JP2011202232A - 成膜装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】大気圧下においてプラズマPを生成する。このプラズマPを用いて被処理物Wの表面に膜原料を付着させて成膜するための成膜装置Aに関する。膜原料を含有する成膜ガスCGを流通させるための第1流路5。プラズマ生成ガスPGを流通させるための第2流路9。前記プラズマ生成ガスCGに電界Eを印加してプラズマPを生成するための電極3。前記第1流路5と前記第2流路9とを合流させる合流部14とを備える。前記第1流路5から前記合流部14への前記成膜ガスCGの流入方向と、前記合流部14での前記プラズマPの流通方向とが略平行となるように前記第1流路5が前記第2流路9内に形成される。
【選択図】図1
Description
C 膜
E 電界
P プラズマ
W 被処理物
CG 成膜ガス
PG プラズマ生成ガス
1 第1ノズル
2 第2ノズル
3 電極
5 第1流路
9 第2流路
11 放出口
14 合流部
18 ノズル移動部
21 プラズマ検知部
22 移動制御部
24 開口可変部
31 開口制御部
32 成膜ガス制御部
34 膜検知部
Claims (14)
- 大気圧下においてプラズマを生成し、このプラズマを用いて被処理物の表面に膜原料を付着させて成膜するための成膜装置であって、膜原料を含有する成膜ガスを流通させるための第1流路と、プラズマ生成ガスを流通させるための第2流路と、前記プラズマ生成ガスに電界を印加してプラズマを生成するための電極と、前記第1流路と前記第2流路とを合流させる合流部と、前記合流部から前記膜原料が放出される放出口とを備え、前記第1流路から前記合流部への前記成膜ガスの流入方向と、前記合流部での前記プラズマの流通方向とが略平行となるように前記第1流路が前記第2流路内に形成されて成ることを特徴とする成膜装置。
- 前記電極を複数個備え、これらの電極が前記第2流路を流通するプラズマ生成ガスの流通方向と略平行な方向に並設されて成ることを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。
- 前記第1流路を有する第1ノズルと前記第2流路を有する第2ノズルとを備え、前記第1ノズルは前記第2流路内に設けられ、前記第1ノズルと前記第2ノズルは前記第2流路におけるプラズマ生成ガスの流通方向と略平行な方向に相対的に移動自在に形成されて成ることを特徴とする請求項1又は2に記載の成膜装置。
- 前記第1ノズルと前記第2ノズルの少なくとも一方を他方に対して移動させるためのノズル移動部を備えて成ることを特徴とする請求項3に記載の成膜装置。
- 前記プラズマの状態を検知するプラズマ検知部を有し、このプラズマ検知部の検知結果に基づいてノズル移動部による前記第1ノズルと前記第2ノズルの少なくとも一方の移動量を制御する移動制御部を備えて成ることを特徴とする請求項4に記載の成膜装置。
- 前記第1流路の合流位置における前記合流部の断面積よりも放出口の開口面積が小さく形成されて成ることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 前記放出口の開口面積が可変自在に形成されて成ることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 前記放出口の開口面積を可変にするための開口可変部を備えると共に前記プラズマの状態を検知するプラズマ検知部を有し、このプラズマ検知部の検知結果に基づいて前記開口可変部による前記開口面積の可変量を制御する開口制御部を備えて成ることを特徴とする請求項7に記載の成膜装置。
- 前記プラズマ検知部が、前記第2流路内で生成されたプラズマ又は前記放出口から放出されたプラズマの放射光を検知する光センサーであることを特徴とする請求項5乃至8に記載の成膜装置。
- 前記放出口の開口面積を可変にするための開口可変部を備えると共に前記被処理物に形成された膜の状態を検知する膜検知部を有し、この膜検知部の検知結果に基づいて前記開口可変部による前記開口面積の可変量を制御する開口制御部を備えて成ることを特徴とする請求項7に記載の成膜装置。
- 前記膜検知部が、前記被処理物に形成された膜の反射光あるいは透過光を検知する光センサーであることを特徴とする請求項10に記載の成膜装置。
- 前記プラズマ検知部又は前記膜検知部の検知結果に基づいて、前記成膜ガスの供給量を制御する成膜ガス制御部を備えて成ることを特徴とする請求項5乃至11のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 前記第2ノズルが円管を用いて形成されて成ることを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載の成膜装置。
- 前記第2ノズルが角管を用いて形成されて成ることを特徴とする請求項1乃至12のいずれか1項に記載の成膜装置。
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