JP2011101925A

JP2011101925A - Single axis robot

Info

Publication number: JP2011101925A
Application number: JP2009257803A
Authority: JP
Inventors: Katsuyuki Takagi; 克幸高木
Original assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Current assignee: Yamaha Motor Co Ltd
Priority date: 2009-11-11
Filing date: 2009-11-11
Publication date: 2011-05-26

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent a defect such as the sticking of dust from at a stop position even if a slider 30 repeats movement and stop within a specific range and often stops at the same position. <P>SOLUTION: This robot includes: a slider 30 disposed on the top face of a hollow casing 11 having a substantially rectangular parallelopiped shell; a drive mechanism which is mounted to the casing 11 and reciprocates the slider 30 in the longitudinal direction of the casing 11 through an opening 17 formed at the top face of the casing 11; a plate-like shutter 40 penetrating the slider 30 so as to block the opening 17 of the casing 11; and a pair of suction means 34 which are provided at both sides of the slider 30 in the moving direction and regulate the floating of the shutter 40 at both sides of the slider 30 by sucking a bottom face of the shutter 40 in a non-contact state with the top face of the shutter 40. <P>COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は一軸ロボットに関し、特に、空気中の細かな塵埃等を嫌う精密部品の生産に好適なアクチュエータを構成する一軸ロボットに関する。 The present invention relates to a uniaxial robot, and more particularly to a uniaxial robot that constitutes an actuator suitable for the production of precision parts that dislike fine dust in the air.

一般に、半導体等、空気中の細かな塵埃等を嫌う精密部品の生産施設では、空気中の塵埃濃度を一定以下に管理するクリーンルームが設けられている。クリーンルーム内で使用される生産設備では、塵埃の流入や流出を防止する機構を備えた一軸ロボットが使用される。 In general, in a production facility for precision parts that dislike fine dust in the air, such as semiconductors, a clean room is provided to manage the dust concentration in the air below a certain level. In a production facility used in a clean room, a single-axis robot having a mechanism for preventing inflow and outflow of dust is used.

一軸ロボットは、略直方体形状の外殻を有する中空のケーシングと、このケーシングの上面に配置されたスライダと、ケーシングに設けられ、スライダをケーシングの長手方向に往復移動させる駆動機構とを備えている。ケーシングの上面には開口部が形成されており、スライダは、開口部内に入り込んで駆動機構と連結されている。この開口部からの塵埃の流入や流出を阻止するために、ケーシングには、スライダを貫通してスライダの相対変位を許容しつつ開口部を遮蔽する平板状のシャッタが固定されている。 The uniaxial robot includes a hollow casing having a substantially rectangular parallelepiped outer shell, a slider disposed on the upper surface of the casing, and a drive mechanism that is provided on the casing and moves the slider back and forth in the longitudinal direction of the casing. . An opening is formed on the upper surface of the casing, and the slider enters the opening and is connected to the drive mechanism. In order to prevent the inflow and outflow of dust from the opening, a flat plate-like shutter that passes through the slider and shields the opening while allowing the relative displacement of the slider is fixed to the casing.

シャッタによる高いシール性を維持しつつ、シャッタとスライダとの滑らかな滑りを実現するために、例えば、特許文献１、特許文献２には、シャッタの上下面を挟み込む滑り部材（例えばローラ）をスライダに設けている構成が開示されている。この構成によれば、スライダが往復移動する際に、滑り部材が当該シャッタの上下面に接触し、シャッタは、開口部との隙間を可及的に塞いだ状態でスライダの移動を許容する。 In order to realize smooth sliding between the shutter and the slider while maintaining high sealing performance by the shutter, for example, in Patent Document 1 and Patent Document 2, a sliding member (for example, a roller) that sandwiches the upper and lower surfaces of the shutter is used as a slider. The structure provided in is disclosed. According to this configuration, when the slider reciprocates, the sliding member comes into contact with the upper and lower surfaces of the shutter, and the shutter allows the slider to move while closing the gap with the opening as much as possible.

特開２０００−１９７３０４号公報JP 2000-197304 A 特開平２−９５５９３号公報JP-A-2-95593

上述のような一軸ロボットでは、ケーシング上でスライダが移動と停止を繰り返し、高い精度で同じ位置に頻繁に停止することも多い。そのため、スライダに滑り部材を設けて、当該スライダを貫通するシャッタの上下面をガイドしている構造では、使用を継続するにつれて、スライダの滑り部材が頻繁に停止する位置に塵埃等がこびりつくという問題があった。このような塵埃等は経時的に堆積するため、当該クリーンルームでの生産に支障を来すおそれがあった。 In the uniaxial robot as described above, the slider repeatedly moves and stops on the casing, and often stops at the same position with high accuracy. Therefore, in the structure in which the slider is provided with a sliding member and the upper and lower surfaces of the shutter passing through the slider are guided, there is a problem that dust or the like is stuck at a position where the sliding member of the slider frequently stops as the use continues. was there. Since such dust and the like accumulate over time, production in the clean room may be hindered.

本発明は、上記不具合に鑑みてなされたものであり、長期間にわたって塵埃のこびりつき等を防止しつつ、スライダとシャッタとの滑らかな相対変位を許容し、シャッタによる高いシール性を維持することのできる一軸ロボットを提供することを課題としている。 The present invention has been made in view of the above-described problems, and allows for a smooth relative displacement between the slider and the shutter while preventing dust from sticking for a long period of time, and maintaining high sealing performance by the shutter. The problem is to provide a single-axis robot that can do this.

上記課題を解決するために本発明は、略直方体形状の外殻を有する中空のケーシングと、このケーシングの上面に配置されたスライダと、前記ケーシングに設けられ、前記スライダを前記ケーシングの長手方向に往復移動させる駆動機構と、前記駆動機構と前記スライダとを連結するために前記ケーシングの上面に形成された開口部を遮蔽するように前記スライダを貫通する平板状のシャッタと、前記スライダの移動方向両側に設けられ、前記シャッタの上面と非接触状態で前記シャッタの下面を吸引することにより、当該スライダの両側での前記シャッタの浮きを規制する一対の吸引手段とを備えていることを特徴とする一軸ロボットである。この態様では、スライダに設けられた一対の吸引手段によって、スライダの移動方向両側に生じるシャッタの浮きが抑制される。この状態でスライダがケーシングの長手方向に沿って移動すると、このスライダに設けられた吸引手段と一体的に移動し、浮きが生じやすいスライダの両側でシャッタを吸引し、シール性を確保する。この際、吸引手段は、シャッタの上面と非接触状態でシャッタを吸引するので、シャッタの上面は、解放されたままの状態を維持している。従って、使用を継続し、スライダが頻繁に同じ位置での停止を繰り返しても、塵埃等がこびりつく恐れがなくなる。よって塵埃が堆積する恐れもない。 In order to solve the above problems, the present invention provides a hollow casing having a substantially rectangular parallelepiped outer shell, a slider disposed on the upper surface of the casing, the casing, and the slider in the longitudinal direction of the casing. A reciprocating drive mechanism; a flat shutter that passes through the slider so as to shield an opening formed on the upper surface of the casing for connecting the drive mechanism and the slider; and a moving direction of the slider A pair of suction means provided on both sides for regulating the floating of the shutter on both sides of the slider by sucking the lower surface of the shutter in a non-contact state with the upper surface of the shutter; It is a single axis robot. In this aspect, the lift of the shutter that occurs on both sides of the slider moving direction is suppressed by the pair of suction means provided on the slider. In this state, when the slider moves along the longitudinal direction of the casing, the slider moves integrally with the suction means provided on the slider, and the shutter is sucked on both sides of the slider, which is likely to be lifted, to ensure a sealing property. At this time, since the suction means sucks the shutter in a non-contact state with the upper surface of the shutter, the upper surface of the shutter is maintained in a released state. Therefore, even if the use is continued and the slider frequently stops at the same position, there is no risk of dust and the like being stuck. Therefore, there is no risk of dust accumulation.

好ましい態様において、前記シャッタは磁性体で形成されており、前記吸引手段は、前記シャッタの下面を吸引する磁石である。 In a preferred aspect, the shutter is made of a magnetic material, and the attraction means is a magnet that attracts the lower surface of the shutter.

好ましい態様において、前記吸引手段は、所定の間隔を隔てて前記シャッタを吸引するものである。この態様では、吸引手段とシャッタとの接触も回避できるので、磁石からの発塵を効果的に防止することができ、一層、塵埃が生じにくくなる。 In a preferred aspect, the suction means sucks the shutter at a predetermined interval. In this aspect, contact between the suction means and the shutter can be avoided, so that dust generation from the magnet can be effectively prevented, and dust is hardly generated.

好ましい態様において、前記磁石の両側に配置され、前記シャッタの下面を受ける補助ローラを備えている。この態様では、より精緻に磁石とシャッタとの対向間隔を維持することができ、所望のシール性をシャッタ上面が非接触状態で得ることができる。 In a preferred aspect, there is provided an auxiliary roller disposed on both sides of the magnet and receiving the lower surface of the shutter. In this aspect, the facing distance between the magnet and the shutter can be maintained more precisely, and a desired sealing property can be obtained in a non-contact state on the upper surface of the shutter.

好ましい態様において、前記シャッタは磁性体で形成されており、前記吸引手段は、低摩擦係数の摺接面を有する磁石である。この態様では、シャッタを低摩擦係数の摺接面に摺接させながら、シャッタをケーシング側に引きつけて、開口部の隙間を塞ぐことができる。 In a preferred aspect, the shutter is made of a magnetic material, and the attraction means is a magnet having a sliding surface with a low friction coefficient. In this aspect, the shutter can be attracted to the casing side while the shutter is in sliding contact with the low friction coefficient sliding contact surface, thereby closing the opening gap.

好ましい態様において、前記シャッタは磁性体で形成されており、前記吸引手段は、磁化されたローラである。この態様では、シャッタを吸引する磁性体がシャッタの下面と転がり接触することができるので、摩耗が少なくなり、耐久性が向上する。 In a preferred aspect, the shutter is made of a magnetic material, and the attraction means is a magnetized roller. In this aspect, since the magnetic body that attracts the shutter can be brought into rolling contact with the lower surface of the shutter, wear is reduced and durability is improved.

好ましい態様において、前記シャッタは磁性体で形成されており、前記吸引手段は、磁石を内蔵したローラである。この態様においても、シャッタを吸引する磁性体がシャッタの下面と転がり接触することができるので、摩耗が少なくなり、耐久性が向上する。 In a preferred embodiment, the shutter is made of a magnetic material, and the attraction means is a roller with a built-in magnet. Also in this aspect, since the magnetic body that attracts the shutter can be brought into rolling contact with the lower surface of the shutter, wear is reduced and durability is improved.

好ましい態様においては、前記シャッタは磁性体で形成されており、前記一対の吸引手段の間に、シャッタの下面を受けるガイド部材を設け、このガイド部材のガイド面は、シャッタの下面を吸引する磁石を有している。この態様では、両吸引手段の間でシャッタをたるませて、その弛み部分を磁性体で吸引しながらガイドすることができるので、より高い気密性を確保することができる。 In a preferred aspect, the shutter is made of a magnetic material, and a guide member that receives the lower surface of the shutter is provided between the pair of suction means, and the guide surface of the guide member is a magnet that attracts the lower surface of the shutter. have. In this aspect, since the shutter can be slackened between the two suction means and the slack portion can be guided while being attracted by the magnetic material, higher airtightness can be ensured.

以上説明したように、本発明によれば、スライダに設けられた一対の吸引手段によって、スライダの移動方向両側に生じるシャッタの浮きを抑制することができ、しかも、吸引手段は、シャッタの上面と非接触状態でシャッタを吸引するので、シャッタの上面は、解放されたままの状態を維持することができるので、使用を継続し、スライダが頻繁に同じ位置での停止を繰り返しても、発塵や、塵埃のこびりつき等を防止しつつ、スライダとシャッタとの滑らかな相対変位を許容し、シャッタによる高いシール性を維持することができるという顕著な効果を奏する。 As described above, according to the present invention, the pair of suction means provided on the slider can suppress the lifting of the shutter that occurs on both sides of the slider in the moving direction. Since the shutter is sucked in a non-contact state, the upper surface of the shutter can be kept released, so even if it continues to be used and the slider frequently stops at the same position, it generates dust. In addition, it is possible to allow a smooth relative displacement between the slider and the shutter while preventing sticking of dust and the like, and to maintain a high sealing performance by the shutter.

本発明の実施の一形態に係る一軸ロボットの外観を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the external appearance of the uniaxial robot which concerns on one Embodiment of this invention. 図１の一軸ロボットの要部を拡大して示す一部破断拡大斜視図である。FIG. 2 is a partially broken enlarged perspective view showing an enlarged main part of the uniaxial robot of FIG. 1. 図１の一軸ロボットの要部を示す断面部分略図である。FIG. 2 is a schematic partial cross-sectional view showing a main part of the uniaxial robot of FIG. 1. 本発明の変形例を示す一部破断拡大斜視図である。It is a partially broken expansion perspective view which shows the modification of this invention. 図４の一軸ロボットの要部を拡大して示す一部破断拡大斜視図である。FIG. 5 is a partially broken enlarged perspective view showing an enlarged main part of the uniaxial robot of FIG. 4. 図１、図４の一軸ロボットの要部を拡大して示す要部拡大断面略図である。FIG. 5 is an enlarged schematic cross-sectional view of a main part of the uniaxial robot shown in FIGS. 本発明のさらに別の変形例を示す要部拡大断面略図である。It is a principal part expanded sectional schematic diagram which shows another modification of this invention. 本発明のさらに別の変形例を示す要部拡大断面略図である。It is a principal part expanded sectional schematic diagram which shows another modification of this invention. 本発明のさらに別の変形例を示す要部拡大断面略図である。It is a principal part expanded sectional schematic diagram which shows another modification of this invention. 本発明のさらに別の変形例を示す要部拡大断面略図である。It is a principal part expanded sectional schematic diagram which shows another modification of this invention.

以下、添付図面を参照しながら本発明の好ましい実施の形態について説明する。 Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

図１〜図３を参照して、本実施形態に係る一軸ロボット１０は、直方体のケーシング１１と、このケーシング１１に組み付けられたボールねじ機構２０とを備えている。 1 to 3, a uniaxial robot 10 according to the present embodiment includes a rectangular parallelepiped casing 11 and a ball screw mechanism 20 assembled to the casing 11.

まず、ケーシング１１は、底板１２と、底板１２の両側に気密性を保持した状態で組み付けられた一対の側板１４と、底板１２及び各側板１４の一方の端部に固定される端板１５とを一体的に有する中空の金属製部材である。一方の側板１４には、一対の空気ノズル１６が設けられており、この空気ノズル１６から図略の負圧機構を用いて内部を吸引することにより、ケーシング１１内の除塵が図られている。側板１４は、それぞれ上部が内向き（ケーシング１１の幅方向）に屈曲して長手方向に延びる内向きフランジ１４ａを有しており、この内向きフランジ１４ａが幅方向一端側と他端側とでケーシング１１の長手方向に延びる開口部１７を形成している。この内向きフランジ１４ａの端部には長手方向に切り欠きが形成され、この切り欠き部分にゴム磁石からなるシャッタマグネット１４ｂが接着されている。 First, the casing 11 includes a bottom plate 12, a pair of side plates 14 assembled in an airtight state on both sides of the bottom plate 12, and an end plate 15 fixed to one end of the bottom plate 12 and each side plate 14. Is a hollow metal member integrally having One side plate 14 is provided with a pair of air nozzles 16, and dust is removed from the casing 11 by sucking the inside from the air nozzles 16 using a negative pressure mechanism (not shown). Each of the side plates 14 has an inward flange 14a whose upper part is bent inwardly (in the width direction of the casing 11) and extends in the longitudinal direction. The inward flange 14a is formed at one end side and the other end side in the width direction. An opening 17 extending in the longitudinal direction of the casing 11 is formed. A cutout is formed in the longitudinal direction at the end of the inward flange 14a, and a shutter magnet 14b made of a rubber magnet is bonded to the cutout portion.

ボールねじ機構２０は、ケーシング１１に内蔵されたボールねじ２１と、ボールねじ２１に螺合するボールナット２２と、ボールねじ２１を回転駆動するように、ケーシング１１の他方の端部に取り付けられたサーボモータ２３とを備え、本実施形態において、駆動機構を構成している。ボールねじ２１は、複数の軸受２４（図３参照）によってケーシング１１内で回転自在に支持されている。ボールナット２２の上部は、開口部１７を介してケーシング１１の上部に突出し、スライダ３０の基体を構成している。なお、以下の説明では、ケーシング１１の長手方向において、サーボモータ２３が取り付けられている側を仮に前方とする。 The ball screw mechanism 20 is attached to the other end of the casing 11 so that the ball screw 21 built in the casing 11, a ball nut 22 screwed into the ball screw 21, and the ball screw 21 are driven to rotate. The servomotor 23 is provided, and the drive mechanism is comprised in this embodiment. The ball screw 21 is rotatably supported in the casing 11 by a plurality of bearings 24 (see FIG. 3). The upper part of the ball nut 22 projects to the upper part of the casing 11 through the opening 17 and constitutes the base of the slider 30. In the following description, the side on which the servo motor 23 is attached in the longitudinal direction of the casing 11 is assumed to be the front.

スライダ３０は、スライダカバー３１によって被覆されている。スライダカバー３１は、全体が前後に長い直方体の中空体であり、ケーシング１１の内向きフランジ１４ａ上でスライダ３０と一体的に前後に往復移動可能に配置されている。 The slider 30 is covered with a slider cover 31. The slider cover 31 is a rectangular parallelepiped hollow body that is long in the front-rear direction, and is disposed on the inward flange 14a of the casing 11 so as to be capable of reciprocating back and forth integrally with the slider 30.

スライダ３０が挿通する開口部１７を遮蔽するために、内向きフランジ１４ａの上面には、シャッタ４０が設けられている。シャッタ４０の前後両端部は、内向きフランジ１４ａの前後両端部分に配置された取付プレート４１と内向きフランジ１４ａとの間に挟圧された状態で、ボルト４２によって固定されている。 In order to shield the opening 17 through which the slider 30 is inserted, a shutter 40 is provided on the upper surface of the inward flange 14a. Both front and rear ends of the shutter 40 are fixed by bolts 42 while being sandwiched between the mounting plates 41 and the inward flanges 14a arranged at the front and rear end portions of the inward flange 14a.

シャッタ４０は、スライダ３０の外側ではシャッタマグネット１４ｂに吸引されて開口部１７を遮蔽している一方、スライダ３０の内側ではスライダ３０とスライダカバー３１との間に形成された隙間を挿通し、適度な張力で上方に湾曲している。図２及び図３に示すように、スライダカバー３１の側部には、スライダ３０の前後に対をなすローラ３３が設けられており、シャッタ４０の下面に転がり接触している。スライダ３０の前後両側でシャッタ４０の浮きを抑制するのに、図示の実施形態では、吸引手段としての一対の磁石３４が設けられている。磁石３４は、ボールナット２２に固定されたステー３５に固着されており、それぞれスライダ３０の前端と後端とに配置されて、開口部１７越しにシャッタ４０の下面に臨んでいる。 The shutter 40 is attracted by the shutter magnet 14 b outside the slider 30 to shield the opening 17, while the shutter 30 is inserted inside the slider 30 through a gap formed between the slider 30 and the slider cover 31. It is curved upward with a good tension. As shown in FIGS. 2 and 3, a pair of rollers 33 is provided on the side of the slider cover 31 in front of and behind the slider 30, and is in rolling contact with the lower surface of the shutter 40. In the illustrated embodiment, a pair of magnets 34 as suction means are provided to suppress the floating of the shutter 40 on both the front and rear sides of the slider 30. The magnet 34 is fixed to a stay 35 fixed to the ball nut 22, and is disposed at the front end and the rear end of the slider 30, respectively, and faces the lower surface of the shutter 40 through the opening 17.

以上の構成では、ボールねじ機構２０のサーボモータ２３が図略のコントローラから指令を受けることにより、所定方向にボールねじ２１を回転させる。この回転力を受けて、ボールナット２２が前方又は後方に移動する。ボールナット２２によって構成されるスライダ３０は、スライダカバー３１との間でシャッタ４０を挟み込んだ状態で、ボールナット２２と一体的に前方又は後方に移動する。この際、スライダ３０の前後両側に配置された磁石３４は、それぞれスライダ３０の前後両側でシャッタ４０を吸引し、シール性を確保する。この結果、シャッタ４０は、前後の磁石３４の吸引力により、スライダ３０の前後両側のローラ３３に押し付けられるようにして、開口部１７側に付勢される。この状態が維持されたまま、各磁石３４は、スライダ３０と一体的に一体に移動する。この際、磁石３４は、シャッタ４０の上面と非接触状態でシャッタ４０を吸引するので、シャッタ４０の上面は、解放されたままの状態を維持している。従って、使用を継続していてもシャッタ４０の上面では接触物がないので、スライダ３０が長期間にわたって特定の範囲で移動と停止を繰り返し、同じ位置に頻繁に停止することがあったとしても、その特定の位置での発塵や、塵埃の付着を防止することができる。よって付着した塵埃が堆積するといった恐れもない。 In the above configuration, the servo motor 23 of the ball screw mechanism 20 receives a command from a controller (not shown) to rotate the ball screw 21 in a predetermined direction. In response to this rotational force, the ball nut 22 moves forward or backward. The slider 30 constituted by the ball nut 22 moves forward or backward integrally with the ball nut 22 in a state where the shutter 40 is sandwiched between the slider nut 31 and the slider cover 31. At this time, the magnets 34 disposed on both the front and rear sides of the slider 30 attract the shutter 40 on both the front and rear sides of the slider 30 to ensure sealing performance. As a result, the shutter 40 is urged toward the opening 17 so as to be pressed against the rollers 33 on both the front and rear sides of the slider 30 by the attractive force of the front and rear magnets 34. While this state is maintained, each magnet 34 moves integrally with the slider 30. At this time, since the magnet 34 attracts the shutter 40 in a non-contact state with the upper surface of the shutter 40, the upper surface of the shutter 40 is maintained in a released state. Accordingly, since there is no contact object on the upper surface of the shutter 40 even if the use is continued, even if the slider 30 repeatedly moves and stops in a specific range over a long period of time, It is possible to prevent dust generation at that specific position and adhesion of dust. Therefore, there is no fear of adhering dust.

以上説明したように本実施形態では、スライダ３０に設けられた一対の磁石３４によって、スライダ３０の移動方向両側に生じるシャッタ４０の浮きが抑制される。この状態でスライダ３０がケーシング１１の長手方向に沿って移動すると、このスライダ３０に設けられた磁石３４と一体的に移動し、浮きが生じやすいスライダ３０の両側でシャッタ４０を吸引し、シール性を確保する。この際、磁石３４は、シャッタ４０の上面と非接触状態でシャッタ４０を吸引するので、シャッタ４０の上面は、解放されたままの状態を維持している。従って、使用を継続していてもシャッタ４０の上面では接触物がないので、スライダ３０が長期間にわたって特定の範囲で移動と停止を繰り返し、同じ位置に頻繁に停止することがあったとしても、その停止位置での発塵や、塵埃の付着を防止することができる。よって付着した塵埃がケーシング１１の外側で堆積する恐れもない。 As described above, in the present embodiment, the pair of magnets 34 provided on the slider 30 suppresses the floating of the shutter 40 that occurs on both sides of the slider 30 in the moving direction. When the slider 30 moves along the longitudinal direction of the casing 11 in this state, the slider 30 moves integrally with the magnet 34 provided on the slider 30, and the shutter 40 is sucked on both sides of the slider 30 that is likely to be lifted. Secure. At this time, since the magnet 34 attracts the shutter 40 in a non-contact state with the upper surface of the shutter 40, the upper surface of the shutter 40 is maintained in a released state. Accordingly, since there is no contact object on the upper surface of the shutter 40 even if the use is continued, even if the slider 30 repeatedly moves and stops in a specific range over a long period of time, It is possible to prevent generation of dust at the stop position and adhesion of dust. Therefore, there is no possibility that the attached dust accumulates outside the casing 11.

また、本実施形態では、一対の吸引手段は、それぞれ磁石３４で構成されている。このため本実施形態では、比較的廉価な構成で、所望の吸引力を発揮し、シャッタ４０をケーシング１１側に吸引することによって、開口部１７部分の気密性を確保することができる。 In the present embodiment, each of the pair of attracting means is constituted by a magnet 34. For this reason, in this embodiment, the airtightness of the opening 17 portion can be ensured by exhibiting a desired suction force and suctioning the shutter 40 toward the casing 11 with a relatively inexpensive configuration.

上述した実施の形態は、本発明の好ましい具体例を例示したものに過ぎず、本発明は上述した実施形態に限定されない。 The above-described embodiment is merely a preferred specific example of the present invention, and the present invention is not limited to the above-described embodiment.

例えば、図４及び図５を参照して、各図に示す変形例では、スライダ３０の上部に切欠３０ａを設け、この切欠３０ａにガイド部材５０を設けている。ガイド部材５０は、シャッタ４０の下面に滑らかに連続する湾曲面を有しており、その一部は、当該ガイド部材５０に嵌装された磁石５１によって構成されている。図４及び図５の構成では、磁石５１によって、シャッタ４０の途中部が吸引されるので、よりシャッタ４０がスライダ３０の全長にわたって開口部１７側に吸引されることになり、シール性を高めることが可能になる。 For example, referring to FIG. 4 and FIG. 5, in the modification shown in each drawing, a notch 30 a is provided in the upper part of the slider 30, and a guide member 50 is provided in this notch 30 a. The guide member 50 has a curved surface that continues smoothly on the lower surface of the shutter 40, and a part of the guide member 50 is configured by a magnet 51 that is fitted to the guide member 50. In the configuration of FIGS. 4 and 5, since the middle part of the shutter 40 is attracted by the magnet 51, the shutter 40 is more attracted to the opening 17 side over the entire length of the slider 30, thereby improving the sealing performance. Is possible.

また、図６に示すように、吸引手段としての磁石３４とシャッタ４０との間に、僅かな隙間ｇを形成してもよい。このように磁石３４をシャッタ４０の下面とも非接触状態にすると、（特に磁石は一般的に脆い性質であるため）磁石３４とシャッタ４０が接触することにより磁石３４から発生する粉塵を防止できる。無論、材質等が許容する場合には、磁石３４とシャッタ４０とが、接触、或いは接触し得る状態であってもよい。 In addition, as shown in FIG. 6, a slight gap g may be formed between the magnet 34 serving as a suction unit and the shutter 40. Thus, when the magnet 34 is brought into a non-contact state with the lower surface of the shutter 40 (particularly because the magnet is generally brittle), dust generated from the magnet 34 can be prevented when the magnet 34 and the shutter 40 come into contact with each other. Of course, when the material permits, the magnet 34 and the shutter 40 may be in contact with each other or in a state where they can contact each other.

さらに、図７に示すように、各磁石３４のそれぞれ前後に補助ローラ３６を設け、これら補助ローラ３６で磁石３４とシャッタ４０との非接触状態を確実に維持するようにしてもよい。このようにすれば、より精緻に磁石３４とシャッタ４０との対向間隔を維持することができ、所望のシール性をシャッタ上面が非接触状態で得ることができる。 Further, as shown in FIG. 7, auxiliary rollers 36 may be provided on the front and rear sides of each magnet 34, and the auxiliary roller 36 may reliably maintain a non-contact state between the magnet 34 and the shutter 40. In this way, the facing distance between the magnet 34 and the shutter 40 can be more precisely maintained, and a desired sealing property can be obtained in a non-contact state with the shutter upper surface.

また、図８に示すように、磁石３４の上面に、フッ素樹脂等の低摩擦係数の摺接面を有するカバー３７を設けるか、磁石３４に同等の効果を有する樹脂コーティング等をおこなってもよい。このようにすれば、シャッタ４０をケーシング１１側に引きつけて、開口部１７の隙間を塞ぐことができる。 Further, as shown in FIG. 8, a cover 37 having a low friction coefficient sliding contact surface such as a fluororesin may be provided on the upper surface of the magnet 34, or a resin coating having an equivalent effect may be applied to the magnet 34. . In this way, the shutter 40 can be attracted to the casing 11 side to close the gap of the opening 17.

或いは、図９に示すように、吸引手段をローラ３８で構成してもよい。この場合、ローラ３８は、磁化された磁性ローラを用いる、或いは、内部に磁石を有する磁性体で構成されることが好ましい。このようにすると、シャッタ４０を吸引するローラ３８がシャッタ４０の下面と転がり接触することができるので、摩耗が少なくなり、耐久性が向上する。 Alternatively, as shown in FIG. 9, the suction means may be constituted by a roller 38. In this case, the roller 38 is preferably made of a magnetized magnetic roller or made of a magnetic material having a magnet inside. In this way, the roller 38 that sucks the shutter 40 can be brought into rolling contact with the lower surface of the shutter 40, so that wear is reduced and durability is improved.

さらに、図１０に示すように、各実施形態（変形例）において、シャッタ４０の前後に配置されたローラ３３を省略してもよい。また、スライダ３０の上面は、シャッタ４０と非接触に設定されていてもよい。 Furthermore, as shown in FIG. 10, in each embodiment (modification), the rollers 33 arranged before and after the shutter 40 may be omitted. Further, the upper surface of the slider 30 may be set so as not to contact the shutter 40.

また、上述した本発明の実施の形態は軸回転駆動の一軸ロボットについて例示しているが、中空モータを用いたナット回転駆動や、リニアモータ駆動の一軸ロボット等にも適用できる。 Moreover, although the embodiment of the present invention described above exemplifies a single-axis robot driven by shaft rotation, it can also be applied to a nut rotation drive using a hollow motor, a single-axis robot driven by a linear motor, or the like.

その他、本発明の特許請求の範囲内で種々の変更が可能であることはいうまでもない。 It goes without saying that various modifications can be made within the scope of the claims of the present invention.

１０一軸ロボット
１１ケーシング
１７開口部
２０ボールねじ機構（駆動機構の一例）
３０スライダ
３４磁石（吸引手段の一例）
３６補助ローラ
３７カバー
３８ローラ
４０シャッタ
４１取付プレート
５０ガイド部材
５１磁石 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Uniaxial robot 11 Casing 17 Opening part 20 Ball screw mechanism (an example of a drive mechanism)
30 Slider 34 Magnet (an example of suction means)
36 Auxiliary roller 37 Cover 38 Roller 40 Shutter 41 Mounting plate 50 Guide member 51 Magnet

Claims

略直方体形状の外殻を有する中空のケーシングと、
このケーシングの上面に配置されたスライダと、
前記ケーシングに設けられ、前記スライダを前記ケーシングの長手方向に往復移動させる駆動機構と、
前記駆動機構と前記スライダとを連結するために前記ケーシングの上面に形成された開口部を遮蔽するように前記スライダを貫通する平板状のシャッタと、
前記スライダの移動方向両側に設けられ、前記シャッタの上面と非接触状態で前記シャッタの下面を吸引することにより、当該スライダの両側での前記シャッタの浮きを規制する一対の吸引手段と
を備えている
ことを特徴とする一軸ロボット。 A hollow casing having a substantially rectangular parallelepiped outer shell;
A slider disposed on the upper surface of the casing;
A drive mechanism provided on the casing and reciprocatingly moving the slider in a longitudinal direction of the casing;
A flat shutter that passes through the slider so as to shield an opening formed in the upper surface of the casing for connecting the drive mechanism and the slider;
A pair of suction means provided on both sides of the slider in the moving direction, for regulating the floating of the shutter on both sides of the slider by sucking the lower surface of the shutter in a non-contact state with the upper surface of the shutter; A single-axis robot characterized by

請求項１記載の一軸ロボットにおいて、
前記シャッタは磁性体で形成されており、前記吸引手段は、前記シャッタの下面を吸引する磁石である
ことを特徴とする一軸ロボット。 The uniaxial robot according to claim 1,
The uniaxial robot, wherein the shutter is made of a magnetic material, and the suction means is a magnet that attracts a lower surface of the shutter.

請求項２記載の一軸ロボットにおいて、
前記吸引手段は、所定の間隔を隔てて前記シャッタを吸引するものである
ことを特徴とする一軸ロボット。 The uniaxial robot according to claim 2,
The single-axis robot, wherein the suction means sucks the shutter at a predetermined interval.

請求項３記載の一軸ロボットにおいて、
前記磁石の両側に配置され、前記シャッタの下面を受ける補助ローラを備えている
ことを特徴とする一軸ロボット。 The uniaxial robot according to claim 3, wherein
A single-axis robot, comprising auxiliary rollers disposed on both sides of the magnet and receiving the lower surface of the shutter.

請求項１または２記載の一軸ロボットにおいて、
前記シャッタは磁性体で形成されており、前記吸引手段は、低摩擦係数の摺接面を有する磁石である
ことを特徴とする一軸ロボット。 The single-axis robot according to claim 1 or 2,
The uniaxial robot, wherein the shutter is made of a magnetic material, and the suction means is a magnet having a sliding surface with a low friction coefficient.

請求項１記載の一軸ロボットにおいて、
前記シャッタは磁性体で形成されており、前記吸引手段は、磁化されたローラである
ことを特徴とする一軸ロボット。 The uniaxial robot according to claim 1,
The uniaxial robot, wherein the shutter is made of a magnetic material, and the attraction means is a magnetized roller.

請求項１記載の一軸ロボットにおいて、
前記シャッタは磁性体で形成されており、前記吸引手段は、磁石を内蔵したローラである
ことを特徴とする一軸ロボット。 The uniaxial robot according to claim 1,
The shutter is made of a magnetic material, and the attraction means is a roller with a built-in magnet.

請求項１から７の何れか１項に記載の一軸ロボットにおいて、
前記シャッタは磁性体で形成されており、前記一対の吸引手段の間に、シャッタの下面を受けるガイド部材を設け、このガイド部材のガイド面は、シャッタの下面を吸引する磁石を有している
ことを特徴とする一軸ロボット。 The uniaxial robot according to any one of claims 1 to 7,
The shutter is made of a magnetic material, and a guide member that receives the lower surface of the shutter is provided between the pair of suction means. The guide surface of the guide member has a magnet that attracts the lower surface of the shutter. A single-axis robot characterized by that.