JP2011223489A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2011223489A5
JP2011223489A5 JP2010092921A JP2010092921A JP2011223489A5 JP 2011223489 A5 JP2011223489 A5 JP 2011223489A5 JP 2010092921 A JP2010092921 A JP 2010092921A JP 2010092921 A JP2010092921 A JP 2010092921A JP 2011223489 A5 JP2011223489 A5 JP 2011223489A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
resonator element
vibrating arm
base
element according
electrode layer
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2010092921A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2011223489A (ja
JP5552878B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2010092921A priority Critical patent/JP5552878B2/ja
Priority claimed from JP2010092921A external-priority patent/JP5552878B2/ja
Publication of JP2011223489A publication Critical patent/JP2011223489A/ja
Publication of JP2011223489A5 publication Critical patent/JP2011223489A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5552878B2 publication Critical patent/JP5552878B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2010092921A 2010-04-14 2010-04-14 振動片、振動デバイスおよび電子機器 Expired - Fee Related JP5552878B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010092921A JP5552878B2 (ja) 2010-04-14 2010-04-14 振動片、振動デバイスおよび電子機器

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010092921A JP5552878B2 (ja) 2010-04-14 2010-04-14 振動片、振動デバイスおよび電子機器

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2011223489A JP2011223489A (ja) 2011-11-04
JP2011223489A5 true JP2011223489A5 (fr) 2013-04-18
JP5552878B2 JP5552878B2 (ja) 2014-07-16

Family

ID=45039819

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010092921A Expired - Fee Related JP5552878B2 (ja) 2010-04-14 2010-04-14 振動片、振動デバイスおよび電子機器

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP5552878B2 (fr)

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102629861A (zh) 2011-02-02 2012-08-08 精工爱普生株式会社 振动片、振子、振荡器以及电子设备
JP5685962B2 (ja) 2011-02-02 2015-03-18 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、発振器及び電子機器
JP6087527B2 (ja) * 2012-07-13 2017-03-01 リバーエレテック株式会社 音叉型水晶振動子
WO2014185281A1 (fr) 2013-05-13 2014-11-20 株式会社村田製作所 Dispositif vibrant
WO2014185282A1 (fr) 2013-05-13 2014-11-20 株式会社村田製作所 Dispositif vibrant
JP6482169B2 (ja) 2013-07-19 2019-03-13 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、発振器、電子機器及び移動体
JP6543918B2 (ja) * 2014-11-14 2019-07-17 セイコーエプソン株式会社 慣性センサー
WO2019211926A1 (fr) 2018-05-02 2019-11-07 株式会社村田製作所 Résonateur et dispositif résonant
WO2021140944A1 (fr) * 2020-01-10 2021-07-15 京セラ株式会社 Dispositif résonateur piézoélectrique

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4533934B2 (ja) * 2008-01-15 2010-09-01 エプソントヨコム株式会社 振動片及び振動子の製造方法
JP5168002B2 (ja) * 2008-07-22 2013-03-21 セイコーエプソン株式会社 振動子及び発振器
JP5444662B2 (ja) * 2008-08-25 2014-03-19 ソニー株式会社 圧電デバイスの製造方法
JP2010081156A (ja) * 2008-09-25 2010-04-08 Seiko Epson Corp 圧電薄膜振動片、圧電薄膜振動片の製造方法、圧電薄膜振動子及び発振回路

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2011223489A5 (fr)
JP5558577B2 (ja) 圧電振動装置およびそれを用いた携帯端末
CN102144355B (zh) 压电发电装置
JP6059300B2 (ja) 圧電振動素子,圧電振動装置および携帯端末
WO2008084806A1 (fr) Actionneur piézoélectrique et dispositif électronique
JP2012199602A5 (fr)
JP2011004035A5 (fr)
JP2011114587A5 (fr)
JP2016040992A5 (fr)
JP2015046946A (ja) 音響発生器およびそれを用いた音響発生装置
JP2018050435A5 (fr)
JP2016092879A5 (fr)
TWI505722B (zh) Sound generator, sound generating device and electronic machine
JP2011199661A5 (fr)
JP2018038188A5 (fr)
JP2016226175A5 (fr)
KR101578806B1 (ko) 배터리를 포함하는 플렉서블 압전 스피커
JP5664821B2 (ja) 圧電ファン
JP2011228980A5 (fr)
JP2013030994A5 (fr)
JP2011191091A5 (ja) 振動片、振動子およびセンサー装置
JP2012160996A5 (fr)
JP2013017207A5 (fr)
JP2010226609A5 (fr)
JP2011223435A5 (fr)