JP2012021402A - Vacuum pump device - Google Patents
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Abstract
Description
この発明は、真空ポンプ装置に関し、特に、ルーツ式真空ポンプを使用した真空ポンプ装置に関する。 The present invention relates to a vacuum pump device, and more particularly to a vacuum pump device using a Roots type vacuum pump.
真空ポンプ(1)として、図６に示すように、２本の平行な軸上に取り付けられた複数（一般的には３葉）の羽根を持つ１対のロータ(11)(12)が長円形のケーシング(13)内面および相互のロータ(11)(12)間にわずかな間隙を保持しつつ、互いに反対方向に等速度で回転することにより、ケーシング(13)とロータ(11)(12)とで囲まれた一定量の容積の気体を吸気側から排気側へ送り出すルーツ式のものが知られている（特許文献１）。 As a vacuum pump (1), as shown in FIG. 6, a pair of rotors (11) and (12) having a plurality of (generally three-leaf) blades mounted on two parallel shafts are long. While maintaining a slight gap between the inner surface of the circular casing (13) and the mutual rotor (11) (12), the casing (13) and the rotor (11) (12) are rotated at the same speed in opposite directions. ) Is a Roots type that sends a certain amount of gas surrounded by) from the intake side to the exhaust side (Patent Document 1).
真空ポンプでは、例えば−４０ｋＰａで使用する場合、−１０ｋＰａにつき１５℃温度が上昇することから、軸受のグリースが溶けて流れ、故障の原因となるという問題がある。そこで、冷却水などを使用した冷却装置が付設されるが、装置が大型化するなどの問題があり、冷却装置の簡素化が望まれている。 For example, when the vacuum pump is used at −40 kPa, the temperature rises by 15 ° C. per −10 kPa, so that there is a problem that the grease of the bearing melts and causes a failure. Therefore, although a cooling device using cooling water or the like is attached, there is a problem that the device is enlarged, and simplification of the cooling device is desired.
一方、上記従来の真空ポンプ装置では、排気側については、特に考慮されることなく、大気開放されている。 On the other hand, in the conventional vacuum pump device, the exhaust side is open to the atmosphere without particular consideration.
この発明の目的は、従来考慮されていなかった排気側の構成を変更することによって、温度上昇を抑えることができ、これにより、冷却装置の構成が大幅に簡素化された真空ポンプ装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a vacuum pump device in which the temperature rise can be suppressed by changing the configuration on the exhaust side, which has not been considered in the past, whereby the configuration of the cooling device is greatly simplified. There is.
この発明による真空ポンプ装置は、ルーツ式真空ポンプと、真空ポンプの吸気口に設けられて装置に接続される吸気側配管と、真空ポンプの排気口に設けられた排気側配管とを備えている真空ポンプ装置において、排気側配管は、排気エアを冷却用として真空ポンプに吹き付ける排気エア吐出部を有していることを特徴とするものである。 A vacuum pump device according to the present invention includes a Roots-type vacuum pump, an intake side pipe provided at an intake port of the vacuum pump and connected to the device, and an exhaust side pipe provided at an exhaust port of the vacuum pump. In the vacuum pump device, the exhaust side pipe has an exhaust air discharge part for blowing exhaust air to the vacuum pump for cooling.
ルーツ式真空ポンプを使用した真空ポンプ装置では、運転に伴ってその温度が上昇した場合に、軸受潤滑用のグリースが溶けて軸受が損傷するということがある。従来では、例えば冷却水を流すことなどで冷却を行っているが、この発明においては、従来、排気エアを大気開放するために使用されていた排気側配管が、排気エアを冷却用として真空ポンプに吹き付ける排気エア吐出部を有している構成とされることで、真空ポンプの排気エアで真空ポンプを冷却するものとし、これにより、別途の冷却装置の設置を不要なものとすることができる。 In a vacuum pump device using a Roots-type vacuum pump, when its temperature rises during operation, the bearing lubrication grease may melt and damage the bearing. Conventionally, cooling is performed, for example, by flowing cooling water. However, in the present invention, an exhaust side pipe that has been used to release exhaust air to the atmosphere is a vacuum pump for cooling the exhaust air. By having an exhaust air discharge part that blows on the vacuum pump, the vacuum pump is cooled by the exhaust air of the vacuum pump, thereby making it unnecessary to install a separate cooling device. .
真空ポンプが高温となっていることから、真空ポンプからの排気エアも常温よりは高い温度となっているが、この排気エアは、排気側配管内を通過することで、温度が下がり、さらに、吐出エアに常温の空気が混ざることで、さらに温度が下がるので、ケーシングに当たるときの吐出エアの温度は、常温より若干高い程度となり、十分な冷却効果を得ることができる。 Since the vacuum pump is at a high temperature, the exhaust air from the vacuum pump is also at a temperature higher than room temperature, but this exhaust air passes through the inside of the exhaust side piping, the temperature drops, Since the temperature is further lowered by mixing the air at normal temperature with the discharge air, the temperature of the discharge air when hitting the casing is slightly higher than the normal temperature, and a sufficient cooling effect can be obtained.
排気エア吐出部の吐出口とケーシングとの距離は、小さすぎると、空気が混ざることによる吐出エアの温度低下が小さく、また、大きすぎると、ケーシングに当たるエア量が少なくなるので、１２０ｍｍ程度（６０ｍｍ以上で２００ｍｍ以下）が好ましい。 If the distance between the discharge port of the exhaust air discharge section and the casing is too small, the temperature drop of the discharge air due to the mixing of air is small, and if it is too large, the amount of air hitting the casing decreases, so about 120 mm (60 mm The above is preferably 200 mm or less.
排気側配管は、真空ポンプの排気口に接続されて上方にのびる立上り部と、立上り部から水平方向にのびる水平部と、水平部端部から下方にのび下端に排気エア吐出口を有している垂下部とからなり、立上り部に、偏心レジューサが突き合わされることで形成され排気エア通路の方向を偏心させる消音用偏心管が設けられ、水平部に、消音器が設けられていることが好ましい。 The exhaust side pipe has a rising part connected to the exhaust port of the vacuum pump and extending upward, a horizontal part extending in the horizontal direction from the rising part, and an exhaust air discharge port extending downward from the horizontal part at the lower end. A silencing eccentric tube that decenters the direction of the exhaust air passage is formed by abutment of an eccentric reducer at the rising portion, and a silencer is provided at the horizontal portion. preferable.
このようにすると、排気側配管は、全体として逆Ｕ字状で、平面から見た場合に、真空ポンプと重なるように配置され、排気側配管を設置するためのスペースを少ないものとすることができる。また、排気側に設置が必要な消音装置が別途の設置スペースを設けることなく排気側配管に組み込まれ、消音効果を有する真空ポンプ装置をコンパクトなものとすることができる。 If it does in this way, exhaust side piping is an inverted U shape as a whole, and when it sees from a plane, it is arranged so that it may overlap with a vacuum pump, and shall make the space for installing exhaust side piping small. it can. In addition, a silencer that needs to be installed on the exhaust side is incorporated in the exhaust side pipe without providing a separate installation space, and the vacuum pump device having a silencing effect can be made compact.
消音用偏心管は、上下１対の偏心レジューサからなり、例えば、真空ポンプの排気口に接続されたエルボと水平部に連なるエルボに接続された短管との間に配置される。真空ポンプの排気口に接続されたエルボの垂直部の軸線と水平部に連なるエルボに接続された短管の軸線とは偏心させられて、エルボの垂直部の上端開口に下側偏心レジューサの小径側の開口が接続され、短管の下端開口に上側偏心レジューサの小径側の開口が接続される。ここで、下側偏心レジューサの大径側の開口と上側偏心レジューサの大径側の開口とは、下側偏心レジューサの小径側の開口と上側偏心レジューサの小径側の開口とが偏心するように、所定角度位相をずらして接合される。 The silencer eccentric tube is composed of a pair of upper and lower eccentric reducers, and is disposed, for example, between an elbow connected to an exhaust port of a vacuum pump and a short tube connected to an elbow connected to a horizontal portion. The axis of the vertical part of the elbow connected to the exhaust port of the vacuum pump and the axis of the short pipe connected to the elbow connected to the horizontal part are eccentric, and the small diameter of the lower eccentric reducer is placed at the upper end opening of the vertical part of the elbow. The opening on the side is connected, and the opening on the small diameter side of the upper eccentric reducer is connected to the lower end opening of the short pipe. Here, the opening on the large-diameter side of the lower eccentric reducer and the opening on the large-diameter side of the upper eccentric reducer are such that the opening on the small-diameter side of the lower eccentric reducer and the opening on the small-diameter side of the upper eccentric reducer are eccentric. Are joined with a predetermined angle phase shift.
吸気側配管は、例えば、吸着などを行う装置に接続される装置側配管と、装置側配管に連なりかつ大気側に開放する大気開放配管と、大気開放配管に設けられた圧力開放弁と、装置側配管に連なりかつ真空ポンプの吸気口に接続される真空ポンプ側配管と、配管途中に設けられたフィルタとを有しているものとされる。 The intake side pipe includes, for example, a device side pipe connected to a device that performs adsorption, an atmosphere open pipe that is connected to the apparatus side pipe and opens to the atmosphere side, a pressure release valve provided in the atmosphere open pipe, and a device The vacuum pump side pipe connected to the side pipe and connected to the suction port of the vacuum pump, and a filter provided in the middle of the pipe are provided.
排気エア吐出部からの吐出エアを冷却するための送風ファンが設けられていることが好ましい。この発明の真空ポンプ装置によると、上記の排気側配管により真空ポンプの冷却を行うので、従来のように、真空ポンプ冷却用のファンは不要とすることができる。しかしながら、排気エア吐出部からの吐出エアを冷却するための送風ファンを使用することで、常温の空気が混ざることで下がった吐出エアの温度をさらに下げることができ、より大きな冷却効果を得ることができる。この送風ファンは、ケーシングおよびモータの冷却も可能なように、その方向が排気側配管の吐出口とケーシングとの間からケーシングおよびモータに向かう方向に設定されることがより好ましい。 It is preferable that a blower fan for cooling the discharge air from the exhaust air discharge unit is provided. According to the vacuum pump device of the present invention, since the vacuum pump is cooled by the exhaust pipe, the fan for cooling the vacuum pump can be made unnecessary as in the prior art. However, by using a blower fan for cooling the discharge air from the exhaust air discharge unit, the temperature of the discharge air that has dropped due to the mixture of normal temperature air can be further reduced, and a greater cooling effect can be obtained Can do. It is more preferable that the direction of the blower fan is set in a direction from the space between the discharge port of the exhaust pipe and the casing toward the casing and the motor so that the casing and the motor can be cooled.
排気側配管の垂下部の下端部に、逆Ｕ字状となるように分岐管が設けられており、各分岐管の下端開口は、真空ポンプの軸受設置部に臨まされていることが好ましい。このようにすると、高温となることで損傷を最も起こしやすい真空ポンプの軸受部がより多く冷却されることになり、冷却効果を高めることができる。 A branch pipe is provided at the lower end of the hanging part of the exhaust side pipe so as to have an inverted U shape, and the lower end opening of each branch pipe preferably faces the bearing installation part of the vacuum pump. If it does in this way, the bearing part of the vacuum pump which is most likely to cause damage due to high temperature will be cooled more, and the cooling effect can be enhanced.
排気側配管の各分岐管に、風量を調整するための多孔板が設けられていることが好ましい。ここで、多孔板は、吐出エアが３ｋＰａ〜７ｋＰａとなるように、その孔径および孔数が設定されることが好ましい。このような多孔板によると、音圧を５ｄＢ程度下げることができ、消音効果をより一層高めることができる。 Each branch pipe of the exhaust side pipe is preferably provided with a porous plate for adjusting the air volume. Here, it is preferable that the hole diameter and the number of holes of the perforated plate are set so that the discharge air becomes 3 kPa to 7 kPa. According to such a perforated plate, the sound pressure can be lowered by about 5 dB, and the noise reduction effect can be further enhanced.
この発明の真空ポンプ装置によると、排気側配管は、排気エアを冷却用として真空ポンプに吹き付ける排気エア吐出部を有しているので、真空ポンプの排気口から出るエアを真空ポンプから所定距離離れた位置から真空ポンプに吹き付けることで真空ポンプを冷却し、これにより、冷却装置の構成を大幅に簡素化することができ、真空ポンプ装置をコンパクトなものにすることができる。 According to the vacuum pump device of the present invention, the exhaust side pipe has the exhaust air discharge part that blows the exhaust air to the vacuum pump for cooling, so that the air coming out from the exhaust port of the vacuum pump is separated from the vacuum pump by a predetermined distance. The vacuum pump is cooled by spraying the vacuum pump from the above position, whereby the configuration of the cooling device can be greatly simplified, and the vacuum pump device can be made compact.
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。以下の説明において、上下および左右は、図１の上下および左右をいうものとする。 Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following description, up and down and left and right refer to up and down and left and right in FIG.
この発明による真空ポンプ装置は、図１から図３までに示すように、真空ポンプ(1)と、真空ポンプ(1)の入口側（吸気側）に設けられた吸気側配管(2)と、同出口側（排気側）に設けられた排気側配管(3)と、真空ポンプ(1)近傍に設けられた送風ファン(4)と、真空ポンプ(1)のロータを回転させるモータ(5)と、これらを支持するハウジング(6)とを備えている。 As shown in FIGS. 1 to 3, the vacuum pump device according to the present invention includes a vacuum pump (1), an intake side pipe (2) provided on the inlet side (intake side) of the vacuum pump (1), Exhaust side pipe (3) provided on the outlet side (exhaust side), blower fan (4) provided near the vacuum pump (1), and motor (5) for rotating the rotor of the vacuum pump (1) And a housing (6) for supporting them.
真空ポンプ(1)は、図６に示したルーツ式のもので、ケーシング(7)と、ケーシング(7)内に互いに反対方向に回転可能に配された１対の３葉のロータ（図示略）とを備えている。ルーツ式の真空ポンプ(1)は、同じ構成のものが「ブロワ」としても使用可能とされているが、この発明においては、吸気側で仕事をする（例えば、吸着作業を行う）真空仕様とされている。 The vacuum pump (1) is of the Roots type shown in FIG. 6, and is composed of a casing (7) and a pair of three-leaf rotors (not shown) that are rotatably disposed in the casing (7) in opposite directions. ). The roots-type vacuum pump (1) having the same configuration can be used as a “blower”. However, in the present invention, the vacuum specification that performs work on the intake side (for example, performs adsorption work) and Has been.
吸気側配管(2)は、吸着などを行う装置に接続される装置側配管(21)と、装置側配管(21)に設けられた圧力計(22)と、装置側配管(21)に連なりかつ大気側に開放する大気開放配管(23)と、大気開放配管(23)に設けられた圧力開放弁(24)と、装置側配管(21)に連なりかつ真空ポンプ(1)の吸気口に接続される真空ポンプ側配管(25)(26)と、真空ポンプ側配管(25)(26)の途中に設けられたフィルタ(27)とを有している。 The intake side pipe (2) is connected to the equipment side pipe (21) connected to the equipment that performs adsorption, etc., the pressure gauge (22) provided in the equipment side pipe (21), and the equipment side pipe (21). And the open air pipe (23) that opens to the atmosphere side, the pressure release valve (24) provided in the open air pipe (23), and the equipment side pipe (21) and the intake port of the vacuum pump (1). The vacuum pump side pipes (25) and (26) to be connected and the filter (27) provided in the middle of the vacuum pump side pipes (25) and (26) are provided.
排気側配管(3)は、真空ポンプ(1)の排気口に接続されて真空ポンプ(1)の左方において上方にのびる立上り部(31)と、立上り部(31)から右方の水平方向にのびる水平部(32)と、水平部(32)右端部から下方にのびる垂下部(33)とからなり、その垂下部(33)は、下端に排気エア吐出口を有し排気エアを冷却用として真空ポンプ(1)に吹き付ける排気エア吐出部とされている。垂下部(33)の下端部には、逆Ｕ字状となるように１対の分岐管(34)(35)が設けられており、これらの分岐管(34)(35)の下端開口から冷却用エアが吐出される。各分岐管(34)(35)のエア吐出口には、図５に示すような風量を調整するための多孔板(50)が設けられている。 The exhaust pipe (3) is connected to the exhaust port of the vacuum pump (1) and extends upward on the left side of the vacuum pump (1), and the horizontal direction from the rising part (31) to the right It consists of a horizontal part (32) that extends and a hanging part (33) that extends downward from the right end part of the horizontal part (32), and the hanging part (33) has an exhaust air discharge port at the lower end to cool the exhaust air For this purpose, it is used as an exhaust air discharge part that blows onto the vacuum pump (1). A pair of branch pipes (34) and (35) are provided at the lower end of the hanging part (33) so as to form an inverted U-shape. From the lower end openings of these branch pipes (34) and (35) Cooling air is discharged. A perforated plate (50) for adjusting the air volume as shown in FIG. 5 is provided at the air outlet of each branch pipe (34) (35).
上記において、吸気側配管(2)は、基本的に従来と同じ構成であり、排気側配管(3)は、この発明の真空ポンプ装置の特徴部分で、従来の真空ポンプ装置では、大気開放するように構成されていたものが、上記のように、全体として逆Ｕ字状に形成されて、その排気エアが真空ポンプケーシング(7)に向かうように形成されることで、冷却装置としての機能を有したものとなっている。送風ファン(4)は、その方向が排気側配管(3)の吐出口と真空ポンプケーシング(7)との間から真空ポンプケーシング(7)およびモータ(5)に向かう方向に設定されており、これにより、真空ポンプケーシング(7)およびモータ(5)の冷却も可能なように設置されているが、送風ファン(4)設置の主目的は、排気側配管(3)の垂下部(33)の分岐管(34)(35)からの吐出エアを冷却するためであり、この点が従来と相違している。 In the above, the intake side pipe (2) is basically the same as the conventional structure, and the exhaust side pipe (3) is a characteristic part of the vacuum pump apparatus of the present invention, and is opened to the atmosphere in the conventional vacuum pump apparatus. What is configured as described above is formed in an inverted U-shape as a whole, and the exhaust air is formed so as to go to the vacuum pump casing (7), thereby functioning as a cooling device. It has become. The direction of the blower fan (4) is set to the direction from the discharge port of the exhaust side pipe (3) and the vacuum pump casing (7) toward the vacuum pump casing (7) and the motor (5), It is installed so that the vacuum pump casing (7) and the motor (5) can be cooled by this, but the main purpose of installing the blower fan (4) is the hanging part (33) of the exhaust side pipe (3) This is for cooling the discharge air from the branch pipes (34) and (35), which is different from the conventional one.
排気側配管(3)において、立上り部(31)には、真空ポンプ(1)の排気口に接続された下側エルボ(40)と水平部(32)に連なる上側エルボ(41)に接続された短管(42)との間に配置され、排気エア通路の方向を偏心させることで脈動に伴う音を低減する消音用偏心管(36)が設けられている。また、水平部(32)には、消音器(39)が設けられている。これにより、排気側に設置が必要な消音装置が別途の設置スペースを設けることなく排気側配管(3)に組み込まれている。 In the exhaust pipe (3), the rising part (31) is connected to the lower elbow (40) connected to the exhaust port of the vacuum pump (1) and the upper elbow (41) connected to the horizontal part (32). A silencer eccentric tube (36) is disposed between the short tube (42) and reduces the sound associated with pulsation by decentering the direction of the exhaust air passage. Moreover, the silencer (39) is provided in the horizontal part (32). Thus, the silencer that needs to be installed on the exhaust side is incorporated in the exhaust side pipe (3) without providing a separate installation space.
分岐管(34)(35)のエア吐出口と真空ポンプケーシング(7)との距離は、１２０ｍｍ程度（６０ｍｍ以上で２００ｍｍ以下）とされている。各分岐管(34)(35)の下端開口すなわちエア吐出口は、真空ポンプ(1)の軸受設置部に臨まされており、これにより、高温となることで損傷を最も起こしやすい真空ポンプ(1)の軸受部がより多く冷却されることになり、冷却効果を高めることができる。 The distance between the air outlets of the branch pipes (34) and (35) and the vacuum pump casing (7) is about 120 mm (60 mm or more and 200 mm or less). The lower end opening of each branch pipe (34) (35), that is, the air discharge port, faces the bearing installation part of the vacuum pump (1), so that the vacuum pump (1 ) Is cooled more, and the cooling effect can be enhanced.
また、各分岐管(34)(35)に設けられる多孔板(50)は、吐出エアが３ｋＰａ〜７ｋＰａとなるように、その孔径および孔数が設定されている。この多孔板(50)を使用すると、使用しない場合に比べて、５ｄＢの消音が可能であり、排気側配管(3)による消音効果を高めることができる。 In addition, the hole diameter and the number of holes of the perforated plate (50) provided in each branch pipe (34) and (35) are set so that the discharge air is 3 kPa to 7 kPa. When this perforated plate (50) is used, a noise reduction of 5 dB is possible compared to the case where it is not used, and the noise reduction effect by the exhaust side pipe (3) can be enhanced.
消音用偏心管(36)は、図４に示すように、上下１対の偏心レジューサ(37)(38)からなる。各偏心レジューサ(37)(38)は、断面が円形であり、一端側の小径開口から他端側の大径開口にかけて、その中心を移動させながら（偏心させながら）その径を連続的に大きくしたもので、消音用偏心管(36)は、同一形状の偏心レジューサ(37)(38)を大径側の開口同士を突き合わせて接合したものである。ここで、下側偏心レジューサ(38)の大径側の開口と上側偏心レジューサ(37)の大径側の開口とは、図４（ａ）に示すように、下側偏心レジューサ(38)の小径側の開口と上側偏心レジューサ(37)の小径側の開口とが同心となるように接合されてもよいが、図４（ｂ）に示すように、下側偏心レジューサ(38)の小径側の開口と上側偏心レジューサ(37)の小径側の開口とが偏心するように、図４（ａ）において下側偏心レジューサ(38)を基準にして上側偏心レジューサ(37)を矢印の方向に所定角度（例えば４５°）回転させて接合されることが好ましい。図４（ｂ）に示す消音用偏心管(36)を使用することで、図１において、下側エルボ(40)の垂直部の軸線と短管(42)の軸線とが偏心させられた状態で、下側エルボ(40)の垂直部の上端開口に下側偏心レジューサ(38)の小径側の開口が接続され、短管(42)の下端開口に上側偏心レジューサ(37)の小径側の開口が接続されている。ルーツ式真空ポンプ(1)では、複数の羽根を持つ１対のロータが互いに噛み合わされるようにして回転することから、脈動が生じ、この脈動に伴う音が大きいものとなる。上記の消音用偏心管(36)によると、この内部を通過するエアが下側偏心レジューサ(38)内を拡がりながら進んだあと、上側偏心レジューサ(37)内を狭まりながら進み、この際、さらにその流れの中心が偏心させられることで、脈動現象が低減する。この結果、水平部(32)の消音器(39)が小型であっても、大きな騒音低減効果を得ることができる。 As shown in FIG. 4, the silencer eccentric tube (36) includes a pair of upper and lower eccentric reducers (37) and (38). Each of the eccentric reducers (37) and (38) has a circular cross section, and the diameter is continuously increased from the small diameter opening on one end to the large diameter opening on the other end while moving the center (decentering). Therefore, the silencer eccentric tube (36) is formed by joining the eccentric reducers (37) and (38) having the same shape with the large-diameter side openings facing each other. Here, the large-diameter side opening of the lower eccentric reducer (38) and the large-diameter side opening of the upper eccentric reducer (37) are, as shown in FIG. 4 (a), the lower eccentric reducer (38). The opening on the small diameter side and the opening on the small diameter side of the upper eccentric reducer (37) may be joined so as to be concentric, but as shown in FIG. 4 (b), the small diameter side of the lower eccentric reducer (38) In FIG. 4 (a), the upper eccentric reducer (37) is set in the direction of the arrow so that the lower eccentric reducer (38) is used as a reference in FIG. 4 (a) so that the opening of the upper eccentric reducer (37) and the smaller diameter opening of the upper eccentric reducer (37) are eccentric. It is preferable to join by rotating an angle (for example, 45 °). By using the silencer eccentric tube (36) shown in FIG. 4 (b), the axis of the vertical portion of the lower elbow (40) and the axis of the short tube (42) are eccentric in FIG. Thus, the opening on the small diameter side of the lower eccentric reducer (38) is connected to the upper end opening of the vertical part of the lower elbow (40), and the small diameter side of the upper eccentric reducer (37) is connected to the lower end opening of the short pipe (42). The opening is connected. In the Roots-type vacuum pump (1), a pair of rotors having a plurality of blades rotate so as to mesh with each other, so that pulsation occurs, and the sound accompanying the pulsation becomes loud. According to the above-described silencer eccentric tube (36), the air passing through the inside travels while expanding in the lower eccentric reducer (38), and then proceeds while narrowing in the upper eccentric reducer (37). The pulsation phenomenon is reduced by decentering the center of the flow. As a result, even if the silencer (39) of the horizontal portion (32) is small, a great noise reduction effect can be obtained.
真空ポンプ(1)の排気エアは、常温よりは高い温度となっているが、例えば、真空ポンプが１００℃であっても、分岐管(34)(35)から吐出されるエアは７０℃程度となり、この吐出エアに常温の空気が混ざるので、真空ポンプケーシング(7)に当たるときの吐出エアの温度は４５℃程度となり、これにより、十分な冷却効果を得ることができる。 The exhaust air of the vacuum pump (1) is higher than room temperature. For example, even if the vacuum pump is 100 ° C, the air discharged from the branch pipes (34) and (35) is about 70 ° C. Since air at normal temperature is mixed with the discharge air, the temperature of the discharge air when it hits the vacuum pump casing (7) is about 45 ° C., thereby obtaining a sufficient cooling effect.
この発明の真空ポンプ装置によると、上記の排気側配管(3)により真空ポンプ(1)の冷却を行うので、従来使用されていた真空ポンプ冷却用のファンは不要とすることができる。しかしながら、分岐管(34)(35)からの吐出エアを冷却するための送風ファン(4)を使用することで、常温の空気が混ざることで下がった吐出エアの温度をさらに下げることができ、より大きな冷却効果を得ることができる。 According to the vacuum pump device of the present invention, since the vacuum pump (1) is cooled by the exhaust side pipe (3), a conventionally used fan for cooling the vacuum pump can be dispensed with. However, by using the blower fan (4) for cooling the discharge air from the branch pipes (34) and (35), the temperature of the discharge air that has been lowered by mixing with air at normal temperature can be further reduced, A larger cooling effect can be obtained.
図３の平面図に示されているように、排気側配管(3)は、平面から見た場合に、真空ポンプ(1)と重なるように配置されており、排気側配管(3)を設置するためのスペースが少ないものとなっている。そして、この発明の真空ポンプ装置によると、このコンパクト化に加えて、上記排気側配管(3)によって、防音効果および冷却効果の両方が改善され、工場内で場所を選ばずに設置することが可能となる。 As shown in the plan view of FIG. 3, the exhaust side pipe (3) is arranged so as to overlap the vacuum pump (1) when viewed from above, and the exhaust side pipe (3) is installed. There is little space to do. And according to the vacuum pump device of the present invention, in addition to the downsizing, both the soundproofing effect and the cooling effect are improved by the exhaust side pipe (3), and it can be installed anywhere in the factory. It becomes possible.
(1) 真空ポンプ
(2) 吸気側配管
(3) 排気側配管
(4) 送風ファン
(31) 立上り部
(32) 水平部
(33) 垂下部（排気エア吐出部）
(34)(35) 分岐管
(36) 消音用偏心管
(37)(38) 偏心レジューサ
(39) 消音器
(50) 多孔板
(1) Vacuum pump
(2) Piping on the intake side
(3) Exhaust side piping
(4) Blower fan
(31) Rising part
(32) Horizontal section
(33) Hanging part (exhaust air discharge part)
(34) (35) Branch pipe
(36) Muffler eccentric tube
(37) (38) Eccentric reducer
(39) Silencer
(50) Perforated plate
Claims (5)
排気側配管は、排気エアを冷却用として真空ポンプに吹き付ける排気エア吐出部を有していることを特徴とする真空ポンプ装置。 In a vacuum pump apparatus comprising a roots-type vacuum pump, an intake side pipe provided at the intake port of the vacuum pump and connected to the apparatus, and an exhaust side pipe provided at the exhaust port of the vacuum pump,
The vacuum pump device characterized in that the exhaust side pipe has an exhaust air discharge part for blowing exhaust air to the vacuum pump for cooling.
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