JP2011197601A - 電気化学表示パネル及びそれを備えた電気化学表示装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光吸収状態を酸化還元反応によって可逆変化可能な媒体が観察側基板と非観察側基板との間に設けられているアクティブマトリクス方式の電気化学表示パネルであって、画素電極18と、電源バス4と、画素電極18と電源バス4との間の電気的接続/遮断を切り替えるための駆動トランジスタと、前記駆動トランジスタをオン/オフ制御するためのスイッチングトランジスタとが、前記非観察側基板上に設けられ、電源バス4と前記駆動トランジスタの各電極(GE13,FE13,SE13)及び前記スイッチングトランジスタの各電極(GE12,FE12,SE12)とが異なる層で形成されている電気化学表示パネル。
【選択図】図7
Description
図4は、電気化学表示素子の基本構成を示す断面図である。電気化学表示素子は、観察側基板15上に形成される上部電極16と、非観察側基板17上に形成される下部電極18とを対向させ、上部電極16と下部電極18とで電解質14を挟み込んだ構造である。上部電極16は観察側に配置されるため、上部電極16にはITO電極に代表される透明電極が用いられる。下部電極18は化学的に安定な金属で構成される。
電気化学表示素子をECDで構成する場合、ECD材料としては、エレクトロクロミック色素が用いられる。エレクトロクロミック色素は、電子の供受により光吸収状態を変化させる化合物である。このような化合物としては、有機化合物や金属錯体を使用することが可能である。有機化合物としては、ピリジン化合物や導電性高分子、スチリル化合物を使用することが可能であり、例えば、特開2002−328401号公報に記載の各種ビオロゲン化合物、特表2004−537743号公報に記載の色素、その他知られている色素を用いることができる。ロイコ型色素を用いる場合には、必要に応じて顕色剤あるいは消色剤を併用しても構わない。
電気化学表示素子をEDで構成する場合、ED材料としては、銀または銀を化学構造中に含む化合物が通常用いられる。銀または銀を化学構造中に含む化合物とは、例えば、酸化銀、硫化銀、金属銀、銀コロイド粒子、ハロゲン化銀、銀錯体化合物、銀イオン等の化合物の総称である。このとき、固体状態や液体への可溶化状態や気体状態等の相の状態種、中性、アニオン性、カチオン性等の荷電状態種は、特に問わない。
「電解質」とは、一般に、水などの溶媒に溶けて、その溶液がイオン伝導性を示す物質のこと(狭義の電解質)を言うが、本明細書では、電解質を含む層全体を指すものとする。つまり、本明細書で言う「電解質」とは、電解質に他の金属や化合物等(電解質、非電解質を問わない)を含有させた混合物(広義の電解質)を指すものとする。
次に、参考例1に係る電気化学表示パネルについて説明する。参考例1に係る電気化学表示パネルでは、図5に示す工程によって、電源バス4と、信号バス5と、走査バス6と、電気化学表示素子11の下部電極(画素電極)18(図4参照)と、スイッチングトランジスタ12と、駆動トランジスタ13とが非観察側基板17(図4参照)上に形成される。なお、図5は、非観察側基板17上に画素電極18を形成するまでの各工程を示す1画素分の平面図である。
次に、参考例2に係る電気化学表示パネルについて説明する。参考例2に係る電気化学表示パネルでは、図6に示す工程によって、電源バス4と、信号バス5と、走査バス6と、電気化学表示素子11の画素電極18(図4参照)と、スイッチングトランジスタ12と、駆動トランジスタ13とが非観察側基板17(図4参照)上に形成される。なお、図6は、非観察側基板17上に画素電極18を形成するまでの各工程を示す1画素分の平面図である。
本発明の第1実施形態に係る電気化学表示パネルについて説明する。本発明の第1実施形態に係る電気化学表示パネルでは、図7に示す工程によって、電源バス4と、信号バス5と、走査バス6と、電気化学表示素子11の画素電極18(図4参照)と、スイッチングトランジスタ12と、駆動トランジスタ13とが非観察側基板17(図4参照)上に形成される。なお、図7は、非観察側基板17上に画素電極18を形成するまでの各工程を示す1画素分の平面図である。
次に、本発明の第2実施形態に係る電気化学表示パネルについて説明する。本発明の第2実施形態に係る電気化学表示パネルでは、図8に示す工程によって、電源バス4と、信号バス5と、走査バス6と、電気化学表示素子11の画素電極18(図4参照)と、スイッチングトランジスタ12と、駆動トランジスタ13とが非観察側基板17(図4参照)上に形成される。なお、図8は、非観察側基板17上に画素電極18を形成するまでの各工程を示す1画素分の平面図である。
1)非観察側基板17に厚さ0.7mmの無アルカリガラスを用いた。
2)1層目パターン形成工程において、膜厚1μmの導電膜(Mo/Al/Mo)を真空スパッタで成膜した。
3)2層目パターン形成工程において、膜厚200nmの絶縁膜(SiO2)をプラズマCVDで成膜し、フォトリソ法(フォトレジスト成膜、露光、現像、エッチング、レジスト剥離)でその絶縁膜をパターンニングした。
4)3層目パターン形成工程において、膜厚200nmの導電膜(Cr)を真空スパッタで成膜し、フォトリソ法でその導電膜をパターンニングした。
5)4,5層目パターン形成工程において、膜厚200nmの絶縁膜(SiO2)膜厚200nmの半導体膜(a−Si膜、n+a−Si膜)をプラズマCVDで連続成膜し、フォトリソ法でその絶縁膜及び半導体膜をパターンニングした。
6)6層目パターン形成工程において、膜厚200nmの導電膜(Cr)を真空スパッタで成膜し、フォトリソ法でその導電膜をパターンニングした。
7)7層目パターン形成工程において、膜厚200nmの絶縁膜(SiO2)をプラズマCVDで成膜し、フォトリソ法でその絶縁膜をパターンニングした。
8)8層目パターン形成工程において、膜厚100nmの導電膜(ITO)を真空スパッタで成膜し、フォトリソ法でその導電膜をパターンニングし、さらに、そのパターンニングした導電膜の上にナノITO粒子の分散液(住友金属鉱山社製)をインクジェットで射出することでITO電極の表面を厚さ1μmの多孔質ITOにした。
1)非観察側基板17に厚さ0.7mmの無アルカリガラスを用いた。
2)1層目パターン形成工程において、膜厚200nmの導電膜(Cr)を真空スパッタで成膜し、フォトリソ法でその導電膜をパターンニングした。
3)2,3層目パターン形成工程において、膜厚200nmの絶縁膜(SiO2)膜厚200nmの半導体膜(a−Si膜、n+a−Si膜)をプラズマCVDで連続成膜し、フォトリソ法でその絶縁膜及び半導体膜をパターンニングした。
4)4層目パターン形成工程において、膜厚200nmの導電膜(Cr)を真空スパッタで成膜し、フォトリソ法でその導電膜をパターンニングした。
5)5層目パターン形成工程において、膜厚200nmの絶縁膜(SiO2)をプラズマCVDで成膜し、フォトリソ法でその絶縁膜をパターンニングした。
6)6層目パターン形成工程において、膜厚1μmの導電膜(AlNd)を真空スパッタで成膜した。
7)7層目パターン形成工程において、膜厚2μmの絶縁膜(感光性アクリル樹脂:JSR社製)をスピンコートで成膜し、露光現像することでその絶縁膜をパターニングした。
8)8層目パターン形成工程において、膜厚100nmの導電膜(ITO)を真空スパッタで成膜し、フォトリソ法でその導電膜をパターンニングし、さらに、そのパターンニングした導電膜の上にナノITO粒子の分散液(住友金属鉱山社製)をインクジェットで射出することでITO電極の表面を厚さ1μmの多孔質ITOにした。
2、16 上部電極
3、18 下部電極
4 電源バス
5 信号バス
6 走査バス
7 信号ドライバ
8 走査ドライバ
9 記憶部
10 コントローラ
11 ED方式の表示素子
12 スイッチングトランジスタ
13 駆動トランジスタ
15 観察側基板
17 非観察側基板
19、19a、20、20a、20b、21 コンタクトホール
FE12、FE13 第1電極
GE12、GE13 ゲート電極
S12、S13 半導体
SE12、SE13 第2電極
Claims (6)
- 光吸収状態を酸化還元反応によって可逆変化可能な媒体が観察側基板と非観察側基板との間に設けられているアクティブマトリクス方式の電気化学表示パネルであって、
画素電極と、
電源バスと、
前記画素電極と前記電源バスとの間の電気的接続/遮断を切り替えるための駆動トランジスタと、
前記駆動トランジスタをオン/オフ制御するためのスイッチングトランジスタとが、前記非観察側基板上に形成され、
前記電源バスと前記駆動トランジスタの各電極及び前記スイッチングトランジスタの各電極とが異なる層で形成されていることを特徴とする電気化学表示パネル。 - 前記電源バスがベタ形状または格子形状である請求項1に記載の電気化学表示パネル。
- 前記電源バスがベタ形状であって、
前記電源バスが形成される層が、前記駆動トランジスタ及び前記スイッチングトランジスタが形成される複数の層よりも前記非観察側基板側に位置している請求項2に記載の電気化学表示パネル。 - 前記電源バスが格子形状であって、
前記駆動トランジスタ及び前記スイッチングトランジスタが形成される複数の層が、前記電源バスが形成される層よりも前記非観察側基板側に位置している請求項2に記載の電気化学表示パネル。 - 前記電源バスの材料が、前記駆動トランジスタの各電極及び前記スイッチングトランジスタの各電極の材料よりも高反射率である請求項1〜4のいずれか1項に記載の電気化学表示パネル。
- 請求項1〜5のいずれか1項に記載の電気化学表示パネルと、
前記電気化学表示パネルに接続される信号ドライバ及び走査ドライバとを備えることを特徴とする電気化学表示装置。
Priority Applications (1)
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JP2010067232A JP2011197601A (ja) | 2010-03-24 | 2010-03-24 | 電気化学表示パネル及びそれを備えた電気化学表示装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014172974A1 (zh) * | 2013-04-23 | 2014-10-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 阵列基板及其驱动方法和电致变色显示器 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS612184A (ja) * | 1984-06-14 | 1986-01-08 | 日本電気株式会社 | エレクトロクロミツク表示装置 |
JP2004170916A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-06-17 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及び電子機器 |
JP2005122110A (ja) * | 2003-09-25 | 2005-05-12 | Hitachi Ltd | 表示装置及びその駆動方法 |
JP2008164671A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Seiko Epson Corp | 表示装置及び電子ペーパー |
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2010
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JPS612184A (ja) * | 1984-06-14 | 1986-01-08 | 日本電気株式会社 | エレクトロクロミツク表示装置 |
JP2004170916A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-06-17 | Seiko Epson Corp | 電気光学装置及び電子機器 |
JP2005122110A (ja) * | 2003-09-25 | 2005-05-12 | Hitachi Ltd | 表示装置及びその駆動方法 |
JP2008164671A (ja) * | 2006-12-27 | 2008-07-17 | Seiko Epson Corp | 表示装置及び電子ペーパー |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014172974A1 (zh) * | 2013-04-23 | 2014-10-30 | 京东方科技集团股份有限公司 | 阵列基板及其驱动方法和电致变色显示器 |
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