JP2011191304A - ノイズを低減した力センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】所定方向の力を検出するMEMS又はNEMS装置であって、支持部(4)と、測定される力の影響下で、この力の方向に移動可能な振動質量体であって、少なくとも1つの旋回軸リンクにより上記支持部に対して連結された少なくとも1つの振動質量体(2)と、この振動質量体の運動を検出する手段(10)と、上記旋回軸リンクの軸線(Z)と前記振動質量体に対する力の働きの重心(G)との間の距離を変化させることができる手段とを備える。
【選択図】図1A
Description
− ブラウンノイズ、
− ジョンソンノイズ
− 1/fノイズ、及び
− 測定電子装置によるノイズ。
で示す矢印により記号化されている。方向Xは、後に説明する励振方向を示す。この図示する例では、方向XとYは直交し、検出装置の検出面を規定する。
F: ピエゾ抵抗ゲージ10に働く力;
m: 可動質量体2の質量、
a: 加速度、
Lg: Gで示す可動部分の重心と旋回軸Zとの間の距離、
d: 旋回軸Zとアーム6上のピエゾ抵抗ゲージの固定点との間の距離。
Vb: 抵抗の印加電圧、
α: Hoogeの係数と呼ばれる現象論的係数、
N: 抵抗内の電荷キャリア数。
− バンド幅: 10Hz、
− Hoogeの係数: α=10-6、
− 不純物添加: 1019 不純物/cm-3、
− Vb = 3V、
− ゲージの最大歪み(フルスケールを規定する): 100MPa.
− 共振周波数: 5 kHz、及び
− 共振加速度計のQ値: 50,000。
Claims (19)
- 所定方向の力を検出するマイクロ電気機械又はナノ電気機械検出装置であって、
支持部(4)と、
測定される力の影響下で、前記力の方向に移動可能な振動質量体であって、少なくとも1つの旋回軸リンクにより前記支持部に連結された、少なくとも1つの振動質量体(2、102、302、402、502、602)と、
前記振動質量体の運動を検出する手段(10、110、310、410、510、610)と、
前記旋回軸リンクの軸線(Z)と前記振動質量体に対する力の働きの重心(G)との間の距離を高周波数で変化させることができるアクチュエータとを備え、
前記振動質量体(2、102、302、402、502、602)は、互いに対して移動可能な少なくとも第1部分(2.1、102.1、302.1、402.1、502.1、602.1)と第2部分(2.2、102.2、302.2、402.2、502.2、602.2)とを備え、
前記アクチュエータ(14、414)は、前記振動質量体の前記第1部分(2.1、102.1、302.1、402.1、502.1、602.1)に対して、前記振動質量体の前記第2部分(2.2、102.2、302.2、402.2、502.2、602.2)を、測定される力の方向とは異なる、励振軸と称する方向に移動させることができることを特徴とする検出装置。 - 前記アクチュエータの励振周波数は、数kHz付近であることを特徴とする請求項1に記載の検出装置。
- 前記アクチュエータ(14)は、前記第1部分(2.1)と前記第2部分(2.2)との間に配置され、前記第2部分に力を働かせることを特徴とする請求項1又は2に記載の検出装置。
- 前記アクチュエータ(414)は、前記支持部と前記第2部分(402.2)との間に配置され、前記励振軸方向にのみ移動可能な中間振動質量体(418)を介して、前記第2部分に力を働かせることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の検出装置。
- 前記アクチュエータは、静電型、圧電型、又は磁気型のものであることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の検出装置。
- 前記検出手段は、容量型、圧電型、磁気型、ピエゾ抵抗型、周波数型、又は他の型のものであることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の検出装置。
- 前記検出手段(10)は、少なくとも1つのピエゾ抵抗ゲージを備え、
前記旋回軸リンクの軸線(Z)の両側に配置された2つのピエゾ抵抗ゲージを備えることが有利であることを特徴とする請求項6に記載の検出装置。 - 前記振動質量体(2)の前記第2部分(2.2)は、前記振動質量体(2)の平面内で移動可能であり、
前記懸架手段(12)は、前記平面内で変形する少なくとも1つのバネにより形成されることを特徴とする請求項7に記載の検出装置。 - 前記振動質量体(102)の前記第2部分(102.2)は、前記振動質量体(102)の平面外で運動し、
前記懸架手段(112)は、前記平面外に変形する少なくとも1つのバネにより構成されることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の検出装置。 - 前記第1部分(2.1)はフレームを形成し、このフレームの内部に、前記第2部分(2.2)が懸架されることを特徴とする請求項1〜9のいずれかに記載の検出装置。
- 2つの前記振動質量体(502)を備え、
前記振動質量体(502)の各々は、互いに接続され、互いに対して移動可能な第1部分及び第2部分を備え、
前記第1部分どうしは、アーム(530)により剛結合され、
前記アーム(530)上に前記旋回軸リンクが形成され、
前記検出手段(510)は、前記アームの運動を検出し、
前記2つの第2部分は、互いに同相で運動することを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載の検出装置。 - 互いに対して移動可能な少なくとも第1部分及び第2部分を有する振動質量体を備え、
前記旋回軸リンクは、前記第1部分(402.1)上に形成され、
前記アクチュエータ(414)は、前記支持部と前記第2部分(402.2)との間に配置され、前記励振軸の方向にのみ移動可能な中間振動質量体(418)を介して前記第2部分(402.2)に力を働かせ、
前記第1部分及び前記第2部分は、励振が無い状態で、前記旋回軸リンクの軸線(Z)と交差しかつ前記質量体の重心(G)を通る軸線が、検出される力の方向に直交するように、互いに対して配置されることを特徴とする請求項1〜10のいずれかに記載の検出装置。 - 前記少なくとも1つの振動質量体(2)は、ビームにより懸架され、
前記旋回軸リンクの軸線(Z)は、前記装置の平面にほぼ直交していることを特徴とする請求項1〜12のいずれかに記載の検出装置。 - 前記ピエゾ抵抗ゲージ(10)と前記振動質量体(2)との機械的接続は、前記重心(G)と前記旋回軸リンクの軸線(Z)とを含む平面上又は該平面に可能な限り近くに配置されることを特徴とする請求項13に記載の検出装置。
- 前記振動質量体(102)は、トーションシャフトにより懸架され、
前記トーションシャフトの軸は、前記平面内に含まれる
ことを特徴とする請求項1〜12のいずれかに記載の検出装置。 - 反作用電極(428)及び/又は共振周波数を調整するための電極(428)を備えたことを特徴とする請求項1〜15のいずれかに記載の検出装置。
- 請求項1〜16のいずれかに記載の検出装置により形成される加速度計。
- 直流電圧と前記励振周波数の2倍の周波数の交流電圧とが印加されて、直交バイアスを補償する電極を備えたことを特徴とする請求項17に記載の加速度計。
- 真空下で実現されることを特徴とする請求項17又は18に記載の加速度計。
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