JP2011252847A - Moisture concentration detector - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、ガス絶縁機器内部のSF6ガス中の水分濃度を検出する装置に関する。 The present invention relates to an apparatus for detecting a moisture concentration in SF6 gas inside a gas insulating device.
ガス絶縁機器内部は、ガスシール機能が低下するなどにより外部から水分が浸入すると、機器の絶縁性能が低下する。このため、ガス絶縁機器内に対向して設置された多孔性電極間に、含水率がガス中の水分濃度と平衡状態となる水素イオン導電性の固体電解質膜を設け、多孔性電極間に交流電圧を印加しガス中の水分濃度に対応して変化する電極間電気量を計測することにより、水分濃度を計測する技術が開示されている(例えば、下記特許文献1)。
If moisture enters the inside of the gas insulation device from the outside due to a decrease in the gas sealing function or the like, the insulation performance of the device deteriorates. For this reason, a hydrogen ion conductive solid electrolyte membrane in which the moisture content is in equilibrium with the moisture concentration in the gas is provided between the porous electrodes placed opposite to each other in the gas-insulated equipment. A technique for measuring a moisture concentration by applying a voltage and measuring an inter-electrode electric quantity that changes corresponding to the moisture concentration in a gas is disclosed (for example,
固体電解質膜(例えば、デュポン社の登録商標であるNafion(登録商標))の交流インピーダンスは、固体電解質膜の含水率に依存して変化し、ガス絶縁機器内の水分濃度が減少するに従い増加する。ここで、固体電解質膜は、温度が高いほど含水率が高く(すなわち、固体電解質膜の交流インピーダンスが小さく)なり、温度が低いほど含水率が低く(すなわち、固体電解質膜の交流インピーダンスが大きく)なるという温度特性を有している。一方、屋外に設置されるガス絶縁機器内部は、環境温度の変化に伴いガス絶縁機器内の温度が数十℃も変化する。このため、特許文献1に示された技術では、環境温度の変化によって水分濃度の測定結果が変化する、という問題があった。
The AC impedance of a solid electrolyte membrane (for example, Nafion (registered trademark), a registered trademark of DuPont) changes depending on the moisture content of the solid electrolyte membrane, and increases as the moisture concentration in the gas insulating device decreases. . Here, the solid electrolyte membrane has a higher moisture content (that is, the AC impedance of the solid electrolyte membrane is smaller) as the temperature is higher, and a lower moisture content (that is, the AC impedance of the solid electrolyte membrane is larger) as the temperature is lower. It has a temperature characteristic. On the other hand, inside the gas insulation device installed outdoors, the temperature in the gas insulation device changes by several tens of degrees Celsius as the environmental temperature changes. For this reason, the technique disclosed in
また、水分濃度が十数ppmまで下がると、固体電解質膜の交流インピーダンスは、指数関数的に増加し、数MΩ〜数十MΩにまで達する。固体電解質膜に印加できる交流電圧は、水の電気分解が生じない程度の低電圧(約10mV〜約1V)であるので、固体電解質膜に流れる交流電流は極めて小さくなり、測定環境におけるノイズの影響が無視できなくなる。このため、特許文献1に示された技術では、測定結果に誤差を生じ易い、という問題があった。
Further, when the water concentration is lowered to several tens of ppm, the AC impedance of the solid electrolyte membrane increases exponentially and reaches several MΩ to several tens MΩ. Since the alternating voltage that can be applied to the solid electrolyte membrane is a low voltage (about 10 mV to about 1 V) that does not cause water electrolysis, the alternating current flowing through the solid electrolyte membrane becomes extremely small, and the influence of noise in the measurement environment Cannot be ignored. For this reason, the technique disclosed in
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、環境温度の変化によるガス中の水分濃度の測定結果の変化を抑制すると共に、高精度に水分濃度を測定することができる水分濃度検出装置を得ることを目的とする。 The present invention has been made in view of the above, and suppresses a change in the measurement result of the moisture concentration in the gas due to a change in the environmental temperature, and can also measure the moisture concentration with high accuracy. The purpose is to obtain.
上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、ガス絶縁機器内に設置され、対向して設けられた一対の多孔性電極と、一対の前記多孔性電極間に固着された水素イオン導電性の固体電解質膜と、前記ガス絶縁機器内に設けられた発熱体と、前記ガス絶縁機器内に設けられた温度センサと、一対の前記多孔性電極間に交流電圧を印加するとともに、前記ガス絶縁機器内の水分濃度に対応して変化する電極間電気量を計測する計測部と、前記温度センサからの温度を検出し、前記発熱体の温度を制御して、前記固体電解質膜の温度を予め設定された一定の設定温度に保つ温度制御部と、を備えることを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, the present invention is installed in a gas-insulated device, and is fixed between a pair of porous electrodes provided opposite to each other and the pair of porous electrodes. While applying an alternating voltage between a pair of the porous electrodes, a hydrogen ion conductive solid electrolyte membrane, a heating element provided in the gas insulation device, a temperature sensor provided in the gas insulation device A solid-state electrolyte membrane that detects a temperature from the temperature sensor, controls a temperature of the heating element, and measures a temperature of the interelectrode electricity corresponding to a moisture concentration in the gas insulation device And a temperature control unit that keeps the temperature at a predetermined preset temperature.
この発明によれば、環境温度の変化によるガス中の水分濃度の測定結果の変化を抑制すると共に、高精度に水分濃度を測定することができるという効果を奏する。 According to this invention, while suppressing the change of the measurement result of the moisture concentration in the gas by the change of environmental temperature, there exists an effect that a moisture concentration can be measured with high precision.
以下に、添付図面を参照して、本発明の実施の形態にかかる水分濃度検出装置を詳細に説明する。なお、以下の実施の形態により本発明が限定されるものではない。 Hereinafter, a moisture concentration detection apparatus according to an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In addition, this invention is not limited by the following embodiment.
実施の形態.
図1は、実施の形態にかかる水分濃度検出装置の一構成例を示す図である。図1に示すように、実施の形態にかかる水分濃度検出器は、対向して設けられた一対の多孔性電極1と、一対の多孔性電極1間に固着された固体電解質膜2と、一対の多孔性電極1の一方に接して設けられた発熱体4と、一対の多孔性電極1の他方に接して設けられた温度センサ3と、一対の多孔性電極1間の電気量を計測する計測部60と、温度センサ3の信号を読み取り、発熱体4の温度を制御する温度制御部70と、を備えている。
Embodiment.
FIG. 1 is a diagram illustrating a configuration example of a moisture concentration detection apparatus according to an embodiment. As shown in FIG. 1, the moisture concentration detector according to the embodiment includes a pair of
一対の多孔性電極1、固体電解質膜2、発熱体4、および温度センサ3は、ガス絶縁機器10の内部に設けられ、計測部60および温度制御部70は、ガス絶縁機器10の外部に設けられている。
The pair of
計測部60は、交流電源5、固体電解質膜2と直列に接続された分圧抵抗6、および分圧抵抗6にかかる交流電圧を水分濃度に対応して変化する電気量として読み取る電圧計7を備え構成される。
The
温度制御部70は、温度センサ3の信号を読み取る温度検出器8、および温度検出器8からの信号に基づき発熱体4の温度を予め設定された設定温度値に保つ発熱量制御器9を備え構成されている。
The
固体電解質膜2は、水素イオン導電性ポリマで構成され、その含水率はSF6ガス中の水分濃度と平衡状態となる。すなわち、ガス中の水分濃度が高くなると含水率が増加し、逆にガス中の水分濃度が低くなると含水率が低下する。固体電解質膜2の含水率が増加すると、固体電解質膜2の交流インピーダンスが低くなり、逆に固体電解質膜2の含水率が低下すると、固体電解質膜2の交流インピーダンスが高くなる。この固体電解質膜2には、例えばデュポン社の登録商標であるNafion(登録商標)を用いることができる。
The
多孔性電極1は、例えば白金を無電解メッキすることによって形成され、微視的には多孔性材である。このようなここで、このような多孔性材を用いるのは、ガス中の水分が固体電解質膜2 に浸透し易くするためである。
The
発熱体4は、ガス中の水分が固体電解質膜2 に浸透することを阻害しないように、多孔性電極1と同様の多孔性材もしくは細いワイヤー状の発熱体であるのが望ましい。
The heating element 4 is preferably a porous material similar to the
交流電源5としては、例えば50Hz、60Hzの商用電源等の交流電源を使用する。この交流電源5から分圧抵抗6を介して一対の多孔性電極1間に固着された固体電解質膜2に交流電圧を印加する。なお、固体電解質膜2に印加する交流電圧値は、水の電気分解が生じない程度の低電圧(約10mv〜約1V)とする。
As the AC power source 5, for example, an AC power source such as a commercial power source of 50 Hz or 60 Hz is used. An AC voltage is applied from the AC power source 5 to the
温度センサ3は、多孔性電極1を介して固体電解質膜2の温度を検出する。温度検出器8は、温度センサ3からの信号を読み取り発熱量制御器9に出力する。
The temperature sensor 3 detects the temperature of the
発熱量制御器9は、予め設定された設定温度値と検出された温度値とを比較して発熱体4へ流す電流を制御することにより、固体電解質膜2の温度を設定温度値に保つ。
The
つぎに、実施の形態にかかる水分濃度検出装置の動作について、図1〜図3を参照して説明する。図2は、ガス中の水分濃度と固体電解質膜の交流インピーダンスとの関係を示す図である。図2において、横軸はガス中の水分濃度を示し、縦軸は固体電解質膜2の交流インピーダンスを示している。図2に示す例では、環境温度を20℃とした例を示している。図2に示すように、ガス中の水分濃度が減少するに従い、交流インピーダンスが単調に増加する。
Next, the operation of the moisture concentration detection apparatus according to the embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 2 is a graph showing the relationship between the moisture concentration in the gas and the AC impedance of the solid electrolyte membrane. In FIG. 2, the horizontal axis indicates the moisture concentration in the gas, and the vertical axis indicates the AC impedance of the
図3は、交流電源の印加電圧に対する分圧抵抗の両端電圧の比率とガス中の水分濃度との関係を示す図である。図3において、横軸はガス中の水分濃度を示し、縦軸は交流電源5の印加電圧に対する分圧抵抗6の両端電圧の比率を示している。図3に示す例では、図2と同様に環境温度を20℃とした例を示し、分圧抵抗6として100kΩの抵抗素子を用いている。
FIG. 3 is a diagram showing the relationship between the ratio of the voltage across the voltage dividing resistor to the applied voltage of the AC power supply and the moisture concentration in the gas. In FIG. 3, the horizontal axis indicates the moisture concentration in the gas, and the vertical axis indicates the ratio of the voltage across the
固体電解質膜2の交流インピーダンスの変化を捉えるため、ガス絶縁機器10の外部に設けた分圧抵抗6の両端電圧を電圧計7で測定する。分圧抵抗6の抵抗値は一定(ここでは、100kΩ)であり、固体電解質膜2の交流インピーダンスがガス絶縁機器10内の水分濃度に対応して変化することから、分圧抵抗6の両端電圧がガス中の水分濃度に応じて変化する。
In order to capture the change in AC impedance of the
ここで、交流電源5の印加電圧をV、分圧抵抗6の両端電圧をv、固体電解質膜2の交流インピーダンスをZ、分圧抵抗6の抵抗値をR、固体電解質膜2と分圧抵抗6とで構成される直列回路に流れる電流をIとすると、各パラメータの関係は、次式(1)および(2)で表される。なお、交流電源5の印加電圧Vおよび分圧抵抗6の抵抗値Rは一定である。
v=RI ・・・(1)
V=(R+Z)I ・・・(2)
Here, the applied voltage of the AC power source 5 is V, the voltage across the
v = RI (1)
V = (R + Z) I (2)
したがって、交流電源5の印加電圧に対する分圧抵抗6の両端電圧の比率は、次式(3)で表すことができる。
v/V=R/(R+Z) ・・・(3)
Therefore, the ratio of the voltage across the
v / V = R / (R + Z) (3)
(3)式に示されるように、ガス中の水分濃度が低下して、固体電解質膜2の交流インピーダンスZが増加すると(図2参照)、分圧抵抗6の両端電圧vは逆に低下する。また、ガス中の水分濃度が増加して、固体電解質膜2の交流インピーダンスZが低下すると(図2参照)、分圧抵抗6の両端電圧vは逆に増加する。つまり、ガス中の水分濃度に応じて、分圧抵抗6の両端電圧が変化する。したがって、図3に示す交流電源5の印加電圧に対する分担抵抗6の両端電圧の比率とガス中の水分濃度との関係から、ガス中の水分濃度を求めることができる。
As shown in the equation (3), when the moisture concentration in the gas decreases and the AC impedance Z of the
例えば、ガス中の水分濃度が30ppmの低濃度である場合、固体電解質膜2の交流インピーダンスが大きくなり、交流電源5から供給される交流電圧の大部分が固体電解質膜2に分担され、図3中の縦軸に示す交流電源5の印加電圧に対する分圧抵抗6の両端電圧の比率は0.1以下となる。一方、ガス中の水分濃度が500ppmの高濃度である場合、固体電解質膜2の交流インピーダンスが逆に小さくなり、交流電源5から供給される交流電圧の大部分が分圧抵抗6に分担されるので、交流電源5の印加電圧に対する分圧抵抗6の両端電圧の比率は0.9以上となる。
For example, when the moisture concentration in the gas is a low concentration of 30 ppm, the AC impedance of the
一方、温度が高いほど固体電解質膜2の含水率が高くなり、それに伴い固体電解質膜2の交流インピーダンスは小さくなる。また、逆に、温度が低いほど固体電解質膜2の含水率が低くなり、それに伴い固体電解質膜2の交流インピーダンスは大きくなる。つまり、ガス中の水分濃度と固体電解質膜2の交流インピーダンスとの関係は、図2に示すように、温度が高くなると実線で示す矢印の方向に変化し、温度が低くなると、破線で示す矢印の方向に変化する。したがって、交流電源5の印加電圧に対する分圧抵抗6の両端電圧の比率とガス中の水分濃度との関係は、図3に示すように、温度が高くなると実線で示す矢印の方向に変化し、温度が低くなると、破線で示す矢印の方向に変化する。このため、環境温度の変化に伴いガス絶縁機器10内の温度が変化した場合、ガス中の水分濃度の測定結果が変化することとなる。つまり、ガス絶縁機器10内の温度を一定に保つようにすれば、ガス中の水分濃度の測定結果の変化を抑制することができる。
On the other hand, the higher the temperature, the higher the moisture content of the
なお、(3)式に示されるように、固体電解質膜2の交流インピーダンスZが小さくなると、交流電源5の印加電圧に対する分圧抵抗6の両端電圧の比率は1に収束し、固体電解質膜2の交流インピーダンスZが大きくなると、交流電源5の印加電圧に対する分圧抵抗6の両端電圧の比率は0に収束する。このため、図3に示すように、実線および破線で示した矢印の変化量は、交流電源5の印加電圧に対する分圧抵抗6の両端電圧の比率が0.5付近である場合に大きくなり、比率が0.5から離れるに従い小さくなる。つまり、交流電源5の印加電圧に対する分圧抵抗6の両端電圧の比率が0.5付近である場合に、環境温度の変化によるガス中の水分濃度の測定結果の変化量が最も大きくなる。
As shown in the equation (3), when the AC impedance Z of the
また、特にガス中の水分濃度が低濃度(例えば、十数ppm程度)である場合は、固体電解質膜2の交流インピーダンスが高くなり、常温(例えば、20℃)環境下において数MΩ〜数十MΩにまで達するため、分圧抵抗6の抵抗値(ここでは100kΩ)に対して極めて大きな値となる。また、固体電解質膜2に印加する交流電圧値は、水の電気分解が生じない程度の低電圧(約10mv〜約1V)とする必要があるため、固体電解質膜2と分圧抵抗6とで構成される直列回路に流れる電流値は、数百pA〜数百nAと極めて小さな値となる。このため、電圧計7に流れる電流や測定環境におけるノイズの影響も無視できなくなる。
In particular, when the moisture concentration in the gas is low (for example, about several tens of ppm), the AC impedance of the
したがって、実施の形態にかかる水分濃度検出装置では、固体電解質膜2の温度が一定の高温となるように、発熱量制御器9に予め設定される設定温度値を設定し、この設定温度値と検出された固体電解質膜2の温度値とを比較して発熱体4へ流す電流を制御することにより、固体電解質膜2の温度を一定の高温に保つようにしている。これにより、環境温度の変化によりガス中の水分濃度の測定結果が変化することを抑制することができる。
Therefore, in the moisture concentration detection apparatus according to the embodiment, a preset temperature value set in advance in the heat
なお、設定温度値は、ガス絶縁機器10が設置される環境において想定されるガス絶縁機器10内の最高温度以上に設定するのが好ましい。これにより、固体電解質膜2の交流インピーダンスは、ガス絶縁機器が設置される環境の温度変化に依存することなく、ガス中の水分濃度のみに応じて変化するため、固体電解質膜2の交流インピーダンスの温度依存性による影響を排除することができる。
The set temperature value is preferably set to be equal to or higher than the maximum temperature in the
また、設定温度値がガス絶縁機器10内の最高温度より低い場合でも、設定温度値がガス絶縁機器10内の最高温度の近傍であれば、固体電解質膜2の温度の上昇幅は、発熱体4および温度制御部70を具備していない場合と比較するとより小さくなる。したがって、発熱体4および温度制御部70を具備する効果は大きいと言える。
Even when the set temperature value is lower than the maximum temperature in the
また、固体電解質膜の温度を常に一定の高温に保つことにより、固体電解質膜2の含水率の上昇に伴い固体電解質膜2の交流インピーダンスが下がり、固体電解質膜2と分圧抵抗6とで構成される直列回路に流れる電流値が大きくなるため、高精度に水分濃度を測定することが可能となる。
Further, by always keeping the temperature of the solid electrolyte membrane at a constant high temperature, the alternating current impedance of the
以上のように、本発明の実施の形態にかかる水分濃度検出装置によれば、固体電解質膜の温度を一定の高温に保つようにしたので、環境温度の変化によりガス中の水分濃度の測定結果が変化することを抑制することができる。 As described above, according to the moisture concentration detection apparatus according to the embodiment of the present invention, the temperature of the solid electrolyte membrane is kept at a constant high temperature, so the measurement result of the moisture concentration in the gas due to the change in the environmental temperature. Can be prevented from changing.
さらに、設定温度値をガス絶縁機器が設置される環境において想定されるガス絶縁機器内の最高温度以上に設定することにより、固体電解質膜の交流インピーダンスは、ガス絶縁機器が設置される環境の温度変化に依存することなく、ガス中の水分濃度のみに応じて変化するため、固体電解質膜の交流インピーダンスの温度依存性による影響を排除し、より安定して水分濃度を検出することが可能となる。 Furthermore, the AC impedance of the solid electrolyte membrane is set to the temperature of the environment in which the gas insulation device is installed by setting the set temperature value to be higher than the maximum temperature in the gas insulation device assumed in the environment in which the gas insulation device is installed. Since it changes only depending on the moisture concentration in the gas without depending on the change, it is possible to eliminate the influence due to the temperature dependence of the AC impedance of the solid electrolyte membrane and to detect the moisture concentration more stably. .
また、固体電解質膜の温度を常に一定の高温に保つことにより、固体電解質膜の含水率の上昇に伴い固体電解質膜の交流インピーダンスが下がり、固体電解質膜に流れる電流値が大きくなるため、高精度に水分濃度を測定することができる。 In addition, by maintaining the temperature of the solid electrolyte membrane at a constant high temperature, the AC impedance of the solid electrolyte membrane decreases as the moisture content of the solid electrolyte membrane increases, and the value of the current flowing through the solid electrolyte membrane increases. The moisture concentration can be measured.
なお、実施の形態では、一対の多孔性電極の一方に発熱体を備え、多孔性電極の他方に温度センサを多孔性電極上に備える例について説明したが、多孔性電極の一方に発熱体および温度センサを取り付けることも可能である。この場合は、発熱体の温度が直接温度センサに伝わらないように、発熱体と温度センサとの間の距離を離して設置するのが好ましい。 In the embodiment, the example in which the heating element is provided on one of the pair of porous electrodes and the temperature sensor is provided on the porous electrode on the other of the porous electrodes has been described. It is also possible to attach a temperature sensor. In this case, it is preferable to install the heating element at a distance from the temperature sensor so that the temperature of the heating element is not directly transmitted to the temperature sensor.
また、例えば、多孔性電極及び固体電解質膜をガス絶縁機器内に通気可能に設けられた容器内に収容し、発熱体および温度センサをその容器内に配置して、その容器内の温度を一定の温度に保つように構成しても、実施の形態と同様の効果を得ることができる。 In addition, for example, the porous electrode and the solid electrolyte membrane are accommodated in a container provided to be able to vent into the gas insulating device, and the heating element and the temperature sensor are arranged in the container, and the temperature in the container is kept constant. Even if it is configured to maintain the temperature, the same effect as in the embodiment can be obtained.
また、以上の実施の形態に示した構成は、本発明の構成の一例であり、別の公知の技術と組み合わせることも可能であるし、本発明の要旨を逸脱しない範囲で、一部を省略する等、変更して構成することも可能であることは言うまでもない。 The configurations described in the above embodiments are examples of the configurations of the present invention, and can be combined with other known techniques, and a part of the configurations is omitted without departing from the gist of the present invention. Needless to say, it is possible to change the configuration.
以上のように、本発明にかかる水分濃度検出装置は、環境温度の変化によるガス中の水分濃度の測定結果の変化を抑制すると共に、高精度に水分濃度を測定することができる発明として有用である。 As described above, the moisture concentration detection device according to the present invention is useful as an invention capable of suppressing the change in the measurement result of the moisture concentration in the gas due to the change in the environmental temperature and measuring the moisture concentration with high accuracy. is there.
1 多孔性電極
2 固体電解質膜
3 温度センサ
4 発熱体
5 交流電源
6 分圧抵抗
7 電圧計
8 温度検出器
9 発熱量制御器
10 ガス絶縁機器
60 計測部
70 温度制御部
DESCRIPTION OF
Claims (6)
前記多孔性電極間に固着された固体電解質膜と、
前記ガス絶縁機器内に設けられた発熱体と、
前記ガス絶縁機器内に設けられた温度センサと、
前記多孔性質電極間に交流電圧を印加するとともに、前記ガス絶縁機器内の水分濃度に対応して変化する電極間電気量を計測する計測部と、
前記温度センサからの温度を検出し、前記発熱体の温度を制御して、前記固体電解質膜の温度を予め設定された一定の設定温度に保つ温度制御部と、
を備える
ことを特徴とする水分濃度検出装置。 A pair of porous electrodes installed in and opposed to each other in a gas insulating device;
A solid electrolyte membrane fixed between the porous electrodes;
A heating element provided in the gas insulating device;
A temperature sensor provided in the gas insulation device;
A measurement unit that applies an alternating voltage between the porous electrodes and measures an electrical quantity between electrodes that changes in accordance with a moisture concentration in the gas insulating device,
Detecting a temperature from the temperature sensor, controlling a temperature of the heating element, and maintaining a temperature of the solid electrolyte membrane at a preset constant temperature; and
A moisture concentration detection device comprising:
一対の前記多孔性電極、前記固体電解質膜、前記発熱体、および前記温度センサは、前記容器内に収容されることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の水分濃度検出装置。 Further comprising a container provided in the gas insulating device so as to allow ventilation,
The moisture concentration detection according to any one of claims 1 to 5, wherein the pair of the porous electrodes, the solid electrolyte membrane, the heating element, and the temperature sensor are accommodated in the container. apparatus.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2010128083A JP5274515B2 (en) | 2010-06-03 | 2010-06-03 | Moisture concentration detector |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
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JP2011252847A true JP2011252847A (en) | 2011-12-15 |
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ID=45416885
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
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Country Status (1)
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