JP2011152524A - Recording apparatus - Google Patents

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To solve such a problem that it is hard to improve the reliability of a recording pattern in conventional recording methods. <P>SOLUTION: The recording apparatus includes: a head for discharging as a droplet, a liquid body having a photocurable property facilitating curing in response to irradiation of ultraviolet light; a light source 87 which emits light 91 containing the ultraviolet light for irradiating the liquid substance discharged from the head; an optical filter 83 which is arranged between the light source 87 and the liquid substance discharged from the head and which weakens the intensity of the ultraviolet light for the light 91; and guide rails 85 which relatively change the position of the optical filter 83 to the light source 87. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、記録装置等に関する。   The present invention relates to a recording apparatus and the like.

従来から、紫外線硬化樹脂を含有するインクでマーキング（記録パターン）を施す（記録する）装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。   2. Description of the Related Art Conventionally, an apparatus that performs (records) marking (recording pattern) with ink containing an ultraviolet curable resin is known (see, for example, Patent Document 1).

特開平１１−２７４３３５号公報JP 11-274335 A

上記特許文献１に記載されたマーキング装置（記録装置）では、マーキングが施されたパッケージ（記録媒体）に紫外光を照射することによって、紫外線硬化樹脂を含有するインク（以下、ＵＶインクと呼ぶ）を固化させることができる。これにより、インクに対する受容性（インクを吸収する性質）が低い材質に施したマーキングの状態を維持させやすくすることができる。
ところで、記録媒体に塗布されたＵＶインクに紫外光を照射したとき、ＵＶインクの内側（記録媒体側）には、ＵＶインクの表面側（記録媒体とは反対側）に比較して、紫外光が届きにくい。そして、この場合、ＵＶインクは、内側よりも表面側の方が硬化が促進する。内側よりも表面側の方が硬化が促進すると、紫外光は、ＵＶインクの内側に一層届きにくくなる。
このように、記録媒体に塗布されたＵＶインクにおいて、ＵＶインクの内側は、ＵＶインクの表面側に比較して、硬化率（重合率）が低くなることがある。ＵＶインクの内側において重合率が低くなると、記録媒体とＵＶインクとの間の結合力が弱くなりやすい。
つまり、従来の記録装置では、記録パターンにおける信頼性を向上させることが困難であるという課題がある。 In the marking device (recording device) described in Patent Document 1, an ink containing an ultraviolet curable resin (hereinafter referred to as UV ink) is irradiated by irradiating ultraviolet light onto a marked package (recording medium). Can be solidified. Thereby, it is possible to easily maintain a marking state applied to a material having low acceptability for ink (property to absorb ink).
By the way, when UV light applied to the recording medium is irradiated with ultraviolet light, the ultraviolet light is irradiated on the inner side (recording medium side) of the UV ink as compared with the surface side of the UV ink (opposite side of the recording medium). Is difficult to reach. In this case, curing of the UV ink is promoted more on the surface side than on the inner side. When curing is accelerated on the surface side rather than on the inner side, the ultraviolet light becomes more difficult to reach the inner side of the UV ink.
As described above, in the UV ink applied to the recording medium, the inside of the UV ink may have a lower curing rate (polymerization rate) than the surface of the UV ink. When the polymerization rate is lowered inside the UV ink, the bonding force between the recording medium and the UV ink tends to be weak.
That is, the conventional recording apparatus has a problem that it is difficult to improve the reliability of the recording pattern.

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現され得る。   SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following forms or application examples.

［適用例１］紫外光の照射を受けて硬化が促進する性質である光硬化性を有する液状体を液滴として吐出する吐出ヘッドと、前記吐出ヘッドから吐出された前記液状体に照射するための前記紫外光を含む光を放出する光源と、前記光源と前記吐出ヘッドから吐出された前記液状体との間に介在し、前記光源が放出する前記光である放出光における前記紫外光の強度を弱める光学素子と、前記光源に対する前記光学素子の相対位置を変化させる変位装置と、を含む、ことを特徴とする記録装置。   [Application Example 1] In order to irradiate the liquid material ejected from the ejection head, which ejects a liquid material having photocurability, which is a property of promoting curing upon irradiation with ultraviolet light, as droplets. A light source that emits light including the ultraviolet light, and an intensity of the ultraviolet light in the emitted light that is interposed between the light source and the liquid material ejected from the ejection head and is the light emitted by the light source And a displacement device that changes a relative position of the optical element with respect to the light source.

この適用例の記録装置は、吐出ヘッドと、光源と、光学素子と、変位装置と、を含む。
吐出ヘッドは、液状体を液滴として吐出する。液状体は、光硬化性を有する。光硬化性は、紫外光の照射を受けて硬化が促進する性質である。
光源は、光を放出する。光源が放出する光である放出光は、吐出ヘッドから吐出された液状体に照射するための紫外光を含む。
光学素子は、光源と吐出ヘッドから吐出された液状体との間に介在している。光学素子は、放出光における紫外光の強度を弱める。
変位装置は、光源に対する光学素子の相対位置を変化させる。
この記録装置では、光源と液状体との間に光学素子が介在しているので、例えば、放出光における紫外光のうち、液状体の硬化を促進させるピーク波長以下の紫外光の強度を弱めることができる。液状体の内部に光源からの光を届かせやすくすることができる。液状体の内部に届く光には紫外光が含まれるので、液状体の内部における硬化が促進する。この結果、液状体の内部の硬化率を高めやすくすることができる。
また、この記録装置では、変位装置によって、光源に対する光学素子の相対位置を変化させることができる。これにより、例えば、放出光におけるピーク波長以下の紫外光の強度を維持した状態で、光源からの光を液状体に照射することができる。この結果、液状体の硬化を促進させやすくすることができる。
この記録装置によれば、液状体の内部の硬化率を高めてから、液状体の硬化を促進させやすくすることができる。この結果、記録媒体と記録パターンとの間の結合力を高めやすくすることができるので、記録パターンにおける信頼性を向上させやすくすることができる。 The recording apparatus of this application example includes an ejection head, a light source, an optical element, and a displacement device.
The ejection head ejects the liquid material as droplets. The liquid has photocurability. Photocurability is a property that curing is accelerated by irradiation with ultraviolet light.
The light source emits light. The emitted light, which is the light emitted from the light source, includes ultraviolet light for irradiating the liquid material ejected from the ejection head.
The optical element is interposed between the light source and the liquid material ejected from the ejection head. The optical element weakens the intensity of ultraviolet light in the emitted light.
The displacement device changes the relative position of the optical element with respect to the light source.
In this recording apparatus, since an optical element is interposed between the light source and the liquid, for example, the intensity of ultraviolet light below the peak wavelength that promotes hardening of the liquid is reduced among the ultraviolet light in the emitted light. Can do. Light from the light source can easily reach the inside of the liquid material. Since the light reaching the inside of the liquid includes ultraviolet light, curing inside the liquid is promoted. As a result, the internal curing rate of the liquid can be easily increased.
In this recording apparatus, the relative position of the optical element with respect to the light source can be changed by the displacement device. Thereby, for example, the light from the light source can be irradiated to the liquid while maintaining the intensity of ultraviolet light having a peak wavelength or less in the emitted light. As a result, the curing of the liquid can be facilitated.
According to this recording apparatus, it is possible to facilitate the curing of the liquid material after increasing the curing rate inside the liquid material. As a result, it is possible to easily increase the bonding force between the recording medium and the recording pattern, and thus it is possible to easily improve the reliability of the recording pattern.

［適用例２］上記の記録装置であって、前記光学素子は、前記放出光における前記紫外光のうち、少なくとも前記液状体の硬化を促進させるピーク波長以下の前記紫外光の強度を弱める、ことを特徴とする記録装置。   Application Example 2 In the recording apparatus described above, the optical element attenuates the intensity of the ultraviolet light having a wavelength equal to or less than a peak wavelength that promotes hardening of the liquid material in the ultraviolet light in the emitted light. A recording apparatus.

この適用例では、光学素子が、放出光における紫外光のうち、少なくとも液状体の硬化を促進させるピーク波長以下の紫外光の強度を弱める。これにより、液状体の内部の硬化率を高めてから、液状体の硬化を促進させやすくすることができる。   In this application example, the optical element weakens the intensity of the ultraviolet light having a wavelength equal to or less than the peak wavelength that promotes the curing of the liquid material among the ultraviolet light in the emitted light. Thereby, it is possible to facilitate the curing of the liquid material after increasing the curing rate inside the liquid material.

［適用例３］上記の記録装置であって、前記放出光は、紫外光の波長域から可視光の波長域に及ぶ強度分布を有している、ことを特徴とする記録装置。   Application Example 3 In the above recording apparatus, the emitted light has an intensity distribution ranging from a wavelength range of ultraviolet light to a wavelength range of visible light.

この適用例では、放出光が、紫外光の波長域から可視光の波長域に及ぶ強度分布を有している。これにより、光源を熱源として利用することができる。このため、光学素子を介して光を照射することによって、液状体の硬化を遅らせる間に、液状体を加熱することができる。加熱により、液状体の膜を薄くしやすくすることができる。この結果、液状体の容積を低減することができるので、溶剤などの液体による記録パターンの膨潤の程度を軽減することができる。このため、記録パターンを構成する膜に発生する応力を軽減しやすくすることができるので、記録媒体から記録パターンを剥離させにくくすることができる。従って、記録パターンにおける信頼性を向上させやすくすることができる。   In this application example, the emitted light has an intensity distribution ranging from the wavelength range of ultraviolet light to the wavelength range of visible light. Thereby, a light source can be utilized as a heat source. For this reason, by irradiating light through an optical element, the liquid can be heated while the hardening of the liquid is delayed. By heating, the liquid film can be easily thinned. As a result, the volume of the liquid material can be reduced, so that the degree of swelling of the recording pattern by a liquid such as a solvent can be reduced. For this reason, since it is possible to easily reduce the stress generated in the film constituting the recording pattern, it is possible to make it difficult to peel the recording pattern from the recording medium. Therefore, it is possible to easily improve the reliability of the recording pattern.

［適用例４］上記の記録装置であって、前記光学素子は、前記紫外光の波長域にわたって、前記紫外光の強度を弱める、ことを特徴とする記録装置。   Application Example 4 In the above recording apparatus, the optical element weakens the intensity of the ultraviolet light over the wavelength range of the ultraviolet light.

この適用例では、光学素子が、紫外光の波長域にわたって、紫外光の強度を弱める。これにより、光学素子を介して光を照射することによって、液状体の硬化を一層遅らせやすくすることができる。   In this application example, the optical element weakens the intensity of the ultraviolet light over the wavelength range of the ultraviolet light. Thereby, it can be made easier to delay the hardening of the liquid material by irradiating light through the optical element.

［適用例５］上記の記録装置であって、前記光学素子は、前記紫外光の波長域から続く前記可視光の波長域の一部における前記光の強度も弱める、ことを特徴とする記録装置。   Application Example 5 In the above recording apparatus, the optical element also reduces the intensity of the light in a part of the wavelength range of the visible light continuing from the wavelength range of the ultraviolet light. .

この適用例では、光学素子が、紫外光の波長域から続く可視光の波長域の一部における光の強度も弱めるので、紫外光の強度を紫外光の波長域にわたって弱めやすくすることができる。   In this application example, since the optical element also weakens the light intensity in a part of the visible light wavelength range from the ultraviolet light wavelength range, the intensity of the ultraviolet light can be easily reduced over the wavelength range of the ultraviolet light.

本実施形態における液滴吐出装置の概略の構成を示す斜視図。FIG. 2 is a perspective view illustrating a schematic configuration of a droplet discharge device according to the present embodiment. 本実施形態におけるキャリッジを図１中のＡ視方向に見たときの正面図。The front view when the carriage in this embodiment is seen in the A viewing direction in FIG. 本実施形態におけるヘッドユニットの底面図。The bottom view of the head unit in this embodiment. 図２中のＢ−Ｂ線における断面図。Sectional drawing in the BB line in FIG. 図１中のＣ−Ｃ線における断面図。Sectional drawing in the CC line | wire in FIG. 本実施形態における光学フィルターの解除位置を説明する図。The figure explaining the release position of the optical filter in this embodiment. 本実施形態における光源からの放出光の強度分布を説明する図。The figure explaining intensity distribution of the emitted light from the light source in this embodiment. 本実施形態における液滴吐出装置の概略の構成を示すブロック図。FIG. 2 is a block diagram illustrating a schematic configuration of a droplet discharge device according to the present embodiment. 本実施形態における記録方法の流れを示す図。The figure which shows the flow of the recording method in this embodiment. 本実施形態における描画処理の流れを示す図。The figure which shows the flow of the drawing process in this embodiment. 本実施形態における液滴吐出装置の側面図。The side view of the droplet discharge apparatus in this embodiment. 本実施形態における露光処理の流れを示す図。The figure which shows the flow of the exposure process in this embodiment. 本実施形態における液滴吐出装置の側面図。The side view of the droplet discharge apparatus in this embodiment.

図面を参照しながら、記録装置の１つである液滴吐出装置を例に、実施形態について説明する。なお、各図面において、それぞれの構成を認識可能な程度の大きさにするために、構成や部材の縮尺が異なっていることがある。   Embodiments will be described with reference to the drawings, taking as an example a droplet discharge device which is one of the recording devices. In addition, in each drawing, in order to make each structure the size which can be recognized, the structure and the scale of a member may differ.

実施形態における液滴吐出装置１は、概略の構成を示す斜視図である図１に示すように、ワーク搬送装置３と、キャリッジ７と、キャリッジ搬送装置９と、メンテナンス装置１１と、照射装置１５と、を有している。
キャリッジ７には、ヘッドユニット１３が設けられている。
液滴吐出装置１では、ヘッドユニット１３と基板などのワークＷとの平面視での相対位置を変化させつつ、ヘッドユニット１３から液状体を液滴として吐出させることによって、ワークＷに液状体で所望のパターンを描画することができる。なお、図中のＹ方向はワークＷの移動方向を示し、Ｘ方向は平面視でＹ方向とは直交する方向を示している。また、Ｘ方向及びＹ方向によって規定されるＸＹ平面と直交する方向は、Ｚ方向として規定される。 As shown in FIG. 1, which is a perspective view showing a schematic configuration, a droplet discharge device 1 in the embodiment is a workpiece transfer device 3, a carriage 7, a carriage transfer device 9, a maintenance device 11, and an irradiation device 15. And have.
The carriage 7 is provided with a head unit 13.
In the droplet discharge device 1, the liquid material is discharged from the head unit 13 as droplets while changing the relative position of the head unit 13 and the workpiece W such as a substrate in a plan view. A desired pattern can be drawn. In the figure, the Y direction indicates the moving direction of the workpiece W, and the X direction indicates a direction orthogonal to the Y direction in plan view. A direction orthogonal to the XY plane defined by the X direction and the Y direction is defined as the Z direction.

このような液滴吐出装置１は、例えば、液晶表示パネル等に用いられるカラーフィルターの製造や、有機ＥＬ（Electro Luminescence）装置の製造などに適用され得る。
赤、緑及び青の３色のフィルターエレメントを有するカラーフィルターの場合、液滴吐出装置１は、例えば、基板に赤、緑及び青の各着色層を形成する工程で好適に使用され得る。この場合、ヘッドユニット１３から各着色層に対応する各液状体を、ワークＷに液滴として吐出させることによって、ワークＷに赤、緑及び青のそれぞれのフィルターエレメントのパターンが描画される。
また、有機ＥＬ装置の製造では、例えば、赤、緑及び青の画素ごとに、各色に対応する機能層（有機層）を形成する工程で好適に使用され得る。この場合、ヘッドユニット１３から各色の機能層に対応する各液状体を、ワークＷに液滴として吐出させることによって、ワークＷに赤、緑及び青のそれぞれの機能層のパターンが描画される。 Such a droplet discharge device 1 can be applied to, for example, the manufacture of a color filter used for a liquid crystal display panel or the like, or the manufacture of an organic EL (Electro Luminescence) device.
In the case of a color filter having three color filter elements of red, green, and blue, the droplet discharge device 1 can be suitably used, for example, in a process of forming red, green, and blue colored layers on a substrate. In this case, each liquid material corresponding to each colored layer is ejected from the head unit 13 as droplets onto the work W, whereby the patterns of the red, green, and blue filter elements are drawn on the work W.
Further, in the manufacture of an organic EL device, for example, it can be suitably used in a step of forming a functional layer (organic layer) corresponding to each color for each of red, green and blue pixels. In this case, each liquid material corresponding to the functional layer of each color is ejected from the head unit 13 as droplets onto the work W, whereby the patterns of the red, green, and blue functional layers are drawn on the work W.

ここで、液滴吐出装置１の各構成について、詳細を説明する。
ワーク搬送装置３は、図１に示すように、定盤２１と、ガイドレール２３ａと、ガイドレール２３ｂと、ワークテーブル２５と、テーブル位置検出装置２７と、を有している。
定盤２１は、例えば石などの熱膨張係数が小さい材料で構成されており、Ｙ方向に沿って延びるように据えられている。ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂは、定盤２１の上面２１ａ上に配設されている。ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂは、それぞれ、Ｙ方向に沿って延在している。ガイドレール２３ａとガイドレール２３ｂとは、互いにＸ方向に隙間をあけた状態で並んでいる。 Here, the details of each component of the droplet discharge device 1 will be described.
As shown in FIG. 1, the work transfer device 3 includes a surface plate 21, a guide rail 23 a, a guide rail 23 b, a work table 25, and a table position detection device 27.
The surface plate 21 is made of a material having a small coefficient of thermal expansion, such as stone, and is placed so as to extend along the Y direction. The guide rail 23 a and the guide rail 23 b are disposed on the upper surface 21 a of the surface plate 21. Each of the guide rail 23a and the guide rail 23b extends along the Y direction. The guide rail 23a and the guide rail 23b are arranged in a state where there is a gap in the X direction.

ワークテーブル２５は、ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂを挟んで定盤２１の上面２１ａに対向した状態で設けられている。ワークテーブル２５は、定盤２１から浮いた状態でガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂ上に載置されている。ワークテーブル２５は、ワークＷが載置される面である載置面２５ａを有している。載置面２５ａは、定盤２１側とは反対側（上側）に向けられている。ワークテーブル２５は、ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂによってＹ方向に沿って案内され、定盤２１上をＹ方向に沿って往復移動可能に構成されている。
テーブル位置検出装置２７は、定盤２１の上面２１ａに設けられており、Ｙ方向に延在している。テーブル位置検出装置２７は、ガイドレール２３ａとガイドレール２３ｂとの間に設けられている。テーブル位置検出装置２７は、ワークテーブル２５のＹ方向における位置を検出する。 The work table 25 is provided in a state facing the upper surface 21a of the surface plate 21 with the guide rail 23a and the guide rail 23b interposed therebetween. The work table 25 is placed on the guide rail 23a and the guide rail 23b in a state of floating from the surface plate 21. The work table 25 has a placement surface 25a that is a surface on which the workpiece W is placed. The placement surface 25a is directed to the side (upper side) opposite to the surface plate 21 side. The work table 25 is guided along the Y direction by the guide rail 23a and the guide rail 23b, and is configured to be able to reciprocate on the surface plate 21 along the Y direction.
The table position detector 27 is provided on the upper surface 21a of the surface plate 21, and extends in the Y direction. The table position detection device 27 is provided between the guide rail 23a and the guide rail 23b. The table position detector 27 detects the position of the work table 25 in the Y direction.

ワークテーブル２５は、図示しない移動機構及び動力源によって、Ｙ方向に往復動可能に構成されている。移動機構としては、例えば、ボールねじとボールナットとを組み合わせた機構や、リニアガイド機構などが採用され得る。また、本実施形態では、ワークテーブル２５をＹ方向に沿って移動させるための動力源として、後述するワーク搬送モーターが採用されている。ワーク搬送モーターとしては、ステッピングモーター、サーボモーター、リニアモーターなどの種々のモーターが採用され得る。
ワーク搬送モーターからの動力は、移動機構を介してワークテーブル２５に伝達される。これにより、ワークテーブル２５は、ガイドレール２３ａ及びガイドレール２３ｂに沿って、すなわちＹ方向に沿って往復移動することができる。つまり、ワーク搬送装置３は、ワークテーブル２５の載置面２５ａに載置されたワークＷを、Ｙ方向に沿って往復移動させることができる。 The work table 25 is configured to reciprocate in the Y direction by a moving mechanism and a power source (not shown). As the moving mechanism, for example, a mechanism combining a ball screw and a ball nut, a linear guide mechanism, or the like may be employed. In the present embodiment, a work transfer motor described later is employed as a power source for moving the work table 25 along the Y direction. As the work transfer motor, various motors such as a stepping motor, a servo motor, and a linear motor can be adopted.
The power from the work transport motor is transmitted to the work table 25 through the moving mechanism. Thereby, the work table 25 can reciprocate along the guide rail 23a and the guide rail 23b, that is, along the Y direction. That is, the workpiece transfer device 3 can reciprocate the workpiece W placed on the placement surface 25a of the workpiece table 25 along the Y direction.

ヘッドユニット１３は、キャリッジ７を図１中のＡ視方向に見たときの正面図である図２に示すように、ヘッドプレート３１と、２個の吐出ヘッド３３と、を有している。２個の吐出ヘッド３３は、Ｘ方向に並んでいる。なお、吐出ヘッド３３の個数は、２個に限定されず、１個以上の任意の個数が採用され得る。また、以下においては、２つの吐出ヘッド３３のそれぞれを識別する場合に、吐出ヘッド３３ａ及び吐出ヘッド３３ｂという表記が用いられる。
吐出ヘッド３３は、底面図である図３に示すように、ノズル面３５を有している。ノズル面３５には、複数のノズル３７が形成されている。なお、図３では、ノズル３７をわかりやすく示すため、ノズル３７が誇張され、且つノズル３７の個数が減じられている。 The head unit 13 includes a head plate 31 and two ejection heads 33 as shown in FIG. 2 which is a front view when the carriage 7 is viewed in the A viewing direction in FIG. The two ejection heads 33 are arranged in the X direction. Note that the number of ejection heads 33 is not limited to two, and an arbitrary number of one or more may be employed. Further, in the following, when identifying each of the two ejection heads 33, the notation of ejection head 33a and ejection head 33b is used.
As shown in FIG. 3 which is a bottom view, the discharge head 33 has a nozzle surface 35. A plurality of nozzles 37 are formed on the nozzle surface 35. In FIG. 3, the nozzles 37 are exaggerated and the number of the nozzles 37 is reduced in order to easily show the nozzles 37.

各吐出ヘッド３３において、複数のノズル３７は、Ｙ方向に沿って配列する２本のノズル列３９を構成している。２本のノズル列３９は、Ｘ方向に互いに隙間をあけた状態で並んでいる。各ノズル列３９において、複数のノズル３７は、Ｙ方向に沿って所定のノズル間隔Ｐで形成されている。各吐出ヘッド３３において、２本のノズル列３９は、互いにＹ方向にＰ／２の距離だけずれている。
ヘッドユニット１３では、２個の吐出ヘッド３３のうちの一方におけるノズル列３９と、他方の吐出ヘッド３３におけるノズル列３９とが、互いにＹ方向にＰ／４の距離だけずれている。これにより、本実施形態では、Ｙ方向におけるノズル３７の密度が高められている。 In each ejection head 33, the plurality of nozzles 37 constitute two nozzle rows 39 arranged along the Y direction. The two nozzle rows 39 are lined up with a gap in the X direction. In each nozzle row 39, the plurality of nozzles 37 are formed at a predetermined nozzle interval P along the Y direction. In each ejection head 33, the two nozzle rows 39 are shifted from each other by a distance of P / 2 in the Y direction.
In the head unit 13, the nozzle row 39 in one of the two ejection heads 33 and the nozzle row 39 in the other ejection head 33 are shifted from each other by a distance of P / 4 in the Y direction. Thereby, in the present embodiment, the density of the nozzles 37 in the Y direction is increased.

吐出ヘッド３３は、図２中のＢ−Ｂ線における断面図である図４に示すように、ノズルプレート４６と、キャビティープレート４７と、振動板４８と、複数の圧電素子４９と、を有している。
ノズルプレート４６は、ノズル面３５を有している。複数のノズル３７は、ノズルプレート４６に設けられている。
キャビティープレート４７は、ノズルプレート４６のノズル面３５とは反対側の面に設けられている。キャビティープレート４７には、複数のキャビティー５１が形成されている。各キャビティー５１は、各ノズル３７に対応して設けられており、対応する各ノズル３７に連通している。各キャビティー５１には、図示しないタンクから機能液５３（液状体）が供給される。 The ejection head 33 includes a nozzle plate 46, a cavity plate 47, a diaphragm 48, and a plurality of piezoelectric elements 49, as shown in FIG. 4 which is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. is doing.
The nozzle plate 46 has a nozzle surface 35. The plurality of nozzles 37 are provided on the nozzle plate 46.
The cavity plate 47 is provided on the surface opposite to the nozzle surface 35 of the nozzle plate 46. A plurality of cavities 51 are formed in the cavity plate 47. Each cavity 51 is provided corresponding to each nozzle 37 and communicates with each corresponding nozzle 37. A functional liquid 53 (liquid material) is supplied to each cavity 51 from a tank (not shown).

振動板４８は、キャビティープレート４７のノズルプレート４６側とは反対側の面に設けられている。振動板４８は、Ｚ方向に振動（縦振動）することによって、キャビティー５１内の容積を拡大したり、縮小したりする。
複数の圧電素子４９は、それぞれ、振動板４８のキャビティープレート４７側とは反対側の面に設けられている。各圧電素子４９は、各キャビティー５１に対応して設けられており、振動板４８を挟んで各キャビティー５１に対向している。各圧電素子４９は、駆動信号に基づいて、伸張する。これにより、振動板４８がキャビティー５１内の容積を縮小する。このとき、キャビティー５１内の機能液５３に圧力が付与される。その結果、ノズル３７から、機能液５３が液滴５５として吐出される。吐出ヘッド３３による液滴５５の吐出法は、インクジェット法の１つである。インクジェット法は、塗布法の１つである。 The diaphragm 48 is provided on the surface of the cavity plate 47 opposite to the nozzle plate 46 side. The vibration plate 48 vibrates in the Z direction (longitudinal vibration), thereby enlarging or reducing the volume in the cavity 51.
The plurality of piezoelectric elements 49 are respectively provided on the surface of the diaphragm 48 opposite to the cavity plate 47 side. Each piezoelectric element 49 is provided corresponding to each cavity 51 and faces each cavity 51 with the diaphragm 48 interposed therebetween. Each piezoelectric element 49 expands based on the drive signal. Thereby, the diaphragm 48 reduces the volume in the cavity 51. At this time, pressure is applied to the functional liquid 53 in the cavity 51. As a result, the functional liquid 53 is discharged as droplets 55 from the nozzle 37. The method of discharging the droplet 55 by the discharge head 33 is one of ink jet methods. The ink jet method is one of coating methods.

上記の構成を有する吐出ヘッド３３は、図２に示すように、ノズル面３５がヘッドプレート３１から突出した状態で、ヘッドプレート３１に支持されている。
キャリッジ７は、図２に示すように、ヘッドユニット１３を支持している。ここで、ヘッドユニット１３は、ノズル面３５がＺ方向の下方に向けられた状態でキャリッジ７に支持されている。
上記により、ワークＷには、吐出ヘッド３３から機能液５３が塗布され得る。
なお、本実施形態では、縦振動型の圧電素子４９が採用されているが、機能液５３に圧力を付与するための加圧手段は、これに限定されず、例えば、下電極と圧電体層と上電極とを積層形成した撓み変形型の圧電素子も採用され得る。また、加圧手段としては、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなども採用され得る。さらに、発熱体を用いてノズル内に泡を発生させ、その泡によって機能液に圧力を付与する構成も採用され得る。 As shown in FIG. 2, the ejection head 33 having the above configuration is supported by the head plate 31 with the nozzle surface 35 protruding from the head plate 31.
As shown in FIG. 2, the carriage 7 supports the head unit 13. Here, the head unit 13 is supported by the carriage 7 with the nozzle surface 35 facing downward in the Z direction.
As described above, the functional liquid 53 can be applied to the workpiece W from the ejection head 33.
In the present embodiment, the longitudinal vibration type piezoelectric element 49 is adopted, but the pressurizing means for applying pressure to the functional liquid 53 is not limited to this, and for example, the lower electrode and the piezoelectric layer A flexural deformation type piezoelectric element in which an electrode and an upper electrode are laminated may be employed. Further, as the pressurizing means, a so-called electrostatic actuator that generates static electricity between the diaphragm and the electrode, deforms the diaphragm by electrostatic force, and ejects droplets from the nozzles can be employed. Furthermore, the structure which generate | occur | produces a bubble in a nozzle using a heat generating body, and gives a pressure to a functional liquid with the bubble may be employ | adopted.

本実施形態では、機能液５３として、光の照射を受けることによって硬化が促進する液状体が採用されている。本実施形態では、機能液５３の硬化を促進させる光として紫外光が採用されている。
機能液５３は、樹脂材料、光重合開始剤及び溶媒を、成分として含んでいる。これらの成分に、顔料や染料等の色素や、親液性や撥液性等の表面改質材料などの機能性材料を添加することによって固有の機能を有する機能液５３を生成することができる。顔料や染料等の色素を含有する機能液５３は、例えば、ワークＷに描画する画像を形成するための機能液５３として採用され得る。以下において、ワークＷに描画する画像を形成するための機能液５３は、画像塗料と呼ばれる。 In the present embodiment, as the functional liquid 53, a liquid material that is cured by being irradiated with light is employed. In the present embodiment, ultraviolet light is employed as light that accelerates the curing of the functional liquid 53.
The functional liquid 53 contains a resin material, a photopolymerization initiator, and a solvent as components. By adding functional materials such as pigments, dyes such as dyes, and surface modifying materials such as lyophilicity and liquid repellency to these components, a functional liquid 53 having a specific function can be generated. . The functional liquid 53 containing a pigment such as a pigment or a dye can be employed as the functional liquid 53 for forming an image drawn on the workpiece W, for example. Hereinafter, the functional liquid 53 for forming an image to be drawn on the workpiece W is referred to as image paint.

また、機能液５３の成分としての樹脂材料に、例えば、アクリル系の樹脂材料などの光透過性を有する樹脂材料を採用することによって、光透過性を有する機能液５３を構成することができる。このような光透過性を有する機能液５３は、例えば、クリアインクとしての用途が考えられる。以下において、光透過性を有する機能液５３は、透光塗料と呼ばれる。
クリアインクの用途としては、例えば、画像を被覆するオーバーコート層としての用途や、画像を形成する前の下地層としての用途などが考えられる。以下において、下地層として適用される機能液５３は、下地塗料と呼ばれる。
下地塗料としては、透光塗料だけでなく、透光塗料に種々の顔料を添加した機能液５３を採用することもできる。
機能液５３における樹脂材料は、樹脂膜を形成する材料である。このような樹脂材料としては、常温で液状であり、重合させることによってポリマーとなる材料であれば特に限定されない。樹脂材料としては、粘性が小さいものが好ましく、オリゴマーの形態であるのが好ましい。さらに、樹脂材料としては、モノマーの形態であることが一層好ましい。
光重合開始剤は、ポリマーの架橋性基に作用して架橋反応を進行させる添加剤である。光重合開始剤としては、例えば、ベンジルジメチルケタールなどが採用され得る。
溶媒は、樹脂材料の粘度を調整するためのものである。 Further, by adopting a light-transmissive resin material such as an acrylic resin material as the resin material as a component of the functional liquid 53, the light-transmissive functional liquid 53 can be configured. Such a light-transmitting functional liquid 53 may be used as a clear ink, for example. Hereinafter, the functional liquid 53 having light transmittance is referred to as a light-transmitting paint.
As the use of the clear ink, for example, a use as an overcoat layer for covering an image, a use as a base layer before forming an image, and the like can be considered. In the following, the functional liquid 53 applied as a base layer is referred to as a base paint.
As the base paint, not only the translucent paint but also a functional liquid 53 in which various pigments are added to the translucent paint can be employed.
The resin material in the functional liquid 53 is a material that forms a resin film. Such a resin material is not particularly limited as long as it is a liquid material at room temperature and becomes a polymer by being polymerized. The resin material preferably has a low viscosity, and is preferably in the form of an oligomer. Furthermore, the resin material is more preferably in the form of a monomer.
The photopolymerization initiator is an additive that acts on the crosslinkable group of the polymer to advance the crosslinking reaction. As the photopolymerization initiator, for example, benzyldimethyl ketal can be employed.
The solvent is for adjusting the viscosity of the resin material.

キャリッジ搬送装置９は、図１に示すように、架台６１と、ガイドレール６３と、キャリッジ位置検出装置６５と、を有している。
架台６１は、Ｘ方向に延在しており、ワーク搬送装置３及びメンテナンス装置１１をＸ方向にまたいでいる。架台６１は、ワークテーブル２５の定盤２１側とは反対側で、ワーク搬送装置３及びメンテナンス装置１１のそれぞれに対向している。架台６１は、一対の支柱６７によって支持されている。一対の支柱６７は、定盤２１を挟んでＸ方向に互いに対峙する位置に設けられている。
なお、以下においては、一対の支柱６７のそれぞれを識別する場合に、支柱６７ａ及び支柱６７ｂという表記が用いられる。支柱６７ａ及び支柱６７ｂは、それぞれ、ワークテーブル２５よりもＺ方向の上方に突出している。これにより、架台６１とワークテーブル２５との間、及び架台６１とメンテナンス装置１１との間には、それぞれ隙間が保たれている。 As shown in FIG. 1, the carriage conveyance device 9 includes a gantry 61, a guide rail 63, and a carriage position detection device 65.
The gantry 61 extends in the X direction, and straddles the workpiece transfer device 3 and the maintenance device 11 in the X direction. The gantry 61 is opposite to the surface plate 21 side of the work table 25, and faces the work transfer device 3 and the maintenance device 11. The gantry 61 is supported by a pair of support columns 67. The pair of struts 67 are provided at positions facing each other in the X direction with the surface plate 21 interposed therebetween.
In the following, when identifying each of the pair of columns 67, the notations of columns 67a and columns 67b are used. Each of the support columns 67a and the support columns 67b protrudes above the work table 25 in the Z direction. Thereby, the clearance gap is maintained between the mount frame 61 and the work table 25, and between the mount frame 61 and the maintenance apparatus 11, respectively.

ガイドレール６３は、架台６１の定盤２１側に設けられている。ガイドレール６３は、Ｘ方向に沿って延在しており、架台６１のＸ方向における幅にわたって設けられている。
前述したキャリッジ７は、ガイドレール６３に支持されている。キャリッジ７がガイドレール６３に支持された状態において、吐出ヘッド３３のノズル面３５は、Ｚ方向においてワークテーブル２５側に向いている。キャリッジ７は、ガイドレール６３によってＸ方向に沿って案内され、Ｘ方向に往復動可能な状態でガイドレール６３に支持されている。なお、平面視で、キャリッジ７がワークテーブル２５に重なっている状態において、ノズル面３５とワークテーブル２５の載置面２５ａとは、互いに隙間を保った状態で対向する。
キャリッジ位置検出装置６５は、架台６１とキャリッジ７との間に設けられており、Ｘ方向に延在している。キャリッジ位置検出装置６５は、キャリッジ７のＸ方向における位置を検出する。 The guide rail 63 is provided on the surface plate 21 side of the gantry 61. The guide rail 63 extends along the X direction, and is provided across the width of the gantry 61 in the X direction.
The carriage 7 described above is supported by the guide rail 63. In a state where the carriage 7 is supported by the guide rail 63, the nozzle surface 35 of the discharge head 33 faces the work table 25 side in the Z direction. The carriage 7 is guided along the X direction by the guide rail 63, and is supported by the guide rail 63 so as to be able to reciprocate in the X direction. In a plan view, in a state where the carriage 7 overlaps the work table 25, the nozzle surface 35 and the mounting surface 25a of the work table 25 face each other with a gap therebetween.
The carriage position detection device 65 is provided between the gantry 61 and the carriage 7 and extends in the X direction. The carriage position detection device 65 detects the position of the carriage 7 in the X direction.

キャリッジ７は、図示しない移動機構及び動力源によって、Ｘ方向に往復動可能に構成されている。移動機構としては、例えば、ボールねじとボールナットとを組み合わせた機構や、リニアガイド機構などが採用され得る。また、本実施形態では、キャリッジ７をＸ方向に沿って移動させるための動力源として、後述するキャリッジ搬送モーターが採用されている。キャリッジ搬送モーターとしては、ステッピングモーター、サーボモーター、リニアモーターなどの種々のモーターが採用され得る。
キャリッジ搬送モーターからの動力は、移動機構を介してキャリッジ７に伝達される。これにより、キャリッジ７は、ガイドレール６３に沿って、すなわちＸ方向に沿って往復移動することができる。つまり、キャリッジ搬送装置９は、キャリッジ７に支持されたヘッドユニット１３を、Ｘ方向に沿って往復移動させることができる。 The carriage 7 is configured to reciprocate in the X direction by a moving mechanism and a power source (not shown). As the moving mechanism, for example, a mechanism combining a ball screw and a ball nut, a linear guide mechanism, or the like may be employed. In the present embodiment, a carriage transport motor, which will be described later, is employed as a power source for moving the carriage 7 along the X direction. As the carriage conveyance motor, various motors such as a stepping motor, a servo motor, and a linear motor can be employed.
The power from the carriage transport motor is transmitted to the carriage 7 through the moving mechanism. Thus, the carriage 7 can reciprocate along the guide rail 63, that is, along the X direction. That is, the carriage conveyance device 9 can reciprocate the head unit 13 supported by the carriage 7 along the X direction.

メンテナンス装置１１は、図１に示すように、定盤７１と、ガイドレール７３ａと、ガイドレール７３ｂと、保守テーブル７５と、キャッピングユニット７６と、フラッシングユニット７７と、ワイピングユニット７９と、を有している。
定盤７１は、例えば石などの熱膨張係数が小さい材料で構成されており、Ｘ方向に支柱６７ａを挟んで定盤２１と対峙する位置に設けられている。
ガイドレール７３ａ及びガイドレール７３ｂは、定盤７１の上面７１ａ上に配設されている。ガイドレール７３ａ及びガイドレール７３ｂは、それぞれ、Ｙ方向に沿って延在している。ガイドレール７３ａとガイドレール７３ｂとは、互いにＸ方向に隙間をあけた状態で並んでいる。
保守テーブル７５は、ガイドレール７３ａ及びガイドレール７３ｂを挟んで定盤７１の上面７１ａに対向した状態で設けられている。保守テーブル７５は、定盤７１から浮いた状態でガイドレール７３ａ及びガイドレール７３ｂ上に載置されている。 As shown in FIG. 1, the maintenance device 11 includes a surface plate 71, a guide rail 73a, a guide rail 73b, a maintenance table 75, a capping unit 76, a flushing unit 77, and a wiping unit 79. ing.
The surface plate 71 is made of a material having a small coefficient of thermal expansion, such as stone, and is provided at a position facing the surface plate 21 across the support 67a in the X direction.
The guide rail 73 a and the guide rail 73 b are disposed on the upper surface 71 a of the surface plate 71. Each of the guide rail 73a and the guide rail 73b extends along the Y direction. The guide rail 73a and the guide rail 73b are lined up with a gap in the X direction.
The maintenance table 75 is provided in a state facing the upper surface 71a of the surface plate 71 with the guide rail 73a and the guide rail 73b interposed therebetween. The maintenance table 75 is placed on the guide rail 73a and the guide rail 73b in a state of floating from the surface plate 71.

保守テーブル７５には、キャッピングユニット７６や、フラッシングユニット７７、ワイピングユニット７９などの保守ユニットが載置される。本実施形態では、保守ユニットは、キャッピングユニット７６と、フラッシングユニット７７と、ワイピングユニット７９と、を含んでいる。
保守テーブル７５は、ガイドレール７３ａ及びガイドレール７３ｂによってＹ方向に沿って案内され、定盤７１上をＹ方向に沿って往復移動可能に構成されている。
フラッシングユニット７７は、保守テーブル７５の定盤７１側とは反対側に設けられている。
ここで、ワークＷへのパターンの描画とは無関係に、吐出ヘッド３３から液状体を吐出させる動作は、フラッシング動作と呼ばれる。フラッシング動作には、例えば、ノズル３７内に滞留する液状体がノズル３７内で固化してしまうことを予防する効果がある。フラッシングユニット７７は、フラッシング動作のときに、吐出ヘッド３３から吐出される液状体を受ける装置である。 On the maintenance table 75, maintenance units such as a capping unit 76, a flushing unit 77, and a wiping unit 79 are placed. In the present embodiment, the maintenance unit includes a capping unit 76, a flushing unit 77, and a wiping unit 79.
The maintenance table 75 is guided along the Y direction by the guide rail 73a and the guide rail 73b, and is configured to reciprocate on the surface plate 71 along the Y direction.
The flushing unit 77 is provided on the side of the maintenance table 75 opposite to the surface plate 71 side.
Here, regardless of the pattern drawing on the workpiece W, the operation of discharging the liquid material from the discharge head 33 is called a flushing operation. For example, the flushing operation has an effect of preventing the liquid material staying in the nozzle 37 from solidifying in the nozzle 37. The flushing unit 77 is a device that receives the liquid material ejected from the ejection head 33 during the flushing operation.

キャッピングユニット７６は、吐出ヘッド３３に蓋をする装置である。吐出ヘッド３３から吐出される液状体では、液体成分が蒸発することがある。一般的に、液状体における液体成分が蒸発すると、液状体の粘度が高くなる。吐出ヘッド３３内の液状体の粘度が高くなると、ノズル３７における液滴５５を吐出する性能（以下、吐出性能と呼ぶ）が低下することがある。吐出性能の低下としては、例えば、ノズル３７から吐出された液滴５５の進行方向が曲がってしまったり（飛行曲がり）、ノズル３７から液滴５５が吐出されなかったり（不吐出）することなどが挙げられる。なお、キャッピングユニット７６で吐出ヘッド３３に蓋をする動作は、キャッピング動作と呼ばれる。   The capping unit 76 is a device that covers the ejection head 33. In the liquid discharged from the discharge head 33, the liquid component may evaporate. Generally, when the liquid component in the liquid material evaporates, the viscosity of the liquid material increases. When the viscosity of the liquid in the ejection head 33 increases, the performance of ejecting the droplets 55 in the nozzle 37 (hereinafter referred to as ejection performance) may decrease. Examples of the drop in the discharge performance include a case where the traveling direction of the droplet 55 discharged from the nozzle 37 is bent (flight bend), or the droplet 55 is not discharged from the nozzle 37 (non-discharge). Can be mentioned. The operation of covering the ejection head 33 with the capping unit 76 is called a capping operation.

キャッピングユニット７６は、吐出ヘッド３３に蓋をすることで、液状体における液体成分がノズルから蒸発することを低く抑える。これにより、吐出ヘッド３３における吐出性能を維持しやすくすることができる。
ワイピングユニット７９は、吐出ヘッド３３のノズル面３５を拭く装置である。液滴吐出装置１では、ノズル面３５に液状体が付着することがある。ノズル面３５に液状体が付着すると、吐出ヘッド３３における吐出性能が低下することがある。ワイピングユニット７９は、ノズル面３５を拭くことによって、ノズル面３５に付着している液状体を払拭する。これにより、吐出ヘッド３３における吐出性能を維持しやすくすることができる。なお、ワイピングユニット７９でノズル面３５を拭く動作は、ワイピング動作と呼ばれる。 The capping unit 76 covers the ejection head 33 to keep the liquid component in the liquid material from evaporating from the nozzles low. Thereby, the discharge performance in the discharge head 33 can be easily maintained.
The wiping unit 79 is a device that wipes the nozzle surface 35 of the ejection head 33. In the droplet discharge device 1, a liquid material may adhere to the nozzle surface 35. If the liquid material adheres to the nozzle surface 35, the ejection performance of the ejection head 33 may be degraded. The wiping unit 79 wipes the liquid material adhering to the nozzle surface 35 by wiping the nozzle surface 35. Thereby, the discharge performance in the discharge head 33 can be easily maintained. The operation of wiping the nozzle surface 35 with the wiping unit 79 is called a wiping operation.

保守テーブル７５は、図示しない移動機構及び動力源によって、Ｙ方向に往復動可能に構成されている。移動機構としては、例えば、ボールねじとボールナットとを組み合わせた機構や、リニアガイド機構などが採用され得る。また、本実施形態では、保守テーブル７５をＹ方向に沿って移動させるための動力源として、後述するテーブル搬送モーターが採用されている。テーブル搬送モーターとしては、ステッピングモーター、サーボモーター、リニアモーターなどの種々のモーターが採用され得る。
テーブル搬送モーターからの動力は、移動機構を介して保守テーブル７５に伝達される。これにより、保守テーブル７５は、ガイドレール７３ａ及びガイドレール７３ｂに沿って、すなわちＹ方向に沿って往復移動することができる。
つまり、メンテナンス装置１１は、キャッピングユニット７６や、フラッシングユニット７７、ワイピングユニット７９などの保守ユニットを、Ｙ方向に沿って往復移動させることができる。これにより、平面視で吐出ヘッド３３がメンテナンス装置１１に重なっている状態において、吐出ヘッド３３をキャッピングユニット７６、フラッシングユニット７７及びワイピングユニット７９のそれぞれに対向させることができる。 The maintenance table 75 is configured to reciprocate in the Y direction by a moving mechanism and a power source (not shown). As the moving mechanism, for example, a mechanism combining a ball screw and a ball nut, a linear guide mechanism, or the like may be employed. In the present embodiment, a table transport motor, which will be described later, is adopted as a power source for moving the maintenance table 75 along the Y direction. Various motors such as a stepping motor, a servo motor, and a linear motor can be adopted as the table transport motor.
The power from the table transport motor is transmitted to the maintenance table 75 via the moving mechanism. Thereby, the maintenance table 75 can reciprocate along the guide rail 73a and the guide rail 73b, that is, along the Y direction.
That is, the maintenance device 11 can reciprocate maintenance units such as the capping unit 76, the flushing unit 77, and the wiping unit 79 along the Y direction. Thereby, the ejection head 33 can be made to face the capping unit 76, the flushing unit 77, and the wiping unit 79 in a state where the ejection head 33 overlaps the maintenance device 11 in plan view.

照射装置１５は、図１に示すように、光源部８１と、光学フィルター８３と、一対のガイドレール８５と、を有している。
光源部８１は、一対の支柱６７の架台６１側とは反対側において、一対の支柱６７に支持されている。従って、光源部８１と架台６１とは、Ｙ方向に一対の支柱６７を挟んで互いに対峙している。
光学フィルター８３は、光源部８１と定盤２１との間に設けられている。本実施形態では、光学フィルター８３は、光源部８１に設けられている。
一対のガイドレール８５は、光源部８１に設けられている。一対のガイドレール８５は、Ｘ方向に光源部８１を挟んで互いに対峙している。一対のガイドレール８５は、光学フィルター８３を、Ｙ方向に沿って進退可能に案内する。なお、以下においては、一対のガイドレール８５のそれぞれを識別する場合に、ガイドレール８５ａ及びガイドレール８５ｂという表記が用いられる。 As shown in FIG. 1, the irradiation device 15 includes a light source unit 81, an optical filter 83, and a pair of guide rails 85.
The light source unit 81 is supported by the pair of columns 67 on the side opposite to the gantry 61 side of the pair of columns 67. Therefore, the light source unit 81 and the gantry 61 are opposed to each other with the pair of support columns 67 interposed therebetween in the Y direction.
The optical filter 83 is provided between the light source unit 81 and the surface plate 21. In the present embodiment, the optical filter 83 is provided in the light source unit 81.
The pair of guide rails 85 are provided in the light source unit 81. The pair of guide rails 85 oppose each other with the light source unit 81 interposed therebetween in the X direction. The pair of guide rails 85 guide the optical filter 83 so as to advance and retreat along the Y direction. In the following, when identifying each of the pair of guide rails 85, the notation of the guide rail 85a and the guide rail 85b is used.

光源部８１は、図１中のＣ−Ｃ線における断面図である図５に示すように、光源８７と、筐体８９と、を有している。
光源８７は、光９１を放出する。光９１には、機能液５３の硬化を促進させる紫外光が含まれている。光源８７は、ワークテーブル２５（図１）のＸ方向における幅にわたる長さを有している。光源８７は、筐体８９内に収容されている。光源８７としては、例えば、水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、エキシマランプ等の種々の光源８７が採用され得る。本実施形態では、光源８７として、メタルハライドランプが採用されている。
筐体８９は、一対の支柱６７に支持されている。筐体８９は、光９１に対する遮光性が高い材料で構成されている。筐体８９において、光源８７とワークテーブル２５との間が開口されている。このため、光源８７から放出された光９１の少なくとも一部は、ワークテーブル２５に届き得る。なお、光９１に対する遮光性が高い材料としては、例えば、金属や、プラスチックなどが挙げられる。 The light source unit 81 includes a light source 87 and a housing 89 as shown in FIG. 5 which is a cross-sectional view taken along the line CC in FIG.
The light source 87 emits light 91. The light 91 includes ultraviolet light that accelerates the curing of the functional liquid 53. The light source 87 has a length over the width in the X direction of the work table 25 (FIG. 1). The light source 87 is accommodated in the housing 89. As the light source 87, for example, various light sources 87 such as a mercury lamp, a metal halide lamp, a xenon lamp, and an excimer lamp can be employed. In the present embodiment, a metal halide lamp is employed as the light source 87.
The casing 89 is supported by a pair of support columns 67. The casing 89 is made of a material having a high light shielding property against the light 91. In the housing 89, an opening is formed between the light source 87 and the work table 25. For this reason, at least a part of the light 91 emitted from the light source 87 can reach the work table 25. In addition, as a material with high light-shielding property with respect to the light 91, a metal, a plastic, etc. are mentioned, for example.

光学フィルター８３は、光９１に含まれる紫外光の少なくとも一部を弱める機能を有している。光学フィルター８３に入射した光９１は、光９１に含まれる紫外光の少なくとも一部が弱められてから、光９３として光学フィルター８３から射出する。
一対のガイドレール８５は、光学フィルター８３をＹ方向に沿って進退可能に案内する。光学フィルター８３は、平面視で光源８７に重なる位置であるフィルタリング位置（図５）と、平面視で光源８７からＹ方向に離間した位置である解除位置との間を進退可能に構成されている。光学フィルター８３は、一対のガイドレール８５によって案内されることによって、フィルタリング位置から、図６に示すように、解除位置に待避し得る。
光学フィルター８３が解除位置に待避している状態では、光源８７から放出された光９１は、光９１のままでワークテーブル２５に届き得る。 The optical filter 83 has a function of weakening at least a part of the ultraviolet light included in the light 91. The light 91 incident on the optical filter 83 is emitted from the optical filter 83 as light 93 after at least part of the ultraviolet light contained in the light 91 is weakened.
The pair of guide rails 85 guide the optical filter 83 so as to advance and retract along the Y direction. The optical filter 83 is configured to be able to advance and retreat between a filtering position (FIG. 5) that overlaps the light source 87 in a plan view and a release position that is a position separated from the light source 87 in the Y direction in a plan view. . The optical filter 83 can be retracted from the filtering position to the release position as shown in FIG. 6 by being guided by the pair of guide rails 85.
In a state where the optical filter 83 is retracted to the release position, the light 91 emitted from the light source 87 can reach the work table 25 as it is.

ここで、光９１は、図７に示すように、紫外光の波長域から可視光の波長域を経て赤外光の波長域に及ぶ強度分布を有している。
また、本実施形態では、機能液５３の硬化を促進させる紫外光のピーク波長が、３６５〜３９５ｎｍの範囲内に存在する。これは、光重合開始剤が、３６５〜３９５ｎｍの波長の紫外光に最も強く反応することに由来する。つまり、ピーク波長は、紫外光の波長域において、機能液５３の硬化を最も促進させる紫外光の波長である。なお、ピーク波長の紫外光は、反応ピークとも呼ばれる。 Here, as shown in FIG. 7, the light 91 has an intensity distribution extending from the wavelength range of ultraviolet light to the wavelength range of infrared light through the wavelength range of visible light.
Moreover, in this embodiment, the peak wavelength of the ultraviolet light which accelerates | stimulates hardening of the functional liquid 53 exists in the range of 365-395 nm. This is because the photopolymerization initiator reacts most strongly with ultraviolet light having a wavelength of 365 to 395 nm. That is, the peak wavelength is the wavelength of ultraviolet light that most accelerates the curing of the functional liquid 53 in the wavelength range of ultraviolet light. Note that ultraviolet light having a peak wavelength is also called a reaction peak.

液滴吐出装置１は、図８に示すように、上記の各構成の動作を制御する制御部１１１を有している。制御部１１１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）１１３と、駆動制御部１１５と、メモリー部１１７と、を有している。駆動制御部１１５及びメモリー部１１７は、バス１１９を介してＣＰＵ１１３に接続されている。
また、液滴吐出装置１は、キャリッジ搬送モーター１２１と、ワーク搬送モーター１２３と、テーブル搬送モーター１２５と、フィルター搬送モーター１２７と、入力装置１２９と、表示装置１３１と、を有している。
キャリッジ搬送モーター１２１及びワーク搬送モーター１２３は、それぞれ、入出力インターフェース１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。テーブル搬送モーター１２５及びフィルター搬送モーター１２７も、それぞれ、入出力インターフェース１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。また、入力装置１２９及び表示装置１３１も、それぞれ、入出力インターフェース１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。 As shown in FIG. 8, the droplet discharge device 1 includes a control unit 111 that controls the operation of each of the above-described configurations. The control unit 111 includes a CPU (Central Processing Unit) 113, a drive control unit 115, and a memory unit 117. The drive control unit 115 and the memory unit 117 are connected to the CPU 113 via the bus 119.
The droplet discharge device 1 includes a carriage transport motor 121, a work transport motor 123, a table transport motor 125, a filter transport motor 127, an input device 129, and a display device 131.
The carriage transport motor 121 and the work transport motor 123 are connected to the control unit 111 via an input / output interface 133 and a bus 119, respectively. The table transport motor 125 and the filter transport motor 127 are also connected to the control unit 111 via the input / output interface 133 and the bus 119, respectively. The input device 129 and the display device 131 are also connected to the control unit 111 via the input / output interface 133 and the bus 119, respectively.

キャリッジ搬送モーター１２１は、キャリッジ７を駆動するための動力を発生させる。ワーク搬送モーター１２３は、ワークテーブル２５を駆動するための動力を発生させる。テーブル搬送モーター１２５は、保守テーブル７５を駆動するための動力を発生させる。フィルター搬送モーター１２７は、光学フィルター８３を進退させるための動力を発生させる。入力装置１２９は、各種の加工条件を入力する装置である。表示装置１３１は、加工条件や、作業状況を表示する装置である。液滴吐出装置１を操作するオペレーターは、表示装置１３１に表示される情報を確認しながら、入力装置１２９を介して種々の情報を入力することができる。
なお、キャリッジ位置検出装置６５、テーブル位置検出装置２７及び２個の吐出ヘッド３３も、それぞれ、入出力インターフェース１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。また、光源８７、及びメンテナンス装置１１も、それぞれ、入出力インターフェース１３３とバス１１９とを介して制御部１１１に接続されている。 The carriage transport motor 121 generates power for driving the carriage 7. The work conveyance motor 123 generates power for driving the work table 25. The table transport motor 125 generates power for driving the maintenance table 75. The filter transport motor 127 generates power for moving the optical filter 83 forward and backward. The input device 129 is a device for inputting various processing conditions. The display device 131 is a device that displays processing conditions and work status. An operator who operates the droplet discharge device 1 can input various information via the input device 129 while confirming information displayed on the display device 131.
The carriage position detection device 65, the table position detection device 27, and the two ejection heads 33 are also connected to the control unit 111 via the input / output interface 133 and the bus 119, respectively. The light source 87 and the maintenance device 11 are also connected to the control unit 111 via the input / output interface 133 and the bus 119, respectively.

ＣＰＵ１１３は、プロセッサーとして各種の演算処理を行う。駆動制御部１１５は、各構成の駆動を制御する。メモリー部１１７は、ＲＡＭ（Random Access Memory）や、ＲＯＭ（Read-Only Memory）などを含んでいる。メモリー部１１７には、液滴吐出装置１における動作の制御手順が記述されたプログラムソフト１３５を記憶する領域や、各種のデータを一時的に展開する領域であるデータ展開部１３７などが設定されている。データ展開部１３７に展開されるデータとしては、例えば、描画すべきパターンが示される描画データや、描画処理等のプログラムデータなどが挙げられる。
駆動制御部１１５は、モーター制御部１４１と、位置検出制御部１４３と、吐出制御部１４５と、光源制御部１４７と、保守制御部１４９と、表示制御部１５１と、を有している。 The CPU 113 performs various arithmetic processes as a processor. The drive control unit 115 controls driving of each component. The memory unit 117 includes a RAM (Random Access Memory), a ROM (Read-Only Memory), and the like. In the memory unit 117, an area for storing the program software 135 in which the operation control procedure in the droplet discharge device 1 is described, a data development unit 137 that is an area for temporarily developing various data, and the like are set. Yes. Examples of data developed in the data development unit 137 include drawing data indicating a pattern to be drawn, program data such as drawing processing, and the like.
The drive control unit 115 includes a motor control unit 141, a position detection control unit 143, a discharge control unit 145, a light source control unit 147, a maintenance control unit 149, and a display control unit 151.

モーター制御部１４１は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動と、ワーク搬送モーター１２３の駆動と、テーブル搬送モーター１２５の駆動と、フィルター搬送モーター１２７の駆動とを、個別に制御する。
位置検出制御部１４３は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、キャリッジ位置検出装置６５と、テーブル位置検出装置２７とを、個別に制御する。
位置検出制御部１４３は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、キャリッジ位置検出装置６５にキャリッジ７のＸ方向における位置を検出させ、且つ検出結果をＣＰＵ１１３に出力する。
また、位置検出制御部１４３は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、テーブル位置検出装置２７にワークテーブル２５のＹ方向における位置を検出させ、且つ検出結果をＣＰＵ１１３に出力する。 The motor control unit 141 individually controls driving of the carriage transport motor 121, driving of the work transport motor 123, driving of the table transport motor 125, and driving of the filter transport motor 127 based on a command from the CPU 113. To do.
The position detection control unit 143 individually controls the carriage position detection device 65 and the table position detection device 27 based on a command from the CPU 113.
The position detection control unit 143 causes the carriage position detection device 65 to detect the position of the carriage 7 in the X direction based on a command from the CPU 113 and outputs the detection result to the CPU 113.
Further, the position detection control unit 143 causes the table position detection device 27 to detect the position of the work table 25 in the Y direction based on a command from the CPU 113 and outputs the detection result to the CPU 113.

吐出制御部１４５は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、２個の吐出ヘッド３３の駆動を個別に制御する。
光源制御部１４７は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、光源８７の発光状態を制御する。
保守制御部１４９は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、メンテナンス装置１１におけるキャッピングユニット７６や、フラッシングユニット７７、ワイピングユニット７９などの保守ユニットの駆動を個別に制御する。
表示制御部１５１は、ＣＰＵ１１３からの指令に基づいて、表示装置１３１の駆動を制御する。 The discharge control unit 145 individually controls driving of the two discharge heads 33 based on a command from the CPU 113.
The light source control unit 147 controls the light emission state of the light source 87 based on a command from the CPU 113.
The maintenance control unit 149 individually controls driving of maintenance units such as the capping unit 76, the flushing unit 77, and the wiping unit 79 in the maintenance device 11 based on a command from the CPU 113.
The display control unit 151 controls driving of the display device 131 based on a command from the CPU 113.

ここで、本実施形態における記録方法について説明する。本実施形態における記録方法は、図９に示すように、描画工程Ｓ１と、露光工程Ｓ２と、を有している。
描画工程Ｓ１では、ワークテーブル２５に載置されたワークＷに、吐出ヘッド３３から液滴５５を吐出させることによって、ワークＷに機能液５３でパターンを描画する。
露光工程Ｓ２では、ワークＷに描画されたパターンを構成する機能液５３に光９３や光９１を照射する。
描画工程Ｓ１は、ＣＰＵ１１３が、後述する描画処理を実施することによって達成され得る。また、露光工程Ｓ２は、ＣＰＵ１１３が、後述する露光処理を実施することによって達成され得る。 Here, the recording method in the present embodiment will be described. As shown in FIG. 9, the recording method according to the present embodiment includes a drawing step S1 and an exposure step S2.
In the drawing step S <b> 1, a pattern is drawn with the functional liquid 53 on the work W by discharging the droplet 55 from the discharge head 33 onto the work W placed on the work table 25.
In the exposure step S <b> 2, the light 93 and the light 91 are irradiated to the functional liquid 53 constituting the pattern drawn on the workpiece W.
The drawing step S1 can be achieved by the CPU 113 performing a drawing process described later. Further, the exposure step S2 can be achieved by the CPU 113 performing an exposure process described later.

ここで、液滴吐出装置１における描画処理について説明する。
液滴吐出装置１では、制御部１１１が入力装置１２９から入出力インターフェース１３３及びバス１１９を介して描画データを受け取ると、ＣＰＵ１１３によって図１０に示す描画処理が開始される。
ここで、描画データは、機能液５３（液状体）でワークＷに描画すべきパターンを指示するものであり、描画すべきパターンがビットマップ状に表現されている。ワークＷへのパターンの描画は、吐出ヘッド３３をワークＷに対向させた状態で、吐出ヘッド３３とワークＷとを相対的に往復移動させながら、吐出ヘッド３３から液滴５５を所定周期で吐出させることによって行われる。 Here, the drawing process in the droplet discharge device 1 will be described.
In the droplet discharge device 1, when the control unit 111 receives drawing data from the input device 129 via the input / output interface 133 and the bus 119, the drawing process shown in FIG.
Here, the drawing data indicates a pattern to be drawn on the workpiece W with the functional liquid 53 (liquid material), and the pattern to be drawn is expressed in a bitmap shape. The pattern is drawn on the workpiece W while the ejection head 33 is opposed to the workpiece W, while the ejection head 33 and the workpiece W are relatively reciprocated, the droplet 55 is ejected from the ejection head 33 at a predetermined cycle. Is done by letting

描画処理では、ＣＰＵ１１３は、まず、ステップＳ２１において、キャリッジ搬送指令をモーター制御部１４１（図８）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動を制御して、キャリッジ７を描画エリアの往路開始位置に移動させる。ここで、描画エリアは、図１に示すワークテーブル２５によってＹ方向に沿って描かれる軌跡と、２個の吐出ヘッド３３によってＸ方向に沿って描かれる軌跡とが重なり合う領域である。往路開始位置は、キャリッジ７を往復移動させるときの往路が開始する位置である。本実施形態では、往路開始位置は、Ｘ方向において、メンテナンス装置１１とワークテーブル２５との間に位置している。往路開始位置は、平面視で、ワークテーブル２５の外側に位置している。   In the drawing process, first, in step S21, the CPU 113 outputs a carriage conveyance command to the motor control unit 141 (FIG. 8). At this time, the motor control unit 141 controls the drive of the carriage transport motor 121 to move the carriage 7 to the forward path start position of the drawing area. Here, the drawing area is an area where the locus drawn along the Y direction by the work table 25 shown in FIG. 1 and the locus drawn along the X direction by the two ejection heads 33 overlap. The forward path start position is a position where the forward path when the carriage 7 is reciprocated is started. In the present embodiment, the forward path start position is located between the maintenance device 11 and the work table 25 in the X direction. The forward path start position is located outside the work table 25 in plan view.

次いで、ステップＳ２２において、ＣＰＵ１１３は、ワーク搬送指令をモーター制御部１４１（図８）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、ワーク搬送モーター１２３の駆動を制御して、ワークＷを描画エリアに移動させる。
なお、ワークＷは、ワークテーブル２５が初期位置に待機している状態でワークテーブル２５に載置される。初期位置は、図１１に示すように、支柱６７の照射装置１５側とは反対側の位置である。さらに、本実施形態では、初期位置は、吐出ヘッド３３の支柱６７側とは反対側に設定されている。これにより、ワークＷの載せ替えの際に、ワークＷと吐出ヘッド３３等との衝突などを避けやすくすることができる。
ステップＳ２２では、ワークＷを初期位置から描画エリアに移動させる。 Next, in step S22, the CPU 113 outputs a workpiece conveyance command to the motor control unit 141 (FIG. 8). At this time, the motor control unit 141 controls the drive of the work transport motor 123 to move the work W to the drawing area.
The work W is placed on the work table 25 while the work table 25 is waiting at the initial position. As shown in FIG. 11, the initial position is a position on the opposite side of the column 67 from the irradiation device 15 side. Further, in the present embodiment, the initial position is set on the side opposite to the column 67 side of the ejection head 33. Thereby, when the work W is replaced, it is possible to easily avoid a collision between the work W and the discharge head 33 or the like.
In step S22, the workpiece W is moved from the initial position to the drawing area.

次いで、ステップＳ２３において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ走査指令をモーター制御部１４１（図８）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、キャリッジ搬送モーター１２１の駆動を制御して、キャリッジ７の往復移動を開始させる。
ここで、キャリッジ７の往復移動では、キャリッジ７は、上述した往路開始位置と復路開始位置との間を往復移動する。つまり、往路開始位置から復路開始位置で折り返して往路開始位置に戻る経路がキャリッジ７の１往復である。このため、本実施形態では、往路開始位置から復路開始位置に向かう経路がキャリッジ７の往路である。他方で、復路開始位置から往路開始位置に向かう経路がキャリッジ７の復路である。
なお、復路開始位置は、Ｘ方向にワークテーブル２５（図１）を挟んで往路開始位置に対峙する位置である。復路開始位置は、平面視で、ワークテーブル２５の外側に位置している。このため、往路開始位置と復路開始位置とは、平面視で、ワークテーブル２５をＸ方向に挟んで互いに対峙している。 Next, in step S23, the CPU 113 outputs a carriage scanning command to the motor control unit 141 (FIG. 8). At this time, the motor control unit 141 controls the drive of the carriage transport motor 121 to start the reciprocation of the carriage 7.
Here, in the reciprocating movement of the carriage 7, the carriage 7 reciprocates between the forward path start position and the backward path start position described above. That is, the path that returns from the forward path start position to the forward path start position and returns to the forward path start position is one round trip of the carriage 7. For this reason, in this embodiment, the path from the forward path start position to the return path start position is the forward path of the carriage 7. On the other hand, the path from the return path start position to the forward path start position is the return path of the carriage 7.
The return path start position is a position facing the forward path start position with the work table 25 (FIG. 1) sandwiched in the X direction. The return path start position is located outside the work table 25 in plan view. For this reason, the forward path start position and the backward path start position are opposed to each other with the work table 25 sandwiched in the X direction in plan view.

次いで、ステップＳ２４において、ＣＰＵ１１３は、吐出指令を吐出制御部１４５（図５）に出力する。このとき、吐出制御部１４５は、吐出ヘッド３３の駆動を制御して、描画データに基づいて、各ノズル３７から液滴５５を吐出させる。これにより、往路での描画が行われる。
次いで、ステップＳ２５において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達したか否かを判定する。このとき、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ２６に移行する。他方で、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、キャリッジ７の位置が復路開始位置に到達するまで処理が待機される。 Next, in step S24, the CPU 113 outputs a discharge command to the discharge control unit 145 (FIG. 5). At this time, the discharge controller 145 controls the drive of the discharge head 33 and discharges the droplet 55 from each nozzle 37 based on the drawing data. As a result, the forward drawing is performed.
Next, in step S25, the CPU 113 determines whether or not the position of the carriage 7 has reached the return path start position. At this time, if it is determined that the position of the carriage 7 has reached the return path start position (Yes), the process proceeds to step S26. On the other hand, if it is determined that the position of the carriage 7 has not reached the return path start position (No), the process waits until the position of the carriage 7 reaches the return path start position.

次いで、ステップＳ２６において、ＣＰＵ１１３は、改行指令をモーター制御部１４１（図８）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、ワーク搬送モーター１２３の駆動を制御して、ワークＷをＹ方向に移動（改行）させ、ワークＷにおいてパターンを描画すべき新たな領域を描画エリアに移動させる。
次いで、ステップＳ２７において、ＣＰＵ１１３は、吐出指令を吐出制御部１４５（図８）に出力する。このとき、吐出制御部１４５は、吐出ヘッド３３の駆動を制御して、描画データに基づいて、各ノズル３７から液滴５５を吐出させる。これにより、復路での描画が行われる。
次いで、ステップＳ２８において、ＣＰＵ１１３は、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達したか否かを判定する。このとき、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ２９に移行する。他方で、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、キャリッジ７の位置が往路開始位置に到達するまで処理が待機される。 Next, in step S26, the CPU 113 outputs a line feed command to the motor control unit 141 (FIG. 8). At this time, the motor control unit 141 controls the drive of the work transport motor 123 to move the work W in the Y direction (new line), and move a new area in the work W where a pattern is to be drawn to the drawing area.
Next, in step S27, the CPU 113 outputs a discharge command to the discharge control unit 145 (FIG. 8). At this time, the discharge controller 145 controls the drive of the discharge head 33 and discharges the droplet 55 from each nozzle 37 based on the drawing data. As a result, drawing on the return path is performed.
Next, in step S28, the CPU 113 determines whether or not the position of the carriage 7 has reached the forward path start position. At this time, if it is determined that the position of the carriage 7 has reached the forward path start position (Yes), the process proceeds to step S29. On the other hand, if it is determined that the position of the carriage 7 has not reached the forward path start position (No), the process waits until the position of the carriage 7 reaches the forward path start position.

次いで、ステップＳ２９において、ＣＰＵ１１３は、描画データが終了したか否かを判定する。このとき、描画データが終了した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理が終了する。他方で、描画データが終了していない（Ｎｏ）と判定されると、処理がステップＳ３０に移行する。
ステップＳ３０において、ＣＰＵ１１３は、改行指令をモーター制御部１４１（図８）に出力してから、処理をステップＳ２４に移行させる。このとき、モーター制御部１４１は、ワーク搬送モーター１２３の駆動を制御して、ワークＷをＹ方向に移動（改行）させ、ワークＷにおいてパターンを描画すべき新たな領域を描画エリアに移動させる。 Next, in step S29, the CPU 113 determines whether the drawing data has been completed. At this time, if it is determined that the drawing data has ended (Yes), the processing ends. On the other hand, if it is determined that the drawing data has not ended (No), the process proceeds to step S30.
In step S30, the CPU 113 outputs a line feed command to the motor control unit 141 (FIG. 8), and then shifts the processing to step S24. At this time, the motor control unit 141 controls the drive of the work transport motor 123 to move the work W in the Y direction (new line), and move a new area in the work W where a pattern is to be drawn to the drawing area.

液滴吐出装置１における露光処理について説明する。
液滴吐出装置１では、制御部１１１が入力装置１２９から入出力インターフェース１３３及びバス１１９を介して露光指令を受け取ると、ＣＰＵ１１３によって図１２に示す露光処理が開始される。
露光処理では、ＣＰＵ１１３は、まず、ステップＳ５１において、フィルター搬送指令をモーター制御部１４１（図８）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、フィルター搬送モーター１２７の駆動を制御して、光学フィルター８３をフィルタリング位置（図５）に移動させる。
次いで、ステップＳ５２において、ＣＰＵ１１３は、照射指令を光源制御部１４７（図８）に出力する。このとき、光源制御部１４７は、光源８７の駆動を制御して、光源８７を点灯させる。 An exposure process in the droplet discharge device 1 will be described.
In the droplet discharge device 1, when the control unit 111 receives an exposure command from the input device 129 via the input / output interface 133 and the bus 119, the CPU 113 starts the exposure process shown in FIG.
In the exposure process, the CPU 113 first outputs a filter transport command to the motor control unit 141 (FIG. 8) in step S51. At this time, the motor control unit 141 controls the drive of the filter transport motor 127 to move the optical filter 83 to the filtering position (FIG. 5).
Next, in step S52, the CPU 113 outputs an irradiation command to the light source control unit 147 (FIG. 8). At this time, the light source control unit 147 controls the driving of the light source 87 to turn on the light source 87.

次いで、ステップＳ５３において、ＣＰＵ１１３は、ワーク搬送指令をモーター制御部１４１（図８）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、ワーク搬送モーター１２３の駆動を制御して、ワークＷを初期位置から露光エリアを経て折り返し位置に向けて移動させる。これにより、ワークＷに描画されたパターン（以下、描画パターンと呼ぶ）に、光９３が照射される。
ここで、露光エリアは、平面視で光源部８１（図１１）に重なる領域である。また、折り返し位置は、図１３に示すように、支柱６７の吐出ヘッド３３側とは反対側の位置である。本実施形態では、折り返し位置は、光源部８１の支柱６７側とは反対側に設定されている。
ステップＳ５３に次いで、ステップＳ５４では、ＣＰＵ１１３は、ワークテーブル２５の位置が折り返し位置に到達したか否かを判定する。このとき、ワークテーブル２５の位置が折り返し位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ５５に移行する。他方で、ワークテーブル２５の位置が折り返し位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、ワークテーブル２５の位置が折り返し位置に到達するまで処理が待機される。 Next, in step S53, the CPU 113 outputs a workpiece conveyance command to the motor control unit 141 (FIG. 8). At this time, the motor control unit 141 controls the drive of the work conveyance motor 123 to move the work W from the initial position through the exposure area toward the return position. Thereby, the light 93 is irradiated to the pattern (hereinafter referred to as a drawing pattern) drawn on the workpiece W.
Here, the exposure area is an area overlapping the light source unit 81 (FIG. 11) in plan view. Further, as shown in FIG. 13, the folding position is a position on the opposite side of the support 67 from the discharge head 33 side. In the present embodiment, the folding position is set on the opposite side of the light source unit 81 from the column 67 side.
Following step S53, in step S54, the CPU 113 determines whether or not the position of the work table 25 has reached the return position. At this time, if it is determined that the position of the work table 25 has reached the return position (Yes), the process proceeds to step S55. On the other hand, if it is determined that the position of the work table 25 has not reached the return position (No), the process waits until the position of the work table 25 reaches the return position.

次いで、ステップＳ５５において、ＣＰＵ１１３は、ワーク停止指令をモーター制御部１４１（図８）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、ワーク搬送モーター１２３の駆動を停止する。
次いで、ステップＳ５６において、ＣＰＵ１１３は、照射停止指令を光源制御部１４７（図８）に出力する。このとき、光源制御部１４７は、光源８７の駆動を制御して、光源８７を消灯させる。
次いで、ステップＳ５７において、ＣＰＵ１１３は、フィルター解除指令をモーター制御部１４１（図８）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、フィルター搬送モーター１２７の駆動を制御して、光学フィルター８３を解除位置（図６）に移動させる。
次いで、ステップＳ５８において、ＣＰＵ１１３は、照射指令を光源制御部１４７（図８）に出力する。このとき、光源制御部１４７は、光源８７の駆動を制御して、光源８７を点灯させる。 Next, in step S55, the CPU 113 outputs a work stop command to the motor control unit 141 (FIG. 8). At this time, the motor control unit 141 stops driving the workpiece transfer motor 123.
Next, in step S56, the CPU 113 outputs an irradiation stop command to the light source control unit 147 (FIG. 8). At this time, the light source control unit 147 controls the driving of the light source 87 to turn off the light source 87.
Next, in step S57, the CPU 113 outputs a filter release command to the motor control unit 141 (FIG. 8). At this time, the motor control unit 141 controls the drive of the filter transport motor 127 to move the optical filter 83 to the release position (FIG. 6).
Next, in step S58, the CPU 113 outputs an irradiation command to the light source control unit 147 (FIG. 8). At this time, the light source control unit 147 controls the driving of the light source 87 to turn on the light source 87.

次いで、ステップＳ５９において、ＣＰＵ１１３は、ワーク搬送指令をモーター制御部１４１（図８）に出力する。このとき、モーター制御部１４１は、ワーク搬送モーター１２３の駆動を制御して、ワークＷを折り返し位置から露光エリアを経て初期位置に向けて移動させる。
次いで、ステップＳ６０において、ＣＰＵ１１３は、ワークテーブル２５の位置が初期位置に到達したか否かを判定する。このとき、ワークテーブル２５の位置が初期位置に到達した（Ｙｅｓ）と判定されると、処理がステップＳ６１に移行する。他方で、ワークテーブル２５の位置が初期位置に到達していない（Ｎｏ）と判定されると、ワークテーブル２５の位置が初期位置に到達するまで処理が待機される。
ステップＳ６１において、ＣＰＵ１１３は、照射停止指令を光源制御部１４７（図８）に出力してから、処理を終了させる。このとき、光源制御部１４７は、光源８７の駆動を制御して、光源８７を消灯させる。 Next, in step S59, the CPU 113 outputs a workpiece conveyance command to the motor control unit 141 (FIG. 8). At this time, the motor control unit 141 controls the drive of the work transport motor 123 to move the work W from the return position toward the initial position through the exposure area.
Next, in step S60, the CPU 113 determines whether or not the position of the work table 25 has reached the initial position. At this time, if it is determined that the position of the work table 25 has reached the initial position (Yes), the process proceeds to step S61. On the other hand, if it is determined that the position of the work table 25 has not reached the initial position (No), the process waits until the position of the work table 25 reaches the initial position.
In step S61, the CPU 113 outputs an irradiation stop command to the light source control unit 147 (FIG. 8), and then ends the process. At this time, the light source control unit 147 controls the driving of the light source 87 to turn off the light source 87.

第１実施形態について説明する。
第１実施形態では、光学フィルター８３として、機能液５３の硬化を促進させるピーク波長以下の紫外光の強度を弱める光学フィルター８３が採用されている。前述したように、本実施形態では、機能液５３の硬化を促進させる紫外光のピーク波長が、３６５〜３９５ｎｍの範囲内に存在している。このため、第１実施形態における光学フィルター８３は、波長が３９５ｎｍ以下の紫外光の強度を弱める。
第１実施形態では、露光処理において、まず、機能液５３の硬化を促進させるピーク波長以下の紫外光の強度が弱められた光９３が機能液５３に照射される。これにより、ワークＷに付着している機能液５３の内側に光９３が届きやすくなる。光９３には、ピーク波長以下の紫外光が残存しているので、機能液５３の内部における硬化を促進させやすくすることができる。この結果、機能液５３の内部の重合率を表面側に比較して高めやすくすることができる。 A first embodiment will be described.
In the first embodiment, as the optical filter 83, an optical filter 83 that weakens the intensity of ultraviolet light below the peak wavelength that promotes the curing of the functional liquid 53 is employed. As described above, in the present embodiment, the peak wavelength of the ultraviolet light that promotes the curing of the functional liquid 53 is in the range of 365 to 395 nm. For this reason, the optical filter 83 in the first embodiment weakens the intensity of ultraviolet light having a wavelength of 395 nm or less.
In the first embodiment, in the exposure process, first, the functional liquid 53 is irradiated with light 93 in which the intensity of ultraviolet light having a peak wavelength or less that promotes the curing of the functional liquid 53 is weakened. Thereby, the light 93 easily reaches the inside of the functional liquid 53 attached to the workpiece W. Since ultraviolet light having a peak wavelength or less remains in the light 93, it is possible to facilitate the curing inside the functional liquid 53. As a result, the polymerization rate inside the functional liquid 53 can be easily increased as compared with the surface side.

そして、光９３の照射に次いで、機能液５３に光９１が照射される。これにより、機能液５３の硬化を一層促進させることができる。
第１実施形態では、機能液５３の内部の硬化率を高めてから、機能液５３の硬化を促進させやすくすることができる。この結果、ワークＷと描画パターンとの間の結合力を高めやすくすることができるので、描画パターンにおける信頼性を向上させやすくすることができる。 Then, following the irradiation of the light 93, the functional liquid 53 is irradiated with the light 91. Thereby, hardening of the functional liquid 53 can be further promoted.
In the first embodiment, it is possible to facilitate the curing of the functional liquid 53 after increasing the curing rate inside the functional liquid 53. As a result, it is possible to easily increase the bonding force between the workpiece W and the drawing pattern, so that the reliability of the drawing pattern can be easily improved.

第２実施形態について説明する。
第２実施形態では、光学フィルター８３として、紫外光の波長域にわたって紫外光の強度を弱める光学フィルター８３が採用されている。
ここで、本実施形態では、前述したように、光９１が、紫外光の波長域から可視光の波長域に及ぶ強度分布を有している。これにより、光源８７を熱源として利用することができる。
ところで、本実施形態における記録方法は、電子部品などのパッケージに施すマーキングに適用され得る。つまり、本実施形態における記録方法を用いて、電子部品などのパッケージにマーキングを施すことができる。
このような電子部品では、回路基板などに実装された状態で、洗浄される場合がある。このような洗浄では、一般的に、洗浄剤として溶剤などが使用される。マーキングが施されたパッケージに洗浄を施すと、溶剤によってマーキングが膨潤することがある。マーキングが膨潤すると、マーキングを構成する膜に応力が発生するため、パッケージから剥離しやすくなる。 A second embodiment will be described.
In the second embodiment, an optical filter 83 that weakens the intensity of ultraviolet light over the wavelength range of ultraviolet light is employed as the optical filter 83.
Here, in this embodiment, as described above, the light 91 has an intensity distribution ranging from the wavelength range of ultraviolet light to the wavelength range of visible light. Thereby, the light source 87 can be utilized as a heat source.
By the way, the recording method in the present embodiment can be applied to marking applied to a package such as an electronic component. That is, it is possible to mark a package such as an electronic component using the recording method in the present embodiment.
Such an electronic component may be cleaned while mounted on a circuit board or the like. In such cleaning, a solvent or the like is generally used as a cleaning agent. If the package with the marking is washed, the marking may swell due to the solvent. When the marking swells, stress is generated in the film constituting the marking, so that the marking is easily peeled off.

第２実施形態では、紫外光の波長域にわたって紫外光の強度を弱める光学フィルター８３が採用されているので、光学フィルター８３を介して機能液５３に光９３を照射することによって、機能液５３の硬化を遅らせつつ、機能液５３を加熱することができる。
加熱により、機能液５３の膜を薄くしやすくすることができる。この結果、機能液５３の容積を低減することができるので、溶剤などの液体による描画パターンの膨潤の程度を軽減することができる。このため、描画パターンを構成する膜に発生する応力を軽減しやすくすることができるので、ワークＷから描画パターンを剥離させにくくすることができる。従って、描画パターンにおける信頼性を向上させやすくすることができる。
なお、第２実施形態では、紫外光の波長域から続く可視光の波長域の一部における光の強度も弱める光学フィルター８３を採用することが、紫外光の波長域にわたる紫外光を確実に弱めやすくすることができる点で好ましい。 In the second embodiment, since the optical filter 83 that weakens the intensity of the ultraviolet light over the wavelength range of the ultraviolet light is employed, by irradiating the functional liquid 53 with the light 93 through the optical filter 83, The functional liquid 53 can be heated while the curing is delayed.
The film of the functional liquid 53 can be easily thinned by heating. As a result, since the volume of the functional liquid 53 can be reduced, the degree of swelling of the drawing pattern by a liquid such as a solvent can be reduced. For this reason, the stress generated in the film constituting the drawing pattern can be easily reduced, so that the drawing pattern can be made difficult to peel off from the workpiece W. Therefore, it is possible to easily improve the reliability of the drawing pattern.
In the second embodiment, the use of the optical filter 83 that weakens the intensity of light in a part of the visible light wavelength range that extends from the ultraviolet light wavelength range can surely attenuate the ultraviolet light over the ultraviolet wavelength range. It is preferable at the point which can be made easy.

上述した実施形態において、ワークＷが記録媒体に対応し、描画パターンが記録パターンに対応し、機能液５３が液状体に対応している。また、光９１が放出光に対応し、光学フィルター８３が光学素子に対応し、フィルター搬送モーター１２７及びガイドレール８５が変位装置に対応している。また、露光工程が光照射工程に対応している。また、露光処理において、光学フィルター８３を介してワークＷに光９３を照射する工程が第１照射工程に対応し、光学フィルター８３を解除した状態でワークＷに光９１を照射する工程が第２照射工程に対応している。
なお、本実施形態では、描画工程Ｓ１において、機能液５３を塗布する方法として、塗布法の１つであるインクジェット法が採用されている。しかしながら、塗布法は、インクジェット法に限定されず、ディスペンス法や、印刷法なども採用され得る。しかしながら、インクジェット法を採用することは、ワークＷの任意の箇所に任意の量の機能液５３を塗布しやすい点で好ましい。 In the embodiment described above, the workpiece W corresponds to the recording medium, the drawing pattern corresponds to the recording pattern, and the functional liquid 53 corresponds to the liquid material. The light 91 corresponds to the emitted light, the optical filter 83 corresponds to the optical element, and the filter transport motor 127 and the guide rail 85 correspond to the displacement device. The exposure process corresponds to the light irradiation process. In the exposure process, the step of irradiating the work W with the light 93 via the optical filter 83 corresponds to the first irradiation step, and the step of irradiating the work 91 with the light 91 with the optical filter 83 released is the second. Corresponds to the irradiation process.
In the present embodiment, an inkjet method, which is one of the application methods, is employed as a method for applying the functional liquid 53 in the drawing step S1. However, the coating method is not limited to the inkjet method, and a dispensing method, a printing method, or the like can also be employed. However, it is preferable to employ the ink jet method in that an arbitrary amount of the functional liquid 53 can be easily applied to an arbitrary portion of the workpiece W.

１…液滴吐出装置、３…ワーク搬送装置、７…キャリッジ、９…キャリッジ搬送装置、１１…メンテナンス装置、１３…ヘッドユニット、１５…照射装置、２５…ワークテーブル、３３…吐出ヘッド、３３ａ，３３ｂ…吐出ヘッド、５３…機能液、５５…液滴、８１…光源部、８３…光学フィルター、８５，８５ａ，８５ｂ…ガイドレール、８７…光源、８９…筐体、９１…光、９３…光、１２７…フィルター搬送モーター、Ｗ…ワーク。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Droplet discharge apparatus, 3 ... Work conveyance apparatus, 7 ... Carriage, 9 ... Carriage conveyance apparatus, 11 ... Maintenance apparatus, 13 ... Head unit, 15 ... Irradiation apparatus, 25 ... Work table, 33 ... Discharge head, 33a, 33b: Discharge head, 53 ... Functional liquid, 55 ... Droplet, 81 ... Light source unit, 83 ... Optical filter, 85, 85a, 85b ... Guide rail, 87 ... Light source, 89 ... Housing, 91 ... Light, 93 ... Light 127: Filter conveyance motor, W: Workpiece.

Claims (5)

紫外光の照射を受けて硬化が促進する性質である光硬化性を有する液状体を液滴として吐出する吐出ヘッドと、
前記吐出ヘッドから吐出された前記液状体に照射するための前記紫外光を含む光を放出する光源と、
前記光源と前記吐出ヘッドから吐出された前記液状体との間に介在し、前記光源が放出する前記光である放出光における前記紫外光の強度を弱める光学素子と、
前記光源に対する前記光学素子の相対位置を変化させる変位装置と、を含む、
ことを特徴とする記録装置。 A discharge head for discharging a liquid material having photocurability, which is a property of being accelerated by being irradiated with ultraviolet light, as droplets;
A light source that emits light including the ultraviolet light for irradiating the liquid material ejected from the ejection head;
An optical element that is interposed between the light source and the liquid material ejected from the ejection head and reduces the intensity of the ultraviolet light in the emitted light that is the light emitted by the light source;
A displacement device that changes a relative position of the optical element with respect to the light source,
A recording apparatus. 前記光学素子は、前記放出光における前記紫外光のうち、少なくとも前記液状体の硬化を促進させるピーク波長以下の前記紫外光の強度を弱める、
ことを特徴とする請求項１に記載の記録装置。 The optical element weakens the intensity of the ultraviolet light having a wavelength equal to or less than a peak wavelength that promotes curing of the liquid material, of the ultraviolet light in the emitted light.
The recording apparatus according to claim 1. 前記放出光は、紫外光の波長域から可視光の波長域に及ぶ強度分布を有している、
ことを特徴とする請求項１に記載の記録装置。 The emitted light has an intensity distribution ranging from the wavelength range of ultraviolet light to the wavelength range of visible light,
The recording apparatus according to claim 1. 前記光学素子は、前記紫外光の波長域にわたって、前記紫外光の強度を弱める、
ことを特徴とする請求項３に記載の記録装置。 The optical element reduces the intensity of the ultraviolet light over the wavelength range of the ultraviolet light.
The recording apparatus according to claim 3. 前記光学素子は、前記紫外光の波長域から続く前記可視光の波長域の一部における前記光の強度も弱める、
ことを特徴とする請求項４に記載の記録装置。 The optical element also reduces the intensity of the light in a part of the wavelength range of the visible light continuing from the wavelength range of the ultraviolet light,
The recording apparatus according to claim 4.

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