JP2011140983A - Fluid bearing device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は流体軸受装置に関する。 The present invention relates to a hydrodynamic bearing device.
高速で回転する軸に砥石や工具を取り付け種々の加工に使用するリューター等の工作装置や、医科用、歯科用の器具(ハンドピース)などの回転機器に使用する軸受装置が知られている。このような回転機器では、駆動にモータを用いるものや、圧縮空気によりタービンを回転させるものがある。また、軸受にはボールベアリングのようなころがり軸受や、軸またはスリーブにヘリングボーン状やV字状に配置した動圧発生溝により、軸が回転する際に流体の圧力を発生させて軸を受ける動圧軸受、外部から圧縮空気を供給して軸を受ける静圧軸受などのすべり軸受がある。 2. Description of the Related Art There are known bearing devices for use in machine tools such as a luter that are used for various processes by attaching a grindstone or a tool to a shaft that rotates at high speed, and for rotating equipment such as medical and dental instruments (handpieces). Among such rotating devices, there are those that use a motor for driving and those that rotate a turbine by compressed air. Also, the bearing receives a shaft by generating a fluid pressure when the shaft rotates by a rolling bearing such as a ball bearing or a dynamic pressure generating groove arranged in a herringbone shape or a V shape on the shaft or sleeve. There are sliding bearings such as a hydrodynamic bearing and a hydrostatic bearing that receives a shaft by supplying compressed air from the outside.
一般に、砥石や工具を高速で回転させるほど研削や切削は容易となり、加工時の負荷を小さくでき、短時間で加工を終えることができる。このため高速で回転させるための考案がなされてきた。特許文献1はモータによって駆動する主軸をエアーで支持する構造を開示している。特許文献2は圧縮空気でタービンを回転させ、軸方向、半径方向を静圧軸受で受けるという構造を開示している。特許文献3は流体で回転するタービンの半径方向を静圧軸受で受け、軸方向を凸球面等と平面を接触させるという構造を開示している。
Generally, grinding and cutting become easier as the grindstone and tool are rotated at a higher speed, the processing load can be reduced, and processing can be completed in a short time. For this reason, devices for rotating at high speed have been devised.
しかしながら、上記した従来例では、構造が複雑であったり(特許文献1、2)、寿命のきわめて短いもの(特許文献3)であったりするという問題がある。
However, the above-described conventional example has a problem that the structure is complicated (
先端に小さな刃先や砥石を取り付け、高速で回転する機器を片手で保持し、目視で対象を確認しながら細かな加工を施す用途には、簡単な構造で小型軽量であるものが求められてきた。現在でも上記のような用途、具体的にはガラス細工、金属加工後のバリ取り、加工後の面取り、趣味の工作、医科や歯科の治療用などの用途にこのような回転機器の要望が強い。 For applications where a small cutting edge or grindstone is attached to the tip, a machine that rotates at high speed is held with one hand, and fine processing is performed while visually checking the object, a simple structure that is small and lightweight has been required. . Even now, there is a strong demand for such rotating devices for the above-mentioned uses, specifically glasswork, deburring after metal processing, chamfering after processing, hobby work, medical and dental treatment. .
本発明の目的は、簡便な構造で、高回転にも耐える回転機器用の流体軸受装置を提供することである。 An object of the present invention is to provide a hydrodynamic bearing device for a rotating device that has a simple structure and can withstand high rotation.
上記課題を解決するため、本発明者は流体軸受について鋭意検討した結果、本発明に至った。本発明の流体軸受装置は、軸孔を区画する内周面に軸方向に所定幅の軸受面を持つ軸孔部材と、軸孔に回動自在に保持され軸受面に対向する軸面をもつ軸部材と、軸受面と軸面の間に流体を供給する流体供給手段とを有する流体軸受装置であって、軸受面及び軸面はいずれも円錐台形の側周面状であり、流体供給手段は軸受面及び軸面と間に軸方向に流体を供給するものであることを特徴とする。本発明の流体軸受装置の軸受面と軸面は円錐台形の側周面状であり、それらの間隙に流体が軸方向に供給されるので、軸部材が軸孔部材の軸心に付勢され、半径方向の荷重と、軸方向の荷重とを1つの機構で受けることができ、構造が簡単な回転機器が実現できる。 In order to solve the above-mentioned problems, the present inventor diligently studied a fluid bearing, and as a result, reached the present invention. The hydrodynamic bearing device of the present invention has a shaft hole member having a bearing surface having a predetermined width in the axial direction on an inner peripheral surface defining the shaft hole, and a shaft surface that is rotatably held in the shaft hole and faces the bearing surface. A fluid dynamic bearing device having a shaft member and a fluid supply means for supplying a fluid between the bearing surface and the shaft surface, both of the bearing surface and the shaft surface are in the shape of a frustoconical side surface, and the fluid supply means Is characterized by supplying fluid in the axial direction between the bearing surface and the shaft surface. The bearing surface and the shaft surface of the hydrodynamic bearing device of the present invention are frustoconical side surfaces, and fluid is supplied to the gap between them in the axial direction, so that the shaft member is biased to the shaft center of the shaft hole member. The load in the radial direction and the load in the axial direction can be received by one mechanism, and a rotating device with a simple structure can be realized.
軸孔部材は円錐の頂点方向が互いに逆方向となる2個1組の、少なくとも1組の軸受面を有し、軸部材は1組の軸受面とそれぞれ対向する、少なくとも1組の軸面を有するとよい。こうすれば、軸孔部材や軸部材の製作が容易となり、軸受装置の組立ても容易になる。 The shaft hole member has at least one set of bearing surfaces, each of which has a pair of two cones whose apex directions are opposite to each other. The shaft member has at least one set of shaft surfaces respectively opposed to the one set of bearing surfaces. It is good to have. If it carries out like this, manufacture of a shaft hole member and a shaft member will become easy, and it will also become easy to assemble a bearing device.
流体はガスであるとよい。高速回転を実現でき、特に加工物が酸化を嫌うものである場合適切なガスを選択することにより、排気による影響を避けることができる。 The fluid may be a gas. High speed rotation can be realized, and the influence of exhaust can be avoided by selecting an appropriate gas, particularly when the workpiece does not like oxidation.
ガスは空気であってもよい。コンプレッサーなどにより簡便に圧力流体を発生させることができる。 The gas may be air. A pressure fluid can be easily generated by a compressor or the like.
軸受面とこれに対向する軸面とが、軸方向の断面上において軸部材の軸方向に対しなす角度は相等しいことが望ましい。このような構造により良好な軸受を形成できる。 It is desirable that the angle formed between the bearing surface and the shaft surface facing the bearing surface with respect to the axial direction of the shaft member on the cross section in the axial direction is the same. With such a structure, a good bearing can be formed.
軸受面の最小内径は、前記軸面の最大外径より小さいことが望ましい。このような構成により軸受面、軸面の面積を大きくすることができ、単位面積当たりの荷重を小さくできるので、小型でも大きな荷重に耐えられる軸受装置とすることができる。 The minimum inner diameter of the bearing surface is preferably smaller than the maximum outer diameter of the shaft surface. With such a configuration, the areas of the bearing surface and the shaft surface can be increased, and the load per unit area can be reduced. Therefore, the bearing device can withstand a large load even with a small size.
軸受面と軸面は、軸方向にそれぞれ少なくとも4つ存在するとよい。こうすることによって、小型で、半径方向の荷重と軸方向の荷重とを1つの機構で受ける軸受装置とすることができる。 There may be at least four bearing surfaces and shaft surfaces in the axial direction. By carrying out like this, it can be set as a small bearing apparatus which receives the load of a radial direction, and the load of an axial direction with one mechanism.
軸部材は、同軸上に流体により駆動されるタービンを有し、軸孔部材は、該タービンに向けて流体を噴出するノズル口を持つものとすることができる。このような構造により容易に回転駆動装置が得られる。 The shaft member may have a turbine that is driven by a fluid on the same axis, and the shaft hole member may have a nozzle port that ejects fluid toward the turbine. With such a structure, a rotary drive device can be easily obtained.
流体軸受装置において、軸受面及び前記軸面はいずれも円錐台形の側周面状であるため、半径方向と軸方向の軸受を別途に設ける必要がなく、長寿命で簡単な構造とすることができる。 In the hydrodynamic bearing device, since both the bearing surface and the shaft surface are frustoconical side circumferential surfaces, there is no need to provide separate bearings in the radial direction and the axial direction, and a long-life and simple structure can be obtained. it can.
図1は本発明の1実施例を示す切断端面図である。本実施例の流体軸受装置は、両端部の内周側に傾斜面1aをもち、中央部にノズル6を有する円筒状の軸孔部材1と、軸孔部材1の内側に、軸3と、径方向に突出し軸方向の一方側が円錐台形状(または切頭円錐形状)をなす第1フランジ4、第2フランジ5とを有して回動自在に設けられた軸部材2とからなる。
FIG. 1 is a cut end view showing an embodiment of the present invention. The hydrodynamic bearing device of the present embodiment has a cylindrical
軸孔部材1の傾斜面1aは、軸部材2のフランジ部の円錐台形状の円錐凸面に対応するように円錐台形状の円錐凹面を有する。本実施例では、軸孔部材1の円錐台形状の側周面状(円錐凹面)の部分が本発明の軸受面に該当し、軸受面に対向する軸部材2の円錐台形状の側周面状の部分が本発明の軸面に該当する。したがって、図1では軸受面1aと軸面2aの数はそれぞれ2つあることになる。また、軸受面1aと軸面2aとは、断面上で軸部材2の軸方向に対し同一の角度を持つ。実施例1ではその角度を30度としたが、小さな角度では軸方向の荷重を支える効果が薄れ、大きな角度では半径方向の荷重を支える効果が薄れるという関係がある。用途に応じて10度から80度の範囲で選択するのが好ましい。なお、圧縮空気が供給されていない場合、軸受面1aと軸面2aは一部が接触する場合があるが、各図は圧縮空気が供給されている状態を表わしているものである。
The inclined surface 1 a of the
流体軸受装置には、軸孔部材1のノズル6を通して外部から圧縮空気が供給される。図1では簡略化して示したが、図2に示すようにノズル6はその延長が軸孔部材1の中心を通らないよう、ずれて設けられている。よって圧縮空気は軸孔部材1の内周にガイドされ軸孔部材1と軸部材2の間の空間を回転する。軸方向においては、圧縮空気は先端側と後端側に分かれ、図1で軸孔部材1と軸3が平行になって対向する空間を通り、軸孔部材1の軸受面1aと軸部材2の軸面2aとからなる狭小な空間に達する。このとき軸受面1aと軸面2aの互いの中心がずれて一部が近接すれば、軸受面1aと軸面2aは、断面において曲率が異なるので、近接部分近傍の空間はくさび状となり、前述した軸部材2の周りを回転している圧縮空気が導かれ、軸受面1aと軸面2aを分離するよう作用する。結果として軸部材2の中心は軸孔部材1の中心とほぼ一致する位置に付勢され、圧縮空気の圧力は周方向に渡ってほぼ等しくなり、安定して保持される。図2では均等に配置された4つのノズル6があるが、軸部材2の中心が軸孔部材1の中心に付勢されればよく、数や配置を限定するものではない。本実施例の流体軸受装置は、ノズル6を通して圧縮空気を供給することにより軸部材2は軸孔部材1の軸心に付勢される。軸部材2が回動していなくとも軸部材2は軸孔部材1と非接触となるため手で軸部材2を回動させると、軸部材2は相当長く回転を続ける。
The hydrodynamic bearing device is supplied with compressed air from the outside through the
また、ノズル6は両端の2つの軸受面1aと軸面2aのほぼ中央に設けられているので、半径方向と同時に軸方向に対しても両端部の軸受面1aと軸面2aの間隔が均等になるように作用する。このように本発明の流体軸受は、半径方向の荷重と軸方向の荷重を1つの機構で支持するものである。特に、軸方向を点接触支持するものに比べ耐久性に優れたものとなる。
Further, since the
さらに上記軸受装置を回転駆動装置に適用することができる。軸3にタービン8を設けた様子を切断端面図である図3に示し、図3の中央部の半径方向の断面図を図4に示す。なお、図4はわかりやすくするために図3とは比例関係を変えてある。また、ノズル6は、その延長が軸部材の中心を通らないようずれて設けられているが、図3では簡略化して示した。タービン8は半径流タービンであり、タービン8とノズル6の関係を図4のようにすれば、タービン8を回転させることができる。
Furthermore, the bearing device can be applied to a rotational drive device. A state in which the
タービン8を回転させた排気は、先端側と後端側に分かれ、図3で軸孔部材1と軸3が平行になって対向する空間を通り、軸孔部材1の軸受面1aと軸部材2の軸面2aとからなる狭小な空間に達する。排気はこの断面上互いに平行な軸受面1aと軸面2aを半径方向で均等に分離するよう作用し、流体軸受を形成し、排出口7から外部へ排出される。各部品を図3のように配置することにより、軸受面1aと軸面2aの間で両面を分離する流体と、タービン8を回転させる流体とが、共通のノズル6と排出口7を持つ回転駆動装置が得られる。このようにすることにより、専用のノズルや排気口の加工を省略でき、回転駆動装置全体として配管の構造を簡単にでき小型化に寄与することができる。軸部材2はタービン8と共に回転するので、先端側に不図示のコレットチャック等を設け、工具や砥石などを取り付ければ、所定の用途を達成することができる。
Exhaust gas that has rotated the
以上のように構成すれば、軸受装置を流体軸受としたため軸受部での発熱の心配がなく、さらに駆動に流体を使うため、モータを使うもののように駆動部の発熱の問題がない回転駆動装置を提供できる。 With the above configuration, since the bearing device is a fluid bearing, there is no fear of heat generation in the bearing portion, and since a fluid is used for driving, there is no problem of heat generation in the driving portion as in the case of using a motor. Can provide.
組立方法の一例としては、両端部の内面に軸受を加工した円筒状の軸孔部材1に、あらかじめ所定の方法で軸3にタービン8と第1フランジ4を固定したものを挿入し、ついで第2フランジ5を軸3に挿入し、ロックナット9で軸3の端部に設けられた不図示のねじ部で締結、固定する、というものであるが、特に限定するものではない。
As an example of the assembling method, a cylindrical
図1、3では軸部材2のうち、軸3と第1フランジ4、第2フランジ5が別体であったが、このうち軸3と第1フランジ4が一体に形成されてもよい。軸部材2を作る際に第1フランジ4も同時に作ることができ、第1フランジ4を固定する工数を削減できるという利点がある。なお、材質については特に限定しない。
In FIGS. 1 and 3, the
本構造は、排出された流体の経路を確保すれば、流体がオイルや水や不凍液などのような液体の場合にも適用できる。たとえば、魚用の水槽にポンプで水を循環させる場合、水槽内の経路に上記軸孔部材1を透明な樹脂で形成した本回転駆動装置を設置すれば、タービン8の回転を目視確認することにより、水の循環を確認でき、装飾にもなる。また、水力発電機への適用も可能である。
This structure can also be applied to a case where the fluid is a liquid such as oil, water, or antifreeze, as long as the path of the discharged fluid is secured. For example, in the case where water is circulated by a pump in a fish tank, the rotation of the
軸受面と軸面の数を増やし大きな荷重に耐えられる軸受装置を持った回転駆動装置の実施例を述べる。この実施例の切断端面図を図5に示す。軸孔部材1はハウジング10とハウジング10に固定され軸受面1aをもつ外輪11とからなり、軸部材2は軸3と軸3に固定される内輪12、端部用内輪13とからなる。軸3に固定されたタービン8の先端側、後端側に外輪11と内輪12とが交互に配置される。
An embodiment of a rotary drive device having a bearing device capable of withstanding a large load by increasing the number of bearing surfaces and shaft surfaces will be described. A cut end view of this embodiment is shown in FIG. The
図5と、立体的な模式図である図6からわかるように、軸受面1aは外輪11の傾斜面であり、軸面2aは内輪12、端部用内輪13の傾斜面である。いずれも円錐台形の側周面状であることや、軸受面1aが円錐凹面であり、軸面2aが円錐面(円錐凸面)となっていることは実施例1と同様である。本実施例では、外輪11の内輪12に対向していない面を除く円錐台形状の側周面状(円錐凹面)の部分が本発明の軸受面に該当し、軸受面に対向する内輪12、端部用内輪13の円錐台形状の側周面状(円錐凸面)の部分が軸面に該当する。したがって、図5では、軸受面1aと軸面2aの数はそれぞれ10あることになるが、数を限定するものではなく、全体の寸法等に応じ増減が可能である。
As can be seen from FIG. 5 and FIG. 6, which is a three-dimensional schematic diagram, the bearing surface 1 a is an inclined surface of the
内輪12は図6のように、大きさを無視するとそろばんの珠に似た形状であり、外輪11は内輪12を軸方向に2つ並べたときの空間を埋めるような形状となっている。なお、図5からわかるように端部用内輪13は内輪12を軸方向に半分にした形状であり、外径や傾斜面の角度等は内輪12と同じである。図5、図6からわかるように、外輪11のもっとも小さい部分、すなわち軸受面1aの最小内径は、内輪12、端部用内輪13のもっとも大きな部分、すなわち軸面2aの最大外形より小さいという関係になっている。このような構成により軸受面1a、軸面2aの面積を大きくすることができ、単位面積当たりの荷重を小さくできるので、小型で大きな荷重に耐えられる軸受装置が得られる。
As shown in FIG. 6, the
外輪11、内輪12はいずれも2つの傾斜面をもっており、端部用内輪13は1つの傾斜面をもっている。本実施例では外輪11、内輪12、端部用内輪13の傾斜面の角度を断面上、軸方向に対し45度としたが、用途に応じて10度から80度の角度を適宜選択するのが好ましい。なお、本実施例では1つの外輪11、内輪12のもつ2つの傾斜面は互いに等しい角度としたが、対向する軸受面1aと軸面2aとが相等しい角度であれば、2つの傾斜面の角度は互いに異なっていてもよく、10度から80度の角度を適宜選択するものとする。
Both the
組立方法の一例を述べる。まず固定用フランジ14のついた軸3に端部用内輪13を入れ、固定用フランジ14に突き当てる。これを先端側になるようにハウジング10に入れ、続いて外輪11をハウジング10の突き当て部まで入れる。つぎに内輪12と外輪11を後端側から所定数、交互に入れ、寸法調整用の内輪用カラー15を入れ、次いでタービン8、内輪用カラー15、外輪用カラー16を入れ、再び外輪11と内輪12を所定数、交互にセットしていき、端部用内輪13、固定用フランジ14を入れロックナット9で軸3の端部に設けた不図示のねじ部で締結し固定する。外輪11は固定リング17をハウジング10の端部に設けた不図示のねじ部で締結し固定する。それぞれの外輪11同士、内輪12同士は相互に突き当たることにより位置が決まる。
An example of an assembly method will be described. First, the end
つぎに動作の様子を述べる。まずサブノズル18から圧縮空気を送ると、軸3が回転する。このサブノズル18による回転は、図7からわかるように圧縮空気がタービン8の羽根に当たる角度が小さいことと、図5からわかるようにサブノズル18がタービン8の幅方向の中央から離れた位置に配置されているため、タービン8の羽根を効率よく回転させるわけではなく、比較的ゆっくりした回転となる。この回転を予備回転と呼ぶ。この予備回転を確認することにより、軸受面1aと軸面2aが分離し流体軸受が形成されたことを確認することができる。次いでノズル6から圧縮空気を送ると、ノズル6は図5からわかるようにタービン8の幅方向中央部に配されていることと、図7からわかるように圧縮空気はタービン8の羽根に大きな角度で当たり、効率よくタービン8を回転させるため、予備回転の力に打ち勝って、タービン8は予備回転とは逆方向に回転し出す。この回転を主回転と呼ぶ。なお、図5ではノズル6とサブノズル18は同位相の位置にあるように表わしたが、両ノズルの位相は図7のようにずれていてもよい。主回転が始まったのちサブノズル18からの圧縮空気の供給は停止してよい。
Next, the operation will be described. First, when compressed air is sent from the
回転を停止するときは、ノズル6からの圧縮空気の供給を停止すると同時にサブノズル18から圧縮空気を送るようにするか、または、サブノズル18から圧縮空気を供給した後、ノズル6からの供給を停止する。圧縮空気が供給されなくなれば、外輪11と内輪12等とを非接触に保つことができなくなり、高速で回転していた場合には両者が焼き付いて破損し用をなさなくなってしまうことがあるが、サブノズル18からの圧縮空気により、外輪11と内輪12等が接触することを防止できる。さらにサブノズル18からの圧縮空気は、前述のようにノズル6からの圧縮空気による主回転とは逆方向に回転させるよう向きであるため、ブレーキとして作用し、停止に要する時間を短縮できる。このサブノズル18による予備回転は、上記したようにゆっくりした回転なので、予備回転になってから圧縮空気を停止しても傷つきにくい。さらに、外輪11や内輪12、端部用内輪13が金属製であれば、表面にめっきやCVD、電着塗装などで硬質の被膜や潤滑性のある被膜を設けるとよい。
When stopping the rotation, the supply of compressed air from the
ノズル6、サブノズル18は軸方向にわずかな傾きを持たせると排気がスムーズとなる。この場合先端側に傾くものと、後端側に傾くものの角度と数を等しくするとよい。
When the
流体の供給源は特に限定しないが、本実施例の場合は圧縮空気を不図示のコンプレッサーで供給し、コンプレッサーとノズルの間にフィルター付きのレギュレータを配置しオイルミストを除去し、圧力の変動が小さくなるようにした。 The fluid supply source is not particularly limited, but in the case of this embodiment, compressed air is supplied by a compressor (not shown), a regulator with a filter is arranged between the compressor and the nozzle to remove oil mist, and the pressure fluctuation is reduced. I tried to make it smaller.
なお、被加工物が酸化を嫌うものである場合や、水蒸気による弊害が懸念される場合は、排気による影響を考えて、圧縮空気ではなく、窒素ガスなどの適切なガスを使用するものとする。 If the workpiece does not like oxidation or if there are concerns about the harmful effects of water vapor, use an appropriate gas such as nitrogen gas instead of compressed air in consideration of the effects of exhaust. .
以上のような回転駆動装置を適用した工作装置の一例を図10に示した。コレットチャック24に軸付きの砥石25が装着され、内部にノズル6、サブノズル18への配管(不図示)を施し後端側にサブノズル用配管26とノズル用配管27が接続されている。
An example of a machine tool to which the above rotary drive device is applied is shown in FIG. A
別の実施例として図8に示すような、周知の動圧発生溝19を設けた動圧発生用内輪20や同様な動圧発生用端部用内輪21を使い、回転駆動装置を構成してもよい。本実施例では、外輪11の動圧発生用内輪20に対向していない面を除く円錐台形状の側周面状(円錐凹面)の部分が本発明の軸受面に該当し、軸受面に対向する動圧発生用内輪20、動圧発生用端部用内輪21の円錐台形状の側周面状(円錐凸面)の部分が軸面に該当する。また、図8では内輪20に動圧発生溝19が設けられているが、動圧発生溝は内輪または外輪の少なくともいずれか一方に設けることとする。これらの場合、切断端面図である図9に示すように、ハウジング10に適切に設けたタービン用排気口23から圧縮空気を排出するようにし、圧縮空気が軸受面1aや軸面2aの動圧に影響を与えないようにする。
As another embodiment, as shown in FIG. 8, a dynamic pressure generating
タービン8の駆動には圧縮空気を使うが、この圧縮空気は軸受部には使われない。すなわち、タービン8により軸部材2に回転が生じ、軸受面1aと軸面2aとの相対的運動によって軸面に設けられた動圧発生溝19により空気に発生する圧力で軸受面1aと軸面2aを分離する。流体としてオイルを使う場合には、別途オイル漏れ防止の方策を採るものとする。このときタービン8の駆動に圧縮空気を使い、軸受の流体としてオイルを使うことができる。圧縮空気が軸受部に使われないため、低圧でも高回転が得られる。
Compressed air is used to drive the
各実施例の本発明の流体軸受を利用する場合、上記ハウジング10または軸孔部材1をさらに外装用円筒に収め、先端側に砥石や刃等の工具を固定するためのコレットチャック等を設けたり、配管等を固定したりするようにするとよい。また、各実施例では先端側、後端側に排気するようにしたが、対象によっては、排気がかからないように適宜排出路を設けるものとする。
When the hydrodynamic bearing of the present invention of each embodiment is used, the
1 軸孔部材
1a 斜面、軸受面
2 軸部材
2a 軸面
3 軸
4 第1フランジ
5 第2フランジ
6 ノズル
7 排出口
8 タービン
9 ロックナット
10 ハウジング
11 外輪
12 内輪
13 端部用内輪
14 固定用フランジ
15 内輪用カラー
16 外輪用カラー
17 固定リング
18 サブノズル
19 動圧発生溝
20 動圧発生用内輪
21 動圧発生用端部用内輪
22 カラー
23 タービン用排気口
24 コレットチャック
25 砥石
26 サブノズル用配管
27 ノズル用配管
DESCRIPTION OF
Claims (8)
該軸孔に回動自在に保持され該軸受面に対向する軸面をもつ軸部材と、
該軸受面と該軸面の間に流体を供給する流体供給手段と、
を有する流体軸受装置であって、
前記軸受面及び前記軸面はいずれも円錐台形の側周面状であり、かつ前記流体供給手段は該軸受面及び該軸面の間に軸方向に流体を供給するものであることを特徴とする流体軸受装置。 A shaft hole member having a bearing surface of a predetermined width in the axial direction on the inner peripheral surface defining the shaft hole;
A shaft member rotatably held in the shaft hole and having a shaft surface facing the bearing surface;
Fluid supply means for supplying fluid between the bearing surface and the shaft surface;
A hydrodynamic bearing device comprising:
Both the bearing surface and the shaft surface are frustoconical side surfaces, and the fluid supply means supplies fluid in the axial direction between the bearing surface and the shaft surface. Fluid bearing device.
前記軸部材は、前記1組の前期軸受面とそれぞれ対向する、少なくとも1組の前記軸面を有する請求項1記載の流体軸受装置。 The shaft hole member has at least one set of the bearing surfaces in a set of two in which the apex directions of the cones are opposite to each other.
2. The hydrodynamic bearing device according to claim 1, wherein the shaft member has at least one set of the shaft surfaces respectively opposed to the one set of the preceding bearing surfaces.
該軸孔に回動自在に保持され該軸受面に対向する軸面をもつ軸部材と、
該軸受面と該軸面の間に流体を供給する流体供給手段とを有し、
前記軸受面及び前記軸面はいずれも円錐台形の側周面状であり、かつ前記流体供給手段は該軸受面及び該軸面の間に軸方向に流体を供給する流体軸受装置と、
前記軸部材に同軸上に形成された流体により駆動されるタービンと前記軸孔部材に形成された該タービンに向けて流体を噴出するノズル口とを持つ駆動部と、
を有することを特徴とする回転駆動装置。 A shaft hole member having a bearing surface of a predetermined width in the axial direction on the inner peripheral surface defining the shaft hole;
A shaft member rotatably held in the shaft hole and having a shaft surface facing the bearing surface;
Fluid supply means for supplying fluid between the bearing surface and the shaft surface;
The bearing surface and the shaft surface are both frustoconical side surfaces, and the fluid supply means supplies a fluid in the axial direction between the bearing surface and the shaft surface;
A drive unit having a turbine driven by a fluid coaxially formed in the shaft member and a nozzle port for ejecting fluid toward the turbine formed in the shaft hole member;
A rotary drive device comprising:
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