JP2011220774A5 - - Google Patents
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- 互いに離間する複数の第一柱状シンチレータと、隣り合う第一柱状シンチレータの間に位置し該隣り合う第一柱状シンチレータと離間する第二柱状シンチレータとを備える基板と、それぞれが前記複数の第一柱状シンチレータのそれぞれと重なって位置する複数の光検出部材と、
を備える放射線検出素子の製造方法であって、
表面に、凹凸部と該凹凸部で周囲を囲まれた互いに離間する複数の平坦部とを有する基板を用意する工程と、
前記凹凸部と平坦部とを有する基板にシンチレータ材を堆積させ、前記平坦部と前記凸部とにそれぞれ第一柱状シンチレータと第二柱状シンチレータとを形成する工程とを有し、
前記凹凸部の凹部の深さｈと、凸部間距離ｄとが以下の関係式を満たすことを特徴とする放射線検出素子の製造方法。
ｈ／ｄ≧１ - 前記凸部間距離ｄが２μｍ以上且つ１０μｍ以下であり、尚且つ凸部の周期が５μｍ以上且つ１５μｍ以下であることを特徴とする請求項１に記載の放射線検出素子の製造方法。
- 前記平坦部の面積が、前記光検出部材の面積以上であることを特徴とする請求項１または２に記載の放射線検出素子の製造方法。
- 隣り合う平坦部の間に複数の凸部が位置し、該複数の凸部が千鳥格子状に配列していることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載の放射線検出素子の製造方法。
- 互いに離間する複数の第一柱状シンチレータと、隣り合う第一柱状シンチレータの間に位置し該隣り合う第一柱状シンチレータと離間する第二柱状シンチレータとを備える基板と、それぞれが前記複数の第一柱状シンチレータのそれぞれと重なって位置する複数の光検出部材と、を備える放射線検出素子であって、
前記基板は、表面に凹凸部と該凹凸部で周囲を囲まれた平坦部とを有し、前記第一柱状シンチレータが前記平坦部上に位置し、前記第二柱状シンチレータが前記凹凸部上に位置しており、前記凹凸部の凹部の深さｈと、凸部間距離ｄとが以下の関係式を満たすことを特徴とする放射線検出素子。
ｈ／ｄ≧１ - 前記凸部間距離ｄが２μｍ以上且つ１０μｍ以下であり、尚且つ凸部の周期が５μｍ以上且つ１５μｍ以下であることを特徴とする請求項５に記載の放射線検出素子。
- 前記平坦部の面積が、前記光検出部材の面積以上であることを特徴とする請求項５または６に記載の放射線検出素子。
- 隣り合う平坦部の間に複数の凸部が位置し、該複数の凸部が千鳥格子状に配列していることを特徴とする請求項５〜７のいずれか１項に記載の放射線検出素子。
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