軟磁性層32a,32cとしては、Fe:Coを40:60〜70:30(原子比)の範囲で含む材料を用いることが好ましい。また、その透磁率や耐食性を高めるために、Ta、Nb、Zr、Crの中から選ばれる何れか1種を1〜8原子%の範囲で含有させることが好ましい。スペーサ層32bとしては、Ru、Re、Cu等を用いることができるが、この中で特にRuを用いることが好ましい。
As the soft
配向制御層33は、垂直磁性層34の結晶粒を微細化して、記録再生特性を改善するためのものである。この配向制御層33としては、特に限定されるものではないが、hcp構造、fcc構造、アモルファス構造を有するものを用いることが好ましい。特に、Ru系合金、Ni系合金、Co系合金、Pt系合金、Cu系合金を用いることが好ましい。また、これらの合金を多層化してもよい。例えば、基板側からNi系合金とRu系合金との多層構造、Co系合金とRu系合金との多層構造、Pt系合金とRu系合金との多層構造を採用することが好ましい。
The
ここで、配向制御層33の直上にある垂直磁性層34の初期部には、結晶成長の乱れが生じやすく、これがノイズの原因となる。この場合、配向制御層33と垂直磁性層34の間に非磁性下地層38を設けることが好ましい。この初期部の乱れた部分を非磁性下地層38で置き換えることで、ノイズの発生を抑制することができる。
Here, in the initial part of the perpendicular magnetic layer 34 immediately above the
非磁性下地層38としては、Coを主成分とし、更に酸化物を含んだ材料からなるものを用いることが好ましい。Crの含有量は、25原子%以上、50原子%以下とすることが好ましい。酸化物としては、例えばCr、Si、Ta、Al、Ti、Mg、Coなどの酸化物を用いることが好ましく、その中でも特に、TiO2、Cr2O3、SiO2などを好適に用いることができる。酸化物の含有量としては、磁性粒子を構成する、例えばCo、Cr、Pt等の合金を1つの化合物として算出したmol総量に対して、3mol%以上、18mol%以下とすることが好ましい。
As the
磁性層34a,34b,34cとしては、Coを主成分とし、更に酸化物を含んだ材料を用いることが好ましく、この酸化物としては、例えばCr、Si、Ta、Al、Ti、Mg、Coなどの酸化物を用いることが好ましい。その中でも特に、TiO2、Cr2O3、SiO2などを好適に用いることができる。また、下層の磁性層34aは、酸化物を2種類以上添加した複合酸化物からなることが好ましい。その中でも特に、Cr2O3−SiO2、Cr2O3−TiO2、Cr2O3−SiO2−TiO2などを好適に用いることができる。
As the
磁性層34a,34b,34cに適した材料としては、例えば、90(Co14Cr18Pt)−10(SiO2){Cr含有量14原子%、Pt含有量18原子%、残部Coからなる磁性粒子を1つの化合物として算出したモル濃度が90mol%、SiO2からなる酸化物組成が10mol%}、92(Co10Cr16Pt)−8(SiO2)、94(Co8Cr14Pt4Nb)−6(Cr2O3)の他、(CoCrPt)−(Ta2O5)、(CoCrPt)−(Cr2O3)−(TiO2)、(CoCrPt)−(Cr2O3)−(SiO2)、(CoCrPt)−(Cr2O3)−(SiO2)−(TiO2)、(CoCrPtMo)−(TiO)、(CoCrPtW)−(TiO2)、(CoCrPtB)−(Al2O3)、(CoCrPtTaNd)−(MgO)、(CoCrPtBCu)−(Y2O3)、(CoCrPtRu)−(SiO2)などの組成物を挙げることができる。
As a material suitable for the
また、本発明では、上記垂直磁性層34を4層以上の磁性層で構成することも可能である。例えば、上記磁性層34a,34bに加えて、グラニュラー構造の磁性層を3層で構成し、その上に、酸化物を含まない磁性層34cを設けた構成とし、また、酸化物を含まない磁性層34cを2層構造として、磁性層34a,34bの上に設けた構成とすることができる。
In the present invention, the perpendicular magnetic layer 34 may be composed of four or more magnetic layers. For example, in addition to the
また、本発明では、垂直磁性層34を構成する3層以上の磁性層間に非磁性層37を設けることが好ましい。非磁性層37を適度な厚みで設けることで、個々の膜の磁化反転が容易になり、磁性粒子全体の磁化反転の分散を小さくすることができる。その結果S/N比をより向上させることが可能である。 In the present invention, it is preferable to provide a nonmagnetic layer 37 between three or more magnetic layers constituting the perpendicular magnetic layer 34. By providing the nonmagnetic layer 37 with an appropriate thickness, the magnetization reversal of individual films can be facilitated, and the dispersion of the magnetization reversal of the entire magnetic particles can be reduced. As a result, the S / N ratio can be further improved.
保護層35は、垂直磁性層34の腐食を防ぐと共に、磁気ヘッドが磁気記録媒体Wに接触したときに媒体表面の損傷を防ぐためのものである。保護層35には、従来公知の材料を用いることができ、例えばC、SiO2、ZrO2などを含むものを用いることが可能である。保護層35の厚みは、1〜10nmとすることが磁気ヘッドと磁気記録媒体Wの距離を小さくできるので高記録密度の点から好ましい。
The
潤滑剤膜36としては、例えば、パーフルオロポリエーテル、フッ素化アルコール、フッ素化カルボン酸などの潤滑剤を保護層35上に塗布することによって形成される。
The
(磁気記録再生装置)
次に、本発明を適用して製造された磁気記録媒体Wを備える磁気記録再生装置(ハードディスクドライブ)の一例を図7に示す。
この磁気記録再生装置は、上記図6に示す本発明を適用して製造された磁気記録媒体70と、磁気記録媒体70を回転駆動させる媒体駆動部71と、磁気記録媒体70に情報を記録再生する磁気ヘッド72と、この磁気ヘッド72を磁気記録媒体70に対して相対運動させるヘッド駆動部73と、記録再生信号処理系74とを備えている。また、記録再生信号処理系74は、外部から入力されたデータを処理して記録信号を磁気ヘッド72に送り、磁気ヘッド72からの再生信号を処理してデータを外部に送ることが可能となっている。また、この磁気記録再生装置が備える磁気ヘッド72には、再生素子として巨大磁気抵抗効果(GMR)を利用したGMR素子などを有した、より高記録密度に適した磁気ヘッドを用いることができる。
(Magnetic recording / reproducing device)
Next, FIG. 7 shows an example of a magnetic recording / reproducing apparatus (hard disk drive) provided with the magnetic recording medium W manufactured by applying the present invention.
This magnetic recording / reproducing apparatus records and reproduces information on a
上記磁気記録再生装置によれば、上記磁気記録媒体70に、本発明を適用して製造された高記録密度、高速書き込み、優れた電磁変換特性の磁気記録媒体Wを採用することで、優れたハードディスクドライブとすることが可能である。
According to the magnetic recording / reproducing apparatus, an excellent magnetic recording medium W manufactured by applying the present invention to the
以下、実施例により本発明の効果をより明らかなものとする。なお、本発明は、以下の実施例に限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することができる。 Hereinafter, the effects of the present invention will be made clearer by examples. In addition, this invention is not limited to a following example, In the range which does not change the summary, it can change suitably and can implement.
(実施例1)
実施例1では、先ず、洗浄済みのガラス基板(コニカミノルタ社製、外形2.5インチ)をDCマグネトロンスパッタ装置(アネルバ社製C−3040)の成膜チャンバ内に収容して、到達真空度1×10−5Paとなるまで成膜チャンバ内を排気した後、このガラス基板の上に、60Cr−40Tiターゲットを用いて層厚10nmの密着層を成膜した。また、この密着層の上に、46Fe−46Co−5Zr−3B{Fe含有量46原子%、Co含有量46原子%、Zr含有量5原子%、B含有量3原子%}のターゲットを用いて100℃以下の基板温度で、層厚34nmの軟磁性層を成膜し、この上にRu層を層厚0.76nmで成膜した後、さらに46Fe−46Co−5Zr−3Bの軟磁性層を層厚34nm成膜して、これを軟磁性下地層とした。
Example 1
In Example 1, first, a cleaned glass substrate (manufactured by Konica Minolta Co., Ltd., 2.5 inches in outer diameter) is accommodated in a film forming chamber of a DC magnetron sputtering apparatus (C-3040 made by Anelva Co., Ltd.), and the ultimate vacuum is achieved. After evacuating the film formation chamber to 1 × 10 −5 Pa, an adhesion layer having a thickness of 10 nm was formed on the glass substrate using a 60Cr-40Ti target. Further, on this adhesion layer, a target of 46Fe-46Co-5Zr-3B {Fe content 46 atomic%, Co content 46 atomic%,
次に、上記軟磁性下地層の上に、Ni−6W{W含有量6原子%、残部Ni}ターゲット、Ruターゲットを用いて、それぞれ5nm、20nmの層厚で順に成膜し、これを配向制御層とした。
Next, on the soft magnetic underlayer, Ni-6W {
次に、配向制御層の上に、多層構造の磁性層として、Co12Cr16Pt−16TiO2(膜厚3nm)、Co5Cr22Pt−4SiO2−3Cr2O3−2TiO2(膜厚3nm)、Ru47.5Co(膜厚0.5nm)、Co10Cr16Pt3Ru−4SiO2−3Cr2O3−2TiO2(膜厚3nm)、Co6Cr16Pt6Ru−4SiO2−3Cr2O3−2TiO2(膜厚3nm)、Ru47.5Co、Co11.5Cr13Pt10Ru−4SiO2−3Cr2O3−2TiO2(膜厚3nm)、Co15Cr16Pt6B(膜厚3nm)を積層した。
次に、CVD法により層厚2.5nmの炭素保護層を成膜し、実施例1の磁気記録媒体を得た。
Then, on the orientation control layer, a magnetic layer of a multilayer structure, Co12Cr16Pt-16TiO 2 (film thickness 3nm), Co5Cr22Pt-4SiO 2 -3Cr 2 O 3 -2TiO 2 ( film thickness 3nm), Ru47.5Co (film thickness 0.5nm), Co10Cr16Pt3Ru-4SiO 2 -3Cr 2 O 3 -2TiO 2 ( film thickness 3nm), Co6Cr16Pt6Ru-4SiO 2 -3Cr 2 O 3 -2TiO 2 ( film thickness 3nm), Ru47.5Co, Co11.5Cr13Pt10Ru- 4SiO 2 -3Cr 2 O 3 -2TiO 2 (
Next, a carbon protective layer having a thickness of 2.5 nm was formed by CVD, and the magnetic recording medium of Example 1 was obtained.
次に、この磁気記録媒体の表面に、ディッピング法によりパーフルオロポリエーテルからなる潤滑剤膜を厚さ15オングストロームで形成した。 Next, a lubricant film made of perfluoropolyether was formed to a thickness of 15 Å on the surface of the magnetic recording medium by dipping.
次に、潤滑剤を塗布した磁気記録媒体に対してワイピング処理を施した。ワイピングテープには、ナイロン樹脂とポリエステル樹脂による線径2μmの剥離型複合繊維を用いた。このワイピング処理では、磁気記録媒体の回転数を300rpm、ワイピングテープの送り速度は10mm/秒、ワイピングテープを磁気記録媒体に押し当てる際の押圧力は98mN、処理時間は5秒間とした。また、ワイピング処理に際して、ワイピングテープにパーフルオロポリエーテルを噴霧し、テープ表面に約0.01μmの潤滑剤膜を形成した。 Next, a wiping process was performed on the magnetic recording medium coated with the lubricant. As the wiping tape, a peelable composite fiber having a wire diameter of 2 μm made of nylon resin and polyester resin was used. In this wiping process, the rotational speed of the magnetic recording medium was 300 rpm, the wiping tape feed speed was 10 mm / second, the pressing force when pressing the wiping tape against the magnetic recording medium was 98 mN, and the processing time was 5 seconds. In the wiping treatment, perfluoropolyether was sprayed on the wiping tape to form a lubricant film of about 0.01 μm on the tape surface.
次に、ワイピング処理を施した磁気記録媒体に対してバーニッシュ処理を施した。バーニッシュテープには、ポリエチレンテレフタレート製のフィルム上に、平均粒径0.5μmの結晶成長タイプのアルミナ粒子をエポキシ樹脂で固着したものを用いた。このバーニッシュ処理では、磁気記録媒体の回転数は300rpm、バーニッシュテープの送り速度は10mm/秒、バーニッシュテープを磁気ディスクに押し当てる際の押圧力は98mN、処理時間は5秒間とした。 Next, a burnishing process was performed on the magnetic recording medium subjected to the wiping process. The burnish tape used was a polyethylene terephthalate film on which crystal growth type alumina particles having an average particle size of 0.5 μm were fixed with an epoxy resin. In this burnishing process, the rotational speed of the magnetic recording medium was 300 rpm, the burnish tape feed speed was 10 mm / second, the pressing force when pressing the burnish tape against the magnetic disk was 98 mN, and the processing time was 5 seconds.
次に、以上の方法で作製した磁気記録媒体を、上記図1及び図2に示す流水式洗浄装置1を用いて洗浄した。具体的には、長さ40cm、幅40cm、深さ35cmのSUS304製の洗浄槽2を用い、この洗浄槽2の側壁2b,2dには、それぞれ直径15mmの供給口3及び排出口5が相対向しながら、幅方向に5cm間隔で7列、高さ方向に5cm間隔で6列、計42(=7×6)つが格子状に並んで配置されて、各々に流量調整バルブ4,6が接続されている。また、洗浄槽2の底面の外側には、周波数950kHz、出力600Wの超音波発振器7が配置されている。フィルタ9には、0.5ミクロンフィルタ及びイオンフィルタを各1段で使用し、洗浄槽2内を流れる洗浄液Lを循環的に再使用した。また洗浄液Lの循環ラインには、水素水の発生装置(図示せず)を設けた。
Next, the magnetic recording medium manufactured by the above method was cleaned using the flowing water
また、磁気記録媒体Wは、10mm間隔で主面と直交する方向に1列当たり39枚として5列(計395枚)並べてホルダ50に保持した後、このホルダ50を各磁気記録媒体Wの主面が洗浄液Lの流れる方向と平行となるように洗浄槽2の底面上に配置した。そして、洗浄槽2内の洗浄液Lにホルダ50を浸漬させた状態で、洗浄液Lを層流の状態で横方向に流し、この洗浄液Lに超音波振動を印加しながら洗浄を行った。
Further, the magnetic recording medium W is held in the
また、洗浄液Lの水温は23±3℃、洗浄槽2内を層流の状態で流れる洗浄液Lの平均流速(被洗浄物を浸漬し、超音波振動を印加した状態での流速)が3m/分となるように、各供給口3及び排出口5に接続された流量調整バルブ4,6の開度を調整しながら、各供給口3及び排出口5を流れる洗浄液Lの流量を調整した。
The water temperature of the cleaning liquid L is 23 ± 3 ° C., and the average flow speed of the cleaning liquid L flowing in a laminar state in the cleaning tank 2 (the flow speed in a state where the object to be cleaned is immersed and ultrasonic vibration is applied) is 3 m / The flow rate of the cleaning liquid L flowing through each
具体的には、表1に示すように、各供給口3及び排出口5に接続された流量調整バルブ4,6の開度を調整した。なお、表1は、上流側及び下流側の側壁2b,2dをそれぞれ洗浄槽2の内側から見たときに、幅方向及び高さ方向に並ぶ42つの供給口3及び排出口5側のバルブ開度(%)を示したものである。
Specifically, as shown in Table 1, the opening degree of the flow
実施例1の洗浄工程は、3段の洗浄槽2を用い、各洗浄槽2には、超純水を用いて調製された溶存水素濃度1.5ppm、酸化還元電位−550mVの水素水を入れ、さらに1段目の洗浄槽2には、有効成分としてKOHを5ppm含むアルカリ洗浄剤を添加した。この3段の洗浄槽2に順に磁気記録媒体を浸漬し、各洗浄槽2で30秒間の洗浄を行った。洗浄後は磁気記録媒体を速やかにドライエアで乾燥させた。
The cleaning process of Example 1 uses a three-
次に、上記磁気記録媒体に対して磁気転写によりサーボ信号等を書き込んだ。具体的には、磁気記録媒体の両データ面に対して、NdFeB系焼結磁石を用いて、磁気記録媒体を貫通する10kOeの磁界を加えながら、初期磁化を施した。 Next, servo signals and the like were written to the magnetic recording medium by magnetic transfer. Specifically, initial magnetization was applied to both data surfaces of the magnetic recording medium using an NdFeB-based sintered magnet while applying a 10 kOe magnetic field penetrating the magnetic recording medium.
そして、初期磁化を施した磁気記録媒体の両面にマスター情報担体を98mNの圧力で密着させ、このマスター情報担体の裏面から記録磁界を印加した。この記録磁界の強度は4kOeとし、転写時間は10秒間とした。 Then, the master information carrier was brought into close contact with both surfaces of the magnetic recording medium subjected to initial magnetization at a pressure of 98 mN, and a recording magnetic field was applied from the back surface of the master information carrier. The intensity of this recording magnetic field was 4 kOe, and the transfer time was 10 seconds.
マスター情報担体には、271kトラック/インチのサーボ信号等の転写パターンが形成されたものを用いた。なお、このマスター情報担体は、そのトラックが幅120nm、そのトラック間隔が60nm、転写パターンの段差が45nmである。このマスター情報担体は、凸部及び凹部を有するNi基材の上に、DCスパッタリング法を用いて、層厚10nmのRu膜と、磁性層として層厚20nmの70Co−5Cr−15Pt−10SiO2合金膜と、層厚15nmの80Co−5Cr−15Pt合金膜とを順次積層した後、その上に、保護層として層厚20nmのCVD炭素膜を形成することで作製される。 A master information carrier having a transfer pattern such as a 271k track / inch servo signal was used. The master information carrier has a track width of 120 nm, a track interval of 60 nm, and a transfer pattern step of 45 nm. This master information carrier is made of a Ru film having a thickness of 10 nm and a 70Co-5Cr-15Pt-10SiO 2 alloy having a thickness of 20 nm as a magnetic layer on a Ni substrate having a convex portion and a concave portion using a DC sputtering method. The film and an 80Co-5Cr-15Pt alloy film having a layer thickness of 15 nm are sequentially laminated, and then a CVD carbon film having a layer thickness of 20 nm is formed thereon as a protective layer.
次に、磁気記録媒体の表面に、ディッピング法により再度、パーフルオロポリエーテルからなる潤滑剤膜を形成し、潤滑剤膜の膜厚を15オングストロームとした。 Next, a lubricant film made of perfluoropolyether was formed again on the surface of the magnetic recording medium by dipping, and the thickness of the lubricant film was set to 15 angstroms.
上記方法で作製された磁気記録媒体のサーボ信号等の再生特性を、リードライトアナライザ(型番:RWA1632;米国GUZIK社製)、及び、スピンスタンド(型番:S1701MP)を用いて測定した。この装置では、磁気記録媒体に記録されたサーボ信号等を読み込み、この信号を用いて磁気ヘッドの位置決めができる。この際、評価用の磁気ヘッドとして、TuMRを用いた磁気ヘッドを使用してサーボ信号の読み込み時のS/N比を評価し、S/N比が16.0dB以下となった場合に磁気転写不良と判断した。
その結果、実施例1では、221000回の磁気転写が可能であった。
The reproduction characteristics such as servo signals of the magnetic recording medium produced by the above method were measured using a read / write analyzer (model number: RWA1632; manufactured by GUZIK, USA) and a spin stand (model number: S1701MP). In this apparatus, a servo signal or the like recorded on a magnetic recording medium is read, and the magnetic head can be positioned using this signal. At this time, a magnetic head using TuMR is used as an evaluation magnetic head, and the S / N ratio at the time of servo signal reading is evaluated. When the S / N ratio is 16.0 dB or less, magnetic transfer is performed. Judged to be bad.
As a result, in Example 1, 221,000 times of magnetic transfer were possible.
(比較例1)
比較例1では、CVD法により層厚2.5nmの炭素保護層を成膜して磁気記録媒体を得た後、上記図1及び図2に示す流水式洗浄装置1を用いた洗浄を行い、この磁気記録媒体の表面に潤滑剤膜を厚さ15オングストロームで形成し、潤滑剤を塗布した磁気記録媒体に対してワイピング処理、バーニッシュ加工を施した後、磁気転写を行った。なお、実施例1の2度目の潤滑剤膜の形成工程は設けなかった。それ以外は、実施例1と同じ条件で磁気記録媒体を作製した。
その結果、比較例1では、195000回の磁気転写が可能であった。
(Comparative Example 1)
In Comparative Example 1, a carbon protective layer having a thickness of 2.5 nm was formed by a CVD method to obtain a magnetic recording medium, and then cleaning using the flowing
As a result, in Comparative Example 1, 195,000 times of magnetic transfer were possible.
1…流水式洗浄装置 2…洗浄槽 3…供給口 4…流量調整バルブ(流量調整手段) 5…排出口 6…流量調整バルブ(流量調整手段) 7…超音波発振器(振動発生手段) 8…ポンプ 9…フィルタ
31…非磁性基板 32…軟磁性下地層 32a…軟磁性層 32b…スペーサ層 33…配向制御層 34…垂直磁性層 34a,34b,34c…磁性層 35…保護層 36…潤滑剤膜 37a,37b…非磁性層 38…非磁性下地層
70…磁気記録媒体 71…媒体駆動部 72…磁気ヘッド 73…ヘッド駆動部 74…記録再生信号処理系
100…Ni基材 100a…凸部 100b…凹部 101…磁性層 200…非磁性基板 201…磁性層
W…磁気記録媒体 M…マスター情報担体 G…磁界生成手段
DESCRIPTION OF
Claims (11)
前記磁気転写工程の前に、水素水を含む洗浄液を用いて前記磁気記録媒体を洗浄する媒体洗浄工程と、この媒体洗浄工程の前に少なくとも、前記磁気記録媒体の表面に対してバーニッシュ処理を施すバーニッシュ工程とを含むことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 After superimposing a magnetic recording medium having at least a magnetic layer on a non-magnetic substrate and a master information carrier on which a transfer pattern corresponding to an information signal is formed, an external magnetic field is applied from the master information carrier side. However, a magnetic recording medium manufacturing method including a magnetic transfer step of magnetically transferring an information signal from the master information carrier to the magnetic recording medium,
Before the magnetic transfer step, a medium cleaning step for cleaning the magnetic recording medium using a cleaning liquid containing hydrogen water, and at least a surface of the magnetic recording medium is burnished before the medium cleaning step. And a burnishing step for applying the magnetic recording medium.
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