JP2012000958A - 液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】複数の導入路を通過する液体を均一な温度に加熱して、吐出特性を均一化して印刷品質を向上することができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室内に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、を具備するヘッド本体と、該ヘッド本体の前記圧力発生室に液体を供給する導入路が設けられたケース4と、を具備し、前記導入路56が、前記ケース4に複数並設されており、前記ケース4の前記ヘッド本体に固定された固定面の側面には、前記導入路56の並設方向に沿って加熱手段70が設けられており、前記導入路56は、当該導入路56の並設方向の両端部側に向かって、前記加熱手段70に相対向する面積が広くなるように設けられている。
【選択図】 図2

Description

本発明は、ノズル開口から液体を噴射する液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置に関し、特に、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド、インクジェット式記録ヘッドユニット及びインクジェット式記録装置に関する。
液滴を吐出する液体噴射ヘッドの代表例としては、インク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドが挙げられる。インクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、ノズル開口が穿設されたノズルプレートと、ノズル開口に連通する複数の圧力発生室を含む液体流路が形成された流路形成基板と、この流路形成基板の一方面側に形成される圧力発生手段とを具備するものがある。
このような記録ヘッドから吐出する液体には、液体の種類に応じて吐出に適した粘度がある。液体の粘度は、温度と相関関係にあるため、温度が低いほど粘度が高くなり、温度が高いほど粘度が低くなる特性がある。そのため、通常使用する液体の粘度に適するように設計された記録ヘッドが、低温(高温)環境に置かれた場合や、粘度の高い(低い)液体を吐出する場合などには、液体を加熱(冷却)する必要がある。具体的には、導入路などの流路が設けられたケースに加熱手段を設け、加熱手段によってインクを加熱することでインクの粘度を低下させて、良好なインクの吐出特性を得るようにしている(例えば、特許文献1参照)。
特開2010−023257号公報
しかしながら、加熱手段はフィルム状等の平板形状を有し、ケースの側面側や内部などに平面的に配置されるため、熱分布に偏りが生じ、複数の流路のインクを均一な温度に温めることができず、吐出されるインクの粘度に偏りが生じ、インク吐出特性にばらつきが生じて印刷品質が低下してしまうという問題がある。
なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドに限定されず、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。
本発明はこのような事情に鑑み、複数の導入路を通過する液体を均一な温度に加熱して、吐出特性を均一化して印刷品質を向上することができる液体噴射ヘッド、液体噴射ヘッドユニット及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室内に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、を具備するヘッド本体と、該ヘッド本体の前記圧力発生室に液体を供給する導入路が設けられたケースと、を具備し、前記導入路が、前記ケースに複数並設されており、前記ケースの前記ヘッド本体に固定された固定面の側面には、前記導入路の並設方向に沿って加熱手段が設けられており、前記導入路は、当該導入路の並設方向の両端部側に向かって、前記加熱手段に相対向する面積が広くなるように設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、加熱手段の熱分布によって加熱され難い領域に設けられた導入路を通過する液体を加熱されやすい領域の導入路を通過する液体と同じように加熱することができるため、温度を均一化して均一な粘度で液体を供給することができる。これにより、液体の吐出特性を均一化して印刷品質を向上することができる。
ここで、前記導入路が、長穴の開口形状を有し、前記導入路は、長穴の長軸が前記加熱手段が設けられた側面の面方向に沿って配置されていることが好ましい。これによれば、導入路の加熱手段に相対向する面積をさらに広げて、導入路を通過する液体を効率よく加熱することができる。
また、複数の導入路は、同等の開口面積となるように設けられていることが好ましい。これによれば、導入路を通過する液体の流路抵抗を均一化して供給特性を均一化することができるため、液体の吐出特性を均一化することができる。
さらに、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドを複数具備することを特徴とする液体噴射ヘッドユニットにある。
かかる態様では、均一な粘度の液体を吐出して吐出特性を均一化することができると共に所望の吐出特性で液体を吐出させることができるため、印刷品質を向上した液体噴射ヘッドユニットを実現できる。
また、本発明の他の態様は、上記態様の液体噴射ヘッドユニット又は液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、印刷品質を向上した液体噴射装置を実現できる。
本発明の実施形態1に係る記録ヘッドの分解斜視図である。 本発明の実施形態1に係る記録ヘッドの上面図である。 本発明の実施形態1に係る記録ヘッドの断面図である。 本発明の実施形態1に係る記録ヘッドの要部断面図である。 本発明の実施形態1に係る記録ヘッドの要部断面図である。 本発明の実施形態1に係る記録ヘッドの変形例を示す上面図である。 本発明の一実施形態に係る記録装置の概略図である。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る記録ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図2は、インクジェット式記録ヘッドの上面図であり、図3は、図2のA−A′線断面図及びそのB−B′線断面図であり、図4は、インクジェット式記録ヘッドの要部断面図である。
図1に示すように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド1(以下、記録ヘッド1とも言う)は、一対(2つ)のアクチュエーターユニット2と、アクチュエーターユニット2を内部に収容可能な収容部3が設けられたケース4と、ケース4の先端面(固定面)に接合された流路ユニット5と、を具備する。
図3に示すように、本実施形態のアクチュエーターユニット2は、本実施形態のアクチュエーターである複数の圧電素子11がその幅方向に並設された圧電素子形成部材13と、圧電素子形成部材13の先端部(一端部)側が自由端となるようにその基端部(他端部)側が固定端として接合される固定板14とを有する。
圧電素子形成部材13は、圧電材料層15と、圧電素子11の2つの極を構成する内部電極、すなわち、隣接する圧電素子11と電気的に独立する個別電極を構成する個別内部電極16と、隣接する圧電素子11と電気的に共通する共通電極を構成する共通内部電極17とを交互に挟んで積層することにより形成されている。
この圧電素子形成部材13には、例えば、ワイヤーソー等によって複数のスリット18が形成され、その先端部側が櫛歯状に切り分けられて圧電素子11の列が形成されている。なお、圧電素子11の列の両外側には、各圧電素子11よりも広い幅を有する位置決め部19が設けられている。この位置決め部19は、圧電素子11と同様に、圧電素子形成部材13で形成されているが、実質的に駆動されない非駆動振動子であり、アクチュエーターユニット2を記録ヘッド1に組み込む際に、位置決め部19をケース4に設けられた収容部3の側面に当接させて、アクチュエーターユニット2を高精度に位置決めするためのものである。
ここで、圧電素子11の固定板14に接合される領域は、振動に寄与しない不活性領域となっており、圧電素子11を構成する個別内部電極16及び共通内部電極17間に電圧を印加すると、固定板14に接合されていない先端部側の領域のみが振動する。そして、圧電素子11の先端面が、後述する振動板46の島部49に接着剤等を介して固定される。
また、アクチュエーターユニット2の各圧電素子11には、当該圧電素子11を駆動するための駆動IC等の駆動回路29が搭載されたCOF等の回路基板30が接続されている。
流路ユニット5は、流路形成基板40、振動板46及びノズルプレート48を具備する。
流路形成基板40は、シリコン単結晶基板からなり、その一方面側の表層部分には、複数の隔壁によって画成された圧力発生室42がその幅方向(短手方向)に並設された列が2列設けられている。
また、各圧力発生室42の長手方向一端部側には、各圧力発生室42に液体の一例であるインクを供給するための液体溜まりであるマニホールド44が液体供給路の一例であるインク供給路45を介して連通されている。本実施形態では、2列の圧力発生室42の両外側に圧力発生室42の各列に連通するマニホールド44を設けた。また、流路形成基板40の圧力発生室42の開口面側は振動板46で封止され、他方面側にはノズル開口47が穿設されたノズル形成部材の一例であるノズルプレート48が接着剤や熱溶着フィルムを介して接着されている。ノズルプレート48のノズル開口47と圧力発生室42とは、流路形成基板40を貫通して設けられたノズル開口連通孔43を介して連通している。
振動板46は、例えば、樹脂フィルム等の弾性部材からなる弾性膜46aと、この弾性膜46aを支持する、例えば、金属材料等からなる支持板46bとの複合板で形成されており、弾性膜46a側が流路形成基板40に接合されている。例えば、本実施形態では、第1の部材である弾性膜46aは、厚さが数μm程度のPPS(ポリフェニレンサルファイド)フィルムからなり、第2の部材である支持板46bは、厚さが数十μm程度のステンレス鋼板(SUS)からなる。
また、振動板46の各圧力発生室42に対向する領域内には、圧電素子11の先端部が当接する島部49が設けられている。すなわち、振動板46の各圧力発生室42の周縁部に対向する領域に他の領域よりも厚さの薄い薄肉部50が形成され、この薄肉部50の内側にそれぞれ島部49が設けられている。このような島部49には、上述したアクチュエーターユニット2の圧電素子11の先端部が例えば、接着剤等を介して固定される。
また、振動板46のマニホールド44に対向する領域には、薄肉部50と同様に、支持板46bがエッチングにより除去されて実質的に弾性膜46aのみで構成されるコンプライアンス部54が設けられている。なお、このコンプライアンス部54は、マニホールド44内に圧力変化が生じた時に、このコンプライアンス部54の弾性膜46aが変形することによって圧力変化を吸収し、マニホールド44内の圧力を常に一定に保持する役割を果たす。
なお、本実施形態では、振動板46を弾性膜46aと支持板46bとで構成し、島部49の周辺部及びコンプライアンス部54を弾性膜46aのみで構成したが、特にこれに限定されず、例えば、振動板として、1枚の板状部材を用いて、板状部材の厚さ方向の一部を除去した凹形状の薄肉部50等を設けることで、島部49及びコンプライアンス部54を形成するようにしてもよい。
このようにインクを吐出するノズル開口47に連通する圧力発生室42が設けられた流路ユニット5と、圧力発生室42に圧力変化を生じさせる圧力発生手段であるアクチュエーターユニット2と、が本実施形態のヘッド本体を構成している。
ケース4は、図1及び図2に示すように、流路形成基板40の振動板46上に固定されたものであり、図示しないインクタンクやインクカートリッジ等の液体貯留手段が接続されて、マニホールド44にインクを供給する導入路56(第1導入路56a〜第6導入路56f)が厚さ方向に貫通して設けられている。
また、ケース4には、厚さ方向に貫通する2つの収容部3が設けられており、各収容部3にアクチュエーターユニット2が位置決めされて固定されている。
このようなケース4の収容部3は、図1に示すように、固定板14が固定される側に固定板14の幅よりも幅広に設けられた固定板保持部3aと、圧電素子形成部材13側に固定板保持部3aよりも幅狭で且つ圧電素子形成部材13よりも若干幅広に設けられた圧電素子保持部3bとを有する。なお、ここで言う幅は、圧電素子11(圧力発生室42)の並設方向のことである。また、図3に示すように、収容部3の固定板保持部3aには、貫通方向において振動板46側が幅狭となるように段差部3cが設けられており、固定板14は、圧電素子11が突出する端面が段差部3cに当接して固定される。
また、ケース4は、収容部3が開口する一方面が振動板46に固定される固定面となっており、この固定面とは交差する一対の側面側には、厚さ方向に貫通する複数の導入路56(第1導入路56a〜第6導入路56f)が設けられている。本実施形態では、流路ユニット5のマニホールド44の並設方向両側の側面側に導入路56を3つずつ設けるようにした。ここで導入路56が厚さ方向に貫通するとは、導入路56がケース4の流路ユニット5と接合される固定面及び固定面とは反対の面とに開口していることを言う。そして、ケース4の一方の側面側に設けられた3つの第1導入路56a〜第3導入路56cは、一方のマニホールド44に連通し、他方の側面側に設けられた3つの第4導入路56d〜第6導入路56fは他方のマニホールド44に連通している。ちなみに、3つの第1導入路56a〜第3導入路56cや第4導入路56d〜第6導入路56fは、圧力発生室42の並設方向に並んで配置されている。したがって、図4に示すように、インクを3つの導入路56a〜56cからマニホールド44内に圧力発生室42の並設方向に亘って均一な圧力で供給することができ、各圧力発生室42へのインク供給特性を均一化して、吐出特性を均一化することができる。また、詳しくは後述するが、ケース4に加熱手段70を設け、導入路56を通過するインクを加熱手段70によって温める場合、導入路56が複数設けられていることで、加熱手段70が効率良く加熱できると共に、マニホールド44内のインクの温度に偏りが生じるのを抑制することができる。ちなみに、例えば、マニホールド44に導入路56が1つだけ連通している場合、導入路56から遠い圧力発生室42には低い圧力でインクが供給され、導入路56から近い圧力発生室42には高い圧力でインクが供給される。このような構成では、ノズル開口47の多列化によって圧力発生室42の列が長くなり、マニホールド44が長くなった場合などに、供給特性のばらつきによるインク吐出特性のばらつきが大きくなってしまう。また、1つの導入路56を通過するインクを加熱手段70によって温めるため、導入路56から遠い圧力発生室42にインクが達するまでにインクが冷める虞もある。本実施形態では、1つのマニホールド44に3つの第1導入路56a〜第3導入路56c又は第4導入路56d〜第6導入路56fからインクを供給するようにしたため、供給特性のばらつきを減少させて、インク吐出特性を均一化することができると共に、導入路56内のインクを効率よく加熱してマニホールド44内のインク温度のばらつきを減少させることができる。
また、ケース4の第1導入路56a〜第3導入路56cが設けられた側面と、第4導入路56d〜第6導入路56fが設けられた側面とには、それぞれ側面に沿って加熱手段70が設けられている。このような加熱手段70は、本実施形態では、フィルム状のものからなり、側面に密着して設けられている。なお、フィルム状の加熱手段70とは、例えば、発熱抵抗体を樹脂等のシートで挟み込んだ面状ヒーターなどが挙げられる。
このようなケース4では、加熱手段70の両端部側に加熱手段70が設けられていない側面が存在することから、熱分布に偏りが生じる。具体的には、加熱手段70の両端部側は、加熱手段70が設けられていない側面からの放熱も相俟って中央部側に比べて加熱される温度が低くなってしまう。このため、本実施形態では、加熱手段70の両端部側の第1導入路56a、第3導入路56c、第4導入路56d及び第6導入路56fを開口が長穴(楕円)となるように形成し、長穴となる開口の長軸が加熱手段70の面方向、すなわち、第1導入路56a〜第3導入路56cの並設方向に沿って配置するようにした。ちなみに、中央部に設けられた第2導入路56b及び第5導入路56eは、開口が単穴(真円)となるように形成している。
このような第1導入路56a、第3導入路56c、第4導入路56d及び第6導入路56fは、図5に示すように、中央部に設けられた第2導入路56b及び第5導入路56eの加熱手段70に相対向する周方向の幅Wに比べて、加熱手段70に相対向する周方向の幅Wが広くなる。したがって、第1導入路56a、第3導入路56c、第4導入路56d及び第6導入路56fは、加熱手段70に相対向する面積が広がる。これにより、第1導入路56a、第3導入路56c、第4導入路56d及び第6導入路56fを通過するインクは、第2導入路56b及び第5導入路56eを通過するインクに比べて加熱手段70に相対向する面積が広がることから、短時間で所望の温度に温まりやすくなり、各マニホールド44(図1参照)に3つの第1導入路56a〜第3導入路56c及び第4導入路56d〜第6導入路56fから供給するインクの温度を均一化して、マニホールド44内でインクの温度に偏りが生じるのを抑制することができる。したがって、インクの粘度に偏りが生じるのを抑制して、均一な吐出特性でインクを吐出させることができ、印刷品質を向上することができる。
なお、第1導入路56a〜第6導入路56fは、それぞれ加熱手段70までの距離が略同じ距離となるように配置されている。ここで、第1導入路56a〜第6導入路56fが加熱手段70まで同じ距離であるとは、例えば、各導入路56a〜56fと加熱手段70との最短距離が同じことを言う。このように、各導入路56a〜56fが加熱手段70まで略同じ距離で設けられていることで、第1導入路56a、第3導入路56c、第4導入路56d及び第6導入路56fを通過するインクを、中央部に設けられた第2導入路56b及び第5導入路56eを通過するインクと同様の時間で所望の温度に達するまで加熱することができる。
また、このような本実施形態の構成では、加熱する温度が低くなってしまう領域に設けられた第1導入路56a、第3導入路56c、第4導入路56d及び第6導入路56fを通過するインクを加熱手段70によって効率良く加熱することができるため、加熱手段70の電力を低電力化することができる。
なお、長穴である第1導入路56a、第3導入路56c、第4導入路56d及び第6導入路56fの開口面積と、単穴である第2導入路56b及び第5導入路56eの開口面積とは、同じ開口面積とするのが好ましい。これにより、第1導入路56a〜第6導入路56fを通過するインクの流路抵抗を均一化して、インク供給特性を均一にすることができる。
なお、本実施形態では、加熱手段70の両端部の第1導入路56a、第3導入路56c、第4導入路56d及び第6導入路56fを開口が長穴(楕円)となるように形成したが、特にこれに限定されない。ここで、その他の例を図6に示す。なお、図6は、本発明の実施形態1に係る記録ヘッドの変形例を示す上面図である。
図6に示すように、ケース4Aには、第1導入路56a〜第6導入路56fが設けられており、加熱手段70の両端部側の第1導入路56a、第3導入路56c、第4導入路56d及び第6導入路56fは、中央部側の第2導入路56b及び第5導入路56eに比べて大きな開口面積で形成されている。このように、第1導入路56a、第3導入路56c、第4導入路56d及び第6導入路56fの開口面積を広げることでも、第1導入路56a、第3導入路56c、第4導入路56d及び第6導入路56fの加熱手段70に相対向する面積を増大させて、通過するインクを加熱手段70によって温めやすくすることができる。
また、ケース4には、コンプライアンス部54に対向する領域に開口する凹形状を有するコンプライアンス空間55が設けられている。このコンプライアンス空間55によってコンプライアンス部54は変形可能に保持される。
このようなケース4は、樹脂材料によって形成されている。また、ケース4は、成形することで、低コストで製造することができると共に、容易に量産することができる。
このような記録ヘッド1では、インク滴を吐出する際に、圧電素子11及び振動板46の変形によって各圧力発生室42の容積を変化させて所定のノズル開口47からインク滴を吐出させるようになっている。具体的には、図示しないインクカートリッジからケース4に設けられた導入路56を介して温められたインクがマニホールド44に供給されると、インク供給路45を介して各圧力発生室42にインクが分配される。実際には、圧電素子11に電圧を印加することにより圧電素子11を収縮させる。これにより、振動板46が圧電素子11と共に変形されて圧力発生室42の容積が広げられ、圧力発生室42内にインクが引き込まれる。そして、ノズル開口47に至るまで内部にインクを満たした後、回路基板30を介して供給される記録信号に従い、圧電素子11の電極16、17に印加していた電圧を解除する。これにより、圧電素子11が伸張されて元の状態に戻ると共に振動板46も変位して元の状態に戻る。結果として圧力発生室42の容積が収縮して圧力発生室42内の圧力が高まりノズル開口47からインク滴が吐出される。
(他の実施形態)
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。
例えば、上述した実施形態1では、導入路56の加熱手段70に相対向する面積を広げるために、導入路56の開口形状を変更したり、開口面積を広げるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、導入路56の長さ(固定面から固定面とは反対側の面までの長さ)を傾斜させるなどして変更することで、加熱手段70に相対向する面積を増減させるようにしてもよい。
また、上述した実施形態1では、加熱手段70として、フィルム状のものを用いて、加熱手段70をケース4、4Aの側面に密着させるようにしたが、特にこれに限定されず、例えば、棒状の加熱手段や、ランプ状の赤外線ヒーターなどを用いてもよく、また、加熱手段70とケース4、4Aとの間に隙間が設けられていてもよい。
さらに、上述した実施形態1では、導入路56をケース4の両側面に3個ずつ、合計6個設けるようにしたが、導入路56の数及び配置は特にこれに限定されず、導入路56をケース4、4Aの一側面側に4個以上設けるようにしてもよく、導入路56の間隔は不均一であってもよい。また、導入路56の開口形状も特に限定されず、円形状、三角形状、矩形状、多角形状等何れの形状であってもよい。
また、上述した実施形態1では、導入路56の加熱手段70に相対向する面積を2段階に変更するようにしたが、特にこれに限定されず、導入路56の加熱手段70に相対向する面積を3段階以上に変更するようにしてもよい。すなわち、導入路56を並設方向の両端部に向かって加熱手段に相対向する面積を漸大させるようにしてもよい。
さらに、上述した実施形態1では、流路(圧力発生室42)に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、圧電材料層15と個別内部電極16及び共通内部電極17とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子11を例示したが、圧力発生手段は、特にこれに限定されるものではなく、圧電材料層15と個別内部電極16及び共通内部電極17とを交互に積層させて積層方向の一端部を島部に当接させる横振動型の圧電素子を用いるようにしてもよい。
また、圧力発生手段としては、例えば、下電極、圧電材料からなる圧電体層及び上電極を成膜及びリソグラフィー法によって形成した薄膜型の圧電素子を用いてもよく、また、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電素子を使用することもできる。また、圧力発生手段として、圧力発生室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズル開口から液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズル開口から液滴を吐出させるものなども使用することができる。
また、これら各実施形態のインクジェット式記録ヘッド1は、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備するインクジェット式記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図7は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
図7に示すインクジェット式記録装置200において、複数のインクジェット式記録ヘッド1を有するインクジェット式記録ヘッドユニット202(以下、単にヘッドユニット202とも言う)は、インク供給手段を構成するカートリッジ202A及び202Bが着脱可能に設けられ、このヘッドユニット202を搭載したキャリッジ203は、装置本体204に取り付けられたキャリッジ軸205に軸方向移動自在に設けられている。このヘッドユニット202は、例えば、ブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
そして、駆動モーター206の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト207を介してキャリッジ203に伝達されることで、ヘッドユニット202を搭載したキャリッジ203はキャリッジ軸205に沿って移動される。一方、装置本体204にはキャリッジ軸205に沿ってプラテン208が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン208に巻き掛けられて搬送されるようになっている。
また、上述したインクジェット式記録装置200では、複数の記録ヘッド1を有するヘッドユニット202がキャリッジ203に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド1が固定されて、紙等の記録シートSを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
また、上述した例では、複数の記録ヘッド1を有するヘッドユニット202をインクジェット式記録装置200に搭載するようにしたが、ヘッドユニット202には、それぞれ1つの記録ヘッド1が搭載されていてもよく、また、単数又は複数の記録ヘッド1が直接インクジェット式記録装置200に搭載されていてもよい。
なお、上述した実施形態においては、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED(電界放出ディスプレイ)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
1 インクジェット式記録ヘッド(液体噴射ヘッド)、 2 アクチュエーターユニット、 3 収容部、 4、4A ケース、 5 流路ユニット、 11 圧電素子(アクチュエーター)、 13 圧電素子形成部材、 14 固定板、 16 個別内部電極、 17 共通内部電極、 18 スリット、 19 位置決め部、 30 回路基板、 40 流路形成基板、 42 圧力発生室、 44 マニホールド、 46 振動板、 47 ノズル開口、 48 ノズルプレート、 49 島部、 56、56a〜56f 導入路、 200 インクジェット式記録装置(液体噴射装置)、 202 インクジェット式記録ヘッドユニット(液体噴射ヘッドユニット)

Claims (6)

  1. 液体を噴射するノズル開口に連通する圧力発生室と、該圧力発生室内に圧力変化を生じさせる圧力発生手段と、を具備するヘッド本体と、
    該ヘッド本体の前記圧力発生室に液体を供給する導入路が設けられたケースと、を具備し、
    前記導入路が、前記ケースに複数並設されており、
    前記ケースの前記ヘッド本体に固定された固定面の側面には、前記導入路の並設方向に沿って加熱手段が設けられており、
    前記導入路は、当該導入路の並設方向の両端部側に向かって、前記加熱手段に相対向する面積が広くなるように設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
  2. 前記導入路が、長穴の開口形状を有し、前記導入路は、長穴の長軸が前記加熱手段が設けられた側面の面方向に沿って配置されていることを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッド。
  3. 複数の導入路は、同等の開口面積となるように設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体噴射ヘッド。
  4. 請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを複数具備することを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
  5. 請求項4記載の液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置。
  6. 請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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