JP2011208804A - Actuator - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、クリーンルーム内で好適に利用できるアクチュエータ、特にアクチュエータのシール構造に関する。 The present invention relates to an actuator that can be suitably used in a clean room, and more particularly to a seal structure of the actuator.
クリーンルーム内では雰囲気中の塵の量が管理されており、そのようなクリーンルームで利用され、ワークを直線往復移動させるアクチュエータに対しても低発塵性能が要求されている。
従来から、そのような要求に応えようとした低発塵アクチュエータが知られており、その一例を図10〜図15に示す。
The amount of dust in the atmosphere is controlled in a clean room, and low dust generation performance is also required for an actuator that is used in such a clean room and moves a workpiece in a straight line.
Conventionally, there has been known a low dust generation actuator which attempts to meet such a demand, and an example thereof is shown in FIGS.
図10〜図13に示すように、アクチュエータは、座面20にワーク(図示しない)を取付けて所定の距離を直線往復移動するキャリッジ10と、そのキャリッジ10を直線往復移動させる直動装置として、キャリッジ10の直線移動を案内する直線案内装置52(例えばリニアガイド装置)やキャリッジ10を直線移動させる直線駆動装置51(例えばボールねじ装置やリニアモーター装置)がハウジング30の内部に備えられている。なお、ハウジング30は、その直線往復移動するキャリッジ10や前記直動装置を収容可能な長さに形成されている。また、直線駆動装置51(但し、リニアモーター以外の場合)は、駆動伝達手段54(例えば図10等の場合では、ベルトとプーリーによる駆動伝達、図12等の場合では、図示しない継手による駆動伝達)によって駆動力を直線駆動装置51に伝達可能に設置された駆動源53(例えばモーター)で駆動されている。
さらに、アクチュエータのハウジング30の一面31には、キャリッジ10の移動経路に沿って開口したスリットSを有し、座面20を搭載するキャリッジ10の搭載部11が、そのスリットSと隙間を有して貫通してハウジング30の外面に突出している。
これにより、スリットSに沿って搭載部11が直線往復移動可能な構成となる。
As shown in FIGS. 10 to 13, the actuator includes a
Further, the one
As a result, the
そのようなアクチュエータのシール構造としては、スリットSの一対の対向する端面32には、そのスリットSの全長に亘たって、それぞれスリットSの開口を挟む方向で対向して開口した一対の案内溝33が備えられ、前記スリットSの案内溝33に帯状のシール部材、例えばシールベルト40が案内されてスリットSの開口をシールするシール構造が知られている。なお、そのシールベルト40は、スリットSの軸方向両端側34,34でハウジングSの内部へ誘導され、ハウジングSの内部で可動ループを形成(例えば、ハウジング30の長さ方向両端側にそれぞれ配設されたプーリー41を介して、ハウジング30の長さ方向に可動ループを形成)する。
As a seal structure of such an actuator, a pair of
また、図14及び図15に示すように、ハウジング30のスリットSを貫通してハウジング30の外面に突出するキャリッジ10の搭載部11は、座面20を取付ける取付部12と、シールベルト40を固定する固定面112を備えている。取付部12は、その搭載部11の軸方向(図14中両矢印参照)の中央部は段差状に突出して形成され、固定面112は、その取付部12の各軸方向側に、スリットSの案内溝33と同一平面で対向して形成されている。
そして、ハウジング30の内部で可動ループを形成したシールベルト40は、図10及び図12に示すように、ハウジング30の一面31の外面側に取り回されるとともに、ハウジング30の一面31に設けられたスリットSの案内溝33に案内されている。そして、そのシールベルト40の端部は、前記分割された一対の固定面112にそれぞれ固定(例えば、雄ネジ113と固定面112に設けた雌ネジによって、シールベルト40を共締めして固定)されている。
このような構成により、シールベルト40が搭載部11の直線往復移動に伴なって移動するとともに、スリットSの案内溝33に案内されてスリットSの開口をシールしている。さらに、アクチュエータには図示しない吸引機構が連結され、ハウジング30の内気を吸引するようにしている(特許文献1及び特許文献2)。
As shown in FIGS. 14 and 15, the
The
With such a configuration, the
なお、図10及び図11にはワークを取付ける座面20が1つの搭載部11に搭載されている場合が示されているが、図12及び図13に示されるように、ワークを取付ける座面20が2つの搭載部11に搭載されている場合であってもアクチュエータの構成は、搭載部11の配置に合わせてハウジング30の幅方向の大きさ及びスリットSの数、シールベルト40の数及びそのシールベルト40の可動ループを形成する構成(例えばプーリー41)の配設等が変更されるものの、直線案内装置52や直線駆動装置51等の関係は搭載部11が1つある例(図10及び図11)との構成と同様である。
10 and 11 show the case where the
このようなシール構造では、スリットSによる開口を略閉塞するとともに、ハウジング30の内気を吸引することにより、外部への塵埃の排出を抑制できる。
しかしながら、キャリッジ10の高速化や、より厳しい清浄度に対する要求へ対応のためには、なお改良の余地あった。
図15に示すように、搭載部11の移動方向(図中両矢印参照)のスリット両端部と搭載部11との間の領域(図中F2の領域、以下F2領域と称する)では、スリットSの開口がシールベルト40で略シールされてハウジング30の内と外を略隔離できるので低発塵の効果が望める。
しかしながら、キャリッジ10の搭載部11の移動方向(図中両矢印参照)と直交する側面111とスリットSとの間の対向領域(図中F1の領域、以下F1領域と称する)においては、キャリッジ10とスリットSとの隙間Gがあり、調査の結果、吸引機構の併用にもかかわらず、なお、この部分を介して塵埃の外部への排出があり、厳しい清浄度等への対応のためには、無視できないことが判明した。
In such a seal structure, the opening of the slit S is substantially closed, and the inside air of the
However, there is still room for improvement in order to meet the demand for higher speed of the
As shown in FIG. 15, in the region between the both ends of the slit in the moving direction of the mounting portion 11 (see the double arrow in the figure) and the mounting portion 11 (region F2 in the drawing, hereinafter referred to as F2 region), the slit S Is substantially sealed by the
However, in the facing region (the region F1 in the drawing, hereinafter referred to as the F1 region) between the
本発明の目的は、ハウジングに設けられたスリットの全領域をシールして、低発塵の効果が高く、クリーンルーム内で好適に利用できるアクチュエータ、特にアクチュエータのシール構造を提供することである。 An object of the present invention is to provide an actuator, particularly an actuator sealing structure, which seals the entire area of a slit provided in a housing and has a high effect of low dust generation and can be suitably used in a clean room.
上記課題を達成するために、本発明は、座面を搭載する搭載部を有するキャリッジと、そのキャリッジを直線往復移動させる直動装置と、該キャリッジと該直動装置を内装し、キャリッジが該直動装置の軸方向に直線往復移動可能な長さに形成したハウジングとを備え、該ハウジングの一面には、キャリッジの移動経路に沿って開口するスリットが設けられるとともに、該スリットを貫通してキャリッジの搭載部がハウジングの外側に突出し、かつ、スリットの開口が、搭載部の移動に伴って移動しつつシールされるシール構造を備えたアクチュエータにおいて、シール構造は、搭載部移動方向のスリット両端部と搭載部との間の領域、及び搭載部の移動方向と直交する側面とスリットとの対向領域とからなるスリット開口の全領域を、搭載部の移動中においてシールしており、搭載部移動方向のスリット両端部と搭載部との間の領域を帯状のシール部材によってシールし、搭載部とスリットとの間の対向領域を搭載部に備えられた鍔状のシール部材によってシールする。 In order to achieve the above object, the present invention includes a carriage having a mounting portion on which a seat surface is mounted, a linear motion device that linearly reciprocates the carriage, the carriage and the linear motion device, and the carriage including the carriage. And a housing formed in a length capable of linear reciprocation in the axial direction of the linear motion device, and a slit that opens along the movement path of the carriage is provided on one surface of the housing, and passes through the slit. In an actuator having a seal structure in which the carriage mounting portion protrudes outside the housing and the opening of the slit is sealed while moving as the mounting portion moves, the seal structure has both ends of the slit in the moving direction of the mounting portion. Mounting the entire area of the slit opening consisting of the area between the mounting part and the mounting part, and the side area orthogonal to the moving direction of the mounting part and the area facing the slit The region between the both ends of the slit in the moving direction of the mounting portion and the mounting portion is sealed by a belt-like seal member, and the opposing region between the mounting portion and the slit is provided in the mounting portion. Sealing is performed with a bowl-shaped sealing member.
この場合、搭載部の軸方向中央部が段差状に突出して座面を取付ける取付部を形成し、取付部の各軸方向側にはスリットと対向する固定面が形成され、各固定面には、搭載部移動方向のスリット両端部と搭載部との間の領域をシールする帯状のシール部材が固定され、鍔状のシール部材は、スリットと対向する搭載部の端面に備えられた基端部と、その基端部からハウジングのスリットの端面に向けて、帯状のシール部材と同一平面を成して延設された先端部とで構成され、その先端部が、搭載部の移動方向と直交する側面とスリットとの間の対向領域をシールするようにすればよい。 In this case, the central portion in the axial direction of the mounting portion protrudes in a step shape to form a mounting portion for attaching the seating surface, and a fixing surface facing the slit is formed on each axial direction side of the mounting portion, The belt-shaped seal member that seals the region between the slit both ends of the mounting portion moving direction and the mounting portion is fixed, and the bowl-shaped sealing member is the base end portion provided on the end surface of the mounting portion facing the slit And a distal end portion extending in the same plane as the belt-shaped seal member from the base end portion toward the end surface of the slit of the housing, and the distal end portion is orthogonal to the moving direction of the mounting portion What is necessary is just to make it seal the opposing area | region between the side to perform and a slit.
その際には、スリットの開口の対向する一対の端面に、スリットの全長に亘たり、それぞれスリットを挟む方向で対向して開口した一対の案内溝を備え、帯状のシール部材及び鍔状のシール部材が案内溝に案内されることによってシールが形成されるシール構造とすることが好ましい。 In that case, a pair of guide grooves that are opened to face each other in the direction of sandwiching the slits over the entire length of the slits are provided on a pair of opposed end faces of the slit openings, and a belt-like seal member and a bowl-like seal are provided. It is preferable to have a seal structure in which a seal is formed by the member being guided in the guide groove.
なお、帯状のシール部材は、スリットの軸方向両端側でハウジング内部へ誘導され、ハウジング内部で可動ループを形成するシールベルトとすることが可能である。
また、鍔状のシール部材は、搭載部の側面に一体に形成することが可能である。
The belt-like seal member can be a seal belt that is guided into the housing at both axial ends of the slit and forms a movable loop inside the housing.
Further, the bowl-shaped seal member can be integrally formed on the side surface of the mounting portion.
本発明によれば、ハウジングに設けられたスリットの全領域をシールして、低発塵の効果が高く、クリーンルーム内で好適に利用できるアクチュエータ、特にアクチュエータのシール構造を提供することができるようになった。 According to the present invention, it is possible to provide an actuator, particularly an actuator sealing structure, which seals the entire area of the slit provided in the housing, has a high effect of low dust generation, and can be suitably used in a clean room. became.
以下本発明の実施の一形態を図に基づいて説明する。
本発明は、ハウジング30に設けられたスリットSのスリット両端部と搭載部11との間の領域(以下、この開口領域をF2領域ともいう。)、及び搭載部11の移動方向と直交する側面111とスリットSとの間の対向領域(以下、この開口領域をF1領域ともいう。)のスリット開口の全領域(以下、この全開口領域をF領域ともいう。)をシールしてハウジング30の内と外を隔離するものであるが、特に、F1領域において、スリットSと搭載部11との隙間Gをシールするシール構造に特徴を有している。その具体的な実施の形態を以下、図1〜図9にて詳細に説明する。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
In the present invention, a region between the slit both ends of the slit S provided in the
なお、F1領域におけるシール構造以外の構成は、F2領域におけるシール構造を含め、前述した従来技術の構造が採用可能であるため、ここでは、本発明特有の構成であるF1領域におけるシール構造を中心に説明し、それ以外の構成についての説明は省略する。
また、以下の実施形態では、2本の搭載部11を備えたアクチュエータの場合を説明するが、本発明によるシール構造は1本の搭載部11を備えたアクチュエータの場合にも適用可能である。さらに、直線案内装置、直線駆動装置、駆動源等の形式や種類についても以下の実施形態に限定されるものではない。
In addition, since the structure of the prior art mentioned above including the seal structure in F2 area | region can be employ | adopted for structures other than the seal structure in F1 area | region, here, the seal structure in F1 area | region which is a structure peculiar to this invention is centered. The description of other components will be omitted.
Moreover, although the case of the actuator provided with the two mounting
図1〜図4は本発明の第1の実施形態であり、座面20を取付けるキャリッジ10の搭載部11とスリットSのF1領域をキャリッジ10の搭載部11に固定された帯状のシール部材によってシールするシール構造を示す。なお、搭載部11は従来と同様の構成のものが使用される。
1 to 4 show a first embodiment of the present invention. A mounting
帯状のシール部材として本実施形態ではシールベルト40が採用されている。シールベルト40は、スリットSの全長を搭載部11の移動に伴なってシール可能な長さに連続して形成される。また、シールベルト40は、スリットSの両端側34,34からハウジング30の内部へ誘導され、ハウジング30の内部でループ状に配設されることにより、可動ループを形成している。例えば、本実施例では従来と同様に、ハウジング30の長さ方向両端側にそれぞれ配設されたプーリー41を介して可動ループを形成している(図10及び図12参照)。
なお、可動ループを形成する手段は、シールベルト40が円滑に可動すればどのような手段でも良いので、ここでは特に限定をしない。
In this embodiment, a
The means for forming the movable loop may be any means as long as the
また、シールベルト40は、スリットSの案内溝33間を架け渡し可能な幅に形成されている。
さらに、シールベルト40には、その幅方向の中心に合わせて、取付部12よりも僅かに大きく形成された孔部42が備えられ、シールベルト40は、その孔部42に搭載部11の取付部12が貫通した状態で固定面112に固定されている。
なお、シールベルト40を固定面112に固定する場合には、シールベルト40の孔部42を取付部12が貫通するように搭載部11の固定面112上に配し、シールベルト40を固定面112に固定する。これにより、シールベルト40の幅方向の両端側が取付部12からはみ出し、そのはみ出し部分60の先端側がスリットSの案内溝33の開口に挿入される。なお、シールベルト40は軸方向(図中両矢印参照)に移動することによって、案内溝33に案内される。
Further, the
Further, the
When the
また、シールベルト40は従来と同様に、雄ネジ113と固定面112に設けた雌ネジによって共締され固定されている。
なお、シールベルト40を固定面112に固定する手段は、シールベルト40が固定面112に堅牢に固定されればどのような固定方法でも良いので、ここでは特に限定しない。例えば、強力な接着剤によって固定するものであっても良い。さらに、シールベルト40の材質は、スリットSの開口をシール可能な材質であれば良いので、特に限定しない。例えば、ゴム等の樹脂や柔軟な金属によって形成されていても良いし、ポリウレタン等の樹脂を含浸してなる繊維によって形成されていても良い。
さらに、アクチュエータには図示しない吸引機構が連結され、ハウジング30の内気を吸引するようにしている。
The
The means for fixing the
Further, a suction mechanism (not shown) is connected to the actuator so that the inside air of the
このとき、シールベルト40の取付部12からはみ出した部分60は図3(a)に示すように、搭載部11の移動方向(図中両矢印参照)と直交する側面111から案内溝33まで架け渡される。これにより、搭載部11の側面111とスリットSの端面32との間の対向領域(F1領域)の隙間Gがシールされるので、ハウジング30の内側と外側が隔離される。また、案内溝33のハウジング内方側の溝面36とシールベルト40のはみ出し部分60とが広い面積で面接触しているので、ハウジング30内を負圧にしてハウジング30の外方への塵の放出を防止する吸引機構の併用も相俟って、その負圧により、案内溝33の面36にシールベルト40のはみ出し部分60が吸い付けられ、ハウジング30の内外を確実に隔離することが可能となる。
At this time, the
なお、図3(b)に示すように、シールベルト40のはみ出し部分60の案内溝33内に位置する部分がハウジング30と接触しないようにされていても良い。このような構成によれば、F1領域の隙間Gがシールされるとともに、シールベルト40のはみ出し部分60がハウジング30と摺接しないため、シールベルト40の摩耗が生じない。なお、微少な隙間を介してハウジング30内外が連通することになるが、隙間は微少なため、吸引機構による内気の吸引に伴うベンチュリ効果によって外気の流入速度が高まることにより、ハウジング30内から外部への塵埃排出は抑制されるので、この部分も実質的にシールされた状態となる。さらに、同図で案内溝33の形状について、溝底の幅を狭めるようにしているのは、吸引機構による吸引に伴うベンチュリ効果を高めるためである。
As shown in FIG. 3B, the portion of the protruding
また、図3(c)に示すように、案内溝33の溝内部の形状は、スリットSの端面32側が狭く、溝底35側に向けて広くなるように形成されていても良い。このような構成によれば、F1領域の隙間Gはシールされつつ、案内溝33のハウジング内方側の面36とシールベルト40のはみ出し部分60との接触面積は小さく押えることができるので、シールベルト40のはみ出し部分60が案内溝33に案内される際の摺動抵抗を小さくすることができる。
Further, as shown in FIG. 3C, the inner shape of the
また、シールベルト40は、搭載部11からそれぞれ、スリットSの軸方向両端側34,34に向かってスリットSの案内溝33に案内されつつハウジング30の両端側34,34までハウジング30の一面31に架け渡され、これにより、スリットSのF2領域がシールされている。
このように、本発明の第1の実施形態では、F2領域においては、従来と同様に、シールベルト40がスリットSの案内溝33に案内されることによって、スリットSの開口をシールベルト40でシールされるシール構造を構成する。
Further, the
Thus, in the first embodiment of the present invention, in the F2 region, the
さらに、F1領域においても、キャリッジ10の搭載部11に固定されたシールベルト40のはみ出し部分60が、スリットSの案内溝33に案内されることによって、搭載部11の側面111とスリットSの端面32との間の対向領域の隙間Gがシールされるシール構造を構成する(図2〜図4参照)。
従って、前記F2領域と前記F1領域が連続してシールされるので、ハウジング30に設けられたスリットSが設けられた長さの全領域(F1領域及びF2領域からなる全開口領域であるF領域)に亘ってハウジング30の内と外が隔離され、低発塵の効果を高くすることができる。
Further, also in the F1 region, the protruding
Accordingly, since the F2 region and the F1 region are continuously sealed, the entire region having the length of the slit S provided in the housing 30 (the F region which is the entire opening region including the F1 region and the F2 region). ), The inside and the outside of the
なお、本実施形態では、シールベルト40がハウジングの内部でループして可動ループを成している場合を説明したが、スリットSが設けられた長さの全領域(F1領域及びF2領域からなる全開口領域であるF領域)をシールベルト40でシール可能であれば、この限りではなく、例えば、スリットSの両端側34,34において、シールベルト40が巻き取られる構成であっても良い。この場合には、前記全領域(F領域)においてシールベルト40がたるみ無く配されるように、シールベルト40に一定の張力をもたせる機構を付加することが好ましい。例えば、巻き取り装置にバネ機構を付加してシールベルト40に一定の張力を持たせても良い。
In the present embodiment, the case where the
また、本実施形態では、スリットSに案内溝33を備え、シールベルト40がその案内溝33に案内されてシールするシール構造を説明したが、スリットSに案内溝33を備えない形態であっても本発明の範囲内である。この場合には、シール性を向上させるために、F1領域およびF2領域にてスリットSの開口近傍の壁面などに摺接するリップなどの構成がシールベルトに備えられているのが好ましい。
Further, in the present embodiment, the seal structure in which the slit S is provided with the
また、図5は、本発明の第2の実施形態であり、キャリッジ10の搭載部11を分割型とした場合を示している。この場合の搭載部11は、キャリッジ10と一体に形成される固定部114と、キャリッジ10と別体に形成され、座面20を取付ける取付部12とで構成され、シールベルト40は固定部114と取付部12とに挟持され固定されF1領域においてシール構造を形成する。その他の構成及び作用効果は、上述した第1の実施形態と同様であるので、ここでは、第2の実施形態における搭載部11とシールベルト40との構成及び配置関係を中心に説明し、それ以外の構成についての説明は省略する。
なお、本実施形態に使用されるシールベルト40は前述の第1の実施形態と同様の構成である。
FIG. 5 is a second embodiment of the present invention, and shows a case where the mounting
The
具体的には、キャリッジ10と一体に形成される固定部114の軸方向(図中両矢印参照)の中央部は段差状の凹部115が形成され、その凹部115の各軸方向側には、ハウジング30のスリットSの案内溝33と同一平面で対向する固定面112が備えられている。
一方、座面20を取付ける取付部12は、座面20が取付けられる一面を有し、さらに、取付部12の他面には、固定部114の固定面112と対向して形成される押え面121を有して構成される。また、その押え面121の軸方向(図中両矢印参照)の中央部には、固定部114の凹部115と嵌合する凸部122が形成されている。
Specifically, a stepped
On the other hand, the mounting
シールベルト40を搭載部11に固定する場合には、まず、取付部12の凸部122がシールベルト40の孔部42に貫通するように、シールベルト40を取付部12の凸部122に被せる。さらに、取付部12と固定部114をその凸部122と凹部115が嵌合するように嵌め合わせることによって、シールベルト40が取付部12の押え面121と固定部114の固定面112とに挟持される。そして、取付部12と固定部114とを固定することによって、取付部12の押え面121と固定部114の固定面112とに挟持されたシールベルト40が固定面112に固定される。
When fixing the
なお、シールベルト40を固定面112に固定する手段は、本実施形態では、一例として、取付部12の一面から凸部122を貫通するネジ孔と、固定部114の凹部115に設けた雌ネジと、雄ネジ113とによって、固定部114と取付部12を共締めして固定する手段を採用する。なお、シールベルト40の固定手段は、固定部114と取付部12がシールベルト40を挟持しつつ、かつ、堅牢に固定される限りにおいて、これに限定されるものではなく、例えば、強力な接着剤によって固定されるものであっても良い。
In this embodiment, the means for fixing the
また、本実施形態では、固定部114に凹部115を設け、取付部12に凸部112を設けられているが、固定部114に凸部を設け、取付部12に凹部が設けられていても良い。さらに、シールベルト40が確実に挟持され、かつ、堅牢に固定される限りにおいて、凹部及び凸部を設けない構成であっても良い。その場合には、固定部114と取付部12とを堅牢に固定するために、例えば、シールベルト40を挟持しつつ取付部12を固定部114にネジによって共締めする等の固定手段が用いられることが好ましい。
In this embodiment, the fixing
なお、本実施形態において使用されたシールベルト40の変形例として、例えば、図6に示すように、シールベルト40は固定部114の一方の固定面112に固定される部位で分割されるように構成しても良い。この場合であっても、シールベルト40の固定部112に固定される部位と孔部42を設けた部位が固定部114と取付部12とに挟持され固定され、F1領域においてシール構造を形成する。
As a modification of the
この場合には、シールベルト40の固定部114への堅牢な固定を確保するために、本実施形態のシールベルト40を固定部114と取付部12とで挟持して固定する構成に加えて、分断されたシールベルト40のそれぞれを固定面112に直接固定する手段を備えることが好ましい。なお、シールベルト40の固定手段は、シールベルト40が固定面112に堅牢に固定される限りにおいて、特に限定しないが、例えば、雄ネジ116と固定面112に設けた雌ネジによって、シールベルト40を共締めして固定しても良いし、強力な接着剤によって固定するものであっても良い。
In this case, in order to secure the fixing of the
また、本変形例では、シールベルト40は固定部114の一方の固定面112に固定される部位のみが分割された場合を説明したが、これに限定されるものではなく、シールベルト40が固定部114と取付部12とに挟持され固定され、シールベルト40の孔部42を設けた部位がF1領域におけるシール構造を形成する限りにおいて、例えば、固定部114の一対の固定面112に固定される部位でそれぞれ分割されていても良い。
Further, in this modification, the case where the
また、図7〜図9は、本発明の第3の実施形態であり、本実施形態に係るシール構造は、搭載部移動方向(図中両矢印参照)のスリットSの両端部34,34と搭載部11との間の領域(F2領域)が帯状のシール部材によってシールされ、搭載部11とスリットSとの間の対向領域(F1領域)が搭載部11に備えられた鍔状のシール部材60によってシールされている場合を示す。なお、本実施形態においても帯状のシール部材としてシールベルト40が使用され、搭載部11とシールベルト40の構成およびF2領域におけるシール構造は従来と同様の構成であるので、ここでは、本実施形態におけるF1領域に設けられるシール構造とスリットSとの構成及び配置関係を中心に説明し、それ以外の構成についての説明は省略する。
7 to 9 show a third embodiment of the present invention. The seal structure according to this embodiment includes both
搭載部11に備えられた鍔状のシール部材60は、スリットSの端面32と対向するキャリッジ10の搭載部11の外側の側面111に、その側面111の軸方向長さに亘って連続して備えられている。さらに、その側面111への固定部分を基端部51として、該基端部51からハウジング30のスリットSの端面32に向けて、シールベルト40と同一平面を成して、先端部52が延設されている。
The bowl-shaped
また、鍔状のシール部材60は側面111に堅牢に固定されることを要するので、本実施形態では、断面視逆L字型の部材が使用され、側面111に沿って固定されたL字型の一方の板状部位を基端部51とする。これにより、基端部51と側面111とは広い面積で固定され、堅牢な固定が確保される。なお、基端部51を側面111に固定する手段は、特に限定しない。例えば、ネジによって基端部51を側面111に固定する手段であっても良いし、或いは、強力な接着剤によって固定されるものであっても良い。または、基端部51が側面111と一体に構成され、側面111から直接先端部52が延設されていても良い。例えば、搭載部11の成形時に鍔状のシール部材60が一体成形されているものでも良い。
In addition, since the hook-shaped
さらに、延設された先端部52は、搭載部11の軸方向長さに亘って連続して設けられており、その先端部52の先端側は、前記案内溝33に挿入されるとともに、案内溝33の開口を軸方向(図中両矢印参照)に移動可能に配されている。これにより、先端部52が前記案内溝33に案内される構成となり、鍔状のシール部材60がF1領域をシールするシール構造となる。
なお、本実施形態では、鍔状のシール部材60が、少なくともキャリッジ10の搭載部11の幅方向外側端部111に備えられている場合を説明したが、キャリッジ10の幅方向外側と内側の双方の端部111に備えられていても良い。鍔状のシール部材60をキャリッジ10の幅方向外側と内側の双方に配することによって、キャリッジ10の搭載部11間のF1領域もシールされるので、ハウジング30の内外を確実に隔離することが可能となる。その他の構成及び作用効果は上述した各実施形態と同様であるので説明を省略する。
Furthermore, the extended
In the present embodiment, the case where the bowl-shaped
また、本実施形態における鍔状のシール部材60は、シール性能を安定して発揮するため、少なくとも先端部52を所定の位置に保持することが可能な材質で形成されていることを要する。例えば、本実施形態では、鍔状のシール部材60は金属材料によって形成されている。また、鍔状のシール部材60は先端部52を所定の位置に保持可能な限りにおいて、他の材質で形成されていても良く、例えばゴム等の樹脂によって形成されていても良く、ポリウレタン等の樹脂を含浸してなる繊維によって形成されていても良い。また、本実施形態では、鍔状のシール部材60は側面111の軸方向長さに亘って連続して備えられている場合を説明したが、シール性能を安定して発揮可能な限りにおいて必ずしも一体に連続して形成されていない場合であっても良く、例えば、複数の鍔状のシール部材60が側面111の軸方向長さに亘って隙間無く並べられていても良い。
In addition, the bowl-shaped
さらに、本実施形態では、このような鍔状のシール部材60を備えた形態において、その鍔状のシール部材60と重ねて、帯状のシール部材40が備えられることを除外するものではない。その場合には、前述の第1の実施形態および第2の実施形態で説明した搭載部11が使用され、F1領域は鍔状のシール部材60と帯状のシール部材40とによってシールされる。
また、本実施形態においても、上述の各実施形態と同様にスリットSに案内溝33を備えない形態であっても本発明の範囲内である。この場合のシールベルト40の構成例については上述した通りである。
Furthermore, in the present embodiment, it is not excluded that the belt-
Also in this embodiment, even if the slit S is not provided with the
10 キャリッジ
11 搭載部
20 座面
30 ハウジング
31 ハウジング一面
32 開口の一対の端面
33 案内溝
60 シールベルトのはみ出し部分、鍔状のシール部材
111 搭載部の幅方向端面
F1 キャリッジの搭載部の移動方向と直交する側面とスリットとの間の対向領域(F1領域)
F2 搭載部の移動方向のスリット両端部と搭載部との間の領域(F2領域)
G 隙間
S スリット
DESCRIPTION OF
F2 Area between the slit ends in the moving direction of the mounting part and the mounting part (F2 area)
G Gap S Slit
Claims (5)
そのキャリッジを直線往復移動させる直動装置と、
該キャリッジと該直動装置を内装し、キャリッジが該直動装置の軸方向に直線往復移動可能な長さに形成したハウジングとを備え、
該ハウジングの一面には、キャリッジの移動経路に沿って開口するスリットが設けられるとともに、該スリットを貫通してキャリッジの搭載部がハウジングの外側に突出し、かつ、
スリットの開口が、搭載部の移動に伴って移動しつつシールされるシール構造を備えたアクチュエータにおいて、
シール構造は、搭載部移動方向のスリット両端部と搭載部との間の領域、及び搭載部の移動方向と直交する側面とスリットとの対向領域とからなるスリット開口の全領域を、搭載部の移動中においてシールしており、
搭載部移動方向のスリット両端部と搭載部との間の領域を帯状のシール部材によってシールし、搭載部とスリットとの間の対向領域を搭載部に備えられた鍔状のシール部材によってシールすることを特徴とするアクチュエータ。 A carriage having a mounting portion for mounting a seating surface;
A linear motion device that linearly reciprocates the carriage;
A housing that includes the carriage and the linear motion device, and that has a length that allows the carriage to linearly reciprocate in the axial direction of the linear motion device;
A slit that opens along the carriage movement path is provided on one surface of the housing, and the carriage mounting portion protrudes outside the housing through the slit.
In an actuator having a seal structure in which the opening of the slit is sealed while moving with the movement of the mounting portion,
The seal structure has the entire area of the slit opening composed of the area between the both ends of the slit in the moving direction of the mounting part and the mounting part, and the area facing the slit and the side surface orthogonal to the moving direction of the mounting part. Sealed while moving,
A region between both ends of the slit in the moving direction of the mounting portion and the mounting portion is sealed with a band-shaped seal member, and a facing region between the mounting portion and the slit is sealed with a bowl-shaped seal member provided in the mounting portion. An actuator characterized by that.
各固定面には、搭載部移動方向のスリット両端部と搭載部との間の領域をシールする帯状のシール部材が固定され、
鍔状のシール部材は、スリットと対向する搭載部の端面に備えられた基端部と、その基端部からハウジングのスリットの端面に向けて、帯状のシール部材と同一平面を成して延設された先端部とで構成され、その先端部が、搭載部の移動方向と直交する側面とスリットとの間の対向領域をシールすることを特徴とする請求項1に記載のアクチュエータ。 An axial center portion of the mounting portion protrudes in a step shape to form a mounting portion for attaching a seating surface, and a fixing surface facing the slit is formed on each axial direction side of the mounting portion,
On each fixed surface, a band-shaped seal member that seals the region between the slit both ends in the mounting portion moving direction and the mounting portion is fixed,
The hook-shaped seal member extends in the same plane as the belt-shaped seal member from the base end portion provided on the end surface of the mounting portion facing the slit and from the base end portion toward the end surface of the slit of the housing. 2. The actuator according to claim 1, wherein the actuator seals a facing region between the side surface perpendicular to the moving direction of the mounting portion and the slit.
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