JP2011190928A - Ball screw - Google Patents
Ball screw Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011190928A JP2011190928A JP2010190658A JP2010190658A JP2011190928A JP 2011190928 A JP2011190928 A JP 2011190928A JP 2010190658 A JP2010190658 A JP 2010190658A JP 2010190658 A JP2010190658 A JP 2010190658A JP 2011190928 A JP2011190928 A JP 2011190928A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nut
- ball
- hole
- screw shaft
- ball screw
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16H—GEARING
- F16H25/00—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms
- F16H25/18—Gearings comprising primarily only cams, cam-followers and screw-and-nut mechanisms for conveying or interconverting oscillating or reciprocating motions
- F16H25/20—Screw mechanisms
- F16H25/24—Elements essential to such mechanisms, e.g. screws, nuts
- F16H25/2418—Screw seals, wipers, scrapers or the like
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
Abstract
Description
この発明は、ボールねじに関する。 The present invention relates to a ball screw.
半導体素子や液晶表示パネルを製造する環境に塵埃が存在すると歩留まり低下の原因になるため、これらの製造はクリーンルーム等の清浄な環境下で行われている。よって、半導体素子や液晶表示パネルの製造に使用される装置(製造装置や搬送装置)を構成するボールねじには、使用状態で塵埃が発生しないことが求められている。
下記の特許文献1には、ボールねじのボール戻し経路が、ボールを循環チューブのタングに衝突させてナットの外部にすくい上げる構造であると、衝突の際にボール等に付着しているグリースの油分が飛散して、ねじ軸とナットの間から外部に微粒子として放出されるため、発塵の原因になることが記載されている。この原因をなくすために、ボールねじのボール戻し経路を、ナットの軸方向に延びる貫通穴(ボール戻し通路)と、これに連続するボール循環コマで形成し、ボール循環コマを、ボールがタングに衝突しない状態で循環できる形状にすることが記載されている。
When dust is present in an environment for manufacturing a semiconductor element or a liquid crystal display panel, it causes a decrease in yield. Therefore, these manufactures are performed in a clean environment such as a clean room. Therefore, it is required that dust is not generated in a use state in a ball screw constituting a device (manufacturing device or transport device) used for manufacturing a semiconductor element or a liquid crystal display panel.
In
また、特許文献1に記載されたボールねじは、低発塵性グリースで潤滑され、ねじ軸とナットの環状隙間が、ナットの軸方向両端に配置されたリング状の接触シールで塞がれている。
下記の特許文献2には、ボールねじのナットに設けた給油孔に吸引配管を接続して、ナットの内部に発生した塵埃を吸引除去することが記載されている。また、ねじ軸にグリースプレーティング(潤滑剤含有溶液に浸漬後、乾燥することで潤滑剤被膜を形成する方法)を施すことで、潤滑剤からの発塵を抑制することが記載されている。
In addition, the ball screw described in
しかしながら、特許文献1および2に記載されたボールねじには、発塵低減効果の点でさらなる改善の余地がある。
この発明の課題は、ナット内部に発生した塵埃を外部に極力出さないようにして、従来のボールねじよりも高い発塵低減効果を得ることである。
However, the ball screws described in
An object of the present invention is to obtain a dust reduction effect higher than that of a conventional ball screw by preventing dust generated inside the nut from being emitted to the outside as much as possible.
上記課題を解決するために、この発明は、内周面に螺旋溝が形成されたナットと、外周面に螺旋溝が形成されたねじ軸と、ナットの螺旋溝とねじ軸の螺旋溝で形成される軌道(転動路)の間に配置されたボールと、ボールを軌道の終点から始点に戻すボール戻し経路とを備え、前記軌道内をボールが転動することで前記ナットがねじ軸に対して相対移動するボールねじであって、前記ナットの軸方向両端に、リング状の非接触シールが配置され、前記ナットを径方向に貫通する吸引穴(吸引手段に接続する穴)が、前記軌道の範囲内(ナットの軸方向でボールが転動する範囲)に形成されていることを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problems, the present invention is formed by a nut having a spiral groove formed on the inner peripheral surface, a screw shaft having a spiral groove formed on the outer peripheral surface, a spiral groove of the nut, and a spiral groove of the screw shaft. And a ball return path for returning the ball from the end point of the track to the start point, and the nut rolls into the screw shaft by rolling the ball in the track. It is a ball screw that moves relative to the nut, ring-shaped non-contact seals are arranged at both axial ends of the nut, and suction holes (holes connected to suction means) that penetrate the nut in the radial direction are It is characterized by being formed within the range of the track (the range in which the ball rolls in the axial direction of the nut).
ボールねじの発塵源は潤滑剤であり、ボールが軌道を転動する際に潤滑剤を飛び散らすことによって塵埃が生じる。ねじ軸のナットの外側にある部分にも潤滑剤は付着しているが、その部分の螺旋溝にはボールが存在しないため、ねじ軸が回転していてもその部分からの発塵は少ない。この発明のボールねじでは、ナットの塵埃が発生している軌道の範囲(ボールが転動する範囲)内に吸引穴を設けたため、ナット内部の塵埃が効率的に吸引除去される。 The dust generation source of the ball screw is a lubricant, and dust is generated by scattering the lubricant when the ball rolls on the track. Lubricant is also attached to the portion outside the nut of the screw shaft, but since there is no ball in the spiral groove of that portion, there is little dust generation from that portion even if the screw shaft is rotating. In the ball screw according to the present invention, the suction hole is provided in the range of the track in which the dust of the nut is generated (the range in which the ball rolls), so the dust inside the nut is efficiently sucked and removed.
また、非接触シールが配置されているため、ねじ軸とシールとの接触による発塵が防止される。
また、ボール戻し経路がナットの内部に形成されていると、ナット内部の塵埃が外部に出る経路がナットの軸方向両端に限定されるため好ましい。このナットの軸方向両端にはリング状の非接触シールが配置されているため、ナットとねじ軸との隙間は、ねじ軸と非接触シールとの隙間のみになる。よって、吸引穴に吸引手段を接続してナット内部を吸引している間、ナット外部の空気が非接触シールとねじ軸との隙間を通ってナット内部に入り、ナット内部の空気が非接触シールとねじ軸との隙間を通って外部に向かうことを妨げる。
Further, since the non-contact seal is disposed, dust generation due to contact between the screw shaft and the seal is prevented.
Further, it is preferable that the ball return path is formed inside the nut because the path through which the dust inside the nut goes out is limited to both ends in the axial direction of the nut. Since a ring-shaped non-contact seal is disposed at both axial ends of the nut, a gap between the nut and the screw shaft is only a gap between the screw shaft and the non-contact seal. Therefore, while connecting the suction means to the suction hole and sucking the inside of the nut, the air outside the nut enters the nut through the gap between the non-contact seal and the screw shaft, and the air inside the nut is the non-contact seal And going to the outside through the gap between the screw shaft.
なお、この発明のボールねじは、ねじ軸と非接触シールとで形成される円環状隙間が周方向全体でほぼ同じになるように、非接触シールの内周部の形状とねじ軸の螺旋溝の形状を組合せることが好ましい。例えば、ねじ軸の螺旋溝を研削逃げが形成されていない単純なゴシックアーク形状とし、非接触シールの内周部をこれに対応させた形状とする。これにより、吸引時に、円環状隙間の周方向全体からナット内部に均一に空気が導入されて、空気の流れが周方向全体で均一になるため吸引効率が高くなる。ねじ軸と非接触シールとで形成される円環状隙間は0.5mm以下であることが好ましい。 The ball screw of the present invention has a shape of the inner peripheral portion of the non-contact seal and a spiral groove of the screw shaft so that the annular gap formed by the screw shaft and the non-contact seal is substantially the same in the entire circumferential direction. It is preferable to combine these shapes. For example, the spiral groove of the screw shaft has a simple gothic arc shape in which no grinding relief is formed, and the inner peripheral portion of the non-contact seal has a shape corresponding thereto. Thereby, at the time of suction, air is uniformly introduced into the nut from the entire circumferential direction of the annular gap, and the air flow becomes uniform throughout the circumferential direction, so that the suction efficiency is increased. The annular gap formed by the screw shaft and the non-contact seal is preferably 0.5 mm or less.
この発明のボールねじの前記ナットに、その内部に潤滑剤を供給する給脂穴が形成されている場合は、前記吸引穴が前記給脂穴とは別の位置に形成する。前記給脂穴から供給された潤滑剤は、ボールの転動に伴うナットのねじ軸に対する相対的往復移動により、ナットの軸方向両端の非接触シールの内側に溜まり易く、ナット内部の軌道の範囲には溜まりにくい。この範囲に吸引穴が形成されているため、吸引穴が潤滑剤で塞がれにくく、安定的に吸引を行うことができる。 If the nut of the ball screw according to the present invention has a greasing hole for supplying a lubricant therein, the suction hole is formed at a position different from the greasing hole. The lubricant supplied from the greasing hole tends to accumulate inside the non-contact seal at both axial ends of the nut due to the relative reciprocation of the nut with respect to the screw shaft accompanying the rolling of the ball, and the range of the track inside the nut. It is hard to collect. Since the suction holes are formed in this range, the suction holes are not easily blocked by the lubricant, and stable suction can be performed.
これにより、ボールねじの潤滑をナット内部へ潤滑剤を供給することで行いながら、ナットの内部に発生した塵埃のほとんどを外部に向かわせずに、効率的に吸引除去することができる。
前記潤滑剤としては、ちょう度が300以下の低発塵性グリースを使用することが好ましい。
また、ナットの内部に潤滑剤を供給して慣らし運転をすることにより、非接触シールとねじ軸との隙間に潤滑剤を介在させると、ねじ軸と非接触シールとの間に微小な隙間ができる。よって、この発明のボールねじは、慣らし運転を行った後に使用することで吸引効率が向上する。
さらに、この発明のボールねじは、前記ナットの軸方向中央部にフランジが形成され、前記フランジに前記吸引穴が形成されていることが好ましい。
Thereby, it is possible to efficiently suck and remove the dust generated inside the nut without directing it to the outside while performing lubrication of the ball screw by supplying the lubricant into the nut.
As the lubricant, it is preferable to use a low dusting grease having a consistency of 300 or less.
In addition, if a lubricant is interposed in the gap between the non-contact seal and the screw shaft by supplying a lubricant to the inside of the nut and performing a break-in operation, a minute gap is formed between the screw shaft and the non-contact seal. it can. Therefore, the suction efficiency is improved by using the ball screw of the present invention after the running-in operation.
Furthermore, in the ball screw according to the present invention, it is preferable that a flange is formed at an axially central portion of the nut, and the suction hole is formed in the flange.
この発明のボールねじによれば、ナットの内部に発生した塵埃のほとんどが外部に向かわず、効率的に吸引除去されるため、従来のボールねじよりも高い発塵低減効果が得られる。 According to the ball screw of the present invention, most of the dust generated inside the nut does not go to the outside and is efficiently sucked and removed, so that a higher dust generation reduction effect than the conventional ball screw can be obtained.
以下、この発明の実施形態について説明する。
図1は、第1実施形態のボールねじを示す断面図である。
図1に示すように、このボールねじは、ナット1と、ねじ軸2と、ボール3と、リング状の非接触シール4と、エンドデフレクタ5と、環状のスペーサ6で構成されている。ナット1の内周面に螺旋溝1aが形成され、ねじ軸2の外周面に螺旋溝2aが形成されている。ナット1の螺旋溝1aとねじ軸2の螺旋溝2aで形成される軌道の間に、ボール3が配置されている。ナット1の軸方向一端にはフランジ11が形成されている。
Embodiments of the present invention will be described below.
FIG. 1 is a cross-sectional view showing the ball screw of the first embodiment.
As shown in FIG. 1, the ball screw includes a
ナット1には、軸方向に延びる貫通穴13が形成されている。ナット1の貫通穴13の両端部に、エンドデフレクタ5を配置する凹部15が形成されている。すなわち、このボールねじのボール戻し経路は、貫通穴13からなるボール戻し通路と、その両端に接続されたエンドデフレクタ5とにより、ナット1の内部に形成されている。エンドデフレクタ5は接線すくい上げ形状のものを用いている。
The
ナット1の軸方向両端に、スペーサ6と非接触シール4を取り付けるための凹部14が形成されている。ナット1の凹部14内に、軸方向内側から順に、スペーサ6、非接触シール5が配置され、これらが、図示されないボルトで凹部14の端面14aに固定されている。これにより、ナット1の軸方向両端に、非接触シール4とスペーサ6とねじ軸2とで囲まれた空間46が生じる。これらの空間46が、グリ−ス(潤滑剤)溜まり空間となる。スペーサ6はナット1と一体に形成されていてもよい。
ナット1には、さらに、吸引手段に接続する吸引穴7と、内部に潤滑剤を供給する給脂穴8が形成されている。吸引穴7は、ナット1の軸方向中央部の隣り合う螺旋溝1aの間となる位置に、径方向に貫通する貫通穴として形成されている。吸引穴7のナット外周側は拡径されて、吸引配管の先端を挿入して取り付ける取り付け穴71となっている。
The
給脂穴8は、ナット1のフランジ11が形成されている部分の隣り合う螺旋溝1aの間となる位置に、径方向に貫通する貫通穴として形成されている。給脂穴8のナット外周側は(フランジ11に配置されている部分は全て)拡径されて、給脂配管の先端を挿入して取り付ける取り付け穴81となっている。
ねじ軸2の螺旋溝2aの断面形状は、研削逃げ溝が形成されていない単純なゴシックアーク形状である。これに対応させて、非接触シール4の内周部の形状を、ねじ軸2と非接触シール4とで形成される円環状隙間が周方向全体でほぼ同じになるようにしてある。
The
The cross-sectional shape of the
このボールねじは、例えば以下の手順で使用される。
ナット1の給脂穴8の取り付け穴81に、ちょう度が300以下の低発塵グリースの給脂配管の先端を取り付け、ナット1の吸引穴7の取り付け穴71に吸引配管の先端を取り付ける。そして、先ず、給脂穴8からナット1の内部に、内部空間の1/4程度となる量の低発塵グリースを供給することで、グリ−ス溜まり空間46にグリースを溜める。
This ball screw is used in the following procedure, for example.
The tip of the grease supply pipe of low dust generation grease having a consistency of 300 or less is attached to the
次に、慣らし運転として、ナット1をねじ軸2に対してナット1の長さ分のストロークで数回相対移動させることで、グリース溜まり空間46のグリースを移動させて、非接触シール4とねじ軸2との隙間にグリースを介在させる。これにより、非接触シール4とねじ軸2との間に微小な(0.5mm以下の)円環状の隙間が形成される。
次に、吸引配管の吸引源を作動させてナット1の内部を吸引し、この状態でボールねじの運転を開始する。これにより、ボール3の転動によりナット1の内部に発生した塵埃が吸引穴7から吸引除去される。また、外部の空気が非接触シール4とねじ軸2との微小な隙間を通ってナット1の内部に入り、ナット1の内部の空気が非接触シール4とねじ軸2との隙間を通って外部に向かうことを妨げる。
Next, as a break-in operation, the
Next, the suction source of the suction pipe is actuated to suck the inside of the
このようにして、ナット1の内部の塵埃が効率的に吸引除去される。グリース溜まり空間46を設けたことで、非接触シール4とねじ軸2との間に微小な円環状の隙間が形成されるため、吸引効率が特に高くなる。また、非接触シール4を用いているため、ねじ軸2との接触による発塵が防止される。
したがって、この実施形態のボールねじによれば、ボールねじの潤滑をナット内部へ潤滑剤を供給することで行いながら、ナットの内部に発生した塵埃のほとんどが外部に向かわず吸引除去されるため、従来のボールねじよりも高い発塵低減効果が得られる。
なお、長期間の使用により、吸引時にナット1の内部のグリースが吸引穴7から吸引配管に入ることが考えられるが、吸引配管にグリースを溜める部分を設けて、その部分から定期的にグリースを取り除くこと等により、長期間の使用でも吸引効率を低下させないようにすることができる。
In this way, dust inside the
Therefore, according to the ball screw of this embodiment, while performing the lubrication of the ball screw by supplying a lubricant to the inside of the nut, most of the dust generated inside the nut is sucked and removed without going to the outside. A higher dust generation reduction effect than the conventional ball screw can be obtained.
Note that the grease inside the
図2は、第2実施形態のボールねじを示す断面図である。
この実施形態では、ナット1の軸方向両端の凹部14に、それぞれスペーサ6を介して2枚の非接触シール41,42を取り付けている。これにより、グリース溜まり空間46が非接触シール41,42の間に形成されている。これ以外の点は第1実施形態と同じである。
図3は、第3実施形態のボールねじを示す断面図である。
第1および第2実施形態では、ナット1の吸引穴7とは異なる位置に給脂穴8が形成され、この給脂穴8からグリースを供給しているが、第3実施形態では、ナット1に給脂穴8を設けず、ねじ軸2にグリースプレーティングを施すことで潤滑を行っている。これにより、図3のボールねじは、シール4とねじ軸2との隙間がほぼ一定に保持されるとともに、吸引穴7にグリースが入らない。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing the ball screw of the second embodiment.
In this embodiment, two
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a ball screw according to a third embodiment.
In the first and second embodiments, the greasing
これに対して、図1および図2のボールねじでは、給脂穴8から供給したグリースが吸引穴7に入る可能性がないとは言えない。そして、吸引穴7にグリースが入ると吸引効果が低減する場合がある。よって、図3のボールねじは、図1および図2のボールねじよりも高い発塵低減効果が得られる可能性がある。
ねじ軸2にグリースプレーティングを施すことに代えて、固体潤滑剤からなる被膜をねじ軸2の表面に形成することによっても、上記と同様の効果を得ることができる。前記被膜をなす固体潤滑剤としては、二硫化モリブデン、有機モリブデン化合物、軟質金属(例えば、金、銀、鉛)、および高分子材料(例えば、PTFE、ポリイミド)の少なくとも1種からなるものが挙げられる。
On the other hand, in the ball screw of FIGS. 1 and 2, it cannot be said that there is no possibility that the grease supplied from the greasing
The same effect as described above can be obtained by forming a film made of a solid lubricant on the surface of the
図4および5は、第4実施形態のボールねじを示す正面図と断面図である。
第1〜第3実施形態では、ナット1の軸方向一端に形成されたフランジ11に給脂穴8を設け、フランジ11以外の部分に吸引穴7を設けているが、第4実施形態では、ナット1の軸方向中央部にフランジ11を形成し、フランジ11に吸引穴7と給脂穴8を設けている。図4に示すように、吸引穴7と給脂穴8は90°位相が異なる位置に形成されている。これ以外の構成は図1の構成と同じである。
4 and 5 are a front view and a cross-sectional view showing a ball screw according to a fourth embodiment.
In 1st-3rd embodiment, although the
このように、吸引穴7がフランジ11に形成されていると、ハウジング17をナット1のフランジ11以外の部分に外嵌し、ハウジング17の端面をフランジ11の端面に接触させて取り付ける際に、吸引穴7の取り付け穴71がハウジング17で隠れないため、吸引穴7の取り付け穴71に吸引配管を容易に取り付けることができる。これに対して、吸引穴7がフランジ11以外の部分に形成されていると、上述の取り付け方では、吸引穴7の取り付け穴71がハウジングで隠れるため、吸引穴7の取り付け穴71と吸引配管を接続する貫通穴をハウジングに設ける必要がある。
Thus, when the
なお、これらの実施形態では、吸引穴7を、ナット1の軸方向中央部の隣り合う螺旋溝1aの間となる位置に設けているが、螺旋溝1aの位置に設けてもよい。
また、この発明は、循環回路(ボール戻し経路+軌道)が複数あるボールねじにも適用できる。その場合、ナットを径方向に貫通する吸引穴は、隣り合う循環回路の間に相当する位置に形成されていてもよい。
また、これらの実施形態のボールねじは、貫通穴13からなるボール戻し通路とエンドデフレクタ5とからなるボール戻し経路を有するが、この発明は、ボール戻し経路がエンドキャップ式、循環チューブ式、コマ式であるボールねじにも適用できる。
In these embodiments, the
The present invention can also be applied to a ball screw having a plurality of circulation circuits (ball return path + track). In that case, the suction hole penetrating the nut in the radial direction may be formed at a position corresponding to between adjacent circulation circuits.
In addition, the ball screw of these embodiments has a ball return path consisting of a ball return path consisting of the through
1 ナット
1a ナットの螺旋溝
11 フランジ
13 ボール戻し通路をなす貫通穴
14 シール取り付け用の凹部
14a 凹部14の端面
15 エンドデフレクタ取り付け用の凹部
17 ハウジング
2 ねじ軸
2a ねじ軸の螺旋溝
3 ボール
4 非接触シール
41 非接触シール
42 非接触シール
46 グリース溜まり空間
5 エンドデフレクタ
6 スペーサ
7 吸引穴
71 取り付け部
8 給脂穴
81 取り付け部
DESCRIPTION OF
Claims (3)
前記ナットの軸方向両端に、リング状の非接触シールが配置され、
前記ナットを径方向に貫通する吸引穴が、前記軌道の範囲内に形成されていることを特徴とするボールねじ。 A nut having a spiral groove formed on the inner peripheral surface; a screw shaft having a spiral groove formed on the outer peripheral surface; and a ball disposed between a spiral groove of the nut and a spiral groove of the screw shaft; A ball return path for returning the ball from the end point of the track to the start point, and a ball screw that moves relative to the screw shaft by rolling the ball in the track,
A ring-shaped non-contact seal is disposed at both axial ends of the nut,
A ball screw, wherein a suction hole penetrating the nut in the radial direction is formed within the range of the track.
前記吸引穴が前記給脂穴とは別の位置に形成されている請求項1記載のボールねじ。 The nut is provided with a greasing hole for supplying a lubricant therein,
The ball screw according to claim 1, wherein the suction hole is formed at a position different from the greasing hole.
Priority Applications (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010190658A JP2011190928A (en) | 2010-02-18 | 2010-08-27 | Ball screw |
EP10805569.0A EP2515001B1 (en) | 2009-12-17 | 2010-10-29 | Ball screw |
US13/058,148 US20120240706A1 (en) | 2009-12-17 | 2010-10-29 | Ball Screw |
PCT/JP2010/006421 WO2011074170A1 (en) | 2009-12-17 | 2010-10-29 | Ball screw |
CN201080002290.3A CN102165221B (en) | 2009-12-17 | 2010-10-29 | Ball screw |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010033682 | 2010-02-18 | ||
JP2010033682 | 2010-02-18 | ||
JP2010190658A JP2011190928A (en) | 2010-02-18 | 2010-08-27 | Ball screw |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011190928A true JP2011190928A (en) | 2011-09-29 |
Family
ID=44796057
Family Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010190657A Active JP5879677B2 (en) | 2009-12-17 | 2010-08-27 | Ball screw |
JP2010190658A Pending JP2011190928A (en) | 2009-12-17 | 2010-08-27 | Ball screw |
JP2010190656A Expired - Fee Related JP5691296B2 (en) | 2009-12-17 | 2010-08-27 | Ball screw |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010190657A Active JP5879677B2 (en) | 2009-12-17 | 2010-08-27 | Ball screw |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010190656A Expired - Fee Related JP5691296B2 (en) | 2009-12-17 | 2010-08-27 | Ball screw |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (3) | JP5879677B2 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014020649A1 (en) * | 2012-08-01 | 2014-02-06 | 日本精工株式会社 | Linear motion device |
US9261178B2 (en) | 2011-06-07 | 2016-02-16 | Nsk Ltd. | Linear device |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6092523B2 (en) * | 2012-04-16 | 2017-03-08 | キヤノン株式会社 | DRIVE DEVICE, EXPOSURE DEVICE, AND ARTICLE MANUFACTURING METHOD |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5993557A (en) * | 1982-11-18 | 1984-05-30 | Hiroshi Teramachi | Ball screw with central flange and ball screw unit using same |
JPS6435166A (en) * | 1987-07-30 | 1989-02-06 | Hitachi Electr Eng | Feed screw mechanism of no dust generation type |
JPH02116055U (en) * | 1989-03-02 | 1990-09-17 | ||
JPH09264324A (en) * | 1996-03-29 | 1997-10-07 | Nikon Corp | Feed screw mechanism |
JP2000234660A (en) * | 1998-12-17 | 2000-08-29 | Nsk Ltd | Ball screw device |
JP2005273680A (en) * | 2004-03-22 | 2005-10-06 | Koyo Mach Ind Co Ltd | Sealing device for ball screw, and ball screw |
JP2008057576A (en) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Nsk Ltd | Linear motion device |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2638955B2 (en) * | 1988-07-14 | 1997-08-06 | 日本精工株式会社 | Actuator for dust-free room |
JP2508530Y2 (en) * | 1990-07-30 | 1996-08-28 | エヌテイエヌ株式会社 | Ball screw |
JPH04131550A (en) * | 1990-09-20 | 1992-05-06 | Asuka Trading Kk | Automatic regulating device for ball screw pre-load quantity |
JPH11118017A (en) * | 1997-10-15 | 1999-04-30 | Nippon Seiko Kk | Supplying method of lubricant |
-
2010
- 2010-08-27 JP JP2010190657A patent/JP5879677B2/en active Active
- 2010-08-27 JP JP2010190658A patent/JP2011190928A/en active Pending
- 2010-08-27 JP JP2010190656A patent/JP5691296B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5993557A (en) * | 1982-11-18 | 1984-05-30 | Hiroshi Teramachi | Ball screw with central flange and ball screw unit using same |
JPS6435166A (en) * | 1987-07-30 | 1989-02-06 | Hitachi Electr Eng | Feed screw mechanism of no dust generation type |
JPH02116055U (en) * | 1989-03-02 | 1990-09-17 | ||
JPH09264324A (en) * | 1996-03-29 | 1997-10-07 | Nikon Corp | Feed screw mechanism |
JP2000234660A (en) * | 1998-12-17 | 2000-08-29 | Nsk Ltd | Ball screw device |
JP2005273680A (en) * | 2004-03-22 | 2005-10-06 | Koyo Mach Ind Co Ltd | Sealing device for ball screw, and ball screw |
JP2008057576A (en) * | 2006-08-29 | 2008-03-13 | Nsk Ltd | Linear motion device |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9261178B2 (en) | 2011-06-07 | 2016-02-16 | Nsk Ltd. | Linear device |
WO2014020649A1 (en) * | 2012-08-01 | 2014-02-06 | 日本精工株式会社 | Linear motion device |
CN103703279A (en) * | 2012-08-01 | 2014-04-02 | 日本精工株式会社 | Linear motion device |
TWI470157B (en) * | 2012-08-01 | 2015-01-21 | Nsk Ltd | Linear motion device |
JPWO2014020649A1 (en) * | 2012-08-01 | 2016-07-11 | 日本精工株式会社 | Linear motion device |
EP2853775A4 (en) * | 2012-08-01 | 2016-11-23 | Nsk Ltd | Linear motion device |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5879677B2 (en) | 2016-03-08 |
JP2011190926A (en) | 2011-09-29 |
JP2011190927A (en) | 2011-09-29 |
JP5691296B2 (en) | 2015-04-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5598136B2 (en) | Ball screw | |
WO2011074170A1 (en) | Ball screw | |
JP2002235752A (en) | Cage for roller bearing | |
RU2624931C1 (en) | Lubricating system and gearbox | |
JP2006194402A (en) | Rolling bearing device | |
JP5800141B2 (en) | Sealing device | |
JP5691296B2 (en) | Ball screw | |
JP5195434B2 (en) | Ball screw | |
JP5120271B2 (en) | Ball screw | |
JP2009192069A (en) | Conical roller bearing | |
JP2008151181A (en) | Roller bearing | |
JP5728852B2 (en) | Ball screw | |
JP2008208974A (en) | Ball screw scraper, ball screw device, and motor driven injection molding machine | |
JP2018028329A (en) | Bearing device and spindle device for machine tool | |
JP2007333016A (en) | Main spindle device of machine tool | |
JP2006112517A (en) | Ball screw | |
JP2008075857A (en) | Rolling bearing device | |
JP2007309438A (en) | Ball screw | |
JP2018189167A (en) | Angular contact ball bearing | |
EP3059469B1 (en) | Ball screw and seal used therein | |
KR100376779B1 (en) | a feed mechanism of structure | |
JP2003184986A (en) | Linearly moving device | |
JP6631013B2 (en) | Ball screw | |
JP2017211043A (en) | Ball Screw | |
JP2000046056A (en) | Journal bearing |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130822 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140422 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140620 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20141118 |