JP2011201055A - スクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】メタルマスク1における上面に対して所定長さのスキージ14を相対的に摺接させながら回路パターンとなるペーストをメタルマスク1の表面に供給するスキージヘッド13と、メタルマスク1の下面をクリーニングする所定長さを有するクリーニングノズル36と、を備え、メタルマスク1が、各開口部および架橋部が設けられたグリット部と、グリット部が複数、かつ、平行に配列され、各グリット部の長手方向端部の終端開口部に連続する帯状のバスバー部とを有し、クリーニングノズル36が、クリーニングノズル36の長手方向がバスバー部の長手方向に対して平行である。
【選択図】図1
Description
ところが、上記特許文献1のスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法では、メッシュスクリーンの開口部のメッシュが抵抗となって開口率が低くなるため、このメッシュマスクを用いて形成された電極の膜厚は薄くなる。
従って、上記特許文献1のスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法では、変換効率が低下する虞があるとともに残留ペーストを除去することが難しい。
従って、本発明においては、膜厚を厚くして断面形状のアスペクト比が大きな回路パターンを形成して変換効率の向上を図ることができるとともにバスバー部の残留ペーストを効率よく除去することができる。
従って、本発明においては、膜厚を厚くして断面形状のアスペクト比が大きな回路パターンを形成して変換効率の向上を図ることができるとともにバスバー部の残留ペーストを効率よく除去することができる。
これにより、本発明のスクリーン印刷装置およびスクリーン印刷方法によれば、膜厚を厚くして断面形状のアスペクト比が大きな回路パターンを形成して変換効率の向上を図ることができるとともにバスバー部の残留ペーストを効率よく除去することができる。
カートリッジ式のスキージヘッド13でペーストPをメタルマスク1の表面に対して所定の圧力で供給することにより、ペーストPは各開口部4から架橋部5の下方に向けて押圧進行され、架橋部5の下方を含めた各開口部4内に十分に充填される。
従って、本発明の一実施形態のスクリーン印刷装置10によれば、スクリーン印刷工程にカートリッジ式のスキージヘッド13を用いることにより、膜厚を厚くして断面形状のアスペクト比が大きな回路パターンを形成して変換効率の向上を図ることができるとともにバスバー部7の残留ペーストを効率よく除去することができる。
従って、本発明の一実施形態のスクリーン印刷方法によれば、スクリーン印刷工程にカートリッジ式のスキージヘッド13を用いることにより、膜厚を厚くして断面形状のアスペクト比が大きな回路パターンを形成して変換効率の向上を図ることができるとともにバスバー部7の残留ペーストを効率よく除去することができる。
次に、本発明に係る太陽電池の電極形成システムを適用したスクリーン印刷装置10および太陽電池の電極形成方法を適用したスクリーン印刷方法の作用効果を確認するために行った実施例について説明する。実施例では、開口率が50%以下のメッシュマスクを用い、開放式のスキージヘッドによりギャップ印刷を行った比較例1と、開口率が50%以下のメッシュマスクを用い、カートリッジ式のスキージヘッドを用いてコンタクト印刷を行った比較例2と、を用意して太陽電池の電極を形成し、形成された電極の高さ寸法と電極の幅寸法との断面積によるアスペクト比を測定した。
3 被覆部
4 開口部
5 架橋部
6 グリッド部
7 バスバー部
10 スクリーン印刷装置
11 基材
12 支持台
13 スキージヘッド
14 スキージ
36 クリーニングノズル
P ペースト
Claims (2)
- 基材の表面に帯状の回路パターンを形成するために、
前記基材を支持する支持台と、
前記基材の表面の一部を覆う被覆部と、前記基材の一部が露出する複数の開口部と、前記各開口部の間において回路パターンの長手方向に対して交差する方向に沿って設けられた架橋部とを有するメタルマスクと、
前記メタルマスクにおける上面に対して所定長さのスキージを相対的に摺接させながら前記回路パターンとなるペーストを前記メタルマスクの表面に供給するスキージヘッドと、
前記メタルマスクの下面をクリーニングする所定長さを有するクリーニングノズルと、
を備え、
前記メタルマスクが、
前記各開口部および架橋部が設けられたグリット部と、
前記グリット部が複数、かつ、平行に配列され、前記各グリット部の長手方向端部の終端開口部に連続する帯状のバスバー部とを有し、
前記クリーニングノズルが、当該クリーニングノズルの長手方向が前記バスバー部の長手方向に対して平行であるスクリーン印刷装置。 - 基材の表面に帯状の回路パターンを形成するために、
前記基材を支持台に支持させるとともに、
前記基材の表面の一部を覆う被覆部と、前記基材の一部が露出する複数の開口部と、前記各開口部の間において回路パターンの長手方向に対して交差する方向に沿って設けられた架橋部とを有するメタルマスクを前記基材の表面に載置させ、
次いで、前記メタルマスクにおける上面に対して所定長さのスキージを相対的に摺接させながら前記回路パターンとなるペーストをスキージヘッドにより前記メタルマスクの表面に供給し、
前記バスバー部の長手方向に対して平行に配置された所定長さを有するクリーニングノズルにより前記メタルマスクの下面をクリーニングするスクリーン印刷方法。
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