JP2011232231A - 表面弾性波センサ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明の表面弾性波センサ装置は、基準信号を入力し、溶液の比重及び粘性を含む力学的特性で基準信号が変化した第1の測定信号を出力する第1の表面弾性波センサ素子と、溶液の測定対象の特性により影響を受ける形状に構成されており、力学的な特性と測定対象の特性とにより基準信号が変化した第2の測定信号を出力する第2の表面弾性波センサ素子とを有し、第1及び第2の表面弾性波センサ素子の基準信号を伝搬させる方向の長さが、第1及び第2の表面弾性波素子のセンサ面の構造に起因する誤差の差分に対応する長さ分異なって形成され、第1及び第2の測定信号の振幅比及び位相差から、溶液の特性を検出する。
【選択図】図1
Description
例えば、図5は、メタノールを測定対象とした場合の、開放伝搬路を有する表面弾性波素子と短絡伝搬路を有する表面弾性波素子とにおける、シミュレーションにより求めた表面弾性波の伝搬速度(縦軸)と、温度(横軸)との対応関係を示している。
図5は、センサ面には空気が触れている状態において、求められた数値である。この図5においては、20℃における表面弾性波の伝搬速度を基準にして変化を測定している。
この図6において、□は開放伝搬路を有する表面弾性波センサ素子の伝搬速度の水の温度に対する比誘電率変化による特性変化の理論値を示し、○は開放伝搬路を有する表面弾性波センサ素子の伝搬速度の温度特性の実験値を示し、△は短絡伝搬路を有する表面弾性波素子の伝搬速度の温度特性と水の温度に対する比誘電率変化による特性変化の実験値を示し、×は開放伝搬路を有する表面弾性波センサ素子の伝搬速度の□と○との差分であり温度特性による変化を示している。
図6は、センサ面には水が触れている状態において、求められた数値である。この図6においては、20℃における表面弾性波の伝搬速度を基準にして変化を測定している。
例えば、図5のミュレーション結果から見ると、温度が1℃変化するに従い、開放伝搬路では−41.2ppmの速度変化を生じ、短絡伝搬路では−36.8ppmの速度変化を生じている。このため、温度が1℃変化する毎に5ppmずつセンサの感度差が生じることになり、温度変化による電気的特性(導電率、比誘電率)あるいは力学的特性(密度、粘性)の測定における誤差が発生することになる。
また、測定物質の比重が高い場合にも、開放伝搬路と短絡伝搬路との受ける力学的な影響が異なり、温度変化による電気的特性あるいは力学的特性の測定における誤差が発生することになる。
例えば、2つの表面弾性波センサ素子において、弾性波が伝搬する領域(伝搬路)である検出部表面が導電体により覆われたセンサ面を有している表面弾性波センサ素子(短絡伝搬路を有するセンサ素子)である第1の表面弾性波センサ素子と、弾性波が伝搬する領域(伝搬路)である検出部表面の導電膜の検出部上面が開口され、検出部が露出されたセンサ面を有している表面弾性波センサ素子(開放伝搬路を有するセンサ素子)である第2の表面弾性波センサ素子とを有する表面弾性波センサ装置に関する。
以下、図面を参照して、本発明の第1の実施形態による、溶液の電気的特性(導電率、比誘電率など)、力学的特性(密度、粘性など)を測定する、2つの表面弾性波センサ素子からなる表面弾性波センサ装置について説明する。図1は、この本実施形態による表面弾性波センサ装置の構成例を示す概念図である。特に、第1の実施形態の表面弾性波センサ装置は、測定対象としての溶液がアルコール(炭化水素の水素原子をヒドロキシ基 (-OH) で置き換えた物質、例えば、本実施形態においてはメタノール(methanol:CH3OH)など)であり、溶液の比誘電率を求め、この比誘電率からアルコール濃度を検出する。
また、第1表面弾性波センサ素子1において、この第1伝搬路13の表面が特性を検出する対象の溶液と接するセンサ面となっている。
また、第2表面弾性波センサ素子2において、この第2伝搬路23の表面(すなわち、検出部表面)が特性を検出する対象の溶液と接するセンサ面となっている。
第1表面弾性波センサ素子1と第2表面弾性波センサ素子2とは、表面弾性波の伝搬方向がxに平行となるように、並列して配置されている。
本実施形態においては、第1表面弾性波センサ素子1と第2表面弾性波センサ素子2とが並列に並んだ構成で説明するが、他の構成として、第1表面弾性波センサ素子1と第2表面弾性波センサ素子2とを、x方向に対して、伝搬方向が平行となるように、直列に配列する構成としても良い。
同様に、出力電極12及び出力電極22は、入力電極11、入力電極21で励振され伝搬してきた表面弾性波を受信するために、櫛の間隔が高周波の波長λであり、櫛の幅がλ/8で形成された櫛形電極で構成されている。
分配器52は、発振器51の出力する基準信号を、RFスイッチ55と振幅比・位相差検出器53とに分配する。
また、振幅比・位相差検出器53は、基準信号と第2表面弾性波センサ素子2から出力される第2の測定信号との振幅比及び位相差を検出し、検出した振幅比及び位相差を第2の検出信号として特性値算出部54に対して出力する。
すなわち、RFスイッチ55は、分配器52から供給される基準信号を、第1表面弾性波センサ素子1の入力電極11へ伝達させるか、あるいは第2表面弾性波センサ素子2の入力電極21へ伝達させるかを切り換えるスイッチである。
すなわち、RFスイッチ56は、第1表面弾性波センサ素子1の出力電極12から出力される第1の測定信号、または第2表面弾性波センサ素子2の出力電極22から出力される第2の測定信号のいずれを、振幅比・位相差検出器53に伝達させるかを切り換えるスイッチである。
基板が温度特性を有し、例えば、本実施形態で用いているLiTaO3からなる基板の場合、温度が上昇すると伝搬する表面弾性波の伝搬速度が低下する際、低下の割合が第1伝搬路13に比較して第2伝搬路23の方が1℃毎の伝搬速度の変化において5ppm小さい。
すなわち、第1表面弾性波センサ素子1及び第2表面弾性波センサ素子2を、短絡伝搬経路を有する第1表面弾性波センサし素子において1℃毎に伝搬速度が−36.8ppm変化し、開放伝搬経路を有する第2表面弾性波センサ素子2において1℃毎の伝搬速度が−41.2ppm変化する。
したがって、1℃温度が変化することにより、溶液の特性が変化しなくとも、伝搬速度の5ppmの差分が測定され、この差分により第1伝搬路13と第2伝搬路23とにおける位相差が異なることとなり、溶液の特性を測定する際の測定誤差となってしまう。
Δφ2(short)=41.2×10−6(速度変化)×360×50(伝搬路長)=0.7416
Δφ1(open)=36.8×10−6(速度変化)×360×50(伝搬路長)=0.6624
となる。
ここで、Δφ2(short)は第1伝搬路13における1℃あたりの位相変化であり、Δφ1(open)は第2伝搬路23における1℃あたりの位相変化である。この結果、第1伝搬路13と第2伝搬路23との表面弾性波の伝搬速度の温度変化の違いにより、第1伝搬路13と第2伝搬路23とのとの間で、1℃の温度変化毎に0.0792度ずつの位相変化が生じることになる。
本実施形態の表面弾性波センサ装置が測定対象とするメタノールでは、0.1%の濃度変化を測定することを目標とした場合、位相差Δφの検出精度としては0.0096度が必要となり、上述した温度変化による位相変化0.0792を許容することはできない。
Δφ1(open)=36.8×10−6(速度変化)×360×55.98(伝搬路長)=0.7416
となり、第2伝搬路23における1℃あたりの位相変化量を、第1伝搬路13に合わせることができる。
このとき、第1伝搬路13の伝搬路長L2を、第2伝搬路23の伝搬路長L1の1/1.1196倍にしても良いが、メタノールの実際の濃度変化に起因する位相変化量も少なくなるため、上述したように、速度変化の小さい方の伝搬路長を長くする調整を行う方が良い。
以下の説明において、第1伝搬路13の位相変化量をΔφ2(degree)、基準信号の信号レベルの減衰量をΔA2とし、第2伝搬路23の位相変化量をΔφ1(degree)、基準信号の信号レベルの減衰量をΔA1とし、温度による変化量には添え字としてtempを付加し、密度粘度積変化に伴う変化量には添え字としてvisを付加し、溶液の物理的変化(溶液及びセンサ面とにおける力学的相互作用と電気的相互作用)による変化量には添え字としてphysを付加し、溶液とセンサ面とにおける電気的相互作用に伴う変化量には添え字としてelecを付加する。
特性値算出部54は、振幅比・位相差検出器53から入力される第1表面弾性波センサ素子1に対応する第1の検出信号と、第2表面弾性波センサ素子2に対応する第2の検出信号とにより、以下の計算を行う。
特性値算出部54は、第1の検出信号における振幅比として、損失である減衰量ΔA2[dB]により、(1)式を用いて以下の(6)式を生成する。
溶液として純水付加時において、1℃の温度変化毎に、第1伝搬路13における速度変化が49ppmであり、第2伝搬路23における温度変化が40ppmである場合、すでに述べたように、第1伝搬路13の伝搬路長L2を、第2伝搬路23の伝搬路長L1の1.225倍の長さに、温度変化の差に対応する伝搬路長差を有するように形成する。
物理的相互作用における電気的相互作用を算出するため、物理的相互作用から力学的相互作用を打ち消す処理を行う。第1表面弾性波センサ素子1の力学的相互作用である密度粘度積による速度変化ΔVvis/Vまたは減衰変化量Δαvis/k(すなわち、−ΔVvis/V)である。
ここで、本実施形態においては、第1伝搬路13と第2伝搬路23との伝搬路長が異なるため、位相変化を用いるものではなく、第2伝搬路23の単位長さあたりの速度変化ΔV1/Vと減衰変化量Δαvis/kとの各々に、それぞれ以下に示す(13)式及び(14)式を用いて変換する。
また、導電率σ’は、メタノールが消費されることで酸化して生じる蟻酸の濃度に関係している。メタノールの濃度変化は導電率σ’の変化に影響を与えず、蟻酸の濃度変化は比誘電率εr’の変化に影響を与えない。
このため、本願実施形態の表面弾性波センサ装置は、比誘電率εr’を正確に測定することにより、メタノール濃度を精度良く求めることができる。
次に、制御部は、RFスイッチ55及び56を制御し、分配器52から出力される基準信号を第1表面弾性波センサ素子1の入力電極11に対して伝達させ、出力電極12から出力される第1の測定信号を振幅器・位相差検出器53に対して出力させる。
また、制御部は、RFスイッチ55及び56を制御し、分配器52から出力される基準信号を第2表面弾性波センサ素子2の入力電極21に対して伝達させ、出力電極22から出力される第2の測定信号を振幅器・位相差検出器53に対して出力させる。
特性値算出部54は、上述した(6)式から(18)式を用いて、第1の測定信号の減衰変化ΔA2、位相変化Δφ2と、第2の測定信号の減衰変化ΔA1、位相変化Δφ1とにより、測定対象の溶液であるメタノールの比誘電率εr’及び導電率σ’を算出する。
この結果、第1表面弾性波センサ素子1及び第2表面弾性波センサ素子2間における温度特性による速度変化分を実質的に同一とすることができる。
したがって、本実施形態によれば、高い精度により第1の測定信号から温度に依存する速度変化を求めることができ、物理的相互作用による位相変化を算出することができ、最終的に、メタノールの比誘電率を高い精度で求められ、この比誘電率からメタノールの濃度を容易に、精度良く求めることができる。
この構成により、温度の変化による速度変化を第1伝搬路13と第2伝搬路23との伝搬路長を調整しているため、振幅比・位相差検出器53は、第1の測定信号と第2の測定信号との信号レベルの差分を求めて、減衰変化ΔAとして特性値算出部54に出力する。また、振幅比・位相差検出器53は、第1の測定信号と第2の測定信号との位相差を求め、Δφとして特性値算出部54に出力する。
このとき、第1表面弾性波センサ素子1の導電膜表面には何も配設せず、一方、第2表面弾性波センサ素子2の導電膜の表面には抗体などを配設し、2チャンネルの表面弾性波センサ素子からなるバイオセンサを構成しても良い。
そして、純水を付加とした場合、第1表面弾性波センサ素子1と第2表面弾性波センサ素子2との、温度あるいは溶液の粘度による速度変化や信号レベルの変化などが実質的に同一となるように、第1表面弾性波センサ素子1の第1伝搬路13と、第2表面弾性波センサ素子2の第2伝搬路23との伝搬路長を調整するようにしても良い。
以下、図面を参照して、本発明の第2の実施形態による、溶液の電気的特性(導電率、比誘電率など)、力学的特性(密度、粘性など)を測定する、3つの表面弾性波センサ素子からなる表面弾性波センサ装置について説明する。図3は、この本実施形態による表面弾性波センサ装置の構成例を示す概念図である。
第2の実施形態が第1の実施形態と異なる点は、第1表面弾性波センサ素子1及び第2表面弾性波センサ素子2に加えて、第3表面弾性波センサ素子3を加えて、3つの表面弾性波センサ素子の3チャンネルの表面弾性波センサ素子の構成である。
第3表面弾性波センサ素子3は、検出部の上面を覆う導電膜に長尺状のスリット34が、伝搬方向がx方向に対して垂直となるように、複数x方向に配列して第3伝搬路33上の導電膜に形成されている。スリット34の形成されている部分は、検出部が露出されている。
本実施形態においては、第1表面弾性波センサ素子1、第2表面弾性波センサ素子2及び第2表面弾性波センサ素子3が並列に並んだ構成で説明するが、他の構成として、第1表面弾性波センサ素子1、第2表面弾性波センサ素子2及び第2表面弾性波センサ素子3を、x方向に対して、伝搬方向が平行となるように、直列に配列する構成としても良い。
したがって、図示しない制御部は、発振器51に高周波の基準信号を発生させ、分配器52に出力させる。
分配器52は、入力される基準信号を、第1表面弾性波センサ素子1の入力電極11と、RFスイッチ55とに分配して出力する。
RFスイッチ56は、制御部の制御により、第2表面弾性波センサ素子2の出力電極22、あるいは第3表面弾性波センサ素子3の出力電極32のいずれを、振幅比・位相差検出器53の入力端子に接続するかの切り替えを行う。
第3表面弾性波センサ素子3は、入力された基準信号が物理的相互作用により影響を受けた第3の測定信号を出力する。
特性値算出部54は、第1の検出信号と、第2の検出信号とからそれぞれ、(19)式から(22)式を用いて、溶液の比誘電率εr’及び導電率σ’を求める。
これにより、本第2の実施形態は、第1の実施形態と同様に、メタノールセンサとして用いた場合、高い精度により第1の測定信号から温度に依存する速度変化を求めることができ、物理的相互作用による位相変化を算出することができ、最終的に、メタノールの比誘電率を高い精度で求められ、この比誘電率からメタノールの濃度を容易に、精度良く求めることができる。
2…第2表面弾性波センサ素子
3…第3表面弾性波センサ素子
11,21,31…入力電極
12,22,32…出力電極
13…第1伝搬路
23…第2伝搬路
24…開口部
33…第3伝搬路
34…スリット
51…発振器
52…分配器
53…振幅比・位相差検出器
54…特性値算出部
55,56…RFスイッチ
Claims (5)
- 基準信号を入力し、センサ表面に接触している溶液における比重及び粘性を含む力学的な特性により前記基準信号が変化した第1の測定信号を出力する第1の表面弾性波センサ素子と、
前記基準信号を入力し、前記溶液に接触するセンサ面が当該溶液における測定対象の特性により影響を受ける形状に構成されており、前記力学的な特性と前記測定対象の特性により前記基準信号が変化した第2の測定信号を出力する第2の表面弾性波センサ素子と
を有し、
前記第1の表面弾性波センサ素子と前記第2の表面弾性波センサ素子との前記基準信号を伝搬させる方向の長さが、当該第1の表面弾性波センサ素子と第2の表面弾性波素子とにおける前記センサ面の構造に起因する誤差の差分に対応する長さ分異なって形成され、前記第1の測定信号及び前記第2の測定信号における振幅比及び位相差とから、前記測定対象の特性を検出することを特徴とする表面弾性波センサ装置。 - 前記第1の表面弾性波線センサ素子が検出面が導電膜に覆われたセンサ面を有し、前記第2の表面弾性波線センサ素子が検出面が開放されたセンサ面を有し、
前記第1の表面弾性波センサ素子と、前記第2の表面弾性波センサ素子との各々の前記基準信号の伝搬方向の長さが、温度特性による前記基準信号の伝搬速度の変化が同一となるように形成されていることを特徴とする請求項1に記載の表面弾性波センサ装置。 - 前記第1の表面弾性波センサ素子及び前記第2の表面弾性波センサ素子がLiTa3の基板上に生成され、前記溶液が前記導電膜に覆われたセンサ面と、前記開放されたセンサ面との双方に対して与える前記力学的な特性の影響の差が測定誤差に対して少ないことを特徴とする請求項2に記載の表面弾性波センサ装置。
- 前記第1の表面弾性波線センサ素子が検出面が導電膜に覆われたセンサ面を有し、前記第2の表面弾性波線センサ素子が検出面が開放されたセンサ面を有し、
当該基準信号が伝搬する方向に、長尺方向が垂直になるよう矩形状の導電膜が検出部上に並列に配列されたセンサ面を有し、前記第1の表面弾性波センサ素子及び前記第2の表面弾性波素子と前記基準信号が伝搬する方向の長さが異なり、前記基準信号を入力し、前記力学的な特性と前記測定対象の特性により前記基準信号が変化した第2の測定信号を出力する第3の表面弾性波素子
をさらに有することを特徴とする請求項1記載の表面弾性波センサ装置。 - 前記第1表面弾性波センサ素子から出力される第1の測定信号と、前記第2表面弾性波センサ素子から出力される第2の測定信号とにおけるの振幅比及び位相差から、
または、前記第1表面弾性波センサ素子から出力される第1の測定信号と、前記第3表面弾性波センサ素子から出力されるから出力される第3の測定信号とにおける振幅比及び位相差から、
前記測定対象の特性を検出することを特徴とする請求項4に記載の表面弾性波センサ装置。
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