JP2011187468A - Component mounter and vibration suppressing method in the component mounter - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a component mounter including two X-beams for supporting two mounting heads so as to be movable in an X-direction and a pair of Y-beams for supporting both end sides of the respective X-beams so as to be movable in a Y-direction, wherein component mounting accuracy is improved by reducing influence of vibration generated in one mounting head or X-beam onto the other mounting head or X-beam. <P>SOLUTION: One end of a first X-beam is supported by the one Y-beam by intervention of a first support portion, one end of a second X-beam is supported by the other Y-beam by intervention of a second support portion, and the first X-beam support position by the first support portion is displaced in an X-direction. Thereby, vibration transmitted from the first X-beam to the one Y-beam is suppressed, and the second X-beam support position by the second support portion is displaced in the X-direction. Thus, the vibration transmitted from the second X-beam to the other Y-beam is suppressed. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、基板に部品を実装する部品実装装置に関する。   The present invention relates to a component mounting apparatus for mounting a component on a substrate.

従来の部品実装装置として、部品を保持する複数の吸着ノズルが装備された実装ヘッドと、基板の表面沿いの方向であるＸ方向に沿って移動可能に実装ヘッドを支持するＸビームと、Ｘ方向と直交するＹ方向に移動可能にＸビームの両端部を支持する２本のＹビームとを備えたものが知られている。このような構成の部品実装装置では、それぞれのＹビームに両端部が支持された状態のＸビームがＹ方向に移動されるとともに、Ｘビームに支持されている実装ヘッドがＸ方向に移動されることにより、基板の実装位置に対して実装ヘッドが位置合わせされて、基板上に部品が実装される。   As a conventional component mounting apparatus, a mounting head equipped with a plurality of suction nozzles for holding components, an X beam that supports the mounting head movably along the X direction that is along the surface of the substrate, and the X direction And two Y beams that support both ends of the X beam so as to be movable in the Y direction perpendicular to the X direction are known. In the component mounting apparatus having such a configuration, the X beam having both ends supported by each Y beam is moved in the Y direction, and the mounting head supported by the X beam is moved in the X direction. As a result, the mounting head is aligned with the mounting position of the substrate, and the component is mounted on the substrate.

また、このような部品実装装置において、２本のＹビームの間に、２本のＸビームを支持させて、それぞれのＸビームに移動可能に支持される２台の実装ヘッドを用いて、効率的な部品実装を実現するような装置構成が採用されている。近年、部品実装における生産性の向上に加えて、部品実装精度の向上を図ることが強く求められている。   In such a component mounting apparatus, two X beams are supported between two Y beams, and two mounting heads supported so as to be movable by the respective X beams are used. An apparatus configuration that realizes typical component mounting is employed. In recent years, in addition to improving productivity in component mounting, it has been strongly demanded to improve component mounting accuracy.

このような従来の部品実装装置として、例えば、特許文献１に開示された部品実装装置では、２本のＹビーム間に２本のＸビームを支持させた構成において、それぞれのＹビームの断面構造を工夫することでＹビームをＸ方向にしなるような構成とし、Ｘビームの熱膨張による伸縮を吸収するとともに、Ｘビームが高速移動した後の残留振動の収束を速めることで、部品実装精度を向上させる提案がなされている。   As such a conventional component mounting apparatus, for example, in the component mounting apparatus disclosed in Patent Document 1, in a configuration in which two X beams are supported between two Y beams, a cross-sectional structure of each Y beam The Y-beam is made to be in the X direction by devising the X-ray, absorbs the expansion and contraction due to the thermal expansion of the X-beam, and accelerates the convergence of the residual vibration after the X-beam moves at high speed, thereby improving the component mounting accuracy. Proposals for improvement have been made.

特開２００５−２２８９７１号公報JP 2005-228971 A

このような従来の部品実装装置では、部品実装における生産性向上のために、２台の実装ヘッドは異なる動作を並行して行う場合が多い。例えば、一方の実装ヘッドが基板上への部品実装動作を行っている間に、他方の実装ヘッドが部品供給部にて部品取り出し動作を行う場合がある。   In such a conventional component mounting apparatus, in order to improve productivity in component mounting, the two mounting heads often perform different operations in parallel. For example, while one mounting head is performing a component mounting operation on a substrate, the other mounting head may perform a component take-out operation at a component supply unit.

このように２台の実装ヘッドが互いに異なる動作を並行して行うような場合に、特許文献１に開示されている部品実装装置では、一方の実装ヘッドおよびＸビームの動作により生じた振動がＹビームに伝達され、この振動がさらに他方のＸビームおよび実装ヘッドに伝達されてしまう。このような振動の伝達は、部品の位置認識や実装動作などの精度に悪影響を与えるおそれがある。このような振動の伝達による影響を回避するためには、２台の実装ヘッド相互間における動作を制限する必要があり、部品実装における生産性の向上が阻害される。   In this way, when two mounting heads perform different operations in parallel, in the component mounting apparatus disclosed in Patent Document 1, the vibration generated by the operation of one mounting head and the X beam is Y This vibration is further transmitted to the other X beam and the mounting head. Such vibration transmission may adversely affect the accuracy of component position recognition and mounting operations. In order to avoid the influence of such vibration transmission, it is necessary to limit the operation between the two mounting heads, which hinders improvement in productivity in component mounting.

また、それぞれのＸビームの熱膨張により生じる力は、Ｙビームが受けることになるため、Ｙビームに剛性も要求され、Ｙビームが大型化してしまうという課題もある。   Further, since the force generated by the thermal expansion of each X beam is received by the Y beam, the Y beam is also required to have rigidity, and there is a problem that the Y beam becomes large.

従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあって、２台実装ヘッドをＸ方向に移動可能に支持する２本のＸビームと、Ｙ方向に移動可能にそれぞれのＸビームの両端側を支持する一対のＹビームとを備える部品実装装置において、一方の実装ヘッドまたはＸビームに生じる振動が、他方の実装ヘッドまたはＸビームに伝達されることを抑制して、部品の実装精度を向上させる部品実装装置および振動抑制方法を提供することにある。   Accordingly, an object of the present invention is to solve the above-described problem, and two X beams that support two mounting heads so as to be movable in the X direction, and both ends of each X beam that are movable in the Y direction. In a component mounting apparatus including a pair of Y beams that support the side, vibration generated in one mounting head or X beam is suppressed from being transmitted to the other mounting head or X beam, thereby improving component mounting accuracy. An object of the present invention is to provide an improved component mounting apparatus and vibration suppression method.

上記目的を達成するために、本発明は以下のように構成する。   In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows.

本発明の第１態様によれば、部品を保持して基板上に実装する第１実装ヘッドおよび第２実装ヘッドと、基板の表面沿いの方向であるＸ方向に移動可能に、第１実装ヘッドを支持する第１Ｘビームと、基板の表面沿いの方向であるＸ方向に移動可能に、第２実装ヘッドを支持する第２Ｘビームと、基板の表面沿いの方向でありかつＸ方向と直交するＹ方向に移動可能に、第１Ｘビームおよび第２Ｘビームの両端側を支持する一対のＹビームと、Ｙ方向に移動可能に一方のＹビームに支持されかつ第１Ｘビームの一端側を支持する第１支持部を有し、第１支持部による第１Ｘビームの支持位置をＸ方向に変位させることで第１ＸビームのＸ方向の振動を吸収する第１振動吸収部と、Ｙ方向に移動可能に他方のＹビームに支持されかつ第２Ｘビームの一端側を支持する第２支持部を有し、第２支持部による第２Ｘビームの支持位置をＸ方向に変位させることで第２ＸビームのＸ方向の振動を吸収する第２振動吸収部とを備える、部品実装装置を提供する。   According to the first aspect of the present invention, the first mounting head and the second mounting head that hold components and mount on the substrate, and the first mounting head are movable in the X direction that is the direction along the surface of the substrate. A first X beam that supports the second mounting head, a second X beam that supports the second mounting head so as to be movable in the X direction that is along the surface of the substrate, and a Y that is in the direction along the surface of the substrate and perpendicular to the X direction. A pair of Y beams that support both ends of the first X beam and the second X beam so as to be movable in the direction, and a first that is supported by one Y beam so as to be movable in the Y direction and supports one end of the first X beam. A first vibration absorber that absorbs vibration in the X direction of the first X beam by displacing the support position of the first X beam by the first support portion in the X direction; and the other that is movable in the Y direction Supported by the Y beam and the 2nd X Bee A second vibration absorbing unit that absorbs vibration in the X direction of the second X beam by displacing the support position of the second X beam by the second support unit in the X direction. A component mounting apparatus is provided.

本発明の第２態様によれば、第１および第２振動吸収部において、Ｙ方向の剛性がＸ方向の剛性よりも高くなるように、第１および第２支持部が形成されている、第１態様に記載の部品実装装置を提供する。   According to the second aspect of the present invention, in the first and second vibration absorbing parts, the first and second support parts are formed such that the rigidity in the Y direction is higher than the rigidity in the X direction. A component mounting apparatus according to one aspect is provided.

本発明の第３態様によれば、第１振動吸収部は、第１Ｘビームの一端側を支持する第１支持部としてＹ方向沿いの支持面を有し、当該支持面をＸ方向に変位させることで第１ＸビームのＸ方向の振動を吸収する第１変位吸収部であり、第２振動吸収部は、第２Ｘビームの一端側を支持する第２支持部としてＹ方向沿いの支持面を有し、当該支持面をＸ方向に変位させることで第２ＸビームのＸ方向の振動を吸収する第２変位吸収部である、第１態様または第２態様に記載の部品実装装置を提供する。   According to the third aspect of the present invention, the first vibration absorber has a support surface along the Y direction as a first support for supporting one end of the first X beam, and displaces the support surface in the X direction. This is a first displacement absorber that absorbs vibration in the X direction of the first X beam, and the second vibration absorber has a support surface along the Y direction as a second support that supports one end of the second X beam. And the component mounting apparatus as described in a 1st aspect or a 2nd aspect which is a 2nd displacement absorption part which absorbs the vibration of the X direction of a 2nd X beam by displacing the said support surface to a X direction is provided.

本発明の第４態様によれば、第１および第２変位吸収部は、第１または第２Ｘビームの一端側を支持するＹ方向沿いの支持面を有する薄板と、薄板のＹ方向における両端部を支持する薄板支持部とを備え、Ｘ方向において薄板を弾性変形させることにより、第１または第２ＸビームのＸ方向の変位を吸収する、第３態様に記載の部品実装装置を提供する。   According to the fourth aspect of the present invention, the first and second displacement absorbers include a thin plate having a support surface along the Y direction that supports one end side of the first or second X beam, and both end portions of the thin plate in the Y direction. The component mounting apparatus according to the third aspect is provided that includes a thin plate support portion that supports the first and second X beams to absorb the displacement of the first or second X beam in the X direction by elastically deforming the thin plate in the X direction.

本発明の第５態様によれば、第１および第２変位吸収部は、薄板の支持面の反対側に、Ｘ方向における薄板の弾性変形を許容する変位吸収用空間を備える、第４態様に記載の部品実装装置を提供する。   According to the fifth aspect of the present invention, in the fourth aspect, the first and second displacement absorbing portions are provided with a displacement absorbing space that allows elastic deformation of the thin plate in the X direction on the opposite side of the support surface of the thin plate. A component mounting apparatus as described is provided.

本発明の第６態様によれば、第１および第２変位吸収部において、Ｘ方向沿いかつＹ方向沿いのＸＹ平面における薄板支持部の断面がＸ字形状であり、薄板支持部のＸ形状の断面における互いに離間された両端部にて、Ｙ方向における薄板の両端部が支持される、第４態様または第５態様に記載の部品実装装置を提供する。   According to the sixth aspect of the present invention, in the first and second displacement absorbing portions, the cross section of the thin plate support portion in the XY plane along the X direction and along the Y direction is X-shaped, and the X shape of the thin plate support portion is The component mounting apparatus according to the fourth aspect or the fifth aspect, in which both end portions of the thin plate in the Y direction are supported at both end portions spaced apart from each other in the cross section.

本発明の第７態様によれば、変位吸収用空間が、Ｘ方向およびＹ方向に直交するＺ方向において開放されている、第５態様に記載の部品実装装置を提供する。   According to a seventh aspect of the present invention, there is provided the component mounting apparatus according to the fifth aspect, wherein the space for absorbing displacement is opened in the Z direction orthogonal to the X direction and the Y direction.

本発明の第８態様によれば、部品を保持して基板上に実装する第１および第２実装ヘッドと、基板の表面沿いの方向であるＸ方向に移動可能に、第１および第２実装ヘッドをそれぞれ支持する第１および第２Ｘビームと、基板の表面沿いの方向でありかつＸ方向と直交するＹ方向に移動可能に、第１および第２Ｘビームの両端側を支持する一対のＹビームとを備える部品実装装置において、一方のＹビームに第１支持部を介在させて第１Ｘビームの一端を支持させるとともに、他方のＹビームに第２支持部を介在させて第２Ｘビームの一端を支持させて、第１支持部による第１Ｘビームの支持位置をＸ方向に変位させることにより、第１Ｘビームより第１支持部を介して一方のＹビームに伝達される振動を抑制するとともに、第２支持部による第２Ｘビームの支持位置をＸ方向に変位させることにより、第２Ｘビームより第２支持部を介して他方のＹビームに伝達される振動を抑制して、第１実装ヘッドと第２実装ヘッドとの間の相互の振動影響を低減させる、部品実装装置における振動抑制方法を提供する。   According to the eighth aspect of the present invention, the first and second mounting heads that hold the component and are mounted on the board, and the first and second mountings that are movable in the X direction that is along the surface of the board. First and second X beams that respectively support the head, and a pair of Y beams that support both ends of the first and second X beams so as to be movable in the Y direction that is along the surface of the substrate and perpendicular to the X direction In the component mounting apparatus comprising: one end of the first X beam with a first support portion interposed between one Y beam and the other end of the second X beam with a second support portion interposed between the other Y beams. By supporting and displacing the support position of the first X beam by the first support portion in the X direction, vibration transmitted from the first X beam to one Y beam through the first support portion is suppressed, and 2 by support By displacing the support position of the second X beam in the X direction, vibration transmitted from the second X beam to the other Y beam via the second support portion is suppressed, and the first mounting head, the second mounting head, Provided is a vibration suppressing method for a component mounting apparatus that reduces the mutual vibration effect between the components.

本発明によれば、第１実装ヘッドを支持する第１Ｘビームの一端側を、第１振動吸収部を介在させて一方のＹビームに支持させるとともに、第２実装ヘッドを支持する第２Ｘビームの一端側を、第２振動吸収部を介在させて他方のＹビームに支持させる構成が採用されている。また、第１および第２振動吸収部は、その支持部によるＸビームの支持位置をＸ方向に変位させることでＸビームのＸ方向の振動を吸収する機能を有している。   According to the present invention, one end side of the first X beam that supports the first mounting head is supported by the one Y beam through the first vibration absorbing portion, and the second X beam that supports the second mounting head is supported. A configuration is adopted in which one end side is supported by the other Y beam with the second vibration absorbing portion interposed. The first and second vibration absorbers have a function of absorbing vibration in the X direction of the X beam by displacing the support position of the X beam by the support portion in the X direction.

そのため、第１実装ヘッドまたは第１Ｘビームに生じたＸ方向の振動は、第１振動吸収部にて吸収されて、一方のＹビームに伝達される振動量を低減させることができる。また、第２実装ヘッドまたは第２Ｘビームに生じたＸ方向の振動は、第２振動吸収部にて吸収されて、他方のＹビームに伝達される振動量を低減させることができる。したがって、一方実装ヘッドまたはＸビームに生じたＸ方向の振動が、Ｙビームを介して他方の実装ヘッドまたはＸビームに伝達されることを抑制することができる。よって、部品の実装精度を向上させることができる。   Therefore, the vibration in the X direction generated in the first mounting head or the first X beam is absorbed by the first vibration absorbing unit, and the vibration amount transmitted to one Y beam can be reduced. Further, the vibration in the X direction generated in the second mounting head or the second X beam can be absorbed by the second vibration absorbing unit and the amount of vibration transmitted to the other Y beam can be reduced. Therefore, it is possible to suppress the vibration in the X direction generated in one mounting head or X beam from being transmitted to the other mounting head or X beam via the Y beam. Therefore, the mounting accuracy of components can be improved.

本発明の第１実施形態にかかる部品実装装置の模式斜視図1 is a schematic perspective view of a component mounting apparatus according to a first embodiment of the present invention. 第１実施形態の第１Ｘ方向変位吸収部の模式斜視図The model perspective view of the 1st X direction displacement absorption part of a 1st embodiment. 第１実施形態の第１Ｘ方向変位吸収部の模式部分平面図Schematic partial plan view of the first X-direction displacement absorbing portion of the first embodiment 第１実施形態の第１Ｘ方向変位吸収部の模式部分平面図Schematic partial plan view of the first X-direction displacement absorbing portion of the first embodiment 第１実施形態の第１Ｘ方向変位吸収部の模式部分平面図Schematic partial plan view of the first X-direction displacement absorbing portion of the first embodiment 第２実施形態の第１Ｘ方向変位吸収部の模式斜視図The model perspective view of the 1st X direction displacement absorption part of a 2nd embodiment. 第３実施形態の第１Ｘ方向変位吸収部の模式斜視図The model perspective view of the 1st X direction displacement absorption part of a 3rd embodiment.

以下に、本発明にかかる実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。   Embodiments according to the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

（第１実施形態）
本発明の第１の実施形態にかかる部品実装装置１の模式斜視図を図１に示す。 (First embodiment)
FIG. 1 shows a schematic perspective view of a component mounting apparatus 1 according to the first embodiment of the present invention.

図１に示すように、本第１実施形態の部品実装装置１は、部品を吸着保持する第１および第２実装ヘッド３、５３、と、第１実装ヘッド３をＸ方向に進退移動可能に支持するＸ方向に延在した第１Ｘビーム１０と、第２実装ヘッド５３をＸ方向に進退移動可能に支持するＸ方向に延在した第２Ｘビーム６０と、第１および第２Ｘビーム１０、６０をＹ方向に進退移動可能に支持する２本（一対）のＹビーム２０とを備えている。また、部品実装装置１の基台４上には、２本のＹビーム２０が支持されている。さらに、基台４上には、基板５が保持される基板保持テーブル６と、基板保持テーブル６に対して、基板５を搬入・搬出する基板搬送部７と、複数の部品が供給される部品供給部８とが配置されている。なお、Ｘ方向（左右方向）およびＹ方向（前後方向）は、共に基板５の表面沿いの方向であり、かつ互いに直交する方向である。また、Ｚ方向（上下方向）は、Ｘ方向およびＹ方向に直交する方向である。   As shown in FIG. 1, the component mounting apparatus 1 according to the first embodiment enables the first and second mounting heads 3 and 53 that suck and hold components and the first mounting head 3 to move forward and backward in the X direction. The first X beam 10 extended in the X direction to support, the second X beam 60 extended in the X direction to support the second mounting head 53 so as to be movable back and forth in the X direction, and the first and second X beams 10, 60. And two (a pair of) Y beams 20 that support forward and backward movement in the Y direction. Two Y beams 20 are supported on the base 4 of the component mounting apparatus 1. Further, on the base 4, a substrate holding table 6 that holds the substrate 5, a substrate transfer unit 7 that carries the substrate 5 into and out of the substrate holding table 6, and a component to which a plurality of components are supplied. A supply unit 8 is arranged. The X direction (left-right direction) and the Y direction (front-rear direction) are both directions along the surface of the substrate 5 and orthogonal to each other. The Z direction (vertical direction) is a direction orthogonal to the X direction and the Y direction.

本第１の実施形態の部品実装装置１において、第１実装ヘッド３と第２実装ヘッド５３とは実質的に同じ構造を有しており、また、第１Ｘビーム１０と第２Ｘビーム６０とは実質的に同じ構造を有している。そのため、それぞれの実装ヘッドおよびＸビームに共通する構造の説明については、両者を代表して、第１実装ヘッド３および第１Ｘビーム１０について行うものとする。   In the component mounting apparatus 1 of the first embodiment, the first mounting head 3 and the second mounting head 53 have substantially the same structure, and the first X beam 10 and the second X beam 60 are the same. Have substantially the same structure. For this reason, the description of the structure common to the respective mounting heads and the X beam is made on the first mounting head 3 and the first X beam 10 on behalf of both.

第１実装ヘッド３は、部品を吸着保持する複数の吸着ノズル２を装備しており、これらの吸着ノズル２は、Ｚ方向に昇降可能かつＺ方向の軸心周りに回転可能とされている。   The first mounting head 3 is equipped with a plurality of suction nozzles 2 for sucking and holding components. These suction nozzles 2 can be moved up and down in the Z direction and can be rotated around an axis in the Z direction.

第１Ｘビーム１０には、第１実装ヘッド３をＸ方向に進退移動させる図示しない駆動手段（リニア駆動部など）が装備されている。なお、第１Ｘビーム１０は、そのＹ方向の移動特性を高めるために比較的軽量な剛性部材にて形成されることが好ましく、例えば、アルミニウムなどの軽量金属材料にて形成される。   The first X beam 10 is equipped with a driving means (such as a linear driving unit) (not shown) that moves the first mounting head 3 back and forth in the X direction. The first X beam 10 is preferably formed of a relatively lightweight rigid member in order to enhance the movement characteristics in the Y direction, and is formed of a lightweight metal material such as aluminum, for example.

２本のＹビーム２０は基台４のＸ方向の両縁部に支持されており、２本のＹビーム２０の互いに対向する側面にて、第１Ｘビーム１０の両端部がＹ方向に進退移動可能に支持されるとともに、第２Ｘビーム６０の両端部がＹ方向に進退移動可能に支持されている。なお、Ｙビーム２０には、第１Ｘビーム１０のＹ方向の進退移動を駆動する駆動手段（リニア駆動部など）および第２Ｘビーム６０のＹ方向の進退移動を駆動する駆動手段が装備されている。なお、第１Ｘビーム１０と第２Ｘビーム６０のＹ方向の進退移動は、それぞれの駆動手段により互いに独立して行われる。   The two Y beams 20 are supported on both edges in the X direction of the base 4, and both end portions of the first X beam 10 move forward and backward in the Y direction on the side surfaces of the two Y beams 20 facing each other. Both ends of the second X beam 60 are supported so as to be movable back and forth in the Y direction. The Y beam 20 is equipped with drive means (such as a linear drive unit) for driving the first X beam 10 in the Y direction, and drive means for driving the second X beam 60 in the Y direction. . Note that the forward and backward movement of the first X beam 10 and the second X beam 60 in the Y direction is performed independently by the respective driving means.

また、第１Ｘビーム１０の一方の端部（基準側端部）１１Ａは、図１の図示Ｘ方向左側に配置されるＹビーム２０（２０Ａ）に支持されており、他方の端部（変位側端部）１１Ｂは、図示Ｘ方向右側に配置されるＹビーム２０（２０Ｂ）に、第１Ｘ方向変位吸収部３０を介在させて支持されている。さらに、第２Ｘビーム６０の一方の端部（基準側端部）６１Ａは、図１の図示Ｘ方向右側に配置されるＹビーム２０（２０Ｂ）に支持されており、他方の端部（変位側端部）６１Ｂは、図示Ｘ方向左側に配置されるＹビーム２０（２０Ａ）に、第２Ｘ方向変位吸収部８０を介在させて支持されている。すなわち、図１に示すように、第１Ｘビーム１０および第２Ｘビーム６０において、基準側端部と変位側端部とは、ＸＹ平面視で互いに逆側に配置されるように設定されており、それぞれのＸ方向変位吸収部３０、８０の配置についても、互いに逆側（Ｘ方向に対向）となるように設定されている。   Further, one end portion (reference side end portion) 11A of the first X beam 10 is supported by a Y beam 20 (20A) disposed on the left side in the X direction in FIG. 1, and the other end portion (displacement side). The end portion 11 </ b> B is supported by the Y beam 20 (20 </ b> B) disposed on the right side in the X direction in the drawing with the first X direction displacement absorbing portion 30 interposed therebetween. Further, one end (reference side end) 61A of the second X beam 60 is supported by the Y beam 20 (20B) arranged on the right side in the X direction in FIG. 1, and the other end (displacement side). The end portion 61B is supported by the Y beam 20 (20A) disposed on the left side in the X direction in the drawing with the second X direction displacement absorbing portion 80 interposed therebetween. That is, as shown in FIG. 1, in the first X beam 10 and the second X beam 60, the reference side end portion and the displacement side end portion are set so as to be arranged on opposite sides in the XY plan view, The arrangement of the X-direction displacement absorbing portions 30 and 80 is also set to be opposite to each other (opposing in the X direction).

本第１実施形態では、これらの第１Ｘ方向変位吸収部３０および第２Ｘ方向変位吸収部８０が、ＸビームにおけるＸ方向の振動を吸収する振動吸収部の一例となっている。また、第１Ｘ方向変位吸収部３０と第２Ｘ方向変位吸収部８０とは実質的に同じ構造を有している。そのため、第１Ｘ方向変位吸収部３０および第２Ｘ方向変位吸収部８０に共通する構造の説明については、両者を代表して、第１Ｘ方向変位吸収部３０について行うものとする。なお、この第１Ｘ方向変位吸収部３０の構成については後述する。   In the first embodiment, the first X-direction displacement absorbing unit 30 and the second X-direction displacement absorbing unit 80 are an example of a vibration absorbing unit that absorbs vibration in the X direction of the X beam. In addition, the first X-direction displacement absorbing portion 30 and the second X-direction displacement absorbing portion 80 have substantially the same structure. Therefore, the description of the structure common to the first X-direction displacement absorbing portion 30 and the second X-direction displacement absorbing portion 80 is made on the first X-direction displacement absorbing portion 30 on behalf of both. The configuration of the first X-direction displacement absorber 30 will be described later.

基板保持テーブル６は基台４の略中央に配置されている。また、基板搬送部７は、Ｘ方向に沿って基板５を搬送するように基台４上に配置されている。部品供給部８は、例えば複数のカセットフィーダーの集合体として構成され、基台４におけるＹ方向の両縁部上に配置されている。   The substrate holding table 6 is disposed substantially at the center of the base 4. Moreover, the board | substrate conveyance part 7 is arrange | positioned on the base 4 so that the board | substrate 5 may be conveyed along a X direction. The component supply unit 8 is configured as an assembly of a plurality of cassette feeders, for example, and is disposed on both edges of the base 4 in the Y direction.

このような構成の部品実装装置１において、部品実装を行う場合には、まず、第１Ｘビーム１０が図１のＹ方向奥側に移動されるとともに、第１実装ヘッド３がＸ方向に移動されることでそれぞれの吸着ノズル２のＸＹ移動が行われて、図示奥側に位置される部品供給部８上に位置決めされ、それぞれの吸着ノズル２に部品を吸着保持させる。その後、第１実装ヘッド３のＸＹ移動が行われて、基板保持テーブル６に保持された基板５における部品実装位置に吸着ノズル２が位置決めされて、吸着保持されているそれぞれの部品が基板５上に実装される。   When performing component mounting in the component mounting apparatus 1 having such a configuration, first, the first X beam 10 is moved to the back in the Y direction in FIG. 1 and the first mounting head 3 is moved in the X direction. As a result, the XY movement of each suction nozzle 2 is performed, and the suction nozzle 2 is positioned on the component supply unit 8 positioned on the far side in the drawing, and the suction nozzle 2 holds the component by suction. Thereafter, the XY movement of the first mounting head 3 is performed, the suction nozzle 2 is positioned at the component mounting position on the substrate 5 held by the substrate holding table 6, and each component held by suction is placed on the substrate 5. To be implemented.

第１実装ヘッド３による基板５上への部品の実装動作が行われている間に、第２Ｘビーム６０が図１のＹ方向手前側に移動されるとともに、第２実装ヘッド５３がＸ方向に移動されることでそれぞれの吸着ノズル２のＸＹ移動が行われて、図示手前側に位置される部品供給部８上に位置決めされ、それぞれの吸着ノズル２に部品を吸着保持させる。その後、第２実装ヘッド５３のＸＹ移動が行われて、基板保持テーブル６に保持された基板５における部品実装位置に吸着ノズル２が位置決めされて、吸着保持されているそれぞれの部品が基板５上に実装される。   While the component mounting operation on the substrate 5 by the first mounting head 3 is performed, the second X beam 60 is moved to the front side in the Y direction in FIG. 1 and the second mounting head 53 is moved in the X direction. By moving, each suction nozzle 2 is moved in the XY direction and positioned on the component supply unit 8 positioned on the front side in the figure, and the suction nozzle 2 sucks and holds the component. Thereafter, the XY movement of the second mounting head 53 is performed, the suction nozzle 2 is positioned at the component mounting position on the substrate 5 held on the substrate holding table 6, and each component held by suction is placed on the substrate 5. To be implemented.

さらに基板５上、あるいは次の別の基板５上に部品の実装を行う場合には、これらの動作を繰り返して行うことにより、第１実装ヘッド３および第２実装ヘッド５３による部品の実装が連続的に行われる。特に、一方の実装ヘッドにより部品供給部８からの部品の取り出し動作を行っている間に、他方の実装ヘッドにより基板５への部品の実装動作を行うようにすることで、効率的な部品実装を行うことができる。   Further, when components are mounted on the substrate 5 or another next substrate 5, the components are continuously mounted by the first mounting head 3 and the second mounting head 53 by repeating these operations. Done. In particular, efficient component mounting is achieved by performing the component mounting operation on the substrate 5 by the other mounting head while the component mounting unit 8 is taking out the component from the component supply unit 8. It can be performed.

次に、第１Ｘ方向変位吸収部３０および第２Ｘ方向変位吸収部８０の構成の説明にあたって、両者を代表して第１Ｘ方向変位吸収部３０の構成について、図２の模式斜視図、図３、図４、図５の模式図を用いて詳細に説明する。   Next, in the description of the configuration of the first X-direction displacement absorbing unit 30 and the second X-direction displacement absorbing unit 80, the schematic perspective view of FIG. This will be described in detail with reference to the schematic diagrams of FIGS.

図２に示すように、第１Ｘ方向変位吸収部３０は、Ｙ方向に進退移動可能にＹビーム２０Ｂに支持されたブロック３１（薄板支持部の一例である。）と、ブロック３１に支持されるとともに、第１Ｘビーム１０の変位側端部１１Ｂを支持する支持面３２ａを有する長方形状の薄板として形成された支持プレート３２（支持部（第１支持部３２Ａ）の一例である。）とを備えている。なお、第２Ｘ方向変位吸収部８０には、第２Ｘビーム６０の変位側端部６１Ｂを支持する支持面３２ａを有する長方形状の薄板として形成された支持プレート３２（支持部（第２支持部３２Ｂ）の一例である。）が備えられている。この第２Ｘ方向変位吸収部８０の支持プレート３２（第２支持部３２Ｂ）の構成および機能については、第１Ｘ方向変位吸収部３０の支持プレート３２（第１支持部３２Ａ）と同様であるため、その説明を省略する。   As shown in FIG. 2, the first X-direction displacement absorbing portion 30 is supported by the block 31 (which is an example of a thin plate support portion) supported by the Y beam 20 </ b> B so as to be movable back and forth in the Y direction. In addition, a support plate 32 (an example of a support portion (first support portion 32A)) formed as a rectangular thin plate having a support surface 32a that supports the displacement side end portion 11B of the first X beam 10 is provided. ing. The second X-direction displacement absorbing portion 80 has a support plate 32 (support portion (second support portion 32B) formed as a rectangular thin plate having a support surface 32a that supports the displacement-side end portion 61B of the second X beam 60. ).) Is provided. Since the configuration and function of the support plate 32 (second support portion 32B) of the second X-direction displacement absorbing portion 80 are the same as those of the support plate 32 (first support portion 32A) of the first X-direction displacement absorbing portion 30, The description is omitted.

第１Ｘ方向変位吸収部３０の支持プレート３２（第１支持部３２Ａ）の支持面３２ａは、Ｘ方向に直交しかつＹ方向沿った平面であり、この支持プレート３２の中央領域において、第１Ｘビーム１０の変位側端部１１Ｂが支持されている。また、ブロック３１は、そのＸＹ平面（Ｘ方向およびＹ方向沿いの平面）における断面が大略コ字形状を有する剛体として形成されている。このブロック３１の大略コ字形状の断面における突出された両端部である支持端部３１ａにて、支持プレート３２のＹ方向における両端部３２ｂを支持している。また、ブロック３１のそれぞれの支持端部３１ａの間には、支持プレート３２の支持面３２ａの反対側の面と接する空間が配置されており、この空間が変位吸収用空間Ｓとなっている。なお、この変位吸収用空間Ｓは、Ｚ方向において開放されている。   The support surface 32a of the support plate 32 (first support portion 32A) of the first X-direction displacement absorbing portion 30 is a plane orthogonal to the X direction and along the Y direction. In the central region of the support plate 32, the first X beam Ten displacement-side end portions 11B are supported. Further, the block 31 is formed as a rigid body having a substantially U-shaped cross section in the XY plane (plane along the X direction and the Y direction). Both end portions 32b in the Y direction of the support plate 32 are supported by the support end portions 31a which are both projecting end portions in the substantially U-shaped cross section of the block 31. Further, a space in contact with the surface opposite to the support surface 32 a of the support plate 32 is disposed between the support end portions 31 a of the block 31, and this space is a displacement absorbing space S. The displacement absorbing space S is open in the Z direction.

また、支持プレート３２は、Ｘ方向において外力が加わった場合に、Ｘ方向に弾性変形するような形状および材料により形成されることが好ましい。支持プレート３２の形成材料としては、例えば、ばね鋼鋼材などを適用することができる。また、変位吸収用空間Ｓは、支持プレート３２がＸ方向に弾性変形された場合に、支持プレート３２における第１Ｘビーム１０の支持部分である中央領域がブロック３１に接触せず、支持プレート３２の弾性変形を許容するように設けられている。   The support plate 32 is preferably formed of a shape and material that elastically deforms in the X direction when an external force is applied in the X direction. As a material for forming the support plate 32, for example, a spring steel material or the like can be applied. Further, in the displacement absorbing space S, when the support plate 32 is elastically deformed in the X direction, the central region that is the support portion of the first X beam 10 on the support plate 32 does not contact the block 31, and It is provided to allow elastic deformation.

Ｙビーム２０Ｂの側面には、Ｙ方向に沿ったＬＭレール２１が配置されており、このＬＭレール２１に係合して、Ｙ方向に進退移動可能なＬＭブロック３３がブロック３１に固定されている。   An LM rail 21 along the Y direction is disposed on the side surface of the Y beam 20B. An LM block 33 that is engaged with the LM rail 21 and can move forward and backward in the Y direction is fixed to the block 31. .

次に、図３〜図５に示す第１Ｘ方向変位吸収部３０の模式図を用いて、第１Ｘビーム１０のＸ方向における変位を吸収することで、第１Ｘビーム１０に生じたＸ方向の振動を吸収する原理について説明する。   Next, the vibration in the X direction generated in the first X beam 10 by absorbing the displacement in the X direction of the first X beam 10 using the schematic diagram of the first X direction displacement absorbing unit 30 shown in FIGS. The principle of absorbing water will be described.

図３に示すように、第１実装ヘッド３および第１Ｘビーム１０にＸ方向の振動が生じていない状態では、第１Ｘビーム１０の変位側端部１１Ｂを支持する支持プレート３２（第１支持部３２Ａ）は、Ｙ方向に沿ってほぼ平坦な状態（すなわち、Ｘ方向に変位されていない状態）にある。さらに、支持プレート３２のＹ方向における両端部３２ｂは、ブロック３１のそれぞれの支持端部３１ａに支持された状態にある。   As shown in FIG. 3, in the state where the first mounting head 3 and the first X beam 10 are not vibrated in the X direction, the support plate 32 (first support portion) that supports the displacement side end portion 11B of the first X beam 10 is used. 32A) is in a substantially flat state along the Y direction (ie, not displaced in the X direction). Furthermore, both end portions 32 b in the Y direction of the support plate 32 are in a state of being supported by the respective support end portions 31 a of the block 31.

このような状態において、部品実装装置１において、第１実装ヘッド３または第１Ｘビーム１０の進退移動が行われると、第１Ｘビーム１０に振動が生じる。それに伴って第１Ｘビーム１０は基準側端部１１Ａを基準として、変位側端部１１ＢがＸ方向に変位しようとする。これにより、第１Ｘビーム１０の変位側端部１１Ｂを支持している支持プレート３２に対して、図４に示すＸ方向右向きの力Ｆ１および図５に示すＸ方向左向きの力Ｆ２が生じる。支持プレート３２は、薄板形状を有しているため、この力Ｆ１およびＦ２を受けてＸ方向右向きおよび左向きに変位量Ｄ１、Ｄ２だけ弾性変形して撓んだ状態が振動周期にて交互に繰り返される。これにより、第１Ｘビーム１０のＸ方向の変位をＸ方向変位吸収部３０にて吸収することができ、その結果、第１Ｘビーム１０に生じたＸ方向の振動を吸収する（減少させる）ことができる。   In such a state, when the first mounting head 3 or the first X beam 10 is moved back and forth in the component mounting apparatus 1, the first X beam 10 is vibrated. Accordingly, the first X beam 10 tends to displace the displacement side end portion 11B in the X direction with reference to the reference side end portion 11A. As a result, a force F1 in the right direction in the X direction shown in FIG. 4 and a force F2 in the left direction in the X direction shown in FIG. 5 are generated on the support plate 32 supporting the displacement side end portion 11B of the first X beam 10. Since the support plate 32 has a thin plate shape, the state where the support plate 32 is elastically deformed by the displacements D1 and D2 in the right and left directions in the X direction and bent is alternately repeated in the vibration cycle. It is. As a result, the X-direction displacement of the first X beam 10 can be absorbed by the X-direction displacement absorber 30, and as a result, the X-direction vibration generated in the first X beam 10 can be absorbed (reduced). it can.

したがって、第１Ｘビーム１０に振動が生じるような場合であっても、Ｘ方向変位吸収部３０において、第１Ｘビーム１０の変位側端部１１Ｂの変位量に応じて支持プレート３２をＸ方向に弾性変形させることで、第１Ｘビーム１０のＸ方向における振動を吸収することができる。また、薄板形状を有する支持プレート３２と、第１Ｘビーム１０との固有振動数を異ならせることで、振動を効果的に吸収することができる。   Therefore, even when vibration occurs in the first X beam 10, the support plate 32 is elastically moved in the X direction in the X direction displacement absorbing portion 30 according to the displacement amount of the displacement side end portion 11B of the first X beam 10. By deforming, vibration in the X direction of the first X beam 10 can be absorbed. Moreover, vibration can be effectively absorbed by making the natural frequency of the support plate 32 having a thin plate shape different from that of the first X beam 10.

さらに、第１Ｘ方向変位吸収部３０において、支持プレート３２のＹ方向における両端部３２ｂが、ブロック３１のそれぞれの支持端部３１ａにより支持されているため、支持プレート３２を薄板状に形成しながらＹ方向における必要な剛性を確保できる。すなわち、支持プレート３２の面方向の剛性を用いて、第１Ｘビーム１０の変位側端部１１ＢにおけるＹ方向の支持剛性を確保することができる。   Furthermore, in the 1st X direction displacement absorption part 30, since the both ends 32b in the Y direction of the support plate 32 are supported by each support end part 31a of the block 31, Y is formed while forming the support plate 32 in a thin plate shape. Necessary rigidity in the direction can be secured. That is, using the rigidity in the surface direction of the support plate 32, it is possible to ensure the support rigidity in the Y direction at the displacement side end portion 11 </ b> B of the first X beam 10.

特に、部品実装装置１では、基台４のＹ方向における両縁部に部品供給部８が配置され、中央付近に基板５が配置される構成が採用されているため、部品の実装動作が繰り返し行われる場合に、第１Ｘビーム１０や第２Ｘビーム６０のＹ方向沿いの移動頻度が多くなる。このような観点から、支持プレート３２のＹ方向における両端部３２ｂをブロック３１に確実に支持させて、Ｙ方向の支持剛性を確保することが好ましい。また、このようにＹ方向の支持剛性を確保することにより、第１Ｘビーム１０に生じるＹ方向の振動についても抑制することができる。特に、第１Ｘビーム１０のＹ方向の移動が行われ、その後停止した際に生じるＹ方向の残留振動を低減させるためにも、このようにＹ方向の支持剛性を高めることは効果的である。   In particular, the component mounting apparatus 1 employs a configuration in which the component supply unit 8 is disposed at both edges in the Y direction of the base 4 and the substrate 5 is disposed near the center, so that the component mounting operation is repeated. When performed, the frequency of movement of the first X beam 10 and the second X beam 60 along the Y direction increases. From such a point of view, it is preferable that both ends 32b of the support plate 32 in the Y direction are reliably supported by the block 31 to ensure the support rigidity in the Y direction. In addition, by ensuring the support rigidity in the Y direction in this way, vibration in the Y direction generated in the first X beam 10 can also be suppressed. In particular, in order to reduce the residual vibration in the Y direction that occurs when the first X beam 10 is moved in the Y direction and then stopped, it is effective to increase the support rigidity in the Y direction in this way.

すなわち、第１Ｘ方向変位吸収部３０では、第１Ｘビーム１０のＸ方向の支持剛性よりもＹ方向の支持剛性を高めることで、Ｙ方向における移動位置精度を確保しながら、Ｘ方向の振動がＹビームに伝達されることを効果的に抑制することができる。   That is, in the first X-direction displacement absorbing unit 30, the support rigidity in the Y direction is higher than the support rigidity in the X direction of the first X beam 10, so that the movement position accuracy in the Y direction is ensured while the vibration in the X direction is Y. Transmission to the beam can be effectively suppressed.

また、第１Ｘ方向変位吸収部３０において、支持プレート３２は、ブロック３１によりＹ方向の両端部３２ｂが支持されているが、Ｚ方向の両端部は支持されていない構造が採用されている。すなわち、ブロック３１において、変位吸収用空間ＳがＺ方向において連通して開放されるような構造が採用されている。そのため、支持プレート３２の全周囲がブロック３１により支持されるような場合に比して、支持プレート３２をＸ方向に変位し易くすることができる。なお、仮に第１Ｘビーム１０などの構成部材がＺ方向に変位するような場合が生じても、それぞれの吸着ノズル２の昇降動作量を調整することで、このようなＺ方向の変位は実質的に補正することができる。   Further, in the first X-direction displacement absorbing portion 30, the support plate 32 has a structure in which both ends 32b in the Y direction are supported by the block 31 but not both ends in the Z direction. In other words, the block 31 employs a structure in which the displacement absorbing space S is opened in communication in the Z direction. Therefore, the support plate 32 can be easily displaced in the X direction as compared with the case where the entire periphery of the support plate 32 is supported by the block 31. Even if a component such as the first X beam 10 is displaced in the Z direction, the displacement in the Z direction is substantially reduced by adjusting the amount of lifting operation of each suction nozzle 2. Can be corrected.

ここで、第１Ｘ方向変位吸収部３０における各部材の好適な寸法の例について図２を用いて説明する。   Here, the example of the suitable dimension of each member in the 1st X direction displacement absorption part 30 is demonstrated using FIG.

支持プレート３２の両端部３２ｂの支持スパンの長さＷ２（すなわち、変位吸収用空間ＳのＹ方向の長さ）は、Ｘビーム１０のＹ方向の幅寸法Ｗ１の１．８〜３倍程度に設定することが好ましい。また、支持プレート３２の板厚Ｔは１．５〜３ｍｍ程度、変位吸収用空間ＳのＸ方向における深さＤは１ｍｍ程度として、第１Ｘビーム１０のＸ方向の振動により生じるＸ方向の変位量を十分に吸収できるような深さに設定することが好ましい。なお、支持プレート３２のＺ方向の高さ寸法Ｈ２は、第１Ｘビーム１０のＺ方向の高さ寸法Ｈ１と同程度かそれ以上に設定することが好ましい。   The length W2 of the support span at both ends 32b of the support plate 32 (that is, the length in the Y direction of the displacement absorbing space S) is about 1.8 to 3 times the width dimension W1 of the X beam 10 in the Y direction. It is preferable to set. Further, assuming that the thickness T of the support plate 32 is about 1.5 to 3 mm and the depth D in the X direction of the displacement absorbing space S is about 1 mm, the amount of displacement in the X direction caused by the vibration of the first X beam 10 in the X direction. It is preferable to set the depth to sufficiently absorb the water. Note that the height dimension H2 in the Z direction of the support plate 32 is preferably set to be approximately equal to or higher than the height dimension H1 in the Z direction of the first X beam 10.

上述のような第１Ｘビーム１０に生じるＸ方向の振動を第１Ｘ方向変位吸収部３０にて吸収する原理と同様な原理により、第２Ｘビーム６０に生じるＸ方向の振動を第２Ｘ方向変位吸収部８０にて吸収することができる。   The X-direction vibration generated in the second X beam 60 can be absorbed by the second X-direction displacement absorber by the same principle as that of the first X-direction displacement absorber 30 absorbing the X-direction vibration generated in the first X beam 10 as described above. It can be absorbed at 80.

本第１実施形態によれば、第１Ｘビーム１０に生じるＸ方向の振動は、第１Ｘ方向変位吸収部３０にて吸収することができ、図１の右側のＹビーム２０Ｂにこの振動が伝達されることを抑制できる。その結果、Ｙビーム２０Ｂにその基準側端部６１Ａが支持されている第２Ｘビーム６０に対して、第１実装ヘッド３および第１Ｘビーム１０に生じる振動が伝達されることを抑制できる。   According to the first embodiment, the vibration in the X direction generated in the first X beam 10 can be absorbed by the first X direction displacement absorber 30, and this vibration is transmitted to the Y beam 20B on the right side of FIG. Can be suppressed. As a result, it is possible to suppress the vibration generated in the first mounting head 3 and the first X beam 10 from being transmitted to the second X beam 60 whose reference side end 61A is supported by the Y beam 20B.

同様に、第２Ｘビーム６０に生じるＸ方向の振動は、第２Ｘ方向変位吸収部８０にて吸収することができ、図１の右側のＹビーム２０Ａにこの振動が伝達されることを抑制できる。その結果、Ｙビーム２０Ａにその基準側端部１１Ａが支持されている第１Ｘビーム１０に対して、第２実装ヘッド５３および第２Ｘビーム６０に生じる振動が伝達されることを抑制できる。   Similarly, the X-direction vibration generated in the second X beam 60 can be absorbed by the second X-direction displacement absorbing unit 80, and transmission of this vibration to the right Y beam 20A in FIG. 1 can be suppressed. As a result, it is possible to suppress the vibration generated in the second mounting head 53 and the second X beam 60 from being transmitted to the first X beam 10 whose reference side end portion 11A is supported by the Y beam 20A.

また、このような一方の実装ヘッドから他方の実装ヘッドへの振動の伝達抑制は、第１Ｘビーム１０（第２Ｘビーム６０）の変位側端部１１Ｂ（６１Ｂ）を、第１Ｘ方向変位吸収部３０（第２Ｘ方向変位吸収部８０）を介して、Ｙ方向に移動可能にＹビーム２０Ｂ（Ｙビーム２０Ａ）に支持させることで、薄板状の支持プレート３２とブロック３１という比較的簡単な構造を用いて実現することができる。   Further, the suppression of vibration transmission from one mounting head to the other mounting head is performed by using the displacement side end portion 11B (61B) of the first X beam 10 (second X beam 60) as the first X direction displacement absorbing portion 30. By using the Y beam 20B (Y beam 20A) to be movable in the Y direction via the (second X direction displacement absorbing portion 80), a relatively simple structure of the thin plate-like support plate 32 and the block 31 is used. Can be realized.

さらに、支持プレート３２をＸ方向に弾性変形させることにより、第１Ｘビーム１０（第２Ｘビーム６０）のＸ方向の変位を吸収可能としながら、支持プレート３２のＹ方向の両端部３２ｂをブロック３１に支持させることで、支持プレート３２の面方向の剛性を用いて、第１Ｘビーム１０（第２Ｘビーム６０）に対するＹ方向の支持剛性を確保することができる。よって、それぞれのＸビーム１０、６０におけるＹ方向の振動伝達についても抑制することができる。   Further, by elastically deforming the support plate 32 in the X direction, it is possible to absorb the displacement in the X direction of the first X beam 10 (second X beam 60), while the both end portions 32b of the support plate 32 in the Y direction are connected to the block 31. By supporting, the support rigidity in the Y direction with respect to the first X beam 10 (second X beam 60) can be ensured using the rigidity in the surface direction of the support plate 32. Therefore, vibration transmission in the Y direction in the X beams 10 and 60 can also be suppressed.

また、部品実装装置１において連続的に部品実装動作が行われると、使用環境温度が上昇（例えば、常温から２０℃程度上昇）する。この使用環境温度の上昇に伴って、第１Ｘビーム１０および第２Ｘビーム６０が熱膨張して、Ｘ方向に例えば、０．２〜０．３ｍｍ程度の伸びる（Ｘ方向の変位量）ことになる。このようにＸビーム１０、６０において、熱による伸びあるいは縮みが生じるような場合であっても、Ｘビーム１０、６０のＸ方向の変位を、Ｘ方向変位吸収部３０、８０にて吸収することができる。   Further, when the component mounting operation is continuously performed in the component mounting apparatus 1, the use environment temperature increases (for example, increases by about 20 ° C. from normal temperature). As the use environment temperature rises, the first X beam 10 and the second X beam 60 thermally expand, and extend in the X direction by, for example, about 0.2 to 0.3 mm (a displacement amount in the X direction). . Thus, even in the case where the X beams 10 and 60 are expanded or contracted due to heat, the X direction displacement absorbing portions 30 and 80 absorb the displacement in the X direction of the X beams 10 and 60. Can do.

よって、部品実装装置１において、一方の実装ヘッドまたはＸビームに生じる振動が、他方の実装ヘッドまたはＸビームに伝達されることを、比較的簡単な構造にて、抑制することができ、部品の実装精度を向上させることができる。   Therefore, in the component mounting apparatus 1, it is possible to suppress the vibration generated in one mounting head or X beam from being transmitted to the other mounting head or X beam with a relatively simple structure. Mounting accuracy can be improved.

さらに、部品実装装置１において、使用環境温度が変化するような場合であっても、それぞれのＸビームの熱膨張・収縮量を吸収することができ、部品の実装精度を向上させることができる。   Furthermore, in the component mounting apparatus 1, even when the usage environment temperature changes, the thermal expansion / contraction amount of each X beam can be absorbed, and the mounting accuracy of the components can be improved.

（第２実施形態）
なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その他種々の態様で実施できる。例えば、本発明の第２の実施形態にかかる部品実装装置が備える第１Ｘ方向変位吸収部１３０の構成を図６の模式斜視図に示す。なお、上記第１実施形態の部品実装装置１が備える各構成部材と実質的に同じ構成部材には、同じ参照番号を付して、その説明を省略する。なお、第２Ｘ方向変位吸収部（図示せず）の構成は、第１Ｘ方向変位吸収部１３０の構成と実質的に同じである。 (Second Embodiment)
In addition, this invention is not limited to the said embodiment, It can implement with another various aspect. For example, the schematic perspective view of FIG. 6 shows the configuration of the first X-direction displacement absorber 130 provided in the component mounting apparatus according to the second embodiment of the present invention. In addition, the same reference number is attached | subjected to the substantially same component as each component with which the component mounting apparatus 1 of the said 1st Embodiment is provided, and the description is abbreviate | omitted. The configuration of the second X-direction displacement absorber (not shown) is substantially the same as the configuration of the first X-direction displacement absorber 130.

図６に示すように、本第２実施形態の部品実装装置では、図１に示すように第１Ｘビーム１０の両端部１１（１１Ａ、１１Ｂ）は、Ｙビーム２０（２０Ａ、２０Ｂ）の側面部にて支持されるのではなく、Ｙビーム２０の上面部にて支持されている点において、上記第１実施形態と異なる構成が採用されている。具体的には、第１Ｘ方向変位吸収部１３０において、ブロック３１はその側面が、スライダーブロック１３１に固定されている。このスライダーブロック１３１は、Ｙ方向に進退移動可能にＹビーム２０Ｂに支持されており、その下面にＬＭブロック１３３が配置されるとともに、Ｙビーム２０Ｂの上面にＬＭレール１２１が配置されている。   As shown in FIG. 6, in the component mounting apparatus of the second embodiment, as shown in FIG. 1, both end portions 11 (11A, 11B) of the first X beam 10 are side portions of the Y beam 20 (20A, 20B). The configuration different from that of the first embodiment is adopted in that it is supported by the upper surface portion of the Y beam 20 instead of being supported by the first embodiment. Specifically, in the first X-direction displacement absorber 130, the side surface of the block 31 is fixed to the slider block 131. The slider block 131 is supported by the Y beam 20B so as to be movable back and forth in the Y direction. The LM block 133 is disposed on the lower surface of the slider block 131, and the LM rail 121 is disposed on the upper surface of the Y beam 20B.

このような構成では、第１Ｘビーム１０において振動が生じた場合に、支持プレート３２（第１支持部３２Ａ）をＸ方向に弾性変形させることで、ＬＭブロック１３３とＬＭレール１２１との係合部分に伝達されるＸ方向の振動量を低減させることができる。   In such a configuration, when vibration occurs in the first X beam 10, the engagement portion between the LM block 133 and the LM rail 121 is obtained by elastically deforming the support plate 32 (first support portion 32 </ b> A) in the X direction. The amount of vibration in the X direction transmitted to can be reduced.

（第３実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態にかかる部品実装装置が備える第１Ｘ方向変位吸収部２３０の模式斜視図を図７に示す。なお、第２Ｘ方向変位吸収部（図示せず）の構成は、第１Ｘ方向変位吸収部２３０の構成と実質的に同じである。 (Third embodiment)
Next, FIG. 7 shows a schematic perspective view of the first X-direction displacement absorbing portion 230 provided in the component mounting apparatus according to the third embodiment of the present invention. The configuration of the second X-direction displacement absorber (not shown) is substantially the same as the configuration of the first X-direction displacement absorber 230.

図７に示すように、本第３実施形態の第１Ｘ方向変位吸収部２３０は、支持プレート３２（第１支持部３２Ａ）のＹ方向の両端部３２ｂを支持するブロック（薄板支持部）として、ＸＹ平面において大略Ｘ字形状の断面を有するＸブロック２３１を備えている点において、上記それぞれの実施形態とは異なる構成を有している。   As shown in FIG. 7, the first X-direction displacement absorbing portion 230 of the third embodiment is a block (thin plate support portion) that supports both end portions 32b of the support plate 32 (first support portion 32A) in the Y direction. In the point provided with the X block 231 which has a substantially X-shaped cross section in XY plane, it has a different structure from said each embodiment.

図７に示すように、Ｘブロック２３１は、大略Ｘ字形状の断面における互いに離間された両端部を支持端部２３１ａとして、支持プレート３２の両端部３２ｂを支持している。さらにＸブロック２３１において、両支持端部２３１ａの間の空間が変位吸収用空間Ｓとなっており、この変位吸収用空間Ｓは、Ｚ方向において開放されている。   As shown in FIG. 7, the X block 231 supports both end portions 32b of the support plate 32 with both end portions spaced apart from each other in a substantially X-shaped cross section as support end portions 231a. Further, in the X block 231, a space between both support end portions 231 a is a displacement absorption space S, and the displacement absorption space S is open in the Z direction.

このような構成により、第１Ｘビーム１０のＸ方向における変位（すなわち振動）を、支持プレート３２の弾性変形に加えて、Ｘブロック２３１の弾性変形によっても吸収することが可能となる。したがって、第１Ｘビーム１０に生じた振動を効果的に吸収することができる。   With such a configuration, the displacement (that is, vibration) of the first X beam 10 in the X direction can be absorbed not only by the elastic deformation of the support plate 32 but also by the elastic deformation of the X block 231. Therefore, vibration generated in the first X beam 10 can be effectively absorbed.

なお、上述のそれぞれの実施形態では、本発明の振動吸収部の様々な形態の例について説明したが、振動吸収部の構成としてはその他様々な構成を採用することができる。   In each of the above-described embodiments, examples of various forms of the vibration absorbing unit of the present invention have been described, but various other configurations can be adopted as the configuration of the vibration absorbing unit.

例えば、Ｘ方向変位吸収部における変位吸収用空間Ｓ内に振動吸収剤（ゲル剤など）を配置することにより、Ｘ方向変位吸収部における振動吸収効果をさらに高めることもできる。   For example, the vibration absorbing effect in the X-direction displacement absorbing portion can be further enhanced by disposing a vibration absorbing agent (gel agent or the like) in the displacement absorbing space S in the X-direction displacement absorbing portion.

また、薄板を用いた構成を有するＸ方向変位吸収部に変えて、Ｘビームの端部の支持位置をＸ方向に変位可能にＹビームに支持させるような摺動ガイドを用いてＸ方向変位吸収部を構成することもできる。ただし、薄板も用いた構成を採用することで、Ｘビームの残留振動を効果的に低減できる。   Further, instead of the X-direction displacement absorbing portion having a configuration using a thin plate, the X-direction displacement absorbing portion is supported by using a slide guide that supports the Y beam so that the support position of the end portion of the X beam can be displaced in the X direction. The part can also be configured. However, the residual vibration of the X beam can be effectively reduced by adopting a configuration using a thin plate.

また、第１Ｘビーム１０に設けられる第１Ｘ方向変位吸収部３０と、第２Ｘビーム６０に設けられる第２Ｘビーム変位吸収部８０とが、実質的に同じ構造を有している場合を例として説明したが、Ｘビームに生じた振動を吸収する機能を有する構造であれば、互いに異なる構造の変位吸収部を設けても良い。   Further, the case where the first X-direction displacement absorber 30 provided in the first X beam 10 and the second X-beam displacement absorber 80 provided in the second X beam 60 have substantially the same structure will be described as an example. However, as long as the structure has a function of absorbing vibration generated in the X beam, a displacement absorbing portion having a different structure may be provided.

なお、上記様々な実施形態のうちの任意の実施形態を適宜組み合わせることにより、それぞれの有する効果を奏するようにすることができる。   It is to be noted that, by appropriately combining arbitrary embodiments of the various embodiments described above, the effects possessed by them can be produced.

１ 部品実装装置
２ 吸着ノズル
３ 第１実装ヘッド
４ 基台
５ 基板
６ 基板保持テーブル
７ 基板搬送部
８ 部品供給部
１０ 第１Ｘビーム
１１Ａ 基準側端部
１１Ｂ 変位側端部
２０、２０Ａ、２０Ｂ Ｙビーム
２１ ＬＭレール
３０ 第１Ｘ方向変位吸収部
３１ ブロック
３１ａ 支持端部
３２ 支持プレート（第１支持部３２Ａ、第２支持部３２Ｂの一例）
３２ａ 支持面
３２ｂ 端部
３３ ＬＭブロック
５３ 第２実装ヘッド
６０ 第２Ｘビーム
６１Ａ 基準側端部
６１Ｂ 変位側端部
８０ 第２Ｘ方向変位吸収部
Ｓ 変位吸収用空間 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Component mounting apparatus 2 Suction nozzle 3 1st mounting head 4 Base 5 Substrate 6 Substrate holding table 7 Substrate conveyance part 8 Component supply part 10 1st X beam 11A Reference | standard side edge 11B Displacement side edge 20, 20A, 20B Y beam 21 LM rail 30 1st X direction displacement absorption part 31 Block 31a Support end part 32 Support plate (an example of 1st support part 32A, 2nd support part 32B)
32a Support surface 32b End 33 LM block 53 Second mounting head 60 Second X beam 61A Reference side end 61B Displacement side end 80 Second X direction displacement absorber S Displacement absorption space

Claims (8)

部品を保持して基板上に実装する第１実装ヘッドおよび第２実装ヘッドと、
基板の表面沿いの方向であるＸ方向に移動可能に、第１実装ヘッドを支持する第１Ｘビームと、
基板の表面沿いの方向であるＸ方向に移動可能に、第２実装ヘッドを支持する第２Ｘビームと、
基板の表面沿いの方向でありかつＸ方向と直交するＹ方向に移動可能に、第１Ｘビームおよび第２Ｘビームの両端側を支持する一対のＹビームと、
Ｙ方向に移動可能に一方のＹビームに支持されかつ第１Ｘビームの一端側を支持する第１支持部を有し、第１支持部による第１Ｘビームの支持位置をＸ方向に変位させることで第１ＸビームのＸ方向の振動を吸収する第１振動吸収部と、
Ｙ方向に移動可能に他方のＹビームに支持されかつ第２Ｘビームの一端側を支持する第２支持部を有し、第２支持部による第２Ｘビームの支持位置をＸ方向に変位させることで第２ＸビームのＸ方向の振動を吸収する第２振動吸収部とを備える、部品実装装置。 A first mounting head and a second mounting head for holding a component and mounting the component on a substrate;
A first X beam supporting the first mounting head so as to be movable in an X direction which is a direction along the surface of the substrate;
A second X beam that supports the second mounting head so as to be movable in an X direction that is a direction along the surface of the substrate;
A pair of Y beams supporting both ends of the first X beam and the second X beam so as to be movable in a Y direction that is along the surface of the substrate and perpendicular to the X direction;
By having a first support portion supported by one Y beam so as to be movable in the Y direction and supporting one end side of the first X beam, the support position of the first X beam by the first support portion is displaced in the X direction. A first vibration absorber that absorbs vibration in the X direction of the first X beam;
By having a second support part supported by the other Y beam so as to be movable in the Y direction and supporting one end side of the second X beam, the support position of the second X beam by the second support part is displaced in the X direction. A component mounting apparatus comprising: a second vibration absorbing unit that absorbs vibration in the X direction of the second X beam. 第１および第２振動吸収部において、Ｙ方向の剛性がＸ方向の剛性よりも高くなるように、第１および第２支持部が形成されている、請求項１に記載の部品実装装置。   The component mounting apparatus according to claim 1, wherein in the first and second vibration absorbing parts, the first and second support parts are formed such that the rigidity in the Y direction is higher than the rigidity in the X direction. 第１振動吸収部は、第１Ｘビームの一端側を支持する第１支持部としてＹ方向沿いの支持面を有し、当該支持面をＸ方向に変位させることで第１ＸビームのＸ方向の振動を吸収する第１変位吸収部であり、
第２振動吸収部は、第２Ｘビームの一端側を支持する第２支持部としてＹ方向沿いの支持面を有し、当該支持面をＸ方向に変位させることで第２ＸビームのＸ方向の振動を吸収する第２変位吸収部である、請求項１または２に記載の部品実装装置。 The first vibration absorber has a support surface along the Y direction as a first support portion that supports one end of the first X beam, and the first X beam is vibrated in the X direction by displacing the support surface in the X direction. A first displacement absorber that absorbs
The second vibration absorption unit has a support surface along the Y direction as a second support unit that supports one end of the second X beam, and the second X beam is vibrated in the X direction by displacing the support surface in the X direction. The component mounting apparatus according to claim 1, wherein the component mounting apparatus is a second displacement absorbing portion that absorbs the noise. 第１および第２変位吸収部は、
第１または第２Ｘビームの一端側を支持するＹ方向沿いの支持面を有する薄板と、
薄板のＹ方向における両端部を支持する薄板支持部とを備え、
Ｘ方向において薄板を弾性変形させることにより、第１または第２ＸビームのＸ方向の変位を吸収する、請求項３に記載の部品実装装置。 The first and second displacement absorbing parts are
A thin plate having a support surface along the Y direction that supports one end of the first or second X beam;
A thin plate support portion for supporting both ends of the thin plate in the Y direction,
The component mounting apparatus according to claim 3, wherein the displacement of the first or second X beam in the X direction is absorbed by elastically deforming the thin plate in the X direction. 第１および第２変位吸収部は、薄板の支持面の反対側に、Ｘ方向における薄板の弾性変形を許容する変位吸収用空間を備える、請求項４に記載の部品実装装置。   5. The component mounting apparatus according to claim 4, wherein the first and second displacement absorbing portions include a displacement absorbing space that allows elastic deformation of the thin plate in the X direction on the opposite side of the support surface of the thin plate. 第１および第２変位吸収部において、Ｘ方向沿いかつＹ方向沿いのＸＹ平面における薄板支持部の断面がＸ字形状であり、薄板支持部のＸ形状の断面における互いに離間された両端部にて、Ｙ方向における薄板の両端部が支持される、請求項４または５に記載の部品実装装置。   In the first and second displacement absorbing portions, the cross section of the thin plate support portion in the XY plane along the X direction and along the Y direction is X-shaped, and at both end portions spaced apart from each other in the X shape cross section of the thin plate support portion The component mounting apparatus according to claim 4, wherein both end portions of the thin plate in the Y direction are supported. 変位吸収用空間が、Ｘ方向およびＹ方向に直交するＺ方向において開放されている、請求項５に記載の部品実装装置。   The component mounting apparatus according to claim 5, wherein the displacement absorbing space is opened in a Z direction orthogonal to the X direction and the Y direction. 部品を保持して基板上に実装する第１および第２実装ヘッドと、基板の表面沿いの方向であるＸ方向に移動可能に、第１および第２実装ヘッドをそれぞれ支持する第１および第２Ｘビームと、基板の表面沿いの方向でありかつＸ方向と直交するＹ方向に移動可能に、第１および第２Ｘビームの両端側を支持する一対のＹビームとを備える部品実装装置において、
一方のＹビームに第１支持部を介在させて第１Ｘビームの一端を支持させるとともに、他方のＹビームに第２支持部を介在させて第２Ｘビームの一端を支持させて、第１支持部による第１Ｘビームの支持位置をＸ方向に変位させることにより、第１Ｘビームより第１支持部を介して一方のＹビームに伝達される振動を抑制するとともに、第２支持部による第２Ｘビームの支持位置をＸ方向に変位させることにより、第２Ｘビームより第２支持部を介して他方のＹビームに伝達される振動を抑制して、第１実装ヘッドと第２実装ヘッドとの間の相互の振動影響を低減させる、部品実装装置における振動抑制方法。 First and second mounting heads for holding components and mounting on the substrate, and first and second Xs for supporting the first and second mounting heads, respectively, so as to be movable in the X direction along the surface of the substrate In a component mounting apparatus comprising: a beam; and a pair of Y beams that support both ends of the first and second X beams so as to be movable in a Y direction that is along the surface of the substrate and perpendicular to the X direction.
One end of the first X beam is supported by interposing a first support portion in one Y beam, and one end of the second X beam is supported by interposing a second support portion in the other Y beam. By displacing the support position of the first X beam by X in the X direction, vibration transmitted from the first X beam to one Y beam through the first support portion is suppressed, and the second X beam by the second support portion is suppressed. By displacing the support position in the X direction, vibration transmitted from the second X beam to the other Y beam via the second support portion is suppressed, and the mutual between the first mounting head and the second mounting head is suppressed. A method for suppressing vibrations in a component mounting apparatus, which reduces the influence of vibrations.

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