JP2011236900A - Vacuum pump stage - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vacuum pump stage having compression and evacuation speed not only within a viscous flow but also within a molecular flow.SOLUTION: In order to provide the vacuum pump stage having the compression and evacuation speed not only within the viscous flow but also within the molecular flow, the vacuum pump stage is characterized in that a rotor has structural elements (114, 116), a pumping action is generated based on Gaede within the viscous flow, and the pumping action is generated based on a side-channel principle within the higher pressure by these component elements.

Description

本発明は、請求項１の上位概念に記載の真空ポンプ段に関するものである。   The invention relates to a vacuum pump stage according to the superordinate concept of claim 1.

多くの工業プロセスは、分子流れ範囲内の真空条件下で行われる。このような真空条件を発生するために、真空ポンプまたは真空ポンプから構成された真空ポンプ・スタンドが使用される。真空ポンプ内においては、ガスを希望の最終真空から大気まで圧縮するために、異なる圧力範囲に適合された、異なる作動原理に基づく真空ポンプ段が使用される。   Many industrial processes are performed under vacuum conditions within the molecular flow range. In order to generate such a vacuum condition, a vacuum pump stand comprising a vacuum pump or a vacuum pump is used. Within the vacuum pump, vacuum pump stages based on different operating principles, adapted to different pressure ranges, are used to compress the gas from the desired final vacuum to the atmosphere.

大気に向けて圧縮するときには、例えばサイド・チャネル・ポンプ段が使用される。サイド・チャネル・ポンプ段内において、羽根はチャネル内を円運動し、且つ入口および出口間で渦巻状のガス流れを供給する。ガス流れは円運動をするときに羽根に追従し、且ついわゆるスクレーパにおいて剥離されて出口に供給される。この原理に基づいて形成されたポンプ段は、粘性流れ範囲内においてのみ作動し、分子流れへの移行においては、渦巻状のガス流れがもはや発生可能ではないので、きわめて急速に圧縮および排気速度を失うということが欠点である。   When compressing towards the atmosphere, for example, side channel pump stages are used. Within the side channel pump stage, the vanes move circularly in the channel and provide a spiral gas flow between the inlet and outlet. The gas flow follows the blades when making a circular motion, and is separated by a so-called scraper and supplied to the outlet. Pump stages built on this principle operate only in the viscous flow range, and in the transition to molecular flow, the spiral gas flow can no longer be generated, so the compression and pumping speeds are increased very rapidly. Losing is a drawback.

粘性流れ範囲に隣接する分子範囲のきわめて低い絶対圧力においては、特にゲーデ（Ｇａｅｄｅ）ポンプ段が使用される。圧縮および排気速度は分子条件下においてのみ良好であり、且つ粘性範囲内においては圧縮および排気速度がきわめて急速に低下することがゲーデ・ポンプ段の欠点である。   At very low absolute pressures in the molecular range adjacent to the viscous flow range, Gaede pump stages are used in particular. The disadvantage of the Gede pump stage is that the compression and pumping speeds are good only under molecular conditions and that the compression and pumping speeds drop very rapidly within the viscosity range.

真空ポンプはしばしばサイクル運転で使用されるので、上記の欠点は厳しくなり、したがって、個々のポンプ段は、全運転期間において、しばしば、それが最適ではない流れ範囲内において作動することになる。   Since vacuum pumps are often used in cycle operation, the above drawbacks become severe and therefore individual pump stages often operate within the flow range where it is not optimal during the entire operation period.

したがって、本発明の課題は、粘性流れ範囲内においてのみならず、分子流れ範囲内においてもまた、圧縮および排気速度を有する真空ポンプ段を提供することである。   Accordingly, it is an object of the present invention to provide a vacuum pump stage having compression and pumping rates not only in the viscous flow range but also in the molecular flow range.

この課題は、請求項１の特徴を有する真空ポンプ段により解決される。従属請求項２−７は有利な変更態様を与える。
請求項１の特徴を有する真空ポンプ段は、粘性流れ範囲内においてのみならず、分子流れ範囲内においてもまた、圧縮および排気速度を有している。したがって、この真空ポンプ段は、両方の流れ範囲内において、およびそれらの間の移行範囲内において使用可能であることが有利である。 This problem is solved by a vacuum pump stage having the features of claim 1. The dependent claims 2-7 provide advantageous modifications.
The vacuum pump stage having the features of claim 1 has compression and pumping rates not only in the viscous flow range but also in the molecular flow range. This vacuum pump stage is therefore advantageously usable in both flow ranges and in the transition range between them.

請求項２−４に記載の変更態様は、構造要素が低コストで製造可能であるので有利である。
請求項５に記載のように、ロータ・ディスクの面内にロータ部分の構造要素を配置することは、好ましい質量分布が存在するので、製造上有利であるばかりでなく、ロータの動特性においても有利である。さらに、ガス流れにより対称の力が発生する。 The modification according to claims 2-4 is advantageous because the structural element can be manufactured at low cost.
The arrangement of the structural elements of the rotor part in the plane of the rotor disk as claimed in claim 5 is advantageous not only in manufacturing, but also in the dynamic characteristics of the rotor, because of the preferred mass distribution. It is advantageous. Furthermore, a symmetrical force is generated by the gas flow.

請求項６および７に記載の真空ポンプは、ゲーデ段またはサイド・チャネル段を有する真空ポンプ段に比較して、圧縮経過および排気速度特性に基づいてより低い有利な電力消費を特徴とする。   The vacuum pumps according to claims 6 and 7 are characterized by a lower advantageous power consumption based on the compression course and pumping speed characteristics compared to a vacuum pump stage having a Gode stage or a side channel stage.

実施例およびそれらの変更態様に基づき、本発明を詳細に説明し且つそれらの利点を解明することとする。   Based on the examples and their modifications, the present invention will be described in detail and their advantages will be elucidated.

図１は、ロータ部分および構造要素を有する真空ポンプ段の断面図を示す。FIG. 1 shows a cross-sectional view of a vacuum pump stage having a rotor portion and structural elements. 図２は、第２の実施例によるロータ部分内構造要素の展開図を示す。FIG. 2 shows an exploded view of the structural elements in the rotor part according to the second embodiment. 図３は、第２の実施例によるロータ部分内構造要素の断面図を示す。FIG. 3 shows a cross-sectional view of the structural elements in the rotor part according to the second embodiment. 図４は、第３の実施例によるロータ部分内構造要素の展開図を示す。FIG. 4 shows an exploded view of the structural elements in the rotor portion according to the third embodiment. 図５は、第３の実施例によるロータ部分内構造要素の断面図を示す。FIG. 5 shows a cross-sectional view of a rotor internal structural element according to a third embodiment. 図６は、多段真空ポンプの略断面図を示す。FIG. 6 shows a schematic cross-sectional view of a multistage vacuum pump. 図７は、従来技術および本真空ポンプ段の圧縮経過の比較線図を示す。FIG. 7 shows a comparison diagram of the compression course of the prior art and the present vacuum pump stage.

図１に示す真空ポンプ段１００はハウジング１０２を有している。ハウジング内に入口１０４が設けられ、入口からガスが真空ポンプ段内に吸い込まれる。真空ポンプ段の内部で供給されたガスは出口１０６から排出される。入口および出口はチャネル１０８により相互に結合されている。このチャネル内に、ハウジング内に回転可能に配置されたロータ１１２がロータ部分を入り込ませ、この場合、チャネルおよびロータ部分は協働してポンプ作用を発生する。ロータ部分は、ロータの回転軸から半径方向に見てチャネルの内側限界１１８を超えてチャネル内に突出するロータの部分を含む。図１に示す実施例においては、ロータ部分は、構造要素、即ち羽根１１４および少なくとも１つの平滑部分１１６により形成される。平滑部分はロータの１つの領域により形成され、この領域は、羽根底半径１２０を超えて外半径１２２まで突出し、且つ周囲に沿ってある角度範囲１２４にわたって伸長する。羽根底半径は、ほぼチャネルの内側限界の半径付近に存在する。外半径は、一方ではスクレーパ１１０に対して小さい隙間のみを残し、他方ではチャネル深さ１２６の一部のみが利用されるように選択されている。スクレーパは、ロータ部分において同伴されたガス流れを分離し、且つ入口と出口との間の直接流れを阻止する。平滑部分は、分子流れ範囲内において、チャネルと協働して圧縮および排気速度を発生し、且つゲーデの原理に基づいて作動する。羽根１１４は、粘性流れ範囲内において、チャネルと協働するサイド・チャネル・ポンプ構造として作動する。   The vacuum pump stage 100 shown in FIG. An inlet 104 is provided in the housing from which gas is drawn into the vacuum pump stage. The gas supplied inside the vacuum pump stage is discharged from the outlet 106. The inlet and outlet are coupled to each other by a channel 108. In this channel, a rotor 112, which is rotatably arranged in the housing, encloses the rotor part, in which case the channel and the rotor part cooperate to generate a pumping action. The rotor portion includes the portion of the rotor that protrudes into the channel beyond the inner limit 118 of the channel when viewed radially from the axis of rotation of the rotor. In the embodiment shown in FIG. 1, the rotor portion is formed by structural elements, ie blades 114 and at least one smooth portion 116. The smooth portion is formed by one region of the rotor that projects beyond the blade bottom radius 120 to the outer radius 122 and extends over a range of angles 124 along the circumference. The blade bottom radius is approximately near the inner limit radius of the channel. The outer radius is selected such that on the one hand only a small gap is left with respect to the scraper 110 and on the other hand only a part of the channel depth 126 is used. The scraper separates the entrained gas flow in the rotor portion and prevents direct flow between the inlet and outlet. The smooth part, in the molecular flow range, cooperates with the channel to generate compression and evacuation velocities and operates on the principle of Gede. The vanes 114 operate as side channel pump structures that cooperate with the channels in the viscous flow range.

複数の平滑部分が、質量平衡が得られるようにロータの周囲にわたって分配されることが有利である。これは、例えば、向かい合う２つの平滑部分によって達成される。さらに、この形態は、羽根および平滑部分の寸法が、向かい合うそれぞれの質量の値が一致するように決定されることにより、改良可能であることは有利である。   Advantageously, a plurality of smooth portions are distributed over the circumference of the rotor so that mass balance is obtained. This is achieved, for example, by two smooth portions facing each other. Furthermore, it is advantageous that this configuration can be improved by determining the dimensions of the blade and the smooth part so that the respective mass values facing each other coincide.

このようなロータの製造は、例えば、はじめに中実ディスクが製造され、中実ディスクから複数の羽根が鋸引きにより削り出されるので、コスト的に有利である。平滑部分の範囲内においては、鋸引きによる削り出しが不要である。   The manufacture of such a rotor is advantageous in terms of cost because, for example, a solid disk is first manufactured and a plurality of blades are cut out from the solid disk by sawing. In the range of the smooth portion, cutting by sawing is unnecessary.

一変更態様において、チャネルが、図示のようにディスク面内に配置されず、軸方向にオフセットされて配置されている。このとき、羽根および平滑部分は図面平面から飛び出している。   In one variation, the channels are not arranged in the disk plane as shown, but are offset in the axial direction. At this time, the blade and the smooth portion protrude from the drawing plane.

次に、第２の実施例を図２および３により説明する。図２にチャネルおよびロータ部分が展開図で示され、図３は線Ｉ−Ｉ′による断面図を示す。
ハウジング２０２内に、チャネル深さ２２６をもつチャネル２０８が設けられている。チャネルの内側限界２１８を超えてロータ部分がチャネル内に入り込んでいる。チャネル内に、構造要素として羽根２１４が設けられ、羽根はロータの回転によりチャネル内を円運動する。羽根は運動方向に厚さ２２８を有している。羽根の少なくとも１つは、次の羽根との間隔２３０の約１／５より大きい厚さを有している。この厚さにより、チャネル壁２４０、２４２および２４４に向かい合う羽根表面２５０、２５２および２５４は、分子流れ範囲内において、ゲーデ・ポンプ構造のように作動する。粘性流れ範囲内においては、ロータ部分は羽根によりサイド・チャネル・ポンプ段として作動する。この場合もまた、他の２つの例で説明したように、チャネルがロータの面２３４に対して軸方向にオフセットされて配置されていてもよい。このとき、構造要素は、図においてロータの横の左側または右側に配置されている。しかしながら、ロータ動特性を改善するために、構造要素特に羽根２１４をロータ２１２の面２３４内に存在するように配置することが有利である。これは、質量分布および作用力に関して有利である。 Next, a second embodiment will be described with reference to FIGS. FIG. 2 shows the channel and rotor portions in a developed view, and FIG. 3 shows a cross-sectional view along line II ′.
A channel 208 having a channel depth 226 is provided in the housing 202. The rotor portion enters the channel beyond the inner limit 218 of the channel. A vane 214 is provided as a structural element in the channel, and the vane moves circularly in the channel by the rotation of the rotor. The vanes have a thickness 228 in the direction of movement. At least one of the vanes has a thickness greater than about 1/5 of the spacing 230 with the next vane. This thickness causes the vane surfaces 250, 252 and 254 facing the channel walls 240, 242 and 244 to act like a Gede pump structure within the molecular flow range. Within the viscous flow range, the rotor portion operates as a side channel pump stage with vanes. Again, as described in the other two examples, the channels may be arranged axially offset with respect to the rotor surface 234. At this time, the structural elements are arranged on the left or right side of the rotor in the drawing. However, in order to improve the rotor dynamics, it is advantageous to arrange the structural elements, in particular the blades 214, so that they lie in the face 234 of the rotor 212. This is advantageous with regard to mass distribution and acting force.

一変更態様において、少なくとも１つの羽根２１４が、次の羽根との間隔２３０とほぼ同じ厚さまたはそれより大きい厚さを有している。
他の一実施例が図４および５に示されている。図４に、チャネルおよびロータ部分が展開図で示され、図５は線ＩＩ−ＩＩ′による断面図を示す。 In one variation, at least one blade 214 has a thickness that is approximately the same as or greater than the spacing 230 with the next blade.
Another embodiment is shown in FIGS. In FIG. 4, the channel and rotor portions are shown in a developed view, and FIG. 5 shows a cross-sectional view along line II-II ′.

ここでは、ハウジング３０２内にチャネル３０８が設けられ、チャネルは、回転軸への方向に内側限界３１８によって制限される。ロータ部分内に構造要素として羽根３１４が設けられ、羽根は、粘性流れ範囲内において、サイド・チャネル・ポンプ作用を導く。さらに、ロータ部分はベース・ウェブ３４０を有し、ベース・ウェブは、内側限界を超えてチャネル内に入り込んでいる。図５の断面図に、ベース・ウェブ高さ３３２をもつベース・ウェブが内側限界を超えて突出していることが示されている。これにより、ベース・ウェブの側面３４２はチャネル内を円運動する。側面は、分子流れ範囲内において、チャネル壁と協働してゲーデ・ポンプ段として作動する。この場合もまた、他の２つの例で既に説明したように、チャネルはロータの面３３４に対して軸方向にオフセットされて配置されていてもよい。このとき、構造要素は、図においてロータの横の左側または右側に配置されている。しかしながら、構造要素即ちベース・ウェブおよび羽根は、ディスク形ロータ３１２の面３３４内に存在することが有利であり、これにより、ロータの動特性はより良好となる。   Here, a channel 308 is provided in the housing 302 and the channel is limited by an inner limit 318 in the direction towards the axis of rotation. Vanes 314 are provided as structural elements in the rotor part, and the vanes guide side channel pumping in the viscous flow range. In addition, the rotor portion has a base web 340 that extends into the channel beyond the inner limit. The cross-sectional view of FIG. 5 shows that a base web having a base web height 332 protrudes beyond the inner limit. This causes the base web side 342 to move circularly within the channel. The side acts as a Gede pump stage in cooperation with the channel wall within the molecular flow range. Again, as already described in the other two examples, the channels may be arranged axially offset with respect to the rotor face 334. At this time, the structural elements are arranged on the left or right side of the rotor in the drawing. However, the structural elements, i.e. the base web and the vanes, are advantageously present in the face 334 of the disk-shaped rotor 312 so that the dynamic characteristics of the rotor are better.

一変更態様において、ベース・ウェブは、ロータの周囲の一部に沿ってのみ設けられている。
実施例の個々の手段は組み合わされてもよい。即ち、それにより、分子流れ範囲内においてはゲーデに基づくポンプ作用が発生され、およびより高い圧力範囲内においてはサイド・チャネル原理に基づくポンプ作用が発生される構造要素をロータ部分内に形成するために、ベース・ウェブが、より厚い羽根および／または平滑部分と共に利用されてもよい。 In one variation, the base web is provided only along a portion of the circumference of the rotor.
The individual means of the embodiments may be combined. That is, it forms a structural element in the rotor part that generates pumping based on Gede in the molecular flow range and pumps based on the side channel principle in the higher pressure range. In addition, the base web may be utilized with thicker blades and / or smooth portions.

上記の形態の有利な作用が、図７の測定曲線から明らかである。それぞれそれらの最大値に正規化された４つの測定曲線が示されている。ゼロ流量における圧縮、即ち、ポンプ段入口からのガス流れなしに測定された、出口圧力の入口圧力に対する比が、背圧に対して示されている。   The advantageous effect of the above form is evident from the measurement curve of FIG. Four measurement curves are shown, each normalized to their maximum value. The ratio of outlet pressure to inlet pressure, measured without compression at zero flow, ie without gas flow from the pump stage inlet, is shown against back pressure.

曲線７０は純ゲーデ・ポンプ段に対する経過を示す。分子流れ範囲内においては、より急な上昇が観察され、一方、より高い圧力に対して、特に１ｈＰａ以上においては、顕著な圧縮が発生していない。   Curve 70 shows the course for a pure Gede pump stage. Within the molecular flow range, a sharper rise is observed, while no significant compression has occurred for higher pressures, especially at 1 hPa and above.

曲線７２は純サイド・チャネル・ポンプ段の経過を示す。ここでは、圧縮はより高い圧力においてその最大値に到達する。
曲線７４は図１に示す平滑部分をもつ実施例に対する圧縮経過を示し、曲線７６は図２および３に示す厚い羽根をもつ実施例に対する経過を示す。 Curve 72 shows the course of the pure side channel pump stage. Here, compression reaches its maximum at higher pressures.
Curve 74 shows the compression course for the embodiment with the smooth portion shown in FIG. 1, and curve 76 shows the course for the embodiment with thick vanes shown in FIGS.

これらの曲線経過は、実施例に示す形状を使用することにより、分子流れ範囲７８内においてのみならず、粘性流れ範囲８０内においてもまた、圧縮が達成されることが有利であることを表わす。この圧縮は、分子流れ範囲内においては純サイド・チャネル・ポンプ段よりも良好であり、粘性流れ範囲内においては純ゲーデ段よりも良好である。   These curve courses show that it is advantageous that compression is achieved not only in the molecular flow range 78 but also in the viscous flow range 80 by using the shapes shown in the examples. This compression is better than the pure side channel pump stage in the molecular flow range and better than the pure Gode stage in the viscous flow range.

図６に、上記の真空ポンプ段の利点が特に顕著である真空ポンプ６００が、原理構造図で示されている。
真空ポンプのハウジング６０２内に軸６４０が設けられ、軸は軸受６５０および６５２により回転可能に支持される。軸受は、グリス潤滑またはオイル潤滑の転がり軸受、ガス軸受、滑り軸受または磁気軸受であってもよい。これらの軸受構造形式は混在して使用されてもよく、この場合、オイル等のような潤滑剤は、むしろ、軸受６５２の側に見られる背圧の範囲内において使用される。 FIG. 6 shows a principle structure diagram of a vacuum pump 600 in which the advantages of the above-described vacuum pump stage are particularly remarkable.
A shaft 640 is provided in the vacuum pump housing 602, and the shaft is rotatably supported by bearings 650 and 652. The bearing may be a grease lubricated or oil lubricated rolling bearing, a gas bearing, a sliding bearing or a magnetic bearing. These bearing structure types may be used in combination, and in this case, a lubricant such as oil or the like is rather used within the range of back pressure found on the bearing 652 side.

ポンプ入口６８０からガスが真空ポンプ内に流入し、且つ高真空ポンプ段６２０に到達する。高真空ポンプ段はホルベック・ポンプ段またはターボ分子ポンプ段として形成されていることが有利であり、且つそれ自身多段として形成されていてもよい。これらの個々の段内に異なるポンプ原理が使用されてもよい。高真空ポンプ段の出口６２２からガスが流出し、且つ多重範囲段６１０の入口６０４に到達し、多重範囲段は図１−５に記載のデータに基づいて形成されている。   Gas flows from the pump inlet 680 into the vacuum pump and reaches the high vacuum pump stage 620. The high vacuum pump stage is advantageously formed as a Holbeck pump stage or a turbomolecular pump stage and may itself be formed as multiple stages. Different pumping principles may be used within these individual stages. Gas exits from the outlet 622 of the high vacuum pump stage and reaches the inlet 604 of the multi-range stage 610, which is formed based on the data described in FIGS. 1-5.

入口６０４は吸込開口６１２とガス流れ結合をなしているので、多重範囲段６１０は、この吸込開口からのみならず、高真空ポンプ段の出口６２２からもまたガスを吸い込む。多重範囲段内で圧縮されたガスは出口６０６から排出され、且つ背圧段６３０に供給される。背圧段はサイド・チャネル・ポンプ段として形成されていることが有利であり、それ自身、複数のポンプ段を含んでいてもよい。ポンプ出口６８２を通過して、ガスは、真空ポンプから、例えば大気にまたは背圧ポンプへの供給配管内に排出される。   Because the inlet 604 is in gas flow coupling with the suction opening 612, the multi-range stage 610 sucks gas not only from this suction opening, but also from the outlet 622 of the high vacuum pump stage. The gas compressed in the multi-range stage is discharged from the outlet 606 and supplied to the back pressure stage 630. The back pressure stage is advantageously formed as a side channel pump stage and may itself comprise a plurality of pump stages. Passing through the pump outlet 682, the gas is discharged from the vacuum pump, for example, to the atmosphere or into the supply piping to the back pressure pump.

ポンプ段６１０、６２０および６３０は駆動手段６６０により共通に駆動される。
この装置により、多重範囲段は、純ゲーデ・ポンプ段または純サイド・チャネル・ポンプ段よりも、単位消費電力当たり、より良好な圧縮特性および排気速度特性を有する圧力範囲および流れ範囲内において作動することが有利である。 Pump stages 610, 620 and 630 are commonly driven by drive means 660.
With this arrangement, multiple range stages operate in pressure and flow ranges with better compression and pumping speed characteristics per unit of power consumption than pure Gede pump stages or pure side channel pump stages. It is advantageous.

７０ 純ゲーデ・ポンプ段に対する経過
７２ 純サイド・チャネル・ポンプ段の経過
７４ 平滑部分をもつ実施例に対する圧縮経過
７６ 厚い羽根をもつ実施例に対する経過
７８ 分子流れ範囲
８０ 粘性流れ範囲
１００、６１０ 真空ポンプ段（多重範囲段）
１０２、２０２、３０２、６０２ ハウジング
１０４、６０４ 入口
１０６、６０６ 出口
１０８、２０８、３０８ チャネル
１１０ スクレーパ
１１２、２１２、３１２ ロータ
１１４、２１４、３１４ 羽根（構造要素）
１１６ 平滑部分（構造要素）
１１８、２１８、３１８ チャネルの内側限界
１２０ 羽根底半径
１２２ 外半径
１２４ 角度範囲
１２６、２２６ チャネル深さ
２２８ 厚さ
２３０ 間隔
２３４、３３４ ロータの面
２４０、２４２、２４４ チャネル壁
２５０、２５２、２５４ 羽根表面
３３２ ベース・ウェブ高さ
３４０ ベース・ウェブ（構造要素）
３４２ ベース・ウェブの側面
６００ 真空ポンプ
６１２ 吸込開口
６２０ 高真空側ポンプ段（高真空ポンプ段）
６２２ 高真空側ポンプ段の出口
６３０ 大気側ポンプ段（背圧段）
６４０ 軸
６５０、６５２ 軸受
６６０ 駆動手段
６８０ ポンプ入口
６８２ ポンプ出口
Ｋ０ 圧縮
ｐ 背圧 70 Progress for a pure Gede pump stage 72 Progress for a pure side channel pump stage 74 Compression course for an embodiment with smooth parts 76 Progress for an embodiment with thick vanes 78 Molecular flow range 80 Viscous flow range 100, 610 Vacuum pump Stage (multi-range stage)
102, 202, 302, 602 Housing 104, 604 Inlet 106, 606 Outlet 108, 208, 308 Channel 110 Scraper 112, 212, 312 Rotor 114, 214, 314 Blade (structural element)
116 Smooth part (structural element)
118, 218, 318 Channel inner limits 120 Blade bottom radius 122 Outer radius 124 Angular range 126, 226 Channel depth 228 Thickness 230 Spacing 234, 334 Rotor face 240, 242, 244 Channel wall 250, 252, 254 Blade surface 332 Base web height 340 Base web (structural element)
342 Side surface of base web 600 Vacuum pump 612 Suction opening 620 High vacuum side pump stage (high vacuum pump stage)
622 High vacuum side pump stage outlet 630 Atmospheric side pump stage (back pressure stage)
640 Shaft 650, 652 Bearing 660 Driving means 680 Pump inlet 682 Pump outlet K 0 compression p Back pressure

Claims (7)

入口（１０４；６０４）、出口（１０６；６０６）、ロータ（１１２；２１２；３１２）およびチャネル（１０８；２０８；３０８）を備え、この場合、ロータはロータ部分をチャネル内に入り込ませ、且つロータ部分とチャネルとの協働によりポンプ作用が達成され、および
入口と出口との間に配置されたスクレーパ（１１０）を備えた、真空ポンプ段（１００；６１０）において、
前記ロータ部分が構造要素（１１４、１１６；２１４；３１４、３４０）を有し、これらの構造要素により、分子流れ範囲内においてはゲーデ（Ｇａｅｄｅ）に基づくポンプ作用が発生され、およびより高い圧力範囲内においてはサイド・チャネル原理に基づくポンプ作用が発生されることを特徴とする真空ポンプ段。 An inlet (104; 604), an outlet (106; 606), a rotor (112; 212; 312) and a channel (108; 208; 308), wherein the rotor causes the rotor portion to enter the channel and the rotor In a vacuum pump stage (100; 610), wherein the pumping action is achieved by the cooperation of the part and the channel and comprises a scraper (110) arranged between the inlet and the outlet,
The rotor part has structural elements (114, 116; 214; 314, 340), which generate a pumping action based on Gaede in the molecular flow range and a higher pressure range. Inside, a vacuum pump stage characterized in that a pumping action based on the side channel principle is generated. 前記構造要素が羽根（１１４；２１４；３１４）を含み、この場合、少なくとも１つの羽根（２１４）が、次の羽根との間隔（２３０）の約１／５より大きい厚さを有することを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ段。 The structural element includes a blade (114; 214; 314), wherein at least one blade (214) has a thickness greater than about 1/5 of the spacing (230) with the next blade. The vacuum pump stage according to claim 1. 前記構造要素が羽根（１１４；２１４；３１４）を含み、この場合、少なくとも１つの羽根（２１４）が、次の羽根との間隔（２３０）と同じ厚さまたはそれより大きい厚さを有することを特徴とする請求項１に記載の真空ポンプ段。 The structural element comprises a blade (114; 214; 314), wherein at least one blade (214) has a thickness equal to or greater than the spacing (230) with the next blade; The vacuum pump stage according to claim 1, wherein 前記構造要素がベース・ウェブ（３４０）を含み、ベース・ウェブはチャネル内に入り込んでいることを特徴とする請求項１ないし３のいずれかに記載の真空ポンプ段。 4. A vacuum pump stage according to any one of the preceding claims, wherein the structural element comprises a base web (340), the base web entering the channel. 前記構造要素（１１４、１１６；２１４；３１４、３４０）がほぼロータ（１１２；２１２；３１２）の面（２３４；３３４）内に存在するように配置されていることを特徴とする請求項１ないし４のいずれかに記載の真空ポンプ段。 The structural elements (114, 116; 214; 314, 340) are arranged so as to be substantially in the plane (234; 334) of the rotor (112; 212; 312). The vacuum pump stage according to any one of 4. 真空ポンプが、高真空側ポンプ段（６２０）と大気側ポンプ段（６３０）との間のガス流れ内に配置されている、請求項１ないし５のいずれかに記載の真空ポンプ段（６１０）を含むことを特徴とする真空ポンプ（６００）。 The vacuum pump stage (610) according to any of the preceding claims, wherein a vacuum pump is arranged in the gas flow between the high vacuum side pump stage (620) and the atmosphere side pump stage (630). A vacuum pump (600) comprising: 前記真空ポンプ段（６１０）が、吸込開口（６１２）および高真空側ポンプ段（６２０）の出口（６２２）とガス流れ結合をなしていることを特徴とする請求項６に記載の真空ポンプ。 The vacuum pump of claim 6, wherein the vacuum pump stage (610) is in gas flow coupling with a suction opening (612) and an outlet (622) of the high vacuum side pump stage (620).
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