JP2012033577A - Flux recovery apparatus and flux recovery method - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flux recovery apparatus which enhances efficiency of recovering flux while suppressing energy consumption due to recovery of a flux component from an atmosphere gas, can have maintenance intervals for a long period of time, and is simple to be performed maintenance work; and to provide a flux recovery method.SOLUTION: The flux recovery apparatus comprises: an atmosphere gas introducing part in which the atmosphere gas containing the flux component having been exhausted from a soldering device flows; a flux recovery promoter supplying part which sublimates a flux recovery promoter by a heating means, and supplies the sublimated flux recovery promoter into the atmosphere gas that has passed through the atmosphere gas introducing part; a flux recovery part in which a mixed gas of the atmosphere gas and the flux recovery promoter flows, and which has a flow path having a labyrinth structure formed by a plurality of division plates and hole parts provided by the division plates; and a mixed gas exhausting part which exhausts the mixed gas that has been passed through the flux recovery part to the outside.

Description

本発明は、主に窒素など不活性ガスの中で、電子部品を搭載した回路基板を加熱してはんだ付けを行うリフロー炉において、不活性ガスの中に含まれるフラックス成分を除去するフラックス回収装置及びフラックス回収方法に関する。   The present invention relates to a flux recovery apparatus for removing flux components contained in an inert gas in a reflow furnace that heats and solders a circuit board on which an electronic component is mounted in an inert gas such as nitrogen. And a flux recovery method.

現在、種々の電子部品が回路基板の表面に搭載されてはんだ付けされたSMD(Surface Mounted Device)が電子機器に広く用いられている。このはんだ付けは、はんだペーストを用いて行う。はんだペーストは、クリーム状のフラックスとはんだ粉末とを混合してペースト状にしたもので、印刷またはディスペンサー等により回路基板のはんだ付け部に塗布し、その上に電子部品を搭載させてからはんだ付け装置で加熱溶融させることにより、回路基板と電子部品を電気的に接続する。   Currently, SMD (Surface Mounted Device) in which various electronic components are mounted on the surface of a circuit board and soldered is widely used in electronic devices. This soldering is performed using a solder paste. Solder paste is a paste made by mixing cream-like flux and solder powder, applied to the soldering part of the circuit board by printing or dispenser, etc., and soldering after mounting electronic components on it The circuit board and the electronic component are electrically connected by heating and melting with an apparatus.

はんだペーストのフラックスは、はんだ付けされる金属表面の酸化膜を除去し、また、はんだ付け工程における加熱処理時に金属表面が再酸化するのを防止する。また、はんだペーストのフラックスは、はんだ粉末の表面張力を小さくして濡れを良くする作用がある。はんだペーストのフラックスは、松脂、チキソ剤及び活性剤等の固形成分を溶剤で溶解させてあるため、はんだ付け装置(例えば、リフロー炉)ではんだペーストを加熱溶融させる際に、これらの大部分の成分は気化して蒸気となる。この気化したフラックス成分は、はんだ付け装置の温度の低いところに接触して液化する。液化したフラックス成分は、回路基板上の接点やコネクター等に付着して接点不良を起こしたり、はんだ付け装置の可動部分に付着して動きが妨げられたりするという問題があった。   The solder paste flux removes the oxide film on the metal surface to be soldered, and prevents the metal surface from being reoxidized during the heat treatment in the soldering process. Further, the solder paste flux has the effect of reducing the surface tension of the solder powder and improving the wetting. Since the solder paste flux is prepared by dissolving solid components such as pine resin, thixotropic agent, and activator with a solvent, most of these are used when the solder paste is heated and melted in a soldering apparatus (for example, a reflow furnace). The components are vaporized into vapor. The vaporized flux component is liquefied by contact with a low temperature part of the soldering apparatus. The liquefied flux component has a problem that it adheres to contacts or connectors on the circuit board to cause contact failure, or adheres to a movable part of the soldering apparatus and hinders movement.

そこで、気化したフラックス成分が冷却されて液化することで回路基板の接点等に付着しないように、不活性ガスを用いた雰囲気中ではんだペーストの加熱溶融を行うにあたり、このフラックス成分が混在した雰囲気ガスを吸引し、雰囲気ガスを冷却・液化することで、雰囲気ガスからフラックス成分を回収するフラックス回収装置がはんだ付け装置に設けられている。   Therefore, when the solder paste is heated and melted in an atmosphere using an inert gas so that the vaporized flux component is cooled and liquefied so that it does not adhere to the circuit board contacts, etc., an atmosphere in which this flux component is mixed is used. A flux collecting device that collects a flux component from the atmospheric gas by sucking the gas and cooling and liquefying the atmospheric gas is provided in the soldering device.

フラックス回収装置には、例えば、加熱されている雰囲気ガスの吸引機構と、冷却部である複数本の細いパイプからなる放熱部と、液状フラックス回収容器とを備えているものがある。このフラックス回収装置では、吸引された雰囲気ガスがパイプ内を通過する際に冷却されてフラックス成分が液化し、液状となったフラックス成分が容器内に滴下して回収される。なお、細いパイプを複数本設けるのは、加熱されている雰囲気ガスをそれぞれのパイプに分流させて、雰囲気ガスの放熱効率を高めるためである。   Some flux recovery devices include, for example, a heated atmospheric gas suction mechanism, a heat dissipating unit including a plurality of thin pipes serving as cooling units, and a liquid flux recovery container. In this flux recovery apparatus, when the sucked atmospheric gas passes through the pipe, it is cooled to liquefy the flux component, and the liquid flux component is dropped into the container and recovered. The reason for providing a plurality of thin pipes is to increase the heat radiation efficiency of the atmospheric gas by diverting the heated atmospheric gas to each pipe.

しかし、上記した態様の装置の場合、運転当初はパイプの内壁はクリーンな状態であり、放熱効率にも優れるので、フラックスが冷却されて液状となり回収される。しかし、時間の経過とともにロジン等のフラックス成分が細いパイプの内壁に付着していくので、内壁に付着したフラックス成分の断熱効果によりパイプの放熱効率が低下して、雰囲気ガスからのフラックスの回収が不十分になるという問題があった。また、ロジン等のフラックス成分の付着がさらに進むと、最終的にはフラックス成分でパイプが詰まってしまうので、パイプの内壁に付着したフラックスを丁寧に除去しなければならず、煩雑なメンテナンスを頻繁に行う必要があるという問題もあった。   However, in the case of the above-described apparatus, since the inner wall of the pipe is in a clean state at the beginning of operation and excellent in heat dissipation efficiency, the flux is cooled and recovered in a liquid state. However, since the flux component such as rosin adheres to the inner wall of the thin pipe over time, the heat dissipation efficiency of the pipe decreases due to the heat insulation effect of the flux component adhering to the inner wall, and the flux is recovered from the atmospheric gas. There was a problem of becoming insufficient. Also, if the adhesion of flux components such as rosin further progresses, the pipe will eventually become clogged with the flux components, so the flux adhering to the inner wall of the pipe must be carefully removed, and complicated maintenance is frequently required. There was also a problem that had to be done.

また、特許文献1には、フラックス回収箱体内部に蛇行通路を形成することで、蛇行通路の壁面にフラックス成分を衝突させて、この壁面にフラックス成分を付着させ易くしたうえで、フラックス回収箱体を冷却して、気体状のフラックス成分を冷却し、液化物または固化物として雰囲気ガス中のフラックス成分を回収することが記載されている。この場合にも、蛇行通路が固化したフラックス成分ですぐに詰まってしまうので、メンテナンス周期が短くなってしまうという問題があった。また、フラックス回収箱体を冷却するので、フラックス成分の回収に膨大なエネルギーを要するという問題もあった。   Further, in Patent Document 1, a meandering passage is formed inside the flux collecting box body so that the flux component collides with the wall surface of the meandering passage so that the flux component easily adheres to the wall surface. It describes that the body is cooled, the gaseous flux component is cooled, and the flux component in the atmospheric gas is recovered as a liquefied or solidified product. Also in this case, the meandering passage is immediately clogged with the solidified flux component, so that there is a problem that the maintenance cycle is shortened. Further, since the flux recovery box is cooled, there is a problem that enormous energy is required to recover the flux component.

特開2003−179341JP 2003-179341 A

そこで、発明者等は、様々な実験から、フラックス成分が含まれている雰囲気ガスに所定の化合物を混合させると、雰囲気ガス中に含まれているフラックス成分を高温のまま粉体として回収できることを見出した。その結果、フラックス成分を含んだ雰囲気ガスの冷却に伴うエネルギー消費を抑え、面倒な粉体状フラックス除去作業の回数を低減できる装置を発明するに至った。   Therefore, the inventors have found from various experiments that when a predetermined compound is mixed with the atmospheric gas containing the flux component, the flux component contained in the atmospheric gas can be recovered as a powder at a high temperature. I found it. As a result, the inventors have invented an apparatus that can suppress energy consumption accompanying cooling of the atmospheric gas containing the flux component and reduce the number of troublesome powder flux removal operations.

上記事情に鑑み、本発明は、雰囲気ガスからのフラックス成分の回収に伴うエネルギー消費を抑えつつフラックスの回収効率を向上させ、また、メンテナンス間隔を長期間とることができ、メンテナンス作業も簡易なフラックス回収装置及びフラックス回収方法を提供することを目的とする。   In view of the above circumstances, the present invention improves the flux recovery efficiency while suppressing the energy consumption associated with the recovery of the flux component from the atmospheric gas, and can maintain a long maintenance interval and simplify the maintenance work. An object is to provide a recovery device and a flux recovery method.

本発明の態様は、はんだ付け装置から排出されたフラックス成分を含む雰囲気ガスが流通する雰囲気ガス導入部と、フラックス回収促進剤を加熱手段により昇華させて、前記雰囲気ガス導入部を通過した雰囲気ガスに、前記昇華したフラックス回収促進剤を供給するフラックス回収促進剤供給部と、前記雰囲気ガスと前記フラックス回収促進剤との混合ガスが流通する、複数の仕切り板と前記仕切り板に設けられた孔部によりラビリンス構造の流路が形成されたフラックス回収部と、前記フラックス回収部を通過した前記混合ガスを外部へ導出する混合ガス導出部と、を備えたことを特徴とするフラックス回収装置である。   Aspects of the present invention include an atmosphere gas introduction section through which an atmosphere gas containing a flux component discharged from a soldering apparatus flows, and an atmosphere gas that has passed through the atmosphere gas introduction section by sublimating a flux recovery accelerator by a heating means. A plurality of partition plates and holes provided in the partition plates, through which a mixed gas of the atmosphere gas and the flux recovery promoter flows, A flux recovery apparatus comprising: a flux recovery part in which a flow path of a labyrinth structure is formed by a part; and a mixed gas derivation part that guides the mixed gas that has passed through the flux recovery part to the outside .

フラックス回収促進剤とは、雰囲気ガス中に含まれる気化したフラックス成分を粉体等の固体として回収するのを促進する化合物を示し、雰囲気ガスからフラックス成分を円滑に除去するものである。上記態様では、はんだ付け装置から吸引されたフラックス成分を含む雰囲気ガスに、フラックス回収促進剤供給部にて昇華させたフラックス回収促進剤を供給することにより、雰囲気ガスとフラックス回収促進剤ガスとの混合ガスが作成される。この混合ガスがフラックス回収装置のフラックス回収本体部内に導入されて、フラックス回収本体部内に設けられたラビリンス構造の混合ガス流路、すなわち、フラックス回収部を流通する。混合ガスがフラックス回収部を流通する間に、雰囲気ガスのフラックス成分が昇華したフラックス回収促進剤に接触し、フラックス回収促進剤によりフラックス成分が連鎖的架橋反応を起こして高分子化される。この架橋反応が繰り返されることでフラックス成分の高分子化が起こり、雰囲気ガスからフラックス成分が固体として回収される。この粉体は、フラックス回収部の壁面やフラックス回収本体部の内壁面に付着する。フラックス成分が回収された雰囲気ガスは、混合ガス導出部からフラックス回収装置の外へ排出される。   The flux recovery accelerator is a compound that promotes recovery of the vaporized flux component contained in the atmospheric gas as a solid such as powder, and smoothly removes the flux component from the atmospheric gas. In the above aspect, by supplying the flux recovery accelerator sublimated in the flux recovery accelerator supply unit to the atmosphere gas containing the flux component sucked from the soldering apparatus, the atmosphere gas and the flux recovery accelerator gas A mixed gas is created. This mixed gas is introduced into the flux recovery main body of the flux recovery apparatus and flows through the mixed gas flow path having a labyrinth structure provided in the flux recovery main body, that is, the flux recovery unit. While the mixed gas flows through the flux recovery section, the flux component of the atmospheric gas comes into contact with the sublimated flux recovery accelerator, and the flux component causes a chain crosslinking reaction to be polymerized by the flux recovery accelerator. By repeating this crosslinking reaction, the flux component is polymerized, and the flux component is recovered as a solid from the atmospheric gas. This powder adheres to the wall surface of the flux collection part and the inner wall surface of the flux collection body part. The atmospheric gas from which the flux component has been recovered is discharged out of the flux recovery device from the mixed gas outlet.

本発明の態様は、前記フラックス回収促進剤が、メラミン、メラミン誘導体、過酸化触媒及びアルカリ性物質からなる群から選択された少なくとも1種の化合物であることを特徴とするフラックス回収装置である。フラックス回収促進剤は常温では固体である。フラックス回収促進剤として、メラミン、メラミン誘導体、過酸化物若しくはアルカリ性物質またはこれらの混合物を用いる。メラミンとメラミン誘導体は、フラックスの構成成分であるアビエチン酸、ピマール酸、デヒドロアビエチン酸などの有機酸と触媒的に架橋反応を起こす性質を有するので、フラックス成分の架橋剤となってフラックスの回収を促進する。アルカリ性物質は、フラックスの構成成分であるアビエチン酸、ピマール酸、デヒドロアビエチン酸などの有機酸と中和反応をすることで、有機酸を捕捉する。さらに、中和反応生成物の分子量は大きくなって分子間力が増し、反応生成物の融点は有機酸より上昇するので、アルカリ性物質はフラックス成分を固体として回収する吸着剤となってフラックスの回収を促進する。   An aspect of the present invention is the flux recovery apparatus, wherein the flux recovery accelerator is at least one compound selected from the group consisting of melamine, a melamine derivative, a peroxide catalyst, and an alkaline substance. The flux recovery accelerator is solid at room temperature. As a flux recovery accelerator, melamine, a melamine derivative, a peroxide or an alkaline substance, or a mixture thereof is used. Melamine and melamine derivatives have the property of causing a cross-linking reaction catalytically with organic acids such as abietic acid, pimaric acid, and dehydroabietic acid that are constituents of the flux. Facilitate. The alkaline substance captures the organic acid by performing a neutralization reaction with an organic acid such as abietic acid, pimaric acid, and dehydroabietic acid, which are constituents of the flux. Furthermore, since the molecular weight of the neutralization reaction product increases and the intermolecular force increases, and the melting point of the reaction product rises higher than that of the organic acid, the alkaline substance becomes an adsorbent that recovers the flux component as a solid and collects the flux. Promote.

本発明の態様は、前記アルカリ性物質が水酸化物であることを特徴とするフラックス回収装置である。   An aspect of the present invention is a flux recovery apparatus, wherein the alkaline substance is a hydroxide.

本発明の態様は、前記フラックス回収促進剤供給部の加熱手段がヒーターまたは熱せられた不活性ガスを前記フラックス回収促進剤に供給する昇華用不活性ガス導入部であることを特徴とするフラックス回収装置である。常温では固体であるフラックス回収促進剤は、ヒーターまたは不活性ガスの熱風により加熱されて昇華し、昇華したフラックス回収促進剤が雰囲気ガスに供給される。   An aspect of the present invention is a flux recovery, wherein the heating means of the flux recovery accelerator supply part is a heater or an inert gas introduction part for sublimation that supplies heated inert gas to the flux recovery accelerator. Device. The flux recovery accelerator that is solid at room temperature is sublimated by being heated by a heater or hot air of an inert gas, and the sublimated flux recovery accelerator is supplied to the atmospheric gas.

本発明の態様は、前記ラビリンス構造の流路に多孔質体が設置されていることを特徴とするフラックス回収装置である。混合ガスの流れが多孔質体に接触または衝突すると、多孔質体の多孔質構造によって、混合ガスの運動エネルギーが減殺される。混合ガスの運動エネルギーが減殺されると、フラックス成分の架橋による高分子化が促進される。   An aspect of the present invention is a flux recovery apparatus, wherein a porous body is installed in the flow path of the labyrinth structure. When the mixed gas flow contacts or collides with the porous body, the kinetic energy of the mixed gas is reduced by the porous structure of the porous body. When the kinetic energy of the mixed gas is reduced, the polymerization by the crosslinking of the flux component is promoted.

本発明の態様は、前記フラックス回収促進剤供給部と前記フラックス回収部との間及び/または前記混合ガス導出部に、前記混合ガス中のフラックス回収促進剤濃度を測定するための混合ガス採取手段が設けられていることを特徴とするフラックス回収装置である。   The aspect of the present invention is a mixed gas sampling means for measuring a concentration of the flux recovery accelerator in the mixed gas between the flux recovery accelerator supply part and the flux recovery part and / or in the mixed gas outlet part. Is a flux recovery device.

本発明の態様は、前記フラックス回収部が、前記ラビリンス構造の流路に代えて、前記フラックス成分を遠心分離する遠心分離器を備えたことを特徴とするフラックス回収装置である。   An aspect of the present invention is the flux recovery apparatus, wherein the flux recovery unit includes a centrifuge for centrifuging the flux component instead of the flow path of the labyrinth structure.

本発明の態様は、はんだ付け装置から排出されたフラックス成分を含む雰囲気ガスを、フラックス回収装置の雰囲気ガス導入部に流通させる工程と、フラックス回収促進剤供給部の加熱手段によりフラックス回収促進剤を昇華させて、前記雰囲気ガス導入部を通過した雰囲気ガスに、前記昇華したフラックス回収促進剤を供給する工程と、複数の仕切り板と前記仕切り板に設けられた孔部により形成されたラビリンス構造の流路にて、前記雰囲気ガスと前記フラックス回収促進剤との混合ガスに含まれるフラックス成分を回収する工程と、前記ラビリンス構造の流路を通過した前記混合ガスを、混合ガス導出部から前記フラックス回収装置の外部へ導出する工程と、を有することを特徴とするフラックス回収方法である。   Aspects of the present invention include a step of circulating an atmospheric gas containing a flux component discharged from a soldering apparatus to an atmospheric gas introduction part of a flux recovery apparatus, and a flux recovery accelerator by heating means of a flux recovery accelerator supply part. Sublimating and supplying the sublimated flux recovery accelerator to the atmospheric gas that has passed through the atmospheric gas introduction section, and a labyrinth structure formed by a plurality of partition plates and holes provided in the partition plates A step of recovering a flux component contained in a mixed gas of the atmospheric gas and the flux recovery accelerator in the flow path, and the mixed gas that has passed through the flow path of the labyrinth structure from the mixed gas outlet section. And a step of leading to the outside of the recovery device.

本発明の態様は、前記フラックス回収促進剤が、メラミン、メラミン誘導体、過酸化触媒及びアルカリ性物質からなる群から選択された少なくとも1種の化合物であることを特徴とするフラックス回収方法、前記アルカリ性物質が水酸化物であることを特徴とするフラックス回収方法、前記フラックス回収促進剤供給部の加熱手段がヒーターまたは熱せられた不活性ガスを前記フラックス回収促進剤に供給する昇華用不活性ガス導入部であることを特徴とするフラックス回収方法、前記ラビリンス構造の流路に多孔質体が設置されていることを特徴とするフラックス回収方法、前記フラックス回収促進剤供給部と前記ラビリンス構造の流路との間及び/または前記混合ガス導出部に、前記混合ガス中のフラックス回収促進剤濃度を測定するための混合ガス採取手段が設けられていることを特徴とするフラックス回収方法、前記ラビリンス構造の流路に代えて、前記フラックス成分を遠心分離する遠心分離器にて該フラックス成分を回収することを特徴とするフラックス回収方法である。   An aspect of the present invention is the flux recovery method, wherein the flux recovery accelerator is at least one compound selected from the group consisting of melamine, a melamine derivative, a peroxide catalyst and an alkaline substance, and the alkaline substance A flux recovery method, wherein the heating means of the flux recovery accelerator supply section is a heater or a sublimation inert gas introduction section for supplying heated inert gas to the flux recovery accelerator A flux recovery method, a flux recovery method characterized in that a porous body is installed in the flow path of the labyrinth structure, the flux recovery accelerator supply unit, and the flow path of the labyrinth structure And / or measuring the concentration of the flux recovery accelerator in the mixed gas at the mixed gas outlet. The flux collecting method is characterized in that the flux component is collected by a centrifuge for centrifuging the flux component instead of the flow path of the labyrinth structure. This is a flux recovery method.

本発明の上記態様によれば、気化したフラックス成分が昇華したフラックス回収促進剤に吸着されることにより、雰囲気ガスを高温状態としたままフラックス成分を粉体として回収するので、雰囲気ガスの冷却に伴うエネルギー消費を抑えることができる。また、昇華したフラックス回収促進剤が雰囲気ガス中に供給されるので、フラックスの回収効率が向上する。また、混合ガスの流路は孔部を有する仕切り板を複数用いて形成したラビリンス構造となっているので、固化したフラックス成分が流路に詰まるのを防止できる。このように、固化したフラックス成分が流路に詰まるのを防止でき、さらに放熱効率の良否に関わらずフラックス成分の回収が可能なので、メンテナンス間隔を長期間とることができ、メンテナンス作業も簡易である。   According to the above aspect of the present invention, the vaporized flux component is adsorbed by the sublimated flux recovery accelerator, whereby the flux component is recovered as a powder while keeping the atmospheric gas in a high temperature state. The accompanying energy consumption can be suppressed. Further, since the sublimated flux recovery accelerator is supplied into the atmospheric gas, the flux recovery efficiency is improved. Moreover, since the mixed gas flow path has a labyrinth structure formed by using a plurality of partition plates having holes, the solidified flux component can be prevented from clogging the flow path. In this way, the solidified flux component can be prevented from clogging the flow path, and further, the flux component can be collected regardless of whether the heat radiation efficiency is good or not, so that a maintenance interval can be taken for a long time and the maintenance work is also simple. .

本発明の上記態様によれば、フラックス回収促進剤として、メラミン、メラミン誘導体、過酸化触媒若しくはアルカリ性物質またはこれらの混合物を用いることで、気化したフラックス成分を効率よく吸着、回収できる。本発明の上記態様によれば、フラックス回収促進剤供給部の加熱手段としてヒーターまたは熱せられた不活性ガスを前記フラックス回収促進剤に供給する昇華用不活性ガス導入部を用いることで、フラックス回収促進剤の雰囲気ガスへの供給量を容易に調節できる。本発明の上記態様によれば、混合ガス流路に多孔質体を設けることにより、フラックスとフラックス回収促進剤とを含んだ粉体の形成・成長が促進されるので、フラックスの回収効率がより向上する。本発明の上記態様によれば、フラックス回収促進剤供給部と前記フラックス回収部との間及び/または混合ガス導出部に、混合ガス中のフラックス回収促進剤濃度を測定するための混合ガス採取手段を設けることで、フラックス回収促進剤濃度を適値に調整できる。   According to the aspect of the present invention, by using melamine, a melamine derivative, a peroxide catalyst, an alkaline substance, or a mixture thereof as a flux recovery accelerator, the vaporized flux component can be efficiently adsorbed and recovered. According to the above aspect of the present invention, a flux recovery is achieved by using a heater or a sublimation inert gas introduction unit that supplies a heated inert gas to the flux recovery promoter as a heating means of the flux recovery promoter supply unit. The supply amount of the accelerator to the atmospheric gas can be easily adjusted. According to the above aspect of the present invention, by providing the porous body in the mixed gas flow path, the formation and growth of the powder containing the flux and the flux recovery accelerator is promoted. improves. According to the above aspect of the present invention, the mixed gas sampling means for measuring the concentration of the flux recovery accelerator in the mixed gas between the flux recovery promoter supply part and the flux recovery part and / or in the mixed gas outlet part. By providing, the flux recovery accelerator concentration can be adjusted to an appropriate value.

本発明の実施形態例に係るフラックス回収装置を設置したリフロー装置の概略を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows the outline of the reflow apparatus which installed the flux collection | recovery apparatus which concerns on the example of embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態例に係るフラックス回収装置の側面断面図である。It is side surface sectional drawing of the flux collection | recovery apparatus which concerns on the example of 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1実施形態例に係るフラックス回収装置のフラックス回収部を説明する概略図である。It is the schematic explaining the flux collection | recovery part of the flux collection apparatus which concerns on the example of 1st Embodiment of this invention. フラックス成分が回収される様子を示す説明図である。It is explanatory drawing which shows a mode that a flux component is collect | recovered. 本発明の第1実施形態例に係るフラックス回収装置の変形例を示す側面断面図である。It is side surface sectional drawing which shows the modification of the flux collection | recovery apparatus which concerns on the example of 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態例に係るフラックス回収装置の側面断面図である。It is side surface sectional drawing of the flux collection | recovery apparatus which concerns on the 2nd Example of this invention. 本発明の第2実施形態例に係るフラックス回収装置のフラックス回収部を説明する概略図である。It is the schematic explaining the flux collection | recovery part of the flux collection | recovery apparatus which concerns on the example of 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第2実施形態例に係るフラックス回収装置の変形例を示す側面断面図である。It is side surface sectional drawing which shows the modification of the flux collection | recovery apparatus which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3実施形態例に係るフラックス回収装置の側面断面図である。It is side surface sectional drawing of the flux collection | recovery apparatus which concerns on the example of 3rd Embodiment of this invention. (a)図は本発明の第4実施形態例に係るフラックス回収装置の平面断面図、(b)図は本発明の第4実施形態例に係るフラックス回収装置の側面断面図である。(A) is a plan sectional view of a flux recovery apparatus according to the fourth embodiment of the present invention, and (b) is a side sectional view of the flux recovery apparatus according to the fourth embodiment of the present invention. (a)図は本発明の第4実施形態例に係るフラックス回収装置の変形例を示す平面断面図、(b)図は本発明の第4実施形態例に係るフラックス回収装置の変形例を示す側面断面図である。(A) is a plan sectional view showing a modification of the flux recovery apparatus according to the fourth embodiment of the present invention, and (b) shows a modification of the flux recovery apparatus according to the fourth embodiment of the present invention. It is side surface sectional drawing. 本発明の第5実施形態例に係るフラックス回収装置の側面断面図である。It is side surface sectional drawing of the flux collection | recovery apparatus concerning the example of 5th Embodiment of this invention.

次に、本発明の実施形態例に係るフラックス回収装置について、図面を用いながら説明する。図1は、はんだ付け装置に本発明の第1実施形態例であるフラックス回収装置1を設置した態様を示している。ここでは、はんだ付け装置としてリフロー装置100を使用した場合を例にとって説明する。   Next, a flux recovery apparatus according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 shows an aspect in which a flux recovery apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention is installed in a soldering apparatus. Here, a case where the reflow apparatus 100 is used as a soldering apparatus will be described as an example.

図1に示すように、搬送コンベアがリフロー装置100の搬入口101側から搬出口102側へリフロー装置100内部を貫通するように配置されている。配線基板に電子部品を搭載した被加熱物であるワークは、搬送コンベアに載置されて搬入口101からリフロー装置100内へ搬入されて加熱されることにより、はんだ粉とフラックス成分を含んだはんだペーストが溶融し、電子部品が配線基板に電気的に接合される。電気的に接合されたワークは、搬送コンベアにて搬出口102からリフロー装置100外へ搬出される。   As shown in FIG. 1, the transport conveyor is disposed so as to penetrate the inside of the reflow device 100 from the carry-in port 101 side to the carry-out port 102 side of the reflow device 100. A workpiece, which is an object to be heated, on which an electronic component is mounted on a wiring board, is placed on a transfer conveyor, carried into a reflow apparatus 100 from a carry-in entrance 101, and heated, whereby solder containing solder powder and a flux component. The paste melts and the electronic component is electrically bonded to the wiring board. The electrically joined workpiece is carried out of the reflow apparatus 100 from the carry-out port 102 by the conveyer.

リフロー装置100は、搬入口101から搬出口102への搬送経路において10個のゾーンZ1〜Z10に分割されている。このうち、搬入口101側から5個までのゾーンZ1〜Z5がプレヒートゾーン、搬出口102側から2個までのゾーンZ9〜Z10が冷却ゾーン、5個のプレヒートゾーンと2個の冷却ゾーンの間の3個のゾーンZ6〜Z8が加熱ゾーンである。プレヒートゾーンは配線基板を所定温度まで加熱するゾーンである。加熱ゾーンは、はんだ粉を完全に溶融させて電子部品を配線基板に電気的に接合するゾーンである。はんだ粉の溶融にあたりフラックス成分は気化して、熱せられた雰囲気ガス中に拡散する。冷却ゾーンは、冷却用ファンを駆動させて加熱されたワークを冷却させるゾーンである。   The reflow apparatus 100 is divided into ten zones Z1 to Z10 in the conveyance path from the carry-in port 101 to the carry-out port 102. Among these, up to five zones Z1 to Z5 from the carry-in port 101 side are preheating zones, and up to two zones Z9 to Z10 from the carry-out port 102 side are cooling zones, between five preheating zones and two cooling zones. These three zones Z6 to Z8 are heating zones. The preheat zone is a zone for heating the wiring board to a predetermined temperature. The heating zone is a zone in which the solder powder is completely melted to electrically join the electronic component to the wiring board. When melting the solder powder, the flux component is vaporized and diffused into the heated atmospheric gas. The cooling zone is a zone that cools the heated workpiece by driving a cooling fan.

ゾーンZ1〜Z10は、上部炉体103と下部炉体104で構成されている。上部炉体103の内部は雰囲気ガスである不活性ガス(例えば窒素ガス)が充満している。上部炉体103は、ヒーター105と送風機107を有し、雰囲気ガスはヒーター105で所定の温度に熱せられる。ヒーター105で熱せられた雰囲気ガスが、送風機107により搬送コンベアに載置されたワークに対して上側から吹きつけられる。下部炉体104も、上部炉体103と同様の構造であり、ヒーター106で熱せられた雰囲気ガスが、送風機108によりワークに対して下側から吹きつけられる。   Zones Z <b> 1 to Z <b> 10 are composed of an upper furnace body 103 and a lower furnace body 104. The inside of the upper furnace body 103 is filled with an inert gas (for example, nitrogen gas) that is an atmospheric gas. The upper furnace body 103 includes a heater 105 and a blower 107, and the atmospheric gas is heated to a predetermined temperature by the heater 105. The atmospheric gas heated by the heater 105 is blown from above by the blower 107 against the work placed on the conveyor. The lower furnace body 104 has the same structure as that of the upper furnace body 103, and the atmospheric gas heated by the heater 106 is blown from below to the work by the blower 108.

図1に示すように、本発明の第1実施形態例に係るフラックス回収装置1は、リフロー装置100の加熱ゾーンに相当するゾーンZ6〜Z8に接続される。すなわち、加熱ゾーンに充満した雰囲気ガスは、加熱ゾーンとフラックス回収装置1とを連通した雰囲気ガス導入用パイプ109を介してフラックス回収装置1へ導入される。フラックス回収装置1にてフラックス成分が回収された雰囲気ガスは、フラックス回収装置1と加熱ゾーンとを連通した、雰囲気ガス導入用パイプとは別の雰囲気ガス導出用パイプ110を介して加熱ゾーンへ戻される。   As shown in FIG. 1, the flux recovery apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention is connected to zones Z <b> 6 to Z <b> 8 corresponding to heating zones of the reflow apparatus 100. That is, the atmospheric gas filled in the heating zone is introduced into the flux recovery device 1 through the atmospheric gas introduction pipe 109 that connects the heating zone and the flux recovery device 1. The atmospheric gas from which the flux component has been recovered by the flux recovery apparatus 1 is returned to the heating zone via an atmospheric gas outlet pipe 110 that is in communication with the flux recovery apparatus 1 and the heating zone and is different from the atmospheric gas introduction pipe 110. It is.

次に、本発明の第1実施形態例に係るフラックス回収装置1について、図2を用いながら説明する。図2に示すように、第1実施形態例に係るフラックス回収装置1は、雰囲気ガス導入用パイプ109と連通した雰囲気ガス導入部20と、雰囲気ガス導入部20の雰囲気ガス流れ下流側に設けられたフラックス回収促進剤供給部10と、フラックス回収促進剤供給部10と連通したフラックス回収本体部30と、前記フラックス回収本体部30の内部に配置されたフラックス回収部31と、フラックス回収本体部30の内部と雰囲気ガス導出用パイプ110とを連通した混合ガス導出部21と、を備えている。   Next, the flux collection apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 2, the flux recovery apparatus 1 according to the first embodiment is provided on the downstream side of the atmospheric gas flow of the atmospheric gas introduction unit 20 that communicates with the atmospheric gas introduction pipe 109. The flux collection accelerator supply unit 10, the flux collection main body 30 communicating with the flux collection accelerator supply unit 10, the flux collection unit 31 disposed inside the flux collection main body 30, and the flux collection main body 30. And a mixed gas outlet 21 that communicates the atmosphere gas outlet pipe 110 with the inside.

フラックス回収促進剤供給部10は、ハウジング11と、ハウジング蓋部12と、ハウジング11内部に装着される網目状のホルダー13と、ホルダー13内に収納された固形状のフラックス回収促進剤14と、ホルダー13内に収納されたフラックス回収促進剤14を加熱する加熱手段と、雰囲気ガス導入用パイプ109を介して加熱ゾーンから流通される雰囲気ガスとフラックス回収促進剤ガスとが混合される管状体の混合ガス生成室16と、を備えている。ハウジング11及びホルダー13は、フラックス回収促進剤14を収容できる内部形状を有する金属製の容器である。加熱手段は、リフロー装置100内部に充満した不活性ガス(すなわち、リフロー装置100の雰囲気ガス)由来の熱せられた不活性ガス(例えば窒素ガス)またはリフロー装置100内部に充満した不活性ガスとは別系統の熱せられた不活性ガス(例えば窒素ガス)をハウジング11内に導入する昇華用不活性ガス導入部15である。この熱せられた不活性ガスは、図示しない熱せられた不活性ガスの供給源と連通した配管を流れ、この配管と連通した昇華用不活性ガス導入部15からハウジング11内へ供給されて、フラックス回収促進剤14の昇華用不活性ガスとして使用される。フラックス回収促進剤14は、ハウジング11に収容された状態で、ハウジング11内を流通する昇華用不活性ガスの熱風が吹き当てられて加熱、昇華される。   The flux recovery accelerator supply unit 10 includes a housing 11, a housing lid 12, a mesh-like holder 13 mounted inside the housing 11, a solid flux recovery accelerator 14 accommodated in the holder 13, A tubular body in which the heating means for heating the flux recovery accelerator 14 accommodated in the holder 13 and the atmospheric gas and the flux recovery accelerator gas circulated from the heating zone through the atmospheric gas introduction pipe 109 are mixed. And a mixed gas generation chamber 16. The housing 11 and the holder 13 are metal containers having an internal shape that can accommodate the flux collection accelerator 14. The heating means is a heated inert gas (for example, nitrogen gas) derived from an inert gas (that is, an atmosphere gas of the reflow device 100) filled in the reflow device 100 or an inert gas filled in the reflow device 100. This is a sublimation inert gas introduction section 15 for introducing a heated inert gas (for example, nitrogen gas) of another system into the housing 11. The heated inert gas flows through a pipe communicated with a heated inert gas supply source (not shown), and is supplied into the housing 11 from the sublimation inert gas introduction section 15 communicated with the pipe. Used as an inert gas for sublimation of the recovery accelerator 14. The flux recovery accelerator 14 is heated and sublimated by being sprayed with hot air of an inert gas for sublimation flowing through the housing 11 while being accommodated in the housing 11.

昇華用不活性ガスの熱風を吹きつけられた固形状のフラックス回収促進剤14は、昇華してフラックス回収促進剤ガスとなり、昇華したフラックス回収促進剤14は、そのままハウジング11内を流通する昇華用不活性ガスに供給される。従って、昇華用不活性ガス導入部15を流れる昇華用不活性ガスの温度は、フラックス回収促進剤14に昇華現象が生じる温度以上に設定する。昇華用不活性ガス導入部15を流れる昇華用不活性ガスの温度は、フラックス回収促進剤14の昇華温度に応じ適宜設定可能であるが、例えば、230〜280℃程度である。また、昇華用不活性ガスの流量は、適宜選択可能であるが、例えば20〜30リットル/minである。また、ハウジング11の内部は、混合ガス生成室16と連通している。従って、生成したフラックス回収促進剤ガスは、昇華用不活性ガスとともにハウジング11内部から混合ガス生成室16へ導入される。   The solid flux recovery accelerator 14 blown with hot air of the sublimation inert gas is sublimated to become a flux recovery accelerator gas, and the sublimated flux recovery accelerator 14 is used for sublimation that circulates in the housing 11 as it is. Supplied to inert gas. Accordingly, the temperature of the sublimation inert gas flowing through the sublimation inert gas introduction part 15 is set to be equal to or higher than the temperature at which the sublimation phenomenon occurs in the flux recovery accelerator 14. The temperature of the sublimation inert gas flowing through the sublimation inert gas introduction unit 15 can be appropriately set according to the sublimation temperature of the flux collection accelerator 14, and is, for example, about 230 to 280 ° C. The flow rate of the inert gas for sublimation can be selected as appropriate, and is, for example, 20 to 30 liters / min. The interior of the housing 11 communicates with the mixed gas generation chamber 16. Accordingly, the generated flux recovery accelerator gas is introduced into the mixed gas generation chamber 16 from the inside of the housing 11 together with the inert gas for sublimation.

一方で、混合ガス生成室16は、雰囲気ガス導入部20と雰囲気ガス導入用パイプ109を介してリフロー装置100の加熱ゾーンとも連通している。フラックス成分を含んだ加熱ゾーンの雰囲気ガスは、雰囲気ガス導入用パイプ109、フラックス回収装置1の雰囲気ガス導入部20の順に流通することで、加熱ゾーンから混合ガス生成室16へ導入される。このように、フラックス回収促進剤ガスとフラックス成分を含んだ雰囲気ガスが、いずれも混合ガス生成室16に流入することで、フラックス成分を含んだ雰囲気ガスにフラックス回収促進剤ガスが供給され、雰囲気ガスとフラックス回収促進剤ガスとの混合ガス(以下、単に、「混合ガス」ということがある。)が生成される。このように、固形状のフラックス回収促進剤14は加熱手段を用いて昇華されるので、安定的かつ定量的昇華が可能であり、フラックス回収促進剤14の雰囲気ガスへの供給量を容易に制御できる。また、加熱手段として熱せられた不活性ガスをハウジング11内に導入する昇華用不活性ガス導入部15を用いることで、加熱によりフラックス回収促進剤14が変形しても、安定的かつ定量的昇華が可能である。   On the other hand, the mixed gas generation chamber 16 communicates with the heating zone of the reflow apparatus 100 via the atmospheric gas introduction unit 20 and the atmospheric gas introduction pipe 109. The atmospheric gas in the heating zone containing the flux component is introduced from the heating zone into the mixed gas generation chamber 16 by flowing in the order of the atmospheric gas introduction pipe 109 and the atmospheric gas introduction unit 20 of the flux recovery apparatus 1. In this way, the flux recovery accelerator gas and the atmospheric gas containing the flux component flow into the mixed gas generation chamber 16 so that the flux recovery accelerator gas is supplied to the atmospheric gas containing the flux component, and the atmosphere A mixed gas of the gas and the flux recovery accelerator gas (hereinafter, simply referred to as “mixed gas”) is generated. Thus, since the solid flux recovery accelerator 14 is sublimated using the heating means, stable and quantitative sublimation is possible, and the supply amount of the flux recovery accelerator 14 to the atmospheric gas is easily controlled. it can. Further, by using the inert gas introduction portion 15 for sublimation that introduces the heated inert gas into the housing 11 as a heating means, stable and quantitative sublimation even when the flux recovery accelerator 14 is deformed by heating. Is possible.

図2に示すように、フラックス回収装置1のフラックス回収本体部30の内部には、モーター51で駆動するターボファン50が設けられている。ターボファン50の旋回翼によって、図2の黒矢印に示すように、雰囲気ガスの還流系が生じる。すなわち、ターボファン50を駆動させると、リフロー装置100の加熱ゾーンに充満していた雰囲気ガスが、強制的に、雰囲気ガス導入用パイプ109、フラックス回収装置1、雰囲気ガス導出用パイプ110の順に流されて最終的にリフロー装置100の加熱ゾーンへ戻される。また、ターボファン50によって、上記した雰囲気ガスの還流系が生じるとともに、フラックス回収促進剤ガスが、強制的にハウジング11から混合ガス生成室16へ流される。すなわち、ハウジング11から混合ガス生成室16へのフラックス回収促進剤ガスの流入及びフラックス成分を含んだ雰囲気ガスの加熱ゾーンから混合ガス生成室16への導入は、いずれもフラックス回収装置1に設けられたターボファン50により行なわれる。このように、フラックス回収促進剤ガスがハウジング11から混合ガス生成室16へ積極的に流れることにより、加熱ゾーンから雰囲気ガス導入用パイプ109を通って混合ガス生成室16へ流入した雰囲気ガスに、フラックス回収促進剤ガスが供給される。   As shown in FIG. 2, a turbo fan 50 driven by a motor 51 is provided inside the flux collection main body 30 of the flux collection device 1. As shown by the black arrows in FIG. 2, the atmosphere gas reflux system is generated by the swirl vanes of the turbofan 50. That is, when the turbo fan 50 is driven, the atmospheric gas filled in the heating zone of the reflow device 100 is forced to flow in the order of the atmospheric gas introduction pipe 109, the flux recovery device 1, and the atmospheric gas outlet pipe 110. And finally returned to the heating zone of the reflow apparatus 100. In addition, the above-described atmospheric gas recirculation system is generated by the turbofan 50, and the flux recovery accelerator gas is forced to flow from the housing 11 to the mixed gas generation chamber 16. That is, the flux recovery apparatus 1 is provided with both the inflow of the flux recovery accelerator gas from the housing 11 into the mixed gas generation chamber 16 and the introduction of the atmospheric gas containing the flux component into the mixed gas generation chamber 16 from the heating zone. This is done by the turbo fan 50. In this way, the flux recovery accelerator gas actively flows from the housing 11 to the mixed gas generation chamber 16, so that the atmospheric gas flowing from the heating zone through the atmospheric gas introduction pipe 109 into the mixed gas generation chamber 16 A flux recovery accelerator gas is supplied.

本発明で使用するフラックス回収促進剤14は、雰囲気ガスに含まれる気化したフラックス成分を粉体等の固体として回収できるものであれば特に限定されず、例えば、メラミン、メラミン誘導体、過酸化触媒及び水酸化物等のアルカリ物質が挙げられる。メラミン誘導体には、イミノ基、メチロール基、メトキシメチル基の官能基を含むアルキル化メラミン等を例示することができ、アルキル化メラミンには、例えば、下記一般式(i)   The flux recovery accelerator 14 used in the present invention is not particularly limited as long as it can recover the vaporized flux component contained in the atmospheric gas as a solid such as powder, and examples thereof include melamine, melamine derivatives, peroxide catalysts, and the like. Alkali substances such as hydroxides can be mentioned. Examples of the melamine derivative include alkylated melamines containing a functional group such as an imino group, a methylol group, and a methoxymethyl group. Examples of the alkylated melamine include the following general formula (i):

(式中、R1、R2、R3、R4、R5、R6は、それぞれ相互に独立に、水素、メチロール基またはメトキシメチル基を表す)のものを挙げることができる(尚、メラミンは、R1、R2、R3、R4、R5、R6全て水素原子)。市販されているメラミン誘導体には、例えば、(株)三和ケミカル製の「ニカラックMW−30HM」、「ニカラックMW−390」、「ニカラックMW−100LM」、「ニカラックMX−750LM」等を挙げることができる。 (Wherein R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 and R 6 each independently represent hydrogen, a methylol group or a methoxymethyl group). Melamine is R 1 , R 2 , R 3 , R 4 , R 5 , R 6 all hydrogen atoms). Examples of commercially available melamine derivatives include “Nicarak MW-30HM”, “Nicarak MW-390”, “Nicarac MW-100LM”, “Nicarac MX-750LM” manufactured by Sanwa Chemical Co., Ltd. Can do.

また、フラックス回収促進剤14の態様は固体であれば特に限定されず、例えば、粉体状、粒子状でもよく、また、粉体状や粒子状のフラックス回収促進剤をプレス機等で所定形状に成型した固形物としてもよい。上記実施形態例では、取り扱い性を容易化するために、粉体をプレス機で板状に成型したフラックス回収促進剤14を用いている。   The aspect of the flux recovery accelerator 14 is not particularly limited as long as it is solid. For example, the powder recovery accelerator 14 may be in the form of powder or particles. It is good also as the solid object shape | molded in. In the above embodiment, the flux recovery accelerator 14 obtained by forming powder into a plate shape with a press machine is used in order to facilitate handling.

図2に示すように、混合ガス生成室16にて生成された、雰囲気ガスとフラックス回収促進剤ガスとの混合ガスは、フラックス回収本体部30の上部に配置されたターボファン50により、強制的に、混合ガス生成室16から混合ガス生成室16と連通したフラックス回収本体部30へ導入される。第1実施形態例に係るフラックス回収装置1では、雰囲気ガス導入部20は、フラックス回収本体部30の底面40から離れた位置、すなわち、高い位置に設けられている。   As shown in FIG. 2, the mixed gas of the atmospheric gas and the flux recovery accelerator gas generated in the mixed gas generation chamber 16 is forced by a turbo fan 50 disposed on the upper portion of the flux recovery main body 30. Then, the mixed gas generation chamber 16 is introduced into the flux recovery main body 30 communicating with the mixed gas generation chamber 16. In the flux recovery apparatus 1 according to the first embodiment, the atmospheric gas introduction unit 20 is provided at a position away from the bottom surface 40 of the flux recovery main body 30, that is, at a high position.

フラックス回収本体部30は、平面視矩形状の金属製の箱状体である。箱状体の内部、すなわちフラックス回収本体部30の内部には、雰囲気ガス導入部20と同程度の高さ位置に、雰囲気ガス導入部20と連通した混合ガス受入れ部35が設けられている。相互に対向した2枚の金属製プレート36−1、36−2をフラックス回収本体部30の底面40に対して平行方向に配置することで、混合ガス受入れ部35が形成される。従って、混合ガス受入れ部35の空間はフラックス回収本体部30の底面40に対向するように形成されている。また、相互に対向した金属製プレート36−1、36−2間の間隔を調整することで混合ガス受入れ部35の容積を適宜選択できる。   The flux collection main body 30 is a metal box-like body having a rectangular shape in plan view. Inside the box-shaped body, that is, inside the flux recovery main body 30, a mixed gas receiving unit 35 that communicates with the atmospheric gas introducing unit 20 is provided at the same height as the atmospheric gas introducing unit 20. By arranging the two metal plates 36-1 and 36-2 facing each other in a direction parallel to the bottom surface 40 of the flux recovery main body 30, the mixed gas receiving portion 35 is formed. Accordingly, the space of the mixed gas receiving portion 35 is formed so as to face the bottom surface 40 of the flux recovery main body portion 30. Moreover, the volume of the mixed gas receiving part 35 can be selected suitably by adjusting the space | interval between the metal plates 36-1 and 36-2 facing each other.

この混合ガス受入れ部35は、さらに、フラックス回収本体部30内部の縦方向の角部に設けられた金属製の導風パイプ37と連通した構造となっている。すなわち、混合ガス受入れ部35は、雰囲気ガス導入部20と導風パイプ37とに連通している。   The mixed gas receiving portion 35 further has a structure communicating with a metal air guide pipe 37 provided at a corner in the vertical direction inside the flux recovery main body 30. That is, the mixed gas receiving part 35 communicates with the atmospheric gas introducing part 20 and the air guide pipe 37.

導風パイプ37は、例えば、フラックス回収本体部30の底面40と直交方向の4箇所の角部に、それぞれ1つずつ配置されている。また、導風パイプ37は、フラックス回収本体部30の底面40近くに開口部38が設けられている。従って、図2の黒矢印で示すように、ターボファン50を駆動させると、雰囲気ガスとフラックス回収促進剤ガスとの混合ガスは、混合ガス生成室16からフラックス回収本体部30内部の混合ガス受入れ部35へ流れ、さらに、混合ガス受入れ部35を流通した混合ガスは4本の導風パイプ37の内部へ流れて、それぞれの導風パイプ37の開口部38からフラックス回収本体部30内部へ吹き出される。すなわち、混合ガスは、4本の導風パイプ37によって4本の流れに分割される。従って、混合ガスは、フラックス回収本体部30の底面40付近の4つの角部から分岐して噴出されることとなる。   For example, the air guide pipes 37 are arranged one by one at four corners in a direction orthogonal to the bottom surface 40 of the flux collection main body 30. Further, the air guide pipe 37 is provided with an opening 38 near the bottom surface 40 of the flux collection main body 30. Therefore, as shown by the black arrow in FIG. 2, when the turbo fan 50 is driven, the mixed gas of the atmospheric gas and the flux recovery accelerator gas is received from the mixed gas generation chamber 16 into the mixed gas inside the flux recovery main body 30. Further, the mixed gas flowing through the mixed gas receiving portion 35 flows into the four air guide pipes 37 and blows out from the openings 38 of the respective air guide pipes 37 to the inside of the flux collection main body 30. Is done. That is, the mixed gas is divided into four flows by the four air guide pipes 37. Therefore, the mixed gas is branched and ejected from the four corners near the bottom surface 40 of the flux recovery main body 30.

図2に示すように、フラックス回収本体部30には、底面40と混合ガス受入れ部35との間に、フラックス回収本体部30の底面40に対して平行方向に仕切り板32が設けられている。フラックス回収装置1では、複数(図2では3枚)の仕切り板32−1、32−2、32−3が、配置されている。仕切り板32−1、32−2、32−3の材質は、いずれも金属である。3枚の仕切り板32−1、32−2、32−3は、表面が相互に対向するようにほぼ等間隔に並べられている。   As shown in FIG. 2, the flux recovery main body 30 is provided with a partition plate 32 between the bottom surface 40 and the mixed gas receiving portion 35 in a direction parallel to the bottom surface 40 of the flux recovery main body 30. . In the flux recovery apparatus 1, a plurality (three in FIG. 2) of partition plates 32-1, 32-2, and 32-3 are arranged. The partition plates 32-1, 32-2, and 32-3 are all made of metal. The three partition plates 32-1, 32-2, and 32-3 are arranged at substantially equal intervals so that the surfaces face each other.

また、図3に示すように、仕切り板32−1には貫通孔33−1が4個、仕切り板32−2には貫通孔33−2が4個、仕切り板32−3には貫通孔33−3が4個、それぞれ仕切り板32−1、32−2、32−3の中央に対して対称の位置に設けられている。フラックス回収本体部30の底面40付近の開口部38から吹き出された混合ガスは、仕切り板32−1の貫通孔33−1、仕切り板32−2の貫通孔33−2、仕切り板32−3の貫通孔33−3の順に通過しながら底面40から上部のターボファン50の方向へ強制的に流される。すなわち、仕切り板32−1、32−2、32−3の表裏両面と貫通孔33−1、33−2、33−3、それにフラックス回収本体部30の内壁面により、混合ガス流路が形成される。この混合ガス流路が、フラックス回収装置1のフラックス回収部31となる。   Further, as shown in FIG. 3, the partition plate 32-1 has four through holes 33-1, the partition plate 32-2 has four through holes 33-2, and the partition plate 32-3 has through holes. Four 33-3 are provided at symmetrical positions with respect to the centers of the partition plates 32-1, 32-2, and 32-3, respectively. The mixed gas blown out from the opening 38 near the bottom surface 40 of the flux collection main body 30 is a through hole 33-1 in the partition plate 32-1, a through hole 33-2 in the partition plate 32-2, and a partition plate 32-3. Are forced to flow from the bottom surface 40 toward the upper turbofan 50 while passing through the through holes 33-3. That is, the mixed gas flow path is formed by both the front and back surfaces of the partition plates 32-1, 32-2, and 32-3, the through holes 33-1, 33-2, and 33-3, and the inner wall surface of the flux collection main body 30. Is done. This mixed gas flow path serves as the flux recovery unit 31 of the flux recovery apparatus 1.

図3に示すように、3枚の仕切り板32−1、32−2、32−3のうち、少なくとも、隣接した関係にある仕切り板32−1と仕切り板32−2については、4つの貫通孔33−1の配置箇所と4つの貫通孔33−2の配置箇所がそれぞれ相違する。同様に、隣接した関係にある仕切り板32−2と仕切り板32−3についても、4つの貫通孔33−2の配置箇所と4つの貫通孔33−3の配置箇所がそれぞれ相違する。よって、混合ガスの流路はラビリンス構造となっている。従って、混合ガスの流れは、ラビリンス構造を有する混合ガス流路により、仕切り板32−1、32−2、32−3の面への衝突と貫通孔33−1、33−2、33−3の通過を繰り返して、底面40からターボファン50の方向へ蛇行しながら進んでいく。   As shown in FIG. 3, among the three partition plates 32-1, 32-2, and 32-3, at least four of the partition plates 32-1 and 32-2 that are adjacent to each other are penetrated. The arrangement location of the hole 33-1 is different from the arrangement location of the four through holes 33-2. Similarly, with regard to the partition plate 32-2 and the partition plate 32-3 that are adjacent to each other, the locations of the four through holes 33-2 and the locations of the four through holes 33-3 are different. Therefore, the flow path of the mixed gas has a labyrinth structure. Therefore, the flow of the mixed gas is caused by collision with the surfaces of the partition plates 32-1, 32-2, and 32-3 and the through holes 33-1, 33-2, and 33-3 by the mixed gas flow path having the labyrinth structure. Is repeated while meandering from the bottom surface 40 toward the turbo fan 50.

混合ガスがラビリンス構造の混合ガス流路を流れると、混合ガスを冷却しなくてもフラックス成分が仕切り板32−1、32−2、32−3の面に固体状で付着する。これにより、雰囲気ガスからフラックス成分が回収される。これは、混合ガスの流れが仕切り板32−1、32−2、32−3の面に衝突すると、雰囲気ガスに含まれるフラックス成分がフラックス回収促進剤14(例えば、メラミン)の表面と架橋し、気化していたフラックス成分が固体となって、フラックス回収促進剤14とともに仕切り板32−1、32−2、32−3の面や付近のフラックス回収本体部30内壁面に付着するためと考えられる。そして、仕切り板32−1、32−2、32−3への衝突と貫通孔33−1、33−2、33−3の通過を複数回繰り返す(図2では3枚の仕切り板を設けたので3回繰り返す)間に、フラックス成分が仕切り板32−1、32−2、32−3の面や付近のフラックス回収本体部30内壁面に付着していき、高温状態の混合ガスからフラックス成分が回収される。   When the mixed gas flows through the mixed gas flow path having the labyrinth structure, the flux components adhere to the surfaces of the partition plates 32-1, 32-2, and 32-3 in a solid state without cooling the mixed gas. Thereby, a flux component is collect | recovered from atmospheric gas. This is because when the flow of the mixed gas collides with the surfaces of the partition plates 32-1, 32-2, and 32-3, the flux component contained in the atmospheric gas crosslinks with the surface of the flux recovery accelerator 14 (for example, melamine). It is considered that the vaporized flux component becomes solid and adheres to the surfaces of the partition plates 32-1, 32-2, and 32-3 and the inner wall surface of the flux recovery main body 30 in the vicinity together with the flux recovery accelerator 14. It is done. Then, the collision with the partition plates 32-1, 32-2, and 32-3 and the passage of the through holes 33-1, 33-2, and 33-3 are repeated a plurality of times (in FIG. 2, three partition plates are provided). Therefore, the flux component adheres to the surfaces of the partition plates 32-1, 32-2, 32-3 and the inner wall surface of the flux recovery body 30 in the vicinity of the partition plate 32-1, 32-2, 32-3. Is recovered.

フラックス回収部31にてフラックス成分が回収された混合ガスは、ラビリンス構造の混合ガス流路とフラックス回収本体部30の外側方向に突設された混合ガス導出部21とに連通した中継部39へ流れる。   The mixed gas from which the flux component has been recovered by the flux recovery section 31 is transferred to the relay section 39 that communicates with the mixed gas flow path having the labyrinth structure and the mixed gas outlet section 21 projecting outward from the flux recovery main body section 30. Flowing.

図2に示すように、中継部39の空間は、底部40から最も離れた仕切り板32−3のターボファン側、すなわち、フラックス回収部31の混合ガス流れ下流側に配置されている。また、中継部39は、上記した混合ガス受入れ部35を形成する2枚の金属製プレート36‐1、36‐2により、混合ガス受入れ部35と区分されている。従って、中継部39の空間は、混合ガス受入れ部35を上下から挟むように配置されており、混合ガス受入れ部35の中央部を縦断するように設けられた金属パイプ52により、上下一体の空間が形成されている。また、中継部39にはターボファン50が収容されている。   As shown in FIG. 2, the space of the relay unit 39 is arranged on the turbo fan side of the partition plate 32-3 farthest from the bottom 40, that is, on the downstream side of the mixed gas flow of the flux recovery unit 31. The relay unit 39 is separated from the mixed gas receiving unit 35 by two metal plates 36-1 and 36-2 forming the mixed gas receiving unit 35. Therefore, the space of the relay part 39 is arranged so as to sandwich the mixed gas receiving part 35 from above and below, and the metal pipe 52 provided so as to cut through the central part of the mixed gas receiving part 35 is vertically integrated. Is formed. In addition, a turbo fan 50 is accommodated in the relay unit 39.

中継部39を流通した混合ガスは、中継部39と連通した混合ガス導出部21を通り、混合ガス導出部21から混合ガス導出部21と連通した雰囲気ガス導出用パイプ110を介してリフロー装置100の加熱ゾーンへ戻される。   The mixed gas flowing through the relay unit 39 passes through the mixed gas deriving unit 21 communicated with the relay unit 39, and passes through the atmospheric gas deriving pipe 110 communicated from the mixed gas deriving unit 21 to the mixed gas deriving unit 21. Return to the heating zone.

このように、第1実施形態例のフラックス回収装置1は、フラックス成分の回収にメラミン等のフラックス回収促進剤14を用いるので、フラックス成分の回収効率に優れている。よって、リフロー装置100の冷却ゾーンにおけるフラックス成分のワークへの付着を防止できる。また、雰囲気ガスを強制冷却しなくてもフラックス成分が回収されるので、フラックス回収工程における消費エネルギーを低減できる。さらに、仕切り板32−1、32−2、32−3の貫通孔33−1、33−2、33−3の大きさを適宜設定(例えば、1辺が30〜70mmの正方形)することで、フラックス成分による目詰まりを防止できるので、フラックス回収装置1のメンテナンス周期を大幅に延長できる。   Thus, since the flux collection | recovery apparatus 1 of 1st Embodiment uses the flux collection | recovery promoters 14, such as a melamine, for the collection | recovery of a flux component, it is excellent in the collection | recovery efficiency of a flux component. Therefore, adhesion of the flux component to the workpiece in the cooling zone of the reflow apparatus 100 can be prevented. Further, since the flux component is recovered without forcibly cooling the atmospheric gas, energy consumption in the flux recovery process can be reduced. Furthermore, by appropriately setting the size of the through holes 33-1, 33-2, 33-3 of the partition plates 32-1, 32-2, and 32-3 (for example, a square with one side of 30 to 70 mm). Since clogging due to the flux component can be prevented, the maintenance cycle of the flux recovery apparatus 1 can be greatly extended.

ここで、図4を用いて、フラックス成分の回収機構について詳細に説明する。混合ガスの流れが仕切り板32に衝突すると、混合ガスの運動エネルギーが減殺される。すると、まず、混合ガスに含有されている気化していたフラックス回収促進剤14(例えば、メラミンやアルカリ性物質)が仕切り板32の面や本体部30内壁面で核41を形成すると考えられる(図4(a))。   Here, the recovery mechanism of the flux component will be described in detail with reference to FIG. When the flow of the mixed gas collides with the partition plate 32, the kinetic energy of the mixed gas is reduced. Then, it is thought that the vapor | steam collection | recovery promoter 14 (for example, melamine and alkaline substance) vaporized contained in mixed gas first forms the nucleus 41 on the surface of the partition plate 32, or the inner wall surface of the main-body part 30 (FIG. 4 (a)).

これは、例えば、フラックス回収促進剤14としてメラミンを用いる場合、メラミンは昇華性を有するので、混合ガスの運動エネルギーが減殺されると、気体状のメラミンは高温状態であっても直接固体に相変化して粉体状の核41となるためと考えられる。さらに、メラミンは、フラックスの構成成分であるアビエチン酸、ピマール酸、デヒドロアビエチン酸などの有機酸42と触媒的に架橋反応を起こす性質を有するので、メラミンの核41が形成されると、気化していた有機酸42がメラミンの核41と架橋し、メラミン・有機酸吸着体43が形成されると考えられる(図4(b))。そして、メラミンはメラミン・有機酸吸着体43中を拡散する性質を持っているので、粉体状の核41となっていたメラミンはメラミン・有機酸吸着体43の表面側へ移動し(図4(c))、メラミン・有機酸吸着体43の表面側へ移動したメラミンの核41は、さらに、別の有機酸42と架橋する(図4(d))。これを繰り返すことで、混合ガスを強制的に冷却しなくても、仕切り板32の面やフラックス回収本体部30内壁面でフラックス成分を有する粉体44(固体)が成長していくと考えられる。   This is because, for example, when melamine is used as the flux recovery accelerator 14, melamine has sublimation properties. Therefore, when the kinetic energy of the mixed gas is reduced, the gaseous melamine is directly in a solid state even at a high temperature. This is considered to be because the powder core 41 changes. Furthermore, since melamine has a property of causing a catalytic crosslinking reaction with organic acids 42 such as abietic acid, pimaric acid, and dehydroabietic acid, which are constituents of the flux, vaporization occurs when the melamine nucleus 41 is formed. It is considered that the organic acid 42 had been cross-linked with the melamine nucleus 41 to form a melamine / organic acid adsorbent 43 (FIG. 4B). Since melamine has the property of diffusing in the melamine / organic acid adsorbent 43, the melamine that has become the powdery core 41 moves to the surface side of the melamine / organic acid adsorbent 43 (FIG. 4). (C)) The melamine nucleus 41 moved to the surface side of the melamine / organic acid adsorbent 43 is further crosslinked with another organic acid 42 (FIG. 4D). By repeating this, it is considered that the powder 44 (solid) having a flux component grows on the surface of the partition plate 32 and the inner wall surface of the flux collection main body 30 without forcibly cooling the mixed gas. .

また、例えば、フラックス回収促進剤14としてアルカリ性物質を用いる場合、混合ガスの運動エネルギーが減殺されて高温状態で形成されたアルカリ性物質の核41´は、フラックスの構成成分であるアビエチン酸、ピマール酸、デヒドロアビエチン酸などの有機酸42と中和反応をすることで有機酸42を捕捉し、中和反応生成物であるアルカリ性物質・有機酸吸着体43´を形成すると考えられる。あわせて、アルカリ性物質・有機酸吸着体43´の分子量は大きくなって分子間力が増すことでアルカリ性物質・有機酸吸着体43´の融点は有機酸42より上昇するので、アルカリ性物質・有機酸吸着体43´は粉体44(固体)状で回収されると考えられる。このように、粉体44(固体)状のアルカリ性物質・有機酸吸着体43´に、アルカリ性物質の核41´と気化したフラックス成分がさらに吸着するのを繰り返すことで、混合ガスを強制的に冷却しなくても、仕切り板32の面上やフラックス回収本体部30内壁面でフラックス成分を有する粉体44(固体)が成長していくと考えられる。   For example, when an alkaline substance is used as the flux recovery accelerator 14, the nuclei 41 'of the alkaline substance formed at a high temperature with the kinetic energy of the mixed gas being reduced are abietic acid and pimaric acid which are constituents of the flux. It is considered that the organic acid 42 is captured by performing a neutralization reaction with the organic acid 42 such as dehydroabietic acid to form an alkaline substance / organic acid adsorbent 43 ′ that is a neutralization reaction product. In addition, since the molecular weight of the alkaline substance / organic acid adsorbent 43 ′ increases and the intermolecular force increases, the melting point of the alkaline substance / organic acid adsorbent 43 ′ increases from the organic acid 42. The adsorbent 43 'is considered to be recovered in the form of powder 44 (solid). Thus, the mixed gas is forcibly forced by repeatedly adsorbing the core 41 ′ of the alkaline substance and the vaporized flux component to the powder 44 (solid) alkaline substance / organic acid adsorbent 43 ′. Even without cooling, it is considered that the powder 44 (solid) having a flux component grows on the surface of the partition plate 32 or on the inner wall surface of the flux collection main body 30.

次に、本発明の第1実施形態例に係るフラックス回収装置1の変形例について、図5を用いながら説明する。なお、図中、第1実施形態例に係るフラックス回収装置1と同じ構成については、同一の符号を用い、説明は省略する。   Next, a modification of the flux collecting apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In addition, about the same structure as the flux collection | recovery apparatus 1 which concerns on 1st Embodiment in the figure, the same code | symbol is used and description is abbreviate | omitted.

図5に示すように、フラックス回収装置1の変形例であるフラックス回収装置1´では、加熱手段として、昇華用不活性ガス導入部15に代えてヒーター15´を用いている点でフラックス回収装置1と相違する。ヒーター15´は、ハウジング11の内壁面に配置されている。ホルダー13内に収納されたフラックス回収促進剤14は、通電により発熱したヒーター15´によって加熱される。従って、ヒーター15´による加熱温度は、フラックス回収促進剤14に昇華現象が生じる温度以上に設定する。   As shown in FIG. 5, a flux recovery apparatus 1 ′, which is a modification of the flux recovery apparatus 1, uses a heater 15 ′ as a heating unit in place of the sublimation inert gas introduction unit 15. 1 and different. The heater 15 ′ is disposed on the inner wall surface of the housing 11. The flux recovery accelerator 14 accommodated in the holder 13 is heated by a heater 15 ′ that generates heat by energization. Therefore, the heating temperature by the heater 15 ′ is set to be equal to or higher than the temperature at which the sublimation phenomenon occurs in the flux recovery accelerator 14.

次に、本発明の第2実施形態例に係るフラックス回収装置2について、図6、7を用いながら説明する。なお、図中、第1実施形態例に係るフラックス回収装置1と同じ構成については、同一の符号を用い、説明は省略する。   Next, the flux collection device 2 according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. In addition, about the same structure as the flux collection | recovery apparatus 1 which concerns on 1st Embodiment in the figure, the same code | symbol is used and description is abbreviate | omitted.

図6、7に示すように、第2実施形態例に係るフラックス回収装置2は、3枚の仕切り板32−1、32−2、32−3の中央部に、さらに、それぞれ多孔質体支持孔62−1、62−2、62−3が設けられており、該多孔質体支持孔62−1、62−2、62−3に2枚重ねにした多孔質体61が嵌め入れられてフラックス回収部31に多孔質体61が設置されている点、導風パイプ37の開口部がフラックス回収本体部30の底面40近くだけではなく仕切り板32−1、32−2、32−3の間にも形成されるように、導風パイプ37の長手方向にフラックス回収装置1の開口部38よりも長い開口部68が設けられている点で、第1実施形態例に係るフラックス回収装置1と相違する。   As shown in FIGS. 6 and 7, the flux recovery apparatus 2 according to the second embodiment is further provided with a porous body support at the center of the three partition plates 32-1, 32-2 and 32-3. Holes 62-1, 62-2, and 62-3 are provided, and the porous body 61 that is stacked in two is inserted into the porous body support holes 62-1, 62-2, and 62-3. The point that the porous body 61 is installed in the flux collection unit 31, the opening of the air guide pipe 37 is not only near the bottom surface 40 of the flux collection body 30, but also the partition plates 32-1, 32-2 and 32-3. The flux collecting apparatus 1 according to the first embodiment is that an opening 68 longer than the opening 38 of the flux collecting apparatus 1 is provided in the longitudinal direction of the air guide pipe 37 so as to be formed therebetween. Is different.

第2実施形態例に係るフラックス回収装置2は、上記したフラックス回収装置1と同様に、フラックス回収本体部30の底面40と混合ガス受入れ部35との間に、底面40に対して平行方向に仕切り板32が3枚設けられている。そして、3枚の仕切り板32−1、32−2、32−3に設けられた多孔質体支持孔62−1、62−2、62−3は、いずれの仕切り板32−1、32−2、32−3にも、同じ位置に、同一形状、同一寸法で形成されている。また、多孔質体支持孔62−1、62−2、62−3は、2枚重ねにした多孔質体61の断面形状と対応した形状となっている。多孔質体61は仕切り板32−1、32−2、32−3の多孔質体支持孔62−1、62−2、62−3に挿入されて、ラビリンス構造の混合ガス流路を横断するように配置される。混合ガス流路を流れる混合ガスは、仕切り板32−1、32−2、32−3に衝突するだけでなく、多孔質体61の大きな比表面積を有する多孔質構造によって流れを抑制されながら多孔質体61を通過する。よって、多孔質体61によって混合ガスの運動エネルギーはさらに減殺される。すると、混合ガスに含有されているフラックス回収促進剤14は、仕切り板32−1、32−2、32−3やフラックス回収本体部30内壁面だけでなく多孔質体61の表面でも核を形成する。   Similar to the flux recovery apparatus 1 described above, the flux recovery apparatus 2 according to the second embodiment is parallel to the bottom face 40 between the bottom face 40 of the flux recovery main body 30 and the mixed gas receiving part 35. Three partition plates 32 are provided. And the porous body support holes 62-1, 62-2, 62-3 provided in the three partition plates 32-1, 32-2, 32-3 are the partition plates 32-1, 32- 2 and 32-3 are also formed at the same position with the same shape and the same dimensions. Moreover, the porous body support holes 62-1, 62-2, and 62-3 have a shape corresponding to the cross-sectional shape of the porous body 61 in which two layers are stacked. The porous body 61 is inserted into the porous body support holes 62-1, 62-2, 62-3 of the partition plates 32-1, 32-2, 32-3, and crosses the mixed gas flow path having the labyrinth structure. Are arranged as follows. The mixed gas flowing through the mixed gas flow path not only collides with the partition plates 32-1, 32-2, and 32-3, but is also porous while the flow is suppressed by the porous structure having a large specific surface area of the porous body 61. Pass through the mass 61. Therefore, the kinetic energy of the mixed gas is further reduced by the porous body 61. Then, the flux recovery accelerator 14 contained in the mixed gas forms nuclei not only on the partition plates 32-1, 32-2, 32-3 and the inner wall surface of the flux recovery main body 30, but also on the surface of the porous body 61. To do.

例えば、フラックス回収促進剤14としてメラミンを使用すると、フラックス成分である有機酸42のガスが多孔質体61表面に形成されたメラミンの核41と架橋し、混合ガスを強制的に冷却しなくても、仕切り板32−1、32−2、32−3やフラックス回収本体部30内壁面だけでなく、多孔質体61表面にもフラックス成分を有する粉体44(固体)が成長していく。   For example, when melamine is used as the flux recovery accelerator 14, the gas of the organic acid 42 as a flux component crosslinks with the melamine nucleus 41 formed on the surface of the porous body 61, and the mixed gas is not forcedly cooled. In addition, the powder 44 (solid) having a flux component grows not only on the partition plates 32-1, 32-2, 32-3 and the inner wall surface of the flux collection main body 30, but also on the surface of the porous body 61.

また、例えば、フラックス回収促進剤14としてアルカリ性物質を使用すると、多孔質体61表面に形成されたアルカリ性物質の核41´は、フラックス成分である有機酸42と中和反応をすることで有機酸42を捕捉すると考えられる。よって、混合ガスを強制的に冷却しなくても、仕切り板32−1、32−2、32−3やフラックス回収本体部30内壁面だけでなく、多孔質体61表面にもフラックス成分を有する粉体44(固体)が成長していく。   Further, for example, when an alkaline substance is used as the flux recovery accelerator 14, the alkaline substance core 41 ′ formed on the surface of the porous body 61 reacts with the organic acid 42 as a flux component to neutralize the organic acid 42. 42 is considered to be captured. Therefore, even if the mixed gas is not forcibly cooled, not only the partition plates 32-1, 32-2, and 32-3 and the inner wall surface of the flux collection main body 30 but also the surface of the porous body 61 has a flux component. The powder 44 (solid) grows.

このように、混合ガスの運動エネルギーが多孔質体61によってさらに減殺されるので、仕切り板32−1、32−2、32−3やフラックス回収本体部30内壁面におけるフラックス回収促進剤14の核の形成も、より容易化されると考えられる。加えて、混合ガスが多孔質体61内部を流通する際に、雰囲気ガスとフラックス回収促進剤ガスとの混合状態が均一化される。従って、フラックス回収部31に多孔質体61を設けることで、フラックス成分の回収効率がさらに向上する。多孔質体の種類は特に限定されないが、例えば、ステンレスウール、セラミックフィルター等を挙げることができる。   Thus, since the kinetic energy of the mixed gas is further reduced by the porous body 61, the core of the flux recovery accelerator 14 on the partition plates 32-1, 32-2, 32-3 and the inner wall surface of the flux recovery main body 30. It is considered that the formation of is facilitated. In addition, when the mixed gas flows through the porous body 61, the mixed state of the atmospheric gas and the flux recovery accelerator gas is made uniform. Therefore, by providing the porous body 61 in the flux recovery unit 31, the flux component recovery efficiency is further improved. Although the kind of porous body is not specifically limited, For example, stainless wool, a ceramic filter, etc. can be mentioned.

多孔質体61は、上記のように混合ガス流路を横断するように配置するのに代えて、混合ガスの流れが衝突する仕切り板32−1、32−2、32−3の面に配置してもよく、混合ガス流路を横断するように配置するとともに、混合ガスの流れが衝突する仕切り板32−1、32−2、32−3の面にも配置してもよい。   Instead of arranging the porous body 61 so as to cross the mixed gas flow path as described above, the porous body 61 is arranged on the surfaces of the partition plates 32-1, 32-2, and 32-3 on which the flow of the mixed gas collides. Alternatively, it may be disposed so as to cross the mixed gas flow path, and may also be disposed on the surfaces of the partition plates 32-1, 32-2, and 32-3 on which the mixed gas flow collides.

第2実施形態例に係るフラックス回収装置2では、導風パイプ37の開口部68が本体部30の底面40近くだけではなく仕切り板32−1、32−2、32−3の間にも形成されている。つまり、フラックス回収装置2では、導風パイプ37の開口部68が、フラックス回収装置1の開口部38よりも導風パイプ37の長手方向に長い態様となっている。このように、仕切り板32−1、32−2、32−3の間にも開口部68を配置することでターボファン50の負荷を低減できる。また、混合ガスの流れがより分散化されるので、回収されたフラックス成分による多孔質体61や貫通孔33−1、33−2、33−3の目詰まりを確実に防止できる。   In the flux recovery apparatus 2 according to the second embodiment, the opening 68 of the air guide pipe 37 is formed not only near the bottom surface 40 of the main body 30 but also between the partition plates 32-1, 32-2, and 32-3. Has been. That is, in the flux collection device 2, the opening 68 of the air guide pipe 37 is longer in the longitudinal direction of the air guide pipe 37 than the opening 38 of the flux collection device 1. Thus, the load of the turbo fan 50 can be reduced by arranging the opening 68 between the partition plates 32-1, 32-2, and 32-3. Moreover, since the flow of the mixed gas is further dispersed, clogging of the porous body 61 and the through holes 33-1, 33-2, and 33-3 due to the recovered flux component can be reliably prevented.

次に、本発明の第2実施形態例に係るフラックス回収装置2の変形例について、図8を用いながら説明する。なお、図中、第1実施形態例に係るフラックス回収装置1と同じ構成については、同一の符号を用い、説明は省略する。   Next, a modification of the flux collecting apparatus 2 according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In addition, about the same structure as the flux collection | recovery apparatus 1 which concerns on 1st Embodiment in the figure, the same code | symbol is used and description is abbreviate | omitted.

図8に示すように、フラックス回収装置2の変形例であるフラックス回収装置2´では、加熱手段として、昇華用不活性ガス導入部15に代えてヒーター15´を用いている点でフラックス回収装置2と相違する。ヒーター15´は、ハウジング11の内壁面に配置されている。ホルダー13内に収納されたフラックス回収促進剤14は、通電により発熱したヒーター15´によって加熱される。従って、ヒーター15´による加熱温度は、フラックス回収促進剤14に昇華現象が生じる温度以上に設定する。   As shown in FIG. 8, a flux recovery apparatus 2 ′, which is a modification of the flux recovery apparatus 2, uses a heater 15 ′ instead of the sublimation inert gas introduction section 15 as a heating means. 2 and different. The heater 15 ′ is disposed on the inner wall surface of the housing 11. The flux recovery accelerator 14 accommodated in the holder 13 is heated by a heater 15 ′ that generates heat by energization. Therefore, the heating temperature by the heater 15 ′ is set to be equal to or higher than the temperature at which the sublimation phenomenon occurs in the flux recovery accelerator 14.

次に、本発明のフラックス回収装置の製造方法例について説明する。まず、フラックス回収本体部30の下部を形成する箱状体の4隅に、開口部38、68が底面40側となるように導風パイプ37を立設する。次に、フラックス回収本体部30の下部内壁面の突起63に仕切り板32−1、32−2、32−3の縁部を載せて、フラックス回収本体部30の下部に仕切り板32−1、32−2、32−3を設置する。このとき、混合ガス流路をラビリンス構造とするために、少なくとも、隣接した関係を有する仕切り板32−1、32−2、32−3同士については、4つの貫通孔33−1、33−2、33−3の位置がいずれも相違するように配置する。なお、フラックス回収部31に多孔質体61を設ける場合には、多孔質体支持孔62−1、62−2、62−3を有する仕切り板32−1、32−2、32−3を用意し、該多孔質体支持孔62−1、62−2、62−3に多孔質体61を差し込む。   Next, the example of the manufacturing method of the flux collection | recovery apparatus of this invention is demonstrated. First, the air guide pipes 37 are erected at the four corners of the box-like body that forms the lower part of the flux collection main body 30 so that the openings 38 and 68 are on the bottom surface 40 side. Next, the edges of the partition plates 32-1, 32-2, and 32-3 are placed on the protrusion 63 on the lower inner wall surface of the flux recovery main body 30, and the partition plate 32-1 is placed below the flux recovery main body 30. 32-2 and 32-3 are installed. At this time, in order to make the mixed gas flow path have a labyrinth structure, at least the partition plates 32-1, 32-2, and 32-3 having the adjacent relationship have four through holes 33-1, 33-2. , 33-3 are arranged so as to be different from each other. In addition, when providing the porous body 61 in the flux collection | recovery part 31, the partition plates 32-1, 32-2, and 32-3 which have the porous body support holes 62-1, 62-2, and 62-3 are prepared. Then, the porous body 61 is inserted into the porous body support holes 62-1, 62-2, 62-3.

次に、雰囲気ガス導入部20と混合ガス導出部21と混合ガス受け入れ部35と中継部39とを備えたユニットに、ターボファン50とターボファンの駆動源であるモーター51を取り付ける。このとき、ターボファン50は中継部39に収容する。次に、フラックス回収本体部30の下部に、ターボファン50とモーター51を取り付けた前記ユニットを載置し、ボルトとナット等、所定の固定手段で固定する。最後に、フラックス回収促進剤14をハウジング11に収納したフラックス回収促進剤供給部10を、雰囲気ガス導入部20の雰囲気ガス流れ下流側に、雰囲気ガス導入部20に混合ガス生成室16が連通するよう接続する。   Next, a turbo fan 50 and a motor 51 that is a drive source of the turbo fan are attached to a unit including the atmospheric gas introduction unit 20, the mixed gas outlet unit 21, the mixed gas receiving unit 35, and the relay unit 39. At this time, the turbofan 50 is accommodated in the relay unit 39. Next, the unit to which the turbo fan 50 and the motor 51 are attached is placed under the flux collection main body 30 and fixed by a predetermined fixing means such as a bolt and a nut. Finally, the mixed gas generation chamber 16 communicates with the atmospheric gas introduction unit 20 at the downstream side of the atmospheric gas flow of the atmospheric gas introduction unit 20 in the flux collection promotion agent supply unit 10 in which the flux collection accelerator 14 is accommodated in the housing 11. Connect like so.

次に、上記したフラックス回収装置1、1´、2、2´の使用方法例について説明する。ここでは、フラックス回収促進剤14にメラミンを使用した場合を例にして説明する。   Next, an example of how to use the flux collecting apparatuses 1, 1 ', 2 and 2' described above will be described. Here, a case where melamine is used for the flux recovery accelerator 14 will be described as an example.

フラックス回収装置1、1´、2、2´は、リフロー装置100とは別体であり、リフロー装置100の加熱ゾーン近くに設置する。雰囲気ガス導入用パイプ109を用いて、リフロー装置100の加熱ゾーンとフラックス回収促進剤供給部10の混合ガス生成室16とを連通させる。また、雰囲気ガス導出用パイプ110を用いて、フラックス回収装置1、1´、2、2´の混合ガス導出部21とリフロー装置100の加熱ゾーンを連通させる。次に、フラックス回収促進剤供給部10の昇華用不活性ガス導入部15からハウジング11内へと流れる熱せられた昇華用不活性ガスまたはヒーター15´により、ハウジング11に収納されたメラミンを200〜260℃程度まで加熱し、昇華したメラミンを生成させる。一方で、フラックス回収装置1、1´、2、2´のターボファン50を駆動させて、雰囲気ガス導入用パイプ109を介してリフロー装置100の加熱ゾーンに充満している雰囲気ガスをフラックス回収装置1、2内へ吸引、導入する。このとき、ターボファン50の吸引力により、フラックス回収促進剤供給部10の混合ガス生成室16で、雰囲気ガスとメラミンガスの混合ガスが生成される。   The flux recovery apparatuses 1, 1 ′, 2 and 2 ′ are separate from the reflow apparatus 100 and are installed near the heating zone of the reflow apparatus 100. Using the atmospheric gas introduction pipe 109, the heating zone of the reflow apparatus 100 and the mixed gas generation chamber 16 of the flux recovery accelerator supply unit 10 are communicated with each other. In addition, the mixed gas outlet 21 of the flux recovery apparatuses 1, 1 ′, 2 ′ and the heating zone of the reflow apparatus 100 are communicated using the atmosphere gas outlet pipe 110. Next, the heated sublimation inert gas flowing from the sublimation inert gas introduction section 15 of the flux recovery accelerator supply section 10 into the housing 11 or the heater 15 'causes the melamine stored in the housing 11 to be 200 to 200. Heat to about 260 ° C. to generate sublimated melamine. On the other hand, the turbo fan 50 of the flux recovery apparatus 1, 1 ′, 2, 2 ′ is driven, and the atmospheric gas that fills the heating zone of the reflow apparatus 100 through the atmospheric gas introduction pipe 109 is removed from the flux recovery apparatus. Aspirate and introduce into 1 and 2. At this time, a mixed gas of the atmospheric gas and the melamine gas is generated in the mixed gas generation chamber 16 of the flux recovery accelerator supply unit 10 by the suction force of the turbofan 50.

混合ガスの流量が例えば1000リットル/min程度となるように、ターボファン50の出力を調整する。また、混合ガスのメラミンガス供給量が2〜50mg/m3、好ましくは10〜20mg/m3となるように、加熱手段の出力(すなわち昇華用不活性ガスの流量(例えば20〜30リットル/min)と温度(例えば230〜280℃)またはヒーター15´の出力)を調整する。混合ガス生成室16で生成された雰囲気ガスとメラミンガスとの混合ガスは、混合ガス受け入れ部35、フラックス回収部31の順に流通し、フラックス回収部31を通過する間に雰囲気ガスからフラックス成分が回収される。フラックス成分が回収された雰囲気ガスは、フラックス回収部31から中継部39、混合ガス導出部21の順に流通し、混合ガス導出部21から雰囲気ガス導出用パイプ110を介してリフロー装置100の加熱ゾーンへ戻される。 The output of the turbo fan 50 is adjusted so that the flow rate of the mixed gas is, for example, about 1000 liters / min. Moreover, the melamine gas supply amount of the mixed gas is 2 to 50 mg / m 3, preferably such that 10-20 mg / m 3, the output of the heating means (i.e. sublimation inert gas flow rate (e.g., 20 to 30 l / min) and temperature (for example, 230 to 280 ° C.) or the output of the heater 15 ′). The mixed gas of the atmospheric gas and the melamine gas generated in the mixed gas generation chamber 16 circulates in the order of the mixed gas receiving unit 35 and the flux recovery unit 31, and the flux component is extracted from the atmospheric gas while passing through the flux recovery unit 31. Collected. The atmospheric gas from which the flux component has been collected flows in the order of the flux recovery unit 31, the relay unit 39, and the mixed gas deriving unit 21, and the heating zone of the reflow apparatus 100 from the mixed gas deriving unit 21 through the atmospheric gas deriving pipe 110. Returned to

このとき、フラックス回収促進剤供給部10とフラックス回収部31の間、混合ガス導出部21またはフラックス回収促進剤供給部10とフラックス回収部31の間と混合ガス導出部21との両方の部位に、メラミンガス濃度を測定するために混合ガス採取手段を設けてもよい。混合ガス採取手段には、例えば、蓋部を有するガス採取口を挙げることができる。この場合、ガス採取口の蓋部を開け、ガス採取口からシリンジ等のガス採取器具を用いて混合ガスを採取する。混合ガスを採取後、ガス採取口の蓋部を閉める。GC/MS等の分析機器を用いて、採取した混合ガスに含まれるメラミンガス濃度を測定する。混合ガスの採取は、所定の時間間隔(例えば、数時間間隔)で実施する。メラミンガス濃度の測定結果に応じて、昇華用不活性ガスの流量・温度またはヒーター15´の出力と、ターボファン50の出力を調節することで、フラックス成分回収前の混合ガスへのメラミン供給量を調整し、また、混合ガス導出部21を流れるフラックス成分回収後の混合ガスのメラミン残留濃度を調整する。   At this time, between the flux collection accelerator supply unit 10 and the flux collection unit 31, between the mixed gas deriving unit 21 or between the flux collection accelerator supply unit 10 and the flux collection unit 31, and both of the mixed gas deriving unit 21. In order to measure the melamine gas concentration, a mixed gas sampling means may be provided. Examples of the mixed gas sampling means include a gas sampling port having a lid. In this case, the lid of the gas sampling port is opened, and the mixed gas is sampled from the gas sampling port using a gas sampling device such as a syringe. After collecting the mixed gas, close the lid of the gas sampling port. Using an analytical instrument such as GC / MS, the concentration of melamine gas contained in the collected mixed gas is measured. The mixed gas is collected at a predetermined time interval (for example, several hours). By adjusting the flow rate / temperature of the sublimation inert gas or the output of the heater 15 ′ and the output of the turbofan 50 according to the measurement result of the melamine gas concentration, the melamine supply amount to the mixed gas before the flux component recovery Further, the residual melamine concentration of the mixed gas after the flux component recovery flowing through the mixed gas outlet 21 is adjusted.

次に、フラックス回収装置のその他の実施態様例について説明する。なお、以下、図面を用いて説明する場合には、第1実施形態例に係るフラックス回収装置1と同じ構成については、同一の符号を用い、説明は省略する。   Next, other embodiments of the flux recovery apparatus will be described. In the following description, the same reference numerals are used for the same components as those in the flux collecting apparatus 1 according to the first embodiment, and description thereof is omitted.

上記フラックス回収装置1、1´、2、2´では、フラックス回収促進剤供給部10が取り付けられた雰囲気ガス導入部20は、混合ガス受入れ部35を介して導風パイプ37と連通していたが、これに代えて、混合ガス受入れ部35を介さずに、雰囲気ガス導入部20と導風パイプ37とを連通させてもよい。この実施形態例では、導風パイプ37が混合ガス受入れ部ともなっており、混合ガス生成室16で生成した混合ガスが、混合ガス生成室16から直接導風パイプ37内へ流通する。従って、この実施形態例では、フラックス回収本体部30内部に混合ガス受入れ部35を設けなくてもよい。   In the flux recovery apparatuses 1, 1 ′, 2, 2 ′, the atmospheric gas introduction unit 20 to which the flux recovery accelerator supply unit 10 is attached communicated with the air guide pipe 37 through the mixed gas receiving unit 35. However, instead of this, the atmosphere gas introduction unit 20 and the air guide pipe 37 may be communicated with each other without using the mixed gas receiving unit 35. In this embodiment, the air guide pipe 37 also serves as a mixed gas receiving unit, and the mixed gas generated in the mixed gas generation chamber 16 flows directly from the mixed gas generation chamber 16 into the air guide pipe 37. Therefore, in this embodiment, the mixed gas receiving part 35 does not have to be provided inside the flux collection main body part 30.

上記フラックス回収装置1、1´、2、2´では、フラックス回収促進剤供給部10はフラックス回収本体部30から外側へ突出した雰囲気ガス導入部20の位置に設けられていたが、これに代えて、図9に示すように、フラックス回収本体部30の内部である混合ガス受け入れ部35に配置したフラックス回収装置3としてもよい。また、フラックス回収装置3のフラックス回収促進剤供給部10は、フラックス回収促進剤とフラックス回収促進剤を収納するハウジングとフラックス回収促進剤を加熱する加熱手段とからなる簡略な構成にしてもよい。   In the flux recovery apparatuses 1, 1 ′, 2, 2 ′, the flux recovery accelerator supply unit 10 is provided at the position of the atmospheric gas introduction unit 20 protruding outward from the flux recovery main body 30. As shown in FIG. 9, the flux recovery device 3 may be arranged in a mixed gas receiving portion 35 inside the flux recovery main body 30. Further, the flux recovery accelerator supply unit 10 of the flux recovery device 3 may have a simple configuration including a flux recovery accelerator, a housing that stores the flux recovery accelerator, and a heating unit that heats the flux recovery accelerator.

従って、この第3の実施形態例に係るフラックス回収装置3では、混合ガス受け入れ部35において、昇華したフラックス回収促進剤が雰囲気ガスに供給されて、混合ガスが生成される。また、フラックス回収装置3では、フラックス回収促進剤の加熱手段としてヒーター15´を使用しているが、熱せられた昇華用不活性ガスをハウジング内に導入する昇華用不活性ガス導入部を使用してもよい。   Therefore, in the flux recovery apparatus 3 according to the third embodiment, the mixed gas receiving unit 35 supplies the sublimated flux recovery accelerator to the atmospheric gas to generate a mixed gas. In the flux recovery apparatus 3, the heater 15 'is used as a heating means for the flux recovery accelerator, but a sublimation inert gas introduction part for introducing the heated sublimation inert gas into the housing is used. May be.

上記フラックス回収装置1、1´、2、2´は、リフロー装置100とは別体であったが、これに代えて、リフロー装置100に内蔵させる態様のフラックス回収装置4としてもよい。この第4の実施形態例に係るフラックス回収装置4は、例えば、リフロー装置100の加熱ゾーンに設けられた上部炉体103の側面部に収納される。   The flux collection devices 1, 1 ′, 2 and 2 ′ are separate from the reflow device 100, but instead of this, the flux collection device 4 may be incorporated in the reflow device 100. The flux recovery apparatus 4 according to the fourth embodiment is accommodated in, for example, a side surface portion of the upper furnace body 103 provided in the heating zone of the reflow apparatus 100.

図10に示すように、リフロー装置に内蔵されたフラックス回収装置4の基本構造は、上記フラックス回収装置1、1´、2、2´を横にした態様となっている。これは、フラックス回収装置4をリフロー装置100内蔵用にコンパクト化するためである。また、フラックス回収装置4も、図示しないターボファンによって、加熱ゾーンの雰囲気ガスと昇華したフラックス回収促進剤14が、フラックス回収装置4内へ導入される。   As shown in FIG. 10, the basic structure of the flux recovery device 4 built in the reflow device is an aspect in which the flux recovery devices 1, 1 ′, 2 and 2 ′ are set sideways. This is because the flux collecting device 4 is made compact so as to be built in the reflow device 100. Also in the flux recovery device 4, the atmospheric gas in the heating zone and the sublimated flux recovery accelerator 14 are introduced into the flux recovery device 4 by a turbo fan (not shown).

フラックス回収装置4は、箱状体であるフラックス回収本体部30の内部に混合ガス流路ユニット76が設置されている。混合ガス流路ユニット76は、1つの貫通孔33´−1、33´−2、33´−3、33´−4、33´−5を有する仕切り板32´が、複数枚(図10では、5枚)、フラックス回収本体部30の底面40に対して直交方向に並列に立てられた構造となっている。5枚の仕切り板32´−1、32´−2、32´−3、32´−4、32´−5のうち、少なくとも隣接した仕切り板32´同士については、貫通孔33´−1、33´−2、33´−3、33´−4、33´−5の位置が相違するよう配置され、ラビリンス構造の混合ガス流路を形成している。   In the flux recovery apparatus 4, a mixed gas flow path unit 76 is installed inside a flux recovery main body 30 that is a box-shaped body. The mixed gas flow path unit 76 includes a plurality of partition plates 32 ′ having one through hole 33 ′-1, 33 ′-2, 33 ′-3, 33 ′-4, 33 ′-5 (in FIG. 10). 5 sheets), and is configured to stand in parallel in the orthogonal direction with respect to the bottom surface 40 of the flux recovery main body 30. Among the five partition plates 32'-1, 32'-2, 32'-3, 32'-4, and 32'-5, at least the adjacent partition plates 32 'have a through hole 33'-1, 33'-2, 33'-3, 33'-4, 33'-5 are arranged so as to be different from each other to form a mixed gas flow path having a labyrinth structure.

また、混合ガス流路ユニット76には、横板70が、底面40と反対側の各仕切り板32´端部を覆うように配置されて、蓋部75との間に混合ガス受け入れ部35が形成されている。5枚の仕切り板32´−1、32´−2、32´−3、32´−4、32´−5のうち、雰囲気ガス流れの最上流側に位置する仕切り板32´−1は、仕切り板32´−2、32´−3、32´−4よりも長手方向に長い寸法(フラックス回収本体部30内部の高さと同じ寸法)を有しているので、フラックス回収本体部30内部は、仕切り板32´−1によって左右に分割されている。仕切り板32´−1の外側は混合ガス受け入れ部35となる。そして、仕切り板32´−1には、横板70から突出した位置に混合ガス導入口71が設けられている。この混合ガス導入口71により、横板70と蓋部75との間の混合ガス受け入れ部35と仕切り板32´−1の外側の混合ガス受け入れ部35が空間的に接続されている。また、雰囲気ガス流れの最下流側に位置する仕切り板32´−5も、仕切り板32´‐1と同じ寸法を有しているので、フラックス回収本体部30内部は、仕切り板32´−5によっても左右に分割されている。仕切り板32´−5の外側が中継部39となる。   Further, in the mixed gas flow path unit 76, the horizontal plate 70 is disposed so as to cover the end of each partition plate 32 ′ on the side opposite to the bottom surface 40, and the mixed gas receiving portion 35 is provided between the lid 75. Is formed. Of the five partition plates 32'-1, 32'-2, 32'-3, 32'-4, 32'-5, the partition plate 32'-1 located on the most upstream side of the atmospheric gas flow is Since the partition plates 32'-2, 32'-3, and 32'-4 have dimensions that are longer in the longitudinal direction (the same dimensions as the height inside the flux collection main body 30), the inside of the flux collection main body 30 is , And divided into left and right by a partition plate 32'-1. The outside of the partition plate 32′-1 serves as a mixed gas receiving portion 35. The partition plate 32 ′-1 is provided with a mixed gas inlet 71 at a position protruding from the horizontal plate 70. By this mixed gas introduction port 71, the mixed gas receiving portion 35 between the horizontal plate 70 and the lid portion 75 and the mixed gas receiving portion 35 outside the partition plate 32'-1 are spatially connected. Further, since the partition plate 32'-5 located on the most downstream side of the atmospheric gas flow also has the same dimensions as the partition plate 32'-1, the inside of the flux recovery main body 30 is separated from the partition plate 32'-5. Is also divided into left and right. The outside of the partition plate 32′-5 serves as the relay portion 39.

さらに、混合ガス流路ユニット76には、第1孔部72と第2孔部73を有する板74が、横板70に対して直交方向であってフラックス回収本体部30の内壁面に対して面状に接触するよう設置されている。第1孔部72は、雰囲気ガス導入部20に対応する位置であって、雰囲気ガス流れの最上流側に位置する仕切り板32´−1と雰囲気ガス流れの最下流側に位置する仕切り板32´−5との間に設けられている。第2孔部73は、混合ガス導出部21の位置に対応する位置であって、雰囲気ガス流れの最下流側に位置する仕切り板32´−5よりも外側に設けられている。   Further, the mixed gas flow path unit 76 includes a plate 74 having a first hole 72 and a second hole 73 in a direction orthogonal to the horizontal plate 70 and with respect to the inner wall surface of the flux collection main body 30. It is installed in contact with the surface. The first hole 72 is a position corresponding to the atmospheric gas introduction unit 20, and is a partition plate 32'-1 positioned on the most upstream side of the atmospheric gas flow and a partition plate 32 positioned on the most downstream side of the atmospheric gas flow. '-5. The second hole 73 is a position corresponding to the position of the mixed gas outlet 21 and is provided outside the partition plate 32'-5 located on the most downstream side of the atmospheric gas flow.

上記した混合ガス流路ユニット76がフラックス回収本体部30に収容されることにより、フラックス回収本体部30の内部に、混合ガス受け入れ部35、ラビリンス構造の混合ガス流路を有するフラックス回収部31及び中継部39が形成される。フラックス回収本体部30の内部は蓋部75により閉鎖空間となっている。フラックス回収装置4でも、必要に応じて、フラックス回収本体部30の底面40や各仕切り板32´に多孔質体61を配置させてもよい。フラックス回収装置4では、フラックス回収本体部30の底面40に多孔質体61を敷いている。   When the mixed gas flow path unit 76 is accommodated in the flux recovery main body 30, the flux recovery main body 30 has a mixed gas receiving section 35, a flux recovery section 31 having a labyrinth-structured mixed gas flow path, and A relay unit 39 is formed. The interior of the flux collection main body 30 is a closed space by a lid 75. Also in the flux recovery apparatus 4, the porous body 61 may be disposed on the bottom surface 40 of the flux recovery main body 30 or each partition plate 32 ′ as necessary. In the flux recovery device 4, a porous body 61 is laid on the bottom surface 40 of the flux recovery main body 30.

また、上記フラックス回収装置4では、フラックス回収促進剤14の加熱、昇華に、熱せられた昇華用不活性ガスをハウジング11内に導入する昇華用不活性ガス導入部15を使用しているが、これに代えて、ヒーターを使用してもよい。   The flux recovery device 4 uses the sublimation inert gas introduction part 15 for introducing the heated sublimation inert gas into the housing 11 for heating and sublimation of the flux recovery accelerator 14. Instead of this, a heater may be used.

上記フラックス回収装置4では、フラックス回収促進剤供給部10はフラックス回収本体部30から外側へ突出した雰囲気ガス導入部20の位置に設けられているが、これに代えて、図11に示すように、フラックス回収本体部30の内部である混合ガス受け入れ部35に配置してもよい。また、フラックス回収装置3のフラックス回収促進剤供給部10は、フラックス回収促進剤とフラックス回収促進剤を収納するハウジングとフラックス回収促進剤を加熱する加熱手段とからなる簡略な構成にしてもよい。   In the flux recovery device 4, the flux recovery accelerator supply unit 10 is provided at the position of the atmospheric gas introduction unit 20 protruding outward from the flux recovery main body 30, but instead, as shown in FIG. 11. Alternatively, it may be arranged in the mixed gas receiving part 35 inside the flux collecting main body part 30. Further, the flux recovery accelerator supply unit 10 of the flux recovery device 3 may have a simple configuration including a flux recovery accelerator, a housing that stores the flux recovery accelerator, and a heating unit that heats the flux recovery accelerator.

従って、この実施形態例に係るフラックス回収装置4´では、混合ガス受入れ部35において、昇華したフラックス回収促進剤が雰囲気ガスに供給される。また、フラックス回収装置4´では、フラックス回収促進剤の加熱手段としてヒーター15´を使用しているが、昇華用不活性ガスをハウジング内に導入する昇華用不活性ガス導入部を使用してもよい。   Therefore, in the flux recovery apparatus 4 ′ according to this embodiment, the sublimated flux recovery accelerator is supplied to the atmospheric gas in the mixed gas receiving unit 35. Further, in the flux recovery device 4 ′, the heater 15 ′ is used as a heating means for the flux recovery accelerator, but even if an inert gas introducing portion for sublimation for introducing the inert gas for sublimation into the housing is used. Good.

上記各フラックス回収装置では、雰囲気ガス導入部20または混合ガス受入れ部35にフラックス回収促進剤供給部10を設けていたが、これに代えて、フラックス回収本体部30の底部40内壁側にフラックス回収促進剤とヒーターを配置し、ヒーターにてフラックス回収促進剤を加熱、昇華させる態様としてもよい。この場合には、フラックス回収本体部30の底部40において、昇華したフラックス回収促進剤が雰囲気ガスに供給される。   In each of the flux recovery devices described above, the flux recovery promoter supply unit 10 is provided in the atmospheric gas introduction unit 20 or the mixed gas receiving unit 35. Instead, the flux recovery is performed on the inner wall side of the bottom 40 of the flux recovery main body 30. It is good also as an aspect which arrange | positions a promoter and a heater and heats and sublimates a flux collection | recovery promoter with a heater. In this case, the sublimated flux recovery accelerator is supplied to the atmospheric gas at the bottom 40 of the flux recovery main body 30.

上記リフロー装置100では、炉体内部の雰囲気ガスに不活性ガス(例えば窒素ガス)を使用し、またリフロー装置100に接続されるフラックス回収装置では、昇華用不活性ガスとして前記雰囲気ガスと同様に不活性ガス(例えば窒素ガス)を使用していたが、これに代えて、リフロー装置の炉体内部の雰囲気ガスにエアーを使用し、リフロー装置に接続されるフラックス回収装置では、フラックス回収促進剤の加熱、昇華用の熱せられたガスに、前記雰囲気ガスと同種のガスであるエアーや前記雰囲気ガスとは異種のガスである不活性ガス(例えば窒素ガス)を使用してもよい。   In the reflow apparatus 100, an inert gas (for example, nitrogen gas) is used as the atmosphere gas inside the furnace body. In the flux recovery apparatus connected to the reflow apparatus 100, the inert gas for sublimation is the same as the atmosphere gas. An inert gas (for example, nitrogen gas) was used, but instead of this, in the flux recovery apparatus connected to the reflow apparatus using air as the atmosphere gas inside the furnace body of the reflow apparatus, the flux recovery accelerator As the heated gas for heating and sublimation, air that is the same kind of gas as the atmosphere gas or an inert gas (for example, nitrogen gas) that is different from the atmosphere gas may be used.

上記フラックス回収装置1、1´、2、2では仕切り板32を3枚配置したが、仕切り板32の枚数は適宜選択可能であり、2枚でもよく、4枚以上でもよい。また、上記フラックス回収装置1、1´、2、2´では1枚の仕切り板32あたり4個の貫通孔33‐1、33‐2、33‐3を設けたが、1枚の仕切り板に設ける貫通孔の数は適宜選択可能であり、1〜3個でもよく5個以上でもよい。また、フラックス回収効率をより向上させるために、必要に応じて、フラックス回収部31を冷却する冷却ファンをフラックス回収本体部30に設置してもよい。   In the flux collecting apparatuses 1, 1 ′, 2 and 2, three partition plates 32 are arranged. However, the number of the partition plates 32 can be appropriately selected, and may be two or four or more. In the flux collecting apparatus 1, 1 ', 2 and 2', four through holes 33-1, 33-2 and 33-3 are provided per partition plate 32. The number of through holes to be provided can be selected as appropriate, and may be 1 to 3, or 5 or more. Further, in order to further improve the flux recovery efficiency, a cooling fan for cooling the flux recovery part 31 may be installed in the flux recovery main body part 30 as necessary.

また、第2実施形態例のフラックス回収装置2では、仕切り板32間にも開口部68を設け、さらにフラックス回収部31に多孔質体61を設置したが、これに代えて、フラックス回収部31に多孔質体61を設置せずに、仕切り板32間に開口部を68設ける態様としてもよく、仕切り板32間には開口部68を設けずにフラックス回収部31には多孔質体61を設置する態様としてもよい。   Further, in the flux recovery apparatus 2 of the second embodiment, the opening 68 is also provided between the partition plates 32, and the porous body 61 is installed in the flux recovery unit 31. Instead, the flux recovery unit 31 is replaced with this. It is also possible to provide an opening 68 between the partition plates 32 without installing the porous body 61, and without providing the opening 68 between the partition plates 32, the porous body 61 is provided in the flux recovery unit 31. It is good also as an aspect to install.

また、図12に示すように、ラビリンス構造の混合ガス流路を有するフラックス回収部31に代えて、フラックス成分を遠心分離して回収する遠心分離器80を有するフラックス回収部を備えたフラックス回収装置5としてもよい。つまり、この第5の実施形態例に係るフラックス回収装置5では、フラックス回収機能を有する遠心分離器80に、フラックス回収促進剤14が収容されたフラックス回収促進剤供給部10を設けた形態となっている。遠心分離器80は、サイクロン機構を有する遠心分離器であり、略円筒状のサイクロン外周部81と、このサイクロン外周部81に収容された略円筒状のサイクロン内周部82とで二重管状に形成されている。サイクロン内周部82内の混合ガス流れ下流側には、ターボファン50を保護するためのフィルタ83が設けられている。また、サイクロン外周部81の外壁面には、遠心分離器80内に導入された混合ガスを冷却するための、冷却プレート84が設けられている。   In addition, as shown in FIG. 12, instead of the flux recovery unit 31 having a mixed gas flow path having a labyrinth structure, a flux recovery device provided with a flux recovery unit having a centrifuge 80 that centrifuges and recovers a flux component. It may be 5. That is, in the flux recovery apparatus 5 according to the fifth embodiment, the centrifuge 80 having the flux recovery function is provided with the flux recovery accelerator supply unit 10 in which the flux recovery accelerator 14 is accommodated. ing. The centrifuge 80 is a centrifuge having a cyclone mechanism. The centrifuge 80 has a substantially cylindrical cyclone outer periphery 81 and a substantially cylindrical cyclone inner periphery 82 accommodated in the cyclone outer periphery 81. Is formed. A filter 83 for protecting the turbofan 50 is provided on the downstream side of the mixed gas flow in the cyclone inner peripheral portion 82. A cooling plate 84 for cooling the mixed gas introduced into the centrifuge 80 is provided on the outer wall surface of the cyclone outer peripheral portion 81.

フラックス回収促進剤供給部10にて、雰囲気ガス導入部20を流通した雰囲気ガスに昇華したフラックス回収促進剤14が供給されて混合ガスが生成する。生成した混合ガスは、遠心分離器80内に流入し、冷却プレート84によって冷却されながらサイクロン外周部81の内壁とサイクロン内周部82の外壁との間で螺旋状の下向き気流を形成する。この間に冷却されて液化したフラックス成分が遠心分離されてサイクロン外周部81の内壁に付着する。サイクロン外周部81の内壁に付着したフラックス成分は、サイクロン外周部81の内壁に沿って自重落下し、フラックス収容部85に回収される。また、サイクロン内周部82の外壁に付着したフラックス成分は、サイクロン内周部82に沿って自重落下し、同じくフラックス収容部85に回収される。   In the flux recovery promoter supply unit 10, the flux recovery promoter 14 sublimated to the atmospheric gas flowing through the atmospheric gas introduction unit 20 is supplied to generate a mixed gas. The generated mixed gas flows into the centrifuge 80 and forms a spiral downward airflow between the inner wall of the cyclone outer peripheral portion 81 and the outer wall of the cyclone inner peripheral portion 82 while being cooled by the cooling plate 84. During this time, the cooled and liquefied flux component is centrifuged and adheres to the inner wall of the cyclone outer peripheral portion 81. The flux component adhering to the inner wall of the cyclone outer peripheral portion 81 falls by its own weight along the inner wall of the cyclone outer peripheral portion 81 and is collected in the flux accommodating portion 85. Further, the flux component adhering to the outer wall of the cyclone inner peripheral portion 82 falls by its own weight along the cyclone inner peripheral portion 82 and is also collected in the flux accommodating portion 85.

液化したフラックス成分が除去された混合ガスは、サイクロン内周部82の下端部からサイクロン内周部82内へと吸込まれ、混合ガス中に残留したフラックス成分の微粒子がフィルタ83により除去された後、混合ガス導出部21から雰囲気ガス導出用パイプ110を介してリフロー装置へ戻される。フラックス回収装置5では、フラックス回収促進剤14を昇華させるために、昇華用不活性ガス導入部15を使用しているが、これに代えてヒーターを使用してもよい。   The mixed gas from which the liquefied flux component has been removed is sucked into the cyclone inner peripheral portion 82 from the lower end of the cyclone inner peripheral portion 82, and the flux component particles remaining in the mixed gas are removed by the filter 83. The mixed gas outlet 21 returns to the reflow device via the atmospheric gas outlet pipe 110. In the flux recovery device 5, the sublimation inert gas introduction part 15 is used to sublimate the flux recovery accelerator 14, but a heater may be used instead.

フラックス回収装置5では、遠心分離器80のサイクロン機構と冷却プレート84による冷却作用によって、高効率のフラックス成分の回収が可能である。   The flux recovery device 5 can recover the flux component with high efficiency by the cyclone mechanism of the centrifuge 80 and the cooling action by the cooling plate 84.

また、ラビリンス構造の混合ガス流路を有するフラックス回収部31を備えたフラックス回収装置と、フラックス成分を遠心分離して回収する遠心分離器80を有するフラックス回収部を備えたフラックス回収装置5とを、ともにリフロー装置100に接続してもよい。   Moreover, the flux collection | recovery apparatus provided with the flux collection | recovery part 31 which has a mixed gas flow path of a labyrinth structure, and the flux collection | recovery apparatus 5 provided with the flux collection | recovery part which has the centrifuge 80 which centrifuges and collects a flux component are collected. Both may be connected to the reflow apparatus 100.

本発明のフラックス回収装置及びフラックス回収方法は、雰囲気ガスからのフラックス成分の回収に伴うエネルギー消費を抑えつつフラックスの回収効率を向上させ、また、メンテナンス間隔を長期間とることができ、メンテナンス作業も簡易なので、はんだ付け装置による配線基板への電子部品の実装分野で利用価値が高い。   The flux recovery device and the flux recovery method of the present invention improve the efficiency of flux recovery while suppressing energy consumption associated with the recovery of flux components from the atmospheric gas, and can maintain a long maintenance interval for maintenance work. Since it is simple, it has high utility value in the field of mounting electronic components on a wiring board using a soldering apparatus.

1、2、3、4、5 フラックス回収装置
10 フラックス回収促進剤供給部
14 フラックス回収促進剤
15 昇華用不活性ガス導入部
15´ ヒーター
20 雰囲気ガス導入部
21 混合ガス導出部
30 フラックス回収本体部
31 フラックス回収部
32、32´ 仕切り板
61 多孔質体
80 遠心分離器
100 リフロー装置
1, 2, 3, 4, 5 Flux collection device 10 Flux collection accelerator supply unit 14 Flux collection accelerator 15 Sublimation inert gas introduction unit 15 'Heater 20 Atmospheric gas introduction unit 21 Mixed gas outlet unit 30 Flux collection body unit 31 Flux collection part 32, 32 'Partition plate 61 Porous body 80 Centrifugal separator 100 Reflow device

Claims (14)

はんだ付け装置から排出されたフラックス成分を含む雰囲気ガスが流通する雰囲気ガス導入部と、
フラックス回収促進剤を加熱手段により昇華させて、前記雰囲気ガス導入部を通過した雰囲気ガスに、前記昇華したフラックス回収促進剤を供給するフラックス回収促進剤供給部と、
前記雰囲気ガスと前記フラックス回収促進剤との混合ガスが流通する、複数の仕切り板と前記仕切り板に設けられた孔部によりラビリンス構造の流路が形成されたフラックス回収部と、
前記フラックス回収部を通過した前記混合ガスを外部へ導出する混合ガス導出部と、を備えたことを特徴とするフラックス回収装置。
An atmospheric gas introduction part through which an atmospheric gas containing a flux component discharged from the soldering device flows;
A flux recovery accelerator supply unit that sublimates the flux recovery accelerator by a heating means and supplies the sublimated flux recovery accelerator to the atmospheric gas that has passed through the atmospheric gas introduction unit;
A flux recovery unit in which a mixed gas of the atmospheric gas and the flux recovery accelerator is circulated, and a plurality of partition plates and a flow path of a labyrinth structure formed by holes provided in the partition plates;
A flux recovery apparatus comprising: a mixed gas derivation unit for deriving the mixed gas that has passed through the flux recovery unit to the outside.
前記フラックス回収促進剤が、メラミン、メラミン誘導体、過酸化触媒及びアルカリ性物質からなる群から選択された少なくとも1種の化合物であることを特徴とする請求項1に記載のフラックス回収装置。   The flux recovery apparatus according to claim 1, wherein the flux recovery accelerator is at least one compound selected from the group consisting of melamine, a melamine derivative, a peroxide catalyst, and an alkaline substance. 前記アルカリ性物質が、水酸化物であることを特徴とする請求項2に記載のフラックス回収装置。   The flux recovery apparatus according to claim 2, wherein the alkaline substance is a hydroxide. 前記フラックス回収促進剤供給部の加熱手段が、ヒーターまたは熱せられた不活性ガスを前記フラックス回収促進剤に供給する昇華用不活性ガス導入部であることを特徴とする請求項1に記載のフラックス回収装置。   2. The flux according to claim 1, wherein the heating means of the flux recovery promoter supply unit is a heater or a sublimation inert gas introduction unit that supplies a heated inert gas to the flux recovery promoter. Recovery device. 前記ラビリンス構造の流路に、多孔質体が設置されていることを特徴とする請求項1に記載のフラックス回収装置。   The flux recovery apparatus according to claim 1, wherein a porous body is installed in the flow path of the labyrinth structure. 前記フラックス回収促進剤供給部と前記フラックス回収部との間及び/または前記混合ガス導出部に、前記混合ガス中のフラックス回収促進剤濃度を測定するための混合ガス採取手段が設けられていることを特徴とする請求項1に記載のフラックス回収装置。   A mixed gas sampling means for measuring the concentration of the flux recovery accelerator in the mixed gas is provided between the flux recovery accelerator supply part and the flux recovery part and / or in the mixed gas outlet part. The flux recovery apparatus according to claim 1. 前記フラックス回収部が、前記ラビリンス構造の流路に代えて、前記フラックス成分を遠心分離する遠心分離器を備えたことを特徴とする請求項1に記載のフラックス回収装置。   The flux recovery apparatus according to claim 1, wherein the flux recovery unit includes a centrifuge for centrifuging the flux component instead of the flow path of the labyrinth structure. はんだ付け装置から排出されたフラックス成分を含む雰囲気ガスを、フラックス回収装置の雰囲気ガス導入部に流通させる工程と、
フラックス回収促進剤供給部の加熱手段によりフラックス回収促進剤を昇華させて、前記雰囲気ガス導入部を通過した雰囲気ガスに、前記昇華したフラックス回収促進剤を供給する工程と、
複数の仕切り板と前記仕切り板に設けられた孔部により形成されたラビリンス構造の流路にて、前記雰囲気ガスと前記フラックス回収促進剤との混合ガスに含まれるフラックス成分を回収する工程と、
前記ラビリンス構造の流路を通過した前記混合ガスを、混合ガス導出部から前記フラックス回収装置の外部へ導出する工程と、を有することを特徴とするフラックス回収方法。
Circulating an atmosphere gas containing a flux component discharged from the soldering apparatus to an atmosphere gas introduction part of the flux recovery apparatus;
A step of sublimating the flux recovery accelerator by the heating means of the flux recovery accelerator supply unit and supplying the sublimated flux recovery accelerator to the atmospheric gas that has passed through the atmospheric gas introduction unit;
A step of recovering a flux component contained in a mixed gas of the atmospheric gas and the flux recovery accelerator in a flow path of a labyrinth structure formed by a plurality of partition plates and holes provided in the partition plates;
And a step of deriving the mixed gas that has passed through the flow path of the labyrinth structure from the mixed gas deriving unit to the outside of the flux collecting apparatus.
前記フラックス回収促進剤が、メラミン、メラミン誘導体、過酸化触媒及びアルカリ性物質からなる群から選択された少なくとも1種の化合物であることを特徴とする請求項8に記載のフラックス回収方法。   The flux recovery method according to claim 8, wherein the flux recovery accelerator is at least one compound selected from the group consisting of melamine, a melamine derivative, a peroxide catalyst and an alkaline substance. 前記アルカリ性物質が、水酸化物であることを特徴とする請求項9に記載のフラックス回収方法。   The flux recovery method according to claim 9, wherein the alkaline substance is a hydroxide. 前記フラックス回収促進剤供給部の加熱手段が、ヒーターまたは熱せられた不活性ガスを前記フラックス回収促進剤に供給する昇華用不活性ガス導入部であることを特徴とする請求項8に記載のフラックス回収方法。   9. The flux according to claim 8, wherein the heating means of the flux recovery promoter supply unit is a heater or an inert gas introduction unit for sublimation that supplies heated inert gas to the flux recovery promoter. Collection method. 前記ラビリンス構造の流路に、多孔質体が設置されていることを特徴とする請求項8に記載のフラックス回収方法。   The flux recovery method according to claim 8, wherein a porous body is installed in the flow path of the labyrinth structure. 前記フラックス回収促進剤供給部と前記ラビリンス構造の流路との間及び/または前記混合ガス導出部に、前記混合ガス中のフラックス回収促進剤濃度を測定するための混合ガス採取手段が設けられていることを特徴とする請求項8に記載のフラックス回収方法。   A mixed gas sampling means for measuring the concentration of the flux recovery accelerator in the mixed gas is provided between the flux recovery accelerator supply part and the labyrinth structure flow path and / or in the mixed gas outlet part. The flux recovery method according to claim 8, wherein: 前記ラビリンス構造の流路に代えて、前記フラックス成分を遠心分離する遠心分離器にて該フラックス成分を回収することを特徴とする請求項8に記載のフラックス回収方法。   9. The flux collecting method according to claim 8, wherein the flux component is collected by a centrifuge for centrifuging the flux component instead of the flow path of the labyrinth structure.
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