JP2011213058A5 - - Google Patents

Description

さらに好ましくは、Ｒがエーテル基を有しているビニルエーテル化合物である。親水性の高いエーテル基を有すると、（Ｚ１）成分と混ざりやすく、平滑な樹脂膜を形成するのに適しているため、好適に用いられる。例えば、トリエチレングリコールジビニルエーテル、テトラメチレングリコールジビニルエーテル、テトラエチレングリコールジビニルエーテル、ネオペンチルグリコールエトキシレートジビニルエーテル、などのジビニルエーテル類が好ましい。また、トリメチロールプロパンエトキシレートトリビニルエーテル、トリメチロールエタンエトキシレートトリビニルエーテルなどのトリビニルエーテル類が好ましい。また、ペンタエリスリトールエトキシレートトリビニルエーテル、トリメチロールプロパンエトキシエトキシレートトリビニルエーテル、トリメチロールプロパンエトキシエトキシエトキシレートトリビニルエーテルなどのトリビニルエーテル類が好ましい。エリスリトールエトキシレートペンタビニルエーテルなどのペンタビニルエーテル類を挙げることができる。この中でも、特に下記式（５）で表されるトリビニルエーテルが好ましい。これらは単独で用いてもよいし、２種以上混合して用いてもよい。

次いで、現像液を使用して現像することにより露光部３ａを除去して、樹脂層３から液体の流路の型８を形成する（図２（ｄ））。

次に、型８が設けられた基板１上に、流路形成用の型８を被覆するように、流路壁部材を形成するための光カチオン重合型感光性樹脂組成物からなる被覆層４を形成する（図２（ｅ））。被覆層４を構成する光カチオン重合型感光性樹脂組成物はカチオン重合性基をもつカチオン重合性の樹脂と光カチオン重合開始剤とを含有する。カチオン重合性基をもつカチオン重合性の樹脂としては、エポキシ樹脂、オキセタン樹脂が挙げられる。

本発明に用いられるエポキシ樹脂としては、例えばビスフェノールＡとエピクロルヒドリンとの反応物のうち分子量がおよそ９００以上のもの、含ブロモビスフェノールＡとエピクロルヒドリンとの反応物を挙げることができる。また、フェノールノボラックあるいはｏ−クレゾールノボラックとエピクロルヒドリンとの反応物や、特開平２−１４０２１９号公報に記載のオキシシクロヘキサン骨格を有する多官能エポキシ樹脂等があげられるが、これら化合物に限定されるものではない。

次に、被覆層４に光を照射し、被覆層４の露光が行われた部分を硬化させる（図２（ｆ））。光が照射された部分では、光カチオン重合開始剤からカチオン活性種が生じ、光カチオン重合性の樹脂がカチオン重合を行うことにより硬化が進行する。吐出口を形成する予定の部位は後で現像により除去するので、露光されないようにマスクを用いて遮光する。必要に応じて加熱を行い、硬化を促進してもよい。

その後ＭＩＢＫ（メチルイソブチルケトン）、キシレンなどにより現像を行い未露光部を除去して吐出口となる開口５ａを被覆層４に形成する。必要に応じてＩＰＡ（イソプロピルアルコール）などによりリンス処理を行ってもよい（図２（ｇ））。

次いで基板にエッチングを行い供給口６を形成し、型８を適当な溶媒に溶解して除去することにより吐出口５と連通する流路９を形成し、流路壁部材７を得る。（図２（ｈ））。この際、型８の架橋部を分解させる為、型８に光を照射し、光照射後に加熱処理を行った後、適当な溶媒に溶解させてももちろん良い。これ以外の方法であっても本発明の主旨を逸脱しないものであれば使用できる。また、ここでいう適当な溶媒とは、アルカリ水溶液でも有機溶媒でも良い。

次いで、ｉ線ステッパー（キヤノン（株）製）を用いて露光（図２（ｆ））し、９０℃で４分間のＰＥＢ後、ＭＩＢＫを現像液として吐出口となる直径１５μｍの開口５ａを形成した（図２（ｇ））。

次いで、供給口６を形成し、型８を除去して流路９を形成した（図２（ｈ））。最後に、流路壁部材をより確実に硬化させるために、２００℃１時間の加熱を行った。以上により液体吐出ヘッドを得た。

以上、各実施例の製造方法により得られた液体吐出ヘッドと、比較例の製造方法により得られた液体吐出ヘッドと、のそれぞれの液体吐出ヘッドについて、吐出と流路との連通部分（図２（ｈ）の点鎖線で囲まれた部分Ｃ）を走査型電子顕微鏡で観察し、評価した。評価は以下の通りである。
○：吐出口と流路との連通部に余分な残渣が見られず、当該部位の吐出口エッジはシャープである。
△：吐出口と流路との連通部にかかる固体膜が見られる。

Claims (1)

1. 前記酸を発生する化合物が、式（ａ）または式（ｂ）で示される化合物であることを特徴とする請求項４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。

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