JP2011209827A - Device data collection system, method, and program - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、装置データ収集システム、方法、及びプログラムに関する。 The present invention relates to an apparatus data collection system, method, and program.
半導体や液晶パネルなどの製造における加工処理装置（プロセス装置とも呼ぶ）において装置に入力される電力や、ポンプから送りだされる流体の流量などの動作（プロセス動作とも呼ぶ）が正常に動作しているかを監視する方法として流量、温度、圧力といったプロセス装置動作時のプロセス条件データ（プロセスデータとも呼ぶ)を数ｍｓ周期で高速に収集して解析する装置解析システムを用いるものがある。ここで、装置解析システムとは，製造装置から装置の基本データ（プロセスデータや入力される電力などのデータ）を収集し、正常な動作を行っているかをデータでチェックし、装置の信頼性や生産性を向上させるシステムを指す。 In processing equipment (also called process equipment) in the manufacture of semiconductors, liquid crystal panels, etc., operations (also called process actions) such as the power input to the equipment and the flow rate of fluid delivered from the pump are operating normally. As a method for monitoring whether or not there is an apparatus analysis system that collects and analyzes process condition data (also referred to as process data) such as flow rate, temperature, and pressure at a high speed in a period of several ms. Here, the device analysis system collects basic device data (process data, data such as input power) from the manufacturing device, checks whether the device is operating normally, and checks the reliability of the device. A system that improves productivity.
装置解析システムを用いたプロセス異常の解析方法には以下のものがあげられる。 The process abnormality analysis method using the apparatus analysis system includes the following.
１．正常運転時のプロセスデータとの差異から異常検出を行い、異常の有無判定、異常原因の決定を行う（例えば特許文献１参照）。 1. Abnormality is detected from the difference from the process data during normal operation, the presence / absence of abnormality is determined, and the cause of abnormality is determined (see, for example, Patent Document 1).
２．ある区間で切り出したプロセスデータから特徴量（平均、最大、最小など）を抽出し、プロセス品質モデルを作成し、収集したプロセスデータから抽出した特徴量を、作成したプロセス品質モデルに当てはめる事により異常の有無判定や、故障発生の予測を行う（例えば特許文献２参照）。 2. Extract feature values (average, maximum, minimum, etc.) from process data cut out in a section, create a process quality model, and apply the extracted feature values from the collected process data to the created process quality model. The presence / absence determination and the occurrence of failure are predicted (see, for example, Patent Document 2).
３．プロセスデータから抽出した特徴量を用いてデータマイニングや多変量解析による解析からプロセス品質モデルを作成し、収集したプロセスデータの解析結果を、作成したプロセス品質モデルに当てはめる事により異常の有無判定を行う（例えば特許文献３参照）。 3. Create a process quality model from data mining and multivariate analysis using features extracted from process data, and apply the collected process data analysis results to the created process quality model to determine whether there is an abnormality (For example, refer to Patent Document 3).
また、プロセスデータが正常かどうかを判断する具体的な方法の一つとして、プロセス装置の設定値に対するプロセスデータの出力値の評価がある。 Further, as a specific method for determining whether or not the process data is normal, there is evaluation of an output value of the process data with respect to a set value of the process device.
すなわち、あるプロセス処理中のプロセスデータの値から装置の設定値を示す特徴量（特定区間の平均、最大など）を抽出し、その抽出した値と設定値からプロセス品質モデル（特徴量と設定値の関係から正常／異常を判定するためのモデル）を作成し、抽出した値をプロセス品質モデルに当てはめることで（抽出した値が正常な範囲内にあるかを判定することで）、プロセスデータの正常／異常の判定を行う。 That is, a feature amount (average, maximum, etc. of a specific section) indicating a device setting value is extracted from a process data value during a certain process process, and a process quality model (feature amount and setting value is extracted from the extracted value and setting value. Model for determining normality / abnormality from the relationship) and applying the extracted value to the process quality model (by determining whether the extracted value is within the normal range) Perform normal / abnormal judgment.
このような装置解析システムを用いたプロセス異常の解析方法において、プロセス装置を動作させるにあたり、プロセス条件の変更により、基準となる値が変動するため、プロセス条件が変更される度に基準値の変更を行わなければ異常の誤検出をしてしまう可能性がある。 In the process abnormality analysis method using such an apparatus analysis system, when the process apparatus is operated, the reference value fluctuates due to the change of the process condition. Therefore, the reference value is changed every time the process condition is changed. Failure to do so may result in false detection of an abnormality.
また、従来では、１の項目について、プロセスデータごとに異常判定を行うため、複数の要因が絡み合って発生する異常を検出することは困難となる。 Conventionally, since abnormality determination is performed for each process data for one item, it is difficult to detect an abnormality that occurs due to a plurality of factors intertwined.
また、プロセス条件の変更、経時変化などで、設定値に対する出力値が変化することもあるため、その変化を考慮した異常判定が必要となる場合がある。 In addition, since the output value relative to the set value may change due to a change in process conditions, a change with time, etc., it may be necessary to determine an abnormality in consideration of the change.
本発明は斯かる背景技術の鑑みてなされたもので、正常なプロセス処理を確実かつ容易に行えるようにすることを課題とする。 The present invention has been made in view of such background art, and an object thereof is to ensure that normal process processing can be performed reliably and easily.
本発明において上記課題を解決するために、まず請求項１の発明では、基板にプロセス処理をしたときのプロセス条件データとプロセス条件の設定に係るデータとを収集してプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定するシステムであって、
プロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定するための判定条件に用いるデータであって、プロセス条件の設定によって変化するものを、判定条件とは別に、プロセス条件の設定ごとに保存するプロセス処理条件表と、
判定条件を、それにプロセス条件の設定に対応するデータをプロセス処理条件表から読み出してセットした後に、プロセス条件データに適用し、このプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定する手段とを備えることを特徴とする装置データ収集システムとしたものである。
In order to solve the above problems in the present invention, first, in the invention of claim 1, the process condition data is normal by collecting the process condition data when the substrate is processed and the data related to the setting of the process condition. Is a system that determines whether or not
Data that is used as a judgment condition for judging whether process condition data is normal or abnormal, and changes depending on the process condition setting, is saved for each process condition setting separately from the judgment condition Process processing condition table,
Means for reading out and setting data corresponding to the setting of the process condition from the process processing condition table, applying the determination condition to the process condition data, and determining whether the process condition data is normal or abnormal; An apparatus data collection system characterized by comprising:
また請求項２の発明では、単一又は複数の判定条件の組み合わせごとに、発生アカウントと、判定回数と、対処方法とを保存する異常時対処表と、
異常時対処表に既登録の判定条件の組み合わせについて、それぞれの判定条件を、それぞれのプロセス条件データに適用する度に、判定回数を数えて記憶し、この組み合わせに属するすべての判定条件で異常と判定する度に、発生カウントを数えて記憶する手段と、
この組み合わせについて、記憶している発生カウントと判定回数とが、それぞれ、異常時対処表に保存している発生アカウントと判定回数とに一致した場合に、アラームを発報するとともに、この組み合わせと、記憶している発生カウントと判定回数とで特定される対処方法を異常時対処表から読み出して、異常と判定したそれぞれのプロセス条件データと、読み出した対処方法とを表示する手段とを備えることを特徴とする請求項１記載の装置データ収集システムとしたものである。
In the invention of claim 2, for each combination of single or multiple determination conditions, an abnormality handling table that stores an occurrence account, the number of determinations, and a countermeasure method;
For each combination of judgment conditions already registered in the error handling table, each judgment condition is stored by counting the number of judgments each time it is applied to each process condition data. Means for counting and storing the occurrence count for each determination;
For this combination, when the stored occurrence count and determination count match the occurrence account and determination count stored in the abnormality handling table, an alarm is issued, and this combination, A means for reading out the coping method specified by the stored occurrence count and the number of determinations from the coping table at the time of abnormality and displaying each process condition data determined to be abnormal and the coping method that has been read out The apparatus data collection system according to claim 1 is characterized.
また請求項３の発明では、異常と判定したプロセス条件データに適用した判定条件の組み合わせが異常対処表に登録されていない場合、この組み合わせについて、それぞれの判定条件を、それぞれのプロセス条件データに適用する度に、判定回数を数えて記憶し、この組み合わせに属するすべての判定条件で異常と判定する度に、発生カウントを数えて記憶する手段と、
プロセス処理をした基板の検査結果を収集する手段と、
プロセス処理をした基板の検査結果が不良である場合、対処方法を入力させ、この組み合わせについて、この組み合わせと、記憶している発生アカウントと判定回数と、入力させた対処方法とを異常対処表に登録する手段とを備えることを特徴とする請求項２記載の装置データ収集システムとしたものである。
In the invention of claim 3, when a combination of determination conditions applied to the process condition data determined to be abnormal is not registered in the abnormality handling table, each determination condition is applied to each process condition data for this combination. Means for counting and storing the number of determinations, and counting and storing the occurrence count each time it is determined to be abnormal under all the determination conditions belonging to this combination;
Means for collecting inspection results of processed substrates;
If the inspection result of a substrate that has undergone process processing is defective, a countermeasure method is input, and for this combination, this combination, the stored occurrence account, the number of determinations, and the input countermeasure method are entered in the error countermeasure table. The apparatus data collection system according to claim 2, further comprising a registering unit.
また請求項４の発明では、プロセス処理をした基板の検査結果を収集する手段と、
プロセス処理をした基板の検査結果が不良である場合、この組み合わせについて、記憶している発生アカウントと判定回数とに基づいて、異常対処表に保存されている発生アカウントと判定回数とを更新する手段とを備えることを特徴とする請求項２記載の装置データ収集システムとしたものである。
Further, in the invention of claim 4, means for collecting the inspection results of the processed substrate,
When the inspection result of the substrate subjected to the process processing is defective, for this combination, the means for updating the occurrence account and the determination count stored in the abnormality handling table based on the stored occurrence account and the determination count The apparatus data collection system according to claim 2, comprising:
また請求項５の発明では、基板にプロセス処理をしたときのプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定するための判定条件に用いるデータであって、プロセス条件の設定によって変化するものを、判定条件とは別に、プロセス条件の設定ごとに保存するプロセス処理条件表を備える装置データ収集システムが、プロセス条件データとプロセス条件の設定に係るデータとを収集してプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定する方法であって、
判定条件を、それにプロセス条件の設定に対応するデータをプロセス処理条件表から読み出してセットした後に、プロセス条件データに適用し、このプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定する工程を含むことを特徴とする装置データ収集方法としたものである。
According to a fifth aspect of the present invention, the data is used as a determination condition for determining whether the process condition data when the substrate is processed is normal or abnormal, and changes depending on the setting of the process condition. In addition to the judgment conditions, the device data collection system that includes a process processing condition table that stores each process condition setting collects the process condition data and the data related to the process condition setting, and the process condition data is normal. A method for determining whether there is an abnormality,
A process for determining whether the process condition data is normal or abnormal after the determination condition is read out from the process processing condition table and data corresponding to the process condition setting is set and then applied to the process condition data. It is a device data collection method characterized by including.
また請求項６の発明では、前記装置データ収集システムが、単一又は複数の判定条件の組み合わせごとに、発生アカウントと、判定回数と、対処方法とを保存する異常時対処表を備え、
異常時対処表に既登録の判定条件の組み合わせについて、それぞれの判定条件を、それぞれのプロセス条件データに適用する度に、判定回数を数えて記憶し、この組み合わせに属するすべての判定条件で異常と判定する度に、発生カウントを数えて記憶する工程と、
この組み合わせについて、記憶している発生カウントと判定回数とが、それぞれ、異常時対処表に保存している発生アカウントと判定回数とに一致した場合に、アラームを発報するとともに、この組み合わせと、記憶している発生カウントと判定回数とで特定される対処方法を異常時対処表から読み出して、異常と判定したそれぞれのプロセス条件データと、読み出した対処方法とを表示する工程とを含むことを特徴とする請求項５記載の装置データ収集方法としたものである。
In the invention of claim 6, the apparatus data collection system includes an abnormality handling table that stores an occurrence account, the number of determinations, and a countermeasure for each combination of single or a plurality of determination conditions.
For each combination of judgment conditions already registered in the error handling table, each judgment condition is stored by counting the number of judgments each time it is applied to each process condition data. A step of counting and storing the occurrence count for each determination;
For this combination, when the stored occurrence count and determination count match the occurrence account and determination count stored in the abnormality handling table, an alarm is issued, and this combination, A method of reading out a coping method specified by the stored occurrence count and the number of determinations from the coping table at the time of abnormality, and displaying each process condition data determined to be abnormal and the coping method read out The apparatus data collecting method according to claim 5, wherein the apparatus data collecting method is provided.
また請求項７の発明では、異常と判定したプロセス条件データに適用した判定条件の組み合わせが異常対処表に登録されていない場合、この組み合わせについて、それぞれの判定条件を、それぞれのプロセス条件データに適用する度に、判定回数を数えて記憶し、この組み合わせに属するすべての判定条件で異常と判定する度に、発生カウントを数えて記憶する工程と、
プロセス処理をした基板の検査結果を収集する工程と、
プロセス処理をした基板の検査結果が不良である場合、対処方法を入力させ、この組み合わせについて、この組み合わせと、記憶している発生アカウントと判定回数と、入力させた対処方法とを異常対処表に登録する工程とを含むことを特徴とする請求項６記載の装置データ収集方法としたものである。
In the invention of claim 7, when a combination of determination conditions applied to the process condition data determined to be abnormal is not registered in the abnormality handling table, each determination condition is applied to each process condition data for this combination. Each time the number of determinations is counted and stored, and every time it is determined to be abnormal under all the determination conditions belonging to this combination, the occurrence count is counted and stored,
Collecting the inspection results of the processed substrates;
If the inspection result of a substrate that has undergone process processing is defective, a countermeasure method is input, and for this combination, this combination, the stored occurrence account, the number of determinations, and the input countermeasure method are entered in the error countermeasure table. The apparatus data collecting method according to claim 6, further comprising a step of registering.
また請求項８の発明では、プロセス処理をした基板の検査結果を収集する工程と、
プロセス処理をした基板の検査結果が不良である場合、この組み合わせについて、記憶している発生アカウントと判定回数とに基づいて、異常対処表に保存されている発生アカウントと判定回数とを更新する工程とを含むことを特徴とする請求項６記載の装置データ収集方法としたものである。
In the invention of claim 8, the step of collecting the inspection results of the processed substrate,
When the inspection result of the substrate subjected to the process processing is defective, the process of updating the occurrence account and the determination count stored in the abnormality handling table based on the stored occurrence account and the determination count for this combination The apparatus data collection method according to claim 6, wherein:
また請求項９の発明では、基板にプロセス処理をしたときのプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定するための判定条件に用いるデータであって、プロセス条件の設定によって変化するものを、判定条件とは別に、プロセス条件の設定ごとに保存する
プロセス処理条件表を備えるコンピュータに、プロセス条件データとプロセス条件の設定に係るデータとを収集してプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定することを実行させるプログラムであって、
判定条件を、それにプロセス条件の設定に対応するデータをプロセス処理条件表から読み出してセットした後に、プロセス条件データに適用し、このプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定する工程を実行させることを特徴とする装置データ収集プログラムとしたものである。
According to a ninth aspect of the present invention, the data is used as a determination condition for determining whether the process condition data when the substrate is processed is normal or abnormal, and changes depending on the process condition setting. Process condition data and data related to process condition settings are collected on a computer with a process processing condition table that is stored for each process condition setting separately from the judgment conditions, and the process condition data is normal or abnormal A program for executing the determination of whether or not
A process for determining whether the process condition data is normal or abnormal after the determination condition is read out from the process processing condition table and data corresponding to the process condition setting is set and then applied to the process condition data. The apparatus data collection program is characterized by being executed.
また請求項１０の発明では、前記コンピュータが、単一又は複数の判定条件の組み合わせごとに、発生アカウントと、判定回数と、対処方法とを保存する異常時対処表を備え、
異常時対処表に既登録の判定条件の組み合わせについて、それぞれの判定条件を、それぞれのプロセス条件データに適用する度に、判定回数を数えて記憶し、この組み合わせに属するすべての判定条件で異常と判定する度に、発生カウントを数えて記憶する工程と、
この組み合わせについて、記憶している発生カウントと判定回数とが、それぞれ、異常時対処表に保存している発生アカウントと判定回数とに一致した場合に、アラームを発報するとともに、この組み合わせと、記憶している発生カウントと判定回数とで特定される対処方法を異常時対処表から読み出して、異常と判定したそれぞれのプロセス条件データと、読み出した対処方法とを表示する工程とを実行させることを特徴とする請求項９記載の装置データ収集プログラムとしたものである。
In the invention of claim 10, the computer includes an abnormality handling table for storing an occurrence account, the number of determinations, and a countermeasure for each combination of single or plural determination conditions,
For each combination of judgment conditions already registered in the error handling table, each judgment condition is stored by counting the number of judgments each time it is applied to each process condition data. A step of counting and storing the occurrence count for each determination;
For this combination, when the stored occurrence count and determination count match the occurrence account and determination count stored in the abnormality handling table, an alarm is issued, and this combination, Reading out the coping method specified by the stored occurrence count and the number of determinations from the coping table when abnormal, and executing each process condition data determined to be abnormal and displaying the read coping method The apparatus data collection program according to claim 9.
また請求項１１の発明では、異常と判定したプロセス条件データに適用した判定条件の組み合わせが異常対処表に登録されていない場合、この組み合わせについて、それぞれの判定条件を、それぞれのプロセス条件データに適用する度に、判定回数を数えて記憶し、この組み合わせに属するすべての判定条件で異常と判定する度に、発生カウントを数えて記憶する工程と、
プロセス処理をした基板の検査結果を収集する工程と、
プロセス処理をした基板の検査結果が不良である場合、対処方法を入力させ、この組み合わせについて、この組み合わせと、記憶している発生アカウントと判定回数と、入力させた対処方法とを異常対処表に登録する工程とを実行させることを特徴とする請求項１０記載の装置データ収集プログラムとしたものである。
In the invention of claim 11, when a combination of determination conditions applied to the process condition data determined to be abnormal is not registered in the abnormality handling table, each determination condition is applied to each process condition data for this combination. Each time the number of determinations is counted and stored, and every time it is determined to be abnormal under all the determination conditions belonging to this combination, the occurrence count is counted and stored,
Collecting the inspection results of the processed substrates;
If the inspection result of a substrate that has undergone process processing is defective, a countermeasure method is input, and for this combination, this combination, the stored occurrence account, the number of determinations, and the input countermeasure method are entered in the error countermeasure table. The apparatus data collection program according to claim 10, wherein a registration step is executed.
また請求項１２の発明では、プロセス処理をした基板の検査結果を収集する工程と、
プロセス処理をした基板の検査結果が不良である場合、この組み合わせについて、記憶している発生アカウントと判定回数とに基づいて、異常対処表に保存されている発生アカウントと判定回数とを更新する工程とを実行させることを特徴とする請求項１０記載の装置データ収集プログラムとしたものである。
Further, in the invention of claim 12, a process of collecting the inspection results of the processed substrate,
When the inspection result of the substrate subjected to the process processing is defective, the process of updating the occurrence account and the determination count stored in the abnormality handling table based on the stored occurrence account and the determination count for this combination The apparatus data collection program according to claim 10, wherein the apparatus data collection program is executed.
請求項１、５、及び９に係る発明は、プロセス条件の設定に左右されず、プロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定することができるという効果がある。 The inventions according to claims 1, 5, and 9 have an effect that it is possible to determine whether the process condition data is normal or abnormal regardless of the process condition setting.
請求項２、６、及び１０に係る発明は、判定条件或いは判定条件の組み合わせごとに対処方法を表示するので、単一の判定条件で検出される異常だけでなく、複数の判定条件で初めて検出される異常にも迅速に対処でき、また、同じ判定条件或いは判定条件の組み合わせでも、発生カウント及び判定回数により異なる対処方法を表示できるので、突発的な異常であるか、或いは、経年変化による異常であるかなど、異常の質と度合いとに応じた適切な対処が可能になるという効果がある。 In the inventions according to claims 2, 6 and 10, since the coping method is displayed for each judgment condition or combination of judgment conditions, not only an abnormality detected by a single judgment condition but also a plurality of judgment conditions are detected for the first time. Can be quickly dealt with, and even with the same judgment condition or combination of judgment conditions, different countermeasures can be displayed depending on the occurrence count and the number of judgments, so it is a sudden abnormality or an abnormality due to secular change For example, it is possible to take appropriate measures according to the quality and degree of abnormality.
請求項３、７、及び１１に係る発明は、異常時対処表に未登録の判定条件の組み合わせがあっても、この組み合わせに属する判定条件すべてで異常となり、プロセス処理をした
基板の検査結果が不良となった時点で、この組み合わせを異常時対処表に登録できるので、常に、新しい異常を発見して、これに対処することができるという効果がある。
In the inventions according to claims 3, 7, and 11, even if there is a combination of unregistered determination conditions in the abnormality handling table, all determination conditions belonging to this combination become abnormal, and the inspection result of the substrate subjected to the process processing is Since this combination can be registered in the abnormality handling table when it becomes defective, there is an effect that a new abnormality can always be found and dealt with.
請求項４、８、及び１２に係る発明は、異常時対処表に既登録の判定条件の組み合わせについて、実際に、プロセス処理した基板の検査結果が不良となるまで、発生カウントと判定回数とを数えて、異常時対処表の発生カウントと判定回数とを更新するので、不良が発生するタイミングをより精度良く検出できるという効果がある。 In the inventions according to claims 4, 8, and 12, the occurrence count and the number of determinations are obtained until the inspection result of the actually processed substrate becomes defective for the combination of the determination conditions already registered in the abnormality handling table. Counting and updating the occurrence count and the number of determinations in the abnormality handling table are effective in detecting the timing at which a defect occurs more accurately.
以上、本発明では、正常なプロセス処理を確実かつ容易に行えるという効果がある。 As described above, the present invention has an effect that normal process processing can be performed reliably and easily.
以下に、本発明の一実施形態を説明する。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described.
本実施形態において、装置データ収集システム（以下ＥＥＳとも呼ぶ）は、図１に示すように、収集コントローラと、ライン管理システムと、検査装置と接続されているパソコンである。 In this embodiment, the apparatus data collection system (hereinafter also referred to as EES) is a personal computer connected to a collection controller, a line management system, and an inspection apparatus, as shown in FIG.
ＥＥＳは、図１に示すように、収集コントローラから、センサ信号で検知される、ポンプの圧力、ステージの振動、洗浄液流量などの実際の値を表す各プロセス装置動作時のプロセス条件データ（以下、プロセスデータ、或いは、アナログデータとも呼ぶ）を、数ｍｓ周期で、また、各プロセス装置の動作信号（以下、デジタルデータとも呼ぶ）を、それぞれ、各プロセス装置の装置情報として収集して装置情報データベースに保存し管理する。各プロセス装置の装置情報は、時系列に値を並べた波形データであり、ＥＥＳは、この波形データをリアルタイムに画面に表示する。 As shown in FIG. 1, EES is a process condition data (hereinafter, referred to as “process condition data”) that represents actual values such as pump pressure, stage vibration, and cleaning liquid flow rate detected by a sensor signal from the collection controller. Process data or analog data) is collected at a cycle of several ms, and operation signals of each process device (hereinafter also referred to as digital data) are collected as device information of each process device, and a device information database. Save and manage. The device information of each process device is waveform data in which values are arranged in time series, and the EES displays this waveform data on the screen in real time.
またＥＥＳは、図１に示すように、収集コントローラから各プロセス装置の装置情報（アナログデータやデジタルデータ）を収集している間に、ライン管理システムから、各プロセス装置でプロセス処理を行った基板を識別する基板ＩＤと、そのプロセス処理を行う際のプロセス条件の設定値（装置の設定値とも呼ぶ）とを、各プロセス装置の装置情報に紐付けて収集して、基板ＩＤ情報として基板ＩＤ情報データベースに保存し管理する。 In addition, as shown in FIG. 1, the EES collects the process information in each process apparatus from the line management system while collecting the apparatus information (analog data and digital data) of each process apparatus from the collection controller. And a set value of a process condition (also referred to as a set value of the apparatus) for performing the process processing is associated with the apparatus information of each process apparatus and collected as the substrate ID information. Store and manage in an information database.
ライン管理システムは、工場内の装置の生産状況や生産実績などのデータをリアスタイムに収集して管理するシステムで、収集しているデータに基板ＩＤや装置の設定値なども含めることで、プロセス処理を行っている際の基板ＩＤや装置の設定値の取得がリアルタイム（プロセス処理直後）に可能となる。 The line management system is a system that collects and manages data such as the production status and production results of equipment in the factory in real time. By including the board ID and equipment setting values in the collected data, the process Acquisition of the substrate ID and the set value of the apparatus during processing is possible in real time (immediately after the process processing).
またＥＥＳは、図１に示すように、検査装置から検査結果ファイルを受信して検査結果情報として検査結果情報データベースに保存し管理する。この検査結果ファイルは、この検査装置で検査された基板の検査結果を表すものである。ＥＥＳは、基板ＩＤにより、この基板ＩＤで識別される基板に対してプロセス処理を行ったプロセス装置の装置情報と、この基板ＩＤで識別される基板の検査結果を表す検査結果ファイルとを紐付ける。 Further, as shown in FIG. 1, the EES receives an inspection result file from the inspection apparatus, and stores and manages it as inspection result information in an inspection result information database. This inspection result file represents the inspection result of the substrate inspected by this inspection apparatus. The EES associates, by the substrate ID, device information of a process apparatus that has performed a process on the substrate identified by the substrate ID and an inspection result file that represents the inspection result of the substrate identified by the substrate ID. .
またＥＥＳは、図１に示すように、収集したアナログデータが正常か或いは異常であるかの判定に係る異常データ処理を行うために、プロセス処理条件情報、判定条件情報、異常時の対処情報を、それぞれ、プロセス処理条件表、判定条件表、異常時対処表という表形式のデータベースに保存して管理する。 In addition, as shown in FIG. 1, the EES includes process processing condition information, determination condition information, and handling information in case of abnormality in order to perform abnormal data processing related to determination of whether collected analog data is normal or abnormal. Are stored and managed in a tabular database called a process processing condition table, a judgment condition table, and an error handling table, respectively.
個々のプロセス条件の設定は、レシピと呼ばれ、ＥＥＳは、予め、レシピを識別するレシピＮｏとプロセス条件の設定値とを紐付けてレシピデータベースに保存し管理している（図示せず）。 The setting of individual process conditions is called a recipe, and the EES associates a recipe number for identifying a recipe with a set value of a process condition and stores and manages it in a recipe database (not shown).
図２に、プロセス処理条件表の例を示す。図２に示す例では、プロセス処理条件表の項目として、「レシピＮｏ」、「標準波形」、「レシピ値（閾値とも呼ぶ）」があり、「標準波形」、「レシピ値」は、それぞれ、さらに細分化された項目に分かれる。そして、図２に示す例は、レシピＮｏで識別されるレシピごとに、「標準波形」や「レシピ値」の細分化された個々の項目の値を設定するものである。 FIG. 2 shows an example of the process processing condition table. In the example shown in FIG. 2, the items of the process processing condition table include “recipe No.”, “standard waveform”, and “recipe value (also referred to as threshold)”, and “standard waveform” and “recipe value” It is further divided into subdivided items. In the example shown in FIG. 2, the value of each subdivided item of “standard waveform” or “recipe value” is set for each recipe identified by the recipe No.
図３に、判定条件表の例を示す。図３に示す例では、判定条件表の項目として、「メイン区間」、「サブ区間」、「監視対象波形」、「監視内容」、「異常検出パターン」、「発生異常ＩＤ」があり、「監視内容」は、「基準波形比較」、「特徴量判定」の２つの項目に別れ、「基準波形比較」は、「対象波形」、「上下限値比較」、「タイミング比較」の３つの項目からなり、「特徴量判定」は、「抽出特徴量」、「判定方法」、「比較値」の３つの項目からなる。 FIG. 3 shows an example of the determination condition table. In the example shown in FIG. 3, items of the determination condition table include “main section”, “sub-section”, “monitoring target waveform”, “monitoring content”, “abnormality detection pattern”, and “occurrence abnormality ID”. “Monitoring contents” is divided into two items, “reference waveform comparison” and “feature amount determination”, and “reference waveform comparison” has three items of “target waveform”, “upper / lower limit comparison”, and “timing comparison”. The “feature amount determination” includes three items “extraction feature amount”, “determination method”, and “comparison value”.
「メイン区間」は、プロセス処理の単位を設定するものである。また、「サブ区間」は、「メイン区間」で設定されたプロセス処理の単位を、さらに詳細に分ける単位を設定するものである。プロセス処理単位の詳細な単位への区分けは、特定のタイミング（デジタルデータのＯＮ／ＯＦＦ、経過時間などのタイミング）を用いて行っても良い。 The “main section” is for setting a unit of process processing. The “sub-section” is a unit for further dividing the unit of process processing set in the “main section”. The process processing unit may be divided into detailed units by using specific timing (timing such as ON / OFF of digital data and elapsed time).
「監視対象波形」は、正常であるか或いは異常であるかの監視対象であるアナログの波形データを設定するものである。 “Monitoring target waveform” is for setting analog waveform data to be monitored whether it is normal or abnormal.
「基準波形比較」は、「対象波形」で「標準波形」を設定し、「上下限値比較」或いは「タイミング比較」を設定することにより、「サブ区間」が設定されていれば「サブ区間」に設定されたプロセス処理単位で、「サブ区間」が設定されていなければ「メイン区間」に設定されたプロセス処理単位で、「監視対象波形」で設定されたアナログの波形データを切り出し、切り出した波形データを、「対象波形」で設定された「標準波形」と、「上下限値比較」或いは「タイミング比較」で設定された上下限値比較或いはタイミング比較をして、正常であるか或いは異常であるかを判定する条件を設定するものである。尚、「対象波形」で設定された「標準波形」が鉤括弧で囲まれているのは、この「標準波形」が、プロセス処理条件表の項目の「標準波形」中の細分化された項目であって、その値はプロセス処理条件表によりレシピごとに決まることを意味している。 For “Reference waveform comparison”, set “Standard waveform” in “Target waveform” and set “Upper / lower limit comparison” or “Timing comparison”. If “Sub interval” is set, If the “sub-section” is not set in the process processing unit set to “”, the analog waveform data set in “monitored waveform” is cut out and cut out in the process processing unit set to “main section” The waveform data is compared with the “standard waveform” set in the “target waveform” and the upper / lower limit value comparison or timing comparison set in the “upper / lower limit value comparison” or “timing comparison”. A condition for determining whether there is an abnormality is set. The “standard waveform” set in “target waveform” is enclosed in square brackets. This “standard waveform” is a subdivided item in “standard waveform” of the process processing condition table item. The value means that the value is determined for each recipe according to the process processing condition table.
「特徴量判定」は、「抽出特徴量」、「判定方法」、「比較値」を設定することにより、「サブ区間」が設定されていれば「サブ区間」に設定されたプロセス処理単位で、「サブ区間」が設定されていなければ「メイン区間」に設定されたプロセス処理単位で、「監視対象波形」で設定されたアナログの波形データを切り出し、切り出した波形データから、「抽出特徴量」で設定された特徴量を抽出し、この特徴量と、「比較値」で設定された比較値とを用いて、「判定方法」で設定された判定方法に従って、切り出した波形データが正常であるか或いは異常であるかを判定する条件を設定するものである。設定される比較値は、「レシピ値」を用いるものでも良いし、設定値とも呼ばれる任意の値を用いるものでも良い。尚、比較値の設定に用いられる「レシピ値」が鉤括弧で囲まれているのは、この「レシピ値」が、プロセス処理条件表の項目の「レシピ値」中の細分化された項目であって、その値はプロセス処理条件表によりレシピごとに決まることを意味している。 “Feature amount determination” is the process processing unit set in “sub-interval” if “sub-interval” is set by setting “extracted feature amount”, “determination method”, and “comparison value”. If the “sub-section” is not set, the analog waveform data set in the “monitored waveform” is cut out in the process processing unit set in the “main section”, and the “extracted feature value” is extracted from the cut-out waveform data. ”Is extracted, and the extracted waveform data is normal using this feature value and the comparison value set in“ Comparison value ”according to the determination method set in“ Determination method ”. A condition for determining whether or not there is an abnormality is set. As the comparison value to be set, a “recipe value” may be used, or an arbitrary value called a set value may be used. The “recipe value” used to set the comparison value is enclosed in square brackets. This “recipe value” is a subdivided item in the “recipe value” of the process processing condition table item. This means that the value is determined for each recipe according to the process processing condition table.
「異常検出パターン」は、「監視内容」で設定された判定条件で検出される異常の名称を設定するものである。 The “abnormality detection pattern” is used to set the name of an abnormality detected under the determination condition set in “monitoring content”.
「発生異常ＩＤ」は、「監視内容」で設定された判定条件で発生が検出される異常を識別するＩＤを設定するものであって、このＩＤは、「監視内容」で設定された判定条件を識別するものにもなっている。 The “occurrence abnormality ID” sets an ID for identifying an abnormality whose occurrence is detected under the determination condition set in “monitoring content”, and this ID is the determination condition set in “monitoring content”. It is also something that identifies.
図４に、異常時対処表の例を示す。図４に示す異常時対処表では、異常時対処表の項目として、「Ｎｏ」、「発生異常ＩＤ判定」、「発生カウント」、「判定回数」、「対処方法」がある。 FIG. 4 shows an example of an abnormality handling table. In the trouble handling table shown in FIG. 4, the items in the trouble handling table include “No”, “occurrence abnormality ID determination”, “occurrence count”, “determination count”, and “coping method”.
「発生異常ＩＤ判定」は、単一又は複数の発生異常ＩＤの組み合わせが設定され、複数の発生異常ＩＤの組み合わせを設定する場合には、個々の発生異常ＩＤをａｎｄで繋ぐものである。そして「Ｎｏ」は、発生異常ＩＤの組み合わせを識別する番号を設定するものである。 The “occurrence abnormality ID determination” is a combination of single or plural occurrence abnormality IDs, and when setting a combination of a plurality of occurrence abnormality IDs, the individual occurrence abnormality IDs are connected by “and”. “No” sets a number for identifying a combination of occurrence abnormality IDs.
「対処方法」は、「発生異常ＩＤ判定」に設定されている発生異常の組み合わせに属する発生異常ＩＤで識別される異常が、すべて、「判定回数」で設定された数だけ最近判定した基板の中で、「発生アカウント」で設定された数の枚数で発生したときの対処方法を設定するものである。 “Corrective action” means that all of the abnormalities identified by the occurrence abnormality IDs belonging to the combination of occurrence abnormalities set in “occurrence abnormality ID determination” are all recently determined by the number set in “determination count”. Among them, a method for setting a countermeasure when the number of occurrences set in the “occurrence account” is set.
例えば、図４に示す異常時対処表で、「発生異常ＩＤ判定」が００３、「発生カウント」が５、「判定回数」が１０の場合に「対処方法」に設定されている（○○開始時刻を××だけ増加／減少させる）は、発生異常ＩＤが００３の異常が、最近判定した基板１０枚中５枚で発生したときの対処方法である。 For example, in the abnormality handling table shown in FIG. 4, when “occurrence abnormality ID determination” is 003, “occurrence count” is 5, and “determination count” is 10, the “handling method” is set (XX start (Increase / decrease the time by xx) is a coping method when an abnormality with an occurrence abnormality ID of 003 occurs in 5 out of 10 recently determined substrates.
また例えば、図４に示す異常時対処表で、「発生異常ＩＤ判定」が００３、「発生カウント」が１０、「判定回数」が２０の場合に「対処方法」に設定されている（□□のメンテを行う）は、発生異常ＩＤが００３の異常が、最近判定した基板２０枚中１０枚で発生したときの対処方法である。 Further, for example, in the case of abnormality handling table shown in FIG. 4, when “occurrence abnormality ID determination” is 003, “occurrence count” is 10, and “determination count” is 20, “handling method” is set (□□ Is a method for coping with the occurrence of an abnormality with an occurrence abnormality ID of 003 occurring in 10 of 20 recently determined substrates.
また例えば、図４に示す異常時対処表で、「発生異常ＩＤ判定」が００１ａｎｄ００２ａｎｄ００３、「発生カウント」が１、「判定回数」が１の場合に「対処方法」に設定されている（○○のメンテを行う）は、発生異常ＩＤが００１〜００３の異常が、すべて、最近判定した基板１枚中１枚で発生したときの対処方法である。 Further, for example, in the case of abnormality handling table shown in FIG. 4, when “occurrence abnormality ID determination” is 001 and 002 and 003, “occurrence count” is 1, and “determination count” is 1, “action method” is set (XX Is a coping method when all the abnormalities with the occurrence abnormality IDs 001 to 003 occur on one of the recently determined substrates.
以下に、ＥＥＳが行う異常データ処理の流れを、図５及び図６のフローチャートに従って説明する。 In the following, the flow of abnormal data processing performed by EES will be described with reference to the flowcharts of FIGS.
Ｓ（ＳＴＥＰ）１；
基板ＩＤ情報データベースと、レシピデータベースとから、プロセス処理直後の基板の
基板ＩＤとレシピＮｏとを取得し、取得したレシピＮｏより、プロセス条件表から、「標準波形」や「レシピ値（閾値とも呼ぶ）」の細分化された個々の項目の値を取得し判定条件表から読み出した各判定条件にセットする。そして、取得した基板ＩＤにより、装置情報データベースから、プロセス処理直後の基板のアナログデータを読み出し、このアナログデータに対して、「標準波形」や「レシピ値（閾値とも呼ぶ）」の細分化された個々の項目の値をセットした各判定条件を適用して、正常である異常であるかを判定する。
S (STEP) 1;
The substrate ID and recipe No. of the substrate immediately after the process processing are acquired from the substrate ID information database and the recipe database, and “standard waveform” and “recipe value (also called threshold value) are acquired from the acquired recipe No. from the process condition table. ) "Is subdivided into individual item values and set in each determination condition read from the determination condition table. Then, with the acquired substrate ID, analog data of the substrate immediately after the process processing is read from the apparatus information database, and “standard waveform” and “recipe value (also called threshold)” are subdivided with respect to this analog data. Each determination condition in which the value of each item is set is applied to determine whether it is normal or abnormal.
Ｓ（ＳＴＥＰ）２；
記憶している発生異常ＩＤの各組み合わせの各判定回数を１だけカウントアップする。
S (STEP) 2;
The number of determinations for each combination of occurrence abnormality IDs stored is incremented by one.
Ｓ（ＳＴＥＰ）３；
異常が検出されたならば、ＳＴＥＰ４に進み、
他方、異常が検出されなければ、ＳＴＥＰ１に戻る。
S (STEP) 3;
If an abnormality is detected, proceed to STEP4,
On the other hand, if no abnormality is detected, the process returns to STEP1.
Ｓ（ＳＴＥＰ）４；
同時に発生した異常の発生異常ＩＤの組み合わせと、これら発生異常ＩＤの異常を示したアナログデータのプロセス処理単位の部分とを取得する。
S (STEP) 4;
A combination of occurrence abnormality IDs of the abnormality that occurred at the same time and a process processing unit portion of the analog data indicating the abnormality of the occurrence abnormality ID are acquired.
Ｓ（ＳＴＥＰ）５；
ＳＴＥＰ４で取得した発生異常ＩＤの組み合わせについて、この組み合わせと発生カウントと判定回数とを記憶しているかを確かめ、
記憶しているならば、ＳＴＥＰ６に進み、
記憶していないならば、ＳＴＥＰ７に進む。
S (STEP) 5;
For the combination of occurrence abnormality ID acquired in STEP 4, check whether this combination, occurrence count, and number of determinations are stored,
If you remember, go to STEP6,
If not, proceed to STEP7.
Ｓ（ＳＴＥＰ）６；
ＳＴＥＰ４で取得した発生異常ＩＤの組み合わせについて、記憶している発生カウントを１だけカウントアップさせて、ＳＴＥＰ８に進む。
S (STEP) 6;
For the combination of occurrence abnormality IDs acquired in STEP 4, the stored occurrence count is incremented by 1, and the process proceeds to STEP 8.
Ｓ（ＳＴＥＰ）７；
ＳＴＥＰ４で取得した発生異常ＩＤの組み合わせについて、この組み合わせと、発生カウントとして１と、判定回数として１とを記憶する。
S (STEP) 7;
For the combination of occurrence abnormality IDs acquired in STEP 4, this combination, 1 as the occurrence count, and 1 as the number of determinations are stored.
Ｓ（ＳＴＥＰ）８；
ＳＴＥＰ４で取得した発生異常ＩＤの組み合わせは異常時対処表に存在するかを確かめ、
存在しているならば、ＳＴＥＰ１３に進み、
他方、存在していないならば、ＳＴＥＰ９に進む。
S (STEP) 8;
Check if the combination of occurrence abnormality ID acquired in STEP 4 exists in the countermeasure table for abnormalities,
If it exists, go to STEP13,
On the other hand, if it does not exist, proceed to STEP9.
Ｓ（ＳＴＥＰ）９；
ＳＴＥＰ１で取得した基板ＩＤにより、検査情報データベースから、プロセス処理直後の基板の検査結果を表す検査結果ファイルを読み出し、この検査結果が良好（ＯＫ）であるか或いは不良（ＮＧ）であるかを確かめ、
良好（ＯＫ）であるならば、ＳＴＥＰ１に戻り、
不良（ＮＧ）であるならば、ＳＴＥＰ１０に進む。
S (STEP) 9;
Based on the substrate ID acquired in STEP 1, an inspection result file representing the inspection result of the substrate immediately after the process processing is read from the inspection information database, and it is confirmed whether the inspection result is good (OK) or defective (NG). ,
If it is good (OK), return to STEP1,
If it is defective (NG), proceed to STEP10.
Ｓ（ＳＴＥＰ）１０；
対処方法を入力させる。
S (STEP) 10;
Enter the corrective action.
Ｓ（ＳＴＥＰ）１１；
取得した発生異常ＩＤの組み合わせについて、この組み合わせと、記憶している発生カ
ウントと判定回数と、入力させた対処方法とを、異常時対処表に登録する。
S (STEP) 11;
For the acquired combination of occurrence abnormality IDs, this combination, the stored occurrence count and the number of determinations, and the input countermeasure method are registered in the countermeasure table for abnormality.
Ｓ（ＳＴＥＰ）１２；
取得した発生異常ＩＤの組み合わせについて、記憶している発生カウントと判定回数とを、それぞれ０に初期化して、ＥＮＤに進む。
S (STEP) 12;
For the acquired combination of occurrence abnormality IDs, the stored occurrence count and determination count are each initialized to 0, and the process proceeds to END.
Ｓ（ＳＴＥＰ）１３；
ＳＴＥＰ４取得した発生異常ＩＤの組み合わせについて、記憶している発生カウントと判定回数との組に、それぞれ、異常時対処表の中で一致する発生カウントと判定回数との組が保存されているかを確かめ、
保存されているならば、ＳＴＥＰ１４に進み、
保存されていないならば、ＳＴＥＰ１５に進む。
S (STEP) 13;
For the combinations of occurrence abnormality IDs acquired in STEP 4, check whether the combination of the occurrence count and the number of determinations that are coincident in the table for handling the abnormality is stored in the stored combination of the occurrence count and the number of determinations. ,
If saved, go to STEP14,
If not saved, proceed to STEP15.
Ｓ（ＳＴＥＰ）１４；
ＳＴＥＰ４で取得した発生異常ＩＤの組み合わせについて、この組み合わせと、記憶している発生カウントと判定回数とにより、異常時対処表から、対処方法を読み出し、ＳＴＥＰ４で取得したこれら発生異常ＩＤの異常を示したアナログデータのプロセス処理単位の部分と、この対処方法とを画面に表示すると同時に、アラームを発報して、ＳＴＥＰ１６に進む。
S (STEP) 14;
For the combination of occurrence abnormality IDs acquired in STEP 4, the countermeasure method is read out from the abnormality handling table based on this combination, the occurrence count stored and the number of determinations, and the abnormality of these occurrence abnormality IDs acquired in STEP 4 is indicated. The process unit of analog data and the coping method are displayed on the screen, an alarm is issued, and the process proceeds to STEP16.
但し、ＳＴＥＰ４で取得した発生異常ＩＤの組み合わせに属する個々の発生異常ＩＤについて記憶している発生カウントと判定回数との組に、それぞれ、異常時対処表の中で一致する発生カウントと判定回数との組が保存されているとしても、個々の発生異常ＩＤで識別される異常が別個独立に発生したのとは異なった事態が発生したとして、個々の発生異常ＩＤに対応する対処方法を、異常時対処表から読み出して画面に表示することは行わない。 However, the occurrence count and the number of determinations that coincide with each other in the correspondence table in the abnormality handling table are stored in the combination of the occurrence count and the determination number stored for each occurrence abnormality ID that belongs to the combination of the occurrence abnormality IDs acquired in STEP 4. Even if a pair of the occurrences is stored, it is assumed that a situation different from the case where the abnormality identified by each occurrence abnormality ID has occurred separately and independently. It is not read from the time handling table and displayed on the screen.
Ｓ（ＳＴＥＰ）１５；
ＳＴＥＰ４で取得した発生異常ＩＤの組み合わせについて、これら発生異常ＩＤの異常を示したアナログデータのプロセス処理単位の部分と、警告とを画面に表示する。
S (STEP) 15;
For the combination of occurrence abnormality IDs acquired in STEP 4, a process processing unit portion of analog data indicating the abnormality of the occurrence abnormality ID and a warning are displayed on the screen.
Ｓ（ＳＴＥＰ）１６；
ＳＴＥＰ１で取得した基板ＩＤにより、検査情報データベースから、プロセス処理直後の基板の検査結果を表す検査結果ファイルを読み出し、この検査結果が良好（ＯＫ）であるか或いは不良（ＮＧ）であるかを確かめ、
良好（ＯＫ）であるならば、ＳＴＥＰ１に戻り、
不良（ＮＧ）であるならば、ＳＴＥＰ１７に進む。
S (STEP) 16;
Based on the substrate ID acquired in STEP 1, an inspection result file representing the inspection result of the substrate immediately after the process processing is read from the inspection information database, and it is confirmed whether the inspection result is good (OK) or defective (NG). ,
If it is good (OK), return to STEP1,
If it is defective (NG), proceed to STEP17.
尚、ＳＴＥＰ４取得した発生異常ＩＤの組み合わせについて、記憶している発生カウントと判定回数との組に、それぞれ、異常時対処表の中で一致する発生カウントと判定回数との組が保存されているにも拘らず、良好（ＯＫ）である場合は、この一致する異常時対処表の中の「発生カウント」と「判定回数」との設定を見直すように促す表示を画面にしても良い。 Note that for the combinations of occurrence abnormality IDs acquired in STEP 4, the combinations of occurrence counts and determination times that coincide in the abnormality handling table are stored in the stored combinations of occurrence counts and determination times, respectively. Nevertheless, if it is good (OK), a display that prompts the user to review the settings of “occurrence count” and “determination count” in the matching table at the time of abnormality may be displayed on the screen.
Ｓ（ＳＴＥＰ）１７；
ＳＴＥＰ４で取得した発生異常ＩＤの組み合わせについて、記憶している発生カウントと判定回数とに基づいて、それぞれ、異常時対処表の発生カウントと判定回数とを更新する。
S (STEP) 17;
For the combination of occurrence abnormality IDs acquired in STEP 4, the occurrence count and determination number in the countermeasure table for abnormality are updated based on the stored occurrence count and determination number, respectively.
この更新は、例えば、図４に示す異常時対処表の「Ｎｏ」が４の場合のように、発生異
常ＩＤの組み合わせに対して、一つの発生カウントと判定回数との組のみが登録されている場合のみ、記憶している発生カウントと判定回数と、それぞれ、異常時対処表に保存されている発生カウントと判定回数との平均値を取り、これらの平均値で、異常時対処表の発生カウントと判定回数とを更新しても良いし、或いは、単に、記憶している発生カウントと判定回数とで、異常時対処表の発生カウントと判定回数とを更新しても良い。
For example, as shown in FIG. 4, when the “No” in the abnormality handling table shown in FIG. 4 is 4, only a combination of one occurrence count and the number of determinations is registered for a combination of occurrence abnormality IDs. The average value of the stored occurrence count and judgment count and the occurrence count and judgment count stored in the error handling table is taken, and the average of these occurrences is used to generate the fault handling table. The count and the number of determinations may be updated, or the occurrence count and the number of determinations in the abnormality handling table may be simply updated with the occurrence count and the determination number stored.
また例えば、図４に示す異常時対処表の「Ｎｏ」が２や３の場合のように、発生異常ＩＤの組み合わせに対して、複数の発生カウントと判定回数との組が登録されている場合には、記憶している発生カウントと判定回数との組に最も近い異常時対処表の発生カウントと判定回数との組についてのみ、記憶している発生カウントと判定回数と、それぞれ、異常時対処表に保存されている発生カウントと判定回数との平均値を取り、これらの平均値で、異常時対処表の発生カウントと判定回数とを更新しても良いし、或いは、単に、記憶している発生カウントと判定回数とで、異常時対処表の発生カウントと判定回数とを更新しても良い。 Further, for example, when a combination of a plurality of occurrence counts and determination counts is registered for a combination of occurrence abnormality IDs, as in the case where “No” in the abnormality handling table shown in FIG. 4 is 2 or 3 Includes the occurrence count and determination count stored only for the combination of the occurrence count and determination count in the error handling table closest to the stored occurrence count / determination count pair. The average value of the occurrence count and determination count stored in the table may be taken, and the occurrence count and determination count of the table for handling anomalies may be updated with these average values, or simply stored. The occurrence count and determination count of the abnormality handling table may be updated with the occurrence count and determination count.
Ｓ（ＳＴＥＰ）１８；
取得した発生異常ＩＤの組み合わせについて、記憶している発生カウントと判定回数とを、それぞれ０に初期化して、ＥＮＤに進む。
S (STEP) 18;
For the acquired combination of occurrence abnormality IDs, the stored occurrence count and determination count are each initialized to 0, and the process proceeds to END.
Claims (12)
プロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定するための判定条件に用いるデータであって、プロセス条件の設定によって変化するものを、判定条件とは別に、プロセス条件の設定ごとに保存するプロセス処理条件表と、
判定条件を、それにプロセス条件の設定に対応するデータをプロセス処理条件表から読み出してセットした後に、プロセス条件データに適用し、このプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定する手段とを備えることを特徴とする装置データ収集システム。 A system for collecting process condition data when processing a substrate and data related to setting process conditions to determine whether the process condition data is normal or abnormal,
Data that is used as a judgment condition for judging whether process condition data is normal or abnormal, and changes depending on the process condition setting, is saved for each process condition setting separately from the judgment condition Process processing condition table,
Means for reading out and setting data corresponding to the setting of the process condition from the process processing condition table, applying the determination condition to the process condition data, and determining whether the process condition data is normal or abnormal; An apparatus data collection system comprising:
異常時対処表に既登録の判定条件の組み合わせについて、それぞれの判定条件を、それぞれのプロセス条件データに適用する度に、判定回数を数えて記憶し、この組み合わせに属するすべての判定条件で異常と判定する度に、発生カウントを数えて記憶する手段と、
この組み合わせについて、記憶している発生カウントと判定回数とが、それぞれ、異常時対処表に保存している発生アカウントと判定回数とに一致した場合に、アラームを発報するとともに、この組み合わせと、記憶している発生カウントと判定回数とで特定される対処方法を異常時対処表から読み出して、異常と判定したそれぞれのプロセス条件データと、読み出した対処方法とを表示する手段とを備えることを特徴とする請求項１記載の装置データ収集システム。 For each combination of single or multiple judgment conditions, an error handling table that stores the occurrence account, the number of judgments, and the countermeasures,
For each combination of judgment conditions already registered in the error handling table, each judgment condition is stored by counting the number of judgments each time it is applied to each process condition data. Means for counting and storing the occurrence count for each determination;
For this combination, when the stored occurrence count and determination count match the occurrence account and determination count stored in the abnormality handling table, an alarm is issued, and this combination, A means for reading out the coping method specified by the stored occurrence count and the number of determinations from the coping table at the time of abnormality and displaying each process condition data determined to be abnormal and the coping method that has been read out The apparatus data collection system according to claim 1, wherein:
プロセス処理をした基板の検査結果を収集する手段と、
プロセス処理をした基板の検査結果が不良である場合、対処方法を入力させ、この組み合わせについて、この組み合わせと、記憶している発生アカウントと判定回数と、入力させた対処方法とを異常対処表に登録する手段とを備えることを特徴とする請求項２記載の装置データ収集システム。 If the combination of judgment conditions applied to the process condition data judged to be abnormal is not registered in the trouble handling table, the number of judgments is counted each time each judgment condition is applied to each process condition data. Means for counting and storing the occurrence count each time it is determined as abnormal under all the determination conditions belonging to this combination;
Means for collecting inspection results of processed substrates;
If the inspection result of a substrate that has undergone process processing is defective, a countermeasure method is input, and for this combination, this combination, the stored occurrence account, the number of determinations, and the input countermeasure method are entered in the error countermeasure table. 3. The apparatus data collection system according to claim 2, further comprising means for registering.
プロセス処理をした基板の検査結果が不良である場合、この組み合わせについて、記憶している発生アカウントと判定回数とに基づいて、異常対処表に保存されている発生アカウントと判定回数とを更新する手段とを備えることを特徴とする請求項２記載の装置データ収集システム。 Means for collecting inspection results of processed substrates;
When the inspection result of the substrate subjected to the process processing is defective, for this combination, the means for updating the occurrence account and the determination count stored in the abnormality handling table based on the stored occurrence account and the determination count The apparatus data collection system according to claim 2, further comprising:
判定条件を、それにプロセス条件の設定に対応するデータをプロセス処理条件表から読み出してセットした後に、プロセス条件データに適用し、このプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定する工程を含むことを特徴とする装置データ収集方法。 The data used for the determination condition for determining whether the process condition data when the substrate is processed is normal or abnormal, and changes depending on the setting of the process condition. A device data collection system with a process processing condition table that is stored for each process condition setting collects process condition data and data related to process condition settings to determine whether the process condition data is normal or abnormal A way to
A process for determining whether the process condition data is normal or abnormal after the determination condition is read out from the process processing condition table and data corresponding to the process condition setting is set and then applied to the process condition data. A device data collection method comprising:
異常時対処表に既登録の判定条件の組み合わせについて、それぞれの判定条件を、それぞれのプロセス条件データに適用する度に、判定回数を数えて記憶し、この組み合わせに属するすべての判定条件で異常と判定する度に、発生カウントを数えて記憶する工程と、
この組み合わせについて、記憶している発生カウントと判定回数とが、それぞれ、異常時対処表に保存している発生アカウントと判定回数とに一致した場合に、アラームを発報するとともに、この組み合わせと、記憶している発生カウントと判定回数とで特定される対処方法を異常時対処表から読み出して、異常と判定したそれぞれのプロセス条件データと、読み出した対処方法とを表示する工程とを含むことを特徴とする請求項５記載の装置データ収集方法。 The apparatus data collection system includes an abnormality handling table that stores an occurrence account, the number of determinations, and a countermeasure for each combination of single or plural determination conditions,
For each combination of judgment conditions already registered in the error handling table, each judgment condition is stored by counting the number of judgments each time it is applied to each process condition data. A step of counting and storing the occurrence count for each determination;
For this combination, when the stored occurrence count and determination count match the occurrence account and determination count stored in the abnormality handling table, an alarm is issued, and this combination, A method of reading out a coping method specified by the stored occurrence count and the number of determinations from the coping table at the time of abnormality, and displaying each process condition data determined to be abnormal and the coping method read out 6. The apparatus data collection method according to claim 5, wherein
プロセス処理をした基板の検査結果を収集する工程と、
プロセス処理をした基板の検査結果が不良である場合、対処方法を入力させ、この組み合わせについて、この組み合わせと、記憶している発生アカウントと判定回数と、入力させた対処方法とを異常対処表に登録する工程とを含むことを特徴とする請求項６記載の装置データ収集方法。 If the combination of judgment conditions applied to the process condition data judged to be abnormal is not registered in the trouble handling table, the number of judgments is counted each time each judgment condition is applied to each process condition data. A step of counting and storing the occurrence count every time it is determined to be abnormal under all the determination conditions belonging to this combination,
Collecting the inspection results of the processed substrates;
If the inspection result of a substrate that has undergone process processing is defective, a countermeasure method is input, and for this combination, this combination, the stored occurrence account, the number of determinations, and the input countermeasure method are entered in the error countermeasure table. The apparatus data collection method according to claim 6, further comprising a step of registering.
プロセス処理をした基板の検査結果が不良である場合、この組み合わせについて、記憶している発生アカウントと判定回数とに基づいて、異常対処表に保存されている発生アカウントと判定回数とを更新する工程とを含むことを特徴とする請求項６記載の装置データ収集方法。 Collecting the inspection results of the processed substrates;
When the inspection result of the substrate subjected to the process processing is defective, the process of updating the occurrence account and the determination count stored in the abnormality handling table based on the stored occurrence account and the determination count for this combination The apparatus data collection method according to claim 6, further comprising:
判定条件を、それにプロセス条件の設定に対応するデータをプロセス処理条件表から読み出してセットした後に、プロセス条件データに適用し、このプロセス条件データが正常であるか異常であるかを判定する工程を実行させることを特徴とする装置データ収集プログラム。 The data used for the determination condition for determining whether the process condition data when the substrate is processed is normal or abnormal, and changes depending on the setting of the process condition. Collecting process condition data and data related to process condition settings on a computer equipped with a process processing condition table to be saved for each process condition setting to determine whether the process condition data is normal or abnormal A program to be executed,
A process for determining whether the process condition data is normal or abnormal after the determination condition is read out from the process processing condition table and data corresponding to the process condition setting is set and then applied to the process condition data. An apparatus data collection program that is executed.
異常時対処表に既登録の判定条件の組み合わせについて、それぞれの判定条件を、それぞれのプロセス条件データに適用する度に、判定回数を数えて記憶し、この組み合わせに属するすべての判定条件で異常と判定する度に、発生カウントを数えて記憶する工程と、
この組み合わせについて、記憶している発生カウントと判定回数とが、それぞれ、異常時対処表に保存している発生アカウントと判定回数とに一致した場合に、アラームを発報するとともに、この組み合わせと、記憶している発生カウントと判定回数とで特定される対処方法を異常時対処表から読み出して、異常と判定したそれぞれのプロセス条件データと、読み出した対処方法とを表示する工程とを実行させることを特徴とする請求項９記載の装置データ収集プログラム。 The computer includes an abnormality handling table for storing an occurrence account, the number of determinations, and a countermeasure for each combination of single or plural determination conditions,
For each combination of judgment conditions already registered in the error handling table, each judgment condition is stored by counting the number of judgments each time it is applied to each process condition data. A step of counting and storing the occurrence count for each determination;
For this combination, when the stored occurrence count and determination count match the occurrence account and determination count stored in the abnormality handling table, an alarm is issued, and this combination, Reading out the coping method specified by the stored occurrence count and the number of determinations from the coping table when abnormal, and executing each process condition data determined to be abnormal and displaying the read coping method The apparatus data collection program according to claim 9.
プロセス処理をした基板の検査結果を収集する工程と、
プロセス処理をした基板の検査結果が不良である場合、対処方法を入力させ、この組み合わせについて、この組み合わせと、記憶している発生アカウントと判定回数と、入力させた対処方法とを異常対処表に登録する工程とを実行させることを特徴とする請求項１０記載の装置データ収集プログラム。 If the combination of judgment conditions applied to the process condition data judged to be abnormal is not registered in the trouble handling table, the number of judgments is counted each time each judgment condition is applied to each process condition data. A step of counting and storing the occurrence count every time it is determined to be abnormal under all the determination conditions belonging to this combination,
Collecting the inspection results of the processed substrates;
If the inspection result of a substrate that has undergone process processing is defective, a countermeasure method is input, and for this combination, this combination, the stored occurrence account, the number of determinations, and the input countermeasure method are entered in the error countermeasure table. The apparatus data collection program according to claim 10, wherein a registration step is executed.
プロセス処理をした基板の検査結果が不良である場合、この組み合わせについて、記憶している発生アカウントと判定回数とに基づいて、異常対処表に保存されている発生アカウントと判定回数とを更新する工程とを実行させることを特徴とする請求項１０記載の装置データ収集プログラム。 Collecting the inspection results of the processed substrates;
When the inspection result of the substrate subjected to the process processing is defective, the process of updating the occurrence account and the determination count stored in the abnormality handling table based on the stored occurrence account and the determination count for this combination The apparatus data collection program according to claim 10, wherein:
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| JP2010074745A JP2011209827A (en) | 2010-03-29 | 2010-03-29 | Device data collection system, method, and program |
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN108074832A (en) * | 2016-11-11 | 2018-05-25 | 东京毅力科创株式会社 | Abnormality detector |
| KR20200059866A (en) * | 2018-11-22 | 2020-05-29 | 유에이치에스(주) | System implementing smart factory |
-
2010
- 2010-03-29 JP JP2010074745A patent/JP2011209827A/en active Pending
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| KR102140731B1 (en) | 2018-11-22 | 2020-08-03 | 유에이치에스(주) | System implementing smart factory |
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