JP2011177620A - Droplet discharge head - Google Patents

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JP2011177620A JP2010042508A JP2010042508A JP2011177620A JP 2011177620 A JP2011177620 A JP 2011177620A JP 2010042508 A JP2010042508 A JP 2010042508A JP 2010042508 A JP2010042508 A JP 2010042508A JP 2011177620 A JP2011177620 A JP 2011177620A
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Sho Onozawa
祥 小野澤
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a droplet discharge head which can prevent generation of crosstalk. <P>SOLUTION: A first common supply passage CS1 and a second common supply passage CS2 are disposed along the arrangement direction of pressure chambers PC1, PC2, .... The pressure chambers of odd numbers PC1, PC3, ... communicate with the first common supply passage CS1 through individual supply passages, and the pressure chambers of even numbers PC2, PC4, ... communicate with the second common supply passage CS2 through individual supply passages, whereby the adjacent pressure chambers communicate with different common supply passages to prevent a pressure wave from being transmitted to the adjacent pressure chamber through the common supply passage. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、液滴吐出ヘッドに係り、特に共通流路から各圧力室に液体が供給される液滴吐出ヘッドに関する。   The present invention relates to a droplet discharge head, and more particularly to a droplet discharge head in which liquid is supplied from a common flow path to each pressure chamber.

共通流路から各圧力室に液体を供給する構成の液滴吐出ヘッドでは、ノズルを高密度に配置すると、圧力室の圧力波が、共通流路を介して近接した圧力室に伝播し、インクの吐出が不安定になるという問題がある(クロストーク)。   In a droplet discharge head configured to supply liquid to each pressure chamber from a common flow path, when nozzles are arranged at high density, the pressure waves in the pressure chamber propagate to the adjacent pressure chambers via the common flow path, and ink There is a problem that the discharge of water becomes unstable (crosstalk).

このようなクロストークの発生を抑制する技術として、特許文献1には、圧力室と共通流路との断面形状を三角形状とし、水平方向に対して互いに倒置させる配置とすることが記載されている。また、特許文献2には、共通流路の容積を圧力室の容積の総和の2倍以上に設定することにより、クロストークの発生を防止する技術が記載されている。さらに、特許文献3、4には、共通流路にエアダンパや圧力吸収体などの圧力緩衝手段を付与することが記載されている。   As a technique for suppressing the occurrence of such crosstalk, Patent Document 1 describes that the cross-sectional shape of the pressure chamber and the common flow path is a triangular shape and is arranged so as to be inverted with respect to the horizontal direction. Yes. Patent Document 2 describes a technique for preventing the occurrence of crosstalk by setting the volume of the common flow path to be not less than twice the total volume of the pressure chambers. Further, Patent Documents 3 and 4 describe that a pressure buffering means such as an air damper or a pressure absorber is provided to the common flow path.

特開2002−370351号公報JP 2002-370351 A 特開昭56−75863号公報JP-A-56-75863 特開昭52−49034号公報JP 52-49034 A 特開平9−141864号公報JP-A-9-141864

しかしながら、上記特許文献1、2に記載された技術は、圧力室及び共通流路の形状を最適化したものに過ぎず、根本的なクロストークの問題の解決には至っていない。   However, the techniques described in Patent Documents 1 and 2 are merely optimizations of the shape of the pressure chamber and the common flow path, and have not yet solved the fundamental crosstalk problem.

一方、特許文献3、4に記載された技術は、部品点数が増加するとともに、構造が複雑になるという欠点がある。   On the other hand, the techniques described in Patent Documents 3 and 4 have drawbacks that the number of parts increases and the structure becomes complicated.

この他、共通流路から各圧力室に液体を導入する個別流路を最適化することも考えられるが、クロストークの発生を抑制するために、個別流路を最適化すると、リフィル性能(ノズル先端にインクを再充填する性能)が悪化するという問題がある。   In addition, it is conceivable to optimize the individual flow path for introducing the liquid from the common flow path to each pressure chamber. However, if the individual flow path is optimized to suppress the occurrence of crosstalk, the refill performance (nozzle There is a problem that the performance of refilling the ink with the tip deteriorates.

本発明は、このような事情に鑑みてなされたもので、クロストークの発生を防止できる液滴吐出ヘッドを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and an object of the present invention is to provide a droplet discharge head capable of preventing the occurrence of crosstalk.

請求項1に係る発明は、前記目的を達成するために、圧力室の容積をアクチュエータで膨張・収縮させて、前記圧力室に連通されたノズルから前記圧力室に貯留された液体の液滴を吐出させる液体吐出ヘッドであって、所定の配列方向に沿って前記圧力室が一定ピッチで複数配置されるとともに、前記圧力室の配列方向に沿って共通供給流路が配置され、該共通供給流路に連通された個別供給流路を介して前記各圧力室に前記液体が供給される液体吐出ヘッドにおいて、前記圧力室の配列方向に沿って前記共通供給流路が複数配置され、隣り合う前記圧力室が、前記個別供給流路を介して異なる共通供給流路に連通されることを特徴とする液滴吐出ヘッドを提供する。   In order to achieve the above-mentioned object, the invention according to claim 1 allows the volume of the pressure chamber to be expanded / contracted by an actuator, so that liquid droplets stored in the pressure chamber are discharged from a nozzle connected to the pressure chamber. A liquid discharge head for discharging, wherein a plurality of the pressure chambers are arranged at a constant pitch along a predetermined arrangement direction, and a common supply flow path is arranged along the arrangement direction of the pressure chambers. In the liquid discharge head in which the liquid is supplied to the pressure chambers via the individual supply flow paths communicated with a path, a plurality of the common supply flow paths are arranged along the arrangement direction of the pressure chambers, and the adjacent There is provided a droplet discharge head characterized in that a pressure chamber communicates with a different common supply channel via the individual supply channel.

本発明によれば、圧力室の配列方向に沿って複数の共通供給流路が配置され、隣り合う圧力室が個別供給流路を介して異なる共通供給流路に連通される。これにより、共通流路を介して近接した圧力室に圧力波が伝播するのを防止でき、クロストークの発生を防止することができる。   According to the present invention, a plurality of common supply channels are arranged along the direction in which the pressure chambers are arranged, and adjacent pressure chambers communicate with different common supply channels via the individual supply channels. Thereby, it is possible to prevent the pressure wave from propagating to the pressure chambers close to each other through the common flow path, and to prevent the occurrence of crosstalk.

請求項2に係る発明は、前記目的を達成するために、前記複数の共通供給流路は、1つの流路の内部を上下複数の層に分割して形成されることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。   The invention according to claim 2 is characterized in that, in order to achieve the object, the plurality of common supply flow paths are formed by dividing the inside of one flow path into a plurality of upper and lower layers. A droplet discharge head described in 1 is provided.

本発明によれば、1つの流路の内部を上下複数の層に分割して、複数の共通供給流路が形成される。これにより、共通供給流路の設置に要するスペースをコンパクト化することができる。   According to the present invention, a plurality of common supply channels are formed by dividing the inside of one channel into a plurality of upper and lower layers. Thereby, the space required for installation of the common supply channel can be made compact.

請求項3に係る発明は、前記目的を達成するために、前記1つの流路を形成する基板を上下に複数分割し、分割した各基板の間に分離プレートを配置することにより、前記一つの流路の内部が上下複数の層に分割されることを特徴とする請求項2に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。   In order to achieve the above object, the invention according to claim 3 divides the substrate forming the one flow path into a plurality of parts, and disposes a separation plate between the divided substrates. The droplet discharge head according to claim 2, wherein the inside of the flow path is divided into a plurality of upper and lower layers.

本発明によれば、1つの流路を形成する基板を上下に複数分割し、分割した各基板の間に分離プレートを配置することにより、一つの流路の内部が上下複数の層に分割されて、複数の共通供給流路が形成される。これにより、簡単に複数の共通供給流路を形成することができる。   According to the present invention, the substrate forming one flow path is divided into a plurality of parts, and the inside of one flow path is divided into a plurality of upper and lower layers by disposing a separation plate between the divided substrates. Thus, a plurality of common supply channels are formed. Thereby, a some common supply flow path can be formed easily.

請求項4に係る発明は、前記目的を達成するために、前記各個別供給流路の容積が同じに形成されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。   The invention according to claim 4 is characterized in that, in order to achieve the object, the volumes of the individual supply channels are formed to be the same. A discharge head is provided.

本発明によれば、各個別供給流路の容積が同じに形成される。これにより、各ノズル間で吐出性能にバラツキが生じるのを防止でき、より安定した吐出が可能になる。   According to the present invention, the volumes of the individual supply channels are formed to be the same. Thereby, it is possible to prevent the discharge performance from being varied between the nozzles, and more stable discharge is possible.

請求項5に係る発明は、前記目的を達成するために、圧力室の容積をアクチュエータで膨張・収縮させて、前記圧力室に連通されたノズルから前記圧力室に貯留された液体の液滴を吐出させる液体吐出ヘッドであって、所定の配列方向に沿って前記圧力室が一定ピッチで複数配置されるとともに、前記圧力室の配列方向に沿って共通供給流路と共通回収流路とが配置され、前記共通供給流路に連通された個別供給流路を介して前記各圧力室に前記液体が供給されるともに、前記共通回収流路に連通された個別回収流路を介して前記各圧力室内の前記液体が回収されて、前記圧力室に前記液体が循環供給される液体吐出ヘッドにおいて、前記圧力室の配列方向に沿って前記共通供給流路が複数配置され、隣り合う前記圧力室が、前記個別供給流路を介して異なる共通供給流路に連通されるとともに、前記圧力室の配列方向に沿って前記共通回収流路が複数配置され、隣り合う前記圧力室が、前記個別回収流路を介して異なる共通回収流路に連通されることを特徴とする液滴吐出ヘッドを提供する。   According to a fifth aspect of the present invention, in order to achieve the above object, the volume of the pressure chamber is expanded and contracted by an actuator, and a liquid droplet stored in the pressure chamber is discharged from a nozzle communicated with the pressure chamber. A liquid discharge head for discharging, wherein a plurality of the pressure chambers are arranged at a constant pitch along a predetermined arrangement direction, and a common supply channel and a common recovery channel are arranged along the arrangement direction of the pressure chambers The liquid is supplied to the pressure chambers via the individual supply channels communicated with the common supply channel, and the pressures are supplied via the individual recovery channels communicated with the common recovery channel. In the liquid discharge head in which the liquid in the chamber is collected and the liquid is circulated and supplied to the pressure chamber, a plurality of the common supply flow paths are arranged along the arrangement direction of the pressure chambers, and the adjacent pressure chambers The individual supply flow And a plurality of common recovery channels are arranged along the arrangement direction of the pressure chambers, and the adjacent pressure chambers are different from each other through the individual recovery channels. Provided is a droplet discharge head that is communicated with a recovery channel.

本発明によれば、圧力室の配列方向に沿って複数の共通供給流路と複数の共通回収流路が配置され、隣り合う圧力室が、個別供給流路を介して異なる共通供給流路に連通されるとともに、個別回収流路を介して異なる共通回収流路に連通される。これにより、共通流路を介して近接した圧力室に圧力波が伝播するのを防止でき、クロストークの発生を防止することができる。   According to the present invention, a plurality of common supply channels and a plurality of common recovery channels are arranged along the arrangement direction of the pressure chambers, and adjacent pressure chambers are connected to different common supply channels via the individual supply channels. In addition to being communicated, it communicates with different common recovery channels via individual recovery channels. Thereby, it is possible to prevent the pressure wave from propagating to the pressure chambers close to each other through the common flow path, and to prevent the occurrence of crosstalk.

請求項6に係る発明は、前記目的を達成するために、前記複数の共通供給流路と前記複数の共通回収流路は、ともに1つの流路の内部を上下複数の層に分割して形成されることを特徴とする請求項5に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。   According to a sixth aspect of the present invention, in order to achieve the above object, the plurality of common supply channels and the plurality of common recovery channels are both formed by dividing the inside of one channel into a plurality of upper and lower layers. The droplet discharge head according to claim 5 is provided.

本発明によれば、複数の共通供給流路と複数の共通回収流路とが、ともに1つの流路の内部を上下複数の層に分割して形成される。これにより、共通供給流路及び共通回収流路の設置に要するスペースをコンパクト化することができる。   According to the present invention, the plurality of common supply channels and the plurality of common recovery channels are both formed by dividing the inside of one channel into upper and lower layers. Thereby, the space required for installation of the common supply channel and the common recovery channel can be made compact.

請求項7に係る発明は、前記目的を達成するために、前記1つの流路を形成する基板を上下に複数分割し、分割した各基板の間に分離プレートを配置することにより、前記一つの流路の内部が上下複数の層に分割されることを特徴とする請求項6に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。   In order to achieve the above object, the invention according to claim 7 divides the substrate forming the one flow path into a plurality of parts, and disposes the one plate by arranging a separation plate between the divided substrates. The droplet discharge head according to claim 6, wherein the inside of the flow path is divided into a plurality of upper and lower layers.

本発明によれば、1つの流路を形成する基板を上下に複数分割し、分割した各基板の間に分離プレートを配置することにより、一つの流路の内部が上下複数の層に分割されて、複数の共通供給流路が形成される。同様に、1つの流路を形成する基板を上下に複数分割し、分割した各基板の間に分離プレートを配置することにより、一つの流路の内部が上下複数の層に分割されて、複数の共通回収流路が形成される。これにより、簡単に複数の共通供給流路、共通回収流路を形成することができる。   According to the present invention, the substrate forming one flow path is divided into a plurality of parts, and the inside of one flow path is divided into a plurality of upper and lower layers by disposing a separation plate between the divided substrates. Thus, a plurality of common supply channels are formed. Similarly, the substrate forming one flow path is divided into a plurality of upper and lower parts, and a separation plate is disposed between the divided substrates, whereby the inside of one flow path is divided into a plurality of upper and lower layers. The common recovery flow path is formed. Thus, a plurality of common supply channels and common recovery channels can be easily formed.

請求項8に係る発明は、前記目的を達成するために、同じ圧力室に連通される前記個別供給流路と前記個別回収流路は、同じ階層の共通供給流路と共通回収流路に連通されることを特徴とする請求項6〜7のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。   According to an eighth aspect of the present invention, in order to achieve the object, the individual supply channel and the individual recovery channel communicated with the same pressure chamber communicate with the common supply channel and the common recovery channel at the same level. A droplet discharge head according to any one of claims 6 to 7 is provided.

本発明によれば、同じ圧力室に連通される個別供給流路と個別回収流路とが、同じ階層の共通供給流路と共通回収流路に連通される。これにより、水頭差の拡大を回避でき、各ノズルで吐出性能にバラツキが生じるのを防止できる。   According to the present invention, the individual supply channel and the individual recovery channel communicated with the same pressure chamber are communicated with the common supply channel and the common recovery channel at the same level. Thereby, the expansion of the water head difference can be avoided, and it is possible to prevent the discharge performance from being varied among the nozzles.

請求項9に係る発明は、前記目的を達成するために、前記各個別供給流路の容積が同じに形成されるとともに、前記各個別回収流路の容積が同じに形成されることを特徴とする請求項5〜8のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。   The invention according to claim 9 is characterized in that, in order to achieve the object, the volumes of the individual supply channels are formed to be the same, and the volumes of the individual recovery channels are formed to be the same. A droplet discharge head according to any one of claims 5 to 8 is provided.

本発明によれば、各個別供給流路の容積が同じに形成されるとともに、各個別回収流路の容積が同じに形成される。これにより、各ノズル間で吐出性能にバラツキが生じるのを防止でき、より安定した吐出が可能になる。   According to the present invention, the volumes of the individual supply channels are formed to be the same, and the volumes of the individual recovery channels are formed to be the same. Thereby, it is possible to prevent the discharge performance from being varied between the nozzles, and more stable discharge is possible.

請求項10に係る発明は、前記目的を達成するために、所定の配列方向に沿って一定ピッチで複数配置された前記圧力室の列が、一定方向に一定ピッチで複数配列されることを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッドを提供する。   In order to achieve the object, the invention according to claim 10 is characterized in that a plurality of rows of the pressure chambers arranged at a constant pitch along a predetermined arrangement direction are arranged at a constant pitch in a fixed direction. A droplet discharge head according to any one of claims 1 to 9 is provided.

本発明によれば、圧力室がマトリクス状に配置される。これにより、ノズルの高密度化を図ることができる。   According to the present invention, the pressure chambers are arranged in a matrix. Thereby, the density of the nozzle can be increased.

本発明によれば、クロストークの発生を防止できる。   According to the present invention, occurrence of crosstalk can be prevented.

本発明に係る液滴吐出ヘッドの第1の実施の形態の底面図The bottom view of 1st Embodiment of the droplet discharge head which concerns on this invention 図1の2−2断面図2-2 sectional view of FIG. 図1の3−3断面図3-3 sectional view of FIG. 図2、図3の4−4断面図4-4 sectional view of FIGS. 2 and 3 図2、図3の5−5断面図2-5 cross-sectional view of FIG. 図2、図3の6−6断面図6-6 sectional view of FIGS. 2 and 3 第1の実施の形態の液滴吐出ヘッドにおける各圧力室と共通供給流路との連通関係を示す概念図The conceptual diagram which shows the communication relationship between each pressure chamber and the common supply flow path in the droplet discharge head of 1st Embodiment. 本発明に係る液滴吐出ヘッドの他の実施の形態の断面図Sectional drawing of other embodiment of the droplet discharge head based on this invention 図8に示した他の実施の形態の液滴吐出ヘッドにおける各圧力室と共通供給流路との連通関係を示す概念図FIG. 8 is a conceptual diagram showing a communication relationship between each pressure chamber and a common supply channel in the droplet discharge head according to another embodiment shown in FIG. 本発明に係る液滴吐出ヘッドの第2の実施の形態の底面図The bottom view of 2nd Embodiment of the droplet discharge head which concerns on this invention 図10の11−11断面図11-11 sectional view of FIG. 図10の12−12断面図12-12 sectional view of FIG. 第2の実施の形態の液滴吐出ヘッドにおける各圧力室と共通供給流路及び共通回収流路との連通関係を示す概念図The conceptual diagram which shows the communication relationship between each pressure chamber, the common supply flow path, and the common collection | recovery flow path in the droplet discharge head of 2nd Embodiment. 本発明に係る液滴吐出ヘッドの第3の実施の形態の底面図The bottom view of 3rd Embodiment of the droplet discharge head which concerns on this invention 第3の実施の形態の液滴吐出ヘッドにおける各圧力室と共通供給流路及び共通回収流路との連通関係を示す概念図The conceptual diagram which shows the communication relationship between each pressure chamber in the droplet discharge head of 3rd Embodiment, a common supply flow path, and a common collection | recovery flow path.

以下、添付図面に従って本発明に係る液滴吐出ヘッドの好ましい実施の形態について詳説する。   Hereinafter, preferred embodiments of a droplet discharge head according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

《第1の実施の形態》
[構成]
図1は、本発明に係る液滴吐出ヘッドの第1の実施の形態の底面図である。
<< First Embodiment >>
[Constitution]
FIG. 1 is a bottom view of a first embodiment of a droplet discharge head according to the present invention.

同図に示すように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド10は、矩形状に形成され、その底面部にはノズル面10Aが形成される。ノズル面10Aには、その長手方向に沿って一定ピッチで多数のノズルN1、N2、…が形成されている。   As shown in the figure, the droplet discharge head 10 of the present embodiment is formed in a rectangular shape, and a nozzle surface 10A is formed on the bottom surface thereof. A large number of nozzles N1, N2,... Are formed on the nozzle surface 10A at a constant pitch along the longitudinal direction.

各ノズルN1、N2、…、Nn(nは2の倍数)は、それぞれノズル流路NC1、NC2、…、NCn(図2、図3参照)を介して圧力室PC1、PC2、…に連通され、この圧力室PC1、PC2、…、PCnの容積を圧電素子PZ1、PZ2、…、PZn(図2、図3参照)で膨張・収縮させることにより、各ノズルN1、N2、…から液滴が吐出される。   Each of the nozzles N1, N2,..., Nn (n is a multiple of 2) is communicated with the pressure chambers PC1, PC2,... Via the nozzle channels NC1, NC2, ..., NCn (see FIGS. 2 and 3), respectively. By expanding and contracting the volume of the pressure chambers PC1, PC2,..., PCn with piezoelectric elements PZ1, PZ2,..., PZn (see FIGS. 2 and 3), droplets are generated from the nozzles N1, N2,. Discharged.

各圧力室PC1、PC2、…、PCnは、それぞれ個別供給流路IS1、IS2、…、ISnを介して第1共通供給流路CS1又は第2共通供給流路CS2に連通されている(奇数番の圧力室PC1、PC3、…、PCn−1が第1共通供給流路CS1に連通され、偶数番の圧力室PC2、PC4、…、PCnが第2共通供給流路CS2に連通されている。)。各圧力室PC1、PC2、…、PCnは、この第1共通供給流路CS1又は第2共通供給流路CS2から個別供給流路IS1、IS2、…、ISnを介して液体が供給される。   Each of the pressure chambers PC1, PC2,..., PCn communicates with the first common supply flow path CS1 or the second common supply flow path CS2 via the individual supply flow paths IS1, IS2,. , PCn-1 are connected to the first common supply flow path CS1, and the even-numbered pressure chambers PC2, PC4,..., PCn are connected to the second common supply flow path CS2. ). Each of the pressure chambers PC1, PC2,..., PCn is supplied with liquid from the first common supply channel CS1 or the second common supply channel CS2 via the individual supply channels IS1, IS2,.

この第1共通供給流路CS1と第2共通供給流路CS2は、圧力室PC1、PC2、…、PCnの配列方向(ヘッドの長手方向)に沿って配置され、上下に階層的に配置される(第1共通供給流路CS1が下段、第2共通供給流路CS2が上段に配置される。)。   The first common supply flow path CS1 and the second common supply flow path CS2 are arranged along the arrangement direction (the longitudinal direction of the head) of the pressure chambers PC1, PC2,. (The first common supply flow path CS1 is disposed at the lower stage, and the second common supply flow path CS2 is disposed at the upper stage.)

また、この第1共通供給流路CS1と第2共通供給流路CS2は、それぞれ一端(図1の上端)が、共通供給部Sに連通され、この共通供給部Sで互いに連通される。共通供給部Sには、ヘッド外部に連通された供給口SPが連通され、この供給口SPから共通供給部Sへと液体が供給される。そして、この共通供給部Sに供給された液体が、第1共通供給流路CS1と第2共通供給流路CS2に分岐して供給される。   In addition, the first common supply flow path CS1 and the second common supply flow path CS2 each have one end (the upper end in FIG. 1) communicated with the common supply section S, and the common supply section S communicates with each other. A supply port SP communicated with the outside of the head communicates with the common supply unit S, and liquid is supplied from the supply port SP to the common supply unit S. And the liquid supplied to this common supply part S branches and is supplied to 1st common supply flow path CS1 and 2nd common supply flow path CS2.

図2、図3は、それぞれ図1の2−2断面図、3−3断面図である。また、図4、図5、図6は、それぞれ、図2、図3の4−4断面図、5−5断面図、6−6断面図である。   2 and FIG. 3 are 2-2 sectional view and 3-3 sectional view of FIG. 1, respectively. 4, FIG. 5, and FIG. 6 are sectional views taken along lines 4-4, 5-5, and 6-6 of FIGS. 2 and 3, respectively.

同図に示すように、液滴吐出ヘッド10は、主として、ノズルN1、N2、…Nnが形成されたノズルプレート12と、ノズル流路NC1、NC2、…、NCnが形成されたノズル流路プレート14と、圧力室PC1、PC2、…PCnが形成された圧力室プレート16と、第1共通供給流路CS1が形成された第1共通供給流路プレート18と、第1共通供給流路CS1と第2共通供給流路CS2とを分離する分離プレート20と、圧力室PC1、PC2、…PCnの容積を膨張・収縮させる振動板22と、振動板22を変位させる圧電素子PZ1、PZ2、…、PZnと、圧力室上部プレート24と、第2共通供給流路CS2が形成された第2共通供給流路プレート26とで構成されている。   As shown in the figure, the droplet discharge head 10 mainly includes a nozzle plate 12 in which nozzles N1, N2,... Nn are formed, and a nozzle channel plate in which nozzle channels NC1, NC2,. 14, the pressure chamber plate 16 in which the pressure chambers PC1, PC2,... PCn are formed, the first common supply channel plate 18 in which the first common supply channel CS1 is formed, and the first common supply channel CS1 A separation plate 20 that separates the second common supply flow path CS2, a diaphragm 22 that expands and contracts the volume of the pressure chambers PC1, PC2,... PCn, and piezoelectric elements PZ1, PZ2,. It is composed of PZn, a pressure chamber upper plate 24, and a second common supply channel plate 26 in which a second common supply channel CS2 is formed.

ノズルプレート12は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、最下層に配置される。このノズルプレート12には、その長手方向に沿って一定ピッチでノズルN1、N2、…、Nnが多数形成される。ノズルN1、N2、…、Nnは、垂直な貫通穴として形成され、本例ではテーパ状に形成される。   The nozzle plate 12 is formed in a rectangular plate shape having a predetermined thickness, and is arranged in the lowermost layer. A number of nozzles N1, N2,..., Nn are formed on the nozzle plate 12 at a constant pitch along the longitudinal direction. The nozzles N1, N2,..., Nn are formed as vertical through holes, and are formed in a tapered shape in this example.

ノズル流路プレート14は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、ノズルプレート12の上に配置される。このノズル流路プレート14には、ノズルプレート12に形成された各ノズルN1、N2、…、Nnに対応して、ノズル流路NC1、NC2、…、NCnが一定ピッチで形成される。   The nozzle flow path plate 14 is formed in a rectangular plate shape having a predetermined thickness, and is disposed on the nozzle plate 12. In the nozzle channel plate 14, nozzle channels NC1, NC2,..., NCn are formed at a constant pitch corresponding to the nozzles N1, N2,.

ノズル流路NC1、NC2、…、NCnは、垂直な貫通穴として形成され、ノズル流路プレート14をノズルプレート12の上に接合すると、各ノズルN1、N2、…、Nnに連通される。   The nozzle channels NC1, NC2,..., NCn are formed as vertical through holes, and are communicated with the nozzles N1, N2,..., Nn when the nozzle channel plate 14 is joined onto the nozzle plate 12.

圧力室プレート16は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、第1共通供給流路プレート18と並列してノズル流路プレート14の上に配置される。この圧力室プレート16には、ノズル流路プレート14に形成された各ノズル流路NC1、NC2、…、NCnに対応して、圧力室PC1、PC2、…、PCnが一定ピッチで形成される。   The pressure chamber plate 16 is formed in a rectangular plate shape having a predetermined thickness, and is disposed on the nozzle channel plate 14 in parallel with the first common supply channel plate 18. In the pressure chamber plate 16, pressure chambers PC 1, PC 2,..., PCn are formed at a constant pitch corresponding to the nozzle channels NC 1, NC 2,.

圧力室PC1、PC2、…、PCnは、直方体状の空間として形成され、上面部及び右側面部が開口して形成される。また、下面部には、ノズル流路NC1、NC2、…、NCnの連結位置に対応して、連通穴が形成される。この連通穴は、圧力室プレート16をノズル流路プレート14の上に接合すると、ノズル流路プレート14に形成された各ノズル流路NC1、NC2、…、NCnに連通される。   The pressure chambers PC1, PC2,..., PCn are formed as a rectangular parallelepiped space, and the upper surface portion and the right side surface portion are opened. In addition, communication holes are formed in the lower surface portion corresponding to the connection positions of the nozzle channels NC1, NC2,. When the pressure chamber plate 16 is joined onto the nozzle channel plate 14, the communication holes communicate with the nozzle channels NC1, NC2,..., NCn formed in the nozzle channel plate 14.

第1共通供給流路プレート18は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、圧力室プレート16と並列してノズル流路プレート14の上に配置される。この第1共通供給流路プレート18には、上面部に第1共通供給流路CS1と、奇数番の個別供給流路IS1、IS3、…、ISn−1の一部(水平部)と、偶数番の個別供給流路IS2、IS4、…、ISnの一部(垂直部)が形成される。   The first common supply flow path plate 18 is formed in a rectangular plate shape having a predetermined thickness, and is disposed on the nozzle flow path plate 14 in parallel with the pressure chamber plate 16. The first common supply flow path plate 18 has a first common supply flow path CS1, an odd number of individual supply flow paths IS1, IS3,... Part (vertical part) of the individual supply channels IS2, IS4,.

第1共通供給流路CS1は、上部が開口した溝状に形成され、所定幅、所定深さをもってヘッドの長手方向(ノズル、圧力室の配列方向)に沿って形成される。   The first common supply flow path CS1 is formed in a groove shape having an upper opening, and is formed along the longitudinal direction of the head (arrangement direction of nozzles and pressure chambers) with a predetermined width and a predetermined depth.

奇数番の個別供給流路IS1、IS3、…、ISn−1は、奇数番の圧力室PC1、PC3、…、PCn−1に対応して形成され、ヘッドの長手方向に沿って一定ピッチで形成される。この奇数番の個別供給流路IS1、IS3、…、ISn−1は、水平部IS1a、IS3a、…、ISn−1aと、垂直部IS1b、IS3b、…、ISn−1bとで構成され、水平部IS1a、IS3a、…、ISn−1aが、第1共通供給流路プレート18に形成される。   The odd numbered individual supply channels IS1, IS3,..., ISn-1 are formed corresponding to the odd numbered pressure chambers PC1, PC3,..., PCn-1, and formed at a constant pitch along the longitudinal direction of the head. Is done. The odd-numbered individual supply channels IS1, IS3,..., ISn-1 are composed of horizontal portions IS1a, IS3a,..., ISn-1a and vertical portions IS1b, IS3b,. IS1a, IS3a, ..., ISn-1a are formed in the first common supply flow path plate 18.

また、偶数番の個別供給流路IS2、IS4、…、ISnは、偶数番の圧力室PC2、PC4、…、PCnに対応して形成され、ヘッドの長手方向に沿って一定ピッチで形成される。この偶数番の個別供給流路IS2、IS4、…、ISnは、水平部IS2a、IS4a、…、ISnaと、垂直部IS2b、IS4b、…、ISnbとで構成され、垂直部IS2b、IS4b、…、ISnbが、第1共通供給流路プレート18に形成される。   Further, the even-numbered individual supply channels IS2, IS4, ..., ISn are formed corresponding to the even-numbered pressure chambers PC2, PC4, ..., PCn, and are formed at a constant pitch along the longitudinal direction of the head. . .., ISn is composed of horizontal portions IS2a, IS4a,..., ISna and vertical portions IS2b, IS4b,..., ISnb, and vertical portions IS2b, IS4b,. ISnb is formed in the first common supply flow path plate 18.

この奇数番の個別供給流路IS1、IS3、…、ISn−1と、偶数番の個別供給流路IS2、IS4、…、ISnは、すべて容積が同じになるように形成される。このため、奇数番の個別供給流路IS1、IS3、…、ISn−1に垂直部IS1b、IS3b、…、ISn−1bが形成される。このように、すべての個別供給流路IS1、IS2、…、ISnの容積を同じにすることにより、吐出性能にバラツキが生じるのを防止でき、各ノズルN1、N2、…、Nnから安定した液滴の吐出が可能になる。   The odd-numbered individual supply channels IS1, IS3, ..., ISn-1 and the even-numbered individual supply channels IS2, IS4, ..., ISn are all formed to have the same volume. Therefore, vertical portions IS1b, IS3b,..., ISn-1b are formed in the odd-numbered individual supply channels IS1, IS3,. In this way, by making the volumes of all the individual supply flow paths IS1, IS2,..., ISn the same, it is possible to prevent variation in the discharge performance, and a stable liquid from each nozzle N1, N2,. Droplets can be ejected.

奇数番の個別供給流路IS1、IS3、…、ISn−1の水平部IS1a、IS3a、…、ISn−1aは、上部が開口した溝状に形成され、所定幅、所定深さをもって、ヘッドの長手方向と直交する方向に形成される。また、その一端(右端)は、第1共通供給流路CS1に連通され、他端(左端)は、第1共通供給流路プレート18の左側面に開口して形成される。   The horizontal portions IS1a, IS3a,..., ISn-1a of the odd-numbered individual supply channels IS1, IS3,..., ISn-1 are formed in a groove shape having an open top and have a predetermined width and a predetermined depth. It is formed in a direction orthogonal to the longitudinal direction. Further, one end (right end) thereof is communicated with the first common supply flow path CS1, and the other end (left end) is formed to be opened on the left side surface of the first common supply flow path plate 18.

偶数番の個別供給流路IS2、IS4、…、ISnの垂直部IS2b、IS4b、…、ISnbは、上部が開口した溝状に形成され、所定幅、所定深さをもって、ヘッドの長手方向と直交する方向に形成される。また、その一端(右端)は閉塞され、他端(左端)は、第1共通供給流路プレート18の左側面に開口して形成される。   .., ISn vertical portions IS2b, IS4b,..., ISnb are formed in a groove shape having an opening at the top, and have a predetermined width and a predetermined depth and are orthogonal to the longitudinal direction of the head. It is formed in the direction. Further, one end (right end) thereof is closed, and the other end (left end) is formed to open to the left side surface of the first common supply flow path plate 18.

以上の構成の第1共通供給流路プレート18を圧力室プレート16に並列させて、ノズル流路プレート14の上に配置すると、奇数番の圧力室PC1、PC3、…、PCn−1に奇数番の個別供給流路IS1、IS3、…、ISn−1が連通される(奇数番の個別供給流路IS1、IS3、…、ISn−1の水平部IS1a、IS3a、…、ISn−1aが連通される。)。また、偶数番の圧力室PC2、PC4、…、PCnに偶数番の個別供給流路IS2、IS4、…、ISnが連通される(偶数番の個別供給流路IS2、IS4、…、ISnの垂直部IS2b、IS4b、…、ISnbが連通される。)。また、各圧力室PC1、PC2、…、PCnは、第1共通供給流路プレート18の左側面によって、開口した右側面が閉塞される。   When the first common supply flow path plate 18 having the above configuration is arranged in parallel with the pressure chamber plate 16 and disposed on the nozzle flow path plate 14, the odd number pressure chambers PC1, PC3,. , ISn-1 are connected (the odd-numbered individual supply channels IS1, IS3,..., ISn-1 horizontal portions IS1a, IS3a,..., ISn-1a are connected. ) Further, the even-numbered individual supply channels IS2, IS4,..., ISn communicate with the even-numbered pressure chambers PC2, PC4,..., PCn (the even-numbered individual supply channels IS2, IS4,. The parts IS2b, IS4b,..., ISnb are communicated. Further, each pressure chamber PC1, PC2,..., PCn is closed at the opened right side surface by the left side surface of the first common supply flow path plate 18.

分離プレート20は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、並列して配置された圧力室プレート16と第1共通供給流路プレート18の上に配置される。この分離プレート20には、図5に示すように、各圧力室PC1、PC2、…、PCnに対応して圧力室開口部20A1、20A2、…、20Anが形成されとともに、各個別供給流路IS1、IS2、…、ISnの垂直部IS1b、IS2b、…、ISnbに対応して、個別供給流路開口部20B1、20B2、…、20Bnが形成される。また、共通供給部Sに対応して開口部が形成される(図示せず)。   The separation plate 20 is formed in a rectangular plate shape having a predetermined thickness, and is disposed on the pressure chamber plate 16 and the first common supply flow path plate 18 that are disposed in parallel. As shown in FIG. 5, the separation plate 20 is formed with pressure chamber openings 20A1, 20A2,..., 20An corresponding to the pressure chambers PC1, PC2,. , IS2, vertical portions IS1b, IS2b,..., ISnb of the ISn, individual supply channel openings 20B1, 20B2,. An opening is formed corresponding to the common supply unit S (not shown).

なお、本例では、圧力室開口部20A1、20A2、…、20Anと個別供給流路開口部20B1、20B2、…、20Bnとが一体化されて形成されている。   In this example, the pressure chamber openings 20A1, 20A2, ..., 20An and the individual supply flow path openings 20B1, 20B2, ..., 20Bn are integrally formed.

圧力室開口部20A1、20A2、…、20Anは、圧力室PC1、PC2、…、PCnの断面形状(平面の断面形状)に対応して形成され、個別供給流路開口部20B1、20B2、…、20Bnは、個別供給流路IS1、IS2、…、ISnの垂直部IS1b、IS2b、…、ISnbの断面形状(平面の断面形状)に対応して形成されている。   The pressure chamber openings 20A1, 20A2,..., 20An are formed corresponding to the cross-sectional shape of the pressure chambers PC1, PC2,..., PCn (planar cross-sectional shape), and the individual supply flow channel openings 20B1, 20B2,. 20Bn is formed corresponding to the sectional shape (planar sectional shape) of the vertical portions IS1b, IS2b,..., ISnb of the individual supply channels IS1, IS2,.

以上の構成の分離プレート20が、圧力室プレート16と第1共通供給流路プレート18の上に配置されると、第1共通供給流路CS1の上面部が閉塞される(ただし、共通供給部Sに相当する部分は除く)。また、奇数番の個別供給流路IS1、IS3、…、ISn−1の上面部が閉塞される(ただし、垂直部IS1b、IS3b、…、ISn−1bとの連結部に相当する部分は除く)。これにより、第1共通供給流路CS1が形成されるとともに、奇数番の個別供給流路IS1、IS3、…、ISn−1の水平部IS1a、IS3a、…、ISn−1aと、偶数番の個別供給流路IS2、IS4、…、ISnの垂直部IS2b、IS4b、…、ISnbが形成される。   When the separation plate 20 having the above configuration is disposed on the pressure chamber plate 16 and the first common supply flow path plate 18, the upper surface portion of the first common supply flow path CS1 is closed (however, the common supply section) Excluding the part corresponding to S). In addition, the upper surfaces of the odd-numbered individual supply channels IS1, IS3,..., ISn-1 are closed (except for the portion corresponding to the connecting portion with the vertical portions IS1b, IS3b,. . Thereby, the first common supply flow path CS1 is formed, and the odd-numbered individual supply flow paths IS1, IS3,..., ISn-1 horizontal portions IS1a, IS3a,. The vertical portions IS2b, IS4b, ..., ISnb of the supply flow paths IS2, IS4, ..., ISn are formed.

なお、圧力室開口部20A1、20A2、…、20Anは、圧力室PC1、PC2、…、PCnの一部を構成し、個別供給流路開口部20B1、20B2、…、20Bnは、個別供給流路IS1、IS2、…、ISnの垂直部IS1b、IS2b、…、ISnbの一部を構成する。   The pressure chamber openings 20A1, 20A2, ..., 20An constitute a part of the pressure chambers PC1, PC2, ..., PCn, and the individual supply channel openings 20B1, 20B2, ..., 20Bn are the individual supply channels. IS1, IS2,..., ISn vertical parts IS1b, IS2b,.

振動板22は、所定厚さを有する矩形の薄板状に形成され、分離プレート20の上に配置される。この振動板22は、圧力室プレート16の平面形状に対応して形成され、圧力室プレート16の配置位置の上方に配置される。圧力室PC1、PC2、…、PCnは、この振動板22が配置されることにより、上面部が閉塞される。すなわち、振動板22は、圧力室プレート16に形成された各圧力室PC1、PC2、…、PCnの上面を構成する。   The diaphragm 22 is formed in a rectangular thin plate shape having a predetermined thickness and is disposed on the separation plate 20. The diaphragm 22 is formed corresponding to the planar shape of the pressure chamber plate 16 and is disposed above the position where the pressure chamber plate 16 is disposed. The upper surfaces of the pressure chambers PC1, PC2,..., PCn are closed when the diaphragm 22 is arranged. That is, the diaphragm 22 constitutes the upper surface of each pressure chamber PC1, PC2,..., PCn formed in the pressure chamber plate 16.

圧電素子PZ1、PZ2、…、PZnは、各圧力室PC1、PC2、…、PCnに対応して、振動板22の上に配置される。各圧力室PC1、PC2、…、PCnは、この圧電素子PZ1、PZ2、…、PZnを駆動することにより、上面部が変位し、容積を膨張・収縮する。   The piezoelectric elements PZ1, PZ2,..., PZn are disposed on the diaphragm 22 corresponding to the pressure chambers PC1, PC2,. Each of the pressure chambers PC1, PC2,..., PCn is driven to drive the piezoelectric elements PZ1, PZ2,.

圧力室上部プレート24は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、振動板22の上に配置される。この圧力室上部プレート24は、振動板22の平面形状に対応して形成され、その下面部には、圧電素子PZ1、PZ2、…、PZnに対応して矩形の凹部24A1、24A2、…、24Anが形成される。   The pressure chamber upper plate 24 is formed in a rectangular plate shape having a predetermined thickness, and is disposed on the diaphragm 22. The pressure chamber upper plate 24 is formed corresponding to the planar shape of the diaphragm 22, and the lower surface thereof has rectangular recesses 24A1, 24A2,..., 24An corresponding to the piezoelectric elements PZ1, PZ2,. Is formed.

以上の構成の圧力室上部プレート24が、振動板22の上に配置されると、凹部24A1、24A2、…、24Anの内側に各圧電素子PZ1、PZ2、…、PZnが収容される。これにより、各圧電素子PZ1、PZ2、…、PZnが変位可能に取り付けられる。   When the pressure chamber upper plate 24 having the above configuration is disposed on the diaphragm 22, the piezoelectric elements PZ1, PZ2,..., PZn are accommodated inside the recesses 24A1, 24A2,. Thereby, each piezoelectric element PZ1, PZ2,..., PZn is attached to be displaceable.

第2共通供給流路プレート26は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、圧力室上部プレート24と並列して分離プレート20の上に配置される。この第2共通供給流路プレート26は、第1共通供給流路プレート18の平面形状に対応して形成され、その下面部には、第2共通供給流路CS2と、偶数番の個別供給流路IS2、IS4、…、ISnの水平部IS2a、IS4a、…、ISnaと、奇数番の個別供給流路IS1、IS3、…、ISn−1の垂直部IS1b、IS3b、…、ISn−1bとが形成される。また、その上面部には、共通供給部Sに対応して、供給口SP(図示せず)が第2共通供給流路CS2に貫通して形成される。   The second common supply flow path plate 26 is formed in a rectangular plate shape having a predetermined thickness, and is disposed on the separation plate 20 in parallel with the pressure chamber upper plate 24. The second common supply flow path plate 26 is formed corresponding to the planar shape of the first common supply flow path plate 18, and has a second common supply flow path CS 2 and an even-numbered individual supply flow on the lower surface portion thereof. ISn horizontal sections IS2a, IS4a, ..., ISna and odd-numbered individual supply channels IS1, IS3, ..., ISn-1 vertical sections IS1b, IS3b, ..., ISn-1b It is formed. In addition, a supply port SP (not shown) corresponding to the common supply part S is formed on the upper surface part so as to penetrate the second common supply flow path CS2.

第2共通供給流路CS2は、下部が開口した溝状に形成され、所定幅、所定深さをもってヘッドの長手方向(ノズル、圧力室の配列方向)に沿って形成される。なお、この第2共通供給流路CS2は、第1共通供給流路CS1と同じ幅、同じ深さで形成され、第2共通供給流路プレート26を分離プレート20の上に配置すると、第1共通供給流路CS1の上に配置される。   The second common supply flow path CS2 is formed in a groove shape with an opening at the bottom, and is formed along the longitudinal direction of the head (arrangement direction of nozzles and pressure chambers) with a predetermined width and a predetermined depth. The second common supply flow path CS2 is formed with the same width and depth as the first common supply flow path CS1, and when the second common supply flow path plate 26 is disposed on the separation plate 20, the first common supply flow path CS1 is formed. It arrange | positions on the common supply flow path CS1.

偶数番の個別供給流路IS2、IS4、…、ISnの水平部IS2a、IS4a、…、ISnaは、第1共通供給流路プレート18に形成された偶数番の個別供給流路IS2、IS4、…、ISnの垂直部IS2b、IS4b、…、ISnbに対応して形成されており、ヘッドの長手方向に沿って一定ピッチで形成されている。この水平部IS2a、IS4a、…、ISnaは、下部が開口した溝状に形成され、所定幅、所定深さをもって、ヘッドの長手方向と直交する方向に形成される。また、その一端(右端)は、第2共通供給流路CS2に連通され、他端(左端)は、第2共通供給流路プレート26の左側面に開口して形成される。   The even-numbered individual supply channels IS2, IS4,..., ISn horizontal portions IS2a, IS4a,..., ISna are the even-numbered individual supply channels IS2, IS4,. , ISn corresponding to the vertical portions IS2b, IS4b,..., ISnb, and formed at a constant pitch along the longitudinal direction of the head. The horizontal portions IS2a, IS4a,..., ISna are formed in a groove shape having an opening at the bottom, and are formed in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the head with a predetermined width and a predetermined depth. Further, one end (right end) thereof is communicated with the second common supply flow path CS <b> 2, and the other end (left end) is formed to open on the left side surface of the second common supply flow path plate 26.

奇数番の個別供給流路IS1、IS3、…、ISn−1の垂直部IS1b、IS3b、…、ISn−1bは、第1共通供給流路プレート18に形成された奇数番の個別供給流路IS1、IS3、…、ISn−1の水平部IS1a、IS3a、…、ISn−1aに対応して形成されており、ヘッドの長手方向に沿って一定ピッチで形成されている。この垂直部IS1b、IS3b、…、ISn−1bは、下部が開口した溝状に形成され、所定幅、所定深さをもって、ヘッドの長手方向と直交する方向に形成される。また、その一端(右端)は閉塞され、他端(左端)は、第2共通供給流路プレート26の左側面に開口して形成される。   The vertical portions IS1b, IS3b,..., ISn-1b of the odd-numbered individual supply channels IS1, IS3,..., ISn-1 are odd-numbered individual supply channels IS1 formed in the first common supply channel plate 18. , IS3,..., ISn-1 corresponding to the horizontal portions IS1a, IS3a,..., ISn-1a, and formed at a constant pitch along the longitudinal direction of the head. The vertical portions IS1b, IS3b,..., ISn-1b are formed in a groove shape having an opening at the bottom, and are formed in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the head with a predetermined width and a predetermined depth. Further, one end (right end) is closed and the other end (left end) is formed to open to the left side surface of the second common supply flow path plate 26.

以上の構成の第2共通供給流路プレート26を圧力室上部プレート24に並列させて、分離プレート20の上に配置すると、第2共通供給流路CS2の下面部が閉塞される(ただし、共通供給部Sに相当する部分は除く)。また、偶数番の個別供給流路IS2、IS4、…、ISnの下面部が閉塞される(ただし、垂直部IS2b、IS4b、…、ISnbとの連結部は除く)。これにより、第2共通供給流路CS2が形成されるとともに、偶数番の個別供給流路IS2、IS4、…、ISnの水平部IS2a、IS4a、…、ISnaと、奇数番の個別供給流路IS1、IS3、…、ISn−1の垂直部IS1b、IS3b、…、ISn−1bが形成される。   When the second common supply flow path plate 26 having the above configuration is arranged in parallel with the pressure chamber upper plate 24 and disposed on the separation plate 20, the lower surface portion of the second common supply flow path CS2 is closed (however, it is common) The portion corresponding to the supply unit S is excluded). Further, the lower surface portions of the even-numbered individual supply channels IS2, IS4,..., ISn are closed (except for the connecting portions with the vertical portions IS2b, IS4b,..., ISnb). Thereby, the second common supply channel CS2 is formed, and the even-numbered individual supply channels IS2, IS4,..., ISn horizontal portions IS2a, IS4a,. , IS3, ..., ISn-1 vertical portions IS1b, IS3b, ..., ISn-1b are formed.

そして、奇数番の個別供給流路IS1、IS3、…、ISn−1の垂直部IS1b、IS3b、…、ISn−1bが、分離プレート20に形成された奇数番の個別供給流路開口部20B1、20B3、…、20Bn−1を介して、第1共通供給流路プレート18に形成された奇数番の個別供給流路IS1、IS3、…、ISn−1の水平部IS1a、IS3a、…、ISn−1aに連通される。   Then, the odd-numbered individual supply flow paths IS1, IS3,..., ISn-1 vertical portions IS1b, IS3b,..., ISn-1b are formed in the separation plate 20 with the odd-numbered individual supply flow path openings 20B1, .., ISn− horizontal portions IS1a, IS3a,..., ISn− of odd-numbered individual supply channels IS1, IS3,..., ISn-1 formed in the first common supply channel plate 18 via 20B3,. 1a is communicated.

また、偶数番の個別供給流路IS2、IS4、…、ISnの水平部IS2a、IS4a、…、ISnaが、分離プレート20に形成された偶数番の個別供給流路開口部20B2、20B4、…、20Bnを介して、第2共通供給流路プレート26に形成された偶数番の個別供給流路IS2、IS4、…、ISnの垂直部IS2b、IS4b、…、ISnbに連通される。   Further, even-numbered individual supply channels IS2, IS4,..., ISn horizontal portions IS2a, IS4a,..., ISna are formed in the separation plate 20 with even-numbered individual supply channel openings 20B2, 20B4,. Through the 20Bn, the even numbered individual supply flow paths IS2, IS4,..., ISn vertical portions IS2b, IS4b,.

図7は、各圧力室と共通供給流路との連通関係を示す概念図である。なお、同図(a)は第1共通供給流路CS1と各圧力室との連通関係を示しており、同図(b)は第2共通供給流路CS2と各圧力室との連通関係を示している。   FIG. 7 is a conceptual diagram showing a communication relationship between each pressure chamber and the common supply flow path. FIG. 4A shows the communication relationship between the first common supply flow path CS1 and each pressure chamber, and FIG. 4B shows the communication relationship between the second common supply flow path CS2 and each pressure chamber. Show.

同図(a)に示すように、奇数番の圧力室PC1、PC3、…、PCn−1が、奇数番の個別供給流路IS1、IS3、…、ISn−1を介して第1共通供給流路CS1に連通される。また、同図(b)に示すように、偶数番の圧力室PC2、PC4、…、PCnが、偶数番の個別供給流路IS2、IS4、…、ISnを介して第2共通供給流路CS2に連通される。これにより、隣り合う圧力室が、異なる共通供給流路に連通される。   As shown in FIG. 5A, odd-numbered pressure chambers PC1, PC3,..., PCn-1 are connected to the first common supply flow through odd-numbered individual supply channels IS1, IS3,. It communicates with the road CS1. In addition, as shown in FIG. 4B, the even-numbered pressure chambers PC2, PC4,..., PCn are connected to the second common supply flow path CS2 via the even-numbered individual supply flow paths IS2, IS4,. Communicated with Thereby, the adjacent pressure chambers are communicated with different common supply flow paths.

なお、第1共通供給流路CS1と第2共通供給流路CS2は、分離プレート20の共通供給部Sに相当する部分に形成された開口部(図示せず)を介して、互いに連通される。   The first common supply flow path CS1 and the second common supply flow path CS2 communicate with each other through an opening (not shown) formed in a portion corresponding to the common supply section S of the separation plate 20. .

[作用]
以上のように構成された本実施の形態の液滴吐出ヘッド10の作用は次のとおりである。
[Action]
The operation of the droplet discharge head 10 of the present embodiment configured as described above is as follows.

ノズルN1、N2、…、Nnから吐出させる液体は、図示しない液体タンクから図示しない供給ラインを介して供給口SPに供給される。   Liquid discharged from the nozzles N1, N2,..., Nn is supplied from a liquid tank (not shown) to the supply port SP via a supply line (not shown).

供給口SPから供給された液体は、共通供給部Sを介して第1共通供給流路CS1と第2共通供給流路CS2に供給される。   The liquid supplied from the supply port SP is supplied to the first common supply channel CS1 and the second common supply channel CS2 via the common supply unit S.

上記のように、第1共通供給流路CS1には、奇数番の個別供給流路IS1、IS3、…、ISn−1を介して、奇数番の圧力室PC1、PC3、…、PCn−1が連通されている(図7(a)参照)。また、第2共通供給流路CS2には、偶数番の個別供給流路IS2、IS4、…、ISnを介して、偶数番の圧力室PC2、PC4、…、PCnが連通されている(図7(b)参照)。   As described above, the first common supply flow path CS1 has odd-numbered pressure chambers PC1, PC3,..., PCn-1 via odd-numbered individual supply flow paths IS1, IS3,. It is connected (refer to Drawing 7 (a)). Further, the even-numbered pressure chambers PC2, PC4,..., PCn communicate with the second common supply channel CS2 through the even-numbered individual supply channels IS2, IS4,. (See (b)).

したがって、第1共通供給流路CS1に供給された液体は、奇数番の個別供給流路IS1、IS3、…、ISn−1を介して、奇数番の圧力室PC1、PC3、…、PCn−1に供給される。また、第2共通供給流路CS2に供給された液体は、偶数番の個別供給流路IS2、IS4、…、ISnを介して、偶数番の圧力室PC2、PC4、…、PCnに供給される。   Therefore, the liquid supplied to the first common supply flow path CS1 is supplied to the odd-numbered pressure chambers PC1, PC3,..., PCn-1 via the odd-numbered individual supply flow paths IS1, IS3,. To be supplied. Further, the liquid supplied to the second common supply flow path CS2 is supplied to the even-numbered pressure chambers PC2, PC4,..., PCn via the even-numbered individual supply flow paths IS2, IS4,. .

このように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド10では、隣り合う圧力室が、異なる共通供給流路に連通されて、吐出する液体が供給される。   As described above, in the droplet discharge head 10 of the present embodiment, the adjacent pressure chambers are communicated with different common supply flow paths, and the liquid to be discharged is supplied.

これにより、隣接する圧力室の圧力波の影響を物理的に分離でき、クロストークの発生を防止することができる。また、これにより各個別供給流路の設計の自由度も高くなるので、リフィル性能の向上も図ることができる。   Thereby, the influence of the pressure wave of the adjacent pressure chamber can be physically separated, and the occurrence of crosstalk can be prevented. Moreover, since the freedom degree of design of each individual supply flow path becomes high by this, the improvement of refill performance can also be aimed at.

また、本実施の形態の液滴吐出ヘッド10では、第1共通供給流路CS1と第2共通供給流路CS2を形成する際、1つの流路を上下に二分し、分離プレート20を介在させて、第1共通供給流路CS1と第2共通供給流路CS2とを形成しているので、簡単に複数の共通供給流路を形成することができる。   Further, in the droplet discharge head 10 of the present embodiment, when forming the first common supply flow path CS1 and the second common supply flow path CS2, one flow path is divided into two vertically and the separation plate 20 is interposed. Since the first common supply channel CS1 and the second common supply channel CS2 are formed, a plurality of common supply channels can be easily formed.

また、本実施の形態の液滴吐出ヘッド10では、各個別供給流路IS1、IS2、…、ISnの容積を同じにしているので、各ノズル間で吐出性能にバラツキがなく、安定した吐出を行うことができる。   Further, in the droplet discharge head 10 of the present embodiment, since the volumes of the individual supply channels IS1, IS2,..., ISn are the same, there is no variation in discharge performance between the nozzles, and stable discharge is performed. It can be carried out.

なお、上記実施の形態では、奇数番の個別供給流路IS1、IS3、…、ISn−1に垂直部IS1b、IS3b、…、ISn−1bを形成することにより、奇数番の個別供給流路IS1、IS3、…、ISn−1の容積を偶数番の個別供給流路IS2、IS4、…、ISnの容積と同じにしているが、たとえば、図8に示すように、第1共通供給流路CS1を横方向にシフトして配置することにより、奇数番の個別供給流路IS1、IS3、…、ISn−1の水平部の流路長を延ばして、各個別供給流路IS1、IS2、…、ISnの容積を同じにしてもよい。   In the above embodiment, the odd-numbered individual supply flow paths IS1, IS3,..., ISn-1 are formed with the vertical portions IS1b, IS3b,. , IS3,..., ISn-1 have the same volume as the even-numbered individual supply channels IS2, IS4,..., ISn, for example, as shown in FIG. Are shifted in the horizontal direction to increase the horizontal channel length of the odd-numbered individual supply channels IS1, IS3,..., ISn-1, and the individual supply channels IS1, IS2,. The volume of ISn may be the same.

なお、このように第1共通供給流路CS1と第2共通供給流路CS2は、必ずしも上下同じ位置に重ねて配置する必要はない。ただし、上記実施の形態のように、第1共通供給流路CS1と第2共通供給流路CS2とを上下同じ位置に重ねて配置することにより、省スペース化を図ることができる。   As described above, the first common supply flow path CS1 and the second common supply flow path CS2 do not necessarily have to be arranged at the same upper and lower positions. However, space saving can be achieved by arranging the first common supply flow path CS1 and the second common supply flow path CS2 in the same vertical position as in the above embodiment.

また、上記実施の形態では、2つの共通供給流路を設けているが、さらに複数の共通供給流路を形成することもできる。これにより、クロストークの発生を防止できる。   In the above embodiment, two common supply channels are provided, but a plurality of common supply channels can also be formed. Thereby, occurrence of crosstalk can be prevented.

図8は、共通供給流路を4つ設けた液滴吐出ヘッドの一例を示す断面図である。   FIG. 8 is a cross-sectional view showing an example of a droplet discharge head provided with four common supply channels.

同図に示す例では、4つの共通供給流路CS1〜CS4が、4段に積み重ねられて、階層的に配置された構成とされている。   In the example shown in the figure, four common supply channels CS1 to CS4 are stacked in four stages and arranged hierarchically.

上記実施の形態と同様に、第1共通供給流路CS1は、第1共通供給流路プレート18に形成され、その上段に分離プレート(第1分離プレート)20が配置されている。   Similar to the above embodiment, the first common supply flow path CS1 is formed in the first common supply flow path plate 18, and a separation plate (first separation plate) 20 is disposed on the first common supply flow path plate 18.

第1分離プレート20の上段には、第2共通供給流路プレート26が配置され、この第2共通供給流路プレート26に第2共通供給流路CS2が形成される。   A second common supply flow path plate 26 is disposed on the upper stage of the first separation plate 20, and a second common supply flow path CS 2 is formed in the second common supply flow path plate 26.

第2共通供給流路プレート26の上段には、第2分離プレート32が配置され、その上段に第3共通供給流路プレート34が配置される。第3共通供給流路CS3は、この第3共通供給流路プレート34に形成される。   A second separation plate 32 is disposed on the upper stage of the second common supply flow path plate 26, and a third common supply flow path plate 34 is disposed on the upper stage thereof. The third common supply flow path CS3 is formed in the third common supply flow path plate 34.

第3共通供給流路プレート34の上段には、第3分離プレート36が配置され、その上段に第4共通供給流路プレート38が配置される。第4共通供給流路CS4は、この第4共通供給流路プレート38に形成される。   A third separation plate 36 is disposed on the upper stage of the third common supply flow path plate 34, and a fourth common supply flow path plate 38 is disposed on the upper stage. The fourth common supply flow path CS4 is formed in the fourth common supply flow path plate 38.

第1共通供給流路CS1は、第1分離プレート20を介して第2共通供給流路CS2と分離され、第2共通供給流路CS2は、第2分離プレート32を介して第3共通供給流路CS3と分離される。また、第3共通供給流路CS3は、第3分離プレート36を介して第4共通供給流路CS4と分離される。   The first common supply channel CS1 is separated from the second common supply channel CS2 via the first separation plate 20, and the second common supply channel CS2 is separated from the third common supply channel CS2 via the second separation plate 32. Separated from the road CS3. The third common supply flow path CS3 is separated from the fourth common supply flow path CS4 via the third separation plate 36.

また、各共通供給流路CS1〜CS4は、それぞれ一端が、共通供給部に連通され、この共通供給部で互いに連通される。   Further, one end of each of the common supply channels CS1 to CS4 is connected to a common supply unit, and the common supply channels CS1 to CS4 are connected to each other at the common supply unit.

図9は、各圧力室と共通供給流路との連通関係を示す概念図である。なお、同図(a)は第1共通供給流路CS1と各圧力室との連通関係、同図(b)は第2共通供給流路CS2と各圧力室との連通関係、同図(c)は第3共通供給流路CS3と各圧力室との連通関係、同図(d)は第4共通供給流路CS4と各圧力室との連通関係を示している。   FIG. 9 is a conceptual diagram showing the communication relationship between each pressure chamber and the common supply flow path. 2A is a communication relationship between the first common supply flow path CS1 and each pressure chamber, and FIG. 2B is a communication relationship between the second common supply flow path CS2 and each pressure chamber. ) Shows the communication relationship between the third common supply flow path CS3 and each pressure chamber, and FIG. 4D shows the communication relationship between the fourth common supply flow path CS4 and each pressure chamber.

同図に示すように、各共通供給流路CS1〜CS4には、3つ飛ばしの間隔で並列して配置された圧力室が連通される。   As shown in the figure, each common supply flow path CS1 to CS4 is connected to pressure chambers arranged in parallel at intervals of three skips.

すなわち、同図(a)に示すように、第1共通供給流路CS1には、第1、第5、第9、…、第n−3番目の圧力室PC1、PC5、PC9、…、PCn−3が連通される(nは4の倍数)。   That is, as shown in FIG. 5A, the first common supply flow path CS1 includes the first, fifth, ninth,..., N-3th pressure chambers PC1, PC5, PC9,. -3 is communicated (n is a multiple of 4).

また、同図(b)に示すように、第2共通供給流路CS2には、第2、第6、第10、…、第n−2番目の圧力室PC2、PC6、PC10、…、PCn−2が連通される。   Further, as shown in FIG. 5B, the second common supply flow path CS2 includes the second, sixth, tenth,..., N-2th pressure chambers PC2, PC6, PC10,. -2 is communicated.

また、同図(c)に示すように、第3共通供給流路CS3には、第3、第7、第11、…、第n−1番目の圧力室PC3、PC7、PC11、…、PCn−1が連通される。   Further, as shown in FIG. 5C, the third common supply flow path CS3 has third, seventh, eleventh,..., N−1th pressure chambers PC3, PC7, PC11,. -1 is communicated.

また、同図(d)に示すように、第4共通供給流路CS4には、第4、第8、第12、…、第n番目の圧力室PC4、PC8、PC12、…、PCnが連通される。   Further, as shown in FIG. 4D, the fourth common supply flow path CS4 communicates with the fourth, eighth, twelfth,..., Nth pressure chambers PC4, PC8, PC12,. Is done.

各圧力室は、個別供給流路を介して、対応する共通供給流路に連通される。すなわち、図9(a)に示すように、第1、第5、第9、…、第n−3番目の圧力室PC1、PC5、PC9、…、PCn−3は、第1、第5、第9、…、第n−3番目の個別供給流路IS1、IS5、IS9、…、ISn−3を介して第1共通供給流路CS1に連通される。   Each pressure chamber communicates with a corresponding common supply channel via an individual supply channel. That is, as shown in FIG. 9A, the first, fifth, ninth,..., N-3th pressure chambers PC1, PC5, PC9,. ,..., The n-3th individual supply channel IS1, IS5, IS9,..., ISn-3, and communicated with the first common supply channel CS1.

また、図9(b)に示すように、第2、第6、第10、…、第n−2番目の圧力室PC2、PC6、PC10、…、PCn−2は、第2、第6、第10、…、第n−2番目の個別供給流路IS2、IS6、IS10、…、ISn−2を介して第2共通供給流路CS2に連通される。   As shown in FIG. 9B, the second, sixth, tenth,..., N-2th pressure chambers PC2, PC6, PC10,. ,..., The (n-2) th individual supply flow path IS2, IS6, IS10,..., ISn-2 are communicated with the second common supply flow path CS2.

また、図9(c)に示すように、第3、第7、第11、…、第n−1番目の圧力室PC3、PC7、PC11、…、PCn−1は、第3、第7、第11、…、第n−1番目の個別供給流路IS3、IS7、IS11、…、ISn−1を介して第3共通供給流路CS3に連通される。   In addition, as shown in FIG. 9C, the third, seventh, eleventh,..., N−1th pressure chambers PC3, PC7, PC11,. ,..., The (n−1) th individual supply flow path IS3, IS7, IS11,.

また、図9(d)に示すように、第4、第8、第12、…、第n番目の圧力室PC4、PC9、PC12、…、PCnは、第4、第8、第12、…、第n番目の個別供給流路IS4、IS8、IS12、…、ISnを介して第4共通供給流路CS4に連通される。   9 (d), the fourth, eighth, twelfth,..., Nth pressure chambers PC4, PC9, PC12,..., PCn are fourth, eighth, twelfth,. , ISn communicated with the fourth common supply channel CS4 through the nth individual supply channel IS4, IS8, IS12,.

このように、さらに複数の共通供給流路を形成することにより、隣接する圧力室の圧力波の影響を低減でき、さらに効率よくクロストークの発生を防止できる。   Thus, by forming a plurality of common supply channels, the influence of pressure waves in adjacent pressure chambers can be reduced, and the occurrence of crosstalk can be prevented more efficiently.

《第2の実施の形態》
[構成]
図10は、本発明に係る液滴吐出ヘッドの第2の実施の形態の底面図である。また、図11、図12は、それぞれ図10の11−11断面図、12−12断面図である。
<< Second Embodiment >>
[Constitution]
FIG. 10 is a bottom view of the second embodiment of the droplet discharge head according to the present invention. 11 and 12 are a sectional view taken along line 11-11 and a sectional view taken along line 12-12, respectively, of FIG.

同図に示すように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド50は、共通回収流路CC1、CC2を備えており、液体が圧力室PC1、PC2、…、PCnに循環供給される。   As shown in the figure, the droplet discharge head 50 of the present embodiment includes common recovery channels CC1, CC2, and the liquid is circulated and supplied to the pressure chambers PC1, PC2,..., PCn.

なお、共通回収流路CC1、CC2を有する点以外は、上述した第1の実施の形態の液滴吐出ヘッド10の構成と同じなので、ここでは、共通回収流路CC1、CC2の構成についてのみ説明する。   Since the configuration is the same as that of the droplet discharge head 10 of the first embodiment except that the common recovery channels CC1 and CC2 are provided, only the configuration of the common recovery channels CC1 and CC2 will be described here. To do.

図10〜図12に示すように、各圧力室PC1、PC2、…、PCnに連通されたノズル流路NC1、NC2、…、NCnには、それぞれ個別回収流路IC1、IC2、…、ICnが連通され、この個別回収流路IC1、IC2、…、ICnを介して第1共通回収流路CC1又は第2共通回収流路CC2に連通されている(奇数番の圧力室PC1、PC3、…、PCn−1が第1共通回収流路CC1に連通され、偶数番の圧力室PC2、PC4、…、PCnが第2共通回収流路CC2に連通されている。)。各圧力室PC1、PC2、…、PCnの液体は、ノズル流路NC1、NC2、…、NCnから個別回収流路IC1、IC2、…、ICnを介して第1共通回収流路CC1又は第2共通回収流路CC2に回収される。   As shown in FIGS. 10 to 12, the nozzle flow paths NC1, NC2,..., NCn communicated with the pressure chambers PC1, PC2,..., PCn have individual recovery flow paths IC1, IC2,. .., ICn and communicated with the first common recovery channel CC1 or the second common recovery channel CC2 (odd-numbered pressure chambers PC1, PC3,... PCn-1 is communicated with the first common recovery channel CC1, and even-numbered pressure chambers PC2, PC4,..., PCn are communicated with the second common recovery channel CC2. The liquid in each pressure chamber PC1, PC2,..., PCn is supplied from the nozzle channels NC1, NC2,..., NCn via the individual recovery channels IC1, IC2,. It is recovered in the recovery channel CC2.

この第1共通回収流路CC1と第2共通回収流路CC2は、圧力室PC1、PC2、…、PCnの配列方向(ヘッドの長手方向)に沿って配置され、上下に階層的に配置される(第1共通回収流路CC1が下段、第2共通回収流路CC2が上段に配置される。)。   The first common recovery channel CC1 and the second common recovery channel CC2 are arranged along the arrangement direction (the longitudinal direction of the head) of the pressure chambers PC1, PC2,. (The first common recovery channel CC1 is disposed at the lower stage and the second common recovery channel CC2 is disposed at the upper stage.)

また、この第1共通回収流路CC1と第2共通回収流路CC2は、それぞれ一端(図10の下端)が、共通回収部Cに連通され、この共通回収部Cで互いに連通される。共通回収部Cには、ヘッド外部に連通された回収口CPが連通され、この回収口CPから外部に液体が回収される。   In addition, each of the first common recovery channel CC1 and the second common recovery channel CC2 has one end (the lower end in FIG. 10) communicated with the common recovery unit C, and the common recovery unit C communicates with each other. The common recovery part C communicates with a recovery port CP that communicates with the outside of the head, and recovers liquid from the recovery port CP to the outside.

図11、図12に示すように、第1共通回収流路CC1と第2共通回収流路CC2は、ノズル流路プレート14に並列して配置された共通回収流路プレート52に形成されている。この共通回収流路プレート52は、第1共通回収流路プレート54と、回収流路分離プレート56と、第2共通回収流路プレート58とで構成されている。   As shown in FIGS. 11 and 12, the first common recovery channel CC <b> 1 and the second common recovery channel CC <b> 2 are formed in a common recovery channel plate 52 arranged in parallel with the nozzle channel plate 14. . The common recovery channel plate 52 includes a first common recovery channel plate 54, a recovery channel separation plate 56, and a second common recovery channel plate 58.

第1共通回収流路プレート54は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、ノズル流路プレート14と並列してノズルプレート12の上に配置される。この第1共通回収流路プレート54には、上面部に第1共通回収流路CC1と、奇数番の個別回収流路IC1、IC3、…、ICn−1の一部(水平部)と、偶数番の個別回収流路IC2、IC4、…、ICnの一部(第2水平部)が形成される。   The first common recovery flow path plate 54 is formed in a rectangular plate shape having a predetermined thickness, and is disposed on the nozzle plate 12 in parallel with the nozzle flow path plate 14. The first common recovery flow path plate 54 includes a first common recovery flow path CC1, an odd number of individual recovery flow paths IC1, IC3,..., A part (horizontal portion) of ICn-1 and an even number on the upper surface. Part of the numbered individual recovery channels IC2, IC4,..., ICn (second horizontal portion) are formed.

第1共通回収流路CC1は、上部が開口した溝状に形成され、所定幅、所定深さをもってヘッドの長手方向(ノズル、圧力室の配列方向)に沿って形成される。   The first common recovery flow path CC1 is formed in a groove shape having an upper opening, and is formed along the longitudinal direction of the head (arrangement direction of nozzles and pressure chambers) with a predetermined width and a predetermined depth.

奇数番の個別回収流路IC1、IC3、…、ICn−1は、奇数番の圧力室PC1、PC3、…、PCn−1に対応して形成され、ヘッドの長手方向に沿って一定ピッチで形成される。この奇数番の個別回収流路IC1、IC3、…、ICn−1は、水平部IC1a、IC3a、…、ICn−1aと、垂直部IC1b、IC3b、…、ICn−1bとで構成され、水平部IC1a、IC3a、…、ICn−1aが、第1共通回収流路プレート54に形成される。   .., ICn-1 are formed corresponding to the odd-numbered pressure chambers PC1, PC3,..., PCn-1, and are formed at a constant pitch along the longitudinal direction of the head. Is done. .., ICn-1 is composed of horizontal parts IC1a, IC3a,..., ICn-1a and vertical parts IC1b, IC3b,. IC1a, IC3a,..., ICn-1a are formed in the first common recovery flow path plate 54.

また、偶数番の個別回収流路IC2、IC4、…、ICnは、偶数番の圧力室PC2、PC4、…、PCnに対応して形成され、ヘッドの長手方向に沿って一定ピッチで形成される。この偶数番の個別回収流路IC2、IC4、…、ISnは、第1水平部IC2a、IC4a、…、ICnaと、第2水平部IC2b、IC4b、…、ICnbとで構成され、第2水平部IC2b、IC4b、…、ICnbが、第1共通回収流路プレート54に形成される。   .., ICn are formed corresponding to the even-numbered pressure chambers PC2, PC4,..., PCn, and are formed at a constant pitch along the longitudinal direction of the head. . .., ISn is composed of a first horizontal part IC2a, IC4a,..., ICna, and a second horizontal part IC2b, IC4b,. IC2b, IC4b,..., ICnb are formed in the first common recovery flow path plate 54.

この奇数番の個別回収流路IC1、IC3、…、ICn−1と、偶数番の個別回収流路IC2、IC4、…、ICnは、すべて容積が同じになるように形成される。このため、奇数番の個別回収流路IC1、IC3、…、ICn−1に垂直部IC1b、IC3b、…、ICn−1bが形成される。このように、すべての個別回収流路IC1、IC2、…、ICnの容積を同じにすることにより、吐出性能にバラツキが生じるのを防止でき、各ノズルN1、N2、…、Nnから安定した液滴の吐出が可能になる。   .., ICn−1 and the even-numbered individual recovery channels IC2, IC4,..., ICn are all formed to have the same volume. Therefore, the vertical portions IC1b, IC3b,..., ICn-1b are formed in the odd-numbered individual recovery flow paths IC1, IC3,. In this way, by making the volumes of all the individual recovery flow paths IC1, IC2,..., ICn the same, it is possible to prevent variations in the discharge performance, and a stable liquid from each nozzle N1, N2,. Droplets can be ejected.

奇数番の個別回収流路IC1、IC3、…、ICn−1の水平部IC1a、IC3a、…、ICn−1aは、上部が開口した溝状に形成され、所定幅、所定深さをもって、ヘッドの長手方向と直交する方向に形成される。また、その一端(左端)は、第1共通回収流路CC1に連通され、他端(右端)は、第1共通回収流路プレート54の右側面に開口して形成される。   The horizontal parts IC1a, IC3a,..., ICn-1a of the odd-numbered individual recovery flow paths IC1, IC3,. It is formed in a direction orthogonal to the longitudinal direction. Further, one end (left end) thereof is communicated with the first common recovery flow path CC1, and the other end (right end) is formed to open on the right side surface of the first common recovery flow path plate 54.

偶数番の個別回収流路IC2、IC4、…、ICnの第2水平部IC2b、IC4b、…、ICnbは、上部が開口した溝状に形成され、所定幅、所定深さをもって、ヘッドの長手方向と直交する方向に形成される。また、その一端(左端)は閉塞され、他端(右端)は、第1共通回収流路プレート54の右側面に開口して形成される。   The second horizontal portions IC2b, IC4b,..., ICnb of the even-numbered individual recovery channels IC2, IC4,..., ICn are formed in a groove shape having an open top, and have a predetermined width and a predetermined depth, and the longitudinal direction of the head It is formed in the direction orthogonal to. Further, one end (left end) thereof is closed, and the other end (right end) is formed to open to the right side surface of the first common recovery flow path plate 54.

第1共通回収流路プレート54に並列して配置されるノズル流路プレート14には、各ノズル流路NC1、NC2、…、NCnに対応して連通穴14A1、14A2、…、14Anが形成されている。各連通穴14A1、14A2、…、14Anは、ノズル流路NC1、NC2、…、NCnの形成間隔と同じ間隔で形成されており、一端(左端)がノズル流路プレート14の左側面に開口して形成されるとともに、他端(右端)がノズル流路NC1、NC2、…、NCnに連通して形成されている。   The nozzle flow path plate 14 arranged in parallel with the first common recovery flow path plate 54 has communication holes 14A1, 14A2,..., 14An corresponding to the nozzle flow paths NC1, NC2,. ing. Each of the communication holes 14A1, 14A2,..., 14An is formed at the same interval as the nozzle channel NC1, NC2,..., NCn, and one end (left end) opens to the left side surface of the nozzle channel plate 14. The other end (right end) is formed in communication with the nozzle channels NC1, NC2,..., NCn.

第1共通回収流路プレート54をノズル流路プレート14に並列させて、ノズルプレート12の上に配置すると、奇数番の個別回収流路IC1、IC3、…、ICn−1の水平部IC1a、IC3a、…、ICn−1aが、奇数番の連通穴14A1、14A3、…、14An−1に連通される。また、偶数番の個別回収流路IC2、IC4、…、ICnの第2水平部IC2b、IC4b、…、ICnbが、偶数番の連通穴14A2、14A4、…、14Anに連通される。   When the first common recovery flow path plate 54 is arranged in parallel with the nozzle flow path plate 14 and disposed on the nozzle plate 12, odd-numbered individual recovery flow paths IC1, IC3,..., ICn-1 horizontal portions IC1a, IC3a ,..., ICn-1a communicate with odd-numbered communication holes 14A1, 14A3,. Further, the even-numbered individual recovery flow paths IC2, IC4,..., ICn second horizontal portions IC2b, IC4b,.

回収流路分離プレート56は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、第1共通回収流路プレート54の上に配置される。この回収流路分離プレート56には、奇数番の個別回収流路IC1、IC3、…、ICn−1の垂直部IC1b、IC3b、…、ICn−1bの一部を構成する個別回収流路開口部56A1、56A3、…、56An−1が形成されるとともに、偶数番の個別回収流路IC2、IC4、…、ICnの第1水平部IC2a、IC4a、…、ICnaと第2水平部IC2b、IC4b、…、ICnbとを連通する個別回収流路開口部56A2、56A4、…、56Anが形成される。   The recovery flow path separation plate 56 is formed in a rectangular plate shape having a predetermined thickness, and is disposed on the first common recovery flow path plate 54. This recovery flow path separation plate 56 has an odd number of individual recovery flow paths IC1, IC3,..., ICn-1 vertical portions IC1b, IC3b,. 56A1, 56A3,..., 56An-1 are formed, and even-numbered individual recovery channels IC2, IC4,. ..., individual recovery flow path openings 56A2, 56A4, ..., 56An communicating with ICnb are formed.

以上の構成の回収流路分離プレート56が、第1共通回収流路プレート54の上に配置されると、第1共通回収流路CC1の上面部が閉塞される(ただし、共通回収部Cに相当する部分は除く)。また、奇数番の個別回収流路IC1、IC3、…、ICn−1の上面部が閉塞される(ただし、垂直部IC1b、IC3b、…、ICn−1bとの連結部に相当する部分は除く)。また、偶数番の個別回収流路IC2、IC4、…、ICnの第2水平部IC2b、IC4b、…、ICnbの上面部が閉塞される(ただし、第1水平部IC2a、IC4a、…、ICnaとの連結部に相当する部分は除く)。これにより、第1共通回収流路CC1が形成されるとともに、奇数番の個別回収流路IC1、IC3、…、ICn−1の水平部IC1a、IC3a、…、ICn−1aと、偶数番の個別回収流路IC2、IC4、…、ICnの第2水平部IC2b、IC4b、…、ICnbが形成される。   When the recovery flow path separation plate 56 having the above configuration is disposed on the first common recovery flow path plate 54, the upper surface portion of the first common recovery flow path CC1 is closed (however, the common recovery section C includes Excluding the corresponding part). Further, the upper surface portions of the odd-numbered individual recovery flow paths IC1, IC3,..., ICn-1 are closed (except for the portion corresponding to the connecting portion with the vertical portions IC1b, IC3b,..., ICn-1b). . Further, the even-numbered individual recovery channels IC2, IC4,..., ICn second horizontal portions IC2b, IC4b,. Excluding the part corresponding to the connecting part. Thereby, the first common recovery channel CC1 is formed, and the odd-numbered individual recovery channels IC1, IC3,..., ICn-1 horizontal parts IC1a, IC3a,. The second horizontal portions IC2b, IC4b,..., ICnb of the recovery flow paths IC2, IC4,.

第2共通回収流路プレート58は、所定の厚さを有する矩形の板状に形成され、回収流路分離プレート56の上に配置される。この第2共通回収流路プレート58の下面部には、第2共通回収流路CC2と、偶数番の個別回収流路IC2、IC4、…、ICnの第1水平部IC2a、IC4a、…、ICnaと、奇数番の個別回収流路IC1、IC3、…、ICn−1の垂直部IC1b、IC3b、…、ICn−1bとが形成される。また、その上面部には、共通回収部Cに対応して、回収口CP(図示せず)が第2共通回収流路CC2に貫通して形成される(圧力室プレート16、分離プレート20、振動板22、及び、圧力室上部プレート24にも同様に回収口CPが形成される。)。   The second common recovery flow path plate 58 is formed in a rectangular plate shape having a predetermined thickness, and is disposed on the recovery flow path separation plate 56. On the lower surface of the second common recovery channel plate 58, there are provided a second common recovery channel CC2 and even-numbered individual recovery channels IC2, IC4,..., ICn first horizontal portions IC2a, IC4a,. .., ICn-1 vertical portions IC1b, IC3b,..., ICn-1b are formed. In addition, a recovery port CP (not shown) is formed on the upper surface portion so as to correspond to the common recovery portion C (the pressure chamber plate 16, the separation plate 20, Similarly, the recovery port CP is formed in the vibration plate 22 and the pressure chamber upper plate 24.

第2共通回収流路CC2は、下部が開口した溝状に形成され、所定幅、所定深さをもってヘッドの長手方向(ノズル、圧力室の配列方向)に沿って形成される。なお、この第2共通回収流路CC2は、第1共通回収流路CC1と同じ幅、同じ深さで形成され、第2共通回収流路プレート58を分離プレート20の上に配置すると、第1共通回収流路CC1の上に配置される。   The second common recovery channel CC2 is formed in a groove shape having an opening at the bottom, and is formed along the longitudinal direction of the head (arrangement direction of nozzles and pressure chambers) with a predetermined width and a predetermined depth. The second common recovery channel CC2 is formed with the same width and the same depth as the first common recovery channel CC1, and when the second common recovery channel plate 58 is disposed on the separation plate 20, the first common recovery channel CC2 is formed. It arrange | positions on the common collection | recovery flow path CC1.

偶数番の個別回収流路IC2、IC4、…、ICnの第1水平部IC2a、IC4a、…、ICnaは、第1共通回収流路プレート54に形成された偶数番の個別回収流路IC2、IC4、…、ICnの第2水平部IC2b、IC4b、…、ICnbに対応して形成されており、ヘッドの長手方向に沿って一定ピッチで形成されている。この第1水平部IC2a、IC4a、…、ICnaは、下部が開口した溝状に形成され、所定幅、所定深さをもって、ヘッドの長手方向と直交する方向に形成される。また、その一端(左端)は、第2共通回収流路CC2に連通され、他端(右端)は閉塞される。   .., ICn first horizontal portions IC2a, IC4a,..., ICna are even-numbered individual recovery channels IC2, IC4 formed in the first common recovery channel plate 54. ,..., ICn are formed corresponding to the second horizontal portions IC2b, IC4b,..., ICnb, and are formed at a constant pitch along the longitudinal direction of the head. The first horizontal portions IC2a, IC4a,..., ICna are formed in a groove shape having an opening at the bottom, and are formed in a direction perpendicular to the longitudinal direction of the head with a predetermined width and a predetermined depth. One end (left end) thereof is communicated with the second common recovery channel CC2, and the other end (right end) is closed.

奇数番の個別回収流路IC1、IC3、…、ICn−1の垂直部IC1b、IC3b、…、ICn−1bは、第1共通回収流路プレート54に形成された奇数番の個別回収流路IC1、IC3、…、ICn−1の水平部IC1a、IC3a、…、ICn−1aに対応して形成されており、ヘッドの長手方向に沿って一定ピッチで形成されている。この垂直部IC1b、IC3b、…、ICn−1bは、水平部IC1a、IC3a、…、ICn−1aの断面と同じ断面を有する凹部として所定深さをもって第2共通回収流路プレート58の下面部に形成される。   .., ICn-1 vertical portions IC1b, IC3b,..., ICn-1b are odd-numbered individual recovery flow paths IC1 formed in the first common recovery flow path plate 54. , IC3,..., ICn-1 are formed corresponding to the horizontal portions IC1a, IC3a,..., ICn-1a, and are formed at a constant pitch along the longitudinal direction of the head. The vertical portions IC1b, IC3b,..., ICn-1b are formed on the lower surface of the second common recovery flow path plate 58 with a predetermined depth as a recess having the same cross section as the horizontal portions IC1a, IC3a,. It is formed.

以上の構成の第2共通回収流路プレート58を回収流路分離プレート56の上に配置すると、第2共通回収流路CC2の下面部が閉塞される(ただし、共通回収部Cに相当する部分は除く)。これにより、第2共通回収流路CC2が形成される。   When the second common recovery flow path plate 58 having the above configuration is disposed on the recovery flow path separation plate 56, the lower surface portion of the second common recovery flow path CC2 is closed (however, a portion corresponding to the common recovery section C). Except). Thereby, the 2nd common recovery channel CC2 is formed.

また、偶数番の個別回収流路IC2、IC4、…、ICnの第1水平部IC2a、IC4a、…、ICnaが、回収流路分離プレート56に形成された偶数番の個別回収流路開口部56A2、56A4、…、56Anを介して、第1共通回収流路プレート54に形成された偶数番の個別回収流路IC2、IC4、…、ICnの第2水平部IC2b、IC4b、…、ICnbと連通される。これにより、偶数番の個別回収流路IC2、IC4、…、ICnが形成される。   In addition, even-numbered individual recovery flow paths IC2, IC4,..., ICn first horizontal portions IC2a, IC4a,. , 56A4,..., 56An communicated with the even-numbered individual recovery channels IC2, IC4,..., ICn second horizontal portions IC2b, IC4b,. Is done. As a result, even-numbered individual recovery channels IC2, IC4,..., ICn are formed.

また、奇数番の個別回収流路IC1、IC3、…、ICn−1の垂直部IC1b、IC3b、…、ICn−1bが、回収流路分離プレート56に形成された奇数番の個別回収流路開口部56A1、56A3、…、56An−1を介して、第1共通回収流路プレート54に形成された奇数番の個別回収流路IC1、IC3、…、ICn−1の水平部IC1a、IC3a、…、ICn−1aと連通される。これにより、個別回収流路IC1、IC3、…、ICn−1が形成される。   In addition, odd-numbered individual recovery flow paths IC1, IC3,..., ICn-1 vertical portions IC1b, IC3b,. The odd-numbered individual recovery flow paths IC1, IC3,..., ICn-1 horizontal portions IC1a, IC3a,... Formed in the first common recovery flow path plate 54 via the parts 56A1, 56A3,. , ICn-1a. Thereby, individual collection flow paths IC1, IC3,..., ICn-1 are formed.

なお、第1共通回収流路CC1と第2共通回収流路CC2は、分離プレート20の共通回収部Cに相当する部分に形成された開口部(図示せず)を介して、互いに連通される。   The first common recovery channel CC1 and the second common recovery channel CC2 are communicated with each other via an opening (not shown) formed in a portion corresponding to the common recovery unit C of the separation plate 20. .

図13は、各圧力室と共通供給流路及び共通回収流路との連通関係を示す概念図である。なお、同図(a)は奇数番の圧力室との連通関係を示しており、同図(b)は偶数番の圧力室との連通関係を示している。   FIG. 13 is a conceptual diagram showing a communication relationship between each pressure chamber, a common supply channel, and a common recovery channel. FIG. 4A shows a communication relationship with odd-numbered pressure chambers, and FIG. 4B shows a communication relationship with even-numbered pressure chambers.

同図(a)に示すように、奇数番の圧力室PC1、PC3、…、PCn−1は、奇数番の個別供給流路IS1、IS3、…、ISn−1を介して第1共通供給流路CS1に連通される。また、奇数番の個別回収流路IC1、IC3、…、ICn−1を介して第1共通回収流路CC1に連通される。   As shown in FIG. 5A, the odd-numbered pressure chambers PC1, PC3,..., PCn-1 are connected to the first common supply flow through the odd-numbered individual supply channels IS1, IS3,. It communicates with the road CS1. Moreover, it communicates with the first common recovery channel CC1 via odd-numbered individual recovery channels IC1, IC3,..., ICn-1.

一方、同図(b)に示すように、偶数番の圧力室PC2、PC4、…、PCnは、偶数番の個別共通流路IS2、IS4、…、ISnを介して第2共通供給流路CS2に連通される。また、偶数番の個別回収流路IC2、IC4、…、ICnを介して第2共通回収流路CC2に連通される。   On the other hand, the even-numbered pressure chambers PC2, PC4,..., PCn are connected to the second common supply flow path CS2 through the even-numbered individual common flow paths IS2, IS4,. Communicated with Moreover, it communicates with the second common recovery channel CC2 via the even-numbered individual recovery channels IC2, IC4,..., ICn.

このように、隣り合う圧力室は、異なる共通供給流路に連通されるとともに、異なる共通回収流路に連通される。この際、奇数番の圧力室PC1、PC3、…、PCn−1は、下段に位置した第1共通供給流路CS1に連通されるとともに、下段上段に位置した第1共通回収流路CC1に連通され、偶数番の圧力室PC2、PC4、…、PCnは、上段に位置した第2共通供給流路CS2に連通されるとともに、上段に位置した第2共通回収流路CC2に連通される。これにより、各圧力室間で水頭差の影響をなくすことができ、各ノズルN1、N2、…、Nnから安定した液滴の吐出が可能になる。   In this way, the adjacent pressure chambers communicate with different common supply channels and communicate with different common recovery channels. At this time, the odd-numbered pressure chambers PC1, PC3,..., PCn-1 communicate with the first common supply flow path CS1 located at the lower stage and communicate with the first common recovery flow path CC1 located at the upper stage of the lower stage. The even-numbered pressure chambers PC2, PC4,..., PCn communicate with the second common supply flow path CS2 located at the upper stage and also communicate with the second common recovery flow path CC2 located at the upper stage. Thereby, the influence of the water head difference between the pressure chambers can be eliminated, and stable discharge of droplets from the nozzles N1, N2,.

[作用]
以上のように構成された本実施の形態の液滴吐出ヘッド50の作用は次のとおりである。
[Action]
The operation of the droplet discharge head 50 of the present embodiment configured as described above is as follows.

液滴吐出ヘッド50に形成された供給口SPには、図示しない供給ラインが接続され、この供給ラインを介して図示しない液体タンクに接続される。一方、回収口CPには、図示しない回収ラインが接続され、この回収ラインを介して図示しない液体タンクに接続される。供給ラインには、図示しない供給ポンプが設けられており、この供給ポンプを駆動することにより、液体タンク内の液体が供給ラインを介して供給口SPに液体が供給される。また、回収ラインには、図示しない回収ポンプが設けられており、この回収ポンプを駆動することにより、液滴吐出ヘッド50内の液体が回収口CPから回収ラインを介して液体タンクに回収される。すなわち、本実施の形態の液滴吐出ヘッド50において、ノズルから吐出させる液体は、循環供給される。   A supply line (not shown) is connected to the supply port SP formed in the droplet discharge head 50, and is connected to a liquid tank (not shown) via this supply line. On the other hand, a recovery line (not shown) is connected to the recovery port CP, and is connected to a liquid tank (not shown) via the recovery line. The supply line is provided with a supply pump (not shown). By driving the supply pump, the liquid in the liquid tank is supplied to the supply port SP via the supply line. The recovery line is provided with a recovery pump (not shown). By driving the recovery pump, the liquid in the droplet discharge head 50 is recovered from the recovery port CP to the liquid tank via the recovery line. . That is, in the droplet discharge head 50 of the present embodiment, the liquid discharged from the nozzle is circulated and supplied.

供給口SPに供給された液体は、共通供給部Sを介して第1共通回収流路CC1と第2共通回収流路CC2に供給される。   The liquid supplied to the supply port SP is supplied to the first common recovery channel CC1 and the second common recovery channel CC2 via the common supply unit S.

第1共通供給流路CS1には、奇数番の個別供給流路IS1、IS3、…、ISn−1を介して、奇数番の圧力室PC1、PC3、…、PCn−1が連通されている(図7(a)参照)。また、第2共通供給流路CS2には、偶数番の個別供給流路IS2、IS4、…、ISnを介して、偶数番の圧力室PC2、PC4、…、PCnが連通されている(図7(b)参照)。したがって、第1共通供給流路CS1に供給された液体は、奇数番の個別供給流路IS1、IS3、…、ISn−1を介して、奇数番の圧力室PC1、PC3、…、PCn−1に供給される。また、第2共通供給流路CS2に供給された液体は、偶数番の個別供給流路IS2、IS4、…、ISnを介して、偶数番の圧力室PC2、PC4、…、PCnに供給される。このように、隣り合う圧力室に対して、異なる共通供給流路から液体が供給される。   The first common supply channel CS1 is connected to odd-numbered pressure chambers PC1, PC3,..., PCn-1 via odd-numbered individual supply channels IS1, IS3,. FIG. 7 (a)). Further, the even-numbered pressure chambers PC2, PC4,..., PCn communicate with the second common supply channel CS2 through the even-numbered individual supply channels IS2, IS4,. (See (b)). Therefore, the liquid supplied to the first common supply flow path CS1 is supplied to the odd-numbered pressure chambers PC1, PC3,..., PCn-1 via the odd-numbered individual supply flow paths IS1, IS3,. To be supplied. Further, the liquid supplied to the second common supply flow path CS2 is supplied to the even-numbered pressure chambers PC2, PC4,..., PCn via the even-numbered individual supply flow paths IS2, IS4,. . In this way, the liquid is supplied from the different common supply flow paths to the adjacent pressure chambers.

一方、図13(a)に示すように、奇数番の圧力室PC1、PC3、…、PCn−1のノズル流路NC1、NC3、…、NCn−1には、奇数番の個別回収流路IC1、IC3、…、ICn−1を介して第1共通回収流路CC1が連通されている。また、図13(b)に示すように、偶数番の圧力室PC2、PC4、…、PCnのノズル流路NC2、NC4、…、NCnには、偶数番の個別回収流路IC2、IC4、…、ICnを介して第2共通回収流路CC2が連通されている。奇数番の圧力室PC1、PC3、…、PCn−1内の液体は、ノズル流路NC1、NC3、…、NCn−1から奇数番の個別回収流路IC1、IC3、…、ICn−1を介して第1共通回収流路CC1に回収され、偶数番の圧力室PC2、PC4、…、PCn内の液体は、ノズル流路NC2、NC4、…、NCnから偶数番の個別回収流路IC2、IC4、…、ICnを介して第2共通回収流路CC2に回収される。このように、隣り合う圧力室に対して、異なる共通回収流路から液体が回収される。   On the other hand, as shown in FIG. 13 (a), the odd numbered pressure chambers PC1, PC3,..., PCn-1 nozzle channels NC1, NC3,. , IC3,..., ICn-1, the first common recovery channel CC1 is communicated. 13B, even-numbered pressure chambers PC2, PC4,..., PCn nozzle channels NC2, NC4,..., NCn have even-numbered individual recovery channels IC2, IC4,. , ICn is in communication with the second common recovery channel CC2. The liquid in the odd-numbered pressure chambers PC1, PC3,..., PCn-1 passes from the nozzle channels NC1, NC3,..., NCn-1 to the odd-numbered individual recovery channels IC1, IC3,. The liquid in the even-numbered pressure chambers PC2, PC4,..., PCn is recovered into the first common recovery flow path CC1, and the even-numbered individual recovery flow paths IC2, IC4 from the nozzle flow paths NC2, NC4,. ,..., Are collected in the second common collection channel CC2 via ICn. In this way, the liquid is recovered from the different common recovery flow paths for the adjacent pressure chambers.

以上のように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド50では、ノズルから吐出させる液体が循環供給される。この際、隣り合う圧力室に対して、異なる共通供給流路から液体が供給されるとともに、隣り合う圧力室に対して、異なる共通回収流路から液体が回収される。これにより、隣接する圧力室の圧力波の影響を物理的に分離でき、クロストークの発生を防止することができる。また、これにより各個別供給流路の設計の自由度も高くなるので、リフィル性能の向上も図ることができる。   As described above, in the droplet discharge head 50 of the present embodiment, the liquid discharged from the nozzles is circulated and supplied. At this time, the liquid is supplied from the different common supply flow paths to the adjacent pressure chambers, and the liquid is recovered from the different common recovery flow paths to the adjacent pressure chambers. Thereby, the influence of the pressure wave of the adjacent pressure chamber can be physically separated, and the occurrence of crosstalk can be prevented. Moreover, since the freedom degree of design of each individual supply flow path becomes high by this, the improvement of refill performance can also be aimed at.

また、本実施の形態の液滴吐出ヘッド50では、下段に位置した第1共通供給流路CS1に連通させた圧力室(奇数番の圧力室)は、下段に位置した第1共通回収流路CC1に連通させ、上段に位置した第2共通供給流路CS2に連通させた圧力室(偶数番の圧力室)は、上段に位置した第2共通回収流路CC2に連通させ、各圧力室間で水頭差の影響をなくしているので、各ノズルN1、N2、…、Nn間でバラツキのない安定した液滴の吐出を行うことができる。   Further, in the liquid droplet ejection head 50 of the present embodiment, the pressure chamber (odd numbered pressure chamber) communicated with the first common supply channel CS1 located at the lower stage is the first common recovery channel located at the lower stage. The pressure chambers (even-numbered pressure chambers) communicated with CC1 and communicated with the second common supply flow path CS2 located at the upper stage are communicated with the second common recovery flow path CC2 located at the upper stage, and are connected between the pressure chambers. Since the influence of the water head difference is eliminated, it is possible to stably discharge droplets without variation among the nozzles N1, N2,..., Nn.

なお、上記実施の形態では、第1共通回収流路CC1と第2共通回収流路CC2を上下に重ねて同じ位置に配置しているが、必ずしも上下同じ位置に重ねて配置する必要はなく、横方向にずらして配置するようにしてもよい。ただし、上記実施の形態のように、第1共通回収流路CC1と第2共通回収流路CC2とを上下同じ位置に重ねて配置することにより、省スペース化を図ることができる。また、1つの流路を上下に分割し、分離プレートで2分割することにより、簡単に複数の共通回収流を形成することができる。   In the above-described embodiment, the first common recovery channel CC1 and the second common recovery channel CC2 are vertically stacked and arranged at the same position. You may make it arrange | position by shifting in a horizontal direction. However, space saving can be achieved by arranging the first common recovery flow path CC1 and the second common recovery flow path CC2 in the same vertical position as in the above embodiment. Further, a plurality of common recovery flows can be easily formed by dividing one flow path up and down and dividing it into two by a separation plate.

また、上記実施の形態では、2つの共通回収流路を設けているが、さらに複数の共通回収流路を形成することもできる。これにより、クロストークの発生を防止できる。   In the above embodiment, two common recovery channels are provided, but a plurality of common recovery channels may be formed. Thereby, occurrence of crosstalk can be prevented.

《第3の実施の形態》
図14は、本発明に係る液滴吐出ヘッドの第3の実施の形態の底面図である。
<< Third Embodiment >>
FIG. 14 is a bottom view of the third embodiment of the droplet discharge head according to the present invention.

同図に示すように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド70は、ノズルN[x,y]及び圧力室PC[x,y]が、ノズル面に二次元マトリクス状に配置されている(いわゆるマトリクスヘッド)。ノズルN[x,y]及び圧力室PC[x,y]をこのような配置構成とすることにより、ヘッドの長手方向に投影される実質的なノズルN[x,y]の間隔を狭めることができ、ノズルN[x,y]の高密度化を図ることができる。   As shown in the figure, in the droplet discharge head 70 of the present embodiment, nozzles N [x, y] and pressure chambers PC [x, y] are arranged in a two-dimensional matrix on the nozzle surface ( So-called matrix head). By arranging the nozzles N [x, y] and the pressure chambers PC [x, y] in such a configuration, the interval between the substantial nozzles N [x, y] projected in the longitudinal direction of the head is reduced. And the density of the nozzles N [x, y] can be increased.

ノズルN[x,y]及び圧力室PC[x,y]は、ヘッドの長手方向に対して所定角度傾斜した方向に並列して配置されるノズルN[x,y]及び圧力室PC[x,y]の列を一単位とし、このノズルN[x,y]及び圧力室PC[x,y]の列が、ヘッドの長手方向に沿って一定間隔で配置される。   The nozzle N [x, y] and the pressure chamber PC [x, y] are arranged in parallel in a direction inclined by a predetermined angle with respect to the longitudinal direction of the head, and the pressure chamber PC [x , Y] as a unit, the nozzles N [x, y] and the pressure chambers PC [x, y] are arranged at regular intervals along the longitudinal direction of the head.

各ノズルN[x,y]から吐出させる液体を圧力室PC[x,y]に供給する共通供給流路は、共通供給流路本流CSmと、その共通供給流路本流CSmから分岐する複数の共通供給流路支流CSb[x]とで構成される。   The common supply flow path for supplying the liquid discharged from each nozzle N [x, y] to the pressure chamber PC [x, y] has a common supply flow path main stream CSm and a plurality of branches branched from the common supply flow path main stream CSm. It is comprised by the common supply flow path tributary CSb [x].

共通供給流路本流CSmは、ヘッドの長手方向にそって形成され、一端(図13の右端)に供給口が連通される。   The common supply flow path main stream CSm is formed along the longitudinal direction of the head, and the supply port communicates with one end (the right end in FIG. 13).

共通供給流路支流CSb[x]は、圧力室PC[x,y]の列単位で設けられ、各列の圧力室PC[x,y]の配列方向に沿って所定角度傾斜して形成される。そして、一端(図13の上端)が共通供給流路本流CSmに連通される。   The common supply channel branch CSb [x] is provided in units of columns of the pressure chambers PC [x, y], and is inclined at a predetermined angle along the arrangement direction of the pressure chambers PC [x, y] in each column. The One end (the upper end in FIG. 13) communicates with the common supply flow path main stream CSm.

各共通供給流路支流CSb[x]は、第1共通供給流路支流CSb1[x]と第2共通供給流路支流CSb2[x]とで構成されており、上下に重ねて階層的に配置されている(1つの流路を上下に分断して、分離プレートで上下に分離して形成されている。図2、3参照)。   Each common supply channel tributary CSb [x] is composed of a first common supply channel tributary CSb1 [x] and a second common supply channel tributary CSb2 [x]. (It is formed by dividing one flow path up and down and separating it up and down with a separation plate. See FIGS. 2 and 3).

各列の圧力室PC[x,y]は、各列の圧力室PC[x,y]に並列して配置された共通供給流路CSb[x]に個別供給流路IS[x,y]を介して連通され、この個別供給流路[x,y]を介して共通供給流路CSb[x]から液体が供給される。   The pressure chambers PC [x, y] in each row are individually supplied to the common supply passage CSb [x] arranged in parallel with the pressure chambers PC [x, y] in each row. The liquid is supplied from the common supply flow path CSb [x] through the individual supply flow paths [x, y].

ここで、各列の圧力室PC[x,y]は、奇数行の圧力室PC[x,y]は、第1共通供給流路支流CSb1[x]に連通され、偶数番の圧力室PC[x,y]は、第2共通供給流路支流CSb2[x]に連通される。すなわち、各列において、隣り合う圧力室PC[x,y]が、異なる共通供給流路支流に連通される。   Here, the pressure chambers PC [x, y] in each column are connected to the first common supply flow path branch CSb1 [x], and the even-numbered pressure chambers PC [x, y] are communicated with the first common supply channel branch CSb1 [x]. [X, y] is communicated with the second common supply flow path branch CSb2 [x]. That is, in each row, adjacent pressure chambers PC [x, y] are communicated with different common supply flow path tributaries.

図15は、各圧力室PC[x,y]と共通供給流路支流との連通関係を示す概念図である。なお、同図(a)は第1共通供給流路支流CSb1[x]と各圧力室との連通関係を示しており、同図(b)は第2共通供給流路支流CSb2[x]と各圧力室との連通関係を示している。   FIG. 15 is a conceptual diagram showing a communication relationship between each pressure chamber PC [x, y] and a common supply flow path tributary. In addition, the same figure (a) has shown the communication relationship between 1st common supply flow path branch CSb1 [x] and each pressure chamber, and the same figure (b) is the second common supply flow path branch CSb2 [x]. The communication relationship with each pressure chamber is shown.

同図(a)に示すように、各列の圧力室PC[1,y]、PC[2,y]、…において、奇数行の圧力室PC[1,1]、PC[1,3]、…、PC[2,1]、PC[2,3]、…、PC[3,1]、PC[3,3]、…、…は、それぞれ各列の第1共通供給流路支流CSb1[1]、CSb1[2]、…に連通される。   As shown in FIG. 6A, in each column of pressure chambers PC [1, y], PC [2, y],..., Odd-numbered pressure chambers PC [1, 1], PC [1, 3] , ..., PC [2,1], PC [2,3], ..., PC [3,1], PC [3,3], ..., are respectively the first common supply channel branch CSb1 in each row. [1], CSb1 [2],.

また、同図(b)に示すように、各列の圧力室PC[1,y]、PC[2,y]、…において、偶数行の圧力室PC[1,2]、PC[1,4]、…、PC[2,2]、PC[2,4]、…、PC[3,2]、PC[3,4]、…、…は、それぞれ各列の第2共通供給流路支流CSb2[1]、CSb2[2]、…に連通される。   Further, as shown in FIG. 5B, in the pressure chambers PC [1, y], PC [2, y],... In each column, the pressure chambers PC [1, 2], PC [1, 4],..., PC [2,2], PC [2,4],..., PC [3,2], PC [3,4],. The tributaries CSb2 [1], CSb2 [2],.

このように、各列において、隣り合う圧力室PC[x,y]が、異なる共通供給流路支流に連通される。   In this way, in each row, adjacent pressure chambers PC [x, y] are communicated with different common supply channel tributaries.

以上のように、本実施の形態の液滴吐出ヘッド70によれば、マトリクスヘッドにおいて、隣り合う圧力室PC[x,y]が、異なる共通供給流路支流に連通されて、液体が供給される。これにより、クロストークの発生を防止できる。   As described above, according to the droplet discharge head 70 of the present embodiment, in the matrix head, the adjacent pressure chambers PC [x, y] are communicated with different common supply channel tributaries, and the liquid is supplied. The Thereby, occurrence of crosstalk can be prevented.

なお、このようなマトリクスヘッドにおいて液体を循環供給する場合は、上記第2の実施の形態と同様に共通回収流路を複数形成し、隣り合う圧力室が異なる共通回収流路に連通されるように構成することが好ましい。   When the liquid is circulated and supplied in such a matrix head, a plurality of common recovery channels are formed in the same manner as in the second embodiment so that adjacent pressure chambers communicate with different common recovery channels. It is preferable to configure.

また、このようなマトリクスヘッドにおいても、共通供給流路支流は、さらに複数段に分けて形成することができる。   Also in such a matrix head, the common supply flow path tributary can be further divided into a plurality of stages.

なお、本発明の液滴吐出ヘッドは、たとえば、インクジェット方式で画像を記録するインクジェット記録装置の記録ヘッド(インクジェットヘッド)に適用することができる。   The droplet discharge head of the present invention can be applied to, for example, a recording head (inkjet head) of an inkjet recording apparatus that records an image by an inkjet method.

10、50、70…液滴吐出ヘッド、10A…ノズル面、12…ノズルプレート、14…ノズル流路プレート、16…圧力室プレート、18…第1共通供給流路プレート、20…分離プレート(第1分離プレート)、22…振動板、PZ1、PZ2、…、PZn…圧電素子、26…第2共通供給流路プレート、30…第2分離プレート、34…第3共通供給流路プレート、36…第3分離プレート、38…第4共通供給流路プレート、52…共通回収流路プレート、54…第1共通回収流路プレート、56…回収流路分離プレート、58…第2共通回収流路プレート、N1、N2、…、Nn…ノズル、PC1、PC2、…、PCn…圧力室、CS1…第1共通供給流路、CS2…第2共通供給流路、CS3…第3共通供給流路、CS4…第4共通供給流路、IS1、IS2、…、ISn…個別供給流路、CC1…第1共通回収流路、CC2…第2共通回収流路、IC1、IC2、…、ICn…個別回収流路、N[x,y]…ノズル、PC[x,y]…圧力室、CSm…共通供給流路本流、CSb[x]…共通供給流路支流、CSb1[x]…第1共通供給流路支流、CSb2[x]…第2共通供給流路支流、IS[x,y]…個別供給流路   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10, 50, 70 ... Droplet discharge head, 10A ... Nozzle surface, 12 ... Nozzle plate, 14 ... Nozzle flow path plate, 16 ... Pressure chamber plate, 18 ... First common supply flow path plate, 20 ... Separation plate (No. 1 separation plate), 22 ... vibration plate, PZ1, PZ2, ..., PZn ... piezoelectric element, 26 ... second common supply flow path plate, 30 ... second separation plate, 34 ... third common supply flow path plate, 36 ... 3rd separation plate, 38 ... 4th common supply flow path plate, 52 ... Common recovery flow path plate, 54 ... 1st common recovery flow path plate, 56 ... Recovery flow path separation plate, 58 ... 2nd common recovery flow path plate , N1, N2, ..., Nn ... Nozzle, PC1, PC2, ..., PCn ... Pressure chamber, CS1 ... First common supply channel, CS2 ... Second common supply channel, CS3 ... Third common supply channel, CS4 ... 4th , ISn, individual supply flow path, CC1, first common recovery flow path, CC2, second common recovery flow path, IC1, IC2,..., ICn, individual recovery flow path, N [X, y] ... nozzle, PC [x, y] ... pressure chamber, CSm ... common supply flow path main stream, CSb [x] ... common supply flow path branch, CSb1 [x] ... first common supply flow path branch, CSb2 [x] ... second common supply channel branch, IS [x, y] ... individual supply channel

Claims (10)

圧力室の容積をアクチュエータで膨張・収縮させて、前記圧力室に連通されたノズルから前記圧力室に貯留された液体の液滴を吐出させる液体吐出ヘッドであって、所定の配列方向に沿って前記圧力室が一定ピッチで複数配置されるとともに、前記圧力室の配列方向に沿って共通供給流路が配置され、該共通供給流路に連通された個別供給流路を介して前記各圧力室に前記液体が供給される液体吐出ヘッドにおいて、
前記圧力室の配列方向に沿って前記共通供給流路が複数配置され、隣り合う前記圧力室が、前記個別供給流路を介して異なる共通供給流路に連通されることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
A liquid discharge head that expands and contracts a volume of a pressure chamber with an actuator and discharges liquid droplets stored in the pressure chamber from a nozzle communicated with the pressure chamber, and is arranged along a predetermined arrangement direction. A plurality of the pressure chambers are arranged at a constant pitch, a common supply channel is arranged along the arrangement direction of the pressure chambers, and the pressure chambers are connected via the individual supply channels communicated with the common supply channel. In the liquid discharge head to which the liquid is supplied,
A plurality of the common supply flow paths are arranged along the arrangement direction of the pressure chambers, and the adjacent pressure chambers communicate with different common supply flow paths through the individual supply flow paths. Discharge head.
前記複数の共通供給流路は、1つの流路の内部を上下複数の層に分割して形成されることを特徴とする請求項1に記載の液滴吐出ヘッド。   2. The droplet discharge head according to claim 1, wherein the plurality of common supply channels are formed by dividing the inside of one channel into a plurality of upper and lower layers. 前記1つの流路を形成する基板を上下に複数分割し、分割した各基板の間に分離プレートを配置することにより、前記一つの流路の内部が上下複数の層に分割されることを特徴とする請求項2に記載の液滴吐出ヘッド。   The substrate forming one channel is divided into a plurality of upper and lower parts, and a separation plate is disposed between the divided substrates, whereby the inside of the one channel is divided into a plurality of upper and lower layers. The droplet discharge head according to claim 2. 前記各個別供給流路の容積が同じに形成されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。   The droplet discharge head according to claim 1, wherein the volumes of the individual supply channels are formed to be the same. 圧力室の容積をアクチュエータで膨張・収縮させて、前記圧力室に連通されたノズルから前記圧力室に貯留された液体の液滴を吐出させる液体吐出ヘッドであって、所定の配列方向に沿って前記圧力室が一定ピッチで複数配置されるとともに、前記圧力室の配列方向に沿って共通供給流路と共通回収流路とが配置され、前記共通供給流路に連通された個別供給流路を介して前記各圧力室に前記液体が供給されるともに、前記共通回収流路に連通された個別回収流路を介して前記各圧力室内の前記液体が回収されて、前記圧力室に前記液体が循環供給される液体吐出ヘッドにおいて、
前記圧力室の配列方向に沿って前記共通供給流路が複数配置され、隣り合う前記圧力室が、前記個別供給流路を介して異なる共通供給流路に連通されるとともに、前記圧力室の配列方向に沿って前記共通回収流路が複数配置され、隣り合う前記圧力室が、前記個別回収流路を介して異なる共通回収流路に連通されることを特徴とする液滴吐出ヘッド。
A liquid discharge head that expands and contracts a volume of a pressure chamber with an actuator and discharges liquid droplets stored in the pressure chamber from a nozzle communicated with the pressure chamber, and is arranged along a predetermined arrangement direction. A plurality of the pressure chambers are arranged at a constant pitch, a common supply channel and a common recovery channel are arranged along the arrangement direction of the pressure chambers, and an individual supply channel connected to the common supply channel is provided. The liquid is supplied to the pressure chambers through the individual recovery passages, and the liquids in the pressure chambers are recovered through the individual recovery passages communicated with the common recovery passages. In the liquid discharge head to be circulated,
A plurality of the common supply flow paths are arranged along the arrangement direction of the pressure chambers, and the adjacent pressure chambers communicate with different common supply flow paths via the individual supply flow paths, and the arrangement of the pressure chambers A liquid droplet ejection head, wherein a plurality of the common recovery channels are arranged along a direction, and the adjacent pressure chambers communicate with different common recovery channels via the individual recovery channels.
前記複数の共通供給流路と前記複数の共通回収流路は、ともに1つの流路の内部を上下複数の層に分割して形成されることを特徴とする請求項5に記載の液滴吐出ヘッド。   6. The droplet discharge according to claim 5, wherein the plurality of common supply channels and the plurality of common recovery channels are formed by dividing the inside of one channel into upper and lower layers. head. 前記1つの流路を形成する基板を上下に複数分割し、分割した各基板の間に分離プレートを配置することにより、前記一つの流路の内部が上下複数の層に分割されることを特徴とする請求項6に記載の液滴吐出ヘッド。   The substrate forming one channel is divided into a plurality of upper and lower parts, and a separation plate is disposed between the divided substrates, whereby the inside of the one channel is divided into a plurality of upper and lower layers. The droplet discharge head according to claim 6. 同じ圧力室に連通される前記個別供給流路と前記個別回収流路は、同じ階層の共通供給流路と共通回収流路に連通されることを特徴とする請求項6〜7のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。   The individual supply channel and the individual recovery channel communicated with the same pressure chamber are communicated with a common supply channel and a common recovery channel at the same level. The droplet discharge head according to Item. 前記各個別供給流路の容積が同じに形成されるとともに、前記各個別回収流路の容積が同じに形成されることを特徴とする請求項5〜8のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。   The droplets according to claim 5, wherein the volumes of the individual supply channels are formed to be the same, and the volumes of the individual recovery channels are formed to be the same. Discharge head. 所定の配列方向に沿って一定ピッチで複数配置された前記圧力室の列が、一定方向に一定ピッチで複数配列されることを特徴とする請求項1〜9のいずれか一項に記載の液滴吐出ヘッド。   The liquid according to claim 1, wherein a plurality of rows of the pressure chambers arranged at a constant pitch along a predetermined arrangement direction are arranged at a constant pitch in a fixed direction. Drop ejection head.
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