JP2012003892A - 荷電粒子装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】荷電粒子装置1は上部に長筒状のカラム2を備えカラム2の下部には内部が空洞の試料室3がある。試料室3は水平方向の振動よりも垂直方向の振動が大きい試料室上部3aと水平方向の振動が大きい試料室底部3bに分かれている。カラム2は荷電粒子銃及び試料検出系を備える。カラム1と試料ステージ5を支持する試料ステージ支持体4とが共に試料室上部3aに支持され、カラム1の中心軸と試料ステージ支持体4の中心軸とが一致若しくは互いに平行となるように構成されている。環境音がカラム2や試料室3に加わってもカラム2と試料ステージ5が共に試料室上部3aに固定され、互いに一体となって振動するので、荷電粒子発生部と試料との間に相対変位が生じにくい。
【選択図】図1
Description
さらに、本発明の荷電粒子装置は、水平面傾斜機構の傾斜軸と回転中心軸が直交するよう支持体側面に設置された傾斜軸回転機構を備えている。
さらに、本発明の荷電粒子装置は、傾斜した駆動面を持つ垂直方向駆動機構を備えている。
さらに、本発明の荷電粒子装置は側面に穴を開けた試料ステージ支持体を備えている。
Claims (10)
- 荷電粒子発生手段を有する長筒状のカラムと、
上記カラムの一方端が固定されるカラム固定面を有する試料室と、
上記試料室の内部に配置され、上記カラム固定面に固定される試料ステージ支持体と、
上記試料ステージ支持体に支持され、上記荷電粒子発生手段から荷電粒子が照射される試料を支持する試料ステージと、
を備えることを特徴とする荷電粒子装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子装置において、上記試料ステージは、
上記荷電粒子発生される荷電粒子線に対して、試料を傾斜させる傾斜機構と、
上記傾斜機構に支持され、試料を垂直方向に移動させる垂直方向駆動機構と
上記垂直方向駆動機構に支持され、試料を水平方向に移動させる水平方向駆動機構と、
上記水平方向駆動機構に支持され、試料を水平面内で回転させる水平面内回転機構と、
を備えることを特徴とする荷電粒子装置。 - 請求項2に記載の荷電粒子装置において、上記傾斜機構は、
上記試料ステージ支持体に配置された傾斜軸受と
上記傾斜軸受の内輪に支持された水平面傾斜テーブルと、
上記水平面傾斜テーブルに接する水平面回転力伝達部と、
上記試料ステージ支持体に支持され、上記水平面回転力伝達部に回転力を伝達する水平面回転駆動部と、
を備えていることを特徴とする荷電粒子装置。 - 請求項3に記載の荷電粒子装置において、上記垂直方向駆動機構は、
上記水平方向駆動機構を支持する垂直方向移動テーブルと、
上記垂直方向移動テーブルを垂直方向にガイドする垂直方向移動リニアガイドと、
を備えることを特徴とする荷電粒子装置。 - 請求項2に記載の荷電粒子装置において、上記ステージ支持体は、
上記傾斜機構を支持する互いに対向する位置に形成された2つの開口を備えていることを特徴とする荷電粒子装置。 - 請求項1に記載の荷電粒子装置において、上記試料ステージ支持体の外表面に複数のリブが形成されていることを特徴とする荷電粒子装置。
- 請求項1に記載の荷電粒子装置において、上記試料ステージ支持体は、内部に芯材を備えていることを特徴とする荷電粒子装置。
- 請求項1に記載の荷電粒子装置において、上記試料ステージ支持体は、上記カラム固定面から離間するにつれて、厚さ寸法が小となるように構成されていることを特徴とする荷電粒子装置。
- 請求項1に記載の荷電粒子装置において、上記試料室は、上記カラム固定面と、このカラム固定面を支持する試料室底部と、上記カラム固定面と試料室底部との間に配置される減衰材と有することを特徴とする荷電粒子装置。
- 請求項1に記載の荷電粒子装置において、上記試料ステージ支持体の上記カラム固定面に、上記カラムの位置を調整する位置調整ねじを備えていることを特徴とする荷電粒子装置。
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