JP2011174881A - 静電容量型加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板35上に離間状態で配置された変位可能な重錘体36と、この重錘体36に設けられた可動電極34と、この可動電極34に対向して配置された固定電極33とを備え、両電極33,34間の静電容量の変化を重錘体36の変位に基づいて検出する。重錘体36と基板35の双方に重錘体36の水平方向の変位を規制する相補型係止手段と、この相補型係止手段に電位を固定するための電位固定手段とを設ける。相補型係止手段は、重錘体36に設けられた貫通孔38と、基板35上に設けられ、貫通孔38に挿入する係止部材37とからなっているので、衝突時の接触面積が大きく、応力集中による破壊を防止する。
【選択図】図3
Description
12 ストッパー
13 重り
14 センサチップ
21,22 ウェハ
31a,31b 支柱部材
32a,32b 梁部材
33 固定電極
34 可動電極
35 基板
36 重錘体
37,37a,37b 係止部材
38,38a,38b 貫通孔
39 固定部材
40a乃至40d 第1の突起部
41a乃至41d 空隙部
42a乃至42d 第2の突起部
43a乃至43d 第1の溝部
45a乃至45d 第2の溝
44a乃至44d 第3の突起部
45a乃至45d 第2の溝
51 導線
150 基板
150a,150b,150c,150d アンカー部
151,152 梁部
152A 梁構造体
152B 固定部
153,154 ストッパー部
153a,154a アンカー部
153b,154b 突出部
156 錘部
157 可動電極
158 固定電極
Claims (15)
- 基板上に離間状態で配置された変位可能な重錘体と、該重錘体に設けられた可動電極と、該可動電極に対向して配置された固定電極とを備え、前記両電極間の静電容量の変化を前記重錘体の変位に基づいて加速度を検出する静電容量型加速度センサにおいて、
前記重錘体と前記基板の双方に前記重錘体の水平方向の変位を規制する相補型係止手段と、該相補型係止手段に電位を固定するための電位固定手段とを設けたことを特徴とする静電容量型加速度センサ。 - 前記相補型係止手段が、前記重錘体に設けられた穴又は貫通孔と、前記基板上に設けられ、前記穴又は貫通孔に挿入する係止部材とからなることを特徴とする請求項1に記載の静電容量型加速度センサ。
- 前記穴又は貫通孔を前記重錘体の端部周辺に設けたことを特徴とする請求項2に記載の静電容量型加速度センサ。
- 前記重錘体に前記穴又は貫通孔を複数設けたことを特徴とする請求項2又は3に記載の静電容量型加速度センサ。
- 前記係止部材が、棒状部材であることを特徴とする請求項2,3又は4に記載の静電容量型加速度センサ。
- 前記重錘体が、前記基板上に設けられた支柱部材に梁部材を介して取り付けられており、前記電位固定手段が、前記係止部材と前記支柱部材と前記基板に配線された導線であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれかに記載の静電容量型加速度センサ。
- 基板上に離間状態で配置された変位可能な重錘体と、該重錘体に設けられた可動電極と、該可動電極に対向して配置された固定電極と、前記基板上に設けられ、前記重錘体の周辺を取り囲む固定部材とを備え、前記両電極間の静電容量の変化を前記重錘体の変位に基づいて加速度を検出する静電容量型加速度センサにおいて、
前記重錘体と前記固定部材の双方に前記重錘体の水平方向の変位を規制する相補型係止手段を設けたことを特徴とする静電容量型加速度センサ。 - 前記相補型係止手段が、前記重錘体の縁端部に設けられた第1の突起部と、前記固定部材に設けられ空隙部とからなることを特徴とする請求項7に記載の静電容量型加速度センサ。
- 前記相補型係止手段が、前記重錘体の縁端部に設けられた第2の突起部と、該第2の突起部に対向して前記固定部材に設けられた第1の溝部とからなることを特徴とする請求項7に記載の静電容量型加速度センサ。
- 前記相補型係止手段が、前記重錘体の縁端部に設けられた第2の溝部と、該第2の溝部に対向して前記固定部材に設けられた第3の突起部とからなることを特徴とする請求項7に記載の静電容量型加速度センサ。
- 前記突起部及び前記溝部の形状が、円弧状であることを特徴とする請求項8,9又は10に記載の静電容量型加速度センサ。
- 前記重錘体が、前記基板上に設けられた支柱部材に梁部材を介して取り付けられていることを特徴とする請求項7乃至11のいずれかに記載の静電容量型加速度センサ。
- 前記可動電極が、複数の薄板状の櫛型可動電極で、前記固定電極が、前記櫛型可動電極に対向してそれぞれ配置された複数の薄板状の櫛型固定電極であることを特徴とする請求項1乃至12のいずれかに記載の静電容量型加速度センサ。
- 前記櫛型可動電極が、前記重錘体の変位方向であるX軸方向に対してY軸方向の両側に設けられているとともに、前記櫛型固定電極が、前記櫛型可動電極に対向して配置されていることを特徴とする請求項13に記載の静電容量型加速度センサ。
- 前記櫛型固定電極が、前記櫛型可動電極を挟み込むようにした一対の櫛型固定電極であることを特徴とする請求項13又は14に記載の静電容量型加速度センサ。
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