JP2011158749A - レーザ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザ装置1が、パルス光発生部10と、パルス光発生部10から発生したパルス光Lpを2つのパルス光に分離させる分岐カップラー素子12と、分岐カップラー素子12において分離された2つのパルス光Lp1,Lp2をそれぞれ同軸に重ね合わせて紫外光を発生させる波長変換部と、分岐カップラー素子12と波長変換部とに接続された経路の異なる第1光路R11および第2光路R12と、第2光路R12の光路長を、第2のパルス光Lp2が波長変換部で第1のパルス光Lp1と時間的に重なる第1光路長および、第2のパルス光Lp2´が波長変換部で第1のパルス光Lp1と時間的に重ならない第2光路長のいずれかに選択的に切り替える一対の光スイッチング素子14,15とを備えて構成される。
【選択図】図1
Description
10 パルス光発生部 12 分岐カップラー素子(分離部)
14 第1の光スイッチング素子(光路長切替部)
15 第2の光スイッチング素子(光路長切替部)
30 波長変換部
R11 第1光路 R12 第2光路
51 レーザ装置(第2実施形態)
60 第1のパルス光発生部 61 第2のパルス光発生部
62 第1の分岐カップラー素子(分離部)
63 第2の分岐カップラー素子(分離部)
68 第1の光スイッチング素子(光路長切替部)
69 第2の光スイッチング素子(光路長切替部)
R21 第1光路 R22 第2光路
R23 第3光路 R24 第4光路
101 レーザ装置(従来例)
102 第1のパルス光発生部 104 第2のパルス光発生部
110 波長変換部
Claims (2)
- パルス光を発生させるパルス光発生部と、
前記パルス光発生部から発生したパルス光を2つのパルス光に分離させる分離部と、
前記分離部において分離された2つのパルス光をそれぞれ同軸に重ね合わせて前記パルス光の波長と異なる波長を有する光を発生させる波長変換部と、
前記2つのパルス光のうち一方のパルス光を前記分離部から前記波長変換部へ導く一方側の光路と、
前記2つのパルス光のうち他方のパルス光を前記分離部から前記波長変換部へ導く他方側の光路と、
前記一方側の光路長を、前記一方のパルス光が前記波長変換部で前記他方のパルス光と時間的に重なる第1光路長および、前記一方のパルス光が前記波長変換部で前記他方のパルス光と時間的に重ならない第2光路長のいずれかに選択的に切り替える光路長切替部とを備えて構成されることを特徴とするレーザ装置。 - 前記光路長切替部が前記一方側の光路長を所定のタイミングで前記選択的に切り替えることにより、前記パルス光の波長と異なる波長を有する光が前記波長変換部から所定の時間間隔をおいて発生することを特徴とする請求項1に記載のレーザ装置。
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