JP2011093254A

JP2011093254A - Head and device for ejecting liquid

Info

Publication number: JP2011093254A
Application number: JP2009251373A
Authority: JP
Inventors: Atsushi Inoue; 篤史井上
Original assignee: Seiko Epson Corp
Current assignee: Seiko Epson Corp
Priority date: 2009-10-30
Filing date: 2009-10-30
Publication date: 2011-05-12

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid ejection head and a liquid ejection device which is suppressed in degradation of discharge characteristics. SOLUTION: The liquid ejection head includes a nozzle plate 20, a channel forming substrate 10 in which pressure generating chambers 12 are provided, piezoelectric elements 300, and a manifold 100 common to each pressure generating chamber 12. The manifold 100 is defined by an ink inlet member 120 provided with an ink introduction hole 122, a manifold forming substrate 110 having a manifold forming part 111 at a part of the second surface 132 of the ink inlet member 120 facing the first surface 131 thereof, and a compliance substrate 40 provided to stand up in the direction intersecting the nozzle surface of the nozzle plate 20 perpendicularly from the manifold forming substrate 110 over the ink inlet member 120. The compliance substrate 40 includes a sealing film 41 which absorbs the pressure of ink introduced to the manifold 100, and a slope 112 inclining to the sealing film 41 side is formed in the manifold forming part 111. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT

Description

本発明は、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、液体としてインクを吐出するインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。 The present invention relates to a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus, and more particularly to an ink jet recording head and an ink jet recording apparatus that eject ink as a liquid.

液体噴射ヘッドであるインクジェット式記録ヘッドとしては、例えば、ノズル開口に連通する圧力発生室とこの圧力発生室の長手方向一端部側に圧力発生室の短手方向に亘って設けられて各圧力発生室に連通する連通部とが形成される流路形成基板と、この流路形成基板の一方面側に形成される圧電素子と、流路形成基板の圧電素子側の面に接着剤を介して接合されて、連通部と共にリザーバー（本願のマニホールドに相当する。）の一部を構成するリザーバー部を有するリザーバー形成基板と、リザーバー及び流路の底面を構成し、かつノズル開口が形成されたノズルプレートとを具備するものがある（例えば、特許文献１参照）。 As an ink jet recording head that is a liquid ejecting head, for example, a pressure generation chamber communicating with a nozzle opening and a longitudinal direction one end side of the pressure generation chamber are provided across the short direction of the pressure generation chamber. A flow path forming substrate formed with a communication portion communicating with the chamber, a piezoelectric element formed on one surface side of the flow path forming substrate, and an adhesive agent on the surface of the flow path forming substrate on the piezoelectric element side A reservoir forming substrate having a reservoir portion that forms a part of a reservoir (corresponding to the manifold of the present application) together with a communication portion, and a nozzle that forms a bottom surface of the reservoir and the flow path and has a nozzle opening formed Some have a plate (see, for example, Patent Document 1).

特許文献１に開示されたインクジェット式記録ヘッドの構成では、流路形成基板の圧力発生室の長手方向一端部側にマニホールドの一部を構成する連通部が設けられているため、流路形成基板は長手方向に大型化し、インクジェット式記録ヘッドも長手方向に大型化してしまうという問題がある。 In the configuration of the ink jet recording head disclosed in Patent Document 1, the flow path forming substrate is provided with a communication portion constituting a part of the manifold on one end side in the longitudinal direction of the pressure generating chamber of the flow path forming substrate. Is increased in size in the longitudinal direction, and the ink jet recording head is also increased in size in the longitudinal direction.

そこで、インクジェット式記録ヘッドを支持するヘッドホルダーを利用して、このヘッドホルダーとノズルプレートとでリザーバーを形成することにより圧力発生室の長手方向で小型化した液体噴射ヘッドが知られている（例えば、特許文献２参照）。また、該液体噴射ヘッドのノズルプレートには、リザーバー内に導入されたインクの圧力を吸収するための薄肉部と弾性変形する高分子材料とからなるコンプライアンス部が設けられている。 Therefore, there is known a liquid ejecting head that is miniaturized in the longitudinal direction of the pressure generating chamber by using a head holder that supports an ink jet recording head and forming a reservoir with the head holder and a nozzle plate (for example, , See Patent Document 2). The nozzle plate of the liquid ejecting head is provided with a compliance portion composed of a thin portion for absorbing the pressure of the ink introduced into the reservoir and a polymer material that is elastically deformed.

特開２００５−２１９２４３号公報（第３〜５図、第６〜８頁）Japanese Patent Laying-Open No. 2005-219243 (FIGS. 3-5, pages 6-8) 特許第３４０２３４９号（第１１図等）Japanese Patent No. 3402349 (Fig. 11 etc.)

しかしながら、上記構成では、ヘッドホルダーを利用することで流路形成基板の小型化は可能であるものの、ノズルプレートがリザーバーの一部を形成するため、このリザーバーの大きさに合わせてノズルプレートを形成しなければならず、ノズルプレートの小型化が困難になるという問題がある。 However, in the above configuration, although the flow path forming substrate can be reduced in size by using the head holder, the nozzle plate forms a part of the reservoir, so the nozzle plate is formed according to the size of the reservoir. There is a problem that it is difficult to reduce the size of the nozzle plate.

また、このような構造のインクジェット式記録ヘッドでは、インク吐出の際、圧力発生室内に圧力変化を生じさせる関係上、インク吐出と共に圧力発生室内のインクがインク供給路を介してリザーバー側に流出する。上記構成では、このリザーバー側に流出するインクの流れとは平行にコンプライアンス部が設けられているため、該インクの圧力を十分に吸収できない。このため、隣接する圧力発生室から流出したインクの流れが干渉して、いわゆるクロストークが発生し、安定したインク吐出特性が得られないという問題が生じる。 Further, in the ink jet recording head having such a structure, the ink in the pressure generating chamber flows out to the reservoir side through the ink supply path together with the ink discharging because of the pressure change in the pressure generating chamber at the time of ink discharging. . In the above configuration, since the compliance portion is provided in parallel with the flow of ink flowing out to the reservoir side, the pressure of the ink cannot be sufficiently absorbed. For this reason, the flow of ink flowing out from the adjacent pressure generation chamber interferes, so-called crosstalk occurs, and there is a problem that stable ink ejection characteristics cannot be obtained.

なお、このような問題はインクジェット式記録ヘッド等の液体噴射ヘッドに限定されず、他のデバイスに用いられる液体噴射ヘッドにおいても同様に存在する。 Such a problem is not limited to a liquid ejecting head such as an ink jet recording head, and similarly exists in liquid ejecting heads used in other devices.

本発明はこのような事情に鑑み、吐出特性の低下を抑制した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。 SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is that it provides a liquid ejecting head and a liquid ejecting apparatus in which deterioration of ejection characteristics is suppressed.

上記課題を解決する本発明の態様は、液体を噴射するノズル開口が形成されたノズルプレートと、前記ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、前記圧力発生室に圧力を発生させる圧力発生素子と、複数の前記圧力発生室に対して共通の流路となるマニホールドとを具備し、前記マニホールドは、当該マニホールドに液体を導入するための液体導入孔が設けられた液体導入部材と、前記マニホールドの前記液体導入孔側の第１の面に相対向する側の第２の面の少なくとも一部にマニホールド形成部を有するマニホールド形成基板と、前記マニホールド形成基板から前記液体導入部材に亘って前記ノズルプレートのノズル面に直交する方向に起立して設けられて前記マニホールド内の液体の圧力を吸収するコンプライアンス基板とから画成され、前記マニホールド形成部には、前記コンプライアンス基板側に傾斜した傾斜面が形成されていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、液体導入孔からマニホールドに導入された液体による圧力は、傾斜面に沿う方向、もしくは傾斜面に反射してコンプライアンス基板側に伝達され、そのインクの圧力は吸収される。また、圧力発生室からの液体の流れによる圧力は、直接的にコンプライアンス基板に吸収される。従って、マニホールド内の液体の圧力が十分に吸収され、液体の吐出特性の低下を抑制することができる。また、マニホールドを構成する部材としてマニホールド形成基板を用いたので、ノズルプレートや流路形成基板を小型化することができる。したがって、一枚の基板から得られるノズルプレートや流路形成基板の数を増やすことができ、これによるコストの削減が可能である。 An aspect of the present invention that solves the above problems includes a nozzle plate in which a nozzle opening for ejecting liquid is formed, a flow path forming substrate in which a pressure generation chamber communicating with the nozzle opening is provided, and a pressure in the pressure generation chamber. And a manifold that serves as a common flow path for the plurality of pressure generating chambers, and the manifold is provided with a liquid introduction hole for introducing liquid into the manifold. An introduction member, a manifold formation substrate having a manifold formation portion on at least a part of a second surface of the manifold facing the first surface on the liquid introduction hole side, and introducing the liquid from the manifold formation substrate A compliant device that stands up in a direction orthogonal to the nozzle surface of the nozzle plate across the member and absorbs the pressure of the liquid in the manifold Is defined from the substrate, the manifold forming portion is a liquid-jet head, characterized in that the inclined surface inclined to the compliance substrate side is formed.
In this aspect, the pressure by the liquid introduced into the manifold from the liquid introduction hole is transmitted to the compliance substrate side in the direction along the inclined surface or reflected by the inclined surface, and the ink pressure is absorbed. Further, the pressure due to the flow of the liquid from the pressure generating chamber is directly absorbed by the compliance substrate. Therefore, the pressure of the liquid in the manifold is sufficiently absorbed, and the deterioration of the liquid discharge characteristics can be suppressed. Further, since the manifold forming substrate is used as a member constituting the manifold, the nozzle plate and the flow path forming substrate can be reduced in size. Therefore, the number of nozzle plates and flow path forming substrates obtained from a single substrate can be increased, thereby reducing the cost.

ここで、前記マニホールド形成部の第２の面であって前記傾斜面以外の領域には、複数の凸部が形成されていることが好ましい。これにより、液体導入孔からマニホールドに導入された液体による圧力が凸部により緩和されるので、この圧力に起因した吐出特性の低下をさらに抑制することができる。 Here, it is preferable that a plurality of convex portions are formed in a region other than the inclined surface on the second surface of the manifold forming portion. Thereby, since the pressure by the liquid introduced into the manifold from the liquid introduction hole is relieved by the convex portion, it is possible to further suppress the deterioration of the discharge characteristics due to this pressure.

また、前記マニホールド形成基板は、前記ノズルプレートから離隔して設けられていることが好ましい。マニホールド形成基板は、ノズルプレートから離隔して設けられているため、マニホールド形成基板が液体の圧力で振動したとしても、その振動が直接ノズルプレートに伝わることがない。このようにノズルプレートの振動が防止されるので、液体の吐出特性がより一層安定する。 Further, it is preferable that the manifold forming substrate is provided apart from the nozzle plate. Since the manifold forming substrate is provided apart from the nozzle plate, even if the manifold forming substrate vibrates due to the pressure of the liquid, the vibration is not directly transmitted to the nozzle plate. Since the vibration of the nozzle plate is prevented in this way, the liquid ejection characteristics are further stabilized.

また、上記課題を解決する本発明の他の態様は、上記態様に記載する液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる態様では、吐出特性の低下を抑制した液体噴射装置が提供される。 According to another aspect of the invention for solving the above problem, a liquid ejecting apparatus includes the liquid ejecting head described in the above aspect.
In this aspect, a liquid ejecting apparatus that suppresses a decrease in ejection characteristics is provided.

実施形態１に係る記録ヘッドの一例を示す分解斜視図である。3 is an exploded perspective view illustrating an example of a recording head according to Embodiment 1. FIG. 実施形態１に係る記録ヘッドの一例を示す平面図及び断面図である。2A and 2B are a plan view and a cross-sectional view illustrating an example of a recording head according to Embodiment 1. 実施形態１に係る記録ヘッドの要部断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view of a main part of the recording head according to the first embodiment. 実施形態２に係る記録ヘッドの要部断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view of a main part of a recording head according to a second embodiment. 実施形態３に係る記録ヘッドの一例を示す断面図である。6 is a cross-sectional view illustrating an example of a recording head according to Embodiment 3. FIG. 実施形態４に係る記録ヘッドの一例を示す断面図である。FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating an example of a recording head according to a fourth embodiment. 本発明の記録装置の概略構成を示す斜視図である。1 is a perspective view illustrating a schematic configuration of a recording apparatus of the present invention.

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
〈実施形態１〉
図１は、本発明の実施形態１に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図２は、図１の平面図及び断面図である。図示するように、流路形成基板１０は、本実施形態では面方位（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化により形成した二酸化シリコンからなる弾性膜５０が形成されている。流路形成基板１０には、隔壁１１により複数の圧力発生室１２がその幅方向に並設されている。また、流路形成基板１０の圧力発生室１２の長手方向外側の領域には、インク供給路１４と連通部１３とが隔壁１１によって区画されている。この圧力発生室１２とインク供給路１４と連通部１３とで個別流路が構成されている。 Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments.
<Embodiment 1>
FIG. 1 is an exploded perspective view illustrating an ink jet recording head that is an example of a liquid jet head according to Embodiment 1 of the present invention, and FIG. 2 is a plan view and a cross-sectional view of FIG. As shown in the figure, the flow path forming substrate 10 is made of a silicon single crystal substrate having a plane orientation (110) in this embodiment, and an elastic film 50 made of silicon dioxide previously formed by thermal oxidation is formed on one surface thereof. Has been. A plurality of pressure generating chambers 12 are juxtaposed in the width direction of the flow path forming substrate 10 by partition walls 11. In addition, an ink supply path 14 and a communication portion 13 are partitioned by a partition wall 11 in a region outside the pressure generation chamber 12 in the longitudinal direction of the flow path forming substrate 10. The pressure generation chamber 12, the ink supply path 14, and the communication portion 13 constitute an individual flow path.

連通部１３は、圧力発生室１２の列毎に共通の流路となるマニホールド１００に連通する。インク供給路１４は、圧力発生室１２よりも上面視において狭い幅となるように形成されており、連通部１３から圧力発生室１２に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。 The communication portion 13 communicates with the manifold 100 that is a common flow path for each row of the pressure generation chambers 12. The ink supply path 14 is formed to be narrower than the pressure generation chamber 12 in a top view, and keeps the flow path resistance of ink flowing into the pressure generation chamber 12 from the communicating portion 13 constant.

流路形成基板１０の開口面側には、マニホールド形成基板１１０が接合され、さらにこのマニホールド形成基板１１０にノズルプレート２０が接合されている。マニホールド形成基板１１０は、流路形成基板１０の開口面全体を覆っており、この開口面がマニホールド形成基板１１０で封止されることにより圧力発生室１２が画成されている。 The manifold forming substrate 110 is bonded to the opening surface side of the flow path forming substrate 10, and the nozzle plate 20 is further bonded to the manifold forming substrate 110. The manifold forming substrate 110 covers the entire opening surface of the flow path forming substrate 10, and the pressure generating chamber 12 is defined by sealing the opening surface with the manifold forming substrate 110.

マニホールド形成基板１１０には、各圧力発生室１２のインク供給路１４とは反対側の端部近傍に連通する連通孔１１４が形成され、ノズルプレート２０には、連通孔１１４に連通するノズル開口２１が穿設されている。すなわち、各ノズル開口２１は、各連通孔１１４を介して各圧力発生室１２に連通している。 The manifold forming substrate 110 is formed with a communication hole 114 communicating with the vicinity of the end of each pressure generating chamber 12 opposite to the ink supply path 14, and the nozzle plate 21 has a nozzle opening 21 communicating with the communication hole 114. Is drilled. That is, each nozzle opening 21 communicates with each pressure generating chamber 12 via each communication hole 114.

マニホールド形成基板１１０は、流路形成基板１０よりも圧力発生室１２の長手方向に突出したマニホールド形成部１１１を有している。詳細は後述するが、マニホールド形成部１１１は、マニホールド１００の一部を形成する。 The manifold forming substrate 110 has a manifold forming portion 111 protruding in the longitudinal direction of the pressure generating chamber 12 from the flow path forming substrate 10. Although details will be described later, the manifold forming portion 111 forms a part of the manifold 100.

ノズルプレート２０は、マニホールド形成基板１１０の連通孔１１４を封止しうる程度の大きさに形成されている。本実施形態では、圧力発生室の長手方向の長さが、流路形成基板よりも短く形成されている。 The nozzle plate 20 is formed to a size that can seal the communication hole 114 of the manifold forming substrate 110. In the present embodiment, the length of the pressure generation chamber in the longitudinal direction is shorter than that of the flow path forming substrate.

このようなマニホールド形成基板１１０及びノズルプレート２０は、例えば、ガラスセラミックス、シリコン単結晶基板などからなる。また、流路形成基板１０、マニホールド形成基板１１０及びノズルプレート２０は、それぞれ接着剤や熱溶着フィルム等で接合されている。 The manifold forming substrate 110 and the nozzle plate 20 are made of, for example, glass ceramics or a silicon single crystal substrate. Further, the flow path forming substrate 10, the manifold forming substrate 110, and the nozzle plate 20 are joined by an adhesive, a heat welding film, or the like.

一方、このような流路形成基板１０の開口面とは反対側には、上述したように弾性膜５０が形成され、この弾性膜５０上には、例えば、酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５５が形成されている。さらに、この絶縁体膜５５上には、第１電極６０と圧電体層７０と第２電極８０とが、後述するプロセスで積層形成されて、圧力発生素子の一例である圧電素子３００を構成している。ここで、圧電素子３００は、第１電極６０、圧電体層７０及び第２電極８０を含む部分をいう。一般的には、圧電素子３００の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層７０を各圧力発生室１２毎にパターニングして構成する。本実施形態では、第１電極６０は圧電素子３００の共通電極とし、第２電極８０を圧電素子３００の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。 On the other hand, the elastic film 50 is formed on the side opposite to the opening surface of the flow path forming substrate 10 as described above, and an insulator film 55 made of, for example, zirconium oxide is formed on the elastic film 50. Is formed. Further, the first electrode 60, the piezoelectric layer 70, and the second electrode 80 are laminated on the insulator film 55 by a process described later to form a piezoelectric element 300 that is an example of a pressure generating element. ing. Here, the piezoelectric element 300 refers to a portion including the first electrode 60, the piezoelectric layer 70, and the second electrode 80. In general, one electrode of the piezoelectric element 300 is used as a common electrode, and the other electrode and the piezoelectric layer 70 are patterned for each pressure generating chamber 12. In the present embodiment, the first electrode 60 is a common electrode of the piezoelectric element 300, and the second electrode 80 is an individual electrode of the piezoelectric element 300. However, there is no problem even if this is reversed for the convenience of the drive circuit and wiring.

なお、このような各圧電素子３００の第２電極８０には、例えば、金（Ａｕ）等からなるリード電極９０がそれぞれ接続されている。リード電極９０には、駆動ＩＣ２００が設けられているＣＯＦ２０１が接続されており、駆動ＩＣ２００からの信号は、リード電極９０を介して各圧電素子３００に選択的に印加される。 In addition, a lead electrode 90 made of, for example, gold (Au) or the like is connected to the second electrode 80 of each piezoelectric element 300 as described above. A COF 201 provided with a driving IC 200 is connected to the lead electrode 90, and a signal from the driving IC 200 is selectively applied to each piezoelectric element 300 via the lead electrode 90.

また、流路形成基板１０上の圧電素子３００側の面には、圧電素子３００に対向する領域にその運動を阻害しない程度の空間を確保可能な圧電素子保持部３１を有する保護基板３０が接合されている。圧電素子３００は、この圧電素子保持部３１内に形成されているため、外部環境の影響を殆ど受けない状態で保護されている。なお、保護基板３０の材料としては、例えば、ガラス、セラミックス材料、金属、樹脂等が挙げられるが、流路形成基板１０の熱膨張率と略同一の材料で形成されていることがより好ましく、本実施形態では、流路形成基板１０と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。 Further, a protective substrate 30 having a piezoelectric element holding portion 31 capable of securing a space that does not hinder its movement in a region facing the piezoelectric element 300 is bonded to the surface on the piezoelectric element 300 side on the flow path forming substrate 10. Has been. Since the piezoelectric element 300 is formed in the piezoelectric element holding part 31, it is protected in a state hardly affected by the external environment. In addition, examples of the material of the protective substrate 30 include glass, ceramic material, metal, resin, and the like, but it is more preferable that the material is substantially the same as the coefficient of thermal expansion of the flow path forming substrate 10. In this embodiment, the silicon single crystal substrate made of the same material as the flow path forming substrate 10 is used.

保護基板３０上には、マニホールド１００を構成する液体導入部材の一例であるインク導入部材１２０が接着剤層を介して設けられている。インク導入部材１２０は、天井壁１２１と３つの側壁とから構成されている。即ち、インク導入部材１２０は、底面と、圧力発生室１２の長手方向における連通部１３側の側面（図２中右側の側面）とが開放されている。天井壁１２１には、インクを導入するためのインク導入孔（液体導入孔）１２２が設けられている。 On the protective substrate 30, an ink introduction member 120, which is an example of a liquid introduction member constituting the manifold 100, is provided via an adhesive layer. The ink introduction member 120 includes a ceiling wall 121 and three side walls. In other words, the ink introduction member 120 has an open bottom surface and a side surface (a right side surface in FIG. 2) on the side of the communication portion 13 in the longitudinal direction of the pressure generating chamber 12. The ceiling wall 121 is provided with an ink introduction hole (liquid introduction hole) 122 for introducing ink.

第１の面１３１は、マニホールド１００のインク導入孔１２２側の面、すなわち、インク導入部材１２０のマニホールド形成基板１１０側の面のうちマニホールド１００を画成する部分である。第２の面１３２は、マニホールド形成基板１１０の第１の面１３１に相対向する面、すなわち、マニホールド形成基板１１０のインク導入部材１２０側の面のうちマニホールド１００を画成する部分である。 The first surface 131 is a portion that defines the manifold 100 in the surface on the ink introduction hole 122 side of the manifold 100, that is, the surface on the manifold forming substrate 110 side of the ink introduction member 120. The second surface 132 is a portion that defines the manifold 100 in a surface facing the first surface 131 of the manifold forming substrate 110, that is, a surface on the ink introduction member 120 side of the manifold forming substrate 110.

前述したマニホールド形成基板１１０のマニホールド形成部１１１は、マニホールド形成基板１１０の第２の面１３２の一部に形成されている。すなわち、マニホールド形成基板１１０の第２の面１３２を構成する領域の一部分がマニホールド形成部１１１となっている。なお、マニホールド形成部１１１は、第２の面１３２の全体に亘って形成されてもよい。 The manifold forming portion 111 of the manifold forming substrate 110 described above is formed on a part of the second surface 132 of the manifold forming substrate 110. That is, a part of the region constituting the second surface 132 of the manifold forming substrate 110 is the manifold forming portion 111. Note that the manifold forming portion 111 may be formed over the entire second surface 132.

また、インク導入部材１２０の開放された側面側には、封止膜４１及び固定板４２とからなるコンプライアンス基板４０がインク導入部材１２０からマニホールド形成基板１１０までに亘って接合されている。このように、インク導入部材１２０と、保護基板３０及び流路形成基板１０の壁面、マニホールド形成部１１１、及びコンプライアンス基板４０により画成された空間がマニホールド１００となっている。このようなマニホールド１００は、インク導入孔１２２に連通すると共に各連通部１３、即ち各個別流路に連通しており、これによりインク流路が構成されている。 A compliance substrate 40 including a sealing film 41 and a fixing plate 42 is bonded to the side surface of the ink introduction member 120 that is open from the ink introduction member 120 to the manifold formation substrate 110. In this way, the space defined by the ink introduction member 120, the wall surfaces of the protective substrate 30 and the flow path forming substrate 10, the manifold forming portion 111, and the compliance substrate 40 is the manifold 100. Such a manifold 100 communicates with the ink introduction hole 122 and also communicates with each communicating portion 13, that is, each individual flow path, thereby forming an ink flow path.

封止膜４１は、剛性が低く可撓性を有する材料（例えば、厚さが６μｍのポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）フィルム）からなり、固定板４２は、ステンレス鋼（ＳＵＳ）等の金属等の硬質の材料で形成される。この固定板４２のマニホールド１００に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部４３となっているため、マニホールド１００の一方面は可撓性を有する封止膜４１のみで封止されている。 The sealing film 41 is made of a material having low rigidity and flexibility (for example, a polyphenylene sulfide (PPS) film having a thickness of 6 μm), and the fixing plate 42 is made of a hard metal such as stainless steel (SUS). Formed of material. Since the area of the fixing plate 42 facing the manifold 100 is an opening 43 that is completely removed in the thickness direction, one surface of the manifold 100 is sealed only with a flexible sealing film 41. Has been.

マニホールド形成部１１１には、コンプライアンス基板４０側に傾斜した傾斜面１１２が形成されている。本実施形態では、第２の面１３２の一部にマニホールド形成部１１１が設けられているので、第２の面１３２の一部が傾斜面１１２となっている。なお、マニホールド形成基板１１０の第２の面を構成する領域をマニホールド形成部とした場合は、その第２の面全体が傾斜面となる。 The manifold forming portion 111 is formed with an inclined surface 112 inclined toward the compliance substrate 40 side. In this embodiment, since the manifold forming part 111 is provided on a part of the second surface 132, a part of the second surface 132 is an inclined surface 112. In addition, when the area | region which comprises the 2nd surface of the manifold formation board | substrate 110 is used as the manifold formation part, the whole 2nd surface turns into an inclined surface.

このように構成されたマニホールド１００は、可撓性を有する封止膜４１により、マニホールド１００内に導入されたインクの圧力が吸収される。このとき、マニホールド形成部１１１には、コンプライアンス基板４０側に傾斜した傾斜面１１２が形成されているため、インクの圧力がより一層、吸収され易くなっている。 In the manifold 100 configured as described above, the pressure of the ink introduced into the manifold 100 is absorbed by the flexible sealing film 41. At this time, since the inclined surface 112 inclined to the compliance substrate 40 side is formed in the manifold forming portion 111, the ink pressure is more easily absorbed.

このことを、図３を用いて詳細に説明する。図３は、図２（ｂ）の要部断面図である。図示するように、マニホールド形成部１１１には、コンプライアンス基板４０側に傾斜した傾斜面１１２が設けられている。上述したように、このマニホールド形成部１１１は、第１の面１３１に相対向する第２の面１３２の一部に設けられているので、矢印Ａに示すように、インク導入孔１２２に導入されたインクによる圧力は、傾斜面１１２に沿う方向、もしくは傾斜面１１２に反射してコンプライアンス基板４０側に伝達され、そのインクの圧力は、封止膜４１により吸収される。 This will be described in detail with reference to FIG. FIG. 3 is a cross-sectional view of the main part of FIG. As shown in the figure, the manifold forming portion 111 is provided with an inclined surface 112 inclined toward the compliance substrate 40 side. As described above, since the manifold forming portion 111 is provided on a part of the second surface 132 opposite to the first surface 131, the manifold forming portion 111 is introduced into the ink introduction hole 122 as indicated by an arrow A. The pressure due to the ink is reflected in the direction along the inclined surface 112 or reflected to the inclined surface 112 and transmitted to the compliance substrate 40 side, and the pressure of the ink is absorbed by the sealing film 41.

また、インク吐出の際、圧力発生室１２内に圧力変化が生じたとき、矢印Ｂに示すように、インク吐出と共に圧力発生室１２内のインクがインク供給路１４を介してマニホールド１００側に流出する。このとき、ノズルプレート２０のノズル面に垂直に配設されたコンプライアンス基板４０は個別流路に相対向しているため、そのインクの流れによる圧力はコンプライアンス基板４０に直接的に伝わり、封止膜４１により吸収される。このため、隣接する圧力発生室１２にクロストークが発生することが抑制され、安定したインク吐出特性が得られる。 Further, when a pressure change occurs in the pressure generation chamber 12 during ink discharge, as indicated by an arrow B, ink in the pressure generation chamber 12 flows to the manifold 100 side through the ink supply path 14 along with ink discharge. To do. At this time, since the compliance substrate 40 arranged perpendicular to the nozzle surface of the nozzle plate 20 is opposed to the individual flow path, the pressure due to the ink flow is directly transmitted to the compliance substrate 40, and the sealing film 41 is absorbed. For this reason, occurrence of crosstalk in the adjacent pressure generation chamber 12 is suppressed, and stable ink ejection characteristics can be obtained.

このように、インク導入孔１２２から導入されるインクの流れによる圧力は、傾斜面１１２を設けることでコンプライアンス基板４０に吸収され、圧力発生室１２からのインクの流れによる圧力は、直接的にコンプライアンス基板４０に吸収される。従って、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドでは、マニホールド１００内のインクの圧力が十分に吸収され、インクの吐出特性の低下を抑制することができる。 As described above, the pressure due to the flow of ink introduced from the ink introduction hole 122 is absorbed by the compliance substrate 40 by providing the inclined surface 112, and the pressure due to the flow of ink from the pressure generation chamber 12 directly complies with the compliance. Absorbed by the substrate 40. Therefore, in the ink jet recording head according to the present embodiment, the pressure of the ink in the manifold 100 is sufficiently absorbed, and the deterioration of the ink ejection characteristics can be suppressed.

また、本実施形態のようにマニホールド１００を構成する部材としてノズルプレート２０を用いずにマニホールド形成基板１１０を用いたので、ノズルプレート２０は、必要最小限の大きさにすることができる。すなわち、ノズルプレート２０は、流路形成基板１０の開口面を封止しうる程度の大きさであればよく、マニホールド１００を構成するために必要な大きさ（本実施形態のマニホールド形成基板１１０の大きさと同等の大きさ）に形成する必要が無い。このようにノズルプレート２０を小型化することができるので、一枚の基板から得られるノズルプレート２０の数を増やすことができ、これによるコストの削減が可能である。 Further, since the manifold forming substrate 110 is used without using the nozzle plate 20 as a member constituting the manifold 100 as in the present embodiment, the nozzle plate 20 can be made the minimum necessary size. That is, the nozzle plate 20 only needs to have a size that can seal the opening surface of the flow path forming substrate 10. It is not necessary to form the same size). Thus, since the nozzle plate 20 can be reduced in size, the number of the nozzle plates 20 obtained from one board | substrate can be increased, and the cost reduction by this can be performed.

また、従来技術では、流路形成基板にマニホールドの一部を構成するように連通路が形成されていたが、本実施形態に係る流路形成基板１０ではマニホールド形成基板１１０を用いたため、そのような連通路は不要となっている。このため、流路形成基板１０は、そのような連通路が不要となる分、小型化することができる。これにより、一枚の基板から得られるノズルプレート２０の数を増やすことができ、これによるコストの削減が可能である。 Further, in the prior art, the communication path is formed so as to constitute a part of the manifold in the flow path forming substrate. However, since the flow path forming substrate 10 according to the present embodiment uses the manifold forming substrate 110, such a communication path is formed. A simple communication path is unnecessary. For this reason, the flow path forming substrate 10 can be miniaturized because such a communication path is unnecessary. As a result, the number of nozzle plates 20 obtained from a single substrate can be increased, thereby reducing the cost.

ノズルプレート２０については、ノズル開口２１や表面に撥水膜を形成する工程等、流路形成基板１０については、圧力発生室１２や圧電素子３００等を形成する工程等は、複雑でコストが掛かるものである。しかしながら、本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドでは、比較的、加工に要する手間やコストが掛からないマニホールド形成基板１１０を用いてマニホールド１００を形成することで、ノズルプレート２０や流路形成基板１０の小型化を実現し、ノズルプレート２０や流路形成基板１０などのコストが掛かる部材については、一枚の基板から得られる数を多くすることでコストの増大を抑制することができる。 For the nozzle plate 20, the process of forming a water repellent film on the nozzle opening 21 and the surface, and for the flow path forming substrate 10, the process of forming the pressure generation chamber 12, the piezoelectric element 300, and the like are complicated and costly. Is. However, in the ink jet recording head according to the present embodiment, the manifold 100 is formed by using the manifold forming substrate 110 which does not require much labor and cost for processing, so that the nozzle plate 20 and the flow path forming substrate 10 can be formed. With respect to members that realize miniaturization and cost, such as the nozzle plate 20 and the flow path forming substrate 10, an increase in cost can be suppressed by increasing the number obtained from a single substrate.

また、本実施形態では、吐出特性を向上させるべく、コンプライアンス基板４０の封止膜４１の面積を広げてコンプライアンスを大きくするためには、コンプライアンス基板４０をノズルプレート２０のノズル面に対して垂直な方向に延設すればよい。このため、インクジェット式記録ヘッドの専有面積を大きくすることなく、コンプライアンスを大きくすることができる。 In the present embodiment, in order to increase the compliance by increasing the area of the sealing film 41 of the compliance substrate 40 in order to improve the discharge characteristics, the compliance substrate 40 is perpendicular to the nozzle surface of the nozzle plate 20. What is necessary is just to extend in the direction. For this reason, the compliance can be increased without increasing the exclusive area of the ink jet recording head.

このようなインクジェット式記録ヘッドは、図示しない外部インク供給手段からインク導入孔１２２を介してインクを取り込み、マニホールド１００からノズル開口２１に至るまで内部をインクで満たした後、駆動ＩＣ２００からの信号に従い、ＣＯＦ２０１を介して圧力発生室１２に対応するそれぞれの第１電極６０と第２電極８０との間に電圧を印加し、弾性膜５０、絶縁体膜５５、第１電極６０及び圧電体層７０をたわみ変形させることにより、各圧力発生室１２内の圧力が高まりノズル開口２１からインク滴が吐出する。 Such an ink jet recording head takes in ink from an external ink supply means (not shown) through an ink introduction hole 122, fills the interior from the manifold 100 to the nozzle opening 21, and then follows a signal from the drive IC 200. A voltage is applied between each of the first electrode 60 and the second electrode 80 corresponding to the pressure generation chamber 12 via the COF 201, and the elastic film 50, the insulator film 55, the first electrode 60, and the piezoelectric layer 70. , The pressure in each pressure generating chamber 12 increases, and ink droplets are ejected from the nozzle openings 21.

〈実施形態２〉
本発明の実施形態２について、図４を用いて説明する。本発明の実施形態２に係る記録ヘッドは、実施形態１に係る記録ヘッドとは、マニホールド形成基板１１０Ａの構造が異なるものである。即ち、本実施形態においては、マニホールド形成部１１１の第２の面１３２であって傾斜面１１２が設けられていない面に、複数の凸部１１３が形成されている。 <Embodiment 2>
A second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. The recording head according to the second embodiment of the present invention is different from the recording head according to the first embodiment in the structure of the manifold forming substrate 110A. In other words, in the present embodiment, the plurality of convex portions 113 are formed on the second surface 132 of the manifold forming portion 111 that is not provided with the inclined surface 112.

このような凸部１１３がマニホールド形成部１１１に形成されていることで、マニホールド１００に導入されたインクは、矢印に示すように、凸部１１３及び傾斜面１１２に流れる。傾斜面１１２に到達したインクは、傾斜面１１２に沿ってコンプライアンス基板４０に誘導される。一方、凸部１１３に到達したインクは、凸部１１３によりインクの圧力が打ち消される。このように、本実施形態では、コンプライアンス基板４０のコンプライアンスとともに、凸部１１３でインクの圧力を吸収することができるため、インク吐出特性の低下をより一層抑制することができる。なお、凸部１１３は、傾斜面１１２に設けられていてもよく、この場合、さらに確実にインクの圧力を吸収することができる。 Since such a convex portion 113 is formed in the manifold forming portion 111, the ink introduced into the manifold 100 flows through the convex portion 113 and the inclined surface 112 as indicated by arrows. The ink that has reached the inclined surface 112 is guided to the compliance substrate 40 along the inclined surface 112. On the other hand, the ink pressure that has reached the convex portion 113 is canceled by the convex portion 113. Thus, in this embodiment, since the pressure of ink can be absorbed by the convex portion 113 together with the compliance of the compliance substrate 40, it is possible to further suppress the deterioration of the ink ejection characteristics. In addition, the convex part 113 may be provided in the inclined surface 112, and can absorb the pressure of an ink more reliably in this case.

〈実施形態３〉
本発明の実施形態３について、図５を用いて説明する。本発明の実施形態３に係る記録ヘッドは、実施形態１に係る記録ヘッドとは、マニホールド形成基板１１０Ｂの構造が異なるものである。即ち、実施形態１においては、マニホールド形成基板１１０は、流路形成基板１０とノズルプレート２０との間に配設されていたが、本実施形態においては、マニホールド形成基板１１０Ｂは、ノズルプレート２０の流路形成基板１０とは反対側に接合されている。 <Embodiment 3>
Embodiment 3 of the present invention will be described with reference to FIG. The recording head according to Embodiment 3 of the present invention is different from the recording head according to Embodiment 1 in the structure of the manifold forming substrate 110B. In other words, in the first embodiment, the manifold forming substrate 110 is disposed between the flow path forming substrate 10 and the nozzle plate 20, but in this embodiment, the manifold forming substrate 110 B is provided on the nozzle plate 20. It is joined to the side opposite to the flow path forming substrate 10.

本実施形態に係るインクジェット式記録ヘッドは、マニホールド形成基板１１０Ｂがノズルプレート２０に接合され、マニホールド形成基板１１０Ｂのノズルプレート２０が接合されていない領域がマニホールド形成部１１１となっている。実施形態１と同様に、マニホールド形成部１１１は、インク導入部材１２０、コンプライアンス基板４０とともにマニホールド１００を形成しており、マニホールド形成部１１１には、傾斜面１１２が形成されている。 In the ink jet recording head according to the present embodiment, the manifold forming substrate 110B is bonded to the nozzle plate 20, and the area where the nozzle plate 20 of the manifold forming substrate 110B is not bonded is the manifold forming portion 111. As in the first embodiment, the manifold forming portion 111 forms the manifold 100 together with the ink introduction member 120 and the compliance substrate 40, and the manifold forming portion 111 has an inclined surface 112.

このような構成のインクジェット式記録ヘッドにおいても、実施形態１と同様の作用効果を奏する。なお、本実施形態では、マニホールド形成基板１１０Ｂは、ノズルプレート２０に接合された状態が維持できる程度の大きさ、形状であればよく、マニホールド形成基板１１０Ｂを小型化して、その分コストを削減することができる。 The ink jet recording head having such a configuration also has the same effects as those of the first embodiment. In the present embodiment, the manifold forming substrate 110B may have a size and shape that can maintain the state bonded to the nozzle plate 20, and the manifold forming substrate 110B can be downsized to reduce the cost accordingly. be able to.

なお、マニホールド形成基板１１０Ｂと、インク導入部材１２０とは同一部材であってもよい。 The manifold forming substrate 110B and the ink introduction member 120 may be the same member.

〈実施形態４〉
本発明の実施形態４について、図６を用いて説明する。本発明の実施形態４に係る記録ヘッドは、マニホールド形成基板１１０Ｃがノズルプレート２０とは離隔して設けられていることを特徴とする。 <Embodiment 4>
Embodiment 4 of the present invention will be described with reference to FIG. The recording head according to Embodiment 4 of the present invention is characterized in that the manifold forming substrate 110 C is provided separately from the nozzle plate 20.

図示するように、流路形成基板１０には、その開口面の一部を封止するノズルプレート２０が設けられるとともに、その開口面の他の部分を封止する流路底面部１５が設けられている。 As shown in the figure, the flow path forming substrate 10 is provided with a nozzle plate 20 that seals a part of the opening surface, and a flow path bottom surface portion 15 that seals the other part of the opening surface. ing.

本実施形態では流路形成基板１０をエッチングして圧力発生室１２を形成する際にこの部分を残して流路底面部１５を形成してもよく、また、流路形成基板１０を厚さ方向に２部材に分けて構成してもよい。具体的には、流路形成基板１０を一方面からエッチングして圧力発生室１２、連通部１３、インク供給路１４を形成する。この時に、圧力発生室１２は連通部１３、インク供給路１４と同じ深さまで形成する。次いで、このエッチングにより形成された部分に犠牲層材料を充填し、犠牲層を形成する。その後、この犠牲層を形成した面に後述するように弾性膜５０、絶縁体膜５５及び圧電素子３００をこの順で形成する。次いで、犠牲層が形成された面とは逆の面からエッチングを行い、圧力発生室１２のノズル開口に連通する部分を形成し、その後このエッチングした部分から犠牲層の除去剤を導入して犠牲層を取り除く。このようにして、流路底面部１５を残して個別流路をエッチングにより形成することができる。なお、これらの流路底面部１５及びノズルプレート２０はそれぞれ流路形成基板１０と強度を十分に保てる程度に接着されている。 In the present embodiment, when forming the pressure generating chamber 12 by etching the flow path forming substrate 10, the flow path bottom surface portion 15 may be formed leaving this portion, and the flow path forming substrate 10 is formed in the thickness direction. Alternatively, it may be divided into two members. Specifically, the flow path forming substrate 10 is etched from one surface to form the pressure generation chamber 12, the communication portion 13, and the ink supply path 14. At this time, the pressure generation chamber 12 is formed to the same depth as the communication portion 13 and the ink supply path 14. Next, a sacrificial layer material is filled in the portion formed by this etching, and a sacrificial layer is formed. Thereafter, as will be described later, the elastic film 50, the insulator film 55, and the piezoelectric element 300 are formed in this order on the surface on which the sacrificial layer is formed. Next, etching is performed from the surface opposite to the surface on which the sacrificial layer is formed to form a portion that communicates with the nozzle opening of the pressure generating chamber 12, and then a sacrificial layer remover is introduced from the etched portion to perform sacrifice. Remove the layer. In this way, the individual flow path can be formed by etching leaving the flow path bottom surface portion 15. The flow path bottom surface portion 15 and the nozzle plate 20 are bonded to the flow path forming substrate 10 to such an extent that sufficient strength can be maintained.

マニホールド形成基板１１０Ｃは、流路底面部１５に接合されている。すなわち、マニホールド形成基板１１０Ｃは、ノズルプレート２０から離隔して設けられているため、マニホールド形成基板１１０Ｃがインクの圧力で振動したとしても、その振動が直接ノズルプレート２０に伝わることがない。このようにノズルプレート２０の振動が防止されるので、インクの吐出特性が安定する。 The manifold forming substrate 110 C is bonded to the flow path bottom surface portion 15. That is, since the manifold forming substrate 110C is provided apart from the nozzle plate 20, even if the manifold forming substrate 110C vibrates due to the pressure of ink, the vibration is not directly transmitted to the nozzle plate 20. Since the vibration of the nozzle plate 20 is prevented in this way, the ink ejection characteristics are stabilized.

〈液体噴射装置〉
さらに、これらインクジェット式記録ヘッドＩは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置ＩＩに搭載される。図７は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。 <Liquid ejector>
Further, these ink jet recording heads I constitute a part of a recording head unit having an ink flow path communicating with an ink cartridge or the like, and are mounted on the ink jet recording apparatus II. FIG. 7 is a schematic view showing an example of the ink jet recording apparatus.

図示するように、インクジェット式記録ヘッドＩは、インク供給手段を構成するカートリッジ２Ａ及び２Ｂが着脱可能に設けられ、このインクジェット式記録ヘッドＩを搭載したキャリッジ３は、装置本体４に取り付けられたキャリッジ軸５に軸方向移動自在に設けられている。このインクジェット式記録ヘッドＩは、例えば、ブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。 As shown in the figure, the ink jet recording head I is provided with cartridges 2A and 2B constituting the ink supply means in a detachable manner. A carriage 3 on which the ink jet recording head I is mounted is a carriage attached to the apparatus main body 4. The shaft 5 is provided so as to be movable in the axial direction. The ink jet recording head I ejects, for example, a black ink composition and a color ink composition.

そして、駆動モーター６の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト７を介してキャリッジ３に伝達されることで、インクジェット式記録ヘッドＩを搭載したキャリッジ３はキャリッジ軸５に沿って移動される。一方、装置本体４にはキャリッジ軸５に沿ってプラテン８が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートＳがプラテン８に巻き掛けられて搬送されるようになっている。 Then, the driving force of the driving motor 6 is transmitted to the carriage 3 via a plurality of gears and a timing belt 7 (not shown), so that the carriage 3 on which the ink jet recording head I is mounted is moved along the carriage shaft 5. . On the other hand, the apparatus body 4 is provided with a platen 8 along the carriage shaft 5, and a recording sheet S that is a recording medium such as paper fed by a paper feed roller (not shown) is wound around the platen 8. It is designed to be transported.

〈他の実施形態〉
本発明は上述した実施形態に限られない。マニホールド１００へのインクの導入方向、即ちインク導入孔１２２に相対向する面を構成する部材（マニホールド形成部）にコンプライアンス基板側に傾斜した傾斜面が設けられていれば、マニホールド１００へのインク導入時におけるインクの圧力を吸収することができ、また、圧力発生室１２からのインクの圧力を吸収できるという本発明の効果を得ることができる。従って、他の構成のインクジェット式記録ヘッドにおいてもこのような構成とすることで同様の効果を得ることができる。例えば、液体を吐出するノズル開口に連通する複数の圧力発生室が並設された流路形成基板と、この流路形成基板上に設けられて圧力発生室の一方側の面を構成する振動板と、振動板に先端部が当接するように設けられる圧電素子と、圧力発生室の周縁部に対向する領域に薄肉部が形成されてこの振動板の各圧力発生室に対向する領域内に圧電素子の先端部が当接する島部が設けられている液体噴射ヘッドの場合について説明する。この場合においても、圧力発生室に連通するマニホールドの底面を、ノズル開口が形成されているノズルプレートとは別の部材により構成し、この別の部材に傾斜面１１２を設けることで、上述した実施形態と同様の効果を得ることができる。 <Other embodiments>
The present invention is not limited to the embodiment described above. If the inclined surface inclined toward the compliance substrate side is provided on the member (manifold forming portion) constituting the direction of ink introduction into the manifold 100, that is, the surface opposite to the ink introduction hole 122, the ink introduction into the manifold 100 is performed. The effect of the present invention that the ink pressure at the time can be absorbed and the ink pressure from the pressure generating chamber 12 can be absorbed can be obtained. Accordingly, the same effect can be obtained by adopting such a configuration in an ink jet recording head having another configuration. For example, a flow path forming substrate in which a plurality of pressure generating chambers communicating with nozzle openings for discharging liquid are arranged in parallel, and a vibration plate provided on the flow path forming substrate and constituting one surface of the pressure generating chamber And a piezoelectric element provided so that the tip end abuts the diaphragm, and a thin portion is formed in a region facing the peripheral edge of the pressure generating chamber, and a piezoelectric element is formed in a region facing each pressure generating chamber of the diaphragm. A case of a liquid ejecting head provided with an island portion with which the tip of the element abuts will be described. Even in this case, the bottom surface of the manifold communicating with the pressure generating chamber is configured by a member different from the nozzle plate in which the nozzle openings are formed, and the inclined surface 112 is provided on the separate member, thereby implementing the above-described implementation. The same effect as the form can be obtained.

また、上述した実施形態では、流路形成基板１０として、シリコン単結晶基板を例示したが、特にこれに限定されず、例えば、ＳＯＩ基板、ガラス等の材料を用いるようにしてもよい。 In the embodiment described above, a silicon single crystal substrate is exemplified as the flow path forming substrate 10, but the present invention is not particularly limited thereto, and for example, a material such as an SOI substrate or glass may be used.

なお、上述した実施形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレー、ＦＥＤ（電界放出ディスプレー）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオｃｈｉｐ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。 In the above-described embodiment, the ink jet recording head has been described as an example of the liquid ejecting head. However, the present invention is widely applied to all liquid ejecting heads, and the liquid ejecting ejects a liquid other than ink. Of course, it can also be applied to the head. Other liquid ejecting heads include, for example, various recording heads used in image recording apparatuses such as printers, color material ejecting heads used in the manufacture of color filters such as liquid crystal displays, organic EL displays, and FEDs (field emission displays). Examples thereof include an electrode material ejection head used for electrode formation, a bioorganic matter ejection head used for biochip production, and the like.

Ｉインクジェット式記録ヘッド、ＩＩインクジェット式記録装置（液体噴射装置）、１０流路形成基板、１２圧力発生室、２０ノズルプレート、２１ノズル開口、３０保護基板、４０コンプライアンス基板、４１封止膜、４２固定板、１００マニホールド、１１０、１１０Ａ、１１０Ｂ、１１０Ｃマニホールド形成基板、１１１マニホールド形成部、１１２傾斜面、１１３凸部、１２０インク導入部材（液体導入部材）、１２２インク導入孔（液体導入孔）、１３１第１の面、１３２第２の面、３００圧電素子 DESCRIPTION OF SYMBOLS I Inkjet recording head, II Inkjet recording apparatus (liquid ejecting apparatus), 10 Flow path formation board | substrate, 12 Pressure generating chamber, 20 Nozzle plate, 21 Nozzle opening, 30 Protection board | substrate, 40 Compliance board | substrate, 41 Sealing film, 42 Fixing plate, 100 manifold, 110, 110A, 110B, 110C manifold forming substrate, 111 manifold forming portion, 112 inclined surface, 113 convex portion, 120 ink introducing member (liquid introducing member), 122 ink introducing hole (liquid introducing hole), 131 First surface, 132 Second surface, 300 Piezoelectric element

Claims

液体を噴射するノズル開口が形成されたノズルプレートと、前記ノズル開口に連通する圧力発生室が設けられた流路形成基板と、前記圧力発生室に圧力を発生させる圧力発生素子と、複数の前記圧力発生室に対して共通の流路となるマニホールドとを具備し、
前記マニホールドは、当該マニホールドに液体を導入するための液体導入孔が設けられた液体導入部材と、前記マニホールドの前記液体導入孔側の第１の面に相対向する側の第２の面の少なくとも一部にマニホールド形成部を有するマニホールド形成基板と、前記マニホールド形成基板から前記液体導入部材に亘って前記ノズルプレートのノズル面に直交する方向に起立して設けられて前記マニホールド内の液体の圧力を吸収するコンプライアンス基板とから画成され、
前記マニホールド形成部には、前記コンプライアンス基板側に傾斜した傾斜面が形成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 A nozzle plate in which a nozzle opening for ejecting liquid is formed; a flow path forming substrate provided with a pressure generating chamber communicating with the nozzle opening; a pressure generating element for generating pressure in the pressure generating chamber; A manifold that serves as a common flow path for the pressure generating chamber,
The manifold includes at least a liquid introduction member provided with a liquid introduction hole for introducing a liquid into the manifold, and a second surface on a side opposite to the first surface on the liquid introduction hole side of the manifold. A manifold forming substrate having a manifold forming portion in part, and standing up in a direction orthogonal to the nozzle surface of the nozzle plate from the manifold forming substrate to the liquid introducing member, and controlling the pressure of the liquid in the manifold Defined by the compliance substrate to absorb,
The liquid ejecting head according to claim 1, wherein an inclined surface inclined toward the compliance substrate is formed in the manifold forming portion.

請求項１に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記マニホールド形成部の第２の面であって前記傾斜面以外の領域には、複数の凸部が形成されている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 The liquid ejecting head according to claim 1,
A liquid ejecting head, wherein a plurality of convex portions are formed in a region other than the inclined surface on the second surface of the manifold forming portion.

請求項１又は請求項２に記載する液体噴射ヘッドにおいて、
前記マニホールド形成基板は、前記ノズルプレートから離隔して設けられている
ことを特徴とする液体噴射ヘッド。 The liquid ejecting head according to claim 1 or 2,
The liquid ejecting head, wherein the manifold forming substrate is provided apart from the nozzle plate.

請求項１〜請求項３の何れか一項に記載する液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。 A liquid ejecting apparatus comprising the liquid ejecting head according to claim 1.