JP2011167594A

JP2011167594A - Air cleaner

Info

Publication number: JP2011167594A
Application number: JP2010031423A
Authority: JP
Inventors: Toyohiro Matsuo; 豊広松尾; Takeshi Ishiguro; 武石黒
Original assignee: Takenaka Komuten Co Ltd
Current assignee: Takenaka Komuten Co Ltd
Priority date: 2010-02-16
Filing date: 2010-02-16
Publication date: 2011-09-01

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve the air cleaning performance compared to a constitution with no lateral meandering of bubbles. SOLUTION: Bubbles K flow upward from a lower part laterally meandering in a flow path 130, as shown by an arrow head T. Thus, the contact time of water H dispersed with a photocatalyst S with the bubbles K becomes long, compared to the constitution with no lateral meandering of bubbles K. The water H dispersed with the photocatalyst S flows upward from the lower part in the flow path 130, as shown by an arrow head Y, that is, the water H dispersed with the photocatalyst S flows in a counterflow against the bubbles K, promoting the decomposition action of contaminants by the photocatalyst S, thus improving the air cleaning performance. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、空気浄化装置に関する。 The present invention relates to an air purification device.

特許文献１には、霧液装置によって霧化された脱臭液を室内汚染空気と混合させることによって脱臭すると共に、蛇行通路を通過させることによって脱臭作用を促進させた脱臭装置が記載されている。 Patent Document 1 describes a deodorizing apparatus that deodorizes the deodorized liquid atomized by the fog liquid apparatus by mixing it with indoor polluted air and promotes the deodorizing action by passing through a meandering passage.

特許文献２には、光触媒を分散させた水に排気ガスをバブリングさせ、水に溶解した成分を光触媒により分解する排気ガスの処理装置が記載されている。 Patent Document 2 describes an exhaust gas processing apparatus in which exhaust gas is bubbled into water in which a photocatalyst is dispersed, and components dissolved in water are decomposed by the photocatalyst.

また、半導体や液晶パネル等の電子デバイスの製造は、クリーンルームにて行なわれている。半導体や液晶パネル等の電子デバイスの製造工程においては、ガス状の汚染物質が製造工程の製品と化学反応したり物理的に吸着したりすることにより、製品不良の原因となる虞がある。このため、クリーンルームのガス状の汚染物質を除去し、空気を浄化する必要がある。 In addition, electronic devices such as semiconductors and liquid crystal panels are manufactured in a clean room. In the manufacturing process of electronic devices such as semiconductors and liquid crystal panels, gaseous pollutants may cause product defects due to chemical reaction or physical adsorption with products in the manufacturing process. For this reason, it is necessary to remove gaseous pollutants in the clean room and purify the air.

特開平２−７１８２１号公報JP-A-2-71821 特開２０２−１１９８２５号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2021-11985

空気浄化性能を向上させることが望まれている。
本発明は、空気浄化性能を向上させることが目的である。 It is desired to improve the air purification performance.
The object of the present invention is to improve air purification performance.

請求項１の発明は、光触媒が分散した水が貯留された浄化槽と、前記光触媒に光を照射する光照射手段と、前記浄化槽の下部に設けられ、貯留された水の中に浄化対象の空気を噴出する空気噴出部と、前記浄化槽の内部に形成され、前記空気噴出部から噴出された空気の気泡が、正面視において左右に蛇行しながら下から上に向かって移動するように形成された流路と、前記浄化槽の水面よりも上側に設けられ、前記空気流路を通過した空気を排出する空気排出部と、を備えている。 The invention according to claim 1 is a purification tank in which water in which a photocatalyst is dispersed is stored, light irradiation means for irradiating light to the photocatalyst, and air to be purified in the stored water. Formed in the inside of the septic tank, and air bubbles ejected from the air ejection part are formed so as to move from bottom to top while meandering left and right in a front view. A flow path, and an air discharge unit that is provided above the water surface of the septic tank and discharges air that has passed through the air flow path.

請求項１の発明では、空気噴出部から噴出された浄化対象の空気が、気泡となって流路を通過する際に、気泡（浄化対象の空気中）の汚染物質が水Ｈに溶解すると共に、光触媒によって汚染物質が分解されることによって浄化され、空気排出部から排出される。 According to the first aspect of the present invention, when the air to be purified ejected from the air ejection section becomes bubbles and passes through the flow path, the contaminants in the bubbles (in the air to be purified) are dissolved in the water H. The pollutant is decomposed by the photocatalyst to be purified and discharged from the air discharge unit.

気泡は、浄化槽の内部に形成された流路を、左右に蛇行しながら下から上に向かって流れる。よって、気泡が左右に蛇行しない構成と比較し、気泡が光触媒が分散した水と接触する接触時間が長くなり、その結果、空気浄化性能が向上する。 The bubbles flow from the bottom to the top while meandering left and right in the flow path formed inside the septic tank. Therefore, compared with the configuration in which the bubbles do not meander to the left and right, the contact time for the bubbles to contact the water in which the photocatalyst is dispersed becomes longer, and as a result, the air purification performance is improved.

請求項２の発明は、前記光触媒が分散した水を前記浄化槽の底部から回収する回収手段と、前記回収手段によって回収された前記光触媒が分散した水の一部又は全部を前記浄化槽に供給する供給手段と、を有し、前記光触媒が分散した水が前記流路を上方から下方に流れるように水流を発生させる水流発生手段を備えている。 Invention of Claim 2 collect | recovers the water which the said photocatalyst disperse | distributed from the bottom part of the said septic tank, and the supply which supplies one part or all part of the water which the said photocatalyst collect | recovered collect | recovered by the said recovery means is supplied to the said septic tank And a water flow generating means for generating a water flow so that the water in which the photocatalyst is dispersed flows downward from above in the flow path.

請求項２の発明では、光触媒が分散した水は流路を上方から下方に流れている。つまり、光触媒が分散した水と気泡とが対向して流れている。これにより、光触媒による汚染物質の分解作用が促進される。つまり、水流発生手段を備えていない構成と比較し、空気浄化作用が向上する。 In the invention of claim 2, the water in which the photocatalyst is dispersed flows through the flow path from above to below. That is, the water in which the photocatalyst is dispersed and the bubbles flow in opposition. Thereby, the decomposition | disassembly effect | action of the pollutant by a photocatalyst is accelerated | stimulated. That is, the air purification action is improved as compared with a configuration that does not include the water flow generating means.

また、回収手段によって回収された光触媒が分散した水の一部又は全部が供給手段に送られ、浄化槽に供給される。よって、光触媒が浄化槽の底部に沈殿したままとならないので、光触媒が浄化槽の底部に沈殿することによる空気浄化性能の低下が防止又は抑制される。 Further, a part or all of the water in which the photocatalyst recovered by the recovery means is dispersed is sent to the supply means and supplied to the septic tank. Therefore, since the photocatalyst does not remain precipitated at the bottom of the septic tank, a decrease in air purification performance due to the photocatalyst being precipitated at the bottom of the septic tank is prevented or suppressed.

また、回収手段によって回収された（光触媒が分散した）水が、供給手段に送られない構成と比較し、浄化コストが低減される。 Further, the purification cost is reduced as compared with a configuration in which the water recovered by the recovery means (with the photocatalyst dispersed) is not sent to the supply means.

請求項３に記載の発明は、前記流路は、正面視において、前記浄化槽の槽壁から左右互い違いに張り出す板材によって構成され、前記板材は、張り出し方向に向かって下り勾配となるように配置され、前記板材の前記槽壁の近傍には、上下方向に貫通する貫通孔が形成されている。 According to a third aspect of the present invention, the flow path is configured by a plate material that alternately protrudes from the left and right from the tank wall of the septic tank in a front view, and the plate material is disposed so as to have a downward slope toward the extension direction. In the vicinity of the tank wall of the plate material, a through-hole penetrating in the vertical direction is formed.

請求項３の発明では、板材が張り出し方向に向かって下り勾配となるように配置されているので、板材の上面（流路の底面）に沿って、光触媒が上方から下方に流れていく。 In the invention of claim 3, since the plate material is arranged so as to have a downward slope toward the overhanging direction, the photocatalyst flows downward from above along the upper surface of the plate material (bottom surface of the flow path).

よって、板材の上面（流路の底面）に光触媒が沈殿することによる空気浄化性能の低下が防止される。 Therefore, the deterioration of the air purification performance due to the precipitation of the photocatalyst on the upper surface (bottom surface of the flow path) of the plate material is prevented.

また、板材の槽壁の近傍に形成された上下方向に貫通する貫通孔から、気泡が抜けていく。よって、板材の槽壁の近傍に気泡が長時間に亘って溜まることによる空気浄化性能の低下が防止される。 In addition, bubbles are released from a through-hole formed in the vicinity of the tank wall of the plate material in the vertical direction. Therefore, the air purification performance is prevented from deteriorating due to air bubbles remaining in the vicinity of the tank wall of the plate material for a long time.

したがって、板材が水平又は略水平に配置された構成と比較し、空気浄化性能が向上する。 Therefore, the air purification performance is improved as compared with a configuration in which the plate material is arranged horizontally or substantially horizontally.

請求項４に記載の発明は、前記流路は、正面視において、前記浄化槽の槽壁から左右互い違いに張り出す板材によって構成され、前記隔壁は、張り出し方向に向かって上り勾配となるように配置され、前記板材の前記槽壁の近傍には、上下方向に貫通する貫通孔が形成されている。 According to a fourth aspect of the present invention, the flow path is configured by a plate material that protrudes left and right alternately from the tank wall of the septic tank in a front view, and the partition is disposed so as to have an upward slope toward the protruding direction. In the vicinity of the tank wall of the plate material, a through-hole penetrating in the vertical direction is formed.

請求項４の発明では、板材が張り出し方向に向かって上り勾配となるように配置されているので、板材の下面（流路の天井面）に沿って、気泡がスムーズに移動する。 In the fourth aspect of the invention, since the plate material is disposed so as to rise upward in the overhanging direction, the bubbles move smoothly along the lower surface of the plate material (the ceiling surface of the flow path).

つまり、板材が水平又は略水平に配置された構成と比較し、気泡が溜まることなくスムーズに移動する。 That is, as compared with a configuration in which the plate material is arranged horizontally or substantially horizontally, the bubbles move smoothly without accumulating bubbles.

また、板材の槽壁の近傍に形成された上下方向に貫通する貫通孔から、光触媒が落下する。よって、触媒が板材の槽壁の近傍に溜まることによる空気浄化性能の低下が防止される。 Moreover, a photocatalyst falls from the through-hole penetrated in the up-down direction formed in the vicinity of the tank wall of a board | plate material. Therefore, the deterioration of the air purification performance due to the catalyst remaining in the vicinity of the tank wall of the plate material is prevented.

請求項５の発明は、前記浄化槽の槽壁には、光が透過する透過部が設けられ、前記光照射手段は、前記浄化槽の外側に配置され、前記透過部から前記流路に光を照射する。 According to a fifth aspect of the present invention, the tank wall of the septic tank is provided with a transmission part that transmits light, and the light irradiating means is disposed outside the septic tank, and irradiates the flow path from the transmission part. To do.

請求項５の発明では、光照射手段は浄化槽の外側に配置され、浄化槽の槽壁の透過部から流路に光を照射する。 In the invention of claim 5, the light irradiation means is disposed outside the septic tank, and irradiates light to the flow path from the transmission part of the tank wall of the septic tank.

例えば、浄化槽の内部に光照射手段が配置されている構成の場合、光照射手段の耐水性能を確保する必要があり、高コストとなる。 For example, in the case where the light irradiation means is arranged inside the septic tank, it is necessary to ensure the water resistance performance of the light irradiation means, resulting in high cost.

よって、浄化槽の外側に光照射手段が配置されることで、浄化槽の内部に光照射手段が配置されている構成と比較し、光照射手段を低コストで設置できる。 Therefore, by arranging the light irradiating means outside the septic tank, the light irradiating means can be installed at a lower cost compared to the configuration in which the light irradiating means is arranged inside the septic tank.

請求項１に記載の発明によれば、気泡が左右に蛇行しない構成と比較し、空気浄化性能を向上させることができる。 According to the first aspect of the present invention, the air purification performance can be improved as compared with the configuration in which the bubbles do not meander left and right.

請求項２に記載の発明によれば、水流発生手段を有しない構成と比較し、空気浄化性能を向上させることができる。 According to invention of Claim 2, compared with the structure which does not have a water flow generation means, air purification performance can be improved.

請求項３に記載の発明によれば、板材が水平又は略水平に配置された構成と比較し、空気浄化性能を向上させることができる。 According to invention of Claim 3, compared with the structure by which the board | plate material is arrange | positioned horizontally or substantially horizontally, air purification performance can be improved.

請求項４に記載の発明によれば、板材が水平又は略水平に配置された構成と比較し、空気浄化性能を向上させることができる。 According to invention of Claim 4, compared with the structure by which the board | plate material is arrange | positioned horizontally or substantially horizontally, air purification performance can be improved.

請求項５に記載の発明によれば、浄化槽の内部に光照射手段が配置されている構成と比較し、光照射手段を低コストで設置することができる。 According to invention of Claim 5, compared with the structure by which the light irradiation means is arrange | positioned inside the septic tank, a light irradiation means can be installed at low cost.

本発明の第一実施形態に係る空気浄化装置とクリーンルームとを有するクリーンルーム装置の構成を模式的に示す構成図である。It is a block diagram which shows typically the structure of the clean room apparatus which has an air purification apparatus and clean room which concern on 1st embodiment of this invention. 本発明の第一実施形態に係る第一変形例のクリーンルーム装置の構成を模式的に示す図１に対応する構成図である。It is a block diagram corresponding to FIG. 1 which shows typically the structure of the clean room apparatus of the 1st modification which concerns on 1st embodiment of this invention. 本発明の第一実施形態に係る第二変形例のクリーンルーム装置の構成を模式的に示す図１に対応する構成図である。It is a block diagram corresponding to FIG. 1 which shows typically the structure of the clean room apparatus of the 2nd modification which concerns on 1st embodiment of this invention. 本発明の第一実施形態に係る第三変形例のクリーンルーム装置の構成を模式的に示す図１に対応する構成図である。It is a block diagram corresponding to FIG. 1 which shows typically the structure of the clean room apparatus of the 3rd modification concerning 1st embodiment of this invention. 本発明の第一実施形態に係る第四変形例のクリーンルーム装置の構成を模式的に示す図１に対応する構成図である。It is a block diagram corresponding to FIG. 1 which shows typically the structure of the clean room apparatus of the 4th modification which concerns on 1st embodiment of this invention. 本発明の第一実施形態に係る第五変形例のクリーンルーム装置の構成を模式的に示す図１に対応する構成図である。It is a block diagram corresponding to FIG. 1 which shows typically the structure of the clean room apparatus of the 5th modification concerning 1st embodiment of this invention. 本発明の第二実施形態に係る空気浄化装置とクリーンルームとを有するクリーンルーム装置の構成を模式的に示す構成図である。It is a block diagram which shows typically the structure of the clean room apparatus which has an air purification apparatus and clean room which concern on 2nd embodiment of this invention. 本発明の第三実施形態に係る空気浄化装置とクリーンルームとを有するクリーンルーム装置の構成を模式的に示す構成図である。It is a block diagram which shows typically the structure of the clean room apparatus which has an air purification apparatus and clean room which concern on 3rd embodiment of this invention. 本発明の第四実施形態に係る空気浄化装置の浄化槽を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the septic tank of the air purification apparatus which concerns on 4th embodiment of this invention. 本発明の第五実施形態に係る空気浄化装置の浄化槽を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically the septic tank of the air purification apparatus which concerns on 5th embodiment of this invention.

＜第一実施形態＞
本発明の第一実施形態に係る空気浄化装置１００とクリーンルーム１２とを備えるクリーンルーム装置１０について、図１を用いて説明する。 <First embodiment>
A clean room apparatus 10 including an air purification apparatus 100 and a clean room 12 according to a first embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.

まず、クリーンルーム装置１０の全体構成について説明する。
なお、本実施形態では、クリーンルーム１２の中で、半導体や液晶パネルの製造が行なわれる。 First, the overall configuration of the clean room apparatus 10 will be described.
In the present embodiment, semiconductors and liquid crystal panels are manufactured in the clean room 12.

図１に示すように、クリーンルーム１２の排出口１４から排出された汚染された空気（浄化対象の空気）は、空気経路２２を介して、空気浄化装置１００に送られる。空気浄化装置１００に送られた汚染された空気は、空気浄化装置１００で浄化され排出される。空気浄化装置１００によって浄化され排出された空気は、空気経路２４を介してクリーンルーム１２の吹出口１６から吹き出される。 As shown in FIG. 1, the contaminated air (air to be purified) discharged from the discharge port 14 of the clean room 12 is sent to the air purification device 100 via the air path 22. The contaminated air sent to the air purification device 100 is purified by the air purification device 100 and discharged. The air purified and discharged by the air purification device 100 is blown out from the air outlet 16 of the clean room 12 through the air path 24.

なお、空気経路２４には空調装置３０が設けられており、浄化された空気は空調装置３０によって温度と湿度とが調整されたのち、クリーンルーム１２の吹出口１６から吹出される。 An air conditioner 30 is provided in the air path 24, and the purified air is blown out from the outlet 16 of the clean room 12 after the temperature and humidity are adjusted by the air conditioner 30.

つぎに、空気浄化装置１００について説明する。
空気浄化装置１００は浄化槽１１０を備えている。浄化槽１１０には、光触媒Ｓが分散した水Ｈが貯留されている。 Next, the air purification device 100 will be described.
The air purification device 100 includes a purification tank 110. In the septic tank 110, water H in which the photocatalyst S is dispersed is stored.

なお、水Ｈには、種々の物質が溶解や分散された水も含まれる。例えば、酸やアルカリなどが添加された水やオゾン水なども含まれる。また、光触媒Ｓ以外の他の物質も分散されていてもよい。なお、光触媒Ｓについての詳細は後述する。 The water H includes water in which various substances are dissolved or dispersed. For example, water to which acid or alkali is added, ozone water, or the like is also included. Further, substances other than the photocatalyst S may be dispersed. Details of the photocatalyst S will be described later.

図１は装置構成を模式的に示す構成図であるので、各装置の実際の上下方向は図示されている上下方向とは必ずしも一致しない。しかし、浄化槽に関しては、実際の上下方向と図における上下方向とが一致する。
同様に図２〜図１０の構成図も、各装置の実際の上下方向は図示されている上下方向とは必ずしも一致しないが、浄化槽に関しては、実際の上下方向と図における上下方向とが一致する。 Since FIG. 1 is a configuration diagram schematically showing a device configuration, the actual vertical direction of each device does not necessarily match the vertical direction shown in the drawing. However, regarding the septic tank, the actual vertical direction matches the vertical direction in the figure.
Similarly, in the configuration diagrams of FIGS. 2 to 10, the actual vertical direction of each device does not necessarily match the vertical direction shown in the figure, but for the septic tank, the actual vertical direction matches the vertical direction in the figure. .

浄化槽１１０の中には、正面視において、斜めに配置された複数の板状の隔壁１２０によって、流路１３０が形成されている。正面視において、複数の隔壁１２０は上下方向に並んで配置されると共に、隔壁１２０の上端部１２０Ａが、浄化槽１１０の槽壁１１０Ａと槽壁１１０Ｂとに交互に接合されている。言い換えると、正面視において、板状の隔壁１２０が浄化槽１１０の槽壁１１０Ａ，１１０Ｂから左右、互い違いに（交互）に張り出している。 In the septic tank 110, a flow path 130 is formed by a plurality of plate-like partition walls 120 arranged obliquely in a front view. In the front view, the plurality of partition walls 120 are arranged side by side in the vertical direction, and upper end portions 120A of the partition walls 120 are alternately joined to the tank wall 110A and the tank wall 110B of the septic tank 110. In other words, in the front view, the plate-like partition wall 120 protrudes alternately (alternately) from the tank walls 110A and 110B of the septic tank 110 to the left and right.

各隔壁１２０は、張り出し方向に向かって下り勾配となるように配置されている。別の言い方をすると、上端部１２０Ａ側（槽壁１１０Ａ，１１０Ｂ側）が上り勾配となるように設けられている。また、各隔壁１２０は、上り勾配方向の傾斜方向が交互に逆方向となって配置されている。 Each partition 120 is arranged so as to have a downward slope toward the overhanging direction. In other words, the upper end 120A side (tank wall 110A, 110B side) is provided so as to have an upward slope. Moreover, each partition 120 is arrange | positioned so that the inclination direction of an upward gradient direction may become a reverse direction alternately.

よって、流路１３０は、正面視において、左右に蛇行した構成とされている。別の言い方をすると、流路１３０は、正面視おいて、左右に複数回折れ曲がったジグザク（Ｚｉｇｚａｇ）形状となるように構成されている。 Therefore, the flow path 130 is configured to meander from side to side in a front view. In other words, the flow path 130 is configured to have a zigzag shape that is bent a plurality of times to the left and right when viewed from the front.

流路１３０を構成する底面、すなわち各隔壁１２０の上面１２０Ｕは、流路１３０が折り返す折返部位１３０Ａに向かって下り勾配となっている。別の言い方をすると、各隔壁１２０の上面１２０Ｕは、後述する水流Ｙ方向に向かって下り勾配となった傾斜面とされている。 The bottom surface constituting the channel 130, that is, the upper surface 120U of each partition wall 120 has a downward slope toward the folded portion 130A where the channel 130 is folded back. In other words, the upper surface 120U of each partition wall 120 is an inclined surface having a downward slope toward the water flow Y direction described later.

更に、各隔壁１２０の上端部１２０Ａの浄化槽１１０の槽壁１１０Ａ、１１０Ｂのとの接合部位（又は接合部位近傍）に、上下方向に貫通する貫通孔１２２が形成されている。 Further, a through-hole 122 penetrating in the vertical direction is formed at a joint portion (or in the vicinity of the joint portion) of the upper end portion 120A of each partition wall 120 with the tank walls 110A and 110B of the purification tank 110.

浄化槽１１０の下部における流路１３０の流末１３０Ｍには、クリーンルーム１２から排出された汚染された空気（浄化対象の空気）を噴出する空気噴出部１５０が設けられている。空気噴出部１５０は、複数の小さな孔１５４から細かい気泡（泡）Ｋを吹き出す気泡流噴射部（バブリングジェットバルブ）１５２を有している。 At the end 130M of the flow path 130 in the lower part of the septic tank 110, an air ejection unit 150 that ejects contaminated air (cleaning target air) discharged from the clean room 12 is provided. The air ejection unit 150 includes a bubble flow ejection unit (bubbling jet valve) 152 that ejects fine bubbles (bubbles) K from a plurality of small holes 154.

気泡流噴射部１５２の複数の小さな孔１５４から噴出された細かい気泡（泡）Ｋは、流路１３０を下方から上方に移動する。なお、気泡Ｋの移動を図中の矢印Ｔで示している。 Fine bubbles (bubbles) K ejected from the plurality of small holes 154 of the bubble flow ejection unit 152 move from the lower side to the upper side of the flow path 130. The movement of the bubble K is indicated by an arrow T in the figure.

流路１３０を移動した気泡Ｋは浄化槽１１０の水面ＨＡよりも上の空気溜部１１６に溜まる。この空気溜部１１６に溜まった空気は、浄化槽１１０の水面ＨＡよりも上方、本実施形態では、天井部１１２に設けられた空気排出部１６０から排出される。空気排出部１６０から排出された浄化された空気は、クリーンルーム１２に送られ吹出口１６から吹き出される。 The bubbles K that have moved through the flow path 130 accumulate in the air reservoir 116 above the water surface HA of the septic tank 110. The air accumulated in the air reservoir 116 is exhausted from the air exhaust 160 provided on the ceiling 112 in the present embodiment above the water surface HA of the septic tank 110. The purified air discharged from the air discharge unit 160 is sent to the clean room 12 and blown out from the outlet 16.

浄化槽１１０の底部１１４には、光触媒Ｓが分散した水Ｈを回収する回収部１７０が設けられている。つまり、流路１３０の流末１３０Ｍには回収部１７０が設けられている。
また、浄化槽１１０の上部には、回収部１７０から回収された水を供給する供給部１７２が設けられている。
そして、回収部１７０と供給部１７２との間は循環経路１７６によって連結され、この循環経路１７６にポンプ１７４が設けられている。 A recovery unit 170 that recovers water H in which the photocatalyst S is dispersed is provided at the bottom 114 of the septic tank 110. That is, the collection unit 170 is provided at the end 130 M of the flow path 130.
In addition, a supply unit 172 that supplies water recovered from the recovery unit 170 is provided in the upper part of the septic tank 110.
The collection unit 170 and the supply unit 172 are connected by a circulation path 176, and a pump 174 is provided in the circulation path 176.

したがって、光触媒Ｓが分散した水Ｈが、流路１３０を上方から下方に流れる水流Ｙ（図中の矢印Ｙ）が発生する。 Therefore, a water flow Y (arrow Y in the figure) in which the water H in which the photocatalyst S is dispersed flows from the upper side to the lower side in the flow path 130 is generated.

浄化槽１１０の槽壁１１０Ａ，１１０Ｂにおける流路１３０の折返部位１３０Ａに対応する部位に、光が透過する透過部１１８が設けられている。透過部１１８は透明なガラスや樹脂などで構成されている。 A transmissive portion 118 that transmits light is provided at a portion corresponding to the folded portion 130A of the flow path 130 in the tank walls 110A and 110B of the septic tank 110. The transmission part 118 is made of transparent glass or resin.

浄化槽１１０の各透過部１１８の外側には、光照射装置１８０が配置されている。光照射装置１８０から照射される光の波長は、光触媒Ｓが触媒作用（光分解作用）を効果的に行なうことに適した波長が望ましい。 A light irradiation device 180 is disposed outside each transmission part 118 of the septic tank 110. The wavelength of light emitted from the light irradiation device 180 is preferably a wavelength suitable for the photocatalyst S to effectively perform a catalytic action (photodecomposition action).

ここで、光触媒Ｓと光照射装置１８０とについて説明する。
光触媒Ｓは、光を照射することにより触媒作用を示す物質の総称とされている。
光触媒Ｓとしては、酸化チタン(ＴｉＯ２）が知られている。一般的には、酸化チタンが吸収する光の波長のピークは３８０ｎｍ以下の紫外領域にあるとされている。よって、光照射装置１８０もこれに対応し、紫外線を多く含む光源（紫外線ランプ）が望ましい。 Here, the photocatalyst S and the light irradiation device 180 will be described.
The photocatalyst S is a generic name for substances that show catalytic action when irradiated with light.
As the photocatalyst S, titanium oxide (TiO2) is known. Generally, the peak of the wavelength of light absorbed by titanium oxide is said to be in the ultraviolet region of 380 nm or less. Therefore, the light irradiation device 180 corresponds to this, and a light source (ultraviolet lamp) containing a lot of ultraviolet rays is desirable.

なお、紫外線だけでなく、４００ｎｍ〜６００ｎｍの可視光で作用する光触媒Ｓが開発されている。よって、このような可視光で触媒作用する光触媒Ｓの場合は、光照射装置１８０の光源として、通常の白熱球、蛍光灯、及びＬＥＤなどを用いることができる。 Note that a photocatalyst S that works with not only ultraviolet rays but also visible light of 400 nm to 600 nm has been developed. Therefore, in the case of such a photocatalyst S that catalyzes with visible light, a normal incandescent bulb, a fluorescent lamp, an LED, or the like can be used as the light source of the light irradiation device 180.

つぎに本実施形態の作用及び効果について説明する。
クリーンルーム１２内での、半導体や液晶パネル等の電子デバイスの製造は、ガス状の汚染物質が製造工程の製品と化学反応したり物理的に吸着したりすることにより、製品不良の原因となる虞がある。特に、露光工程においては、アンモニアや硫酸などの無機成分と有機成分が光学系のレンズやマスク（回路の原板）の表面に吸着して解像度を劣化させ、配線不良をもたらす虞がある。このため、クリーンルーム１２内のガス状の汚染物質を除去し、空気を浄化する必要がある。 Next, the operation and effect of this embodiment will be described.
Manufacturing of electronic devices such as semiconductors and liquid crystal panels in the clean room 12 may cause product defects due to chemical reaction or physical adsorption of gaseous contaminants with products in the manufacturing process. There is. In particular, in the exposure process, inorganic components such as ammonia and sulfuric acid and organic components may be adsorbed on the surface of an optical lens or mask (circuit original plate), degrading resolution, and causing a wiring defect. For this reason, it is necessary to remove gaseous pollutants in the clean room 12 and purify the air.

なお、本実施形態で浄化する具体的な汚染物質（ケミカル物質）は、アンモニア、硫黄酸化物、可塑剤に含まれるフタル酸エステルやシール材に含まれるシロキサンなどの有機物質、半導体の製造工程で使用される溶剤（ＰＧＭＥＡ：プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート）やレジスト材料（TMAH ：テトラメチルアンモニウムハイドロオキサイド)、レジスト膜と基板との密着性を向上させる薬品（ＨＭＤＳ：ヘキサメチルジンラザン）等が上げられる。
また、光触媒Ｓは汚染物質の有機物を分解し浄化する。なお、本実施形態においては、光触媒Ｓによって、有機物はウェーハやガラス基板に吸着し難い物質に分解される。 The specific pollutants (chemical substances) to be purified in this embodiment are ammonia, sulfur oxides, organic substances such as phthalates contained in plasticizers and siloxanes contained in sealing materials, and semiconductor manufacturing processes. Solvents used (PGMEA: propylene glycol monomethyl ether acetate), resist materials (TMAH: tetramethylammonium hydroxide), chemicals that improve the adhesion between the resist film and the substrate (HMDS: hexamethylzine lazane), etc. .
In addition, the photocatalyst S decomposes and purifies organic substances as pollutants. In the present embodiment, the organic substance is decomposed by the photocatalyst S into a substance that is difficult to adsorb on the wafer or the glass substrate.

そして、図１に示すように、クリーンルーム１２の排出口１４から排出された汚染された空気を空気浄化装置１００に送り、空気浄化装置１００によって浄化された空気がクリーンルーム１２の吹出口１６から吹き出される。 As shown in FIG. 1, the contaminated air discharged from the discharge port 14 of the clean room 12 is sent to the air purification device 100, and the air purified by the air purification device 100 is blown out from the outlet 16 of the clean room 12. The

クリーンルーム１２の排出口１４から排出された汚染された空気（浄化対象の空気）は、空気経路２２を介して、空気浄化装置１００の浄化槽１１０に設けられた空気噴出部１５０の気泡流噴射部１５２から細かい気泡Ｋとなって噴出する。気泡Ｋは、浄化槽１１０の内部に形成された流路１３０を左右に蛇行しながら下から上に向かって流れる（矢印Ｔを参照）。 The polluted air (air to be purified) discharged from the discharge port 14 of the clean room 12 passes through the air path 22 and the bubble flow injection unit 152 of the air injection unit 150 provided in the purification tank 110 of the air purification device 100. Erupts as fine bubbles K. The bubbles K flow from the bottom to the top while meandering the flow path 130 formed inside the septic tank 110 from side to side (see arrow T).

このとき、気泡Ｋ（空気中）の汚染物質が水Ｈに溶解すると共に、光触媒Ｓによって汚染物質が分解されることによって、浄化される。浄化された気泡Ｋは空気溜部１１６に溜まり、空気排出部１６０から排出される。 At this time, the contaminants in the bubbles K (in the air) are dissolved in the water H and are purified by being decomposed by the photocatalyst S. The purified air bubbles K are accumulated in the air reservoir 116 and are discharged from the air exhaust unit 160.

気泡Ｋは、矢印Ｔで示すように、流路１３０を左右に蛇行しながら下から上に向かって流れる。よって、気泡Ｋが左右に蛇行しない構成と比較し、光触媒Ｓが分散した水Ｈと気泡Ｋが接触する接触時間が長くなり、その結果、空気浄化性能が向上する。 As indicated by an arrow T, the bubble K flows from the bottom to the top while meandering the flow path 130 from side to side. Therefore, as compared with a configuration in which the bubbles K do not meander left and right, the contact time between the water H in which the photocatalyst S is dispersed and the bubbles K is increased, and as a result, the air purification performance is improved.

更に、光触媒Ｓが分散した水Ｈは、矢印Ｙで示すように、流路１３０を上方から下方に流れている。つまり、光触媒Ｓが分散した水Ｈと気泡Ｋとが対向して流れている。これにより、光触媒Ｓが分散した水Ｈと気泡Ｋとが接触する接触時間が長くなり、光触媒Ｓによる汚染物質の分解作用が促進され、その結果、空気浄化性能が向上する。 Furthermore, as shown by the arrow Y, the water H in which the photocatalyst S is dispersed flows from the upper side to the lower side in the flow path 130. That is, the water H in which the photocatalyst S is dispersed and the bubbles K are opposed to each other. Thereby, the contact time in which the water H in which the photocatalyst S is dispersed and the bubbles K are in contact with each other is prolonged, and the action of decomposing the contaminants by the photocatalyst S is promoted. As a result, the air purification performance is improved.

また、光触媒Ｓは浄化槽１１０の底部１１４に徐々に沈殿する。しかし、底部１１４に沈殿した光触媒Ｓが分散した水Ｈは、回収部１７０から回収され、循環経路１７６を介して、供給部１７２から流路１３０の上流端に供給される。 Further, the photocatalyst S gradually settles at the bottom 114 of the septic tank 110. However, the water H in which the photocatalyst S that has settled on the bottom 114 is dispersed is recovered from the recovery unit 170 and supplied from the supply unit 172 to the upstream end of the flow path 130 via the circulation path 176.

よって、光触媒Ｓが浄化槽１１０の底部１１４に沈殿することによる空気浄化性能の低下が防止される。 Therefore, the deterioration of the air purification performance due to the precipitation of the photocatalyst S on the bottom 114 of the purification tank 110 is prevented.

また、流路１３０を構成する底面、すなわち隔壁１２０の上面１２０Ｕは折返部位１３０Ａに向かって下り勾配となった傾斜面とされている。別の言い方をすると、水流Ｙ方向に向かって下り勾配となった傾斜面とされている。 Further, the bottom surface constituting the flow path 130, that is, the upper surface 120U of the partition wall 120 is an inclined surface that is inclined downward toward the folded portion 130A. In other words, the inclined surface has a downward slope toward the water flow Y direction.

よって、流路１３０に沿って上方から下方に移動した光触媒Ｓが、浄化槽１１０の底部１１４に流れ回収部１７０から回収される。したがって、光触媒Ｓが流路１３０の底面（隔壁１２０の上面１２０Ｕ）に沈殿することによる空気浄化性能の低下が防止される。 Therefore, the photocatalyst S that has moved downward from above along the flow path 130 flows to the bottom 114 of the septic tank 110 and is recovered from the recovery unit 170. Therefore, the deterioration of the air purification performance due to the precipitation of the photocatalyst S on the bottom surface of the flow path 130 (the upper surface 120U of the partition wall 120) is prevented.

更に、光触媒Ｓが分散した水Ｈは、循環経路１７６を介して循環するので、光触媒Ｓが分散した水Ｈが循環しないで新たに供給する構成と比較し、コストが低減する。 Furthermore, since the water H in which the photocatalyst S is dispersed circulates through the circulation path 176, the cost is reduced as compared with a configuration in which the water H in which the photocatalyst S is dispersed is supplied without being circulated.

また、流路１３０を構成する隔壁１２０の上端部１２０Ａと浄化槽１１０の槽壁１１０Ａ，１１０Ｂとの接合部位又は接合部位近傍に溜まった気泡Ｋは、貫通孔１２２から気泡Ｋが抜ける。よって、気泡Ｋの長時間の滞留が防止される。 Further, the bubbles K accumulated at or near the joining portion between the upper end portion 120 A of the partition wall 120 constituting the flow path 130 and the tank walls 110 A and 110 B of the purification tank 110 are removed from the through hole 122. Therefore, the bubble K is prevented from staying for a long time.

また、光照射装置１８０は浄化槽１１０の外側に配置され、浄化槽１１０の槽壁１１０Ａ，１１０Ｂの透過部１１８から光を照射する。 The light irradiation device 180 is disposed outside the septic tank 110 and irradiates light from the transmission part 118 of the tank walls 110 A and 110 B of the septic tank 110.

例えば、浄化槽の内部に光照射装置が配置されている構成の場合、光照射装置の耐水性能を確保する必要があり、高コストとなる。よって、本実施形態のように浄化槽１１０の外側に光照射装置１８０を配置する構成とることで、浄化槽１１０の内部に光照射装置が配置されている構成と比較し、光照射装置１８０を低コストで設置することができる。 For example, in the case where the light irradiation device is arranged inside the septic tank, it is necessary to ensure the water resistance of the light irradiation device, resulting in high cost. Therefore, the configuration in which the light irradiation device 180 is disposed outside the septic tank 110 as in this embodiment reduces the cost of the light irradiation device 180 compared to the configuration in which the light irradiation device is disposed inside the septic tank 110. Can be installed at.

また、各隔壁１２０の折返部位１３０Ａにそれぞれ透過部１１８が設けられているので、流路１３０に全体に亘って光が照射される。 In addition, since the transmissive portions 118 are provided in the folded portions 130A of the partition walls 120, light is irradiated to the entire flow path 130.

なお、光照射装置１８０は、浄化槽１１０の中に配置されていてもよい。例えば、光照射装置１８０を天井部１１２に設けてもよい。この場合、光が底部１１４まで届くように、隔壁１２０を透明な部材で構成することが望ましい。或いは、光照射装置１８０を高い防水性能を有する構成とし、各隔壁１２０に設けてもよい。 In addition, the light irradiation apparatus 180 may be arrange | positioned in the septic tank 110. FIG. For example, the light irradiation device 180 may be provided on the ceiling portion 112. In this case, it is desirable that the partition 120 be made of a transparent member so that the light reaches the bottom 114. Alternatively, the light irradiation device 180 may have a high waterproof performance and may be provided in each partition wall 120.

なお、浄化槽１１０の内部に光照射装置１８０を設ける構成の場合、光源として紫外線を用いる場合であっても、紫外線が浄化槽１１０の外に漏れないので好適である。 Note that the structure in which the light irradiation device 180 is provided inside the septic tank 110 is preferable because the ultraviolet light does not leak out of the septic tank 110 even when ultraviolet light is used as the light source.

「変形例」
つぎに、本実施形態の変形例について説明する。
上記実施形態では、浄化槽１１０の底部１１４から回収した光触媒Ｓが分散した水Ｈを、全て循環させる構成であったがこれに限定されない。 "Modification"
Next, a modification of this embodiment will be described.
In the above embodiment, the water H in which the photocatalyst S collected from the bottom 114 of the septic tank 110 is dispersed is circulated, but the present invention is not limited to this.

「第一変形例」
例えば、図２に示す第一変形例のクリーンルーム装置５１のように、回収された水Ｈの一部を廃棄経路１７８から廃棄して残りを循環させると共に、供給経路１７９から新しい水で希釈して供給するようにしてもよい。 "First variation"
For example, like the clean room device 51 of the first modification shown in FIG. 2, a part of the recovered water H is discarded from the disposal path 178 and the rest is circulated, and diluted with fresh water from the supply path 179. You may make it supply.

「第二変形例」
或いは、図３に示す第二変形例のクリーンルーム装置５２のように、回収された水Ｈを全て廃棄経路１７８から廃棄し、新しい水Ｈのみを供給してもよい。 "Second modification"
Alternatively, like the clean room device 52 of the second modified example shown in FIG. 3, all the collected water H may be discarded from the disposal path 178 and only new water H may be supplied.

「第三変形例」
或いは、図４に示す第三変形例のクリーンルーム装置５３のように、回収した水Ｈをろ過装置１７１で光触媒Ｓをろ過し、矢印Ｘで示すように、光触媒Ｓを新たに水に分散させて供給してもよい。
なお、この場合、光触媒をろ過した後に、図２に示す第一変形例のクリーンルーム装置５１のように、ろ過後の水Ｈの一部を廃棄経路１７８から廃棄して残りを循環させると共に、供給経路１７９から新しい水で希釈して供給するようにしてもよい。 `` Third modification ''
Alternatively, as in the clean room device 53 of the third modification shown in FIG. 4, the recovered water H is filtered through the filter device 171 and the photocatalyst S is newly dispersed in water as indicated by the arrow X. You may supply.
In this case, after filtering the photocatalyst, a part of the filtered water H is discarded from the disposal path 178 and circulated through the remainder, as in the clean room device 51 of the first modification shown in FIG. You may make it dilute and supply with fresh water from the path | route 179. FIG.

また、上記実施形態では、クリーンルーム１２の排出口１４から排出された汚染された空気を空気浄化装置１００に送り、空気浄化装置１００によって浄化された空気がクリーンルーム１２の吹出口１６から吹き出されている。つまり、空気が循環する構成であったがこれに限定されない。 Moreover, in the said embodiment, the contaminated air discharged | emitted from the discharge port 14 of the clean room 12 is sent to the air purification apparatus 100, and the air purified by the air purification apparatus 100 is blown out from the blower outlet 16 of the clean room 12. . That is, although it was the structure which air circulates, it is not limited to this.

「第四変形例」
例えば、図５に示す第四変形例のクリーンルーム装置５４のように、空気浄化装置１００によって浄化された空気を外気に排出する構成であってもよい。この場合、クリーンルーム１２の吹出口１６から吹き出す空気は、本発明が適用されていない浄化装置２１０やフィルター（図示略）を介して取り込まれる。 `` Fourth modification ''
For example, like the clean room device 54 of the fourth modified example shown in FIG. 5, the air purified by the air purification device 100 may be discharged to the outside air. In this case, the air blown out from the air outlet 16 of the clean room 12 is taken in through a purifier 210 or a filter (not shown) to which the present invention is not applied.

「第五変形例」
また、図６に示す第五変形例のクリーンルーム装置５５のように、空気浄化装置１００は外気を取り込んで浄化し、浄化された空気がクリーンルーム１２の吹出口１６から吹き出される構成であってもよい。この場合、クリーンルーム１２の排出口１４から排出された汚染された空気は、本発明が適用されていない浄化装置２１２やフィルター（図示略）などを介して外気に排出される。 `` Fifth modification ''
Further, like the clean room device 55 of the fifth modified example shown in FIG. 6, the air purification device 100 takes in and cleans the outside air, and the purified air is blown out from the outlet 16 of the clean room 12. Good. In this case, the contaminated air discharged from the discharge port 14 of the clean room 12 is discharged to the outside air through a purifier 212 or a filter (not shown) to which the present invention is not applied.

「第六変形例」
また、図示は省略するが、クリーンルーム１２の中に、空気浄化装置１００を配置してもよい。 "Sixth Modification"
Although not shown, the air purification device 100 may be disposed in the clean room 12.

＜第二実施形態＞
つぎに、本発明の第三実施形態のクリーンルーム装置について、図７を用いて説明する。なお、第一実施形態と同一の部材には、同一の符号を付し、重複する説明は省略する。 <Second embodiment>
Next, a clean room apparatus according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the member same as 1st embodiment, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

図７に示すように、第二実施形態のクリーンルーム装置６２における空気浄化装置２００の隔壁２２０は、導光板で構成されている。導光板とは、アクリル等の樹脂製の板の表面に特殊な加工をほどこして、端面より導入した光を面発光させる板とされている。 As shown in FIG. 7, the partition 220 of the air purification device 200 in the clean room device 62 of the second embodiment is configured by a light guide plate. The light guide plate is a plate that performs special processing on the surface of a resin plate such as acrylic so that light introduced from the end face is surface-emitted.

隔壁２２０の上端部２２０Ａは、浄化槽１１０の外側に突出されている。光照射装置２８０は、突出した隔壁２２０の端部２２０Ａに光を照射するように構成されている。 An upper end portion 220 A of the partition wall 220 protrudes outside the septic tank 110. The light irradiation device 280 is configured to irradiate light onto the end portion 220 A of the protruding partition 220.

つぎに本実施形態の作用及び効果について説明する。
光照射装置２８０によって隔壁（導光板）２２０の上端部２２０Ａに光が照射される。隔壁２２０の中を光が側面（界面）に全反射しながら進む。そして、反射ドットに光が当たって向きを変え、全反射角より小さくなった成分の光が隔壁２２０の表面に出てくることで、隔壁２２０が面発光する。 Next, the operation and effect of this embodiment will be described.
Light is irradiated to the upper end portion 220 A of the partition wall (light guide plate) 220 by the light irradiation device 280. The light travels through the partition 220 while being totally reflected on the side surface (interface). Then, the light strikes the reflective dot and changes its direction, and light of a component that is smaller than the total reflection angle emerges on the surface of the partition 220, so that the partition 220 emits surface light.

このように、隔壁２２０が面発光することで、流路１３０全体により均一に光が照射される。よって、光触媒Ｓの分解性能が向上する。つまり、空気浄化性能が向上する。 As described above, the partition wall 220 emits light so that the entire flow path 130 is uniformly irradiated with light. Therefore, the decomposition performance of the photocatalyst S is improved. That is, the air purification performance is improved.

＜第三実施形態＞
つぎに、本発明の第三実施形態のクリーンルーム装置について、図８を用いて説明する。なお、第一実施形態及び第二実施形態と同一の部材には、同一の符号を付し、重複する説明は省略する。 <Third embodiment>
Next, a clean room apparatus according to a third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the member same as 1st embodiment and 2nd embodiment, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

図８に示すように、第三実施形態のクリーンルーム装置６３における浄化槽１１０の中には、正面視において、斜めに配置された複数の板状の隔壁３２０によって、流路１３０が形成されている。 As shown in FIG. 8, the flow path 130 is formed in the septic tank 110 in the clean room device 63 of the third embodiment by a plurality of plate-like partition walls 320 arranged obliquely in a front view.

正面視において、複数の隔壁３２０は上下方向に並んで配置されると共に、隔壁３２０の下端部３２０Ｂが、浄化槽１１０の槽壁１１０Ａと槽壁１１０Ｂとに交互に接合されている。言い換えると、正面視において、板状の隔壁３２０が浄化槽１１０の槽壁１１０Ａ，１１０Ｂから左右、互い違いに（交互）に張り出している。 In the front view, the plurality of partition walls 320 are arranged side by side in the vertical direction, and lower end portions 320B of the partition walls 320 are alternately joined to the tank wall 110A and the tank wall 110B of the septic tank 110. In other words, in the front view, the plate-shaped partition 320 protrudes from the tank walls 110A and 110B of the septic tank 110 alternately (alternately) from side to side.

各隔壁３２０は、張り出し方向に向かって上り勾配となるように配置されている。別の言い方をすると、上端部１２０Ａ側が上り勾配となるように設けられている。また、各隔壁１２０は、上り勾配方向の傾斜方向が交互に逆方向となって配置されている。 Each partition 320 is disposed so as to have an upward slope in the protruding direction. In other words, the upper end 120A side is provided with an upward slope. Moreover, each partition 120 is arrange | positioned so that the inclination direction of an upward gradient direction may become a reverse direction alternately.

流路１３０の天井面、すなわち各隔壁３２０の下面３２０Ｕは、折返部位１３０Ａに向かって上り勾配となる傾斜面とされている。別の言い方をすると、気泡Ｋの移動方向Ｔに向かって上り勾配となる傾斜面とされている。 The ceiling surface of the flow path 130, that is, the lower surface 320U of each partition 320 is an inclined surface that is inclined upward toward the folded portion 130A. In other words, the inclined surface is inclined upward in the moving direction T of the bubble K.

なお、各隔壁３２０の上端部３２０Ａと浄化槽１１０の槽壁１１０Ａ、１１０Ｂとの接合部位（又は接合部位近傍）に、上下方向に貫通する貫通孔１２３が形成されている。 In addition, a through-hole 123 penetrating in the vertical direction is formed at a joint portion (or in the vicinity of the joint portion) between the upper end portion 320A of each partition wall 320 and the tank walls 110A and 110B of the septic tank 110.

つぎに本実施形態の作用及び効果について説明する。
流路１３０の天井面、すなわち隔壁３２０の下面３２０Ｕは、折返部位１３０Ａに向かって上り勾配となる傾斜面とされている。つまり、気泡Ｋの移動方向Ｔに向かって上り勾配となる傾斜面とされている。よって、気泡Ｋが流路１３０の天井面に溜まることなく、流路１３０を移動する。 Next, the operation and effect of this embodiment will be described.
The ceiling surface of the flow path 130, that is, the lower surface 320U of the partition 320 is an inclined surface that is inclined upward toward the folded portion 130A. That is, the inclined surface has an upward gradient toward the moving direction T of the bubble K. Therefore, the bubbles K move through the flow path 130 without accumulating on the ceiling surface of the flow path 130.

なお、流路１３０を構成する隔壁３２０の上端部３２０Ａと浄化槽１１０の槽壁１１０Ａ，１１０Ｂとの接合部位近傍に溜まる光触媒Ｓが貫通孔１２３から落ちる。そして、最終的に、光触媒Ｓが底部１１４の回収部１７０から回収される。よって、流路１３０を構成する隔壁３２０の上端部３２０Ａと浄化槽１１０の槽壁１１０Ａ，１１０Ｂとの接合部位近傍溜に光触媒Ｓが溜まることによる空気浄化性能の低下が防止される。 Note that the photocatalyst S that accumulates in the vicinity of the joining portion between the upper end portion 320 A of the partition wall 320 constituting the flow path 130 and the tank walls 110 A and 110 B of the purification tank 110 falls from the through hole 123. Finally, the photocatalyst S is recovered from the recovery unit 170 at the bottom 114. Therefore, deterioration of the air purification performance due to accumulation of the photocatalyst S in the vicinity of the joint portion between the upper end portion 320A of the partition wall 320 constituting the flow path 130 and the tank walls 110A and 110B of the purification tank 110 is prevented.

＜第四実施形態＞
つぎに、本発明の第四実施形態のクリーンルーム装置について、図９を用いて説明する。なお、第一実施形態〜第三実施形態と同一の部材には、同一の符号を付し、重複する説明は省略する。 <Fourth embodiment>
Next, a clean room apparatus according to a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the member same as 1st embodiment-3rd embodiment, and the overlapping description is abbreviate | omitted.

図９に示すように、第四実施形態のクリーンルーム装置６４における空気浄化装置４００では、図１に示す隔壁１２０の上端部１２０Ａが浄化槽１１０の槽壁１１０Ａ，１１０Ｂに接合され、且つ図８に示す隔壁３２０の下端部３２０Ｂが浄化槽１１０の槽壁１１０Ａ，１１０Ｂに接合されている。そして、隔壁３２０の上端部３２０Ａと隔壁１２０の下端部１２０Ｂとが接合されている。よって、隔壁３２０と隔壁１２０とで、正面視において、上端部３２０Ａと下端部１２０Ｂの接合部位の頂点側が水平方向（張り出し方向）に向いた略二等辺三角形が形成されている。 As shown in FIG. 9, in the air purification device 400 in the clean room device 64 of the fourth embodiment, the upper end 120A of the partition wall 120 shown in FIG. 1 is joined to the tank walls 110A and 110B of the purification tank 110 and shown in FIG. The lower end portion 320B of the partition wall 320 is joined to the tank walls 110A and 110B of the septic tank 110. And the upper end part 320A of the partition 320 and the lower end part 120B of the partition 120 are joined. Therefore, the partition wall 320 and the partition wall 120 form a substantially isosceles triangle in which the apex side of the joint portion between the upper end portion 320A and the lower end portion 120B is directed in the horizontal direction (the projecting direction) in the front view.

なお、本実施形態においては、貫通孔１２２（図１参照）及び貫通孔１２３（図８）は、形成されていない。 In the present embodiment, the through hole 122 (see FIG. 1) and the through hole 123 (FIG. 8) are not formed.

つぎに本実施形態の作用及び効果について説明する。
流路１３０を構成する底面、すなわち隔壁１２０の上面１２０Ｕは折返部位１３０Ａに向かって下り勾配となった傾斜面とされている。別の言い方をすると、水流Ｙ方向に向かって下り勾配となった傾斜面とされている。 Next, the operation and effect of this embodiment will be described.
The bottom surface constituting the flow path 130, that is, the upper surface 120U of the partition wall 120 is an inclined surface that is inclined downward toward the folded portion 130A. In other words, the inclined surface has a downward slope toward the water flow Y direction.

よって、流路１３０に沿って上方から下方に移動した光触媒Ｓが浄化槽１１０の底部１１４に流れ回収部１７０から回収される。したがって、光触媒Ｓが流路１３０を構成する底面に沈殿することによる空気浄化性能の低下が防止される。 Accordingly, the photocatalyst S that has moved downward from above along the flow path 130 flows to the bottom 114 of the septic tank 110 and is recovered from the recovery unit 170. Therefore, the deterioration of the air purification performance due to the photocatalyst S being deposited on the bottom surface constituting the flow path 130 is prevented.

また、流路１３０の天井面、すなわち隔壁３２０の下面３２０Ｕは、折返部位１３０Ａに向かって上り勾配となる傾斜面とされている。つまり、気泡Ｋの移動方向に向かって上り勾配となる傾斜面とされている。よって、気泡Ｋが流路１３０の天井面に溜まることなく、流路１３０を移動する。 Moreover, the ceiling surface of the flow path 130, that is, the lower surface 320U of the partition 320 is an inclined surface that is inclined upward toward the folded portion 130A. That is, the inclined surface has an upward slope toward the moving direction of the bubble K. Therefore, the bubbles K move through the flow path 130 without accumulating on the ceiling surface of the flow path 130.

したがって、空気浄化性能が、更に向上する。 Therefore, the air purification performance is further improved.

＜第五実施形態＞
つぎに、本発明の第五実施形態のクリーンルーム装置について、図１０を用いて説明する。なお、第一実施形態〜第四実施形態と同一の部材には、同一の符号を付し、重複する説明は省略する。なお、クリーンルーム装置の全体の図示は省略さている。 <Fifth embodiment>
Next, a clean room apparatus according to a fifth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In addition, the same code | symbol is attached | subjected to the member same as 1st embodiment-4th embodiment, and the overlapping description is abbreviate | omitted. In addition, illustration of the whole clean room apparatus is abbreviate | omitted.

図１０に示すように、第五実施形態のクリーンルーム装置の空気浄化装置５００の浄化槽４１０は、円筒形とされ、円の中心部に柱５０８が設けられている。この柱５０８の周りに螺旋状の隔壁５２０が形成されている。隔壁５２０の端部５２０Ａは浄化槽５１０の槽壁（周壁）５１０Ａに接合されている。よって、隔壁５２０によって、螺旋形状の流路４３０が形成されている。 As shown in FIG. 10, the purification tank 410 of the air purification apparatus 500 of the clean room apparatus of the fifth embodiment is cylindrical, and a column 508 is provided at the center of a circle. A spiral partition 520 is formed around the column 508. An end 520A of the partition wall 520 is joined to a tank wall (peripheral wall) 510A of the septic tank 510. Therefore, a spiral channel 430 is formed by the partition wall 520.

浄化槽５１０の下部における流路５３０の流末には、空気噴出部１５０が設けられている。浄化槽５１０の天井部５１２には、空気を排出する空気排出部１６０が設けられている。 An air ejection part 150 is provided at the end of the flow path 530 in the lower part of the septic tank 510. An air discharge unit 160 that discharges air is provided in the ceiling portion 512 of the septic tank 510.

よって、気泡Ｋ（図１参照）が螺旋形の流路５３０を下方から下から上に向かって移動する。また、光触媒Ｓが分散した水Ｈ（図１参照）が流路５３０を上方から下方に流れる水流が発生する。 Therefore, the bubble K (see FIG. 1) moves through the spiral channel 530 from below to above. Further, a water flow is generated in which the water H (see FIG. 1) in which the photocatalyst S is dispersed flows from the upper side to the lower side in the flow path 530.

なお、これ以外の構成は、第一実施形態と同様であるので、説明は省略する。
例えば、浄化槽５１０の底部には、回収部が設けれ、上部には供給部が設けられている。また槽壁５１０Ａには透明部が設けられ、透明部の外側に光照射装置が配置されている。 Since the other configuration is the same as that of the first embodiment, the description thereof is omitted.
For example, a recovery unit is provided at the bottom of the septic tank 510, and a supply unit is provided at the top. Further, the tank wall 510A is provided with a transparent portion, and a light irradiation device is disposed outside the transparent portion.

つぎに本実施形態の作用及び効果について説明する。
流路５３０は、螺旋形状とされ、気泡Ｋは、平面視において柱５０８を中心に円運動し、正面視においては左右に蛇行しながら上方に移動する。よって、光触媒Ｓが分散した水Ｈと気泡Ｋとが接触する接触時間が更に長くなり、その結果、空気浄化性能が更に向上する。 Next, the operation and effect of this embodiment will be described.
The channel 530 has a spiral shape, and the bubble K moves circularly around the column 508 in a plan view, and moves upward while meandering left and right in a front view. Therefore, the contact time in which the water H in which the photocatalyst S is dispersed and the bubbles K contact each other is further increased, and as a result, the air purification performance is further improved.

また、流路５３０に沿って上方から下方に移動した光触媒Ｓが、浄化槽５１０の底部に流れ回収部から回収される。よって、光触媒Ｓが流路５３０の底面、すなわち隔壁５２０の上面に沈殿することによる空気浄化性能の低下が防止される。 In addition, the photocatalyst S that has moved downward from above along the flow path 530 flows to the bottom of the septic tank 510 and is recovered from the recovery unit. Therefore, the deterioration of the air purification performance due to the photocatalyst S being deposited on the bottom surface of the flow path 530, that is, the top surface of the partition wall 520 is prevented.

また、流路５３０の天井面、すなわち隔壁５２０の下面は、気泡Ｋの移動方向に向かって上り勾配となる傾斜面とされているので、気泡Ｋが流路５３０の天井面に溜まることなく、流路５３０を移動する。 Further, since the ceiling surface of the channel 530, that is, the lower surface of the partition wall 520 is an inclined surface that is inclined upward in the moving direction of the bubbles K, the bubbles K do not accumulate on the ceiling surface of the channel 530. The flow path 530 is moved.

尚、本発明は上記実施形態に限定されない。本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々なる態様で実施し得ることは言うまでもない The present invention is not limited to the above embodiment. Needless to say, the present invention can be implemented in various modes without departing from the scope of the present invention.

例えば、上記実施形態では、空気浄化装置は、クリーンルームに適用したがこれに限定されない。クリーンルーム以外の適用例としては、例えば、工場や実験施設から汚染された空気を浄化して排出する目的で使用することがきる。また、排気ガスの浄化にも使用することができる。 For example, in the said embodiment, although the air purifying apparatus was applied to the clean room, it is not limited to this. As an application example other than a clean room, for example, it can be used for the purpose of purifying and discharging contaminated air from a factory or experimental facility. It can also be used for exhaust gas purification.

１０クリーンルーム装置
１２クリーンルーム
１４排気口
１６吹出口
５１クリーンルーム装置
５２クリーンルーム装置
５３クリーンルーム装置
５４クリーンルーム装置
５５クリーンルーム装置
６２クリーンルーム装置
６３クリーンルーム装置
６４クリーンルーム装置
１００空気浄化装置
１１０浄化槽
１１０Ａ槽壁
１１０Ｂ槽壁
１１８透過部
１２０隔壁（板材）
１２２貫通孔
１２３貫通孔
１３０流路
１５０空気噴出部
１６０空気排出部
１７０回収部（回収手段、水流発生手段）
１７２供給部（供給手段、水流発生手段）
１７４ポンプ（供給手段、水流発生手段）
１７６循環経路（供給手段、水流発生手段）
１８０光照射装置（光照射手段）
２００空気浄化装置
２２０隔壁（板材）
２８０光照射装置（光照射手段）
３００空気浄化装置
３２０隔壁（板材）
４００空気浄化装置
５００空気浄化装置
５１０浄化槽
５３０流路
Ｓ光触媒
Ｈ水
ＨＡ水面
Ｋ気泡 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Clean room apparatus 12 Clean room 14 Exhaust opening 16 Outlet 51 Clean room apparatus 52 Clean room apparatus 53 Clean room apparatus 54 Clean room apparatus 55 Clean room apparatus 62 Clean room apparatus 63 Clean room apparatus 64 Clean room apparatus 100 Air purification apparatus 110 Purification tank 110A Tank wall 110B Tank wall 118 120 Bulkhead (plate material)
122 Through-hole 123 Through-hole 130 Flow path 150 Air ejection part 160 Air discharge part 170 Recovery part (recovery means, water flow generation means)
172 Supply section (supply means, water flow generation means)
174 Pump (supplying means, water flow generating means)
176 Circulation path (supply means, water flow generation means)
180 Light irradiation device (light irradiation means)
200 Air purification device 220 Bulkhead (plate material)
280 Light irradiation device (light irradiation means)
300 Air purification device 320 Bulkhead (plate material)
400 Air purification device 500 Air purification device 510 Septic tank 530 Flow path
S photocatalyst
H water
HA Water surface
K bubble

Claims

光触媒が分散した水が貯留された浄化槽と、
前記光触媒に光を照射する光照射手段と、
前記浄化槽の下部に設けられ、貯留された水の中に浄化対象の空気を噴出する空気噴出部と、
前記浄化槽の内部に形成され、前記空気噴出部から噴出された空気の気泡が、正面視において左右に蛇行しながら下から上に向かって移動するように形成された流路と、
前記浄化槽の水面よりも上側に設けられ、前記空気流路を通過した空気を排出する空気排出部と、
を備える空気浄化装置。 A septic tank in which water in which a photocatalyst is dispersed is stored;
A light irradiation means for irradiating the photocatalyst with light;
An air ejection part provided at a lower part of the septic tank, and ejects air to be purified into the stored water;
A flow path formed inside the septic tank and formed so that air bubbles ejected from the air ejection section move from bottom to top while meandering left and right in a front view;
An air discharge unit that is provided above the water surface of the septic tank and discharges air that has passed through the air flow path;
An air purification apparatus comprising:

前記光触媒が分散した水を前記浄化槽の底部から回収する回収手段と、前記回収手段によって回収された前記光触媒が分散した水の一部又は全部を前記浄化槽に供給する供給手段と、を有し、前記光触媒が分散した水が前記流路を上方から下方に流れるように水流を発生させる水流発生手段を備える、
請求項１に記載の空気浄化装置。 Recovery means for recovering the water in which the photocatalyst is dispersed from the bottom of the septic tank; and supply means for supplying a part or all of the water in which the photocatalyst recovered by the recovery means is dispersed to the septic tank, Water flow generating means for generating a water flow so that the water in which the photocatalyst is dispersed flows from above to below the flow path,
The air purifier according to claim 1.

前記流路は、正面視において、前記浄化槽の槽壁から左右互い違いに張り出す板材によって構成され、
前記板材は、張り出し方向に向かって下り勾配となるように配置され、
前記板材の前記槽壁の近傍には、上下方向に貫通する貫通孔が形成されている、
請求項１又は請求項２に記載の空気浄化装置。 The flow path is configured by a plate material that alternately protrudes left and right from the tank wall of the septic tank in front view,
The plate material is arranged to have a downward slope toward the overhang direction,
In the vicinity of the tank wall of the plate material, a through-hole penetrating in the vertical direction is formed,
The air purification apparatus according to claim 1 or 2.

前記流路は、正面視において、前記浄化槽の槽壁から左右互い違いに張り出す板材によって構成され、
前記隔壁は、張り出し方向に向かって上り勾配となるように配置され、
前記板材の前記槽壁の近傍には、上下方向に貫通する貫通孔が形成されている、
請求項１又は請求項２に記載の空気浄化装置。 The flow path is configured by a plate material that alternately protrudes left and right from the tank wall of the septic tank in front view,
The partition wall is arranged to have an upward slope toward the overhanging direction,
In the vicinity of the tank wall of the plate material, a through-hole penetrating in the vertical direction is formed,
The air purification apparatus according to claim 1 or 2.

前記浄化槽の槽壁には、光が透過する透過部が設けられ、
前記光照射手段は、前記浄化槽の外側に配置され、前記透過部から前記流路に光を照射する、
請求項１〜請求項４のいずれか１項に記載の空気浄化装置。 The tank wall of the septic tank is provided with a transmission part through which light passes,
The light irradiation means is disposed outside the septic tank, and irradiates light from the transmission part to the flow path.
The air purification apparatus of any one of Claims 1-4.