JP2011231959A - 通気性輻射熱反射体及びその製造方法 - Google Patents
通気性輻射熱反射体及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011231959A JP2011231959A JP2010101187A JP2010101187A JP2011231959A JP 2011231959 A JP2011231959 A JP 2011231959A JP 2010101187 A JP2010101187 A JP 2010101187A JP 2010101187 A JP2010101187 A JP 2010101187A JP 2011231959 A JP2011231959 A JP 2011231959A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- radiant heat
- breathable
- heat reflector
- shell structure
- oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 15
- 239000012784 inorganic fiber Substances 0.000 claims abstract description 136
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 114
- 239000002131 composite material Substances 0.000 claims abstract description 69
- 239000004744 fabric Substances 0.000 claims abstract description 69
- 238000004804 winding Methods 0.000 claims abstract description 24
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 100
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 62
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 claims description 58
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 claims description 56
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 claims description 50
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 claims description 43
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 claims description 37
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 37
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 28
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 28
- 229910052692 Dysprosium Inorganic materials 0.000 claims description 27
- 229910052691 Erbium Inorganic materials 0.000 claims description 27
- 229910052689 Holmium Inorganic materials 0.000 claims description 27
- 229910052769 Ytterbium Inorganic materials 0.000 claims description 27
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 27
- 229910052727 yttrium Inorganic materials 0.000 claims description 26
- 239000011882 ultra-fine particle Substances 0.000 claims description 22
- 239000004745 nonwoven fabric Substances 0.000 claims description 21
- 229910052688 Gadolinium Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 229910052772 Samarium Inorganic materials 0.000 claims description 18
- 239000000843 powder Substances 0.000 claims description 17
- 239000002759 woven fabric Substances 0.000 claims description 17
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 14
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 claims description 14
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 14
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 239000013081 microcrystal Substances 0.000 claims description 13
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 13
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 12
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 claims description 12
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 claims description 12
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052765 Lutetium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052777 Praseodymium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052771 Terbium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052775 Thulium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 9
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 9
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052713 technetium Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 claims description 7
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 6
- 238000001962 electrophoresis Methods 0.000 claims description 6
- 238000011049 filling Methods 0.000 claims description 6
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 6
- 238000004513 sizing Methods 0.000 claims description 6
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 claims description 5
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 3
- 230000035939 shock Effects 0.000 abstract description 5
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 37
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 34
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 31
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 20
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 20
- 230000009471 action Effects 0.000 description 18
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 description 16
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 15
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 15
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 15
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 14
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 11
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 8
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 8
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 8
- 230000008859 change Effects 0.000 description 7
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 7
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 7
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 229910052845 zircon Inorganic materials 0.000 description 5
- GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N zirconium(iv) silicate Chemical compound [Zr+4].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] GFQYVLUOOAAOGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920000297 Rayon Polymers 0.000 description 4
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 4
- 230000014759 maintenance of location Effects 0.000 description 4
- 239000002964 rayon Substances 0.000 description 4
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 3
- 229910018557 Si O Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N silicon monoxide Inorganic materials [Si-]#[O+] LIVNPJMFVYWSIS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 description 2
- 239000002182 crystalline inorganic material Substances 0.000 description 2
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 2
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 2
- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 2
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 2
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002912 waste gas Substances 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N N-Heptane Chemical compound CCCCCCC IMNFDUFMRHMDMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006501 ZrSiO Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 1
- 230000003796 beauty Effects 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 239000004753 textile Substances 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Abstract
【解決手段】 耐熱性の複合化無機繊維又は無機繊維で構成された通気性を有する布材から作製した帯部材11を、長手方向に巻いて形成した断面円形又は断面多角形の柱状物からなる通気性輻射熱反射体10であって、通気性輻射熱反射体10の一面側が加熱された際に、一面側から他面側への熱の移動を抑制しながら、一面側から輻射熱を放射する。
【選択図】図1
Description
また、前記布材は、厚みが1〜10mm、体積空隙率が50〜97%の不織布とすることもできる。
Ti、Cr、Fe、Si、Co、Ni、Cu、Y、Zr、Nb、Tc、Ru、Rh、Pd、Ag、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、
Tm、Yb、Lu、Hf、Ta、Re、及びOsの各元素を第1群として、前記外殻構造は、(1)前記第1群から選択された1の元素の酸化物、(2)前記第1群から選択された2以上の元素からなる複合酸化物、(3)前記第1群から選択された2以上の元素の固溶体酸化物、(4)前記酸化物と前記複合酸化物、(5)前記酸化物と前記固溶体酸化物、(6)前記複合酸化物と前記固溶体酸化物、及び(7)前記酸化物と前記複合酸化物と前記固溶体酸化物のいずれか1からなる材料Aで構成され、
前記外殻構造を形成する無機物質の熱膨張係数の値は、前記内殻構造を形成する無機物質の熱膨張係数の値の±10%の範囲内にあり、前記外殻構造の厚さは、0.2μm以上10μm以下であることが好ましい。
ここで、前記固溶体酸化物は、Y、Yb、Er、Ho、及びDyの各元素を第2群、Y、Yb、Er、Ho、Dy、Gd、Sm、Nd、及びLuの各元素を第3群として、前記第2群から選択された少なくとも1の元素をQE、前記第3群から選択された少なくとも1の元素をREとして、一般式QE2Si2O7、QESiO5、RE3Al5O12、及び
REAlO3のいずれか1又は2以上からなることが好ましい。
また、前記内殻構造は、Ti、Zr、及びAlから選択される1の金属成分をM1とし、Ti及びZrから選択される1の金属成分をM2、その炭化物をM2Cとして、
β−SiC、M2C、β−SiCとM2Cの固溶体及び/又はM2C1−x(0<x<1)からなる粒子径が700nm以下の結晶質超微粒子と、該結晶質超粒子間に存在するSi、C、O、及びM1を含有する非晶質無機物質との集合物で構成することができる。
更に、前記内殻構造は、Si、C、及びOを含有する無機物質で構成することもできる。
そして、前記内殻構造は、粒子径が700nm以下であるβ−SiCの結晶質超微粒子と、該結晶質超微粒子間に存在するSi、C、及びOを含有する非晶質無機物質との集合物で構成してもよい。
あるいは、前記内殻構造は、β−SiCの微結晶からなる結晶質の無機物質で構成することも可能である。
また、前記無機繊維は、Si、C、及びOを含有する無機物質で構成することもできる。
更に、前記無機繊維は、β−SiCの微結晶からなる結晶質の無機物質で構成してもよい。
そして、前記無機繊維は、Al、Si、及びOからなる非晶質無機物質で構成することも可能である。
また、前記布材は、厚みが1〜10mm、体積空隙率が50〜97%の不織布とすることもできる。
前記第2の外殻構造を形成する無機物質の熱膨張係数の値は前記第2の内殻構造を形成する無機物質の熱膨張係数の値の±10%の範囲内にあり、前記第2の外殻構造の厚さは0.2μm以上10μm以下であることが好ましい。
ここで、前記固溶体酸化物は、Y、Yb、Er、Ho、及びDyの各元素を第2群、Y、Yb、Er、Ho、Dy、Gd、Sm、Nd、及びLuの各元素を第3群として、前記第2群から選択された少なくとも1の元素をQE、前記第3群から選択された少なくとも1の元素をREとして、一般式QE2Si2O7、QESiO5、RE3Al5O12、及び
REAlO3のいずれか1又は2以上からなることが好ましい。
また、前記無機繊維は、Si、C、及びOを含有する無機物質から構成することができる。
更に、前記無機繊維は、β−SiCの微結晶を含有する結晶質の無機物質から構成することもできる。
前記布材を裁断して前記帯部材を作製する第1工程と、
前記帯部材の一部を芯管の外周面に一定の張力下で隙間無く巻き付けて第1の渦巻き物を形成し、該第1の渦巻き物から前記芯管を除去した際に形成される空間部に、前記帯部材の他の一部をその中心部から隙間なく巻いて形成した第2の渦巻き物を充填して前記柱状物を作製する第2工程と、
前記柱状物を、前記材料Aの粉末が水中、有機溶媒中、あるいは水と有機溶媒の混合溶媒中に分散した分散溶液中に浸漬し、前記板状物を陰極側にして50〜150ボルトの直流電圧を2〜10分間印加して、電気泳動により、前記粉末を該柱状物を形成している前記帯部材を構成している前記無機繊維の外側に付着させる第3工程と、
前記柱状物を前記分散溶液中から取り出し、乾燥させて水及び/又は有機溶媒を除去する第4工程と、
乾燥した前記柱状物を、不活性ガス雰囲気中1300〜1700℃で、0.2〜2時間加熱処理して前記粉末を前記無機繊維に固着させ、該無機繊維を前記第2の内殻構造と前記第2の外殻構造を持つ前記複合化無機繊維に変える第5工程とを有している。
また、通気性輻射熱反射体を、布材から作製した帯部材を巻いて柱状物としているので、平面状で柔軟体である布材と比較して保形性が著しく向上し、排ガスによる機械的衝撃や磨耗に長期間に亘り耐えることが可能になると共に、取扱い(取付け、取外し、取替え等)を容易に行うことができる。更に、柱状物のため、加熱炉の内壁や天井に沿って並べて配置することが可能となり、例えば、セラミック接着剤を使用して互いに接着することで、剥落や落下を抑制して長期間に亘り安定して使用することが可能になる。
また、無機繊維が、Al、Si、及びOからなる非晶質無機物質で構成されている場合、加熱されても、酸化雰囲気中で使用できる。
図1に示すように、本発明の第1の実施の形態に係る通気性輻射熱反射体10は、耐熱性の複合化無機繊維で構成された通気性を有する布材から作製した帯部材11を長手方向に巻いて形成した、例えば断面円形の柱状物(巻物)である。そして、通気性輻射熱反射体10は、加熱炉の、例えば天井部12に設けられた断面円形の排気口13に内装された円筒体14の入口側に挿入され、天井部12から加熱炉内に突出する円筒体14の先側側部を貫通する複数のセラミックピン15で支持されて落下が防止されている。
Er、Tm、Yb、Lu、Hf、Ta、Re、及びOsの各元素を第1群として、外殻構造は、(1)第1群から選択された1の元素の酸化物、(2)第1群から選択された2以上の元素からなる複合酸化物、(3)第1群から選択された2以上の元素の固溶体酸化物、(4)酸化物と複合酸化物、(5)酸化物と固溶体酸化物、(6)複合酸化物と固溶体酸化物、及び(7)酸化物と複合酸化物と固溶体酸化物のいずれか1からなる材料Aで構成されている。そして、外殻構造を形成する無機物質の熱膨張係数の値は、内殻構造を形成する無機物質の熱膨張係数の値の±10%の範囲内にあり、外殻構造の厚さは0.2μm以上10μm以下である。これによって、通気性輻射熱反射体10の温度が変動しても(通気性輻射熱反射体10を構成している複合化無機繊維の温度が変動しても)、外殻構造が内殻構造から剥離することを防止できる。その結果、通気性輻射熱反射体10を高温の酸化雰囲気中で使用しても、内殻構造が酸素と反応すること(内殻構造の酸化)を防止でき、内殻構造の材質変化に伴う特性の低下(例えば、強度低下、熱放射率の低下等)が抑制される。
REAlO3のいずれか1又は2以上からなる場合、固溶体酸化物の耐熱性及び耐食性が高まる。その結果、外殻構造の耐熱性及び耐食性が高まることによって、酸化に伴う内殻構造の材質変化を防止でき、複合化無機繊維(通気性輻射熱反射体10)の高温酸化雰囲気中での安定性を更に高めることができる。
また、織物16を形成する無機繊維が(4)の無機物質で構成されている場合、高温下において酸化性雰囲気、非酸化性雰囲気を問わず、非晶質の結晶化が進行して(粒成長が生じて)無機繊維が脆くなる。このため、織物16を形成している無機繊維が(4)の無機物質で構成されている場合、織物16を長期間に亘って使用することができない。
通気性輻射熱反射体10を構成する耐熱性の複合化無機繊維は、内殻構造と外殻構造を持つ多層構造を有しているので、高温の酸化雰囲気中でも内殻構造の変質が防止されて、無機繊維の形状を維持することができ、通気性輻射熱反射体10内に形成されている排ガスの通過経路が安定に存在できる。このため、通気性輻射熱反射体10を、円筒体14を介して加熱炉の排気口13内に設置すると、排ガスは円筒体14内に挿入されている通気性輻射熱反射体10を通過して外部に排出することができる。このとき、排ガスは通気性輻射熱反射体10を構成している複合化無機繊維と効率的に接触するため、通気性輻射熱反射体10は排ガスの顕熱を濾し取って排ガスの温度を低下させ(熱フィルタ作用を示し)、排気口13から外部に流出する熱を減少させることができる。また、通気性輻射熱反射体10は、排ガスにより加熱されて高温となる。このとき、内殻構造は酸化されず、炭化ケイ素系素材の特徴のひとつである大きな熱放射率を維持できる。これにより、高温になった通気性輻射熱反射体10は、加熱炉内からの輻射熱を反射して(熱レフレクタ作用を示し)加熱炉内に戻すことができる。その結果、通気性輻射熱反射体10を排気口13に設けることで、加熱炉内からの放熱量を減少させ、燃料使用量を減少させることができる。
Er、Tm、Yb、Lu、Hf、Ta、Re、及びOsの各元素を第1群として、第2の外殻構造は、(1)第1群から選択された1の元素の酸化物、(2)第1群から選択された2以上の元素からなる複合酸化物、(3)第1群から選択された2以上の元素の固溶体酸化物、(4)酸化物と複合酸化物、(5)酸化物と固溶体酸化物、(6)複合酸化物と固溶体酸化物、及び(7)酸化物と複合酸化物と固溶体酸化物のいずれか1からなる材料Aで構成されている。そして、第2の外殻構造を形成する無機物質の熱膨張係数の値は、第2の内殻構造を形成する無機物質の熱膨張係数の値の±10%の範囲内にあり、第2の外殻構造の厚さは0.2μm以上10μm以下である。これによって、通気性輻射熱反射体25の温度が変動しても(通気性輻射熱反射体25を構成している複合化無機繊維の温度が変動しても)、第2の外殻構造が第2の内殻構造から剥離することを防止できる。その結果、通気性輻射熱反射体25を高温の酸化雰囲気中で使用しても、第2の内殻構造が酸素と反応すること(第2の内殻構造の酸化)を防止でき、第2の内殻構造の材質変化に伴う特性の低下(例えば、強度低下、熱放射率の低下等)が抑制される。
Yb、Er、Ho、Dy、Gd、Sm、Nd、及びLuの各元素を第3群として、第2群から選択された少なくとも1の元素をQEとし、第3群から選択された少なくとも1の元素をREとして、一般式QE2Si2O7、QESiO5、RE3Al5O12、及び
REAlO3のいずれか1又は2以上からなる場合、固溶体酸化物の耐熱性及び耐食性が高まる。その結果、第2の外殻構造の耐熱性及び耐食性が高まることによって、酸化に伴う第2の内殻構造の材質変化を防止でき、複合化無機繊維(通気性輻射熱反射体25)の高温酸化雰囲気中での安定性を更に高めることができる。
通気性輻射熱反射体25の製造方法は、無機繊維で構成された布材を裁断して帯部材26を作製する第1工程と、帯部材26の一部を芯管(図示せず)の外周面に一定の張力下で隙間無く巻き付けて第1の渦巻き物27を形成し、第1の渦巻き物27から芯管を除去した際に形成される空間部に、帯部材26の他の一部をその中心部から隙間なく巻いて形成した第2の渦巻き物28を充填して柱状物を作製する第2工程とを有している。また、通気性輻射熱反射体25の製造方法は、柱状物を、材料Aの粉末が水中、有機溶媒中、あるいは水と有機溶媒の混合溶媒中に分散した分散溶液中に浸漬し、柱状物を陰極側にして50〜150ボルトの直流電圧を2〜10分間印加して電気泳動により粉末を柱状物を構成している無機繊維の外側に付着させる第3工程と、柱状物を分散溶液中から取り出し、乾燥させて水及び/又は有機溶剤を除去する第4工程と、乾燥した柱状物を、不活性ガス雰囲気中1300〜1700℃で0.2〜2時間加熱処理して粉末を無機繊維に固着させ、無機繊維を第2の内殻構造と第2の外殻構造を持つ複合化無機繊維に変える第5工程とを有している。以下、詳細に説明する。
Ta、Re、及びOsの各元素を第1群として、材料Aは、(1)第1群から選択された1の元素の酸化物、(2)第1群から選択された2以上の元素からなる複合酸化物、(3)第1群から選択された2以上の元素の固溶体酸化物、(4)酸化物と複合酸化物、(5)酸化物と固溶体酸化物、(6)複合酸化物と固溶体酸化物、及び(7)酸化物と複合酸化物と固溶体酸化物のいずれか1からなる。なお、耐熱性及び耐食性の高い固溶体酸化物とする場合、Y、Yb、Er、Ho、及びDyの各元素を第2群とし、Y、Yb、Er、Ho、
Dy、Gd、Sm、Nd、及びLuの各元素を第3群として、更に第2群から選択された少なくとも1の元素をQEとし、第3群から選択された少なくとも1の元素をREとして、固溶体酸化物の組成を、一般式QE2Si2O7、QESiO5、RE3Al5O12、及びREAlO3のいずれか1又は2以上とする。
先ず、Si、C、O、及びZrを含有する無機物質で形成された無機繊維で構成された不織布(繊維目付が240g/m2、化学繊維の一例であるレ−ヨン繊維を20質量%含有し、幅が500mm、長さが10mのロール巻き)を裁断して、幅が20mmの帯部材を作製した(第1工程)。次いで、帯部材の一部が弛まないように一定の張力を加えながら、巻き取り機を用いて帯部材の一部を芯管の外周面に隙間無く巻き付けて、外径58mmの第1の渦巻き物を形成し、第1の渦巻き物から芯管を除去した跡に形成される空間部に帯部材の他の一部をその中心部から隙間なく巻いて作製した第2の渦巻き物を充填して、柱状物を作製した。そして、柱状物を熱処理炉内にセットし、アルゴンガス雰囲気中、800℃で1時間熱処理して、不織布に含有されているレ−ヨン繊維の一部を分解除去して残部を炭化させると共に、不織布に施されているサイジング剤(有機物)の除去を行った(第2工程)。
Si、C、O、及びZrを含有する無機物質で形成された無機繊維で構成された不織布(繊維目付が240g/m2、レ−ヨン繊維を20質量%含有し、厚さ5mm、体積空隙率95%)を裁断して、幅が20mmの帯部材を作製した。次いで、帯部材が弛まないように一定の張力を加えながら、巻き取り機を用いて帯部材を中心部から外側まで(芯管を使用しないで)隙間無く巻き付けて、外径58mm、厚さが20mmの円盤状物2(通気性輻射熱反射体)を作製した。そして、実施例1の円盤状物1を円筒体から取外し、作製した円盤状物2を挿入して、実施例1と同様に、電気炉を常時1300℃一定に保持し、電気炉の炉床の空気送入口より0.8リットル/分の流量で空気を200時間電気炉内に流通させ、そのときの電気炉の消費電力の削減率を調べた。また、円盤状物2の上下にそれぞれ熱電対を取付け、円盤状物上下の温度を測定した。
Si、C、及びOを含有する無機物質で形成された無機繊維で構成された平織物(繊維目付が289g/m2、厚さ0.33mm)を裁断して、幅が20mmの帯部材を作製した。次いで、帯部材が弛まないように一定の張力を加えながら、巻き取り機を用いて帯部材を中心部から外側まで(芯管を使用しないで)隙間無く巻き付けて、外径58mm、厚さが20mmの円盤状物3(通気性輻射熱反射体)を作製した。そして、実施例1の円盤状物1を円筒体から取外し、作製した円盤状物3を挿入して、実施例1と同様に、電気炉を常時1300℃一定に保持し、電気炉の炉床の空気送入口より0.8リットル/分の流量で空気を200時間電気炉内に流通させ、そのときの電気炉の消費電力の削減率を調べた。また、円盤状物3の上下にそれぞれ熱電対を取付け、円盤状物上下の温度を測定した。
実施例1で使用した不織布を裁断して、幅が50mmの帯部材を作製し、実施例1と同様の方法で円盤状物4(通気性輻射熱反射体)を作製した。次いで、内径5mm、外径7mm、長さ50mmのアルミナ製の10本の中空管が円盤状物4の表裏面上に均等に配置されるように、中空管を円盤状物4の軸方向に貫通させた。その結果、円盤状物4の開口率は7.4%となった。そして、実施例1の円盤状物1を円筒体から取外し、作製した円盤状物4を挿入して、実施例1と同様に、電気炉を常時1300℃一定に保持し、電気炉の炉床の空気送入口より0.8リットル/分の流量で空気を200時間電気炉内に流通させ、そのときの電気炉の消費電力の削減率を求めて省エネルギ−効果を調べた。また、円盤状物4の上下にそれぞれ熱電対を取付けて円盤状物4の上下面の温度を測定し、円盤状物4の熱遮蔽効果を調べた。
実施例1で使用した不織布を裁断して、幅が5mmの第2の帯部材を作製し、実施例1と同様の方法で直径58mm、厚さ5mmの円盤状物5(通気性輻射熱反射体)を作製した。そして、実施例1の円盤状物1をアルミナ製の円筒体から取外し、作製した円盤状物5を挿入して、実施例1と同様に、電気炉を常時1300℃一定に保持した状態で、電気炉内の中心(温度制御点)と円盤状物5の炉内側端面の中心を結ぶ直線に沿った温度分布、円盤状物5の炉内側端面の中央部温度、及び円盤状物5の炉外側端面の中央部温度を測定すると共に、円盤状物5の炉内側端面の中央部温度と炉外側端面の中央部温度との温度差(熱遮蔽効果)を調べた。その結果を、図7に示す。
Al、Si、及びOを含有する非晶質無機物質(Al2O3が約30%、SiO2が約70%)で構成された無機繊維(Al−Si−O系無機繊維)で形成された不織布(厚さ5mm、体積空隙率80%)を裁断して、幅が5mmの帯部材を作製した。次いで、帯部材が弛まないように一定の張力を加えながら、巻き取り機を用いて帯部材を中心部から外側まで(芯管を使用しないで)隙間無く巻き付けて、外径58mm、厚さが5mmの円盤状物6(通気性輻射熱反射体)を作製した。そして、実施例1の円盤状物1を円筒体から取外し、作製した円盤状物6を挿入して、実施例1と同様に、電気炉を常時1300℃一定に保持した状態で、電気炉内の中心(温度制御点)と円盤状物6の炉内側端面の中心を結ぶ直線に沿った温度分布、円盤状物6の炉内側端面の中央部温度、及び円盤状物6の炉外側端面の中央部温度を測定すると共に、円盤状物6の炉内側端面の中央部温度と炉外側端面の中央部温度との温度差(熱遮蔽効果)を調べた。
実施例5の円盤状物5、実施例6の円盤状物6から、縦15mm、横15mm、厚さ5mmの平板状の試験片をそれぞれ切り出し、図8に示す測定装置を用いて各試験片の熱放射率を測定した。熱放射率の測定は、電気炉内に設けた試料ホルダーに、試験片の縦15mm、横15mmの一面が露出するようにセットし、試験片温度を800〜1000℃の範囲に加熱して、電気炉の外部に設けた光学系を用いて一定強度の光(0.7〜5μmの波長範囲の赤外線)を試験片の露出した面に照射し、試験片の露出した面で反射した反射光の強度(放射強度)を測定して求めた。その結果を図9に示す。
例えば、加熱炉の排気口の断面形状が四角形の場合、排気口に角筒を挿入し、通気性輻射熱反射体を角筒に挿入可能な断面四角形の柱状物(全ての角部が外側に突出した多角形の柱状物の一例)とする。
また、通気性輻射熱反射体を、断面三角形、断面正方形、断面長方形、断面正六角形の柱状物とすることができる。これにより、通気性輻射熱反射体を加熱炉の内壁や天井に沿って並べて配置することが可能となり、例えば、セラミック接着剤を使用して互いに接着することで、剥落や落下を抑制して長期間に亘り安定して存在させることが可能になり、高温排ガスの顕熱を加熱炉内で効率的に回収することができる。
Claims (24)
- 耐熱性の複合化無機繊維又は無機繊維で構成された通気性を有する布材から作製した帯部材を、長手方向に巻いて形成した断面円形又は断面多角形の柱状物からなる通気性輻射熱反射体であって、該通気性輻射熱反射体の一面側が加熱された際に、該一面側から他面側への熱の移動を抑制しながら、該一面側から輻射熱を放射することを特徴とする通気性輻射熱反射体。
- 請求項1記載の通気性輻射熱反射体において、前記布材は、厚みが0.2〜10mm、開口率が30%以下の織物であることを特徴とする通気性輻射熱反射体。
- 請求項1記載の通気性輻射熱反射体において、前記布材は、厚みが1〜10mm、体積空隙率が50〜97%の不織布であることを特徴とする通気性輻射熱反射体。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の通気性輻射熱反射体において、前記布材は前記複合化無機繊維で構成され、該複合化無機繊維は内殻構造と外殻構造を持つ多層構造を有し、
Ti、Cr、Fe、Si、Co、Ni、Cu、Y、Zr、Nb、Tc、Ru、Rh、Pd、Ag、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、
Tm、Yb、Lu、Hf、Ta、Re、及びOsの各元素を第1群として、前記外殻構造は、(1)前記第1群から選択された1の元素の酸化物、(2)前記第1群から選択された2以上の元素からなる複合酸化物、(3)前記第1群から選択された2以上の元素の固溶体酸化物、(4)前記酸化物と前記複合酸化物、(5)前記酸化物と前記固溶体酸化物、(6)前記複合酸化物と前記固溶体酸化物、及び(7)前記酸化物と前記複合酸化物と前記固溶体酸化物のいずれか1からなる材料Aで構成され、
前記外殻構造を形成する無機物質の熱膨張係数の値は、前記内殻構造を形成する無機物質の熱膨張係数の値の±10%の範囲内にあり、前記外殻構造の厚さは、0.2μm以上10μm以下であることを特徴とする通気性輻射熱反射体。 - 請求項4記載の通気性輻射熱反射体において、前記固溶体酸化物は、Y、Yb、Er、Ho、及びDyの各元素を第2群とし、Y、Yb、Er、Ho、Dy、Gd、Sm、Nd、及びLuの各元素を第3群として、前記第2群から選択された少なくとも1の元素をQEとし、前記第3群から選択された少なくとも1の元素をREとしたとき、一般式QE2Si2O7、QESiO5、RE3Al5O12、及びREAlO3のいずれか1又は2以上からなることを特徴とする通気性輻射熱反射体。
- 請求項4又は5記載の通気性輻射熱反射体において、前記内殻構造は、Ti、Zr、及びAlから選択される1の金属成分をM1として、Si、C、O、及びM1を含有する無機物質で構成されていることを特徴とする通気性輻射熱反射体。
- 請求項4又は5記載の通気性輻射熱反射体において、前記内殻構造は、Ti、Zr、及びAlから選択される1の金属成分をM1とし、Ti及びZrから選択される1の金属成分をM2、その炭化物をM2Cとして、β−SiC、M2C、β−SiCとM2Cの固溶体及び/又はM2C1−x(0<x<1)からなる粒子径が700nm以下の結晶質超微粒子と、該結晶質超粒子間に存在するSi、C、O、及びM1を含有する非晶質無機物質との集合物で構成されていることを特徴とする通気性輻射熱反射体。
- 請求項4又は5記載の通気性輻射熱反射体において、前記内殻構造は、
Si、C、及びOを含有する無機物質で構成されていることを特徴とする通気性輻射熱反射体。 - 請求項4又は5記載の通気性輻射熱反射体において、前記内殻構造は、粒子径が700nm以下であるβ−SiCの結晶質超微粒子と、該結晶質超微粒子間に存在するSi、C、及びOを含有する非晶質無機物質との集合物で構成されていることを特徴とする通気性輻射熱反射体。
- 請求項4又は5記載の通気性輻射熱反射体において、前記内殻構造は、β−SiCの微結晶からなる結晶質の無機物質で構成されていることを特徴とする通気性輻射熱反射体。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の通気性輻射熱反射体において、前記布材は前記無機繊維で構成され、該無機繊維は、Ti、Zr及びAlから選択される1の金属成分をM1として、Si、C、O、及びM1を含有する無機物質で構成されていることを特徴とする通気性輻射熱反射体。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の通気性輻射熱反射体において、前記布材は前記無機繊維で構成され、該無機繊維は、Si、C、及びOを含有する無機物質で構成されていることを特徴とする通気性輻射熱反射体。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の通気性輻射熱反射体において、前記布材は前記無機繊維で構成され、該無機繊維は、β−SiCの微結晶からなる結晶質の無機物質で構成されていることを特徴とする通気性輻射熱反射体。
- 請求項1〜3のいずれか1項に記載の通気性輻射熱反射体において、前記布材は前記無機繊維で構成され、該無機繊維は、Al、Si、及びOからなる非晶質無機物質で構成されていることを特徴とする通気性輻射熱反射体。
- 耐熱性の無機繊維で構成された通気性を有する布材から作製した帯部材を、長手方向に巻いて断面円形又は断面多角形の柱状物とし、該柱状物を構成している前記無機繊維の外側に第2の外殻構造を設けて、該柱状物を第2の内殻構造と該第2の外殻構造を持つ複合化無機繊維から形成した通気性輻射熱反射体であって、該通気性輻射熱反射体の一面側が加熱された際に、該一面側から他面側への熱の移動を抑制しながら、該一面側から輻射熱を放射することを特徴とする通気性輻射熱反射体。
- 請求項15記載の通気性輻射熱反射体において、前記布材は、厚みが0.2〜10mm、開口率が30%以下の織物であることを特徴とする通気性輻射熱反射体。
- 請求項15記載の通気性輻射熱反射体において、前記布材は、厚みが1〜10mm、体積空隙率が50〜97%の不織布であることを特徴とする通気性輻射熱反射体。
- 請求項15〜17のいずれか1項に記載の通気性輻射熱反射体において、Ti、Cr、Fe、Si、Co、Ni、Cu、Y、Zr、Nb、Tc、Ru、Rh、Pd、Ag、La、Ce、Pr、Nd、Pm、Sm、Eu、Gd、Tb、Dy、Ho、Er、
Tm、Yb、Lu、Hf、Ta、Re、及びOsの各元素を第1群として、前記第2の外殻構造は、(1)前記第1群から選択された1の元素の酸化物、(2)前記第1群から選択された2以上の元素からなる複合酸化物、(3)前記第1群から選択された2以上の元素の固溶体酸化物、(4)前記酸化物と前記複合酸化物、(5)前記酸化物と前記固溶体酸化物、(6)前記複合酸化物と前記固溶体酸化物、及び(7)前記酸化物と前記複合酸化物と前記固溶体酸化物のいずれか1からなる材料Aで構成され、
前記第2の外殻構造を形成する無機物質の熱膨張係数の値は前記第2の内殻構造を形成する無機物質の熱膨張係数の値の±10%の範囲内にあり、前記第2の外殻構造の厚さは0.2μm以上10μm以下であることを特徴とする通気性輻射熱反射体。 - 請求項18記載の通気性輻射熱反射体において、前記固溶体酸化物は、Y、Yb、Er、Ho、及びDyの各元素を第2群とし、Y、Yb、Er、Ho、Dy、Gd、Sm、Nd、及びLuの各元素を第3群として、前記第2群から選択された少なくとも1の元素をQEとし、前記第3群から選択された少なくとも1の元素をREとして、一般式QE2Si2O7、QESiO5、RE3Al5O12、及びREAlO3のいずれか1又は2以上からなることを特徴とする通気性輻射熱反射体。
- 請求項15〜19のいずれか1項に記載の通気性輻射熱反射体において、前記無機繊維は、Ti、Zr及びAlから選択される1の金属成分をM1として、Si、C、O、及びM1を含有する無機物質から構成されていることを特徴とする通気性輻射熱反射体。
- 請求項15〜19のいずれか1項に記載の通気性輻射熱反射体において、前記無機繊維は、Si、C、及びOを含有する無機物質から構成されていることを特徴とする通気性輻射熱反射体。
- 請求項15〜19のいずれか1項に記載の通気性輻射熱反射体において、前記無機繊維は、β−SiCの微結晶を含有する結晶質の無機物質から構成されていることを特徴とする通気性輻射熱反射体。
- 請求項15〜22のいずれか1項に記載の通気性輻射熱反射体の製造方法であって、
前記布材を裁断して前記帯部材を作製する第1工程と、
前記帯部材の一部を芯管の外周面に一定の張力下で隙間無く巻き付けて第1の渦巻き物を形成し、該第1の渦巻き物から前記芯管を除去した際に形成される空間部に、前記帯部材の他の一部をその中心部から隙間なく巻いて形成した第2の渦巻き物を充填して前記柱状物を作製する第2工程と、
前記柱状物を、前記材料Aの粉末が水中、有機溶媒中、あるいは水と有機溶媒の混合溶媒中に分散した分散溶液中に浸漬し、前記板状物を陰極側にして50〜150ボルトの直流電圧を2〜10分間印加して、電気泳動により、前記粉末を該柱状物を形成している前記帯部材を構成している前記無機繊維の外側に付着させる第3工程と、
前記柱状物を前記分散溶液中から取り出し、乾燥させて水及び/又は有機溶媒を除去する第4工程と、
乾燥した前記柱状物を、不活性ガス雰囲気中1300〜1700℃で、0.2〜2時間加熱処理して前記粉末を前記無機繊維に固着させ、該無機繊維を前記第2の内殻構造と前記第2の外殻構造を持つ前記複合化無機繊維に変える第5工程とを有することを特徴とする通気性輻射熱反射体の製造方法。 - 請求項23記載の通気性輻射熱反射体の製造方法において、前記布材に化学繊維が含有される場合、あるいは前記布材にサイジング剤が施されている場合、前記第3工程の前に、前記柱状物を不活性ガス雰囲気中800〜1200℃で、0.5〜5時間加熱処理することを特徴とする通気性輻射熱反射体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010101187A JP5563360B2 (ja) | 2010-04-26 | 2010-04-26 | 通気性輻射熱反射体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010101187A JP5563360B2 (ja) | 2010-04-26 | 2010-04-26 | 通気性輻射熱反射体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011231959A true JP2011231959A (ja) | 2011-11-17 |
JP5563360B2 JP5563360B2 (ja) | 2014-07-30 |
Family
ID=45321458
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010101187A Expired - Fee Related JP5563360B2 (ja) | 2010-04-26 | 2010-04-26 | 通気性輻射熱反射体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5563360B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102943321A (zh) * | 2012-10-24 | 2013-02-27 | 长春理工大学 | 一种掺铕三氟化钇空心纳米纤维的制备方法 |
JP5640123B1 (ja) * | 2013-08-09 | 2014-12-10 | 株式会社超高温材料研究センター | 加熱機器の熱効率改善方法及び加熱機器の熱効率改善装置 |
CN111455483A (zh) * | 2020-04-05 | 2020-07-28 | 华中科技大学 | 一种辐射制冷纤维及其织物的制备方法 |
AT18094U1 (de) * | 2023-03-21 | 2024-01-15 | Plansee Se | Gasdurchlassmodul für einen hochtemperaturofen |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52134835U (ja) * | 1976-04-08 | 1977-10-13 | ||
JPS58153088A (ja) * | 1982-03-09 | 1983-09-10 | 旭硝子株式会社 | 輻射加熱方法及び輻射体 |
JPS621100U (ja) * | 1985-06-17 | 1987-01-07 | ||
JP3136873U (ja) * | 2007-08-14 | 2007-11-08 | 株式会社サン・フロンティア・テクノロジー | 高温ガス顕熱回収マット |
JP2008045150A (ja) * | 2006-08-10 | 2008-02-28 | San Frontier Technology:Kk | 物品の省エネルギー加熱方法及び加熱炉 |
JP4801789B1 (ja) * | 2010-10-07 | 2011-10-26 | 株式会社超高温材料研究センター | 加熱炉の熱効率改善方法及び加熱炉の熱効率改善装置 |
-
2010
- 2010-04-26 JP JP2010101187A patent/JP5563360B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52134835U (ja) * | 1976-04-08 | 1977-10-13 | ||
JPS58153088A (ja) * | 1982-03-09 | 1983-09-10 | 旭硝子株式会社 | 輻射加熱方法及び輻射体 |
JPS621100U (ja) * | 1985-06-17 | 1987-01-07 | ||
JP2008045150A (ja) * | 2006-08-10 | 2008-02-28 | San Frontier Technology:Kk | 物品の省エネルギー加熱方法及び加熱炉 |
JP3136873U (ja) * | 2007-08-14 | 2007-11-08 | 株式会社サン・フロンティア・テクノロジー | 高温ガス顕熱回収マット |
JP4801789B1 (ja) * | 2010-10-07 | 2011-10-26 | 株式会社超高温材料研究センター | 加熱炉の熱効率改善方法及び加熱炉の熱効率改善装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102943321A (zh) * | 2012-10-24 | 2013-02-27 | 长春理工大学 | 一种掺铕三氟化钇空心纳米纤维的制备方法 |
JP5640123B1 (ja) * | 2013-08-09 | 2014-12-10 | 株式会社超高温材料研究センター | 加熱機器の熱効率改善方法及び加熱機器の熱効率改善装置 |
WO2015019681A1 (ja) * | 2013-08-09 | 2015-02-12 | 株式会社超高温材料研究センター | 加熱機器の熱効率改善方法及び加熱機器の熱効率改善装置 |
US10267579B2 (en) | 2013-08-09 | 2019-04-23 | Japan Ultra-High Temperature Materials Research Center | Method and apparatus for improving thermal efficiency of heating device |
CN111455483A (zh) * | 2020-04-05 | 2020-07-28 | 华中科技大学 | 一种辐射制冷纤维及其织物的制备方法 |
AT18094U1 (de) * | 2023-03-21 | 2024-01-15 | Plansee Se | Gasdurchlassmodul für einen hochtemperaturofen |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5563360B2 (ja) | 2014-07-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5563360B2 (ja) | 通気性輻射熱反射体の製造方法 | |
JP4801789B1 (ja) | 加熱炉の熱効率改善方法及び加熱炉の熱効率改善装置 | |
EP1273339B1 (en) | Ceramic filter and catalyst-loaded ceramic filter | |
US7534482B2 (en) | Honeycomb structural body | |
CN104661752A (zh) | 复合材料、电极膜及其制造方法、电极端子及其制造方法、基材及其制造方法、以及接合材料和通过接合材料而使分割体被接合而形成的基材的制造方法 | |
EP3015667B1 (en) | Electrically heated catalytic converter | |
JP6445838B2 (ja) | 電気加熱式触媒コンバータ | |
US6811868B2 (en) | Ceramic body and ceramic catalyst body | |
JP5523904B2 (ja) | 加熱炉の熱遮蔽兼熱輻射反射装置及びその製造方法 | |
JPH1045473A (ja) | 耐酸化性に優れた熱分解炭素被覆黒鉛材 | |
JP5640123B1 (ja) | 加熱機器の熱効率改善方法及び加熱機器の熱効率改善装置 | |
JPWO2010143608A1 (ja) | 複合化無機繊維及びその製造方法、並びに複合化無機繊維加工品及びその製造方法 | |
JP2007283250A (ja) | オイルミストフィルター | |
WO2014208355A1 (ja) | 熱吸収体、集熱レシーバーおよび太陽熱発電装置 | |
JP2017188261A (ja) | 複層セラミックスヒーター、複層セラミックスヒーターの製造方法、及び、加熱方法 | |
JP2003335520A (ja) | Ti−V合金被膜またはTi−Mo合金被膜の酸化処理による酸化チタンウイスカーの製造方法 | |
JP2015050001A (ja) | 近赤外ヒーター | |
JP7078706B2 (ja) | 炭化ケイ素フィルター膜および使用方法 | |
JP5427480B2 (ja) | 焼成用容器及び焼成用搬送台車 | |
JP2004152900A (ja) | 半導体製造装置用ウェハ保持リング及びその製造方法、並びに半導体ウェハの熱処理方法及び加熱処理装置 | |
JP2001342082A (ja) | 多孔質体の製造方法 | |
JP4850876B2 (ja) | 光触媒担持体及びその製造方法 | |
JP2021111468A (ja) | フィラメントランプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130405 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140227 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140311 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140423 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140520 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140612 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5563360 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |