JP2011229976A - Ultrasonic probe and ultrasonic imaging apparatus - Google Patents

Ultrasonic probe and ultrasonic imaging apparatus Download PDF

Info

Publication number
JP2011229976A
JP2011229976A JP2011172735A JP2011172735A JP2011229976A JP 2011229976 A JP2011229976 A JP 2011229976A JP 2011172735 A JP2011172735 A JP 2011172735A JP 2011172735 A JP2011172735 A JP 2011172735A JP 2011229976 A JP2011229976 A JP 2011229976A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
piezoelectric vibrator
case
ultrasonic
heat
back material
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2011172735A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takashi Takeuchi
俊 武内
Takashi Ogawa
隆士 小川
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Canon Medical Systems Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Toshiba Medical Systems Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Toshiba Medical Systems Corp filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP2011172735A priority Critical patent/JP2011229976A/en
Publication of JP2011229976A publication Critical patent/JP2011229976A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
  • Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic probe suppressing a temperature rise of a living body contact part, and an ultrasonic imaging apparatus.SOLUTION: A case 10 is held by an operator. A piezoelectric vibrator 21 disposed in the case 10 has an electrode and transmits/receives ultrasonic waves. A back face material 24 is disposed on the lower face side of the piezoelectric vibrator 21 and attenuates ultrasonic waves from the piezoelectric vibrator 21. A heat radiating member 40 is joined to the side face of the back face material 24 and extended to the lower part side of the case 10, and allows the heat of the back face material 24 to flow in. A flexible printed circuit 30 has wiring connected to the electrode and transmits/receives electric signals to/from the piezoelectric vibrator 21. A cable 50 is held at the lower part of the case 10 and connected to the flexible printed circuit 30. The cable 50 has a plurality of shield wires 53 connected to the heat radiating member 40 to release the heat of the heat radiating member 40.

Description

本発明の実施形態は、対象物に対し超音波を送受信して、対象物内部を画像化する超音波探触子および超音波画像装置に関する。   Embodiments described herein relate generally to an ultrasonic probe and an ultrasonic imaging apparatus that transmit and receive ultrasonic waves to and from an object to image the inside of the object.

超音波探触子は、対象物内部の画像化等を目的として、前記対象物に向けて超音波を照射し、当該対象物内における音響インピーダンスの異なる界面からの反射波を受信する装置である。超音波探触子が使用される超音波画像装置としては、人体等の生体内部を検査する超音波画像診断装置が知られている。   An ultrasonic probe is an apparatus that irradiates an ultrasonic wave toward the object and receives reflected waves from an interface with different acoustic impedances in the object for the purpose of imaging the inside of the object. . 2. Description of the Related Art As an ultrasonic imaging apparatus using an ultrasonic probe, an ultrasonic diagnostic imaging apparatus that inspects the inside of a living body such as a human body is known.

超音波探触子は、操作者に把持されるケース体を有し、その内部には超音波を送受信するための超音波トランスデューサが収納されている。   The ultrasonic probe has a case body that is gripped by an operator, and an ultrasonic transducer for transmitting and receiving ultrasonic waves is housed in the case body.

図６は従来のトランスデューサの構成図である。   FIG. 6 is a configuration diagram of a conventional transducer.

図６に示すように、従来の超音波トランスデューサ１００は、操作者の手元側から順に、背面材１０１、圧電振動子１０２、音響整合層１０３、及び音響レンズ１０４を具備しており、このうち圧電振動子１０２と音響整合層１０３は、超音波をスキャンする方向に対して複数の圧電素子１０５に分割されている。   As shown in FIG. 6, the conventional ultrasonic transducer 100 includes a back material 101, a piezoelectric vibrator 102, an acoustic matching layer 103, and an acoustic lens 104 in order from the operator's hand side. The vibrator 102 and the acoustic matching layer 103 are divided into a plurality of piezoelectric elements 105 in the direction in which the ultrasonic waves are scanned.

各圧電素子１０５は、音響整合層１０３側の面にＧＮＤ用電極１０５ａ、背面材１０１側の面に信号用電極１０５ｂを備え、各信号用電極１０５ｂへの電気信号に遅延を与えることで、超音波のスキャンを実行している。   Each piezoelectric element 105 includes a GND electrode 105a on the surface on the acoustic matching layer 103 side, a signal electrode 105b on the surface on the back material 101 side, and delays the electrical signal to each signal electrode 105b, A sound wave scan is in progress.

すなわち、超音波のスキャンを実行するためには、各圧電素子１０５の信号用電極１０５ｂに対して僅かな遅延時間を与えた電気信号を別々に印加する必要がある。そのため、複数の信号用電極１０５ｂと接触する背面材１０１には、信号用電極１０５ｂ間の絶縁性を確保することができる絶縁体が使用されている。   In other words, in order to execute an ultrasonic scan, it is necessary to separately apply an electrical signal having a slight delay time to the signal electrode 105b of each piezoelectric element 105. Therefore, an insulator capable of ensuring insulation between the signal electrodes 105b is used for the back material 101 that contacts the plurality of signal electrodes 105b.

ところで、圧電振動子１０２から発生される超音波は、生体側へ放射される以外に、音響レンズ１０４や背面材１０１の内部で熱に変換される。そのため、超音波探触子には安全性の確保が義務づけられており、超音波探触子の生体接触部分の温度が規制値以下となるよう送信電圧を低く抑制する必要が生じている。   By the way, the ultrasonic wave generated from the piezoelectric vibrator 102 is converted into heat inside the acoustic lens 104 and the back material 101 in addition to being emitted to the living body side. Therefore, the ultrasound probe is required to ensure safety, and it is necessary to suppress the transmission voltage low so that the temperature of the living body contact portion of the ultrasound probe is equal to or lower than the regulation value.

しかしながら、送信電圧を低く抑えると、生体深部におけるＳ／Ｎ比が劣化して、画像診断能力が低下するという問題がある。そこで近年、この問題を解決するために、圧電振動子からの熱を背面材経由でケースやケーブルに放熱する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。   However, if the transmission voltage is kept low, there is a problem in that the S / N ratio in the deep part of the living body is deteriorated and the image diagnostic ability is lowered. Therefore, in recent years, in order to solve this problem, a method of dissipating the heat from the piezoelectric vibrator to the case or the cable via the back material has been proposed (for example, see Patent Document 1).

特開２００４−５６５０４号公報JP 2004-56504 A

しかしながら、背面材の材料である絶縁体は、熱伝導率が０．２［Ｗ／ｍＫ］〜１［Ｗ／ｍＫ］程度であり、放熱効率があまり良くない。そのため、圧電振動子で発生した熱が背面材中を効率良く移送されず、超音波探触子の生体接触部分の温度が上昇するという問題がある。   However, the insulator which is the material of the back material has a thermal conductivity of about 0.2 [W / mK] to 1 [W / mK], and the heat dissipation efficiency is not so good. Therefore, there is a problem that the heat generated by the piezoelectric vibrator is not efficiently transferred through the back material, and the temperature of the living body contact portion of the ultrasonic probe rises.

実施形態は、前記事情に鑑みてなされたものであって、その目的とするところは、生体接触部分の温度の上昇を抑制することができる超音波探触子および超音波画像装置を提供することにある。   The embodiment has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide an ultrasonic probe and an ultrasonic imaging apparatus capable of suppressing an increase in temperature of a living body contact portion. It is in.

本実施形態に係る超音波探触子は、操作者により把持されるケースと、前記ケース内に配置され、電極を有し、超音波を送受信する圧電振動子と、前記圧電振動子の下面側に配置され、前記圧電振動子からの超音波を減衰させる背面材と、前記背面材の側面に接合され、前記ケースの下部側に延設され、前記背面材の熱が流入される放熱部材と、前記電極に接続された配線を有し、前記圧電振動子に対して電気信号を送受信するフレキシブルプリントサーキットと、前記ケースの下部において保持され、前記フレキシブルプリントサーキットに接続されたケーブルであって、前記放熱部材の熱を放出するために前記放熱部材に接続された複数のシールド線を有するケーブルと、を具備する。   The ultrasonic probe according to the present embodiment includes a case held by an operator, a piezoelectric vibrator that is disposed in the case and has electrodes, and transmits and receives ultrasonic waves, and a lower surface side of the piezoelectric vibrator A back material for attenuating ultrasonic waves from the piezoelectric vibrator, a heat radiating member joined to a side surface of the back material, extended to a lower side of the case, and into which heat of the back material flows. A flexible printed circuit having wiring connected to the electrodes and transmitting and receiving electrical signals to and from the piezoelectric vibrator, and a cable connected to the flexible printed circuit held at the bottom of the case, A cable having a plurality of shield wires connected to the heat radiating member for releasing heat of the heat radiating member.

本発明の第１の実施形態に係る超音波診断装置の概略図。1 is a schematic diagram of an ultrasonic diagnostic apparatus according to a first embodiment of the present invention. 同形態に係る超音波探触子の構成図。The lineblock diagram of the ultrasonic probe concerning the form. 同実施形態に係るトランスデューサの斜視図。The perspective view of the transducer which concerns on the same embodiment. 同実施形態に係るケーブルの断面図。Sectional drawing of the cable which concerns on the same embodiment. 本発明の第２の実施形態に係る超音波探触子の構成図。The block diagram of the ultrasonic probe which concerns on the 2nd Embodiment of this invention. 従来の超音波トランスデューサの構成図。The block diagram of the conventional ultrasonic transducer.

以下、図面を参照しながら本発明を実施するための最良の形態について説明する。   The best mode for carrying out the present invention will be described below with reference to the drawings.

図１〜図４を用いて本発明の第１の実施形態について説明する。   A first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

図１は本発明の第１の実施形態に係る超音波診断装置の概略図である。   FIG. 1 is a schematic view of an ultrasonic diagnostic apparatus according to the first embodiment of the present invention.

図１に示すように、本実施形態に係る超音波診断装置（超音波画像装置）は、超音波探触子１と超音波診断装置本体２とから構成され、超音波を利用して人体（対象物）の内部状態を画像化するものである。   As shown in FIG. 1, the ultrasonic diagnostic apparatus (ultrasonic imaging apparatus) according to the present embodiment includes an ultrasonic probe 1 and an ultrasonic diagnostic apparatus body 2, and uses a human body ( The internal state of the (object) is imaged.

図２は同実施形態に係る超音波探触子１の構成図である。   FIG. 2 is a configuration diagram of the ultrasound probe 1 according to the embodiment.

図２に示すように、超音波探触子１は、操作者により把持されるケース１０と、ケース１０内に配置され、人体に対して超音波を送受信するトランスデューサ２０と、ケース１０内に配置され、トランスデューサ２０に対して電気信号を送受信するフレキシブルプリントサーキット（以下、「ＦＰＣ」とする。）３０と、ケース１０内に配置され、トランスデューサ２０の熱を放出させる放熱板（放熱部材）４０と、ケース１０の基端部に繋がれ、ＦＰＣ３０と超音波診断装置本体２とを接続するケーブル５０とを具備している。   As shown in FIG. 2, the ultrasound probe 1 is disposed in a case 10 that is gripped by an operator, a transducer 20 that is disposed in the case 10 and transmits / receives ultrasound to / from the human body, and the case 10. A flexible printed circuit (hereinafter referred to as “FPC”) 30 that transmits and receives electrical signals to and from the transducer 20, and a heat radiating plate (heat radiating member) 40 that is disposed in the case 10 and releases the heat of the transducer 20. The cable 50 is connected to the base end of the case 10 and connects the FPC 30 and the ultrasonic diagnostic apparatus main body 2.

次に、前記各構成要件について詳細に説明する。なお、以下の説明では、ケース１０の先端側を上側、ケース１０の基端側を下側とする。   Next, each component will be described in detail. In the following description, the distal end side of the case 10 is the upper side, and the proximal end side of the case 10 is the lower side.

［ケース１０］
ケース１０は、その上端部に開口部１１、下端部に挿通孔１２を備えている。開口部１１からはトランスデューサ２０（実際には音響レンズ２６）が僅かに突出し、挿通孔１２にはケーブル５０を保持するためのブッシュ６０が嵌め込まれている。 [Case 10]
The case 10 has an opening 11 at its upper end and an insertion hole 12 at its lower end. The transducer 20 (actually the acoustic lens 26) slightly protrudes from the opening 11, and a bush 60 for holding the cable 50 is fitted into the insertion hole 12.

［トランスデューサ２０］
図３は同実施形態に係るトランスデューサ２０の斜視図である。 [Transducer 20]
FIG. 3 is a perspective view of the transducer 20 according to the embodiment.

図３に示すように、トランスデューサ２０は、圧電振動子２１、音響整合層２２、ポリイミドフィルム（絶縁部材）２３、第１の背面材（背面材）２４、第２の背面材（減衰部材）２５、及び音響レンズ２６を具備している。   As shown in FIG. 3, the transducer 20 includes a piezoelectric vibrator 21, an acoustic matching layer 22, a polyimide film (insulating member) 23, a first back material (back material) 24, and a second back material (attenuation member) 25. , And an acoustic lens 26.

圧電振動子２１は、電気信号を受信して超音波に変換するとともに、超音波を受信して電気信号に変換するものである。この圧電振動子２１は、多数の圧電素子２１１により構成されている。   The piezoelectric vibrator 21 receives an electric signal and converts it into an ultrasonic wave, and receives an ultrasonic wave and converts it into an electric signal. The piezoelectric vibrator 21 includes a large number of piezoelectric elements 211.

これら圧電素子２１１は短冊状をしており、ケース１０の軸心線と略直角な方向に対して所定間隔で配列されている。圧電素子２１１の素材としては、２成分系あるいは３成分系の圧電セラミックス等が用いられる。以降、圧電素子２１１の配列方向をアレイ方向とし、アレイ方向および上下方向と略直角な方向をレンズ方向とする。   These piezoelectric elements 211 have a strip shape and are arranged at predetermined intervals in a direction substantially perpendicular to the axial center line of the case 10. As a material of the piezoelectric element 211, a two-component or three-component piezoelectric ceramic or the like is used. Hereinafter, the arrangement direction of the piezoelectric elements 211 is defined as an array direction, and a direction substantially perpendicular to the array direction and the vertical direction is defined as a lens direction.

圧電振動子２１の隙間、すなわち圧電素子２１１と圧電素子２１１との隙間には、圧電振動子２１の機械的強度を確保するための樹脂材（図示しない）が充填されている。樹脂材の素材としては、エポキシ樹脂等が用いられる。   A gap between the piezoelectric vibrators 21, that is, a gap between the piezoelectric elements 211 and 211, is filled with a resin material (not shown) for ensuring the mechanical strength of the piezoelectric vibrator 21. An epoxy resin or the like is used as the material for the resin material.

各圧電素子２１１は、上端面にＧＮＤ用電極（電極）２１１ａ、下端面に信号用電極（電極）２１１ｂを備え、これら電極２１１ａ、２１１ｂ間に電気信号を印加することで、圧電素子２１１の軸心線の方向、すなわち上下方向に対して超音波を発生できるようになっている。   Each piezoelectric element 211 includes a GND electrode (electrode) 211a on the upper end surface and a signal electrode (electrode) 211b on the lower end surface. By applying an electric signal between these electrodes 211a and 211b, the axis of the piezoelectric element 211 is provided. Ultrasonic waves can be generated in the direction of the core wire, that is, in the vertical direction.

圧電振動子２１のレンズ方向の一側面には、各圧電素子２１１のＧＮＤ用電極２１１ａを電気的に共通化するための共通化電極２１２がアレイ方向の全域に亘って接合されている。前述したＦＰＣ３０のＧＮＤ配線３１は、この共通化電極２１２を介して各ＧＮＤ用電極２１１ａに接続され、ＦＰＣ３０の信号配線３２は、それぞれ各信号用電極２１１ｂに接続されている。   A common electrode 212 for electrically sharing the GND electrode 211a of each piezoelectric element 211 is joined to one side surface of the piezoelectric vibrator 21 in the lens direction over the entire region in the array direction. The GND wiring 31 of the FPC 30 described above is connected to each GND electrode 211a via the common electrode 212, and the signal wiring 32 of the FPC 30 is connected to each signal electrode 211b.

音響整合層２２は、圧電振動子２１と人体との間の音響インピーダンスを整合させるものである。この音響整合層２２は、圧電振動子２１の上側に配置され、多数の音響整合素子２２１により構成されている。   The acoustic matching layer 22 matches the acoustic impedance between the piezoelectric vibrator 21 and the human body. The acoustic matching layer 22 is disposed on the upper side of the piezoelectric vibrator 21 and includes a large number of acoustic matching elements 221.

これら音響整合素子２２１は短冊状をしており、アレイ方向及びレンズ方向に対して、前記各圧電素子２１１と等しいピッチ間隔で配列されている。音響整合素子２２１の上下方向に対する厚さは、圧電振動子２１から送信される超音波の波長λの４分の１に設定されている。   These acoustic matching elements 221 have a strip shape and are arranged at equal pitch intervals as the piezoelectric elements 211 in the array direction and the lens direction. The thickness of the acoustic matching element 221 in the vertical direction is set to ¼ of the wavelength λ of the ultrasonic wave transmitted from the piezoelectric vibrator 21.

音響整合層２２の隙間、すなわち音響整合素子２２１と音響整合素子２２１との隙間には、音響整合層２２の機械的強度を確保するための樹脂材（図示しない）が充填されている。樹脂材の素材としては、エポキシ樹脂等が用いられる。   A gap between the acoustic matching layers 22, that is, a gap between the acoustic matching elements 221 and 221 is filled with a resin material (not shown) for ensuring the mechanical strength of the acoustic matching layer 22. An epoxy resin or the like is used as the material for the resin material.

なお、本実施形態では、音響整合素子２２１を１つの素材で構成しているが、材質の異なる２つの素材を用いて、音響インピーダンスが圧電素子２１１から人体に向かって段階的に変化するように構成してもよい。   In this embodiment, the acoustic matching element 221 is formed of one material, but the acoustic impedance changes stepwise from the piezoelectric element 211 toward the human body using two different materials. It may be configured.

ポリイミドフィルム２３は、圧電素子２１１相互の絶縁を確保するものである。このポリイミドフィルム２３は、圧電振動子２１と第１の背面材２４との間に介装されており、圧電振動子２１や音響整合層２２の隙間に対応する部分に溝部２３１を備えている。   The polyimide film 23 ensures insulation between the piezoelectric elements 211. The polyimide film 23 is interposed between the piezoelectric vibrator 21 and the first back material 24, and includes a groove portion 231 at a portion corresponding to the gap between the piezoelectric vibrator 21 and the acoustic matching layer 22.

なお、ポリイミドフィルム２３の熱伝導率は０．２［Ｗ／ｍＫ］程度であり、またポリイミドフィルム２３の音響インピーダンスは、３［Ｍｒａｙｌ］〜４［Ｍｒａｙｌ］程度である。   The thermal conductivity of the polyimide film 23 is about 0.2 [W / mK], and the acoustic impedance of the polyimide film 23 is about 3 [Mrayl] to 4 [Mrayl].

ポリイミドフィルム２３の厚さは、超音波の波長λの１０分の１以下、すなわちλ／１０以下に設定されている。例えば、音速が２２００［ｍ／ｓ］、超音波の周波数が５［ＭＨｚ］である場合、ポリイミドフィルム２３の厚さは４４［μｍ］以下となる。   The thickness of the polyimide film 23 is set to 1/10 or less of the wavelength λ of the ultrasonic wave, that is, λ / 10 or less. For example, when the sound speed is 2200 [m / s] and the ultrasonic frequency is 5 [MHz], the thickness of the polyimide film 23 is 44 [μm] or less.

第１の背面材２４は、圧電振動子２１で発生した超音波のうち下側、すなわち操作者の手元側に伝播してくる超音波を減衰して熱に変換するものである。この第１の背面材２４は、ポリイミドフィルム２３の下側に配置されている。   The first backing member 24 attenuates the ultrasonic wave propagating to the lower side of the ultrasonic wave generated by the piezoelectric vibrator 21, that is, the operator's hand side, and converts it into heat. The first back material 24 is disposed below the polyimide film 23.

第１の背面材２４の素材としては、高い熱伝導率と導電性を有する、等方性黒鉛、金属、又はカーボンのフィラーあるいはファイバーを含む樹脂混合物等が用いられる。また、第１の背面材２４の音響インピーダンスとしては、超音波の収斂が良好な２［Ｍｒａｙｌ］〜７［Ｍｒａｙｌ］の範囲が好ましい。   As the material of the first backing material 24, a resin mixture containing isotropic graphite, metal, carbon filler or fiber having high thermal conductivity and conductivity is used. In addition, the acoustic impedance of the first back member 24 is preferably in the range of 2 [Mrayl] to 7 [Mrayl] with good ultrasonic convergence.

そこで、本実施形態では、第１の背面材２４の素材として、熱伝導率が９０［Ｗ／ｍＫ］、音響インピーダンスが５［Ｍｒａｙｌ］である等方性黒鉛を用いている。これにより、トランスデューサ２０の熱が第１の背面材２４中を効率良く移送されるようになっている。   Therefore, in the present embodiment, isotropic graphite having a thermal conductivity of 90 [W / mK] and an acoustic impedance of 5 [Mrayl] is used as a material for the first back material 24. As a result, the heat of the transducer 20 is efficiently transferred through the first back material 24.

第２の背面材２５は、圧電振動子２１で発生した超音波のうち、第１の背面材２４で減衰し切れなかった超音波を減衰して熱に変換するものである。この第２の背面材２５は、第１の背面材２４の下側に配置されている。   The second backing material 25 attenuates ultrasonic waves that have not been attenuated by the first backing material 24 out of the ultrasonic waves generated by the piezoelectric vibrator 21 and converts them into heat. The second back material 25 is disposed below the first back material 24.

第２の背面材２５の素材としては、酸化物フィラーを含む樹脂混合物が用いられる。また、第２の背面材２５の音響インピーダンスとしては、第１の背面材２４と第２の背面材２５の接合面における超音波の反射を防止するために、等方性黒鉛の音響インピーダンスと略等しい５［Ｍｒａｙｌ］に設定されている。   As a material for the second backing material 25, a resin mixture containing an oxide filler is used. The acoustic impedance of the second backing material 25 is substantially the same as that of isotropic graphite in order to prevent reflection of ultrasonic waves at the joint surface between the first backing material 24 and the second backing material 25. It is set to equal 5 [Mrayl].

音響レンズ２６は、音響の屈折を利用して超音波ビームを収束させ、超音波の分解能を向上させるものである。この音響レンズ２６は、音響整合層２２の上側に全ての音響整合素子２２１を覆うように配置されている。   The acoustic lens 26 uses an acoustic refraction to converge the ultrasonic beam and improve the ultrasonic resolution. The acoustic lens 26 is disposed on the upper side of the acoustic matching layer 22 so as to cover all the acoustic matching elements 221.

音響レンズ２６の素材としては、シリコーンゴム等が用いられる。また、音響レンズ２６の音響インピーダンスとしては、人体と音響レンズ２６の接触面における超音波の反射を防止するために、人体の音響インピーダンスに近い値に設定されている。   As a material of the acoustic lens 26, silicone rubber or the like is used. The acoustic impedance of the acoustic lens 26 is set to a value close to the acoustic impedance of the human body in order to prevent reflection of ultrasonic waves at the contact surface between the human body and the acoustic lens 26.

［ＦＰＣ３０］
ＦＰＣ３０は、トランスデューサ２０のレンズ方向の一側に配置されており、主にＧＮＤ配線３１と信号配線３２とによる平面２層構造となっている。これらＧＮＤ配線３１と信号配線３２は、ＦＰＣ３０の中途部で分離されており、各々の先端部にて共通化電極２１２と信号用電極２１１ｂに夫々接続されている。 [FPC30]
The FPC 30 is disposed on one side of the transducer 20 in the lens direction, and has a planar two-layer structure mainly including a GND wiring 31 and a signal wiring 32. The GND wiring 31 and the signal wiring 32 are separated in the middle of the FPC 30, and are connected to the common electrode 212 and the signal electrode 211b at the respective leading ends.

［放熱板４０］
放熱板４０は、第１の背面材２４のレンズ方向の両側面に対して螺子（図示しない）等により接合されている。この放熱板４０は、第１の背面材２４の上下方向の中途部からケース１０の下部側に延設されており、ケース１０の下端部に最も接近したところで、ケーブル５０の端面から突出したのシールド線（後述する）５３に接続されている（図２参照）。放熱板４０の素材としては、熱伝導率が２００［Ｗ／ｍＫ］程度の銅が用いられる。 [Heatsink 40]
The heat radiating plate 40 is joined to both side surfaces of the first back member 24 in the lens direction by screws (not shown) or the like. The heat radiating plate 40 extends from a middle part in the vertical direction of the first back member 24 to the lower side of the case 10, and protrudes from the end surface of the cable 50 when closest to the lower end of the case 10. It is connected to a shield wire (described later) 53 (see FIG. 2). As the material of the heat sink 40, copper having a thermal conductivity of about 200 [W / mK] is used.

［ケーブル５０］
図４は同実施形態に係るケーブル５０の断面図である。 [Cable 50]
FIG. 4 is a cross-sectional view of the cable 50 according to the embodiment.

図４に示すように、ケーブル５０は、前記ブッシュ６０によりケース１０の下端部に保持されており、主に複数の信号線５１と、信号線５１の周囲を覆う樹脂材５２と、樹脂材５２の外周部に環状に配設された多数のシールド線５３と、シールド線５３の外側を覆う外皮５４とから構成されている。   As shown in FIG. 4, the cable 50 is held at the lower end of the case 10 by the bush 60, and mainly includes a plurality of signal lines 51, a resin material 52 that covers the periphery of the signal lines 51, and a resin material 52 Is formed of a large number of shield wires 53 arranged in an annular shape on the outer peripheral portion of the wire and an outer skin 54 covering the outside of the shield wires 53.

シールド線５３は、信号線５１を外部のノイズから保護するためのものである。このシールド線５３は、ケーブル５０のケース１０側の端面から突出し、放熱板４０の下側部に接続されている。シールド線５３の素材としては、銅やアルミ等の導電性の高い金属が用いられる。   The shield line 53 is for protecting the signal line 51 from external noise. The shield wire 53 protrudes from the end face of the cable 50 on the case 10 side and is connected to the lower side of the heat sink 40. As a material for the shield wire 53, a highly conductive metal such as copper or aluminum is used.

次に、前記構成の超音波探触子１の製造工程について簡単に説明する。   Next, a manufacturing process of the ultrasonic probe 1 having the above configuration will be briefly described.

まず圧電振動ブロックと音響整合ブロックを用意する。なお、圧電振動ブロックは、ブロック状に形成された圧電材料にメッキまたはスパッタリングで電極を形成し、その後、圧電材料に分極処理を施したものである。   First, a piezoelectric vibration block and an acoustic matching block are prepared. The piezoelectric vibration block is obtained by forming an electrode on a piezoelectric material formed in a block shape by plating or sputtering, and then performing polarization treatment on the piezoelectric material.

圧電振動ブロックと音響整合ブロックを用意したら、圧電振動子ブロックの一方の電極に音響整合ブロックを接合し、これら圧電振動ブロックと音響整合ブロックを所望の厚さ・寸法に加工する。   When the piezoelectric vibration block and the acoustic matching block are prepared, the acoustic matching block is joined to one electrode of the piezoelectric vibrator block, and the piezoelectric vibration block and the acoustic matching block are processed to a desired thickness and size.

次に、圧電振動子ブロックの電極のうち、音響整合ブロックが接合された電極に対してＦＰＣ３０の信号配線３２を接続する。この状態では、ＦＰＣ３０の信号配線は１枚の薄膜状である。そして、圧電振動子ブロックを挟んで音響整合ブロックの反対側にポリイミドフィルム２３、第１の背面材２４、及び第２の背面材２５を順に接合し、音響整合ブロック側からポリイミドフィルム２３の中途部に至るまでダイシング加工を行う。   Next, the signal wiring 32 of the FPC 30 is connected to the electrode to which the acoustic matching block is bonded among the electrodes of the piezoelectric vibrator block. In this state, the signal wiring of the FPC 30 is a single thin film. And the polyimide film 23, the 1st back material 24, and the 2nd back material 25 are joined in order on the opposite side of an acoustic matching block across a piezoelectric vibrator block, and the middle part of the polyimide film 23 from the acoustic matching block side Dicing is performed until

これにより、圧電振動子ブロックは複数の圧電素子２１１に分割されて圧電振動子２１となり、音響整合ブロックは複数の音響整合素子２２１に分割されて音響整合層２２となる。また、ポリイミドフィルム２３には複数の溝部２３１が形成される。さらに、ＦＰＣ３０の信号配線３２は、圧電振動子２１の圧電素子２１１ごとに分割される。   Thus, the piezoelectric vibrator block is divided into a plurality of piezoelectric elements 211 to become the piezoelectric vibrator 21, and the acoustic matching block is divided into a plurality of acoustic matching elements 221 to become the acoustic matching layer 22. In addition, a plurality of grooves 231 are formed in the polyimide film 23. Further, the signal wiring 32 of the FPC 30 is divided for each piezoelectric element 211 of the piezoelectric vibrator 21.

次に、圧電振動子２１のレンズ方向の一側面に共通化電極２１２を接合し、この共通化電極２１２を介して各ＧＮＤ用電極２１１ａとＦＰＣ３０のＧＮＤ配線３１とを接続する。   Next, the common electrode 212 is joined to one side surface of the piezoelectric vibrator 21 in the lens direction, and the GND electrodes 211 a and the GND wiring 31 of the FPC 30 are connected via the common electrode 212.

そして、圧電振動子２１及び音響整合層２２の隙間に樹脂材を充填した後、音響整合層２２を挟んで圧電振動子２１の反対側に音響レンズ６を接合する。以上で、前記構成のトランスデューサ２０が完成する。   After filling the gap between the piezoelectric vibrator 21 and the acoustic matching layer 22 with a resin material, the acoustic lens 6 is bonded to the opposite side of the piezoelectric vibrator 21 with the acoustic matching layer 22 interposed therebetween. Thus, the transducer 20 having the above configuration is completed.

次に、このトランスデューサ２０をケース１０内に収納し、第１の背面材２４のアレイ方向の両側面に放熱板４０を接合する。そして、ＦＰＣ３０とケーブル５０を接続するとともに、放熱板４０とケーブル５０のシールド線５３を接続する。以上で、本実施形態に係る超音波探触子１が完成する。   Next, the transducer 20 is housed in the case 10, and the heat radiating plates 40 are joined to both side surfaces of the first back material 24 in the array direction. And while connecting FPC30 and the cable 50, the heat sink 40 and the shield wire 53 of the cable 50 are connected. Thus, the ultrasonic probe 1 according to the present embodiment is completed.

次に、前記構成の超音波探触子による作用について説明する。   Next, the operation of the ultrasonic probe having the above configuration will be described.

本実施形態では、圧電振動子２１の下側に第１の背面材２４を配置し、その素材として熱伝導率の高い等方性黒鉛を用いている。そのため、トランスデューサ２０の熱が第１の背面材２４で滞ることなく放熱板４０に流入し、ケーブル５０のシールド線５３から迅速に放熱されるから、人体と接触する音響レンズ２６の温度上昇を抑制することができる。   In the present embodiment, the first back material 24 is disposed below the piezoelectric vibrator 21 and isotropic graphite having high thermal conductivity is used as the material. Therefore, the heat of the transducer 20 flows into the heat radiating plate 40 without stagnation in the first back material 24, and is quickly radiated from the shield wire 53 of the cable 50, so that the temperature rise of the acoustic lens 26 that contacts the human body is suppressed. can do.

その結果、超音波診断時に使用する送信電圧を高く設定することが可能となるから、生体深部の画像化を行う場合であっても、Ｓ／Ｎ比の良い高品質の超音波画像を取得することができる。   As a result, since it is possible to set a high transmission voltage for use in ultrasonic diagnosis, a high-quality ultrasonic image with a good S / N ratio is acquired even when imaging the deep part of the living body. be able to.

また、圧電振動子２１と第１の背面材２４の間にポリイミドフィルム２３を介装している。そのため、圧電素子２１１相互の絶縁が確保され、各圧電素子２１１に対して別々の電気信号を印加することができる。   Further, a polyimide film 23 is interposed between the piezoelectric vibrator 21 and the first back material 24. Therefore, insulation between the piezoelectric elements 211 is ensured, and separate electric signals can be applied to each piezoelectric element 211.

しかも、ポリイミドフィルム２３の厚さを超音波の波長λの１／１０以下としている。そのため、送受信される超音波に対する音響的な影響が無視できる位に小さくできるから、本実施形態のように圧電振動子２１と第１の背面材２４との間にポリイミドフィルム２３を介装しても、超音波画像の品質を低下させることがない。   Moreover, the thickness of the polyimide film 23 is set to 1/10 or less of the ultrasonic wavelength λ. Therefore, since the acoustic influence on the transmitted and received ultrasonic waves can be reduced to a negligible level, a polyimide film 23 is interposed between the piezoelectric vibrator 21 and the first back material 24 as in this embodiment. However, the quality of the ultrasonic image is not deteriorated.

また、本実施形態では、第１の背面材２４の下側に、第１の背面材２４よりも高い減衰効果を有する第２の背面材２５を配置している。そのため、第１の背面材２４の素材が減衰効果の小さな素材であっても、圧電振動子２１からの超音波を第２の背面材２５で十分に減衰することができる。逆に言えば、本実施形態のように、第１の背面材２４の下側に第２の背面材２５を配置することで、第１の背面材２４の素材選択の幅を広げることが可能となる。   In the present embodiment, the second back material 25 having a higher damping effect than the first back material 24 is disposed below the first back material 24. Therefore, even if the material of the first back material 24 is a material having a small attenuation effect, the ultrasonic waves from the piezoelectric vibrator 21 can be sufficiently attenuated by the second back material 25. Conversely, as in the present embodiment, by arranging the second back material 25 below the first back material 24, the range of material selection for the first back material 24 can be expanded. It becomes.

また、本実施形態では、第２の背面材２５の音響インピーダンスを第１の背面材２４の音響インピーダンスと等しい５［Ｍｒａｙｌ］としている。そのため、第１の背面材２４と第２の背面材２５の接合面における超音波の反射を防止することができる。   In the present embodiment, the acoustic impedance of the second back material 25 is set to 5 [Mrayl] which is equal to the acoustic impedance of the first back material 24. Therefore, it is possible to prevent reflection of ultrasonic waves at the joint surface between the first back material 24 and the second back material 25.

なお、本実施の形態では、ポリイミドフィルム２３の厚さをλ／１０以下としているが、音響整合層２２の厚さ以下、すなわちλ／４以下であれば、トランスデューサ２０の熱が音響レンズ２６側よりも背面材２４、２５側に伝わり易くなるから、超音波探触子１の人体と接触する部分の温度上昇を防止するという、本発明の目的を達成することが可能である。   In the present embodiment, the thickness of the polyimide film 23 is λ / 10 or less. However, if the thickness of the acoustic matching layer 22 is less than the thickness, that is, λ / 4 or less, the heat of the transducer 20 is on the acoustic lens 26 side. Therefore, it is possible to achieve the object of the present invention to prevent the temperature of the portion of the ultrasonic probe 1 in contact with the human body from being increased.

また、本実施形態では、超音波を減衰するために、圧電振動子２１の下側に２つの背面材、すなわち第１の背面材２４と第２の背面材２５を配置しているが、本発明はこれに限定されるものではない。   In the present embodiment, in order to attenuate the ultrasonic wave, two backing materials, that is, the first backing material 24 and the second backing material 25 are arranged below the piezoelectric vibrator 21. The invention is not limited to this.

すなわち、第１の背面材２４の素材として、熱伝導率が５００［Ｗ／ｍＫ］のカーボンファイバを含む樹脂混合物を用いれば、減衰係数が５［ｄＢ／ＭＨｚ・ｍｍ］程度まで上昇するから、第１の背面材２４だけで十分に超音波の減衰を行うことができる。   That is, if a resin mixture containing a carbon fiber having a thermal conductivity of 500 [W / mK] is used as the material of the first back member 24, the attenuation coefficient increases to about 5 [dB / MHz · mm]. The ultrasonic wave can be sufficiently attenuated only by the first backing material 24.

なお、カーボンファイバを含む第１の背面材２４の音響インピーダンスは、４［Ｍｒａｙｌ］程度であり、熱伝導率は１０［Ｗ／ｍＫ］程度である。   The acoustic impedance of the first back member 24 including the carbon fiber is about 4 [Mrayl], and the thermal conductivity is about 10 [W / mK].

次に、図５を用いて本発明の第２の実施形態について説明する。なお、ここでは第１の実施形態と同じ構成、作用については、その説明を省略する。   Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. Here, the description of the same configuration and operation as those of the first embodiment is omitted.

図５は本発明の第２の実施形態に係る超音波探触子１Ａの構成図である。   FIG. 5 is a configuration diagram of an ultrasonic probe 1A according to the second embodiment of the present invention.

図５に示すように、本実施形態は、本発明の技術を二次元アレイ型の超音波探触子１Ａに適用した例である。二次元アレイ型の超音波探触子１Ａは、ケース１０内の基端側にトランスデューサ２０を駆動するための駆動回路７０を備えている。   As shown in FIG. 5, the present embodiment is an example in which the technique of the present invention is applied to a two-dimensional array type ultrasonic probe 1A. The two-dimensional array type ultrasonic probe 1 </ b> A includes a drive circuit 70 for driving the transducer 20 on the proximal end side in the case 10.

このため、二次元アレイ型の超音波探触子１Ａを使用すると、この駆動回路７０から熱が発生し、超音波探触子１Ａが加熱されることがある。しかしながら、本実施形態のように、圧電振動子２１の下側にポリイミドフィルム２３を介して第１の背面材２４を配置し、この放熱板４０を介してケーブル５０のシールド線５３から熱を排出すれば、圧電素子２１１間の絶縁を確保したまま、駆動回路７０に起因するトランスデューサ２０の加熱も抑制することが可能となる。   For this reason, when the two-dimensional array type ultrasonic probe 1A is used, heat is generated from the drive circuit 70, and the ultrasonic probe 1A may be heated. However, as in the present embodiment, the first back material 24 is disposed below the piezoelectric vibrator 21 via the polyimide film 23, and heat is discharged from the shield wire 53 of the cable 50 via the heat radiating plate 40. Then, heating of the transducer 20 caused by the drive circuit 70 can be suppressed while ensuring insulation between the piezoelectric elements 211.

その結果、超音波診断時に使用できる送信電圧を高く設定することができるから、生体深部を画像化する場合であっても、Ｓ／Ｎ比の良い高品質の超音波画像を取得することができる。   As a result, since the transmission voltage that can be used at the time of ultrasonic diagnosis can be set high, a high-quality ultrasonic image with a good S / N ratio can be acquired even when imaging the deep part of the living body. .

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、これらの実施形態は、例として提示したものであり、発明の範囲を限定することは意図していない。これら新規な実施形態は、その他の様々な形態で実施されることが可能であり、発明の要旨を逸脱しない範囲で、種々の省略、置き換え、変更を行うことができる。これら実施形態やその変形は、発明の範囲や要旨に含まれるとともに、特許請求の範囲に記載された発明とその均等の範囲に含まれるものである。   Although several embodiments of the present invention have been described, these embodiments are presented by way of example and are not intended to limit the scope of the invention. These novel embodiments can be implemented in various other forms, and various omissions, replacements, and changes can be made without departing from the scope of the invention. These embodiments and modifications thereof are included in the scope and gist of the invention, and are included in the invention described in the claims and the equivalents thereof.

１…超音波探触子、１Ａ…超音波探触子、２１…圧電振動子、２２…音響整合層、２３…ポリイミドフィルム（絶縁部材）、２４…第１の背面材（背面材）、２５…第２の背面材（減衰部材）、４０…放熱板（放熱部材）、２１１ａ…ＧＮＤ用電極（電極）、２１１ｂ…信号用電極（電極）   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Ultrasonic probe, 1A ... Ultrasonic probe, 21 ... Piezoelectric vibrator, 22 ... Acoustic matching layer, 23 ... Polyimide film (insulating member), 24 ... First back material (back material), 25 ... 2nd back material (attenuation member), 40 ... Radiation plate (heat dissipation member), 211a ... GND electrode (electrode), 211b ... Signal electrode (electrode)

Claims (6)

操作者により把持されるケースと、
前記ケース内に配置され、電極を有し、超音波を送受信する圧電振動子と、
前記圧電振動子の下面側に配置され、前記圧電振動子からの超音波を減衰させる背面材と、
前記背面材の側面に接合され、前記ケースの下部側に延設され、前記背面材の熱が流入される放熱部材と、
前記電極に接続された配線を有し、前記圧電振動子に対して電気信号を送受信するフレキシブルプリントサーキットと、
前記ケースの下部において保持され、前記フレキシブルプリントサーキットに接続されたケーブルであって、前記放熱部材の熱を放出するために前記放熱部材に接続された複数のシールド線を有するケーブルと、
を具備する超音波探触子。 A case gripped by an operator;
A piezoelectric vibrator disposed in the case, having an electrode and transmitting and receiving ultrasonic waves;
A back material that is disposed on the lower surface side of the piezoelectric vibrator and attenuates ultrasonic waves from the piezoelectric vibrator;
A heat radiating member joined to the side surface of the back material, extended to the lower side of the case, and into which the heat of the back material flows,
A flexible printed circuit having wiring connected to the electrodes and transmitting and receiving electrical signals to and from the piezoelectric vibrator;
A cable that is held at a lower portion of the case and connected to the flexible printed circuit, the cable having a plurality of shield wires connected to the heat dissipation member to release heat of the heat dissipation member;
An ultrasonic probe comprising: 前記複数のシールド線と前記放熱部材とは、前記ケースの下部において接続されている、請求項１記載の超音波探触子。   The ultrasonic probe according to claim 1, wherein the plurality of shield wires and the heat radiating member are connected at a lower portion of the case. 前記ケーブルは、複数の信号線と前記複数の信号線の周囲を覆う樹脂と前記樹脂の外周部に環状に配設された前記複数のシールド線とを有する、請求項１記載の超音波探触子。   2. The ultrasonic probe according to claim 1, wherein the cable includes a plurality of signal lines, a resin that covers the periphery of the plurality of signal lines, and the plurality of shield wires that are annularly disposed on an outer peripheral portion of the resin. Child. 前記複数のシールド線の素材は、銅またはアルミが用いられる、請求項１記載の超音波探触子。   The ultrasonic probe according to claim 1, wherein a material of the plurality of shield wires is copper or aluminum. 前記背面材は、導電性を有し、
前記背面材と前記圧電振動子との間に介装された絶縁部材、をさらに備える、
請求項１記載の超音波探触子。 The backing material has conductivity,
An insulating member interposed between the back material and the piezoelectric vibrator;
The ultrasonic probe according to claim 1. 超音波探触子を具備する超音波画像装置において、
前記超音波探触子は、
操作者により把持されるケースと、
前記ケース内に配置され、電極を有し、超音波を送受信する圧電振動子と、
前記圧電振動子の下面側に配置され、前記圧電振動子からの超音波を減衰させる背面材と、
前記背面材の側面に接合され、前記ケースの下部側に延設され、前記背面材の熱が流入される放熱部材と、
前記電極に接続された配線を有し、前記圧電振動子に対して電気信号を送受信するフレキシブルプリントサーキットと、
前記ケースの下部において保持され、前記フレキシブルプリントサーキットに接続されたケーブルであって、前記放熱部材の熱を放出するために前記放熱部材に接続された複数のシールド線を有するケーブルと、
を有することを特徴とする超音波画像装置。 In an ultrasonic imaging apparatus equipped with an ultrasonic probe,
The ultrasonic probe is
A case gripped by an operator;
A piezoelectric vibrator disposed in the case, having an electrode and transmitting and receiving ultrasonic waves;
A back material that is disposed on the lower surface side of the piezoelectric vibrator and attenuates ultrasonic waves from the piezoelectric vibrator;
A heat radiating member joined to the side surface of the back material, extended to the lower side of the case, and into which the heat of the back material flows,
A flexible printed circuit having wiring connected to the electrodes and transmitting and receiving electrical signals to and from the piezoelectric vibrator;
A cable that is held at a lower portion of the case and connected to the flexible printed circuit, the cable having a plurality of shield wires connected to the heat dissipation member to release heat of the heat dissipation member;
An ultrasonic imaging apparatus comprising:
JP2011172735A 2011-08-08 2011-08-08 Ultrasonic probe and ultrasonic imaging apparatus Pending JP2011229976A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011172735A JP2011229976A (en) 2011-08-08 2011-08-08 Ultrasonic probe and ultrasonic imaging apparatus

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011172735A JP2011229976A (en) 2011-08-08 2011-08-08 Ultrasonic probe and ultrasonic imaging apparatus

Related Parent Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005347174A Division JP5065593B2 (en) 2005-11-30 2005-11-30 Ultrasonic probe and ultrasonic imaging device

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2011229976A true JP2011229976A (en) 2011-11-17

Family

ID=45319890

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011172735A Pending JP2011229976A (en) 2011-08-08 2011-08-08 Ultrasonic probe and ultrasonic imaging apparatus

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2011229976A (en)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5905169B1 (en) * 2014-09-02 2016-04-20 オリンパス株式会社 Ultrasound endoscope
JP2017093878A (en) * 2015-11-26 2017-06-01 株式会社日立製作所 Ultrasonic probe
KR101804458B1 (en) * 2016-08-02 2017-12-04 한밭대학교 산학협력단 Ultrasonic probe and method of manufacturing the same
WO2018003322A1 (en) * 2016-06-30 2018-01-04 富士フイルム株式会社 Ultrasonic endoscope
JPWO2017047053A1 (en) * 2015-09-18 2018-01-11 富士フイルム株式会社 Photoacoustic measurement probe, probe unit including the same, and photoacoustic measurement apparatus
US9867596B2 (en) 2012-10-31 2018-01-16 Hitachi, Ltd. Ultrasonic probe
CN108601579A (en) * 2016-01-28 2018-09-28 三星麦迪森株式会社 Ultrasonic probe and compuscan including the ultrasonic probe
JPWO2018003232A1 (en) * 2016-06-30 2019-04-11 富士フイルム株式会社 Ultrasound endoscope and manufacturing method thereof
JP2019097722A (en) * 2017-11-30 2019-06-24 ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ Ultrasonic probe and ultrasonic image display apparatus
US11241217B2 (en) 2016-07-19 2022-02-08 Olympus Corporation Ultrasound probe and ultrasound endoscope

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63159750A (en) * 1986-12-24 1988-07-02 Toshiba Corp Array type ultrasonic probe
JPH05244690A (en) * 1992-02-29 1993-09-21 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd Ultrasonic probe
JPH06225391A (en) * 1993-01-25 1994-08-12 Olympus Optical Co Ltd Ultrasonic wave probe and manufacture thereof
JPH09294744A (en) * 1995-12-29 1997-11-18 General Electric Co <Ge> Ultrasonic probe
JPH1094540A (en) * 1996-09-24 1998-04-14 Toshiba Corp Ultrasonic probe
JP2000165995A (en) * 1998-11-24 2000-06-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ultrasonic wave probe

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63159750A (en) * 1986-12-24 1988-07-02 Toshiba Corp Array type ultrasonic probe
JPH05244690A (en) * 1992-02-29 1993-09-21 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd Ultrasonic probe
JPH06225391A (en) * 1993-01-25 1994-08-12 Olympus Optical Co Ltd Ultrasonic wave probe and manufacture thereof
JPH09294744A (en) * 1995-12-29 1997-11-18 General Electric Co <Ge> Ultrasonic probe
JPH1094540A (en) * 1996-09-24 1998-04-14 Toshiba Corp Ultrasonic probe
JP2000165995A (en) * 1998-11-24 2000-06-16 Matsushita Electric Ind Co Ltd Ultrasonic wave probe

Cited By (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US9867596B2 (en) 2012-10-31 2018-01-16 Hitachi, Ltd. Ultrasonic probe
JP5905169B1 (en) * 2014-09-02 2016-04-20 オリンパス株式会社 Ultrasound endoscope
JPWO2017047053A1 (en) * 2015-09-18 2018-01-11 富士フイルム株式会社 Photoacoustic measurement probe, probe unit including the same, and photoacoustic measurement apparatus
JP2017093878A (en) * 2015-11-26 2017-06-01 株式会社日立製作所 Ultrasonic probe
CN108601579A (en) * 2016-01-28 2018-09-28 三星麦迪森株式会社 Ultrasonic probe and compuscan including the ultrasonic probe
CN108601579B (en) * 2016-01-28 2021-07-06 三星麦迪森株式会社 Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic system including the same
WO2018003322A1 (en) * 2016-06-30 2018-01-04 富士フイルム株式会社 Ultrasonic endoscope
JPWO2018003322A1 (en) * 2016-06-30 2019-03-28 富士フイルム株式会社 Ultrasound endoscope
JPWO2018003232A1 (en) * 2016-06-30 2019-04-11 富士フイルム株式会社 Ultrasound endoscope and manufacturing method thereof
US11076837B2 (en) 2016-06-30 2021-08-03 Fujifilm Corporation Ultrasonic endoscope
US11241217B2 (en) 2016-07-19 2022-02-08 Olympus Corporation Ultrasound probe and ultrasound endoscope
KR101804458B1 (en) * 2016-08-02 2017-12-04 한밭대학교 산학협력단 Ultrasonic probe and method of manufacturing the same
JP2019097722A (en) * 2017-11-30 2019-06-24 ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ Ultrasonic probe and ultrasonic image display apparatus
US11474219B2 (en) 2017-11-30 2022-10-18 General Electric Company Ultrasonic probe, and ultrasonic image display apparatus

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2011229976A (en) Ultrasonic probe and ultrasonic imaging apparatus
JP5065593B2 (en) Ultrasonic probe and ultrasonic imaging device
KR101064601B1 (en) Ultrasonic Probe, Ultrasonic Imaging Apparatus and Fabricating Method Thereof
JP5384678B2 (en) Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic apparatus using the same
JP5954773B2 (en) Ultrasonic probe and method for manufacturing ultrasonic probe
EP2425783B1 (en) Probe for ultrasonic diagnostic apparatus
JP6548201B2 (en) Heat transfer and acoustic matching layer for ultrasonic transducers
US20180028159A1 (en) Rearward acoustic diffusion for ultrasound-on-a-chip transducer array
JP2015503283A (en) Backing member, ultrasonic probe, and ultrasonic image display device
WO2014069499A1 (en) Ultrasonic probe
US8378557B2 (en) Thermal transfer and acoustic matching layers for ultrasound transducer
JP5746082B2 (en) Ultrasonic probe and signal line connection method
JP2010220216A (en) Probe for ultrasonic diagnostic apparatus and method of manufacturing the same
KR101613413B1 (en) Ultrasonic diagnostic instrument and manufacturing method thereof
JP2000184497A (en) Ultrasonic probe
JP2023181165A (en) Thermal conductive layer for transducer face temperature reduction
JPWO2012023619A1 (en) Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic apparatus using the same
JP4528606B2 (en) Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic apparatus
JP2007142555A (en) Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic equipment
CN106413563B (en) Ultrasonic transducer
WO2014069500A1 (en) Ultrasonic probe
JP5828703B2 (en) Ultrasonic probe and ultrasonic diagnostic apparatus
WO2016117721A1 (en) Ultrasonic transducer having sound absorbing layer for improving heat dissipation
JP2007282743A (en) Ultrasonic probe, manufacturing method for ultrasonic probe, and ultrasonic diagnosing apparatus
KR101638578B1 (en) Ultrasonic transducer having backer layer for improving heat distribution feature

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20110818

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130219

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20130910