JP2011169359A - ショックアブソーバおよびショックアブソーバユニット - Google Patents

Abstract

【課題】ショックアブソーバユニットの設置スペースを小さくして作動機器の設置作業を簡素化でき、かつショックアブソーバユニットの調整作業を容易に行い得るようにする。
【解決手段】底部室４８ａに筒状ケース４１内の体積増加を吸収する第１アキュムレータ５７を設け、筒状ケース４１の内周壁４９と第１ピストン５０の外周壁５０ａとの間にシリコーンオイルＯが流通する第１主流路５４を設け、筒状ケース４１の内周壁４９に第１ピストン５０の開口部室４８ｂ側への移動に伴い第１主流路５４の開口面積を徐々に小さくする第２内周壁４９ｂを設けた。よって、第１ピストン５０が開口部室４８ｂ側に行くに従い第１主流路５４を流通するシリコーンオイルＯの流動抵抗が増加し、引き側で抵抗力が発生する。
【選択図】図２

Description

本発明は、作動機器の可動部を停止する際に、可動部に加わる衝撃力を緩和するショックアブソーバおよびショックアブソーバユニットに関する。

従来、電子部品や精密機械部品（ワーク）を次の工程に移動させるために、圧縮空気を給排することで往復動する往復動テーブル（可動部）を備えた空圧作動機器（作動機器）を用いることがある。空圧作動機器としては、例えば、圧縮空気が給排されるエアシリンダを備えており、エアシリンダの内部にはピストンが移動自在に設けられている。ピストンにはロッドの一端側が固定され、ロッドの他端側は往復動テーブルに固定されている。これによりエアシリンダの内部に圧縮空気を給排することでピストンが往復動し、ロッドを介して往復動テーブルを往復動させて電子部品や精密機械部品を移動させることができる。

電子部品や精密機械部品は、空圧作動機器による移動時等において、加えられる衝撃力をできる限り抑えることが望ましい。そこで、電子部品や精密機械部品への衝撃力を緩和すべく、往復動テーブルの往復動端の位置にショックアブソーバ（緩衝器）を設けることが行われている。これにより往復動テーブルの往復動端の位置でショックアブソーバが作動し、ひいては電子部品や精密機械部品に加わる衝撃力を緩和することができる。

このような空圧作動機器に用いるショックアブソーバとしては、例えば、特許文献１に記載されたものが知られている。特許文献１に記載されたショックアブソーバは、底部および開口部を有するシリンダと、シリンダ内を軸方向に移動するピストンと、一端がピストンに接続され他端がシリンダの外部に延出されるピストンロッドと、シリンダ内に封入される液体とを備えている。シリンダの内周壁には、シリンダの底部側に向かうにつれて徐々に縮径するテーパ部が設けられ、これによりピストンがシリンダの底部側に行くにつれてピストンとシリンダとの間に形成される流路面積が小さくなる。つまり、ピストンがシリンダの底部側に行くにつれてピストンとシリンダとの間を流通する液体の流動抵抗が増加して、これにより往復動テーブルの往復動端で電子部品等に加わる衝撃力を緩和することができる。このように、特許文献１に記載されたショックアブソーバは、押し側、つまりピストンロッドをシリンダ内へ押し込むときに抵抗力（減衰力）を発生するショックアブソーバとなっている。

また、ショックアブソーバとしては、特許文献１のように押し側で抵抗力を発生するものの他に、例えば特許文献２に記載されるように押し側および引き側の双方で抵抗力を発生するものもある。特許文献２に記載されたショックアブソーバは、自動二輪車のステアリング部とフレーム部との間等に設けられるステアリングダンパであり、ピストンの内筒に対するストローク位置に関係無く、ストロークの略全域で抵抗力を発生し得る構造を採っている。つまり、特許文献２に記載のショックアブソーバの技術を空圧作動機器に適用した場合には、空圧作動機器の往復動テーブルの素早い動作に支障を来すことになる。

実開昭６１−０１６４４０号公報（第３図） 特開２００５−００９５６８号公報（図１）

図７（ａ），（ｂ）は従来技術に係るショックアブソーバを空圧作動機器に用いた例を示す図である。

図７に示すように、空圧作動機器１はエアシリンダ２を備え、エアシリンダ２に圧縮空気を給排することで、可動部３を図中左右方向に往復動させることができる。可動部３には往復動テーブル（図示せず）が固定され、往復動テーブルには電子部品等が載置されるようになっている。可動部３には受止板４が一体に設けられ、受止板４の板厚方向両側（図中左右側）には、一対のショックアブソーバユニット５ａ，５ｂを形成する各ショックアブソーバ６ａ，６ｂのキャップ部７ａ，７ｂが当接するようになっている。

受止板４の板厚方向両側には、各ショックアブソーバユニット５ａ，５ｂが各キャップ部７ａ，７ｂを向き合わせるようにして対向配置されている。ショックアブソーバ６ａは、図７（ａ）に示すように可動部３が図中左側へ移動した際に受止板４により押し縮められ、ショックアブソーバ６ｂは、図７（ｂ）に示すように可動部３が図中右側へ移動した際に受止板４により押し縮められる。

各ショックアブソーバ６ａ，６ｂは、いずれも押し側のショックアブソーバであるため、受止板４を挟むように互いに離した位置に各ショックアブソーバユニット５ａ，５ｂを配置する必要がある。したがって、受止板４が長尺で大型化するばかりか、各ショックアブソーバユニット５ａ，５ｂを設置するのに大きなスペースが必要となる。また、各ショックアブソーバユニット５ａ，５ｂをそれぞれ個別に台座等に固定する必要があり、空圧作動機器の設置に時間を要する。また、各ショックアブソーバユニット５ａ，５ｂの調整作業、つまり受止板４と各ショックアブソーバ６ａ，６ｂとの相対位置関係の調整が面倒である。

本発明の目的は、ショックアブソーバユニットの設置スペースを小さくして作動機器の設置作業を簡素化でき、かつショックアブソーバユニットの調整作業を容易に行い得るショックアブソーバおよびショックアブソーバユニットを提供することにある。

本発明のショックアブソーバは、内部に液体が封入され、底部および開口部を有するシリンダと、前記シリンダの前記開口部に装着され、ロッド案内孔を有するホルダと、前記ロッド案内孔に摺動自在に支持され、一端側が前記シリンダ内に設けられ他端側が前記シリンダ外に設けられるロッドと、前記ロッドの一端側に設けられ、前記シリンダ内を底部室と開口部室とに分けるピストンと、前記ロッドの前記シリンダ内への進入に伴う前記シリンダ内の体積増加を吸収するアキュムレータと、前記シリンダの内周壁と前記ピストンの外周壁との間に設けられ、前記ピストンの前記シリンダに対する相対移動時に前記液体が流通する主流路と、前記シリンダの前記内周壁を形成し、前記ピストンの前記開口部室側への移動に伴い前記主流路の開口面積を徐々に小さくする開口面積調整壁とを備えることを特徴とする。

本発明のショックアブソーバは、前記ピストンを前記ロッドに摺動自在に設け、前記ピストンの内周と前記ロッドの外周との間に前記底部室と前記開口部室とを連通する副流路を設け、前記ロッドには、前記ピストンの前記ロッドに対する前記開口部室側への移動時に前記副流路を遮断する副流路開閉部材を設けることを特徴とする。

本発明のショックアブソーバは、前記ロッドの他端側に、作動機器の可動部に固定される被固定部を設けることを特徴とする。

本発明のショックアブソーバは、前記アキュムレータを、独立気泡を有する弾性部材により形成することを特徴とする。

本発明のショックアブソーバは、前記アキュムレータを、前記底部室を摺動するフリーピストンと、前記フリーピストンの外周と前記シリンダの内周との間に設けられるシール部材と、前記フリーピストンを前記開口部室に向けて押圧するスプリングとから形成することを特徴とする。

本発明のショックアブソーバユニットは、内部に液体が封入され、底部および開口部を有する第１シリンダと、前記第１シリンダの前記開口部に装着され、第１ロッド案内孔を有する第１ホルダと、前記第１ロッド案内孔に摺動自在に支持され、一端側が前記第１シリンダ内に設けられ他端側が前記第１シリンダ外に設けられる第１ロッドと、前記第１ロッドの一端側に設けられ、前記第１シリンダ内を底部室と開口部室とに分ける第１ピストンと、前記第１ロッドの前記第１シリンダ内への進入に伴う前記第１シリンダ内の体積増加を吸収する第１アキュムレータと、前記第１シリンダの内周壁と前記第１ピストンの外周壁との間に設けられ、前記第１ピストンの前記第１シリンダに対する相対移動時に前記液体が流通する第１主流路と、前記第１シリンダの前記内周壁を形成し、前記第１ピストンの前記開口部室側への移動に伴い前記第１主流路の開口面積を徐々に小さくする第１開口面積調整壁とを備える第１ショックアブソーバと、内部に液体が封入され、底部および開口部を有する第２シリンダと、前記第２シリンダの前記開口部に装着され、第２ロッド案内孔を有する第２ホルダと、前記第２ロッド案内孔に摺動自在に支持され、一端側が前記第２シリンダ内に設けられ他端側が前記第２シリンダ外に設けられる第２ロッドと、前記第２ロッドの一端側に設けられ、前記第２シリンダ内を底部室と開口部室とに分ける第２ピストンと、前記第２ロッドの前記第２シリンダ内への進入に伴う前記第２シリンダ内の体積増加を吸収する第２アキュムレータと、前記第２シリンダの内周壁と前記第２ピストンの外周壁との間に設けられ、前記第２ピストンの前記第２シリンダに対する相対移動時に前記液体が流通する第２主流路と、前記第２シリンダの前記内周壁を形成し、前記第２ピストンの前記底部室側への移動に伴い前記第２主流路の開口面積を徐々に小さくする第２開口面積調整壁とを備える第２ショックアブソーバと、前記第１ショックアブソーバおよび前記第２ショックアブソーバの前記第１ロッドおよび前記第２ロッドを、相互に平行になるよう支持する支持部材とを備えることを特徴とする。

本発明のショックアブソーバユニットは、前記第１ピストンを前記第１ロッドに摺動自在に設け、前記第１ピストンの内周と前記第１ロッドの外周との間に前記底部室と前記開口部室とを連通する第１副流路を設け、前記第１ロッドには、前記第１ピストンの前記第１ロッドに対する前記開口部室側への移動時に前記第１副流路を遮断する第１副流路開閉部材を設け、前記第２ピストンを前記第２ロッドに摺動自在に設け、前記第２ピストンの内周と前記第２ロッドの外周との間に前記底部室と前記開口部室とを連通する第２副流路を設け、前記第２ロッドには、前記第２ピストンの前記第２ロッドに対する前記底部室側への移動時に前記第２副流路を遮断する第２副流路開閉部材を設けることを特徴とする。

本発明のショックアブソーバユニットは、前記第１ロッドの他端側に、作動機器の可動部に固定される被固定部を設けることを特徴とする。

本発明のショックアブソーバユニットは、前記第１，第２アキュムレータのうちの少なくともいずれか一方を、独立気泡を有する弾性部材により形成することを特徴とする。

本発明のショックアブソーバユニットは、前記第１，第２アキュムレータのうちの少なくともいずれか一方を、前記底部室を摺動するフリーピストンと、前記フリーピストンの外周と前記第１，第２シリンダの内周との間に設けられるシール部材と、前記フリーピストンを前記開口部室に向けて押圧するスプリングとから形成することを特徴とする。

本発明のショックアブソーバによれば、ロッドのシリンダ内への進入に伴うシリンダ内の体積増加を吸収するアキュムレータを設け、シリンダの内周壁とピストンの外周壁との間にピストンのシリンダに対する相対移動時に液体が流通する主流路を設け、シリンダの内周壁にピストンの開口部室側への移動に伴い主流路の開口面積を徐々に小さくする開口面積調整壁を設ける。したがって、ピストンがシリンダの開口部室側に行くにつれて主流路を流通する液体の流動抵抗が増加するので、引き側で抵抗力（減衰力）を発生するショックアブソーバとすることができる。

本発明のショックアブソーバによれば、ピストンをロッドに摺動自在に設け、ピストンの内周とロッドの外周との間に底部室と開口部室とを連通する副流路を設け、ロッドには、ピストンのロッドに対する開口部室側への移動時に副流路を遮断する副流路開閉部材を設ける。したがって、引き側と押し側とで発生する抵抗力の差を大きくすることができ、例えば、引き側で充分に大きな抵抗力を発生させ押し側で殆ど抵抗力を発生させないようにすることが可能となる。

本発明のショックアブソーバによれば、ロッドの他端側に、作動機器の可動部に固定される被固定部を設けるので、ロッドと可動部とを固定状態に保持できる。したがって、ショックアブソーバを引き側のショックアブソーバとして確実に機能させることができる。

本発明のショックアブソーバによれば、アキュムレータを、独立気泡を有する弾性部材により形成するので、アキュムレータを一の部品で形成することができ、部品点数を削減して製造コストを抑えることができる。

本発明のショックアブソーバによれば、アキュムレータを、底部室を摺動するフリーピストンと、フリーピストンの外周とシリンダの内周との間に設けられるシール部材と、フリーピストンを開口部室に向けて押圧するスプリングとから形成するので、アキュムレータの耐久性を向上させてショックアブソーバの長寿命化を図ることができる。

本発明のショックアブソーバユニットによれば、第１ショックアブソーバを引き側のショックアブソーバとし、第２ショックアブソーバを押し側のショックアブソーバとし、各ショックアブソーバの各ロッドを相互に平行になるよう支持する支持部材を設ける。したがって、ショックアブソーバを支持部材により集約して、ショックアブソーバユニットを作動機器の可動部の移動方向片側にのみ設置できる。これにより、ショックアブソーバユニットの設置スペースの小型化、ショックアブソーバユニットの調整作業の容易化および作動機器の設置作業の簡素化を図ることができる。

本発明のショックアブソーバユニットによれば、第１ショックアブソーバに第１ピストンの第１ロッドに対する開口部室側への移動により第１副流路を遮断する第１副流路開閉部材を設け、第２ショックアブソーバに第２ピストンの第２ロッドに対する底部室側への移動により第２副流路を遮断する第２副流路開閉部材を設ける。これにより、各ショックアブソーバのそれぞれにおいて、引き側と押し側とで発生する抵抗力の差を大きくすることができる。

（ａ），（ｂ）は、本発明に係るショックアブソーバを空圧作動機器に用いた例を示す図である。 第１実施の形態に係る第１ショックアブソーバ（引き込み時）の断面図である。 第１実施の形態に係る第１ショックアブソーバ（伸び時）の断面図である。 図１のショックアブソーバユニットに用いられる第２ショックアブソーバ（引き込み時）の断面図である。 図１のショックアブソーバユニットに用いられる第２ショックアブソーバ（伸び側）の断面図である。 （ａ），（ｂ）は、第２実施の形態に係る第１ショックアブソーバ（引き込み時／伸び時）の断面図である。 （ａ），（ｂ）は、従来技術に係るショックアブソーバを空圧作動機器に用いた例を示す図である。

以下、本発明の第１実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。図１（ａ），（ｂ）は本発明に係るショックアブソーバを空圧作動機器に用いた例を示す図である。

図１に示すように、作動機器としての空圧作動機器１０は、台座（図示せず）に固定される略直方体形状の本体部１１を備え、本体部１１の内部には、エアシリンダ１２が設けられている。エアシリンダ１２は、本体部１１の幅方向（図中上下方向）に対して略中央部分に配置され、エアシリンダ１２の軸線を挟む両側には、一対のスライド機構１３ａ，１３ｂが設けられている。各スライド機構１３ａ，１３ｂは、本体部１１に形成された一対の案内孔１４ａ，１４ｂおよび各案内孔１４ａ，１４ｂの内部を摺動する一対のスライド部材１５ａ，１５ｂにより形成されている。各スライド機構１３ａ，１３ｂは、エアシリンダ１２をこじること無く真っ直ぐに往復動させるガイドとして機能する。

エアシリンダ１２は中空状に形成され、その内部には、摺動して軸方向に往復動可能なピストン部材１６が設けられている。ピストン部材１６には、ロッド部材１７の軸方向他端側（図中左側）が固定され、ロッド部材１７の軸方向一端側（図中右側）はエアシリンダ１２の外部に延出されている。ピストン部材１６の移動方向両側には、一対のエアチャンバ１８ａ，１８ｂが設けられ、各エアチャンバ１８ａ，１８ｂには、それぞれ接続孔１９ａ，１９ｂが設けられている。各接続孔１９ａ，１９ｂには、エア配管を介してエアコンプレッサや電磁弁等よりなるエア回路（図示せず）が接続されるようになっている。

ここで、エアコンプレッサ等から圧縮空気をエアチャンバ１８ａに供給し、エアチャンバ１８ｂを大気開放することにより、図１（ａ）の実線矢印に示すようにピストン部材１６がエアシリンダ１２内を移動し、エアシリンダ１２内からロッド部材１７が突出される。一方、エアコンプレッサ等から圧縮空気をエアチャンバ１８ｂに供給し、エアチャンバ１８ａを大気開放することにより、図１（ｂ）の破線矢印に示すようにピストン部材１６がエアシリンダ１２内を移動し、エアシリンダ１２内にロッド部材１７が引き込まれる。

各スライド部材１５ａ，１５ｂおよびロッド部材１７の一端側には、可動部材２０が固定されている。可動部材２０は鋼材により略板状に形成され、可動部材２０の側壁部２０ａには、往復動テーブルを固定するための固定ネジ（図示せず）がねじ込まれる一対の雌ねじ部２０ｂが設けられている。なお、往復動テーブルには、ワークとしての電子部品や精密機械部品（図示せず）が載置されるようになっている。

可動部材２０のロッド部材１７側とは反対側には、鋼材により略板状に形成された受止板２１が固定されている。受止板２１は、第１ショックアブソーバ４０の被固定部４５ｄが固定されるとともに、第２ショックアブソーバ６０のキャップ部材７６が当接するようになっている。つまり受止板２１は、各ショックアブソーバ４０，６０の抵抗力（減衰力）を受け止めるようになっている。

受止板２１には、第１ショックアブソーバ４０の被固定部４５ｄが係合する固定部２１ａが一体に設けられ、固定部２１ａには、第１ショックアブソーバ４０の被固定部４５ｄが、図中手前方向から差し込むようにして嵌め込まれる。ここで、可動部材２０，可動部材２０に固定される往復動テーブルおよび受止板２１は、本発明における可動部を構成している。

空圧作動機器１０の可動部材２０側には、所定の間隔を介してショックアブソーバユニット３０が設置され、ショックアブソーバユニット３０についても、空圧作動機器１０の本体部１１と同様に台座に固定されている。ショックアブソーバユニット３０は、第１ショックアブソーバ４０，第２ショックアブソーバ６０および各ショックアブソーバ４０，６０を支持する支持部材８０を備えている。

支持部材８０には、各ショックアブソーバ４０，６０を支持するための一対の支持孔８１ａ，８１ｂが形成されており、各支持孔８１ａ，８１ｂは互いに平行となっている。各支持孔８１ａ，８１ｂの内側には雌ねじ部（図示せず）が形成され、各支持孔８１ａ，８１ｂの各雌ねじ部には、各ショックアブソーバ４０，６０の雄ねじ部４１ａ，６１ａがねじ込まれるようになっている。支持部材８０は、各ショックアブソーバ４０，６０の各ロッド４５，６６が相互に平行になり、受止板２１に対して垂直となるように、各ショックアブソーバ４０，６０を支持している。

そして、各ショックアブソーバ４０，６０を、各支持孔８１ａ，８１ｂに所定量ねじ込むことにより、受止板２１と各ショックアブソーバ４０，６０との相対位置関係が調整される。なお、六角ナット８２ａ〜８２ｄを、各ショックアブソーバ４０，６０にねじ込むことで、支持部材８０に対する各ショックアブソーバ４０，６０の弛み止めを行っている。

第１ショックアブソーバ４０は、第１ロッド４５を引いたとき、つまり突出方向に抵抗力を発生する引き側のショックアブソーバとなっている。よって、第１ショックアブソーバ４０は、図１（ｂ）の破線矢印に示すように、エアシリンダ１２を作動させて可動部材２０を本体部１１に引き寄せる時に作動する。一方、第２ショックアブソーバ６０は、第２ロッド６６を押したときに抵抗力を発生する押し側のショックアブソーバとなっている。よって、第２ショックアブソーバ６０は、図１（ａ）の実線矢印に示すように、エアシリンダ１２を作動させて可動部材２０を本体部１１から離間させる時に作動する。

図２は第１実施の形態に係る第１ショックアブソーバ（引き込み時）の断面図を、図３は第１実施の形態に係る第１ショックアブソーバ（伸び時）の断面図をそれぞれ表している。

図２および図３に示す第１ショックアブソーバ４０は、本発明に係るショックアブソーバを構成し、鋼材等により略円筒形状に形成された筒状ケース４１を備えている。筒状ケース４１の一端側はエンドカバー４２により閉塞され、筒状ケース４１の他端側にはロッドカバー４３が一体に設けられている。筒状ケース４１の他端側は、ロッドカバー４３の開口部４３ａを介して開口している。ここで、筒状ケース４１，エンドカバー４２およびロッドカバー４３により、本発明におけるシリンダおよび第１シリンダを構成し、エンドカバー４２は、本発明におけるシリンダおよび第１シリンダの底部を構成している。

筒状ケース４１の外周には、支持部材８０の支持孔８１ａ（図１参照）にねじ込まれる雄ねじ部４１ａが形成され、雄ねじ部４１ａには一対の六角ナット８２ａ，８２ｂがねじ結合されている。

筒状ケース４１の開口部４３ａ側には、略円筒形状に形成された第１ホルダ（ホルダ）４４が装着され、第１ホルダ４４には、軸方向に延びる第１ロッド案内孔（ロッド案内孔）４４ａが設けられている。第１ロッド案内孔４４ａは第１ロッド（ロッド）４５を摺動自在に支持し、第１ロッド案内孔４４ａは筒状ケース４１に対する第１ロッド４５のスムーズな相対移動を案内している。

第１ホルダ４４の外周と筒状ケース４１の内周との間には、ゴム製のＯリング４６が設けられ、Ｏリング４６は第１ホルダ４４と筒状ケース４１との間を密封している。第１ロッド案内孔４４ａの開口部４３ａ側には、ゴム製のロッドパッキン４７が装着され、ロッドパッキン４７は第１ロッド４５に摺接するようになっている。ロッドパッキン４７は、第１ロッド４５と第１ロッド案内孔４４ａとの間を密封している。

筒状ケース４１内には液体収容室４８が設けられ、液体収容室４８には、液体としてのシリコーンオイルＯが封入されている。液体収容室４８は、筒状ケース４１の内周壁４９により取り囲まれるようにして形成される。筒状ケース４１の一端側の内周壁４９は、筒状ケース４１のエンドカバー４２側に向けて内径が一定となった第１内周壁４９ａを形成し、筒状ケース４１の他端側の内周壁４９は、筒状ケース４１の開口部４３ａ側に向けて徐々に縮径するテーパ状の第２内周壁４９ｂを形成している。

第１ロッド４５の一端側は筒状ケース４１内に設けられ、第１ロッド４５の一端側には、ロッド本体４５ａよりも小径となった小径部４５ｂが設けられている。流路部材５１は第１ロッド４５と一体に組み立てられている。第１ピストン（ピストン）５０は流路部材５１とナット部材５２との間の小径部４５ｂに、軸方向に移動自在に装着されている。第１ピストン５０は、液体収容室４８を底部室４８ａと開口部室４８ｂとに分けている。第１ピストン５０および流路部材５１は、いずれも略円盤状に形成され、第１ピストン５０の軸方向の厚み寸法は、流路部材５１とナット部材５２との間の小径部４５ｂの軸方向寸法よりも小さくなっている。これにより第１ピストン５０は、小径部４５ｂに対して所定距離Ｌ１の分、移動することができる。

第１ロッド４５の小径部４５ｂよりもさらに一端側には、雄ねじ部４５ｃが形成されている。雄ねじ部４５ｃには、ナット部材５２がねじ結合されており、ナット部材５２は、第１ピストン５０が小径部４５ｂから脱落するのを防止している。ナット部材５２には、径方向外側に膨出する環状のフランジ部５２ａが一体に設けられ、フランジ部５２ａは第１ピストン５０と当接するようになっている。

第１ロッド４５の他端側は筒状ケース４１外に設けられ、第１ロッド４５の他端側には、開口部４３ａの内径よりも大きな外径に設定され、かつ段付き形状となった被固定部４５ｄが設けられている。被固定部４５ｄは、ロッドカバー４３に当接して第１ロッド４５の筒状ケース４１内への進入量を規制するとともに、空圧作動機器１０の受止板２１に設けた固定部２１ａ（図１参照）に係合されるようになっている。被固定部４５ｄにはクッション部材５３が装着され、クッション部材５３は、受止板２１に弾性変形を伴って接触し、これにより騒音の発生等を防止するようになっている。

筒状ケース４１の内周壁４９と第１ピストン５０の外周壁５０ａとの間には、第１ピストン５０の筒状ケース４１に対する相対移動時に、底部室４８ａと開口部室４８ｂとの間でのシリコーンオイルＯの移動を許容する第１主流路（主流路）５４が形成されている。第１ピストン５０が第１内周壁４９ａ側を移動する場合には、第１主流路５４の流路面積は一定でかつ比較的大きな流路が確保され、シリコーンオイルＯの流動抵抗は殆ど発生しない。一方、第１ピストン５０が第２内周壁４９ｂ側を移動して開口部４３ａ側に向かう場合には、第１主流路５４の流路面積（開口面積）は徐々に小さくなり、第１主流路５４が徐々に絞られてシリコーンオイルＯの流動抵抗が徐々に大きくなる。ここで、第２内周壁４９ｂは、本発明における開口面積調整壁および第１開口面積調整壁を構成している。

第１ピストン５０の内周と小径部４５ｂの外周との間には、底部室４８ａと開口部室４８ｂとの間を連通するピストン副流路５５が設けられている。ピストン副流路５５は、第１ピストン５０の径方向内側に周方向に沿って複数（例えば等間隔で４つ）形成されている。各ピストン副流路５５の一端側は、第１ピストン５０がフランジ部５２ａに当接した際にフランジ部５２ａにより閉塞され、これにより各ピストン副流路５５は遮断される。ここで、ナット部材５２は、本発明における副流路開閉部材および第１副流路開閉部材を構成している。

流路部材５１には、底部室４８ａと開口部室４８ｂとの間を連通する流路部材副流路５６が設けられている。流路部材副流路５６は、流路部材５１の径方向内側に周方向に沿って複数（例えば等間隔で４つ）形成されている。各ピストン副流路５５および各流路部材副流路５６は互いに連通しており、各副流路５５，５６は本発明における副流路および第１副流路を構成している。

エンドカバー４２の内側、つまり底部室４８ａ内には、内部に独立気泡を有するゴム等の弾性部材により略円柱形状に形成された第１アキュムレータ（アキュムレータ）５７が設けられている。第１アキュムレータ５７は、第１ロッド４５の筒状ケース４１内への進入に伴う筒状ケース４１内の体積増加を吸収するようになっている。つまり、第１ロッド４５が筒状ケース４１内に進入した際に筒状ケース４１の内圧が増加し、これにより第１アキュムレータ５７内の独立気泡が小さくなり第１アキュムレータ５７は収縮変形する。

ただし、図２および図３の実施例では、底部室４８ａにアキュムレータを設けているが、アキュムレータを円筒状としてその中心孔に第１ロッド４５を貫通するようにし、第１ホルダ４４の一部のスペースに設けても良い。つまり開口部室４８ｂ側にアキュムレータを設けることもできる。

エンドカバー４２には、筒状ケース４１内に外部からシリコーンオイルＯを注入するための注入孔４２ａが形成されている。注入孔４２ａは、プラグとしての止めねじ５８により閉塞され、これにより注入孔４２ａから筒状ケース４１内にシリコーンオイルＯを注入した後に、シリコーンオイルＯの外部への漏洩を防止している。エンドカバー４２の外周と筒状ケース４１の内周との間には、ゴム製のＯリング５９が設けられ、Ｏリング５９はエンドカバー４２と筒状ケース４１と間を密封している。

次に、以上のように形成した第１ショックアブソーバ４０の動作について、図２および図３を用いて詳細に説明する。

［引き込み行程］
第１ショックアブソーバ４０の引き込み行程（押し側）においては、図２の矢印（１）に示すように第１ロッド４５が筒状ケース４１内に進入する。すると、第１ロッド４５の筒状ケース４１内への進入に伴い第１アキュムレータ５７は収縮変形される。このとき、シリコーンオイルＯは、図中矢印（２）に示すように第１主流路５４を介して底部室４８ａから開口部室４８ｂに流動する。また、第１ロッド４５の筒状ケース４１内への進入に伴い、第１ピストン５０が、小径部４５ｂに対して所定距離Ｌ１の分、ロッド本体４５ａ側（開口部室４８ｂ側）に移動する。

これにより、図中矢印（３）に示すように各ピストン副流路５５および各流路部材副流路５６が連通状態となり、シリコーンオイルＯは各副流路５５，５６を介して底部室４８ａから開口部室４８ｂに流動する。このように、第１ショックアブソーバ４０の引き込み行程においては、シリコーンオイルＯは第１主流路５４および各副流路５５，５６の双方を流動するため、底部室４８ａと開口部室４８ｂとの間には大きな流路面積が確保される。したがって、第１ショックアブソーバ４０は抵抗力を殆ど発生しない。

ここで、第１ピストン５０が第２内周壁４９ｂ側（減衰領域Ａ１）にあるときは、第１主流路５４の流路面積が小さくなり、第１主流路５４におけるシリコーンオイルＯの流動が制限される。しかし、各副流路５５，５６の流路面積が充分に大きく設定されているため、第１ショックアブソーバ４０は抵抗力を殆ど発生しない。つまり、第１ショックアブソーバ４０の全ストローク領域で、第１ロッド４５は筒状ケース４１内にスムーズに進入可能となっている。

［伸び行程］
第１ショックアブソーバ４０の伸び行程（引き側）においては、図３の矢印（４）に示すように第１ロッド４５が筒状ケース４１外に引き出される。すると、第１ロッド４５が筒状ケース４１外に引き出される過程では第１アキュムレータ５７は膨張変形される。このとき、シリコーンオイルＯは、図中矢印（５）に示すように第１主流路５４を介して開口部室４８ｂから底部室４８ａに流動する。また、第１ロッド４５が筒状ケース４１外に引き出される過程では、第１ピストン５０が、小径部４５ｂに対して所定距離Ｌ１の分、ナット部材５２側（底部室４８ａ側）に移動する。

これにより、第１ピストン５０がナット部材５２のフランジ部５２ａに密着して当接し、各ピストン副流路５５および各流路部材副流路５６が閉塞され、各副流路５５，５６におけるシリコーンオイルＯの流動が遮断される。このように、第１ショックアブソーバ４０の伸び行程においては、シリコーンオイルＯは第１主流路５４のみを流動し、開口部室４８ｂと底部室４８ａとの間を流れるシリコーンオイルＯの流動抵抗が増加する。これにより、第１ショックアブソーバ４０は、所定の抵抗力を発生するようになる。

ここで、第１ピストン５０が第２内周壁４９ｂ側（減衰領域Ａ１）を移動して開口部４３ａに向かうと、第１主流路５４の流路面積は徐々に小さくなっていく。すると、シリコーンオイルＯの第１主流路５４における流動が徐々に制限されて、第１ショックアブソーバ４０の抵抗力が徐々に大きくなっていく。このように、第１ショックアブソーバ４０は、伸び行程の後半、つまり第１ピストン５０が第２内周壁４９ｂ側における開口部４３ａの近傍にあるときに抵抗力が最大となる。これにより、可動部材２０，可動部材２０に固定される往復動テーブルおよび受止板２１（図１参照）の移動に伴う衝撃を緩和できる。

図４は図１のショックアブソーバユニットに用いられる第２ショックアブソーバ（引き込み時）の断面図を、図５は図１のショックアブソーバユニットに用いられる第２ショックアブソーバ（伸び側）の断面図をそれぞれ表している。

図４および図５に示すように、第２ショックアブソーバ６０は、鋼材等により略有底円筒形状に形成された筒状ケース６１を備えている。筒状ケース６１の一端側には底部６２が形成され、筒状ケース６１の他端側にはロッドカバー６３が装着されている。筒状ケース６１の他端側は、ロッドカバー６３の開口部６３ａを介して開口している。ここで、筒状ケース６１，底部６２およびロッドカバー６３により、本発明における第２シリンダを構成している。

筒状ケース６１の外周には、支持部材８０の支持孔８１ｂ（図１参照）にねじ込まれる雄ねじ部６１ａが形成され、雄ねじ部６１ａには一対の六角ナット８２ｃ，８２ｄがねじ結合されている。底部６２には、筒状ケース６１内に外部からシリコーンオイルＯを注入するための注入孔６２ａが形成されている。注入孔６２ａは、プラグとしての止めねじ６４により閉塞され、これにより注入孔６２ａから筒状ケース６１内にシリコーンオイルＯを注入した後に、シリコーンオイルＯの外部への漏洩を防止している。

筒状ケース６１のロッドカバー６３側には、略円筒形状に形成された第２ホルダ６５が装着され、第２ホルダ６５には、軸方向に延びる第２ロッド案内孔６５ａが設けられている。第２ロッド案内孔６５ａは第２ロッド６６を摺動自在に支持し、第２ロッド案内孔６５ａは筒状ケース６１に対する第２ロッド６６のスムーズな相対移動を案内している。

第２ホルダ６５の外周と筒状ケース６１の内周との間には、ゴム製のＯリング６７が設けられ、Ｏリング６７は第２ホルダ６５と筒状ケース６１との間を密封している。第２ロッド案内孔６５ａのロッドカバー６３側には、ゴム製のロッドパッキン６８が装着され、ロッドパッキン６８は第２ロッド６６に摺接するようになっている。ロッドパッキン６８は、第２ロッド６６と第２ロッド案内孔６５ａとの間を密封している。

第２ホルダ６５の軸方向に沿うロッドパッキン６８とは反対側（開口部室７０ｂ側）には、内部に独立気泡を有するゴム等の弾性部材により略円筒形状に形成された第２アキュムレータ６９が設けられている。第２アキュムレータ６９は、第２ロッド６６の筒状ケース６１内への進入に伴う筒状ケース６１内の体積増加を吸収するようになっている。つまり、第２ロッド６６が筒状ケース６１内に進入した際に筒状ケース６１の内圧が増加し、これにより第２アキュムレータ６９内の独立気泡が小さくなり第２アキュムレータ６９は収縮変形する。ただし、第２アキュムレータは、図２および図３に示すように底部室に設けても良い。

筒状ケース６１内には液体収容室７０が設けられ、液体収容室７０には、液体としてのシリコーンオイルＯが封入されている。液体収容室７０は、筒状ケース６１の内周壁７１により取り囲まれるようにして形成され、筒状ケース６１の一端側の内周壁７１は、筒状ケース６１の軸方向に向けて内径が一定となった第１内周壁７１ａを形成し、筒状ケース６１の他端側の内周壁７１は、筒状ケース６１のロッドカバー６３側に向けて徐々に拡径するテーパ状の第２内周壁７１ｂを形成している。ここで、第２内周壁７１ｂは、本発明における第２開口面積調整壁を構成している。

第２ロッド６６の一端側は筒状ケース６１内に設けられ、第２ロッド６６の一端側には、略円盤状に形成された支持部材７２および流路部材７３が、それぞれ第２ロッド６６の軸方向に沿って所定間隔を持って固定されている。支持部材７２と流路部材７３との間には、第２ロッド６６の軸方向に摺動自在に第２ピストン７４が装着され、第２ピストン７４は、液体収容室７０を底部室７０ａと開口部室７０ｂとに分けている。第２ピストン７４は略円盤状に形成され、第２ピストン７４の厚み寸法は、支持部材７２と流路部材７３との間の寸法よりも小さくなっている。これにより、第２ピストン７４は、支持部材７２と流路部材７３との間で所定距離Ｌ２の分、移動することができる。

第２ロッド６６の一端側で、流路部材７３と底部６２との間には、圧縮コイルばね７５が設けられている。圧縮コイルばね７５は、所定の初期荷重を負荷した状態（縮められた状態）で流路部材７３と底部６２との間に設けられ、これにより第２ロッド６６には、当該第２ロッド６６を筒状ケース６１外に突出させる方向に押圧力が負荷されている。

第２ロッド６６の他端側は筒状ケース６１外に設けられ、第２ロッド６６の他端側には、プラスチック等の樹脂材料よりなるキャップ部材７６が装着されており、キャップ部材７６の他端側は、空圧作動機器１０の受止板２１（図１参照）に当接するようになっている。これにより、騒音の発生等を防止している。

筒状ケース６１の内周壁７１と第２ピストン７４の外周壁７４ａとの間には、第２ピストン７４の筒状ケース６１に対する相対移動時に、底部室７０ａと開口部室７０ｂとの間でのシリコーンオイルＯの移動を許容する第２主流路７７が形成されている。第２ピストン７４が第２内周壁７１ｂ側を移動して底部６２側に向かう場合には、第２主流路７７の流路面積（開口面積）は徐々に小さくなり、第２主流路７７が徐々に絞られてシリコーンオイルＯの流動抵抗が徐々に大きくなる。一方、第２ピストン７４が第１内周壁７１ａ側を移動する場合には、第２主流路７７の流路面積は最小の状態となり、シリコーンオイルＯの流動抵抗が最大の状態となる。

第２ピストン７４の内周と第２ロッド６６の外周との間には、底部室７０ａと開口部室７０ｂとの間を連通するピストン副流路７８が設けられている。ピストン副流路７８は、第２ピストン７４の径方向内側に周方向に沿って複数（例えば等間隔で４つ）形成されている。各ピストン副流路７８の他端側は、第２ピストン７４が支持部材７２に密着して当接した際に支持部材７２により閉塞され、これにより各ピストン副流路７８は遮断される。ここで、支持部材７２は、本発明における第２副流路開閉部材を構成している。

流路部材７３には、底部室７０ａと開口部室７０ｂとの間を連通する流路部材副流路７９が設けられている。流路部材副流路７９は、流路部材７３の径方向内側に周方向に沿って複数（例えば等間隔で４つ）形成されている。各ピストン副流路７８および各流路部材副流路７９は互いに連通しており、各副流路７８，７９は本発明における第２副流路を構成している。

次に、以上のように形成した第２ショックアブソーバ６０の動作について、図４および図５を用いて詳細に説明する。

［引き込み行程］
第２ショックアブソーバ６０の引き込み行程（押し側）においては、図４の矢印（６）に示すように第２ロッド６６が筒状ケース６１内に進入する。すると、第２ロッド６６の筒状ケース６１内への進入に伴い第２アキュムレータ６９は収縮変形される。このとき、シリコーンオイルＯは、図中矢印（７）に示すように第２主流路７７を介して底部室７０ａから開口部室７０ｂに流動する。また、第２ロッド６６の筒状ケース６１内への進入に伴い、第２ピストン７４が第２ロッド６６に対して所定距離Ｌ２の分、支持部材７２側（開口部室７０ｂ側）に移動する。

これにより、第２ピストン７４が支持部材７２に密着して当接し、各ピストン副流路７８が閉塞され、各副流路７８，７９におけるシリコーンオイルＯの流動が遮断される。このように、第２ショックアブソーバ６０の引き込み行程においては、シリコーンオイルＯは第２主流路７７のみを流動し、底部室７０ａと開口部室７０ｂとの間を流れるシリコーンオイルＯの流動抵抗が増加する。これにより、第２ショックアブソーバ６０は、所定の抵抗力を発生するようになる。

ここで、第２ピストン７４が第２内周壁７１ｂ側（減衰領域Ａ２）を移動して底部６２に向かうと、第２主流路７７の流路面積は徐々に小さくなっていく。すると、シリコーンオイルＯの第２主流路７７における流動が徐々に制限されて、第２ショックアブソーバ６０の抵抗力が徐々に大きくなっていく。このように、第２ショックアブソーバ６０は、引き込み行程の後半、つまり第２ピストン７４が第１内周壁７１ａ側にあるときに抵抗力が最大となる。これにより、可動部材２０，可動部材２０に固定される往復動テーブルおよび受止板２１（図１参照）の移動に伴う衝撃を緩和できる。

［伸び行程］
第２ショックアブソーバ６０の伸び行程においては、図５の矢印（８）に示すように、圧縮コイルばね７５のばね力により第２ロッド６６は筒状ケース６１外に突出される。すると、第２ロッド６６の筒状ケース６１外への突出に伴い第２アキュムレータ６９は膨張変形される。このとき、シリコーンオイルＯは、図中矢印（９）に示すように第２主流路７７を介して開口部室７０ｂから底部室７０ａに流動する。また、第２ロッド６６の筒状ケース６１外への突出に伴い、第２ピストン７４が第２ロッド６６に対して所定距離Ｌ２の分、流路部材７３側（底部室７０ａ側）に移動する。

これにより、図中矢印（１０）に示すように各ピストン副流路７８および各流路部材副流路７９が連通状態となり、シリコーンオイルＯは各副流路７８，７９を介して開口部室７０ｂから底部室７０ａに流動する。このように、第２ショックアブソーバ６０の伸び行程においては、シリコーンオイルＯは第２主流路７７および各副流路７８，７９の双方を流動するため、開口部室７０ｂと底部室７０ａとの間には大きな流路面積が確保される。したがって、第２ショックアブソーバ６０は抵抗力を殆ど発生せず、圧縮コイルばね７５のばね力により第２ロッド６６を速やかに筒状ケース６１外に突出させることができる。

ここで、第２ピストン７４が第１内周壁７１ａ側にあるときは、第２主流路７７の流路面積が小さくなり、第２主流路７７におけるシリコーンオイルＯの流動が制限される。しかし、各副流路７８，７９の流路面積が充分に大きく設定されているため、第２ショックアブソーバ６０は抵抗力を殆ど発生しない。つまり、第２ショックアブソーバ６０の全ストローク領域で、第２ロッド６６は筒状ケース６１外にスムーズに突出可能となっている。

以上のように形成した第１実施の形態に係る第１ショックアブソーバ４０によれば、底部室４８ａに第１ロッド４５の筒状ケース４１内への進入に伴う筒状ケース４１内の体積増加を吸収する第１アキュムレータ５７を設け、筒状ケース４１の内周壁４９と第１ピストン５０の外周壁５０ａとの間に第１ピストン５０の筒状ケース４１に対する相対移動時にシリコーンオイルＯが流通する第１主流路５４を設け、筒状ケース４１の内周壁４９に第１ピストン５０の開口部室４８ｂ側への移動に伴い第１主流路５４の開口面積を徐々に小さくする第２内周壁４９ｂを設けた。したがって、第１ピストン５０が筒状ケース４１の開口部室４８ｂ側に行くにつれて第１主流路５４を流通するシリコーンオイルＯの流動抵抗が増加するので、引き側で抵抗力（減衰力）を発生するショックアブソーバとすることができる。

また、第１実施の形態に係る第１ショックアブソーバ４０によれば、第１ピストン５０を第１ロッド４５に摺動自在に設け、第１ピストン５０の内周と第１ロッド４５の外周との間に底部室４８ａと開口部室４８ｂとを連通するピストン副流路５５を設け、第１ロッド４５には、第１ピストン５０の第１ロッド４５に対する開口部室４８ｂ側への移動時にピストン副流路５５を遮断するナット部材５２を設けた。したがって、引き側と押し側とで発生する抵抗力の差を大きくすることができ、例えば、引き側で充分に大きな抵抗力を発生させ押し側で殆ど抵抗力を発生させないようにすることが可能となる。

さらに、第１実施の形態に係る第１ショックアブソーバ４０によれば、第１ロッド４５の他端側に、空圧作動機器１０の受止板２１に固定される被固定部４５ｄを設けたので、第１ロッド４５と受止板２１とを固定状態に保持できる。したがって、第１ショックアブソーバ４０を引き側のショックアブソーバとして確実に機能させることができる。

また、第１実施の形態に係る第１ショックアブソーバ４０によれば、第１アキュムレータ５７を、独立気泡を有する弾性部材により形成したので、第１アキュムレータ５７を一の部品で形成することができ、部品点数を削減して製造コストを抑えることができる。

さらに、第１実施の形態に係るショックアブソーバユニット３０によれば、第１ショックアブソーバ４０を引き側のショックアブソーバとし、第２ショックアブソーバ６０を押し側のショックアブソーバとし、各ショックアブソーバ４０，６０の各ロッド４５，６６を相互に平行になるよう支持する支持部材８０を設けた。したがって、各ショックアブソーバ４０，６０を支持部材８０により集約して、ショックアブソーバユニット３０を空圧作動機器１０の受止板２１の移動方向片側にのみ設置できる。これにより、ショックアブソーバユニット３０の設置スペースの小型化、ショックアブソーバユニット３０の調整作業の容易化および空圧作動機器１０の設置作業の簡素化を図ることができる。

また、第１実施の形態に係るショックアブソーバユニット３０によれば、第１ショックアブソーバ４０に第１ピストン５０の第１ロッド４５に対する開口部室４８ｂ側への移動により各副流路５５，５６を遮断するナット部材５２を設け、第２ショックアブソーバ６０に第２ピストン７４の第２ロッド６６に対する底部室７０ａ側への移動により各副流路７８，７９を遮断する支持部材７２を設けた。これにより、各ショックアブソーバ４０，６０のそれぞれにおいて、引き側と押し側とで発生する抵抗力の差を大きくすることができる。

次に、本発明の第２実施の形態について、図面を用いて詳細に説明する。なお、上述した第１実施の形態と同様の機能を有する部分については同一の記号を付し、その詳細な説明を省略する。図６（ａ），（ｂ）は第２実施の形態に係る第１ショックアブソーバ（引き込み時／伸び時）の断面図を表している。

第２実施の形態に係る第１ショックアブソーバ９０は、第１実施の形態に係る第１ショックアブソーバ４０に比して、第１アキュムレータ（アキュムレータ）の構造のみが異なっている。

筒状ケース４１の一端側には、底部室４８ａの一部を形成するフリーピストン収容室９１が形成されている。フリーピストン収容室９１には、フリーピストン９２が筒状ケース４１の軸方向に摺動自在に設けられている。フリーピストン９２の外周には、フリーピストン９２の周方向に沿って環状溝９２ａが形成されており、環状溝９２ａにはシール部材としてのパッキンシール９３が装着されている。パッキンシール９３は、フリーピストン９２の外周と筒状ケース４１の内周との間に設けられて両者間を密封している。

フリーピストン９２の略中心部分には、筒状ケース４１内に外部からシリコーンオイルＯを注入するための注入孔９２ｂが形成されている。注入孔９２ｂは、プラグとしての止めねじ９４により閉塞され、これにより注入孔９２ｂから筒状ケース４１内にシリコーンオイルＯを注入した後に、シリコーンオイルＯの外部への漏洩を防止している。

筒状ケース４１の一端側にはカバー部材９５が装着され、筒状ケース４１の一端側は、カバー部材９５により閉塞されている。カバー部材９５とフリーピストン９２との間にはエア室９６が形成され、エア室９６は、カバー部材９５の略中心部分に設けられるエア抜き孔９５ａを介して外部に連通されている。

フリーピストン９２とカバー部材９５との間には、スプリングとしての圧縮コイルばね９７が所定の初期荷重を負荷した状態（縮められた状態）で設けられ、圧縮コイルばね９７は、フリーピストン９２を筒状ケース４１の開口部室４８ｂに向けて押圧するようになっている。ここで、フリーピストン９２，パッキンシール９３および圧縮コイルばね９７により、本発明におけるアキュムレータおよび第１アキュムレータを構成している。

図６（ａ）に示すように、第１ロッド４５が筒状ケース４１内に進入した場合には、第１ロッド４５の筒状ケース４１内への進入に伴いフリーピストン９２が筒状ケース４１の一端側に移動し、筒状ケース４１内の液体収容室４８の体積増加を吸収する。このとき、エア室９６内のエアはエア抜き孔９５ａを介して外部に排出される。一方、図６（ｂ）に示すように、第１ロッド４５が筒状ケース４１外に突出した場合には、第１ロッド４５の筒状ケース４１外への突出に伴いフリーピストン９２が筒状ケース４１の他端側に移動する。このとき、エア抜き孔９５ａを介して外部のエアがエア室９６内に供給される。

以上のように形成した第２実施の形態に係る第１ショックアブソーバ９０においても、第１アキュムレータに関する作用効果を除き、同様の作用効果を奏することができる。これに加え、第２実施の形態に係る第１ショックアブソーバ９０においては、第１アキュムレータ（アキュムレータ）を、フリーピストン収容室９１を摺動するフリーピストン９２と、フリーピストン９２の外周と筒状ケース４１の内周との間に設けられるパッキンシール９３と、フリーピストン９２を開口部室４８ｂに向けて押圧する圧縮コイルばね９７とから形成している。したがって、第１アキュムレータ（アキュムレータ）の耐久性を向上させて第１ショックアブソーバ（ショックアブソーバ）の長寿命化を図ることができる。

本発明は上記各実施の形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能であることは言うまでもない。例えば、本発明に係る開口面積調整壁としてテーパ形状の第２内周壁４９ｂとし、第１ショックアブソーバ４０，９０の抵抗力をリニアに変化させるようにしたものを示したが、本発明はこれに限らず、開口面積調整壁を階段形状に形成し、第１ショックアブソーバの抵抗力を段階的に変化させることもできる。

また、図４および図５に示した第２ショックアブソーバ６０においては、略円筒状に形成した第２アキュムレータ６９を開口部室７０ｂ側に設けたが、本発明はこれに限らず、第２アキュムレータとして、図６に示すような底部室側に設けたフリーピストン式のアキュムレータを採用することもできる。

１０ 空圧作動機器（作動機器）
２０ 可動部材（可動部）
２１ 受止板（可動部）
３０ ショックアブソーバユニット
４０ 第１ショックアブソーバ
４１ 筒状ケース（シリンダ，第１シリンダ）
４２ エンドカバー（シリンダ，第１シリンダ，底部）
４３ ロッドカバー（シリンダ，第１シリンダ）
４３ａ 開口部
４４ 第１ホルダ（ホルダ）
４４ａ 第１ロッド案内孔（ロッド案内孔）
４５ 第１ロッド（ロッド）
４５ｄ 被固定部
４８ａ 底部室
４８ｂ 開口部室
４９ 内周壁
４９ｂ 第２内周壁（開口面積調整壁，第１開口面積調整壁）
５０ 第１ピストン（ピストン）
５０ａ 外周壁
５２ ナット部材（副流路開閉部材，第１副流路開閉部材）
５４ 第１主流路（主流路）
５５ ピストン副流路（副流路，第１副流路）
５６ 流路部材副流路（副流路，第１副流路）
５７ 第１アキュムレータ（アキュムレータ）
６０ 第２ショックアブソーバ
６１ 筒状ケース（第２シリンダ）
６２ 底部
６３ ロッドカバー（第２シリンダ）
６３ａ 開口部
６５ 第２ホルダ
６５ａ 第２ロッド案内孔
６６ 第２ロッド
６９ 第２アキュムレータ
７０ａ 底部室
７０ｂ 開口部室
７１ 内周壁
７１ｂ 第２内周壁（第２開口面積調整壁）
７２ 支持部材（第２副流路開閉部材）
７４ 第２ピストン
７４ａ 外周壁
７７ 第２主流路
７８ ピストン副流路（第２副流路）
７９ 流路部材副流路（第２副流路）
８０ 支持部材
９２ フリーピストン（アキュムレータ，第１アキュムレータ）
９３ パッキンシール（アキュムレータ，第１アキュムレータ，シール部材）
９７ 圧縮コイルばね（アキュムレータ，第１アキュムレータ，スプリング）
Ｏ シリコーンオイル（液体）

Claims (10)

1. 内部に液体が封入され、底部および開口部を有するシリンダと、
   前記シリンダの前記開口部に装着され、ロッド案内孔を有するホルダと、
   前記ロッド案内孔に摺動自在に支持され、一端側が前記シリンダ内に設けられ他端側が前記シリンダ外に設けられるロッドと、
   前記ロッドの一端側に設けられ、前記シリンダ内を底部室と開口部室とに分けるピストンと、
   前記ロッドの前記シリンダ内への進入に伴う前記シリンダ内の体積増加を吸収するアキュムレータと、
   前記シリンダの内周壁と前記ピストンの外周壁との間に設けられ、前記ピストンの前記シリンダに対する相対移動時に前記液体が流通する主流路と、
   前記シリンダの前記内周壁を形成し、前記ピストンの前記開口部室側への移動に伴い前記主流路の開口面積を徐々に小さくする開口面積調整壁とを備えることを特徴とするショックアブソーバ。
2. 請求項１記載のショックアブソーバにおいて、前記ピストンを前記ロッドに摺動自在に設け、前記ピストンの内周と前記ロッドの外周との間に前記底部室と前記開口部室とを連通する副流路を設け、前記ロッドには、前記ピストンの前記ロッドに対する前記開口部室側への移動時に前記副流路を遮断する副流路開閉部材を設けることを特徴とするショックアブソーバ。
3. 請求項１または２記載のショックアブソーバにおいて、前記ロッドの他端側に、作動機器の可動部に固定される被固定部を設けることを特徴とするショックアブソーバ。
4. 請求項１〜３のいずれか１項に記載のショックアブソーバにおいて、前記アキュムレータを、独立気泡を有する弾性部材により形成することを特徴とするショックアブソーバ。
5. 請求項１〜３のいずれか１項に記載のショックアブソーバにおいて、前記アキュムレータを、前記底部室を摺動するフリーピストンと、前記フリーピストンの外周と前記シリンダの内周との間に設けられるシール部材と、前記フリーピストンを前記開口部室に向けて押圧するスプリングとから形成することを特徴とするショックアブソーバ。
6. 内部に液体が封入され、底部および開口部を有する第１シリンダと、
   前記第１シリンダの前記開口部に装着され、第１ロッド案内孔を有する第１ホルダと、
   前記第１ロッド案内孔に摺動自在に支持され、一端側が前記第１シリンダ内に設けられ他端側が前記第１シリンダ外に設けられる第１ロッドと、
   前記第１ロッドの一端側に設けられ、前記第１シリンダ内を底部室と開口部室とに分ける第１ピストンと、
   前記第１ロッドの前記第１シリンダ内への進入に伴う前記第１シリンダ内の体積増加を吸収する第１アキュムレータと、
   前記第１シリンダの内周壁と前記第１ピストンの外周壁との間に設けられ、前記第１ピストンの前記第１シリンダに対する相対移動時に前記液体が流通する第１主流路と、
   前記第１シリンダの前記内周壁を形成し、前記第１ピストンの前記開口部室側への移動に伴い前記第１主流路の開口面積を徐々に小さくする第１開口面積調整壁とを備える第１ショックアブソーバと、
   内部に液体が封入され、底部および開口部を有する第２シリンダと、
   前記第２シリンダの前記開口部に装着され、第２ロッド案内孔を有する第２ホルダと、
   前記第２ロッド案内孔に摺動自在に支持され、一端側が前記第２シリンダ内に設けられ他端側が前記第２シリンダ外に設けられる第２ロッドと、
   前記第２ロッドの一端側に設けられ、前記第２シリンダ内を底部室と開口部室とに分ける第２ピストンと、
   前記第２ロッドの前記第２シリンダ内への進入に伴う前記第２シリンダ内の体積増加を吸収する第２アキュムレータと、
   前記第２シリンダの内周壁と前記第２ピストンの外周壁との間に設けられ、前記第２ピストンの前記第２シリンダに対する相対移動時に前記液体が流通する第２主流路と、
   前記第２シリンダの前記内周壁を形成し、前記第２ピストンの前記底部室側への移動に伴い前記第２主流路の開口面積を徐々に小さくする第２開口面積調整壁とを備える第２ショックアブソーバと、
   前記第１ショックアブソーバおよび前記第２ショックアブソーバの前記第１ロッドおよび前記第２ロッドを、相互に平行になるよう支持する支持部材とを備えることを特徴とするショックアブソーバユニット。
7. 請求項６記載のショックアブソーバユニットにおいて、前記第１ピストンを前記第１ロッドに摺動自在に設け、前記第１ピストンの内周と前記第１ロッドの外周との間に前記底部室と前記開口部室とを連通する第１副流路を設け、前記第１ロッドには、前記第１ピストンの前記第１ロッドに対する前記開口部室側への移動時に前記第１副流路を遮断する第１副流路開閉部材を設け、前記第２ピストンを前記第２ロッドに摺動自在に設け、前記第２ピストンの内周と前記第２ロッドの外周との間に前記底部室と前記開口部室とを連通する第２副流路を設け、前記第２ロッドには、前記第２ピストンの前記第２ロッドに対する前記底部室側への移動時に前記第２副流路を遮断する第２副流路開閉部材を設けることを特徴とするショックアブソーバユニット。
8. 請求項６または７記載のショックアブソーバユニットにおいて、前記第１ロッドの他端側に、作動機器の可動部に固定される被固定部を設けることを特徴とするショックアブソーバユニット。
9. 請求項６〜８のいずれか１項に記載のショックアブソーバユニットにおいて、前記第１，第２アキュムレータのうちの少なくともいずれか一方を、独立気泡を有する弾性部材により形成することを特徴とするショックアブソーバユニット。
10. 請求項６〜８のいずれか１項に記載のショックアブソーバユニットにおいて、前記第１，第２アキュムレータのうちの少なくともいずれか一方を、前記底部室を摺動するフリーピストンと、前記フリーピストンの外周と前記第１，第２シリンダの内周との間に設けられるシール部材と、前記フリーピストンを前記開口部室に向けて押圧するスプリングとから形成することを特徴とするショックアブソーバユニット。

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