JP2011198818A - サーミスタ素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 板状の金属酸化物焼結体2と、該金属酸化物焼結体2の上下面にそれぞれ一部を電極接合部2aとして除いて形成された絶縁層3と、金属酸化物焼結体2の上下面の少なくとも電極接合部2aに形成された一対の電極層4と、を備えている。そして、金属酸化物焼結体2の原料に、焼結によって表面に一部が絶縁皮膜として析出する絶縁材料が混合されており、絶縁層3が、金属酸化物焼結体2の焼結時に表面に析出した絶縁皮膜である。
【選択図】 図1
Description
そこで、従来、例えば特許文献1には、抵抗値を高くするためにサーミスタ材料に絶縁体を加え、混合焼結体にする方法が提案されている。
すなわち、従来の絶縁体を加えた混合焼結体にして抵抗値を高くする方法では、B定数が小さくなるにつれ、所望の特性を出すためにはかなりの比率の絶縁体を加える必要がある。そのため、この方法では、絶縁体の量の僅かなばらつきが抵抗値のばらつきにつながり、安定して作製することが難しいという不都合があった。
また、本発明のサーミスタ素子の製造方法では、板状の金属酸化物焼結体の上下面にそれぞれ一部を電極接合部として除いて絶縁層を形成する工程と、前記金属酸化物焼結体の上下面の少なくとも前記電極接合部に一対の電極層を形成する工程と、を有し、前記金属酸化物焼結体の原料に、焼結によって表面に一部が絶縁皮膜として析出する絶縁材料を混合し、前記絶縁層を形成する工程において、焼結により前記金属酸化物焼結体の表面に前記絶縁皮膜を析出させて前記絶縁層を形成することを特徴とする。
また、本発明のサーミスタ素子の製造方法は、前記金属酸化物焼結体が、一般式:(1−z)ABO3+zY2O3(ただし、ABO3はペロブスカイト型酸化物、0<z≦0.8)で示される複合酸化物焼結体であり、前記絶縁層が、Y2O3層であることを特徴とする。
特に、金属酸化物焼結体が、一般式:(1−z)(Y1−yLay)(Cr1−xMnx)O3+zY2O3(ただし、0.0≦x≦1.0、0.0≦y≦1.0、0<z≦0.8)で示されるものであることが好ましい。
すなわち、このサーミスタ素子では、金属酸化物焼結体とリード線の接続部分とがガラスまたは耐熱樹脂のモールド部で封止されているので、モールド部によって雰囲気から金属酸化物焼結体を遮断して耐環境性を向上させることができる。
すなわち、このサーミスタ素子の製造方法では、絶縁層の一部にレーザ光を照射して部分的に絶縁層を除去して電極接合部を形成するので、レーザ照射した部分だけ金属酸化物焼結体を露出させることができ、幅狭な電極接合部を高精度に形成することができる。
すなわち、このサーミスタ素子の製造方法では、絶縁層の一部をサンドブラスト法により絶縁層を除去して電極接合部を形成するので、レーザ照射では金属酸化物焼結体に与えてしまう熱の影響などが無い。
すなわち、本発明に係るサーミスタ素子およびその製造方法によれば、金属酸化物焼結体の上下面にそれぞれ一部を電極接合部として除いて形成された絶縁層と、金属酸化物焼結体の上下面の少なくとも電極接合部に形成された一対の電極層と、を備えているので、実効的な電極面積が低減されて抵抗値を高めることができると共に、金属酸化物焼結体中の絶縁体を増加させる場合に比べて、抵抗値のばらつきを小さくすることができる。
したがって、本発明のサーミスタ素子は、高い抵抗率であると共に抵抗値ばらつきが小さく、低温域から高温域までの広範囲で高精度な測定が可能であり、特に自動車エンジン周りの触媒温度や排気系温度を検出する広範囲測定用温度センサとして好適である。
金属酸化物焼結体2は、一般式:(1−z)ABO3+zY2O3(ただし、ABO3はペロブスカイト型酸化物、0<z≦0.8)で示される複合酸化物焼結体であり、絶縁層3が、Y2O3層である。特に、金属酸化物焼結体2は、一般式:(1−z)(Y1−yLay)(Cr1−xMnx)O3+zY2O3(ただし、0.0≦x≦1.0、0.0≦y≦1.0、0<z≦0.8)で示されるものであることが好ましい。
また、上記Y2O3層である絶縁層3の層厚は、3μm以上形成されている。特に、絶縁層3の層厚は、10μm以下であることが好ましい。
上記電極接合部2aは、上下面にそれぞれ対向して直線状に一対形成されている。
上記リード線5は、例えば白金線である。
これらリード線5は、Agの焼き付け電極7を用いて一対の電極層4に固定されている。
この製造方法では、金属酸化物焼結体2の原料に、焼結によって表面に一部が絶縁皮膜として析出する絶縁材料を混合し、絶縁層3を形成する工程において、焼結により金属酸化物焼結体2の表面に絶縁皮膜を析出させて絶縁層3を形成する。
なお、上記レーザ照射による電極接合部2aの形成の他に、絶縁層3の一部をサンドブラスト法により絶縁層3を除去して電極接合部2aを形成する工程を採用しても構わない。
まず、La2O3、Cr2O3及びMnO2の各粉末を秤量後にボールミルに入れ、Zrボールと純水とを適量入れて約24時間混合を行う。上記混合したものを取り出して乾燥させた後、1100℃、5時間にて焼成し、例えば上記一般式においてx=0.5,y=1.0とされたLa(Cr0.5Mn0.5)O3の仮焼粉を得る。この仮焼粉とY2O3とが40:60(mol%)になるように秤量してY2O3の粉末を加え、さらに溶剤およびバインダーを加えてスラリーにしてキャスティングを行うことで、100μm厚のグリーンシートを作製する。
さらに、絶縁層3が、金属酸化物焼結体2の焼結時に表面に析出した絶縁皮膜であるので、焼結と同時に自動的に絶縁層3を形成でき、焼結後の金属酸化物焼結体2の表面に別途、絶縁層3を形成する工程を設ける場合よりも工程数を削減することができる。また、金属酸化物焼結体2の原料に混合された絶縁材料(Y2O3)によって、金属酸化物焼結体2自体の抵抗値を高めることができる。
また、金属酸化物焼結体2とリード線5の接続部分とがガラスまたは耐熱樹脂のモールド部6で封止されているので、モールド部6によって雰囲気から金属酸化物焼結体2を遮断して耐環境性を向上させることができる。
なお、金属酸化物焼結体のフレークサイズは、幅W:0.4mm×長さL:0.4mm×厚さT:0.2mmとした。
各レーザ照射幅に対応した25℃での抵抗値(R25)、これらと同じ抵抗率を得るためのY2O3を入れた場合の量およびその際の抵抗値ばらつき(標準偏差)も、併せて表1に示す。
例えば、絶縁層は、上記のように焼結時に析出した絶縁皮膜で形成することが好ましいが、焼結後に別途、絶縁層をスパッタリング等で金属酸化物焼結体の上下面に成膜しても構わない。
Claims (10)
- 板状の金属酸化物焼結体と、
該金属酸化物焼結体の上下面にそれぞれ一部を電極接合部として除いて形成された絶縁層と、
前記金属酸化物焼結体の上下面の少なくとも前記電極接合部に形成された一対の電極層と、を備えていることを特徴とするサーミスタ素子。 - 請求項1に記載のサーミスタ素子において、
前記金属酸化物焼結体の原料に、焼結によって表面に一部が絶縁皮膜として析出する絶縁材料が混合されており、
前記絶縁層が、前記金属酸化物焼結体の焼結時に表面に析出した絶縁皮膜であることを特徴とするサーミスタ素子。 - 請求項2に記載のサーミスタ素子において、
前記金属酸化物焼結体が、一般式:(1−z)ABO3+zY2O3(ただし、ABO3はペロブスカイト型酸化物、0<z≦0.8)で示される複合酸化物焼結体であり、
前記絶縁層が、Y2O3層であることを特徴とするサーミスタ素子。 - 請求項3に記載のサーミスタ素子において、
前記金属酸化物焼結体が、一般式:(1−z)(Y1−yLay)(Cr1−xMnx)O3+zY2O3(ただし、0.0≦x≦1.0、0.0≦y≦1.0、0<z≦0.8)で示されるものであることを特徴とするサーミスタ素子。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載のサーミスタ素子において、
前記一対の電極層に接続された一対のリード線と、
前記金属酸化物焼結体と前記リード線の接続部分とをガラスまたは耐熱樹脂で封止したモールド部と、を備えていることを特徴とするサーミスタ素子。 - 板状の金属酸化物焼結体の上下面にそれぞれ一部を電極接合部として除いて絶縁層を形成する工程と、
前記金属酸化物焼結体の上下面の少なくとも前記電極接合部に一対の電極層を形成する工程と、を有し、
前記金属酸化物焼結体の原料に、焼結によって表面に一部が絶縁皮膜として析出する絶縁材料を混合し、
前記絶縁層を形成する工程において、焼結により前記金属酸化物焼結体の表面に前記絶縁皮膜を析出させて前記絶縁層を形成することを特徴とするサーミスタ素子の製造方法。 - 請求項6に記載のサーミスタ素子の製造方法において、
前記金属酸化物焼結体が、一般式:(1−z)ABO3+zY2O3(ただし、ABO3はペロブスカイト型酸化物、0<z≦0.8)で示される金属酸化物焼結体であり、
前記絶縁層が、Y2O3層であることを特徴とするサーミスタ素子の製造方法。 - 請求項7に記載のサーミスタ素子の製造方法において、
前記金属酸化物焼結体が、一般式:(1−z)(Y1−yLay)(Cr1−xMnx)O3+zY2O3(ただし、0.0≦x≦1.0、0.0≦y≦1.0、0<z≦0.8)で示されるものであることを特徴とするサーミスタ素子の製造方法。 - 請求項6から8のいずれか一項に記載のサーミスタ素子の製造方法において、
前記金属酸化物焼結体の両面全体に前記絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層の一部にレーザ光を照射して部分的に前記絶縁層を除去して前記電極接合部を形成する工程と、を有していることを特徴とするサーミスタ素子の製造方法。 - 請求項6から8のいずれか一項に記載のサーミスタ素子の製造方法において、
前記金属酸化物焼結体の両面全体に前記絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層の一部をサンドブラスト法により前記絶縁層を除去して前記電極接合部を形成する工程と、を有していることを特徴とするサーミスタ素子の製造方法。
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