JP2011510178A - 蒸発器本体 - Google Patents
蒸発器本体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011510178A JP2011510178A JP2010543528A JP2010543528A JP2011510178A JP 2011510178 A JP2011510178 A JP 2011510178A JP 2010543528 A JP2010543528 A JP 2010543528A JP 2010543528 A JP2010543528 A JP 2010543528A JP 2011510178 A JP2011510178 A JP 2011510178A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- evaporator body
- evaporator
- recess
- recesses
- evaporation surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/24—Vacuum evaporation
- C23C14/243—Crucibles for source material
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
Description
さらに、導電性の蒸発器本体コア部分と、このコア部分を受容または収容する電気絶縁性の蒸発器本体外側部分とを有し、蒸発器本体の外側部分が濡れ促進材料からなることを特徴とする、2つの部分からなる蒸発器ボートが知られている。
これらの既知の蒸発器ボートは、多数の比較的細い溝を蒸発面に設けなければならないことから、製造が複雑であるという欠点を有する。さらなる欠点は、金属線が長手方向の中央に供給されなければ、蒸発器ボートの長手方向において均一な金属浴または金属溶融物が形成されないということである。これは、金属線の接触位置を基点として、金属浴は両側に、長手方向に等しい範囲で広がっていくためである。図7に示すように、金属線の接触位置が中心に配置されない場合には、蒸発器ボートの蒸発面は、金属によって(特に、長手方向において)不完全に濡らされることになる。このような一方向的な濡れは、金属浴が長手方向の片側の水冷された銅固定上に流れ、反対側は濡れないままであるという効果を有する。そして、この反対側では液体金属溶融物による冷却効果がないために、過熱が起こる。
特許文献3は、蒸発面の底部に複数の溝が形成された、金属を蒸発させるためのレセプタクルを開示している。
本発明による蒸発器本体は、供給される金属を蒸発させる蒸発面を含む。たとえば、金属線の形態のアルミニウムなどの金属を蒸発面に供給してもよい。代替または追加として、すでに溶融した金属を蒸発面に供給してもよい。金属線の場合、蒸発面に供給される金属は、最初に熱い蒸発面上で液化または溶融され、その後蒸発する。
たとえば、各凹部または窪みの側壁が、該凹部に隣接する蒸発面の部分と80〜150°の角度をなしていてもよい。その場合、縁における液体金属に対する濡れ角の変化は、(180−80)°=100°から(180−150)°=30°となる。たとえば、この角度は、90°〜135°の範囲、たとえば、90〜120°の範囲であってよい。これに関連して、たとえば、前記角度は、側壁と蒸発面の隣接部分の間の縁での溶融金属の蓄積が促進されるように、すなわち、溶融金属の凹部への流入が妨げられるように選択して、蒸発器本体の動作中に溶融金属が最初に主として側壁とそれに隣接する(凹部の続く上縁における)蒸発面の部分とによって形成される縁に沿って、かつ凹部の周りに流れるように選択してもよい。
Claims (12)
- PVDメタライゼーション設備における金属を蒸発させるための蒸発面(3)を有する蒸発器本体(1)において、蒸発面(3)は、複数の凹部(5,5’,5’’)を含むとともに、各凹部の開口は1.5mm以上の面積/周長比を有することを特徴とする蒸発器本体。
- 蒸発面(3)は、空洞(13)を含むとともに、複数の凹部(5,5’,5’’)は、空洞の底面に形成されることを特徴とする請求項1に記載の蒸発器本体(1)。
- 凹部(5,5’,5’’)は、0.05〜1mmの深さを有することを特徴とする請求項1または2に記載の蒸発器本体(1)。
- 各凹部(5,5’,5’’)の側壁は、該凹部(5,5’,5’’)に隣接する蒸発面(3)の部分に対して80〜150°の角度をなすことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の蒸発器本体(1)。
- 各凹部(5,5’,5’’)の側壁は、少なくとも該凹部(5,5’,5’’)の底面に隣接する部分において、湾曲していることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の蒸発器本体(1)。
- 1つまたは複数またはすべての開口が円形であるか、または円形環の形状であることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の蒸発器本体(1)。
- 1つまたは複数またはすべての開口が楕円形状または楕円環の形状であることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の蒸発器本体(1)。
- 1つまたは複数またはすべての開口が、等しい辺を有する四辺形または等しい辺を有する四辺形環として形成されるとともに、2つの角が蒸発器本体の長手方向軸上に配置されることを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の蒸発器本体(1)。
- 1つまたは複数またはすべての開口が、二等辺三角形または二等辺三角形環として形成されるとともに、各斜辺が蒸発器本体の長手方向軸に対して垂直に配置されることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の蒸発器本体(1)。
- 複数の凹部(5,5’,5’’)が、蒸発器本体の長手方向に直列に配置されることを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載の蒸発器本体(1)。
- 蒸発器本体の、導電性かつ抵抗加熱可能なコア部分を受容するための内側中空空間を有する蒸発器本体の電気絶縁性外側部分として形成される請求項1〜10のいずれか一項に記載の蒸発器本体(1)。
- 導電性かつ抵抗加熱可能な蒸発器本体として形成される、請求項1〜10のいずれか一項に記載の蒸発器本体(1)。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102008016619A DE102008016619B3 (de) | 2008-04-01 | 2008-04-01 | Verdampferkörper |
PCT/EP2009/052876 WO2009121700A1 (de) | 2008-04-01 | 2009-03-11 | Verdampferkörper |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011510178A true JP2011510178A (ja) | 2011-03-31 |
Family
ID=40639739
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010543528A Pending JP2011510178A (ja) | 2008-04-01 | 2009-03-11 | 蒸発器本体 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US10513771B2 (ja) |
EP (1) | EP2271787B1 (ja) |
JP (1) | JP2011510178A (ja) |
CN (1) | CN101978092B (ja) |
DE (1) | DE102008016619B3 (ja) |
WO (1) | WO2009121700A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015137409A (ja) * | 2014-01-23 | 2015-07-30 | スタンレー電気株式会社 | 坩堝及び真空蒸着装置 |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102008016619B3 (de) | 2008-04-01 | 2009-11-05 | Kennametal Sintec Keramik Gmbh | Verdampferkörper |
DE102013210819B4 (de) | 2013-06-10 | 2016-12-29 | Kennametal Inc. | Verfahren zur Herstellung eines elektrisch leitfähigen keramischen Körpers sowie elektrisch leitfähiger keramischer Körper |
DE102013211034B4 (de) | 2013-06-13 | 2024-03-28 | Kennametal Inc. | Verdampferkörper sowie Verfahren zum Bedampfen eines Gegenstandes mit Hilfe eines solchen Verdampferkörpers |
DE102013218322B4 (de) * | 2013-09-12 | 2021-11-18 | Kennametal Inc. | Verdampferkörper für eine PVD-Beschichtungsanlage sowie Verfahren zum Bereitstellen eines derartigen Verdampferkörpers |
CN105716224A (zh) * | 2014-12-22 | 2016-06-29 | 株式会社堀场Stec | 气化用容器、气化器和气化装置 |
DE102015211746B4 (de) * | 2015-06-24 | 2023-08-24 | Kennametal Inc. | Verdampferkörper sowie Betrieb eines solchen Verdampferkörpers |
DE102015112135B4 (de) | 2015-07-24 | 2023-04-06 | Kennametal Inc. | Verdampferkörper mit Titanhydridbeschichtung, Verfahren zu dessen Herstellung und Verwendung |
US20190203344A1 (en) * | 2017-03-24 | 2019-07-04 | Kennametal Inc. | Evaporator boats for metallization installations |
CN107058957A (zh) * | 2017-04-18 | 2017-08-18 | 武汉华星光电技术有限公司 | 一种蒸发源装置 |
US20190136366A1 (en) * | 2017-11-08 | 2019-05-09 | Shenzhen China Star Optoelectronics Semiconductor Display Technology Co., Ltd. | Crucible and vapor deposition method |
CN109833635B (zh) * | 2019-01-29 | 2024-06-28 | 张宣平 | 新型蒸发器及其等面积水圈 |
WO2022038548A1 (en) | 2020-08-19 | 2022-02-24 | 3M Innovative Properties Company | Evaporation boat for evaporation of metals |
DE102021115602A1 (de) | 2021-06-16 | 2022-12-22 | Kennametal Inc. | Verdampferschiffchen |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2005049881A1 (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-02 | Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | 金属蒸発発熱体及び金属の蒸発方法 |
JP2006225757A (ja) * | 2005-01-21 | 2006-08-31 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 真空蒸着装置 |
JP2007128898A (ja) * | 2002-07-19 | 2007-05-24 | Lg Electron Inc | 有機電界発光膜蒸着用蒸着源 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE6606618U (de) | 1967-08-10 | 1970-10-22 | Sylvania Electric Prod | Verdampfungsquelle fuer den niederschlag von metallen aus dem vakuum |
US3514575A (en) * | 1967-08-10 | 1970-05-26 | Sylvania Electric Prod | Metal-evaporating source |
US3725045A (en) * | 1970-06-24 | 1973-04-03 | Republic Steel Corp | Apparatus and method for vaporizing molten metal |
US4811691A (en) * | 1987-02-24 | 1989-03-14 | Shaped Wire, Inc. | Wire feed for metalizing apparatus |
DE4128382C1 (ja) * | 1991-08-27 | 1992-07-02 | Leybold Ag, 6450 Hanau, De | |
FR2721110B1 (fr) * | 1994-06-09 | 1996-07-19 | Air Liquide | Procédé et dispositif de mesure de mouillabilité sous atmosphère contrôlée. |
DE202005020544U1 (de) * | 2005-08-03 | 2006-04-20 | Applied Films Gmbh & Co. Kg | Verdampfervorrichtung zum Beschichten von Substraten |
US7494616B2 (en) * | 2005-11-04 | 2009-02-24 | Momentive Performance Materials Inc. | Container for evaporation of metal and method to manufacture thereof |
DE102008016619B3 (de) | 2008-04-01 | 2009-11-05 | Kennametal Sintec Keramik Gmbh | Verdampferkörper |
-
2008
- 2008-04-01 DE DE102008016619A patent/DE102008016619B3/de not_active Expired - Fee Related
-
2009
- 2009-03-11 CN CN2009801096085A patent/CN101978092B/zh active Active
- 2009-03-11 JP JP2010543528A patent/JP2011510178A/ja active Pending
- 2009-03-11 US US12/865,817 patent/US10513771B2/en active Active
- 2009-03-11 EP EP09727416.1A patent/EP2271787B1/de active Active
- 2009-03-11 WO PCT/EP2009/052876 patent/WO2009121700A1/de active Application Filing
-
2019
- 2019-11-15 US US16/685,596 patent/US11473187B2/en active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007128898A (ja) * | 2002-07-19 | 2007-05-24 | Lg Electron Inc | 有機電界発光膜蒸着用蒸着源 |
WO2005049881A1 (ja) * | 2003-11-20 | 2005-06-02 | Denki Kagaku Kogyo Kabushiki Kaisha | 金属蒸発発熱体及び金属の蒸発方法 |
JP2006225757A (ja) * | 2005-01-21 | 2006-08-31 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 真空蒸着装置 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015137409A (ja) * | 2014-01-23 | 2015-07-30 | スタンレー電気株式会社 | 坩堝及び真空蒸着装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2009121700A1 (de) | 2009-10-08 |
EP2271787A1 (de) | 2011-01-12 |
EP2271787B1 (de) | 2013-08-21 |
CN101978092A (zh) | 2011-02-16 |
DE102008016619B3 (de) | 2009-11-05 |
US20110013891A1 (en) | 2011-01-20 |
US11473187B2 (en) | 2022-10-18 |
US20200080190A1 (en) | 2020-03-12 |
CN101978092B (zh) | 2012-10-10 |
US10513771B2 (en) | 2019-12-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2011510178A (ja) | 蒸発器本体 | |
JP6250940B2 (ja) | 蒸発源装置 | |
US8177912B2 (en) | Evaporation source and vacuum evaporator using the same | |
TW200904999A (en) | Evaporation crucible and evaporation apparatus with adapted evaporation characteristic | |
US9428832B2 (en) | Heat equalizer | |
CN107058958A (zh) | 一种蒸镀坩埚和蒸镀设备 | |
JP2009030169A (ja) | 整形されたるつぼ及びこのるつぼを有する蒸発装置 | |
CN109468596A (zh) | 一种蒸镀坩埚及蒸镀装置 | |
JP2007039809A (ja) | 基板をコーティングするための蒸発装置 | |
CN105283575A (zh) | 汽化单元以及借助所述类型汽化单元来真空涂布物件的方法 | |
JP4690297B2 (ja) | ヒータ | |
KR101608586B1 (ko) | 박막 균일도를 균일하게 유지하는 선형 증발원 | |
CN102121093A (zh) | 金属蒸镀复合坩埚 | |
US8164028B2 (en) | Resistance heater | |
JP2007197789A (ja) | 蒸着用るつぼ及びその製造方法 | |
JP5611086B2 (ja) | 蒸着用ボートとこれを使用した成膜方法 | |
CN220468107U (zh) | 防金属液飞溅的蒸发舟组件 | |
CN106282932B (zh) | 蒸发体以及这种蒸发体的运行方式 | |
CN220246235U (zh) | 蒸发舟结构 | |
JP2007046106A (ja) | 蒸着用ボートおよびこれを備えた真空蒸着装置 | |
CN220665423U (zh) | 蒸发舟和真空镀膜设备 | |
CN219991706U (zh) | 真空镀膜蒸发舟及真空镀膜设备 | |
KR20180002912A (ko) | 증발 유닛 및 진공 코팅 장치 | |
CN211112184U (zh) | 金属化膜高真空蒸镀模具 | |
CN114127327B (zh) | 用于蒸发金属的蒸发舟 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20110719 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20110719 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130402 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130628 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131001 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131226 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20140128 |